JPH09155169A - 気体透過性膜 - Google Patents
気体透過性膜Info
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- JPH09155169A JPH09155169A JP31903495A JP31903495A JPH09155169A JP H09155169 A JPH09155169 A JP H09155169A JP 31903495 A JP31903495 A JP 31903495A JP 31903495 A JP31903495 A JP 31903495A JP H09155169 A JPH09155169 A JP H09155169A
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- Japan
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- gas
- permeable membrane
- gas permeable
- fluorosilicone
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- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 酸素の透過性に優れ、水蒸気の阻止特性に優
れた気体透過性膜を得る。 【解決手段】 酸素透過性に優れ、水蒸気の阻止特性が
大きな気体透過性膜において、延伸処理によってフィブ
リル化した多孔性のフッ素樹脂フイルムの一方の面に、
ポリテトラフルオロエチレン樹脂層またはフルオロエチ
レンプロピレン共重合体層を有し、他方の面には、フッ
素ゴム層、フロロシリコーン層またはシリコーンエラス
トマー層の少なくともいずれかを有する気体透過性膜で
あり、溶存酸素濃度測定用センサ、空気電池等の用途に
好適である。
れた気体透過性膜を得る。 【解決手段】 酸素透過性に優れ、水蒸気の阻止特性が
大きな気体透過性膜において、延伸処理によってフィブ
リル化した多孔性のフッ素樹脂フイルムの一方の面に、
ポリテトラフルオロエチレン樹脂層またはフルオロエチ
レンプロピレン共重合体層を有し、他方の面には、フッ
素ゴム層、フロロシリコーン層またはシリコーンエラス
トマー層の少なくともいずれかを有する気体透過性膜で
あり、溶存酸素濃度測定用センサ、空気電池等の用途に
好適である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、気体透過性膜に関
し、特に溶存酸素濃度測定用センサ用の選択透過性膜の
ような液体を透過させず酸素のみを透過する膜、水蒸気
を透過させずに酸素のみを透過する膜、気液混合物から
気体を分離する膜に関する。
し、特に溶存酸素濃度測定用センサ用の選択透過性膜の
ような液体を透過させず酸素のみを透過する膜、水蒸気
を透過させずに酸素のみを透過する膜、気液混合物から
気体を分離する膜に関する。
【０００２】
【従来の技術】液体中に含まれている気体と液体を分離
したり、気体と水蒸気を分離する目的で各種の気体透過
性膜が用いられている。
したり、気体と水蒸気を分離する目的で各種の気体透過
性膜が用いられている。
【０００３】たとえば、図２にその１例の断面を示すよ
うに、溶存酸素濃度測定用センサ２１は、電気化学的に
酸素を検出するセンサであり、酸素は透過するが液体物
質を透過させない気体透過性膜２２で密封した容器２３
内に電解液２４と気体透過性膜２２に近接して酸素検出
電極２５を設けている。気体透過性膜２２には、酸素を
透過するが、水蒸気の透過性が小さく、電解液が透過し
ない合成樹脂の薄膜が用いられている。気体透過性膜２
２は、溶存酸素濃度測定用センサの本体にシリコーンゴ
ムなどのＯリング２６を介して密封取付手段２７で取り
