JPH09178598A - 圧力センサの温度特性検査における温度制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】台数によらずに検査用治具を所定の検査温度に
短時間で設定でき、検査時間の短縮を図る。 【解決手段】恒温槽３内に収納された検査用治具２の導
入管２ｃは、外部からの圧縮空気の吸入を開閉する検査
用バルブ６及び循環バルブ７₁ ，７₂ に接続されてお
り、一対の循環バルブ７₁ ，７₂ の間には、熱交換機８
及び循環ポンプ９が直列に接続されている。例えば、検
査用治具２の温度を検査温度に上昇させる場合、検査用
バルブ６を閉止するとともに循環バルブ７₁ ，７₂ を開
放し、各検査用治具２の内部を導入管２ｃを通して循環
する経路Ａを形成する。循環ポンプ９を運転することに
より、熱交換機８にて熱交換されて恒温槽３内の雰囲気
温度に略等しい温度となった空気を上記循環経路Ａ内に
循環させる。よって、台数によらずに所定の検査温度に
短時間で設定でき、検査時間の短縮が図れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧力センサの出力
特性を検査するための検査用治具を恒温槽内に収納し、
所定の検査温度に設定された恒温槽内で検査用治具を用
いて検査する圧力センサの温度特性検査における温度制
御方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、圧力センサの温度特性検査
は、図１４に示すような圧力源を兼ねた検査用治具２を
周知の恒温槽（あるいは恒温恒湿槽）内に入れ、ＰＩＤ
制御により恒温槽内の温度を所定の検査温度（例えば、
０℃、２５℃、５０℃等）に調整し、試料である圧力セ
ンサ１及び検査用治具２がその雰囲気温度（検査温度）
に略等しくなった状態で検査用治具２によって圧力セン
サ１に圧力を印加して出力特性を検査していた。

【０００３】圧力センサ１は、例えば、従来周知のピエ
ゾ抵抗拡散式の半導体圧力センサであって、圧力管から
導入される流体（気体あるいは液体等）の絶対圧若しく
は相対圧を検出して電気信号に変換し、端子より出力す
るようになっている（日本電子機械工業会発光「半導体
圧力センサ（ピエゾ抵抗拡散式）通則」等参照）。一
方、検査用治具２は、多数の圧力センサ１が取り付けら
れる基台２ａと、外部から圧縮空気を導入するための導
入管２ｃを有し、基台２ａに取り付けられた各圧力セン
サ１に圧縮空気により所定の圧力を加える加圧板２ｂ
と、基台２ａに取り付けられた圧力センサ１への動作電
源の供給並びに圧力センサ１からの出力信号の取り出し
のためのケーブル２ｄとを備えている。すなわち、基台
２ａには圧力センサ１の端子と接続されるコンタクト部
（図示せず）が多数列設されており、加圧板２ｂにて各
圧力センサ１に圧力を加えたときの出力信号をケーブル
２ｄを介して外部に取り出せるようになっている。ま
た、恒温槽は周知の技術を用いて槽内の雰囲気温度を設
定された温度にＰＩＤ制御するものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、恒温槽にお
ける温度制御は一般に次のように行われている。つま
り、所望の温度（これを「目標温度」と呼ぶ。）を温度
指令として設定すると、この温度指令に基づいて冷凍機
やヒータの運転制御を行い、槽内の雰囲気温度を目標温
度に上昇あるいは下降及び維持する。この場合、図１５
に示すように槽内の雰囲気温度（同図中の点線参照）は
比較的に短時間で目標温度にすることができるが、槽内
に入れられた検査用治具２の温度（同図中の実線参照）
は、検査用治具２の熱容量の影響で槽内の雰囲気温度に
比べて目標温度に達するまでに非常に長い時間を要す
る。例えば、２５℃から０℃に下降（冷却）する場合に
は、図１６に示すように約６０分が必要となる。しか
も、この時間は槽内に入れる検査用治具２の台数の影響
を受け、台数が多くなればさらに長い時間を要すること
となって、検査効率を悪化させるという問題がある。

