JPH09148397A - Substrate transfer device - Google Patents
Substrate transfer deviceInfo
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- JPH09148397A JPH09148397A JP30914095A JP30914095A JPH09148397A JP H09148397 A JPH09148397 A JP H09148397A JP 30914095 A JP30914095 A JP 30914095A JP 30914095 A JP30914095 A JP 30914095A JP H09148397 A JPH09148397 A JP H09148397A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】各基板受渡し部の間において
液晶用ガラス角型基板、半導体ウエハなどの基板（以下
「基板」という）を搬送すると共に、基板の受渡しを行
う基板搬送装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate transfer device for transferring a substrate (hereinafter referred to as a "substrate") such as a glass rectangular substrate for liquid crystal or a semiconductor wafer between respective substrate transfer parts and transferring the substrate.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図４は従来の基板搬送装置の斜視図であ
り、図５は図４の透視図である。この基板搬送装置は基
板処理装置において搬送アーム１０１が基板１１０を保
持した状態で、各種基板処理部に搬送する装置である。
搬送アーム１０１は水平駆動部１０２によって回転およ
び所定の基板受け渡し位置への進退駆動されるととも
に、搬送アーム１０１は鉛直駆動部１０３によって水平
駆動部１０２に伴って水平面内で回転駆動および鉛直方
向に駆動される。2. Description of the Related Art FIG. 4 is a perspective view of a conventional substrate transfer device, and FIG. 5 is a perspective view of FIG. This substrate transfer apparatus is an apparatus that transfers the substrate 110 to various substrate processing units in the substrate processing apparatus while the transfer arm 101 holds the substrate 110.
The transfer arm 101 is rotated and driven to move back and forth to a predetermined substrate transfer position by a horizontal drive unit 102, and the transfer arm 101 is rotated and driven in a horizontal plane along with the horizontal drive unit 102 by a vertical drive unit 103. To be done.
【０００３】鉛直駆動部１０３はボールネジ１０５を介
して収納部１０６に支持され、さらに収納部１０６は水
平移動テーブル１０４の貫通孔１０４ｈの周囲の下面に
垂下するように固着されており、鉛直駆動部１０３は貫
通孔１０４ｈによって水平移動テーブル１０４を貫通し
ている。The vertical drive unit 103 is supported by a storage unit 106 via a ball screw 105, and the storage unit 106 is fixed to the lower surface around the through hole 104h of the horizontal moving table 104 so as to hang down. Reference numeral 103 penetrates the horizontal moving table 104 by a through hole 104h.
【０００４】そして、この装置は搬送アーム１０１が基
板１１０を保持した状態で水平移動テーブル１０４が図
示しない駆動機構によって各種基板処理部に水平移動す
ることにより基板１１０を搬送し、その基板処理部では
水平駆動部１０２および鉛直駆動部１０３の駆動により
搬送アーム１０１を所定の基板受け渡し位置に移動さ
せ、基板１１０の受け渡しを行う。In this apparatus, the horizontal movement table 104 horizontally moves to various substrate processing units by a drive mechanism (not shown) while the transfer arm 101 holds the substrate 110, and the substrate 110 is transferred. By driving the horizontal drive unit 102 and the vertical drive unit 103, the transfer arm 101 is moved to a predetermined substrate transfer position, and the substrate 110 is transferred.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な従来の基板搬送装置では図４および図５に示すよう
に、収納部１０６の幅ＷＢは水平移動テーブル１０４の
貫通孔１０４ｈの幅ＷＡより大きくなっており、収納部
１０６は水平移動テーブル１０４の貫通孔１０４ｈの周
囲の下面に取り付けられている。By the way, in the conventional substrate transfer apparatus as described above, as shown in FIGS. 4 and 5, the width WB of the storage portion 106 is larger than the width WA of the through hole 104h of the horizontal moving table 104. The storage section 106 is enlarged and is attached to the lower surface around the through hole 104h of the horizontal moving table 104.