付けられている。気体透過性膜としては、各種の合成樹
脂フイルムが用いられているが、とくにフッ素樹脂の一
種であるフルオロエチレンプロピレン共重合体樹脂（Ｆ
ＥＰ）が、酸素の透過特性および液体あるいは水蒸気の
阻止特性が好ましく、耐食性も大きいことから好んで用
いられている。
うに、溶存酸素濃度測定用センサ２１は、電気化学的に
酸素を検出するセンサであり、酸素は透過するが液体物
質を透過させない気体透過性膜２２で密封した容器２３
内に電解液２４と気体透過性膜２２に近接して酸素検出
電極２５を設けている。気体透過性膜２２には、酸素を
透過するが、水蒸気の透過性が小さく、電解液が透過し
ない合成樹脂の薄膜が用いられている。気体透過性膜２
２は、溶存酸素濃度測定用センサの本体にシリコーンゴ
ムなどのＯリング２６を介して密封取付手段２７で取り
付けられている。気体透過性膜としては、各種の合成樹
脂フイルムが用いられているが、とくにフッ素樹脂の一
種であるフルオロエチレンプロピレン共重合体樹脂（Ｆ
ＥＰ）が、酸素の透過特性および液体あるいは水蒸気の
阻止特性が好ましく、耐食性も大きいことから好んで用
いられている。
【０００４】溶存酸素濃度測定用センサの気体透過性膜
には、一般に厚さが２５μｍ程度のフイルムが用いられ
ているが、気体透過性膜の厚さは、酸素の透過性に影響
を与えるので、応答速度が速く検出特性に優れた溶存酸
素濃度測定用センサを得るために、膜厚が薄い気体透過
性膜が求められている。ところが、膜厚が薄い気体透過
性膜は強度が小さく、溶存酸素濃度測定用センサにＯリ
ングを使用して取り付ける際、あるいはセンサの使用時
に破損しやすいという問題があった。
には、一般に厚さが２５μｍ程度のフイルムが用いられ
ているが、気体透過性膜の厚さは、酸素の透過性に影響
を与えるので、応答速度が速く検出特性に優れた溶存酸
素濃度測定用センサを得るために、膜厚が薄い気体透過
性膜が求められている。ところが、膜厚が薄い気体透過
性膜は強度が小さく、溶存酸素濃度測定用センサにＯリ
ングを使用して取り付ける際、あるいはセンサの使用時
に破損しやすいという問題があった。
【０００５】また、空気電池においては、空気孔に電池
反応に使用する酸素を透過し、電解液に悪影響を与える
水蒸気の阻止特性に優れた気体透過性膜が用いられてい
るが、あらゆる環境において、長期にわたり安定して電
流を取り出すことが可能な電池用の気体透過性膜が求め
られている。
反応に使用する酸素を透過し、電解液に悪影響を与える
水蒸気の阻止特性に優れた気体透過性膜が用いられてい
るが、あらゆる環境において、長期にわたり安定して電
流を取り出すことが可能な電池用の気体透過性膜が求め
られている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、酸素の透過
性に優れ、水蒸気や液体の阻止特性に優れた気体透過性
膜を提供することを課題とするものである。
性に優れ、水蒸気や液体の阻止特性に優れた気体透過性
膜を提供することを課題とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、酸素透過性に
優れ、水蒸気の阻止特性が大きな気体透過性膜におい
て、延伸処理によってフィブリル化した多孔性のフッ素
樹脂フイルムの一方の面に、ポリテトラフルオロエチレ
ン樹脂層またはフルオロエチレンプロピレン共重合体層
を有し、他方の面には、フッ素ゴム層、フロロシリコー
ン層またはシリコーンエラストマー層の少なくともいず
れかの層を有する気体透過性膜である。また、気体透過
性膜で密封した容器内に電解液と気体透過性膜に近接し
て酸素検出手段を設けた溶存酸素濃度測定用センサにお
いて、気体透過性膜として延伸処理によってフィブリル
化した多孔性のフッ素樹脂フイルムの一方の面にポリテ
トラフルオロエチレン樹脂層またはフルオロエチレンプ
ロピレン共重合体層を有し、他方の面にはフッ素ゴム
