JPH09139806A - 画像情報読み取り装置 - Google Patents
画像情報読み取り装置Info
- Publication number
- JPH09139806A JPH09139806A JP7322360A JP32236095A JPH09139806A JP H09139806 A JPH09139806 A JP H09139806A JP 7322360 A JP7322360 A JP 7322360A JP 32236095 A JP32236095 A JP 32236095A JP H09139806 A JPH09139806 A JP H09139806A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- image
- optical fiber
- fiber array
- read
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 電子機器の動作が不能な環境下で非常に解像
度の高い画像情報を比較的広い領域で比較的高速に読み
取る。 【解決手段】 対象物１０の表面の画像を対物レンズ１
１により光ファイバアレイ１２の先端に結像させるとと
もに、その光学系に回転ミラー１４を挿入して画像読み
取り領域を移動させ、このミラー１４を回転させる往復
回転駆動装置１６および光ファイバアレイ１２の後端に
光学的に結合されたＣＣＤラインセンサ１３を制御装置
２１で制御することにより、ミラー１４の回転に同期し
てＣＣＤラインセンサ１３から画像信号を読み出し、Ａ
／Ｄ変換器２３でデジタルデータに変換した上でフレー
ムメモリ２４に蓄積する。
度の高い画像情報を比較的広い領域で比較的高速に読み
取る。 【解決手段】 対象物１０の表面の画像を対物レンズ１
１により光ファイバアレイ１２の先端に結像させるとと
もに、その光学系に回転ミラー１４を挿入して画像読み
取り領域を移動させ、このミラー１４を回転させる往復
回転駆動装置１６および光ファイバアレイ１２の後端に
光学的に結合されたＣＣＤラインセンサ１３を制御装置
２１で制御することにより、ミラー１４の回転に同期し
てＣＣＤラインセンサ１３から画像信号を読み出し、Ａ
／Ｄ変換器２３でデジタルデータに変換した上でフレー
ムメモリ２４に蓄積する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、高精細な画像情
報を読み取るための、悪環境下で使用されるのに好適な
画像情報読み取り装置に関する。
報を読み取るための、悪環境下で使用されるのに好適な
画像情報読み取り装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】装置や物体の表面の非常に細かい異常
（表面の傷、クラック、異物の付着等）の有無を精密検
査する場合、人間の目で直接観察することは不可能であ
るため、高解像度ＣＣＤカメラやラインセンサを用いた
スキャナー装置が使用されている。また、イメージファ
イバを用いたファイバスコープなどが使用されることも
ある。
（表面の傷、クラック、異物の付着等）の有無を精密検
査する場合、人間の目で直接観察することは不可能であ
るため、高解像度ＣＣＤカメラやラインセンサを用いた
スキャナー装置が使用されている。また、イメージファ
イバを用いたファイバスコープなどが使用されることも
ある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＣＣＤ
カメラやスキャナー装置などの電子的な画像情報読み取
り装置は、高温度の環境下あるいは高放射線雰囲気の環
境下では、破損するため、使用不可能である。イメージ
ファイバを用いたファイバスコープなどは、画素数に限
界がある（通常３万画素程度）ため、このような非常に
解像度の高い画像情報を得ることはできない。
カメラやスキャナー装置などの電子的な画像情報読み取
り装置は、高温度の環境下あるいは高放射線雰囲気の環
境下では、破損するため、使用不可能である。イメージ