【０００６】このように通常の基板搬送装置では、搬送
アーム、水平駆動部および収納部は水平移動テーブルの
貫通孔より大きいため、水平移動テーブルの貫通孔を通
過することができない。したがって、収納部、ボールネ
ジ、鉛直駆動部、水平駆動部および搬送アーム（以下
「搬送機構部」という）を一体として組立てた後にこれ
らを水平移動テーブルに組み付けることは不可能である
ため、搬送機構部と水平移動テーブルのそれぞれは別々
に組立てることができず、装置の組立てに多大な労力を
必要とした。As described above, in the ordinary substrate transfer apparatus, since the transfer arm, the horizontal drive section and the storage section are larger than the through holes of the horizontal moving table, they cannot pass through the through holes of the horizontal moving table. Therefore, it is impossible to assemble the storage unit, the ball screw, the vertical drive unit, the horizontal drive unit, and the transfer arm (hereinafter referred to as “transfer mechanism unit”) as one unit, and then to assemble them on the horizontal movement table. The horizontal movement table and the horizontal movement table cannot be separately assembled, which requires a great deal of labor for assembling the device.
【０００７】逆に、同様の理由からひとたび製品として
出荷された装置では水平移動テーブルと収納部を分離す
るためには、搬送アームおよび水平駆動部を上方に取り
外した後に、収納部、ボールネジおよび鉛直駆動部を下
方に取り外さなければならず、それらをふたたび元の位
置に正確に取り付けることは大変困難で、実質上、搬送
機構部を水平移動テーブルから取り外すことができなか
った。そこで、装置の調整、修理等を行うメンテナンス
時などにおいては、水平移動テーブルから搬送機構部を
分離することは行わないで、両者が一体化したまま調整
や修理などの作業を行っていたため、メンテナンスに多
大な労力と時間を要した。On the contrary, in the apparatus once shipped as a product for the same reason, in order to separate the horizontal moving table and the storage unit, after removing the transfer arm and the horizontal drive unit upward, the storage unit, the ball screw and the vertical unit are removed. The drive parts had to be removed downwards, and it was very difficult to correctly attach them again to their original positions, and practically the transfer mechanism part could not be removed from the horizontal moving table. Therefore, at the time of maintenance such as adjustment and repair of the device, the transport mechanism is not separated from the horizontal moving table, and the adjustment and repair work is performed while the two are integrated, so maintenance work is performed. It took a lot of labor and time.
【０００８】また、上記のようなメンテナンス時には、
基板搬送装置を停止しなければならず、それにより基板
処理装置全体を停止する必要がある。ところが、上記の
ようにメンテナンスに時間がかかると、基板処理装置全
体を停止している時間（ダウンタイム）が長くなるとい
う問題もあった。Further, during the maintenance as described above,
The substrate transfer apparatus must be stopped, and thus the entire substrate processing apparatus must be stopped. However, if the maintenance takes time as described above, there is also a problem that the time (down time) during which the entire substrate processing apparatus is stopped becomes long.
【０００９】この発明は、従来技術における上述の問題
の克服を意図しており、装置の組立てやメンテナンスが
容易で、ダウンタイムが短い基板搬送装置を提供するこ
とを目的とする。The present invention is intended to overcome the above-mentioned problems in the prior art, and an object of the present invention is to provide a substrate transfer apparatus which is easy to assemble and maintain and has a short downtime.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明の請求項１の装置は各基板受渡し部の間に
おいて基板を搬送するとともに、前記基板の受渡しを行
う基板搬送装置であって、(a) 前記基板の搬送部と、
前記搬送部の少なくとも下側部分を収納する収納部とを
有する搬送機構本体と、(b) 前記収納部と係合するこ
とによって前記搬送機構本体を着脱自在に支持する支持
台と、を備える。In order to achieve the above object, an apparatus according to claim 1 of the present invention is a substrate transfer device for transferring a substrate between respective substrate transfer parts and transferring the substrate. And (a) the substrate transfer section,
A transport mechanism main body having a storage portion that stores at least a lower portion of the transport portion, and (b) a support base that detachably supports the transport mechanism main body by engaging with the storage portion.
【００１１】また、請求項２の装置は請求項１の基板搬
送装置において、前記収納部が、前記搬送部の少なくと
も下側部分を収納する筺体と、前記筺体から張り出す張
り出し片と、を有し、前記支持台が開口を有しており、
前記収納部が前記開口に挿通されるとともに前記収納部
の前記張出し片が前記開口の縁に係合することを特徴と
する。According to a second aspect of the present invention, in the substrate transfer apparatus according to the first aspect, the storage section has a housing for storing at least a lower portion of the transfer section, and an overhanging piece protruding from the housing. The support base has an opening,
The storage part is inserted into the opening, and the projecting piece of the storage part engages with an edge of the opening.