層、フロロシリコーン層またはシリコーンエラストマー
層の少なくいずれかの層を有する気体透過性膜を有する
溶存酸素濃度測定用センサである。また、空気電池にお
いて、酸素導入口には、延伸処理によってフィブリル化
した多孔性のフッ素樹脂フイルムの一方の面にポリテト
ラフルオロエチレン樹脂層またはフルオロエチレンプロ
ピレン共重合体層を有し、他方の面にはフッ素ゴム層、
フロロシリコーン層またはシリコーンエラストマー層の
少なくともいずれかの層を有する気体透過性膜を設けた
空気電池である。
優れ、水蒸気の阻止特性が大きな気体透過性膜におい
て、延伸処理によってフィブリル化した多孔性のフッ素
樹脂フイルムの一方の面に、ポリテトラフルオロエチレ
ン樹脂層またはフルオロエチレンプロピレン共重合体層
を有し、他方の面には、フッ素ゴム層、フロロシリコー
ン層またはシリコーンエラストマー層の少なくともいず
れかの層を有する気体透過性膜である。また、気体透過
性膜で密封した容器内に電解液と気体透過性膜に近接し
て酸素検出手段を設けた溶存酸素濃度測定用センサにお
いて、気体透過性膜として延伸処理によってフィブリル
化した多孔性のフッ素樹脂フイルムの一方の面にポリテ
トラフルオロエチレン樹脂層またはフルオロエチレンプ
ロピレン共重合体層を有し、他方の面にはフッ素ゴム
層、フロロシリコーン層またはシリコーンエラストマー
層の少なくいずれかの層を有する気体透過性膜を有する
溶存酸素濃度測定用センサである。また、空気電池にお
いて、酸素導入口には、延伸処理によってフィブリル化
した多孔性のフッ素樹脂フイルムの一方の面にポリテト
ラフルオロエチレン樹脂層またはフルオロエチレンプロ
ピレン共重合体層を有し、他方の面にはフッ素ゴム層、
フロロシリコーン層またはシリコーンエラストマー層の
少なくともいずれかの層を有する気体透過性膜を設けた
空気電池である。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の気体透過性膜は、図１に
その一例の断面図を示すように、気体透過性膜１は、延
伸処理によってフィブリル化した多孔性のフッ素樹脂フ
イルム２を基体とし、基体の一方の面にポリテトラフル
オロエチレン樹脂層またはフルオロエチレンプロピレン
共重合体樹脂層３である酸素の透過性および水蒸気の阻
止特性に優れた層を有している。支持体上に形成されて
いるので、ポリテトラフルオロエチレン樹脂層またはフ
ルオロエチレンプロピレン共重合体樹脂層を単独で用い
る場合に比べてポリテトラフルオロエチレン樹脂層また
はフルオロエチレンプロピレン共重合体樹脂層の膜厚を
薄くすることが可能となり、溶存酸素濃度測定用センサ
に用いる場合には、応答速度の速い気体透過性膜が得ら
れる。さらに、基体のポリテトラフルオロエチレン樹脂
層またはフルオロエチレンプロピレン共重合体層を設け
た面の反対側の面には、フッ素ゴム層、フロロシリコー
ン層、シリコーンエラストマー層４の少なくともいずれ
かの層が形成されており、フロロシリコーン層による水
蒸気の阻止特性とともに、フロロシリコーン層等の有す
る良好なシール特性によって、Ｏリング等のガスケット
を用いることなく確実に密封することが可能となる。
その一例の断面図を示すように、気体透過性膜１は、延
伸処理によってフィブリル化した多孔性のフッ素樹脂フ
イルム２を基体とし、基体の一方の面にポリテトラフル
オロエチレン樹脂層またはフルオロエチレンプロピレン
共重合体樹脂層３である酸素の透過性および水蒸気の阻
止特性に優れた層を有している。支持体上に形成されて
いるので、ポリテトラフルオロエチレン樹脂層またはフ
ルオロエチレンプロピレン共重合体樹脂層を単独で用い
る場合に比べてポリテトラフルオロエチレン樹脂層また
はフルオロエチレンプロピレン共重合体樹脂層の膜厚を
薄くすることが可能となり、溶存酸素濃度測定用センサ
に用いる場合には、応答速度の速い気体透過性膜が得ら