ファイバを用いたファイバスコープなどは、画素数に限
界がある（通常３万画素程度）ため、このような非常に
解像度の高い画像情報を得ることはできない。
【０００４】この発明は、上記に鑑み、高温度の環境下
あるいは高放射線雰囲気の環境下等、電子機器の動作が
不能な環境下で非常に解像度の高い画像情報を比較的高
速に読み取ることができる、画像情報読み取り装置を提
供することを目的とする。
あるいは高放射線雰囲気の環境下等、電子機器の動作が
不能な環境下で非常に解像度の高い画像情報を比較的高
速に読み取ることができる、画像情報読み取り装置を提
供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明による画像情報読み取り装置においては、
多数の光ファイバが両端において１列に配列されその位
置関係が両端で相互に対応している光ファイバアレイ
と、該光ファイバアレイの一端に対象画像を結像させる
光学系と、該光学系中に挿入された往復回転ミラーと、
上記光ファイバアレイの他端から出射される各光ファイ
バごとの光信号を電気信号に変換する光電変換器と、上
記のミラーの回転に同期して上記光電変換器からの電気
信号の読み出しタイミングを制御する制御装置とが備え
られることが特徴となっている。
め、この発明による画像情報読み取り装置においては、
多数の光ファイバが両端において１列に配列されその位
置関係が両端で相互に対応している光ファイバアレイ
と、該光ファイバアレイの一端に対象画像を結像させる
光学系と、該光学系中に挿入された往復回転ミラーと、
上記光ファイバアレイの他端から出射される各光ファイ
バごとの光信号を電気信号に変換する光電変換器と、上
記のミラーの回転に同期して上記光電変換器からの電気
信号の読み出しタイミングを制御する制御装置とが備え
られることが特徴となっている。
【０００６】一端から入力された画像の光信号は光ファ
イバアレイによって伝送され、他端に配置された光電変
換器によって電気信号に変換されるため、温度や放射線
などに敏感な光電変換器は高温度あるいは高放射線雰囲
気などの悪環境下に置かずに、悪環境下には光ファイバ
アレイの先端部分と光学系と往復回転ミラーのみを置く
だけで済む。そしてこれらは悪環境に耐え得るものであ
るから、悪環境の下で画像を読み取ることが可能とな
る。さらに、読み取る画像の解像度は、光ファイバアレ
イの先端における光ファイバの配列密度と、光学系の拡
大率と、光電変換器からの電気信号の読み出しタイミン
グの間隔（往復回転ミラーの回転角度に対応）とに依存
しているため、この解像度をきわめて高くすることも非
常に容易である。回転ミラーでスキャニングするため、
ある程度広い領域をスキャニングでき、回転ミラーの回
転を速くすることも容易であるから、比較的広い領域に
ついての比較的高いフレームレートでの動画情報を得る
ことができる。
イバアレイによって伝送され、他端に配置された光電変
換器によって電気信号に変換されるため、温度や放射線
などに敏感な光電変換器は高温度あるいは高放射線雰囲
気などの悪環境下に置かずに、悪環境下には光ファイバ
アレイの先端部分と光学系と往復回転ミラーのみを置く
だけで済む。そしてこれらは悪環境に耐え得るものであ
るから、悪環境の下で画像を読み取ることが可能とな
る。さらに、読み取る画像の解像度は、光ファイバアレ
イの先端における光ファイバの配列密度と、光学系の拡
大率と、光電変換器からの電気信号の読み出しタイミン
グの間隔（往復回転ミラーの回転角度に対応）とに依存
しているため、この解像度をきわめて高くすることも非
常に容易である。回転ミラーでスキャニングするため、
ある程度広い領域をスキャニングでき、回転ミラーの回
転を速くすることも容易であるから、比較的広い領域に
ついての比較的高いフレームレートでの動画情報を得る
ことができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて図面を参照しながら詳細に説明する。図１におい
て、光ファイバアレイ１２は、多数の光ファイバを１列