【００１２】[0012]
【００１３】[0013]
【１．実施の形態の構成と特徴】図１はこの発明にかか
る実施の形態の基板搬送装置の斜視図であり、図２は図
１の透視図である。両図および以下の各図においては、
床面に平行な水平面をＸ−Ｙ面とし、鉛直方向をＺ方向
とする３次元座標系Ｘ−Ｙ−Ｚが定義されており、さら
に、Ｚ軸を中心としてＸ−Ｙ面内の回転θも定義されて
いる。[1. 1 is a perspective view of a substrate transfer device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view of FIG. In both figures and the following figures,
A three-dimensional coordinate system XYZ is defined in which the horizontal plane parallel to the floor is the XY plane, and the vertical direction is the Z direction. Furthermore, rotation θ in the XY plane about the Z axis is defined. Is also defined.
【００１４】この基板搬送装置は基板処理装置等におい
て搬送アームが基板を保持した状態で各種基板処理部間
を移動することにより基板を搬送し、所定の基板処理部
において基板の受渡しを行う装置である。以下、この基
板搬送装置の構成を説明していく。This substrate transfer device is a device for transferring a substrate by moving it between various substrate processing parts while a transfer arm holds the substrate in the substrate processing device and the like, and delivering the substrate at a predetermined substrate processing part. is there. Hereinafter, the configuration of the substrate transfer device will be described.
【００１５】この実施の形態の基板搬送装置は搬送アー
ム１の駆動機構として水平駆動部２および鉛直駆動部３
を備えており、搬送アーム１は水平駆動部２上に支持さ
れている。そして、図示しない制御部の制御に従って水
平駆動部２内部の図示しない駆動機構が水平駆動部２を
Ｘ軸の正負方向に進退駆動する。The substrate transfer apparatus of this embodiment has a horizontal drive unit 2 and a vertical drive unit 3 as a drive mechanism for the transfer arm 1.
And the transfer arm 1 is supported on the horizontal drive unit 2. Then, according to the control of the control unit (not shown), a drive mechanism (not shown) inside the horizontal drive unit 2 drives the horizontal drive unit 2 forward and backward in the positive and negative directions of the X axis.
【００１６】さらに、水平駆動部２は鉛直駆動部３によ
って支持されており、また、鉛直駆動部３はボールネジ
５に支持されている。そして、図示しない制御部の制御
に従い鉛直駆動部３内部の図示しない駆動機構がボール
ネジ５の雄ねじに対して螺合する図示しない雌ねじを回
転させることによってＺ方向に昇降する。そして、鉛直
駆動部３が昇降することによって鉛直駆動部３が昇降
し、それに伴って水平駆動部２および搬送アーム１も昇
降する。Further, the horizontal drive section 2 is supported by a vertical drive section 3, and the vertical drive section 3 is supported by a ball screw 5. Then, under the control of a control unit (not shown), a drive mechanism (not shown) inside the vertical drive unit 3 rotates a female screw (not shown) screwed with the male screw of the ball screw 5 to move up and down in the Z direction. Then, as the vertical drive unit 3 moves up and down, the vertical drive unit 3 moves up and down, and accordingly, the horizontal drive unit 2 and the transfer arm 1 also move up and down.
【００１７】また、鉛直駆動部３は内部の図示しない駆
動機構により水平駆動部２および搬送アーム１をＸ−Ｙ
面内においてθ方向に回転駆動する。Further, the vertical drive unit 3 drives the horizontal drive unit 2 and the transfer arm 1 in XY by an internal drive mechanism (not shown).
It is rotationally driven in the θ direction within the plane.
【００１８】ボールネジ５の下端は収納部６の底面内部
に固設されており、さらに収納部６はその上面およびＹ
軸の負方向の側面が解放された直方体状の筐体６ａとそ
の上端に取り付けられたコ字型のプレート６ｂからなっ
ており、上面の開口部６ｈを貫通するようにボールネジ
５に支持された鉛直駆動部３が位置している。なお、搬
送アーム１、水平駆動部２、鉛直駆動部３およびボール
ネジ５全体が搬送部に相当している。The lower end of the ball screw 5 is fixed to the inside of the bottom surface of the accommodating portion 6, and the accommodating portion 6 has its upper surface and Y.