れる。さらに、基体のポリテトラフルオロエチレン樹脂
層またはフルオロエチレンプロピレン共重合体層を設け
た面の反対側の面には、フッ素ゴム層、フロロシリコー
ン層、シリコーンエラストマー層４の少なくともいずれ
かの層が形成されており、フロロシリコーン層による水
蒸気の阻止特性とともに、フロロシリコーン層等の有す
る良好なシール特性によって、Ｏリング等のガスケット
を用いることなく確実に密封することが可能となる。
【０００９】本発明の気体透過性膜に用いることができ
る多孔性の基体には、各種の多孔性のフッ素樹脂フイル
ムを用いることができるが、ポリテトラフロオロエチレ
ンフイルムを延伸処理によってフィブリル化した多孔質
膜が好ましい。この延伸多孔質ポリテトラフルオロエチ
レン膜は、ポリテトラフルオロエチレン樹脂またはフル
オロエチレンプロピレン共重合体と親和性が良好で、耐
熱性、耐食性等に優れている。多孔性の基体には、気孔
率が２０ないし９５％のものが好ましく、とくに５０な
いし８０％のものが好ましい。気孔率が２０％よりも小
さいとポリテトラフルオロエチレン樹脂またはフルオロ
エチレンプロピレン共重合体のディスパージョンの含浸
が困難になるので好ましくなく、９５％よりも大きいと
これらのディスパージョンが気孔中に入って気孔を埋め
てしまうので好ましくない。また、孔径は、０．０１な
いし５μｍのものが好ましく、とくに０．１ないし１μ
ｍのものが好ましい。孔径が０．０１μｍよりも小さい
とフッ素ゴム、フロロシリコーン、シリコーンエラスト
マーの含浸特性が悪くなるので好ましくなく、５μｍよ
りも大きいとポリテトラフルオロエチレン樹脂またはフ
ルオロエチレンプロピレン共重合体ディスパージョンの
含浸量が多くなりすぎるので好ましくない。
る多孔性の基体には、各種の多孔性のフッ素樹脂フイル
ムを用いることができるが、ポリテトラフロオロエチレ
ンフイルムを延伸処理によってフィブリル化した多孔質
膜が好ましい。この延伸多孔質ポリテトラフルオロエチ
レン膜は、ポリテトラフルオロエチレン樹脂またはフル
オロエチレンプロピレン共重合体と親和性が良好で、耐
熱性、耐食性等に優れている。多孔性の基体には、気孔
率が２０ないし９５％のものが好ましく、とくに５０な
いし８０％のものが好ましい。気孔率が２０％よりも小
さいとポリテトラフルオロエチレン樹脂またはフルオロ
エチレンプロピレン共重合体のディスパージョンの含浸
が困難になるので好ましくなく、９５％よりも大きいと
これらのディスパージョンが気孔中に入って気孔を埋め
てしまうので好ましくない。また、孔径は、０．０１な
いし５μｍのものが好ましく、とくに０．１ないし１μ
ｍのものが好ましい。孔径が０．０１μｍよりも小さい
とフッ素ゴム、フロロシリコーン、シリコーンエラスト
マーの含浸特性が悪くなるので好ましくなく、５μｍよ
りも大きいとポリテトラフルオロエチレン樹脂またはフ
ルオロエチレンプロピレン共重合体ディスパージョンの
含浸量が多くなりすぎるので好ましくない。
【００１０】また、多孔性樹脂の基体は、厚みが５ない
し１００μｍのものが好ましく、とくに１０ないし３０
μｍのものが好ましい。厚みが５μｍよりも小さいとフ
ッ素ゴム、フロロシリコーン、シリコーンエラストマー
等の層が薄くなりすぎて強度が小さくなるので好ましく
なく、１００μｍよりも大きいと全体の厚さが厚くなり
すぎるので好ましくない。
し１００μｍのものが好ましく、とくに１０ないし３０
μｍのものが好ましい。厚みが５μｍよりも小さいとフ
ッ素ゴム、フロロシリコーン、シリコーンエラストマー
等の層が薄くなりすぎて強度が小さくなるので好ましく
なく、１００μｍよりも大きいと全体の厚さが厚くなり
すぎるので好ましくない。
【００１１】フッ素樹脂の多孔性フイルムの基体上に設
けるポリテトラフルオロエチレン樹脂層またはフルオロ
エチレンプロピレン共重合体層の厚みは、気体の透過性
と水蒸気の遮断を確実にするためには、１ないし１５μ