に並べてテープ状に形成したもので、その一端には対物
レンズ１１が、他端には接眼レンズ（リレーレンズ）１
５がそれぞれ配置される。この光ファイバアレイ１２の
先端の対物レンズ１１との間にはミラー１４が往復回転
自在に配置される。そしてこのミラー１４は磁石とコイ
ルとからなる往復回転駆動装置（ガルバノスキャナ）１
６により高速に（たとえば５０〜６０Ｈｚで）往復回転
駆動されるようになっている。
いて図面を参照しながら詳細に説明する。図１におい
て、光ファイバアレイ１２は、多数の光ファイバを１列
に並べてテープ状に形成したもので、その一端には対物
レンズ１１が、他端には接眼レンズ（リレーレンズ）１
５がそれぞれ配置される。この光ファイバアレイ１２の
先端の対物レンズ１１との間にはミラー１４が往復回転
自在に配置される。そしてこのミラー１４は磁石とコイ
ルとからなる往復回転駆動装置（ガルバノスキャナ）１
６により高速に（たとえば５０〜６０Ｈｚで）往復回転
駆動されるようになっている。
【０００８】対物レンズ１１は対象物１０の表面に接近
して配置されており、その表面の画像がミラー１４の反
射によって光ファイバアレイ１２の先端に結像するよう
にされる。このミラー１４の回転により、結像領域が対
象物１０の表面上を（この図では左右方向に）移動し、
これにより対象物１０の表面のスキャニングが行なわれ
ることになる。対象物１０の表面が暗くて照明が必要な
場合は、照明光を送る別の光ファイバ（図示しない）を
この光ファイバアレイ１２に沿って配置し、そのスキャ
ニングする部分に照明光が照射されるようにする。
して配置されており、その表面の画像がミラー１４の反
射によって光ファイバアレイ１２の先端に結像するよう
にされる。このミラー１４の回転により、結像領域が対
象物１０の表面上を（この図では左右方向に）移動し、
これにより対象物１０の表面のスキャニングが行なわれ
ることになる。対象物１０の表面が暗くて照明が必要な
場合は、照明光を送る別の光ファイバ（図示しない）を
この光ファイバアレイ１２に沿って配置し、そのスキャ
ニングする部分に照明光が照射されるようにする。
【０００９】光ファイバアレイ１２の他端にはＣＣＤラ
インセンサ１３が配置され、接眼レンズ１５を介してこ
の他端と光学的に結合させられる。ＣＣＤラインセンサ
１３は光ファイバアレイ１２の各ファイバに対応して光
検出セルを有しており、光ファイバアレイ１２のファイ
バ数に対応する数の画素の映像信号が得られる。すなわ
ち、各光検出セルから光ファイバアレイ１２のファイバ
の各々の出射光が検出されるが、ＣＣＤラインセンサ１
３の読み出しは一端から他端へと時間的に順次行なわれ
るため、この映像信号は光ファイバアレイ１２の先端で
のファイバの配列に対応する１列の各画素の信号が時間
的に並べられたものとなる。このＣＣＤラインセンサ１
３の読み出し走査は、ミラー１４の回転に同期させられ
る。すなわち、ＣＣＤラインセンサ１３は制御装置２１
により制御されており、この制御装置２１は往復回転駆
動装置１６をも制御している。制御装置２１が往復回転
駆動装置１６を制御してミラー１４を微小角度ずつステ
ップ的に回転させるとき、そのミラー１４の微小角度ず
つのステップ的な回転に同期してＣＣＤラインセンサ１
３の読み出し走査がなされる。これにより、対象物１０
の表面の（図では左右方向の）ある位置での細長い領域
の画像を表わす１列の画素の映像信号が得られた後、ミ
ラー１４の微小角度の回転が行なわれ、つぎの位置での
細長い領域の画像を表わす１列の画素の映像信号が得ら
れるというようにして、スキャニングおよびＣＣＤライ
ンセンサ１３からの映像信号（ラスタ信号）出力がなさ
れていく。
インセンサ１３が配置され、接眼レンズ１５を介してこ
の他端と光学的に結合させられる。ＣＣＤラインセンサ
１３は光ファイバアレイ１２の各ファイバに対応して光
検出セルを有しており、光ファイバアレイ１２のファイ
バ数に対応する数の画素の映像信号が得られる。すなわ
ち、各光検出セルから光ファイバアレイ１２のファイバ