It is composed of a rectangular parallelepiped casing 6a whose side surface in the negative direction of the shaft is open, and a U-shaped plate 6b attached to the upper end of the casing 6a. The vertical drive unit 3 is located. The transport arm 1, the horizontal drive unit 2, the vertical drive unit 3, and the ball screw 5 as a whole correspond to the transport unit.
【００１９】水平移動テーブル４は水平面内に設けられ
た平板であり、その中央に貫通孔４ｈを備えている。こ
の貫通孔４ｈに筐体６ａが嵌入し、さらにプレート６ｂ
が水平移動テーブル４に支持されることによって収納部
６全体が支持されている。The horizontal moving table 4 is a flat plate provided in a horizontal plane, and has a through hole 4h in the center thereof. The housing 6a is fitted into the through hole 4h, and the plate 6b
Is supported by the horizontal moving table 4, whereby the entire storage section 6 is supported.
【００２０】また、上記の搬送アーム１、水平駆動部
２、鉛直駆動部３、ボールネジ５および収納部６が一体
となって図１に示したように搬送機構部２０（図２では
図示省略）を形成しており、収納部６が水平移動テーブ
ル４に支持されることによって搬送機構部２０全体が支
持されている。Further, the transfer arm 1, the horizontal drive unit 2, the vertical drive unit 3, the ball screw 5 and the storage unit 6 are integrally formed as shown in FIG. 1, and the transfer mechanism unit 20 (not shown in FIG. 2). The storage unit 6 is supported by the horizontal moving table 4 so that the entire transport mechanism unit 20 is supported.
【００２１】さらに水平移動テーブル４は図示しない駆
動機構によりＹ軸の正負方向に並進的に移動可能に構成
されており、図示しない制御部の制御によって各基板処
理部間を移動する。そして、この水平移動テーブル４の
移動によってこの基板搬送装置全体が各基板処理部間を
移動することによって、搬送アーム１が保持した基板１
０を搬送したり、各基板処理部においては搬送アーム１
がθ方向の回転とＸ軸方向およびＺ軸方向の移動により
基板処理部内の基板受渡し位置に進入し基板１０の受渡
しを行ったりする。Further, the horizontal moving table 4 is constructed to be movable in translation in the positive and negative directions of the Y axis by a driving mechanism (not shown), and is moved between the substrate processing units under the control of a control unit (not shown). The movement of the horizontal moving table 4 causes the entire substrate transfer apparatus to move between the substrate processing units, so that the substrate 1 held by the transfer arm 1 is moved.
0, or a transfer arm 1 in each substrate processing unit.
Rotates in the θ direction and moves in the X-axis direction and the Z-axis direction to enter the substrate transfer position in the substrate processing section and transfer the substrate 10.
【００２２】さらに、要部についてより詳細に説明して
いく。Further, the main part will be described in more detail.
【００２３】水平移動テーブル４の中央には貫通孔４ｈ
が設けられており、収納部６は筐体６ａの幅ＷＤが水平
移動テーブル４の貫通孔４ｈの幅ＷＣより小さく、さら
にプレート６ｂの幅ＷＥは貫通孔４ｈの幅ＷＣより大き
く構成されている。そして、筐体６ａが水平移動テーブ
ル４の貫通孔４ｈを貫通し、プレート６ｂが水平移動テ
ーブル４の上面に支持されることにより、収納部６は水
平移動テーブル４の下方に垂下した状態で支持されてい
る。A through hole 4h is formed in the center of the horizontal moving table 4.
The housing 6 is configured such that the width WD of the housing 6a is smaller than the width WC of the through hole 4h of the horizontal moving table 4 and the width WE of the plate 6b is larger than the width WC of the through hole 4h. . The housing 6a penetrates the through hole 4h of the horizontal moving table 4 and the plate 6b is supported on the upper surface of the horizontal moving table 4, so that the storage portion 6 is supported in a state of hanging below the horizontal moving table 4. Has been done.