ｍのものが好ましい。この厚みは使用目的に応じて、適
宜設定することができ、溶存酸素濃度測定用センサの選
択性透過膜に用いる場合には、３ないし７μｍのものを
使用することができる。 このポリテトラフルオロエチ
レン層またはフルオロエチレンプロピレン共重合体層
は、気体透過係数が優れており、酸素透過性が良好であ
る一方、水蒸気の透過性は小さく、気体以外の物質は実
質的に透過させないという特性を有し、さらに耐食性に
も優れているため環境適応性が良好で使用しやすい利点
がある。
けるポリテトラフルオロエチレン樹脂層またはフルオロ
エチレンプロピレン共重合体層の厚みは、気体の透過性
と水蒸気の遮断を確実にするためには、１ないし１５μ
ｍのものが好ましい。この厚みは使用目的に応じて、適
宜設定することができ、溶存酸素濃度測定用センサの選
択性透過膜に用いる場合には、３ないし７μｍのものを
使用することができる。 このポリテトラフルオロエチ
レン層またはフルオロエチレンプロピレン共重合体層
は、気体透過係数が優れており、酸素透過性が良好であ
る一方、水蒸気の透過性は小さく、気体以外の物質は実
質的に透過させないという特性を有し、さらに耐食性に
も優れているため環境適応性が良好で使用しやすい利点
がある。
【００１２】また、多孔性のフッ素樹脂フイルムのポリ
テトラフルオロエチレン樹脂層、またはフルオロエチレ
ンプロピレン共重合体層を形成する側とは反対の側に形
成するフッ素ゴム、フロロシリコーン層、シリコーンエ
ラストマー層は、気体の透過性と水蒸気の遮断を確実に
するためには、１０ないし７０μｍのものが好ましい。
多孔性のフッ素樹脂フイルム上に形成するポリテトラ
フルオロエチレン樹脂層またはフルオロエチレンプロピ
レン共重合体層は、薄いフイルムを積層、もしくはポリ
テトラフルオロエチレン樹脂またはフルオロエチレンプ
ロピレン共重合体のディスパージョンを塗布した後に、
乾燥後加熱溶融することによって製造することができ
る。とくに、ディスパージョンを塗布し加熱溶融する方
法では、厚みの薄い層を容易に形成することができる。
ここで、ディスパージョンの濃度は、２０〜４０重量
％、粒径は０．０１〜１μｍのものが好ましい。
テトラフルオロエチレン樹脂層、またはフルオロエチレ
ンプロピレン共重合体層を形成する側とは反対の側に形
成するフッ素ゴム、フロロシリコーン層、シリコーンエ
ラストマー層は、気体の透過性と水蒸気の遮断を確実に
するためには、１０ないし７０μｍのものが好ましい。
多孔性のフッ素樹脂フイルム上に形成するポリテトラ
フルオロエチレン樹脂層またはフルオロエチレンプロピ
レン共重合体層は、薄いフイルムを積層、もしくはポリ
テトラフルオロエチレン樹脂またはフルオロエチレンプ
ロピレン共重合体のディスパージョンを塗布した後に、
乾燥後加熱溶融することによって製造することができ
る。とくに、ディスパージョンを塗布し加熱溶融する方
法では、厚みの薄い層を容易に形成することができる。
ここで、ディスパージョンの濃度は、２０〜４０重量
％、粒径は０．０１〜１μｍのものが好ましい。
【００１３】また、膜厚の大きな層を形成する場合に
は、ディスパージョンの塗布および乾燥の工程を繰り返
し行った後に加熱溶融する。加熱溶融は２８０ないし４
００℃の温度に１０ないし１８０秒間加熱することが好
ましい。
は、ディスパージョンの塗布および乾燥の工程を繰り返
し行った後に加熱溶融する。加熱溶融は２８０ないし４
００℃の温度に１０ないし１８０秒間加熱することが好
ましい。
【００１４】基体のポリテトラフルオロエチレン、フル
オロエチレンプロピレン層を形成した側とは反対側に形
成するフッ素ゴム層、フロロシリコーン層、シリコーン
エラストマー層は、未硬化のフッ素ゴム、フロロシリコ
ーン、シリコーンエラストマーを基体上に塗布の後に、
１００ないし１５０℃において、０．５ないし５時間加
熱して硬化させることが好ましい。