の各々の出射光が検出されるが、ＣＣＤラインセンサ１
３の読み出しは一端から他端へと時間的に順次行なわれ
るため、この映像信号は光ファイバアレイ１２の先端で
のファイバの配列に対応する１列の各画素の信号が時間
的に並べられたものとなる。このＣＣＤラインセンサ１
３の読み出し走査は、ミラー１４の回転に同期させられ
る。すなわち、ＣＣＤラインセンサ１３は制御装置２１
により制御されており、この制御装置２１は往復回転駆
動装置１６をも制御している。制御装置２１が往復回転
駆動装置１６を制御してミラー１４を微小角度ずつステ
ップ的に回転させるとき、そのミラー１４の微小角度ず
つのステップ的な回転に同期してＣＣＤラインセンサ１
３の読み出し走査がなされる。これにより、対象物１０
の表面の（図では左右方向の）ある位置での細長い領域
の画像を表わす１列の画素の映像信号が得られた後、ミ
ラー１４の微小角度の回転が行なわれ、つぎの位置での
細長い領域の画像を表わす１列の画素の映像信号が得ら
れるというようにして、スキャニングおよびＣＣＤライ
ンセンサ１３からの映像信号（ラスタ信号）出力がなさ
れていく。
【００１０】この映像信号は映像増幅器２２を経てＡ／
Ｄ変換器２３に送られる。このＡ／Ｄ変換器２３は制御
装置２１により制御され、そのサンプリングタイミング
がＣＣＤラインセンサ１３の読み出しに同期させられ、
上記のように１列ごとに送られてくる映像信号における
光ファイバアレイ１２の各ファイバに対応した各画素の
信号がそれぞれデジタルデータに変換され、制御装置２
１により指定されたフレームメモリ２４の各アドレスに
格納される。
Ｄ変換器２３に送られる。このＡ／Ｄ変換器２３は制御
装置２１により制御され、そのサンプリングタイミング
がＣＣＤラインセンサ１３の読み出しに同期させられ、
上記のように１列ごとに送られてくる映像信号における
光ファイバアレイ１２の各ファイバに対応した各画素の
信号がそれぞれデジタルデータに変換され、制御装置２
１により指定されたフレームメモリ２４の各アドレスに
格納される。
【００１１】こうしてミラー１４のある角度範囲内での
１方向の回転が終了すると、対象物１０の表面の所定の
範囲についてのスキャニングが終了し、その範囲の表面
の画像を表わす１フレームの画像データがフレームメモ
リ２４において完成する。この画像データが制御装置２
１の制御のもとに読み出されてＤ／Ａ変換器２５に送ら
れてアナログの映像信号に変換され、その後画像モニタ
ー装置２６に送られる。したがって、ミラー１４の回転
によりスキャニングした範囲の対象物１０の表面画像が
画像モニター装置２６により表示される。
１方向の回転が終了すると、対象物１０の表面の所定の
範囲についてのスキャニングが終了し、その範囲の表面
の画像を表わす１フレームの画像データがフレームメモ
リ２４において完成する。この画像データが制御装置２
１の制御のもとに読み出されてＤ／Ａ変換器２５に送ら
れてアナログの映像信号に変換され、その後画像モニタ
ー装置２６に送られる。したがって、ミラー１４の回転
によりスキャニングした範囲の対象物１０の表面画像が
画像モニター装置２６により表示される。
【００１２】この表示画像の画素数は、光ファイバアレ
イ１２におけるファイバの配列数（およびこれに対応す
るＣＣＤラインセンサ１３の光検出セルの配列数）と、
ミラー１４の回転ステップ数とに依存しており、またそ
の各画素の大きさは、光ファイバアレイ１２の先端にお
けるファイバの配列密度（ピッチ）および対物レンズ１
１の拡大率と、ミラー１４のステップ的な回転角度とに
依存していることから、非常に高い解像度の画像を得る
ことが可能である。さらに、ミラー１４は軽量にできる
ので、かなり速いスキャニングが可能であり、５０〜６
０Ｈｚ程度のフレームレートとすることも容易である。
これにより対象物１０の表面が時間的に変化している場
合にその変化の様子を表わす動画を得ることができる。
スキャニングする範囲はミラー１４の往復回転角度と対
物レンズ１１の拡大率で決まるので、かなり広い領域を
スキャニングすることができる。