【０００５】また、プログラム制御が可能な恒温槽の場
合であれば、図１７に示すように時間Ｔ₁ 〜Ｔ₃ ごとに
数段階に温度指令を変えた温度パターンに従って恒温槽
の温度制御が行われるため、上述の制御方法に比べて検
査用治具２を目標温度にするまでの時間を短縮すること
ができる（同図中の実線参照）。しかしながら、この場
合にも槽内に入れられる検査用治具２の台数が増えれ
ば、検査用治具２が目標温度に達するまでの時間は変動
するという問題がある。また、上記温度パターンを検査
用治具２の台数ごとに設定し、恒温槽にプログラムする
ことが必要となり、手間がかかるという問題がある。

【０００６】本発明は上記問題に鑑みて為されたもので
あり、その目的とするところは、台数によらずに検査用
治具を所定の検査温度に短時間で設定でき、検査時間の
短縮が図れる圧力センサの温度特性検査における温度制
御方法を提供するにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、上記
目的を達成するために、圧力センサの出力特性を検査す
るための検査用治具を恒温槽内に入れ、所定の検査温度
に設定された恒温槽内で、恒温槽内の雰囲気温度に略等
しい温度の空気を検査用治具内に循環させるものであ
り、検査用治具がその内部からも温度を変化させられる
ため、台数によらずに検査用治具を所定の検査温度に短
時間で設定でき、検査時間の短縮が図れる。

【０００８】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、所定の検査温度よりも高い温度に設定された第１の
恒温槽内の空気と、所定の検査温度よりも低い温度に設
定された第２の恒温槽内の空気との少なくとも一方を検
査温度に応じて恒温槽内に入れた検査用治具内に循環さ
せるものであり、検査温度に応じて温度を上昇させる場
合には第１の恒温槽内の空気を循環させ、反対に温度を
下降させる場合には第２の恒温槽内の空気を循環させる
ことにより、より短時間で検査用治具の温度を変化させ
ることができ、検査時間をさらに短縮することができ
る。

【０００９】請求項３の発明は、上記目的を達成するた
めに、圧力センサの出力特性を検査するための検査用治
具を恒温槽内に入れ、検査用治具にヒータを付設し、こ
のヒータを用いて検査用治具の温度を上昇させるもので
あり、検査用治具をヒータで加熱することで台数によら
ずに検査用治具を所定の検査温度に短時間で上昇させる
ことができ、検査時間の短縮が図れる。

【００１０】請求項４の発明は、上記目的を達成するた
めに、圧力センサの出力特性を検査するための検査用治
具を恒温槽内に入れ、検査用治具の治具温度並びに検査
用治具の周囲温度を温度センサにより検出するととも
に、検出した治具温度と所定の検査温度との差分データ
を求め、求めた差分データに応じた温度指令を、恒温槽
の設定温度として恒温槽に与えるとともに、与えられた
温度指令に基づいて恒温槽内の雰囲気温度を温度指令に
応じた設定温度に近づける制御を行なう処理と、検査用
治具の周囲温度が設定温度に近づいた時点で、検査温度
と治具温度の差分データを求め、求めた差分データに応
じた温度指令を恒温槽に与える処理とを繰り返して治具
温度を検査温度に近づけるものであり、恒温槽の温度制
御をリアルタイムで実行することができ、温度制御がス
ムーズ且つ迅速に行え、その結果、台数によらずに検査
用治具を所定の検査温度に短時間で設定でき、検査時間
の短縮が図れる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
参照して詳細に説明する。 （実施形態１）図１に示すように、本実施形態において
は、圧力センサ１の出力特性を検査するための検査用治
具２を恒温槽３内に入れ、所定の検査温度に設定された
恒温槽３内で、恒温槽３内の雰囲気温度に略等しい温度
の空気を検査用治具２内に循環させるようにしている。
なお、恒温槽３は従来例と同じく従来周知の構成を有す
るものであり、設定された目標温度に近づけるべく、与
えられた温度指令に従ってＰＩＤ制御を行ない、恒温槽
３内の雰囲気温度を調整するものである。