オロエチレンプロピレン層を形成した側とは反対側に形
成するフッ素ゴム層、フロロシリコーン層、シリコーン
エラストマー層は、未硬化のフッ素ゴム、フロロシリコ
ーン、シリコーンエラストマーを基体上に塗布の後に、
１００ないし１５０℃において、０．５ないし５時間加
熱して硬化させることが好ましい。
【００１５】
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明を説明する。 実施例１ （気体透過性膜の製造）延伸によってフィブリル化した
厚さ３０μｍ、気孔率８０％、最大孔径１μｍを有する
ポリテトラフルオロエチレンフイルム基体の一方の面
に、フルオロエチレンプロピレン共重合体のディスパー
ジョン（三井デュポンフロロケミカル社製テフロン１２
０Ｊ）の塗布および乾燥の後に、３２０℃で３０秒間加
熱溶融し、厚さ３μｍの層を形成した。さらに、同様の
ディスパージョンの塗布、焼成の工程を再度行い５μｍ
の厚さの層を形成した。次いで、層を形成した面の反対
側の面にフロロシリコーン塗布した後に、１５０℃で１
時間加熱硬化し、厚さ３０μｍの層を形成した。
厚さ３０μｍ、気孔率８０％、最大孔径１μｍを有する
ポリテトラフルオロエチレンフイルム基体の一方の面
に、フルオロエチレンプロピレン共重合体のディスパー
ジョン（三井デュポンフロロケミカル社製テフロン１２
０Ｊ）の塗布および乾燥の後に、３２０℃で３０秒間加
熱溶融し、厚さ３μｍの層を形成した。さらに、同様の
ディスパージョンの塗布、焼成の工程を再度行い５μｍ
の厚さの層を形成した。次いで、層を形成した面の反対
側の面にフロロシリコーン塗布した後に、１５０℃で１
時間加熱硬化し、厚さ３０μｍの層を形成した。
【００１６】（気体透過性膜の評価）このようにして得
られた気体透過性膜を評価装置（東洋精機製 高湿式ガ
ス透過率測定装置 Ｎｏ．５７１）に取り付け酸素およ
び水蒸気の透過特性について調べた。その結果、酸素透
過特性は１００００〜１４０００ｍ3・ｍｍ／ｍ2ＭＰａ
であった。また、水蒸気の透過量は、４０℃で３．１×
１０-5ｇ／ｃｍ2／２４時間・５μであった。なお、評
価装置に、この気体透過性膜を取り付ける際に、Ｏリン
グ、ガスケット等の密封手段を設けなくてもフロロシリ
コーン層によって密封状態は良好であり、また取付時の
強度不足による破損も生じなかった。
られた気体透過性膜を評価装置（東洋精機製 高湿式ガ
ス透過率測定装置 Ｎｏ．５７１）に取り付け酸素およ
び水蒸気の透過特性について調べた。その結果、酸素透
過特性は１００００〜１４０００ｍ3・ｍｍ／ｍ2ＭＰａ
であった。また、水蒸気の透過量は、４０℃で３．１×
１０-5ｇ／ｃｍ2／２４時間・５μであった。なお、評
価装置に、この気体透過性膜を取り付ける際に、Ｏリン
グ、ガスケット等の密封手段を設けなくてもフロロシリ
コーン層によって密封状態は良好であり、また取付時の
強度不足による破損も生じなかった。
【００１７】実施例２ （気体透過性膜の製造）延伸によってフィブリル化した
厚さ３０μｍ、気孔率８０％、最大孔径１μｍを有する
ポリテトラフルオロエチレンフイルム基体の一方の面
に、フルオロエチレンプロピレン共重合体のディスパー
ジョン（三井デュポンフロロケミカル社製テフロン３０
Ｊ）の塗布および乾燥の後に、３６０℃で１００秒間加
熱溶融し、厚さ３μｍの層を形成した。次いで、層を形
成した面の反対側の面にシリコーンエラストマー（信越
化学工業製 ＫＥ１０６）を塗布した後に、１５０℃で
１時間加熱硬化し、厚さ３０μｍの層を形成した。
厚さ３０μｍ、気孔率８０％、最大孔径１μｍを有する
ポリテトラフルオロエチレンフイルム基体の一方の面
に、フルオロエチレンプロピレン共重合体のディスパー
ジョン（三井デュポンフロロケミカル社製テフロン３０
Ｊ）の塗布および乾燥の後に、３６０℃で１００秒間加
熱溶融し、厚さ３μｍの層を形成した。次いで、層を形