【００２４】プレート６ｂは基板搬送動作時にはビスで
水平移動テーブル４に固定されているが、メンテナンス
時等にはそのビスを取り外し、収納部６を水平移動テー
ブル４から上方に抜き取ることによって搬送アーム１、
水平駆動部２、鉛直駆動部３、ボールネジ５および収納
部６を一体化した搬送機構部２０を取り外すことができ
る。その搬送機構部２０を水平移動テーブル４から取り
外した状況を示したのが図３である。The plate 6b is fixed to the horizontal moving table 4 by screws during the substrate transfer operation, but during maintenance or the like, the screws are removed and the storage section 6 is pulled out upward from the horizontal transfer table 4 to transfer the arm 1. ,
It is possible to remove the transport mechanism unit 20 in which the horizontal drive unit 2, the vertical drive unit 3, the ball screw 5, and the storage unit 6 are integrated. FIG. 3 shows a state in which the transport mechanism section 20 is removed from the horizontal moving table 4.
【００２５】このように、この基板搬送装置により基板
搬送を行う基板処理装置等を停止して、さらに基板搬送
装置も停止した後に水平移動テーブル４から搬送機構部
２０を取り外した状態でメンテナンス作業を行う。そし
て、メンテナンスが終わると逆の手順で搬送機構部２０
を水平移動テーブル４に組付け、ビスで固定した後に基
板搬送装置および基板処理装置を稼働させてこの基板搬
送装置によって基板搬送を行う。As described above, the maintenance work is performed in a state where the transport mechanism section 20 is removed from the horizontal moving table 4 after stopping the substrate processing apparatus or the like for transporting the substrate by the substrate transport apparatus and further stopping the substrate transport apparatus. To do. Then, after the maintenance is completed, the transport mechanism unit 20 is reversed in the reverse procedure.
Is mounted on the horizontal moving table 4 and fixed with screws, and then the substrate transfer device and the substrate processing device are operated to transfer the substrate by this substrate transfer device.
【００２６】逆に、この基板搬送装置を製品として組立
てる場合には、水平移動テーブル４を組み立て、図示し
ない駆動機構に組み付ける作業と並行して、搬送アーム
１、水平駆動部２、鉛直駆動部３、ボールネジ５および
収納部６のそれぞれの組立てと、その後に搬送機構部２
０の組立て作業も行われる。そして最終的に水平移動テ
ーブル４に搬送機構部２０を組付ける。On the contrary, when the substrate transfer device is assembled as a product, the transfer arm 1, the horizontal drive part 2 and the vertical drive part 3 are installed in parallel with the work of assembling the horizontal moving table 4 and assembling it to the drive mechanism (not shown). Assembling each of the ball screw 5 and the storage unit 6, and then the transport mechanism unit 2
Assembly work of 0 is also performed. Then, finally, the transport mechanism 20 is attached to the horizontal moving table 4.
【００２７】このように、この実施の形態の基板搬送装
置では、組立てる際には水平移動テーブル４と搬送機構
部２０とを別々に組立てた後に、収納部６の筐体６ａを
水平移動テーブル４の貫通孔４ｈに上方から嵌入させる
ことにより搬送機構部２０を水平移動テーブル４に組付
けることができるので組立てが容易である。As described above, in the substrate transfer apparatus according to this embodiment, the horizontal moving table 4 and the transfer mechanism section 20 are separately assembled at the time of assembly, and then the housing 6a of the storage section 6 is moved horizontally. Since the transport mechanism 20 can be assembled to the horizontal moving table 4 by fitting it into the through hole 4h from above, the assembling is easy.
【００２８】また、水平移動テーブル４から搬送機構部
２０を取り外した状態でメンテナンス作業を行うことが
できるので、メンテナンスが容易であるとともに、それ
により、メンテナンスに要する時間を短縮することがで
きるため、ダウンタイムを短くすることができる。Further, since the maintenance work can be performed with the transport mechanism section 20 removed from the horizontal moving table 4, the maintenance is easy and the time required for the maintenance can be shortened. Downtime can be shortened.
【００２９】[0029]
【２．変形例】上記の実施の形態では収納部の筐体が直
方体の形状をしているために水平移動テーブルの貫通孔
を矩形のものとしたが、この発明はこれらを上記の形状
に限定するものではなく、収納部を六角柱状のものとし
て、水平移動テーブルの貫通孔を六角形状のものとする
などとしてもよく、さらに、水平移動テーブルの貫通孔
を水平移動テーブルの中央でなく、一辺側に切欠きを設
けたコ字型等としてもよい。[2. Modified Example In the above embodiment, the through hole of the horizontal moving table is rectangular because the housing of the storage portion has a rectangular parallelepiped shape, but the present invention limits these to the above shape. Instead, the storage part may be a hexagonal column shape, the through hole of the horizontal moving table may be a hexagonal shape, and the through hole of the horizontal moving table should be on one side instead of the center of the horizontal moving table. It may be U-shaped or the like provided with a notch.