【００１２】図２は本実施形態において使用される検査
用治具２を示す斜視図であり、基本的な構成は従来のも
のと共通である。ただし、基台２ａの圧力センサ１が取
り付けられる面の略中央と、加圧板２ｂの外側面の略中
央とには、各々検査用治具２の内部温度を検出するため
の温度センサＳａ₁ …と、検査用治具２の周囲温度を検
出するための温度センサＳｂ₁ …とが設けてある。これ
ら温度センサＳａ₁ …，Ｓｂ₁ …の検出信号は、図３に
示すように恒温槽３内の雰囲気温度を検出するための温
度センサＳｓの検出信号とともにアンプ部４を介して制
御装置５に入力されており、この制御装置５が検査用治
具２の内部温度、周囲温度並びに恒温槽３内の雰囲気温
度に基づいて、恒温槽３に対して検査用治具２の温度を
所定の設定温度とするための温度指令を与えるようにな
っている。

【００１３】図１に示すように、恒温槽３内に収納され
た複数台の検査用治具２の導入管２ｃは、外部からの圧
力印加用の圧縮空気の吸入を開閉する検査用バルブ６及
び循環バルブ７₁ ，７₂ に接続されており、これら一対
の循環バルブ７₁ ，７₂ の間には、熱交換機８及び循環
ポンプ９が直列に接続されている。次に、本実施形態に
おいて検査用治具２の温度を所定の検査温度に上昇ある
いは下降させる方法について説明する。まず、検査用バ
ルブ６を閉止するとともに循環バルブ７₁ ，７₂ を開放
し、各検査用治具２の内部を導入管２ｃを通して循環す
る経路Ａを形成する。それから、循環ポンプ９を運転す
ることにより、熱交換機８にて恒温槽３内の空気との間
で熱交換されて恒温槽３内の雰囲気温度に略等しい温度
となった空気を上記循環経路Ａ内に循環させる。つま
り、目標温度となるように制御されている恒温槽３内の
雰囲気温度と略等しい温度の空気を検査用治具２の内部
に流すため、この空気によって各検査用治具２が内側か
ら加熱あるいは冷却されることになる。制御装置５は温
度センサＳａ₁ …，Ｓｂ₁ …の検出信号に基づいて恒温
槽３に温度指令を与えており、温度センサＳａ₁ …にて
検出される検査用治具２の内部温度及び、温度センサＳ
ｂ₁ …にて検出される検査用治具２の周囲温度が目標温
度すなわち検査温度の近傍に達すれば、循環ポンプ９を
停止するとともに循環バルブ７₁ ，７₂ を閉止して循環
経路Ａを開放する。その後、検査用バルブ６を開放すれ
ば導入管２ｃを通して圧縮空気を各検査用治具２に送
り、所定の温度特性検査を行うことができる。

【００１４】上述のように、恒温槽３内の雰囲気温度に
略等しくした空気を検査用治具２の内部に循環させるこ
とにより、従来のように恒温槽３内の空気で検査用治具
２を外側から加熱あるいは冷却するよりも、迅速且つ短
時間で検査用治具２の温度を所望の検査温度に調整する
ことができ、しかも、恒温槽３内に収納される検査用治
具２の台数によらないものである。その結果、温度特性
検査に要する時間を短縮して、検査効率を向上させるこ
とができるのである。例えば、検査温度に調整するため
の時間を従来の半分に短縮できれば、同じ日数で倍の圧
力センサを検査することができ、圧力センサの生産性が
著しく向上できる。