成した面の反対側の面にシリコーンエラストマー（信越
化学工業製 ＫＥ１０６）を塗布した後に、１５０℃で
１時間加熱硬化し、厚さ３０μｍの層を形成した。
【００１８】また、気体透過性を実施例１と同様にして
測定したところ、気体透過性、水蒸気透過性は同様の値
を示した。また、Ｏリング、ガスケット等の密封手段を
設けなくてもシリコーンエラストマー層によって密封状
態は良好であり、また取付時の強度不足による破損も生
じなかった。
測定したところ、気体透過性、水蒸気透過性は同様の値
を示した。また、Ｏリング、ガスケット等の密封手段を
設けなくてもシリコーンエラストマー層によって密封状
態は良好であり、また取付時の強度不足による破損も生
じなかった。
【００１９】比較例１ 従来から用いられている多孔性の厚さ２５μｍのポリテ
トラフルオロエチレンを用いた気体透過性膜の酸素およ
び水蒸気の透過特性について実施例１と同様に調べたと
ころ、酸素透過性は２０００〜２８００ｍ3・ｍｍ／ｍ2
ＭＰａで、水蒸気透過量は、４０℃で６．２×１０-4ｇ
／ｃｍ2／２４時間・２５μであった。
トラフルオロエチレンを用いた気体透過性膜の酸素およ
び水蒸気の透過特性について実施例１と同様に調べたと
ころ、酸素透過性は２０００〜２８００ｍ3・ｍｍ／ｍ2
ＭＰａで、水蒸気透過量は、４０℃で６．２×１０-4ｇ
／ｃｍ2／２４時間・２５μであった。
【００２０】
【発明の効果】本発明の気体透過性膜は、フッ素樹脂か
らなる多孔性基体の一方の面に、ポリテトラフルオロエ
チレンまたはフルオロエチレンプロピレン共重合体樹脂
層を形成し、他方の面には、フッ素ゴム、フロロシリコ
ーンまたはシリコーンエラストマーの層を形成したの
で、酸素の透過性と水蒸気の阻止特性に優れており、す
べての材料がフッ素含有物質で構成されているので、耐
食性が良好であるとともに、フッ素ゴム、フロロシリコ
ーンまたはシリコーンエラストマー層によって良好な密
着性も得られる。
らなる多孔性基体の一方の面に、ポリテトラフルオロエ
チレンまたはフルオロエチレンプロピレン共重合体樹脂
層を形成し、他方の面には、フッ素ゴム、フロロシリコ
ーンまたはシリコーンエラストマーの層を形成したの
で、酸素の透過性と水蒸気の阻止特性に優れており、す
べての材料がフッ素含有物質で構成されているので、耐
食性が良好であるとともに、フッ素ゴム、フロロシリコ
ーンまたはシリコーンエラストマー層によって良好な密
着性も得られる。
【図１】本発明の、気体透過性膜の一例を説明する図で
ある。
ある。
【図２】気体透過性膜を使用した溶存酸素測定用センサ
の一例を説明する図である。
の一例を説明する図である。
１…気体透過性膜、２…多孔性のフッ素樹脂フイルム、
３…フルオロエチレンプロピレン共重合体樹脂層、４…
フロロシリコーン層、２１…溶存酸素濃度測定用セン
サ、２２…気体透過性膜、２３…容器、２４…電解液、
２５…酸素検出電極、２６…Ｏリング、２７…密封取付
手段
３…フルオロエチレンプロピレン共重合体樹脂層、４…
フロロシリコーン層、２１…溶存酸素濃度測定用セン
サ、２２…気体透過性膜、２３…容器、２４…電解液、
２５…酸素検出電極、２６…Ｏリング、２７…密封取付
手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ０１Ｄ 71/70 ５００ Ｂ０１Ｄ 71/70 ５００
Claims (1)
- 【請求項１】 酸素透過性に優れ、水蒸気の阻止特性が
大きな気体透過性膜において、延伸処理によってフィブ
リル化した多孔性のフッ素樹脂フイルムの一方の面に、
ポリテトラフルオロエチレン樹脂層またはフルオロエチ
レンプロピレン共重合体層を有し、他方の面にはフッ素
ゴム層、フロロシリコーン層またはシリコーンエラスト
マー層の少なくともいずれかの層を有することを特徴と
