JPH09153534A - ウェーハ移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウェーハ１０の位置決め動作を簡素化、迅速
化すると共に、位置決めと反転を同時に行い、移載効率
を向上させたウェーハ移載装置を提供する。 【解決手段】 ウェーハ移載装置は、キャリア２０と包
装容器３０、ウェーハ反転部６０、吸着ハンド４０とウ
ェーハ移送部７０を備えている。キャリア２０は昇降
し、包装容器３０は定置されている。ウェーハ反転部６
０は、キャリア２０又は包装容器３０から搬入されたウ
ェーハ１０を押し込んで突き当てることにより位置決め
する位置決めユニット６１が回転可能なベース板６４に
取り付けられている。吸着ハンド４０は、キャリア２０
とウェーハ反転部６０間でウェーハ１０を双方向に搬送
し、ウェーハ移送部７０は、ウェーハ反転部６０と包装
容器３０間でウェーハ１０を双方向に搬送する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はウェーハ移載装置、
特に位置決めユニットをウェーハ反転部に組み込むこと
により、位置決め動作を簡素化して迅速に行うと共に、
位置決め動作と反転動作を同時に行うようにしたウェー
ハ移載装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ウェーハ移載装置は、ウェーハ
をキャリアから包装容器へ、又は包装容器からキャリア
へと双方向にウェーハを表裏反転して移載する装置であ
り、その従来技術が図７に示されている。図７におい
て、参照符号１はウェーハ、２はキャリア、３は包装容
器、４は吸着ハンド、５は位置決めユニット、６は多関
節形ロボット、７は反転機構である。

【０００３】次に、図７に示される従来装置の動作を説
明する。 （１）ウェーハ１をキャリア２から包装容器３へ移載す
る場合。

【０００４】ウェーハ１の反転 上記多関節形ロボット６に取り付けた反転機構７の吸着
ハンド４でキャリア２内にあるウェーハ１の裏面１Ａを
吸着することにより、ウェーハ１を取り出した後、吸着
ハンド４を反転させる。

【０００５】位置決めユニット５への移動 ウェーハ１を吸着した吸着ハンド４を位置決めユニット
５へ移動させる。

【０００６】位置決め 位置決めユニット５内の複数個の透過形光電センサ５Ａ
のビームポイントに向けて、ウェーハ１を前進させる。

【０００７】そして、上記透過形光電センサ５Ａのビー
ムポイントに到達したウェーハ１を左右に振らせなが
ら、位置決め（センタリング）する。

【０００８】吸着ハンド４の位置補正 ウェーハ１の位置決め後は、吸着ハンド４の位置を補正
する。その後、吸着ハンド４を包装容器３の直上方へ移
動し、吸着したウェーハ１を脱落させ包装容器３内へ収
納する。

【０００９】（２）ウェーハ１を包装容器３からキャリ
ア２へ移載する場合。 位置決めユニット５への移動 吸着ハンド４で包装容器３内のウェーハ１をその裏面１
Ａを吸着することにより取り出して、位置決めユニット
５へ移動する。

【００１０】位置決め 位置決めユニット５内の複数個の透過形光電センサ５Ａ
のビームポイントに向けて、ウェーハ１を前進させ、左
右に振らせながら、位置決め（センタリング）する。

【００１１】吸着ハンド４の位置補正 ウェーハ１の位置決め後は、吸着ハンド４の位置を補正
する。

【００１２】ウェーハ１の反転 吸着ハンド４を、ウェーハ１を吸着した状態で反転させ
る。反転後は、吸着ハンド４をキャリア２へ移動し、吸
着したウェーハ１を表面を上にしてキャリア２内へ収納
する。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来技術で
は、次のような課題がある。 （１）位置決め時間が長い。 従来の位置決め機構は、透過形光電センサ５Ａによって
構成されており、位置決めする場合には、先ず、ウェー
ハ１を透過形光電センサ５Ａのビームポイントに向けて
前進させ、更にウェーハ１を左右に振るという動作が必
要である。

【００１４】このように従来の位置決め機構では、ウェ
ーハ１を前進させてから左右に振らせるという異なる方
向の動作が必要であり、その分だけ位置決め時間が長く
なるという課題がある。