【００１５】なお、本実施形態においては熱交換機８を
用いて恒温槽３内の雰囲気温度と略等しくされた空気を
循環経路Ａ内に循環させるようにしたが、例えば、熱交
換機８を用いずに恒温槽３の空気を直接循環ポンプ９に
て各検査用治具２の内部に循環させるようにしてもよ
い。 （実施形態２）図４に示すように、本実施形態において
は、所定の検査温度よりも高い温度に設定された第１の
恒温槽１０内の空気と、所定の検査温度よりも低い温度
に設定された第２の恒温槽１１内の空気との少なくとも
一方を検査温度に応じて恒温槽３内の検査用治具２内に
循環させるようにしている。なお、実施形態１と共通す
る構成については同一の符号を付して説明は省略する。

【００１６】本実施形態では、複数台の検査用治具２の
導入管２ｃに接続された循環バルブ７₁ ，７₂ 並びに循
環ポンプ９を恒温槽３の外に設けるとともに、第１の恒
温槽１０内に収納された熱交換機１２並びに循環バルブ
１３と、第２の恒温槽１１に収納された熱交換機１４並
びに循環バルブ１５とが互いに並列に循環ポンプ９に接
続してある。ここで、第１の恒温槽１０は圧力センサ１
の検査温度の最大値＋１０℃に、また、第２の恒温槽１
１は検査温度の最小値−１０℃にそれぞれ設定してあ
る。

【００１７】検査用治具２の温度を所定の検査温度に上
昇させる場合は、検査用バルブ６を閉止するとともに循
環バルブ７₁ ，７₂ を開放し、さらに、第１の恒温槽１
０内の循環バルブ１３を開放することで各検査用治具２
の内部を導入管２ｃを通して循環する経路Ｂを形成す
る。このとき第２の恒温槽１１内の循環バルブ１５は閉
止しておく。それから、循環ポンプ９を運転することに
より、熱交換機１２にて第１の恒温槽１０内の空気との
間で熱交換されて第１の恒温槽１０内の雰囲気温度に略
等しい温度となった空気を上記循環経路Ｂ内に循環させ
る。

【００１８】一方、検査用治具２の温度を所定の検査温
度に下降させる場合は、検査用バルブ６を閉止するとと
もに循環バルブ７₁ ，７₂ を開放し、さらに、第２の恒
温槽１１内の循環バルブ１５を開放することで各検査用
治具２の内部を導入管２ｃを通して循環する経路Ｃを形
成する。このとき第１の恒温槽１０内の循環バルブ１３
は閉止しておく。それから、循環ポンプ９を運転するこ
とにより、熱交換機１４にて第２の恒温槽１１内の空気
との間で熱交換されて第２の恒温槽１１内の雰囲気温度
に略等しい温度となった空気を上記循環経路Ｃ内に循環
させる。なお、上昇時、下降時の何れの場合も恒温槽３
の温度制御は実施形態１で説明した方法で行っているか
ら、詳しい説明は省略する。

【００１９】上述のように、検査用治具２の温度を上昇
させる場合には高い温度に設定された第１の恒温槽１０
の雰囲気温度と略等しい温度の空気を検査用治具２に循
環させ、反対に検査用治具２の温度を下降させる場合に
は低い温度に設定された第２の恒温槽１１の雰囲気温度
と略等しい温度の空気を検査用治具２に循環させること
により、実施形態１の場合に比較してもさらに短時間で
検査用治具２の温度を変化させることができ、検査時間
をさらに短縮することができる。

【００２０】（実施形態３）本実施形態は、実施形態１
又は２において、制御装置５による恒温槽３の温度制御
を以下のように行うものである。つまり、図５に示すよ
うに、検査用治具２の温度を下降させる場合には、まず
最初に、圧力センサ１やケーブル２ｄ等の低温側の耐熱
温度（約マイナス４０℃）に設定する温度指令ＳＳ₁ を
制御装置５から恒温槽３に与えて検査用治具２を冷却す
る。そして、温度センサＳａ₁ …で検出される検査用治
具２の内部温度が最終的な目標温度（検査温度）の近傍
に設定された第１のレベルΔＰ₁ を下回った時点で、制
御装置５がその時点の温度指令ＳＳ₁ に対応する設定温
度と目標温度との差を２で除した値を求め、その値を現
状の温度指令ＳＳ₁ に対応する設定温度に加えた温度を
新たな設定温度とする温度指令ＳＳ₂ を恒温槽３に与え
る。以後、目標温度の近傍に設定された第２及び第３の
レベルΔＰ₂ ，ΔＰ₃ を下回るごとに上記処理を繰り返
す。