【００３０】また、上記の実施の形態では収納部６はＹ
の負方向の側面が解放された直方体状の筐体としたが４
方の側面ともに閉鎖された筐体としてもよく、それに伴
い、その上端に取り付けられたコ字型のプレートもロ字
型としてもよい。In addition, in the above-described embodiment, the storage portion 6 is Y
It was a rectangular parallelepiped case with the negative side of
The housing may be closed on both sides, and accordingly, the U-shaped plate attached to the upper end of the housing may also be rectangular.
【００３１】また、上記の実施の形態では水平駆動部が
搬送アームをＸ軸の正負方向に進退駆動し、鉛直駆動部
がＺ軸方向に昇降することにより搬送アームをＺ軸方向
に昇降し、鉛直駆動部が搬送アームをＸ−Ｙ面内におい
てθ方向に回転駆動する構成としたが、搬送アームの駆
動機構の構成はこれに限定されるものではなく水平駆動
部と鉛直駆動部を１つの駆動部とする構成等としてもよ
い。Further, in the above embodiment, the horizontal drive unit drives the transport arm forward and backward in the positive and negative directions of the X axis, and the vertical drive unit moves up and down in the Z axis direction to raise and lower the transport arm in the Z axis direction. Although the vertical drive unit rotationally drives the transfer arm in the θ direction in the XY plane, the configuration of the drive mechanism of the transfer arm is not limited to this, and the horizontal drive unit and the vertical drive unit are combined into one unit. It may be configured as a drive unit.
【００３２】また、上記の実施の形態では水平移動テー
ブル４が水平方向に移動する構成としたが、収納部を支
持する支持台は固定されていてもよい。Further, although the horizontal moving table 4 is configured to move in the horizontal direction in the above-mentioned embodiment, the support base for supporting the storage portion may be fixed.
【００３３】また、搬送アーム１および水平駆動部２は
収納部６の上方に常に突出している構成としたが、各基
板処理部内の基板受渡し位置との基板の受渡し時以外は
収納部６の内部にその全体が収納される構成とすること
も可能である。Further, the transfer arm 1 and the horizontal drive unit 2 are always projected above the storage unit 6, but inside the storage unit 6 except when the substrate is transferred to and from the substrate transfer position in each substrate processing unit. It is also possible to adopt a configuration in which the whole is stored.
【００３４】さらに、上記の実施の形態では対象とする
基板として半導体ウエハのような円形のものを対象とし
たため搬送アーム１もそれに対応した形状のものとした
が、搬送アームの形状はこれに限定されるものでなく、
液晶ガラス基板のようなの矩形の基板を対象とする場合
は搬送アームもそれに対応した形状のものにするなど他
の形状にしてもよい。Further, in the above-mentioned embodiment, since the target substrate is a circular one such as a semiconductor wafer, the transfer arm 1 has a shape corresponding thereto, but the shape of the transfer arm is not limited to this. Not
When a rectangular substrate such as a liquid crystal glass substrate is targeted, the transfer arm may have another shape such as a shape corresponding thereto.
【００３５】[0035]
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の基板搬
送装置では、収納部が支持台に係合することによって搬
送機構本体が支持台に対して着脱自在であるため、装置
を組立てる際には支持台、搬送部、および収納部を別々
に組立てた後に、搬送部および収納部を一体化させて搬
送機構本体として支持台に組付けることができるので組
立てが容易である。As described above, in the substrate transfer apparatus according to the first aspect of the present invention, since the transfer mechanism main body is detachable from the support base due to the accommodation portion engaging with the support base, the apparatus is assembled. Since the support base, the transport unit, and the storage unit can be separately assembled, the transport unit and the storage unit can be integrated and assembled to the support base as the transport mechanism body, so that the assembly is easy.