【００１５】（２）位置決め動作と反転動作が同時に行
われない。 従来は、位置決めユニット５と反転機構７とが、別々に
設けられており、位置決め動作と反転動作の間に、他の
動作が行われる。

【００１６】即ち、ウェーハ１をキャリア２から包装容
器３へ移載する場合は、反転と位置決めの間に、位置決
めユニット５への移動という動作が行われ、ウェーハ１
を包装容器３からキャリア２へ移載する場合は、位置決
めと反転の間に、吸着ハンド４の位置補正という動作が
行われる。

【００１７】このように、位置決め動作と反転動作が同
時に行われず、動作が遅くなる。

【００１８】本発明の目的は、ウェーハを押し込んで突
き当てるだけで位置決めを行う位置決めユニットをウェ
ーハ反転部に組み込むことにより、位置決め動作を簡素
化して迅速に行うと共に、位置決め動作と反転動作を同
時に行い、移載効率を向上させたウェーハ移載装置を提
供することにある。

【００１９】

【課題を解決するための手段】この発明は、 Ａ．上下方向に移動可能に取り付けられたキャリア２０
と、 Ｂ．定置された包装容器３０と、 Ｃ．上記キャリア２０又は包装容器３０から搬入された
ウェーハ１０を押し込んで突き当てることにより位置決
めする位置決めユニット６１が回転可能なベース板６４
に取り付けられているウェーハ反転部６０と、 Ｄ．キャリア２０とウェーハ反転部６０間でウェーハ１
０を双方向に搬送する吸着ハンド４０と、 Ｅ．ウェーハ反転部６０と包装容器３０間でウェーハ１
０を双方向に搬送するウェーハ移送部７０とを備えると
いう技術的手段を用いている。

【００２０】従って、この発明の構成は、図１に示すよ
うに、ウェーハ１０を押し込んで突き当てるだけで位置
決めする位置決めユニット６１をウェーハ反転部６０に
組み込むことにより、従来と比較して、ウェーハ１０の
位置決め動作が簡素化されたので動作が迅速になり、ま
た位置決め後のウェーハ１０を直ちに反転できるので位
置決め動作と反転動作を同時に行うことができ、移載効
率を向上させることが可能となる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、添
付図面を参照して、説明する。図１は、本発明の実施形
態を示す図である。

【００２２】図１において、参照符号１０はウェーハ、
２０はキャリア、３０は包装容器、４０は吸着ハンド、
６０はウェーハ反転部、７０はウェーハ移送部、８０は
基台である。また、方向については、回転方向はＡ（例
えば、回転機構６５を構成するサーボモータ６Ｒの回転
方向（図１等））、前方（前部）はＢ（例えば、クラン
パ機構６３を構成するクランパ６Ｄの移動（図２（Ａ）
等））、後方（後部）はＣ（例えば、上記クランパ６Ｄ
の移動（図２（Ａ）等）、回動方向はＤ、Ｅ又はＦ（例
えば、上記クランパ６Ｄの回動（図５（Ｂ）、図６
（Ｂ）等）により、示す。

【００２３】上記キャリア２０は、ウェーハ１０をその
表面１０Ｂを上にして収納する手段であって、上下方向
に移動可能に取り付けられており、図１に示す例では、
昇降板２Ａ上に戴置され、昇降板２Ａは基台８０に固定
された垂直ガイド２Ｂに沿って上下動するようになって
いる。

【００２４】また、包装容器３０は、ウェーハ１０をウ
ェーハ１０の裏面１０Ａを上にして収納する手段であっ
て、定置されており、図１に示す例では、基台８０上の
テーブル３１の上に戴置されている。

【００２５】更に、ウェーハ１０の外径Ｄに対して、キ
ャリア２０のウェーハ挿入部の内径は、Ｄ＋１．７ｍｍ
であり、包装容器３０の内径は、Ｄ＋２ｍｍ〜Ｄ＋４ｍ
ｍであり、ウェーハ１０がキャリア２０と包装容器３０
とは接触しないようになっており、後述する吸着ハンド
４０やウェーハ移送部７０によるキャリア２０と包装容
器３０間のウェーハ双方向性搬送が円滑に行われる。