【００２１】一方、検査用治具２の温度を上昇させる場
合には、図６に示すように、最初に圧力センサ２やケー
ブル２ｄ等の高温側の耐熱温度（約８０℃）に設定する
温度指令ＳＳ₁ ’を制御装置５から恒温槽３に与え、検
査用治具２を加熱する。そして、温度センサＳａ₁ …で
検出される検査用治具２の内部温度が最終的な目標温度
の近傍に設定された第１のレベルΔＰ₁ ’を上回った時
点で、制御装置５がその時点の温度指令ＳＳ₁ ’に対応
する設定温度と目標温度との差を２で除した値を求め、
その値を現状の温度指令ＳＳ₁ ’に対応する設定温度か
ら引いた温度を新たな設定温度とする温度指令ＳＳ₂ ’
を恒温槽３に与える。以降、目標温度の近傍に設定され
た第２及び第３のレベルΔＰ₂ ’，ΔＰ₃ ’を上回るご
とに上記処理を繰り返す。

【００２２】上述のような温度制御を行うことにより、
最初に恒温槽３内の温度を圧力センサ１等の耐熱温度に
略等しい温度で急速に加熱あるいは冷却し、目標温度に
近づくにつれて恒温槽３の設定温度を目標温度に近づけ
るようにしているので、検査用治具２の温度を急速に変
化（従来の１．５倍〜２倍）させることができ、検査時
間をさらに短縮することができる。

【００２３】（実施形態４）本実施形態は、実施形態１
又は２において、検査用治具２の温度を０℃以下から２
５℃以上に上昇させる場合に、制御装置５による恒温槽
３の温度制御を以下のように行うものである。図７に示
すように、検査用治具２の温度を上昇させる場合に、温
度センサＳａ ₁ …で検出される検査用治具２の内部温度
が２５℃を越えた時点で、制御装置５により恒温槽３の
冷凍機を停止させ、恒温槽３のヒータのみで温度を上昇
させる。そして、検査用治具２の内部温度が最終的な目
標温度（検査温度）の近傍に設定された第１のレベルΔ
Ｐ₁ を越えた時点で、再度冷凍機を運転させる。

【００２４】すなわち、恒温槽３は一般的に温度上昇時
にもヒータだけでなく冷凍機を運転させており、本実施
形態では恒温槽３内でほぼ結露が生じる恐れのない２５
℃以上にて冷凍機の運転を停止させ、これにより恒温槽
３の温度上昇を早めることができる。 （実施形態５）本実施形態は、実施形態１又は２におい
て、制御装置５による恒温槽３の温度制御を以下のよう
に行うものであり、図８の時間−温度のグラフ及び図９
のフローチャートを参照して説明する。

【００２５】まず、スタートしてから温度センサＳａ₁
…により検査用治具２の内部温度Ｐ１を検出し、目標温
度（検査温度）Ｐ０との差分を求めるとともに温度の変
化量を変えるためのデータＮで差分を除したデータＫ＝
（Ｐ０−Ｐ１）／Ｎを求める。そして、このデータＫを
現在の検査用治具２の内部温度Ｐ１に加えた値を温度指
令Ｓ＝Ｐ１＋Ｋとして制御装置５から恒温槽３に与え
る。恒温槽３は与えられた温度指令Ｓの値に設定すべく
ヒータ及び冷凍機を運転して温度制御を行う。この後、
制御装置５は温度センサＳｂ₁ …にて検査用治具２の周
囲温度Ｈ１を検出し、その周囲温度Ｈ１が上記温度指令
Ｓで与えられた温度から±ΔＣの範囲内にあるか否かを
判断し、周囲温度Ｈ１が上記範囲内に低下するまで温度
指令Ｓを維持する。

