JP5479868B2 - ペリクル及びその取付方法 - Google Patents
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Description
表面をアルマイト処理した、平面視長方形のアルミニウム合金製の枠体(内寸1493mm×1711mm、長辺幅16.5mm、短辺幅18.5mm、高さ6.0mm)の長辺の2辺の側面中央付近に直径1.5mmの貫通孔を4個ずつ、計8個あけ第一の貫通孔とした。次に、枠体の角部と第一の貫通孔との間に直径2.2mmの貫通孔を2個ずつ、計4個あけ第二の貫通孔とした。
枠体の寸法を、内寸1122mm×1342mm、長辺幅12mm、短辺幅12mm、高さ5.0mmとした以外は、実施例1と同じようにしてペリクルを作製し、同じ条件でペリクル膜を2mm高くなるまで膨らませた後、膨れ量が0mmとなるまでに要した時間を測定した。その結果を表1に示す。また、同じ条件で目視検査も行った。その結果も表1に示す。
第二の貫通孔に取り付けた超高分子量ポリエチレン製のフィルターをシール材(日東電工製「エコクリアテープ」)3mm×7.5mmに変更した以外は実施例1と同じようにしてペリクルを作製し、同じ条件でペリクル膜を2mm高くなるまで膨らませた。その後、前記シール材を4個とも取り外してペリクル膜の膨れ量が0mmとなるまでに要した時間を測定した。その結果を表1に示す。測定後は、前記シール材と同じ寸法、同じ形状の新しいシール材を貼り付けて、第二の貫通孔を封止した。その後、ペリクル内に異物が混入したかどうかを目視検査した。その結果も表1に示す。
枠体の寸法を、内寸1122mm×1342mm、長辺幅12mm、短辺幅12mm、高さ5.0mmとした以外は、実施例3と同じようにしてペリクルを作製し、同じ条件でペリクル膜を2mm高くなるまで膨らませた後、膨れ量が0mmとなるまでに要した時間を測定した。その結果を表1に示す。また、同じ条件で目視検査も行った。その結果も表1に示す。
枠体が第二の貫通孔を有さない以外は、実施例1と同じようにしてペリクルを作製し、同じ条件でペリクル膜を2mm高くなるまで膨らませた後、膨れ量が0mmとなるまでに要した時間を測定した。その結果を表1に示す。また、同じ条件で目視検査も行った。その結果も表1に示す。
枠体が第二の貫通孔を有さない以外は、実施例2と同じようにしてペリクルを作製し、同じ条件でペリクル膜を2mm高くなるまで膨らませた後、膨れ量が0mmとなるまでに要した時間を測定した。その結果を表1に示す。また、同じ条件で目視検査も行った。その結果も表1に示す。
枠体が第二の貫通孔を有さないことと、第一の貫通孔を長辺の2辺の中央に8個ずつ計16個にしたこと以外は、実施例2と同じようにしてペリクルを作製し、同じ条件でペリクル膜を2mm高くなるまで膨らませた後、膨れ量が0mmとなるまでに要した時間を測定した。その結果を表1に示す。また、同じ条件で目視検査も行った。その結果も表1に示す。
2…枠体
3…粘着材層
4…ペリクル膜
5…第一の貫通孔
6…第二の貫通孔
7…フォトマスク
8…フィルター
Claims (8)
- 枠体と、前記枠体の下縁面に積層された粘着材層と、前記枠体の上縁面に展張接着されたペリクル膜と、を備えるペリクルであって、
第一のフィルターが取り付けられた第一の貫通孔と、第二のフィルターが取り付けられた第二の貫通孔と、を前記枠体の側面に有し、
前記第二のフィルターの圧力損失が、前記第一のフィルターの圧力損失より小さく設定されてなり、
前記枠体の側面における前記第一の貫通孔の開口部の合計面積が、前記ペリクル膜の面積1000cm 2 あたり0.1mm 2 以上10mm 2 以下に設定されてなる、ペリクル。 - 枠体と、前記枠体の下縁面に積層された粘着材層と、前記枠体の上縁面に展張接着されたペリクル膜と、を備えるペリクルであって、
第一のフィルターが取り付けられた第一の貫通孔と、第二のフィルターが取り付けられた第二の貫通孔と、を前記枠体の側面に有し、
前記第二のフィルターの圧力損失が、前記第一のフィルターの圧力損失より小さく設定されてなり、
前記枠体の側面における前記第二の貫通孔の開口部の合計面積が、前記ペリクル膜の面積1000cm 2 あたり0.6mm 2 以上30mm 2 以下に設定されてなる、ペリクル。 - 枠体と、前記枠体の下縁面に積層された粘着材層と、前記枠体の上縁面に展張接着されたペリクル膜と、を備えるペリクルであって、
フィルターが取り付けられた第一の貫通孔と、開閉可能通気手段が取り付けられた第二の貫通孔と、を前記枠体の側面に有するものである、ペリクル。 - 前記枠体の側面における前記第一の貫通孔の開口部の合計面積が、前記ペリクル膜の面積1000cm2あたり0.1mm2以上10mm2以下に設定されてなる、請求項3に記載のペリクル。
- 前記枠体の側面における前記第二の貫通孔の開口部の合計面積が、前記ペリクル膜の面積1000cm2あたり0.6mm2以上30mm2以下に設定されてなる、請求項3又は4に記載のペリクル。
- 請求項1又は2に記載のペリクルをフォトマスクに取り付ける方法であって、
前記ペリクルを前記粘着材層で前記フォトマスクに貼り付ける工程と、
前記ペリクル膜の中央部の膨れ量が所定の値以下に回復した後に前記第二の貫通孔にシール材を取り付ける工程と、
を含む、ペリクルの取付け方法。 - 請求項3から5の何れか一項に記載のペリクルをフォトマスクに取り付ける方法であって、
前記開閉可能通気手段を閉状態にして前記ペリクルを前記粘着材層で前記フォトマスクに貼り付ける工程と、
前記開閉可能通気手段を開状態にする工程と、
前記ペリクル膜の中央部の膨れ量が所定の値以下に回復した後に前記開閉可能通気手段を閉状態にする工程と、
を含む、ペリクルの取付方法。 - 枠体と、前記枠体の下縁面に積層された粘着材層と、前記枠体の上縁面に展張接着されたペリクル膜と、を有するペリクルをフォトマスクに取り付ける方法であって、
前記ペリクルは、フィルターが取り付けられた第一の貫通孔と、フィルター又はシール材が取り外し可能に取り付けられた第二の貫通孔と、を前記枠体の側面に有し、
前記ペリクルを前記粘着材層で前記フォトマスクに貼り付ける工程と、
前記第二の貫通孔から前記フィルター又は前記シール材を取り外す工程と、
前記ペリクル膜の中央部の膨れ量が所定の値以下に回復した後に前記第二の貫通孔に前記フィルター又は前記シール材を取り付ける工程と、
を含む、ペリクルの取付方法。
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