【００３６】また、製品として出荷した後のメンテナン
スを行う際には、搬送機構本体を支持台から容易に取外
すことができるので、搬送機構本体を支持台から取外し
た状態でメンテナンスを行うことができるため、メンテ
ナンスが容易であるとともに、それにより、メンテナン
スに要する時間を短縮することができるため、ダウンタ
イムを短くすることができる。When carrying out maintenance after shipping as a product, the carrier mechanism main body can be easily removed from the support base, so that maintenance can be performed with the carrier mechanism main body removed from the support base. Therefore, the maintenance is easy, and the time required for the maintenance can be shortened, and the downtime can be shortened.
【００３７】また、請求項２の基板搬送装置では、収納
部が支持台の開口に挿通されるとともに収納部の張出し
片が支持台の開口の縁に係合することによって収納部が
支持され、それによって搬送機構本体が支持される構成
であるので、搬送機構本体は支持台に上方から組付けた
り、支持台から上方に取外したりすることができるた
め、支持台に対して一層容易に着脱することができる。
そのため、請求項１と同様に組立ておよびメンテナンス
が容易であるとともに、メンテナンスに要する時間を短
縮することができるため、ダウンタイムを短くすること
ができる。Further, in the substrate transfer apparatus according to the second aspect, the storage portion is supported by inserting the storage portion into the opening of the support base and engaging the overhanging piece of the storage portion with the edge of the opening of the support base. Since the transport mechanism main body is supported thereby, the transport mechanism main body can be assembled to the support base from above or can be removed from the support base above, so that the transport mechanism main body is more easily attached to and detached from the support base. be able to.
Therefore, as in the first aspect, the assembly and the maintenance are easy, and the time required for the maintenance can be shortened, so that the downtime can be shortened.
【図１】この発明にかかる実施の形態の基板搬送装置の
斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a substrate transfer device according to an embodiment of the present invention.
【図２】図１の透視図である。FIG. 2 is a perspective view of FIG.
【図３】実施の形態の水平移動テーブルから収納部を取
り外した状況を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a state in which a storage unit is removed from the horizontal movement table according to the embodiment.
【図４】従来装置の斜視図である。FIG. 4 is a perspective view of a conventional device.
【図５】図４の透視図である。FIG. 5 is a perspective view of FIG.
１ 搬送アーム ２ 水平駆動部 ３ 鉛直駆動部 ４ 水平移動テーブル ４ｈ 貫通孔 ５ ボールネジ ６ 収納部 ６ａ 筐体 ６ｂ プレート １０ 基板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transfer arm 2 Horizontal drive part 3 Vertical drive part 4 Horizontal movement table 4h Through hole 5 Ball screw 6 Storage part 6a Housing 6b Plate 10 Board
Claims (2)
送するとともに、前記基板の受渡しを行う基板搬送装置
において、 (a) 前記基板の搬送部と、前記搬送部の少なくとも下
側部分を収納する収納部とを有する搬送機構本体と、 (b) 前記収納部と係合することによって前記搬送機構
本体を着脱自在に支持する支持台と、を備えることを特
徴とする基板搬送装置。1. A substrate transfer device for transferring a substrate between respective substrate transfer parts and for transferring the substrate, comprising: (a) accommodating the substrate transfer part and at least a lower part of the transfer part. A substrate transfer apparatus comprising: a transfer mechanism main body having a storage section; and (b) a support base that detachably supports the transfer mechanism main body by engaging with the storage section.
の前記張出し片が前記開口の縁に係合することを特徴と
する基板搬送装置。2. The substrate transfer apparatus according to claim 1, wherein the storage section includes a housing that stores at least a lower portion of the transfer section, and an overhanging piece that projects from the housing, and the support base includes A substrate transfer apparatus having an opening, wherein the storage section is inserted into the opening, and the projecting piece of the storage section engages with an edge of the opening.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP30914095A JP3483685B2 (en) | 1995-11-28 | 1995-11-28 | Substrate transfer device |
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| JP30914095A JP3483685B2 (en) | 1995-11-28 | 1995-11-28 | Substrate transfer device |
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| JPH09148397A true JPH09148397A (en) | 1997-06-06 |
| JP3483685B2 JP3483685B2 (en) | 2004-01-06 |
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| JP (1) | JP3483685B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109693941A (en) * | 2019-01-31 | 2019-04-30 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | The transmission device of liquid crystal display panel |
-
1995
- 1995-11-28 JP JP30914095A patent/JP3483685B2/en not_active Expired - Fee Related
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