【００２６】そして、周囲温度Ｈ１が上記範囲内に入れ
ば、再び検査用治具２の内部温度Ｐ２を検出し、上記と
同様の演算によりデータＫ１＝（Ｈ１−Ｐ２）／Ｎ並び
に温度指令Ｓ１＝Ｓ＋Ｋ１を求め、この温度指令Ｓ１を
制御装置５から恒温槽３に与える。さらに、検査用治具
２の内部温度Ｐｎを検出し、この内部温度Ｐｎが予め目
標温度Ｐ０の近傍に設定されている第１のデータΔＰ₁
より低いか否かを判断する。そして、内部温度Ｐｎが第
１のデータΔＰ₁ よりも低くない間は、その周囲温度Ｈ
ｎが上記温度指令Ｓｎで与えられた温度から±ΔＣの範
囲内にあるか否かを判断し、周囲温度Ｈｎが上記範囲内
に低下すれば周囲温度Ｈｎと内部温度Ｐｎから新たな温
度指令Ｓｎを求めて恒温槽３に与える処理を繰り返し実
行する。

【００２７】上記処理を繰り返している間に内部温度Ｐ
ｎが第１のデータΔＰ₁ よりも低くなれば、目標温度Ｐ
０と内部温度Ｐｎとの差分データＤｎ＝Ｐ０−Ｐｎから
新たな温度指令Ｓｎ＝（Ｓｎ−Ｄｎ）／０．６を求め、
制御装置５から恒温槽３に与える。この後、制御装置５
は内部温度Ｐｎを検出し、その内部温度Ｐｎが、第１の
データΔＰ₁ よりも目標温度に近く設定された第２のデ
ータΔＰ₂ より低いか否かを判断し、内部温度Ｐｎが第
２のデータΔＰ₂ に低下するまで温度指令Ｓｎを維持す
る。そして、内部温度Ｐｎが第２のデータΔＰ₂ より低
くなれば、再度目標温度Ｐ０と内部温度Ｐｎとの差分デ
ータＤｎ＝Ｐ０−Ｐｎから新たな温度指令Ｓｎ＝（Ｓｎ
−Ｄｎ）／０．６を求め、制御装置５から恒温槽３に与
える。

【００２８】さらにこの後、制御装置５は内部温度Ｐｎ
を検出し、その内部温度Ｐｎが、第２のデータΔＰ₂ よ
りも目標温度に近く設定された第３のデータΔＰ₃ より
低いか否かを判断し、内部温度Ｐｎが第３のデータΔＰ
₃ に低下するまで温度指令Ｓｎを維持する。そして、内
部温度Ｐｎが第３のデータΔＰ₃ より低くなれば、再度
目標温度Ｐ０と内部温度Ｐｎとの差分データＤｎ＝Ｐ０
−Ｐｎから新たな温度指令Ｓｎ＝（Ｓｎ−Ｄｎ）／０．
６を求め、制御装置５から恒温槽３に与える。そして、
目標温度Ｐ０と内部温度Ｐｎとの差Ｃｎが±１℃以下に
なれば、制御装置５から恒温槽３に目標温度Ｐ０を設定
温度とする温度指令を与えて処理を終了する。