【００２６】このキャリア２０と包装容器３０間には、
図示するように、ウェーハ反転部６０が設けられてい
る。

【００２７】ウェーハ反転部６０は、位置決めユニット
６１が回転可能なベース板６４に組み込まれた構成をも
ち、ベース板６４は、回転機構６５を介して基台８０上
に立直した２枚の側板６６に取り付けられている。

【００２８】この回転機構６５は、図２（Ａ）、図３に
示すように、カップリング６Ｑを介してシャフト６Ｐに
結合したサーボモータ６Ｒを有し、シャフト６Ｐ、及び
支持ベアリング６ｓを介してシャフト受け６ｈに挿入さ
れたもう一方のシャフト６Ｐにより、ベース板６４を回
転可能に支持している。

【００２９】ベース板６４は、全体が正方形状に形成さ
れ、その前部（Ｂ方向）は、台形状になっている。

【００３０】また、ベース板６４の後部（Ｃ方向）に
は、切欠部６ｋが形成され、後述するクランパ６Ｄのプ
ッシャ６Ｆが、ウェーハ１０をワーク受け６Ｂに押し込
み易いようになっている（図５（Ａ）、図６
（Ａ）））。

【００３１】位置決めユニット６１は、既述したキャリ
ア２０又は包装容器３０から搬入されたウェーハ１０の
中心位置を決める手段であって、図２（Ａ）に示すよう
に、受容機構６２とクランパ機構６３から構成され、両
機構６２と６３は、ベース板６４に関して互いに反対側
に固定されている。

【００３２】受容機構６２は、ウェーハ１０を搬入しそ
の端面１２を突き当てることにより位置決めを行う機能
をもち、ワーク受け６Ｂと、扉６Ｃとから構成されてい
る。

【００３３】ワーク受け６Ｂは、中央部が大きく開放さ
れ、図４（Ａ）に示すように、下方から見ると、ガイド
部６Ｚと当接部６Ｙが設けられている。

【００３４】ガイド部６Ｚは、後述する吸着ハンド４０
やウェーハ移送部７０によりウェーハ１０を搬入する場
合の案内機能をもち、当接部６Ｙは、搬入されたウェー
ハ１０がプッシャ６Ｆにより押し込まれた場合にそれを
突き当てる機能をもつ。

【００３５】ガイド部６Ｚと当接部６Ｙとは連続してお
り、センタリングの中心Ｏに対し、当接部６Ｙの曲率半
径をＲとすれば、ガイド部６Ｚの幅寸法は２Ｒである。

【００３６】また、ウェーハ１０の外径Ｄに対して、ガ
イド部６Ｚの幅寸法２Ｒは、Ｄ＋０．１ｍｍ〜Ｄ＋０．
６ｍｍであり、後述する吸着ハンド４０やウェーハ移送
部７０により、ウェーハ１０は、上記ワーク受け６Ｂと
接触することなく、図示するように、干渉しない位置に
搬入することができる。

【００３７】ワーク受け６Ｂは、外形がベース板６４と
同様の形状であるが、図２（Ｂ）に示すように、横幅寸
法がベース板６４より若干小さく、この空いている箇所
に、扉６Ｃが開閉自在に取り付けられている。

【００３８】扉６Ｃには、ヒンジ６ａ・６ｂが固定され
ていて、ヒンジピン６ｄに関して回動可能に取り付けら
れ、通常は負荷がない状態では捩じりコイルばね６ｃの
作用により閉じられている。

【００３９】しかし、図２（Ｂ）に示すように、扉６Ｃ
の後部は（Ｃ方向）、ベース板６４とワーク受けＢより
長く突出しているので、サーボモータ６ＲがＡ方向に回
転して扉６Ｃが図示する位置に来たときには、回転する
扉６Ｃが上方からローラ６Ｔに衝突して、扉６Ｃは押し
上げられて開く。

【００４０】更に、扉６Ｃが更にＡ方向に回転すると、
ローラ６Ｔとは非接触状態となり、扉６Ｃは捩じりコイ
ルばね６ｃの復元作用により再び閉じる（図２
（Ａ））。

【００４１】一方、クランパ機構６３は、受容機構６２
に搬入されたウェーハ１０をオリエンテーションフラッ
ト１１の位置とは無関係に（図５、図６）受容機構６２
に押し込んで突き当てる機能をもち、図３に示すよう
に、ステッピングモータ６Ｌと引張コイルばね６Ｇによ
り移動制御されるクランパ６Ｄを備えている。