する気体透過性膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31903495A JPH09155169A (ja) | 1995-12-07 | 1995-12-07 | 気体透過性膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31903495A JPH09155169A (ja) | 1995-12-07 | 1995-12-07 | 気体透過性膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09155169A true JPH09155169A (ja) | 1997-06-17 |
Family
ID=18105782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31903495A Pending JPH09155169A (ja) | 1995-12-07 | 1995-12-07 | 気体透過性膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09155169A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999015252A1 (fr) * | 1997-09-19 | 1999-04-01 | Hitachi, Ltd. | Module de desaeration |
| JP2002263458A (ja) * | 2001-03-07 | 2002-09-17 | Dkk Toa Corp | 気液分離膜 |
| JP2006245573A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-14 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ機器、デバイス製作方法、及び液体を脱気する機器 |
| WO2016117360A1 (ja) * | 2015-01-22 | 2016-07-28 | 富士フイルム株式会社 | 酸性ガス分離モジュール |
| CN112932786A (zh) * | 2021-02-02 | 2021-06-11 | 陈振林 | 一种全密封的护目镜 |
-
1995
- 1995-12-07 JP JP31903495A patent/JPH09155169A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2009260381A (ja) * | 2005-02-28 | 2009-11-05 | Asml Netherlands Bv | 液体を脱気する機器及びその方法 |
| US8958051B2 (en) | 2005-02-28 | 2015-02-17 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, device manufacturing method and apparatus for de-gassing a liquid |
| WO2016117360A1 (ja) * | 2015-01-22 | 2016-07-28 | 富士フイルム株式会社 | 酸性ガス分離モジュール |
| JPWO2016117360A1 (ja) * | 2015-01-22 | 2017-10-19 | 富士フイルム株式会社 | 酸性ガス分離モジュール |
| CN112932786A (zh) * | 2021-02-02 | 2021-06-11 | 陈振林 | 一种全密封的护目镜 |
| CN112932786B (zh) * | 2021-02-02 | 2024-01-23 | 陈振林 | 一种全密封的护目镜 |
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