【００２９】なお、図１０は実際に２５℃から目標温度
０℃まで検査用治具２を冷却させた場合の検査用治具２
の周囲温度並びに内部温度（３箇所測定）の下降の様子
を示すグラフであり、図１６に示した従来方法に比較し
て半分の時間（約３０分）で目標温度にまで下降させる
ことができた。上述のように、本実施形態では、検査用
治具２の内部温度Ｐｎ並びに検査用治具２の周囲温度Ｈ
ｎを温度センサＳａ₁ …，Ｓｂ₁ …により検出するとと
もに、検出した内部温度Ｐｎと所定の検査温度（目標温
度）Ｐ０との差分データＫｎ，Ｄｎを求め、求めた差分
データＫｎ，Ｄｎに応じた温度指令Ｓｎを、恒温槽３の
設定温度として恒温槽３に与えるとともに、与えられた
温度指令Ｓｎに基づいて恒温槽３内の雰囲気温度を温度
指令Ｓｎに応じた設定温度に近づける制御を行なう処理
と、検査用治具２の周囲温度Ｈｎが設定温度に近づいた
時点で、検査温度Ｐ０と内部温度Ｐｎの差分データＫ
ｎ，Ｄｎを求め、求めた差分データＫｎ，Ｄｎに応じた
温度指令Ｓｎを恒温槽３に与える処理とを繰り返して内
部温度Ｐｎを検査温度Ｐ０に近づける制御を行っている
ので、恒温槽３の温度制御をリアルタイムで実行するこ
とができ、温度制御がスムーズ且つ迅速に行え、その結
果、台数によらずに検査用治具２を所定の検査温度Ｐ０
に短時間で設定でき、検査時間の短縮が図れるという利
点がある。なお、本実施形態では実施形態１又は２の方
法と同時に行うようにしているが、本実施形態の温度制
御を実施形態１又は２の方法と分けて単独で行うように
してもよい。

【００３０】（実施形態６）本実施形態は、図１１に示
すように検査用治具２の圧力センサ１が取り付けられる
面に帯状のヒータ１６を複数列設し、検査用治具２を温
度上昇させる際に検査用治具２の周囲温度を基準にし
て、これらのヒータ１６により検査用治具２を内部から
加熱する制御を行うものである。

【００３１】本実施形態では、図１２に示すように実施
形態５で説明した温度制御方法を併用し、図１３に示す
ように周囲温度（同図中の点線）と内部温度（同図中の
実線）との差が所定値ΔＣより大きくなった場合にヒー
タ１６に通電して検査用治具２を内部から加熱するよう
にしている。ただし、このヒータ１６を用いた加熱制御
は、内部温度が目標温度の近傍に設定した第１のデータ
ΔＰ₁ を上回った後は行わない。

【００３２】上述のように、検査用治具２にヒータ１６
を付設し、検査用治具２の内部からヒータ１６で加熱す
るようにしたため、検査用治具２をその台数によらずに
所定の検査温度にまで短時間で上昇させることができ、
検査時間の短縮が図れるものである。なお、本実施形態
では実施形態１又は２あるいは５の方法と同時に行うよ
うにしているが、本実施形態の温度制御を単独で行うよ
うにしてもよい。

【００３３】

【発明の効果】請求項１の発明は、圧力センサの出力特
性を検査するための検査用治具を恒温槽内に入れ、所定
の検査温度に設定された恒温槽内で、恒温槽内の雰囲気
温度に略等しい温度の空気を検査用治具内に循環させる
ので、検査用治具がその内部からも温度を変化させられ
るため、台数によらずに検査用治具を所定の検査温度に
短時間で設定でき、検査時間の短縮が図れるという効果
がある。

【００３４】請求項２の発明は、所定の検査温度よりも
高い温度に設定された第１の恒温槽内の空気と、所定の
検査温度よりも低い温度に設定された第２の恒温槽内の
空気との少なくとも一方を検査温度に応じて恒温槽内に
入れた検査用治具内に循環させるので、検査温度に応じ
て温度を上昇させる場合には第１の恒温槽内の空気を循
環させ、反対に温度を下降させる場合には第２の恒温槽
内の空気を循環させることにより、より短時間で検査用
治具の温度を変化させることができ、検査時間をさらに
短縮することができるという効果がある。

【００３５】請求項３の発明は、圧力センサの出力特性
を検査するための検査用治具を恒温槽内に入れ、検査用
治具にヒータを付設し、このヒータを用いて検査用治具
の温度を上昇させるので、検査用治具をヒータで加熱す
ることで台数によらずに検査用治具を所定の検査温度に
短時間で上昇させることができ、検査時間の短縮が図れ
るという効果がある。