【００４２】クランパ６Ｄは、先端に、板ばね６Ｅがね
じ止めされ、板ばね６Ｅの裏面には、プッシャ６Ｆが固
定されており、受容機構６２に搬入されたウェーハ１０
を奥へ押し込むようになっている（図５、図６）。

【００４３】クランパ６Ｄは、スライダ６Ｉに対して、
ボルト６ｇとナット６ｅ・６ｆ及び引張コイルばね６Ｇ
により、支点６Ｖを中心として回動変位し傾斜した状態
で取り付けられている（図４（Ｂ）、図４（Ｃ）の矢印
Ｅ）。

【００４４】スライダ６Ｉは、図３に示すように、その
下面にラック６Ｊを備え、ステッピングモータ６Ｌのピ
ニオン６Ｋと噛み合うと共に、ベース板６４上のガイド
６Ｈに沿って滑動する滑動片６Ｍに固定されており、ス
テッピングモータ６Ｌを駆動させるとスライダ６Ｉがガ
イド６Ｈ上を水平方向に（ＢとＣ方向）移動するように
なっている。

【００４５】また、ステッピングモータ６Ｌは、取付具
６Ｎに、ピニオン６Ｋが回転可能に取り付けられてい
る。更に、クランパ６Ｄの近傍には、図示するように、
ローラ６Ｗがシャフト６Ｘに回転可能に取り付けられて
いる。

【００４６】この構成により、クランパ６Ｄは前方（Ｂ
方向）に移動したときに、ローラ６Ｗにより、テーパ面
６ｍとフラット面３ｎが押されて回動し（（図５
（Ｂ）、図６（Ｂ）の矢印Ｄ）、ウェーハ１０を受容機
構６２のワーク受け６Ｂに押し込むようになっている。

【００４７】次に、図１に示す吸着ハンド４０とウェー
ハ移送部７０について、説明する。吸着ハンド４０は、
キャリア２０とウェーハ反転部６０間でウェーハ１０を
双方向に搬送する手段であり、図１に示すように、テー
ブル３１の下方に設けたガイド４０Ａに沿って、矢印で
示すように、水平方向と垂直方向に移動するようになっ
ている。

【００４８】吸着ハンド４０は、真空ポンプ（図示省
略）に連通した吸着穴（図示省略）を備え、吸着穴の部
分でウェーハ１０を吸着し、逆に吸着したウェーハ１０
を脱落させることによりウェーハ１０をキャリア２０か
らウェーハ反転部６０へ、又はウェーハ反転部６０から
キャリア２０へと搬送する。

【００４９】ウェーハ移送部７０は、ウェーハ反転部６
０と包装容器３０間でウェーハ１０を双方向に搬送する
手段であり、図１に示すように、水平ガイド７Ａと垂直
ガイド７Ｂ沿って、矢印で示すように、水平方向と垂直
方向に移動するようになっている。

【００５０】水平ガイド７Ａは、基台８０上に固定さ
れ、水平ガイド７Ａ上には、垂直ガイド７Ｂが移動可能
に取り付けられている。

【００５１】また、垂直ガイド７Ｂには、図示するよう
に、滑動ブロック７Ｄが固定され、滑動ブロック７Ｄの
下面には、吸着パッド５０を備えた基板７Ｃが取り付け
られている。

【００５２】そして、上記吸着パッド５０は真空ポンプ
（図示省略）に連通しており、これにより、吸着パッド
５０でウェーハ１０を吸着し、あるいは吸着したウェー
ハ１０を脱落させることによりウェーハ１０をウェーハ
反転部６０から包装容器３０へ、又は包装容器３０から
ウェーハ反転部６０へと搬送する。

【００５３】更に、上記ウェーハ移送部７０は、よく知
られているように、包装容器３０と導電シート収納具９
０間で導電シート９１を双方向に移載することもでき
る。

【００５４】以下、この構成を有する本発明の作用を説
明する。尚、以下に説明する動作全体の制御は、制御部
（図示省略）の指令に基づいて行われる。

【００５５】（１）ウェーハ反転部６０への搬入。 ウェーハ１０をキャリア２０から包装容器３０へ移載
する場合。 この場合は、回転機構６５のサーボモータ６Ｒを駆動さ
せることにより、ウェーハ反転部６０のベース板６４を
上向き水平の位置にしておいて（図１、図２（Ａ））、
吸着ハンド４０により、ウェーハ１０を吸着して（図２
（Ａ））キャリア２０から取り出し、ベース板６４に取
り付けた位置決めユニット６１にウェーハ１０を滑り込
ませるように搬入する。

【００５６】この場合、図４（Ｂ）に示すように、位置
決めユニット６１を構成するクランパ機構６３が上方に
傾いて位置しているので、プッシャ６Ｆとワーク受け６
Ｂ及び閉じた扉６Ｃの間にウェーハ１０を搬入する。

【００５７】ウェーハ１０を包装容器３０からキャリ
ア２０へ移載する場合。 上記と同様に、回転機構６５のサーボモータ６Ｒを駆
動させることにより、図２（Ｂ）に示すように、ウェー
ハ反転部６０のベース板６４を下向き水平の位置にして
おいて、図１に示すウェーハ移送部７０の吸着パッド５
０により、ウェーハ１０を吸着して包装容器３０から取
り出し、扉６Ｃが開いた状態の受容機構６２の直上方か
らウェーハ１０を搬入する。

【００５８】（２）ウェーハ反転部６０における位置決
めと反転。 位置決め動作。 −Ａ．ウェーハ１０をキャリア２０から包装容器３０
へ移載する場合。 この場合は、ベース板６４が上向き水平になっている
（図２（Ａ））。

【００５９】ウェーハ１０が搬入されたことが検知され
ると、クランパ６Ｄは下方に回動し（（図４（Ｂ））、
図５（Ｂ）、図６（Ｂ）の矢印Ｄ）、プッシャ６Ｆが、
ウェーハ１０をワーク受け６Ｂに押し込んで端面１２を
当接部６Ｙに突き当てることにより、（図５（Ａ）、図
６（Ａ））、位置決めは終了する。

【００６０】−Ｂ．ウェーハ１０を包装容器３０から
キャリア２０へ移載する場合。 この場合は、ベース板６４が下向き水平になっている
（図２（Ｂ））。この場合も、上述した−Ａと同様
に、プッシャ６Ｆが、ウェーハ１０をワーク受け６Ｂに
押し込んで端面１２を当接部６Ｙに突き当てることによ
り、（図５（Ａ）、図６（Ａ））、位置決めできる。

【００６１】また、この場合、図４（Ｃ）に示すよう
に、クランパ機構６３が下方に位置しているので、クラ
ンパ６Ｄは上方に回動し（図４（Ｃ）の矢印Ｆ）、プッ
シャ６Ｆがウェーハ１０をワーク受け６Ｂ内に押し込ん
で端面１２を当接部６Ｙに突き当てる。

【００６２】反転動作。 位置決めが終了すると、その旨が検知され、クランパ６
Ｄが元の位置に戻って（図４（Ｂ）、図４（Ｃ）の矢印
Ｅ）プッシャ６Ｆがウェーハ１０の端面１２やオリエン
テーションフラット１１から離れると共に、回転機構６
５を構成するサーボモータ６Ｒが駆動して（図１、図２
のＡ方向）ウェーハ反転部６０を反転させる。

【００６３】（３）ウェーハ反転部６０からの搬出。 ウェーハ１０をキャリア２０から包装容器３０へ移載
する場合。 この場合は、反転後のウェーハ反転部６０が、図２
（Ｂ）の状態になっているので、図１に示すウェーハ移
送部７０の吸着パッド５０が、扉６Ｃが開いた状態の受
容機構６２の直上方からウェーハ１０を吸着して搬出す
る。

【００６４】ウェーハ１０を包装容器３０からキャリ
ア２０へ移載する場合。 この場合は、反転後のウェーハ反転部６０が、図２
（Ａ）の状態になっているので、図１に示す吸着ハンド
４０が、受容機構６２の直下からウェーハ１０を吸着し
て搬出する。