【００３６】請求項４の発明は、圧力センサの出力特性
を検査するための検査用治具を恒温槽内に入れ、検査用
治具の治具温度並びに検査用治具の周囲温度を温度セン
サにより検出するとともに、検出した治具温度と所定の
検査温度との差分データを求め、求めた差分データに応
じた温度指令を、恒温槽の設定温度として恒温槽に与え
るとともに、与えられた温度指令に基づいて恒温槽内の
雰囲気温度を温度指令に応じた設定温度に近づける制御
を行なう処理と、検査用治具の周囲温度が設定温度に近
づいた時点で、検査温度と治具温度の差分データを求
め、求めた差分データに応じた温度指令を恒温槽に与え
る処理とを繰り返して治具温度を検査温度に近づけるの
で、恒温槽の温度制御をリアルタイムで実行することが
でき、温度制御がスムーズ且つ迅速に行え、その結果、
台数によらずに検査用治具を所定の検査温度に短時間で
設定でき、検査時間の短縮が図れるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施形態１を説明するための構成図である。

【図２】同上における検査用治具を示す斜視図である。

【図３】同上を説明するための構成図である。

【図４】実施形態２を説明するための構成図である。

【図５】実施形態３を説明するための説明図である。

【図６】同上を説明するための説明図である。

【図７】実施形態４を説明するための説明図である。

【図８】実施形態５を説明するための説明図である。

【図９】同上を説明するためのフローチャートである。

【図１０】同上を説明するための説明図である。

【図１１】実施形態６における検査用治具を示す斜視図
である。

【図１２】同上を説明するための説明図である。

【図１３】同上を説明するための説明図である。

【図１４】従来例における検査用治具を示す斜視図であ
る。

【図１５】同上を説明するための説明図である。

【図１６】同上を説明するための説明図である。

【図１７】他の従来例を説明するための説明図である。

【符号の説明】

１ 圧力センサ ２ 検査用治具 ２ｃ 導入管 ３ 恒温槽 ６ 検査用バルブ ７₁ ，７₂ 循環バルブ ８ 熱交換機 ９ 循環ポンプ Ａ 循環経路

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【手続補正書】

【提出日】平成８年１０月２１日

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧力センサの出力特性を検査するための
   検査用治具を恒温槽内に入れ、所定の検査温度に設定さ
   れた恒温槽内で、恒温槽内の雰囲気温度に略等しい温度
   の空気を検査用治具内に循環させることを特徴とする圧
   力センサの温度特性検査における温度制御方法。
2. 【請求項２】 所定の検査温度よりも高い温度に設定さ
   れた第１の恒温槽内の空気と、所定の検査温度よりも低
   い温度に設定された第２の恒温槽内の空気との少なくと
   も一方を検査温度に応じて恒温槽内に入れた検査用治具
   内に循環させることを特徴とする請求項１記載の圧力セ
   ンサの温度特性検査における温度制御方法。
3. 【請求項３】 圧力センサの出力特性を検査するための
   検査用治具を恒温槽内に入れ、検査用治具にヒータを付
   設し、このヒータを用いて検査用治具の温度を上昇させ
   ることを特徴とする圧力センサの温度特性検査における
   温度制御方法。
4. 【請求項４】 圧力センサの出力特性を検査するための
   検査用治具を恒温槽内に入れ、検査用治具の治具温度並
   びに検査用治具の周囲温度を温度センサにより検出する
   とともに、検出した治具温度と所定の検査温度との差分
   データを求め、求めた差分データに応じた温度指令を、
   恒温槽の設定温度として恒温槽に与えるとともに、与え
   られた温度指令に基づいて恒温槽内の雰囲気温度を温度
   指令に応じた設定温度に近づける制御を行なう処理と、
   検査用治具の周囲温度が設定温度に近づいた時点で、検
   査温度と治具温度の差分データを求め、求めた差分デー
   タに応じた温度指令を恒温槽に与える処理とを繰り返し
   て治具温度を検査温度に近づけることを特徴とする圧力
   センサの温度特性検査における温度制御方法。