【００６５】また、上記（２）のの位置決め時におい
ては、プッシャ６Ｆが、ウェーハ１０の端面１２を押す
場合と（図５（Ａ ））、オリエンテーションフラット
１１を押す場合（図６（Ａ））がある。

【００６６】前者（図５（Ａ））の場合は、後者（図６
（Ａ））に比べて、端面１２がオリエンテーションフラ
ット１１より後方（Ｃ方向）に突き出ており、端面１２
には、プッシャ６Ｆからより大きい力が加わろうとす
る。

【００６７】しかし、プッシャ６Ｆが板ばね６Ｅに取り
付けられているので、板ばね６Ｅの弾力性により、プッ
シャ６Ｆは後方（Ｃ方向）に逃げることにより（図５
（Ｂ））、端面１２に余分な力は加わらないようになっ
ている。

【００６８】即ち、プッシャ６Ｆが端面１２を押す場合
は、図５（Ｂ）に示すように、板ばね６Ｅが若干外方に
反って逃げているが、プッシャ６Ｆがオリエンテーショ
ンフラット１１を押す場合は、図６（Ｂ）に示すよう
に、板ばね６Ｅは真っ直ぐになっている。

【００６９】

【発明の効果】上記のとおり、本発明によれば、ウェー
ハ移載装置を、ウェーハ１０を押し込んで突き当てるだ
けで位置決めする位置決めユニット６１をウェーハ反転
部６０に組み込むように構成したことにより、位置決め
動作を簡素化して迅速に行うと共に、位置決め動作と反
転動作を同時に行い、移載効率を向上させるという技術
的効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態を示す図である。

【図２】本発明を構成するウェーハ反転部６０の実施形
態を示す図である。

【図３】本発明を構成するウェーハ反転部６０の分解斜
視図である。

【図４】本発明を構成する位置決めユニット６１の実施
形態を示す図である。

【図５】本発明を構成する位置決めユニット６１がウェ
ーハ１０の端面１２を押す場合の作用説明図である。

【図６】本発明を構成する位置決めユニット６１がウェ
ーハ１０のオリエンテーションフラット１１を押す場合
の作用説明図である。

【図７】従来技術の説明図である。

【符号の説明】

１０ ウェーハ ２０ キャリア ３０ 包装容器 ４０ 吸着ハンド ６０ ウェーハ反転部 ７０ ウェーハ移送部 ６１ 位置決めユニット ６４ ベース板

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上下方向に移動可能に取り付けられたキ
   ャリア(20)と、 定置された包装容器(30)と、 キャリア(20)又は包装容器(30)から搬入されたウェーハ
   (10)を押し込んで突き当てることにより位置決めする位
   置決めユニット(61)が回転可能なベース板(64)に取り付
   けられているウェーハ反転部(60)と、 キャリア(20)とウェーハ反転部(60)間でウェーハ(10)を
   双方向に搬送する吸着ハンド(40)と、 ウェーハ反転部(60)と包装容器(30)間でウェーハ(10)を
   双方向に搬送するウェーハ移送部(70)とを備えることを
   特徴とするウェーハ移載装置。
2. 【請求項２】 ベース板(64)が、サーボモータ(6R)を含
   む回転機構(65)を備えている請求項１記載のウェーハ移
   載装置。
3. 【請求項３】 位置決めユニット(61)が、ウェーハ(10)
   を搬入し、ウェーハ(10)の端面(12)を突き当てることに
   より位置決めする受容機構(62)と、ウェーハ(10)をオリ
   エンテーションフラット(11)の位置とは無関係に受容機
   構(62)に押し込むクランパ機構(63)で構成され、受容機
   構(62)とクランパ機構(63)とがベース板(64)に関して互
   いに反対側に固定されている請求項１記載のウェーハ移
   載装置。
4. 【請求項４】 位置決めユニット(61)の受容機構(62)
   が、ガイド部(6Z)と当接部(6Y)を備えたワーク受け(6
   B)、及び開閉自在な扉(6C)により構成されている請求項
   ３記載のウェーハ移載装置。
5. 【請求項５】 位置決めユニット(61)のクランパ機構(6
   3)が、ステッピングモータ(6L)とスライダ(6I)と引張り
   コイルばね(6G)とローラ(6W)により回動可能なクランパ
   (6D)を備えている請求項３記載のウェーハ移載装置。