イ１２におけるファイバの配列数（およびこれに対応す
るＣＣＤラインセンサ１３の光検出セルの配列数）と、
ミラー１４の回転ステップ数とに依存しており、またそ
の各画素の大きさは、光ファイバアレイ１２の先端にお
けるファイバの配列密度（ピッチ）および対物レンズ１
１の拡大率と、ミラー１４のステップ的な回転角度とに
依存していることから、非常に高い解像度の画像を得る
ことが可能である。さらに、ミラー１４は軽量にできる
ので、かなり速いスキャニングが可能であり、５０〜６
０Ｈｚ程度のフレームレートとすることも容易である。
これにより対象物１０の表面が時間的に変化している場
合にその変化の様子を表わす動画を得ることができる。
スキャニングする範囲はミラー１４の往復回転角度と対
物レンズ１１の拡大率で決まるので、かなり広い領域を
スキャニングすることができる。
【００１３】しかも、光ファイバアレイ１２によって各
画素の信号を光信号として伝送するので、この光ファイ
バアレイ１２をある程度長くすることにより、温度や放
射線などに敏感なＣＣＤラインセンサ１３などの半導体
装置を、高温雰囲気あるいは高放射線雰囲気などの悪環
境から離れた場所に置くことができ、悪環境下にはミラ
ー１４や往復回転駆動装置１６などを置くだけで済む。
このことから、悪環境下に置かれた対象物１０の表面の
画像情報を安定して読み取ることが可能となる。
画素の信号を光信号として伝送するので、この光ファイ
バアレイ１２をある程度長くすることにより、温度や放
射線などに敏感なＣＣＤラインセンサ１３などの半導体
装置を、高温雰囲気あるいは高放射線雰囲気などの悪環
境から離れた場所に置くことができ、悪環境下にはミラ
ー１４や往復回転駆動装置１６などを置くだけで済む。
このことから、悪環境下に置かれた対象物１０の表面の
画像情報を安定して読み取ることが可能となる。
【００１４】そのため、ここで説明した画像情報読み取
り装置によれば、画像モニター装置２６の画面に高精細
画像として表示された対象物１０の表面画像を人間の目
で観察することにより、対象物（装置や物体）１０が高
温雰囲気あるいは高放射線雰囲気などの悪環境下に置か
れている場合に、その装置や物体の表面の非常に細かい
異常、つまり表面の傷、クラック、異物の付着の有無な
どを精密検査することや表面の非常に細かい時間的な変
化を観察することが容易である。
り装置によれば、画像モニター装置２６の画面に高精細
画像として表示された対象物１０の表面画像を人間の目
で観察することにより、対象物（装置や物体）１０が高
温雰囲気あるいは高放射線雰囲気などの悪環境下に置か
れている場合に、その装置や物体の表面の非常に細かい
異常、つまり表面の傷、クラック、異物の付着の有無な
どを精密検査することや表面の非常に細かい時間的な変
化を観察することが容易である。
【００１５】なお、ミラー１４を回転させる機構は、上
記以外に種々に構成できることはもちろんである。ミラ
ー１４はステップ的に回転させるのでなく、ある角度範
囲内で連続的に回転させ、その連続回転時間中に制御装
置２１からＣＣＤラインセンサ１３に所定個数の信号読
み出し指令を順次与えるよう構成することもできる。こ
の場合、信号読み出し指令の時間的な間隔がミラー１４
の角度つまり対象物１０の表面のスキャニング間隔に対
応し、信号読み出し指令の個数が対象物１０の表面のス
キャニング方向（左右方向）の画素数に対応することに
なる。また、光ファイバアレイ１２は、両端部分におい
て多数の光ファイバが１列に配列されていて、その配列
関係が両端で対応しているものであれば、上記のような
テープ状のものに限らない。光ファイバアレイ１２によ
って伝送されてきた光信号を電気信号に変換するライン
センサはＣＣＤラインセンサ１３以外の他のラインセン
サを用いることができる。さらに、上記の例では、フレ
ームメモリ２４に画像データを蓄積して１フレームの画
像を形成しているが、フレームメモリ２４を用いずに画
素信号を直接紙などにプリントして画像を作る構成など
を採用することも可能である。
記以外に種々に構成できることはもちろんである。ミラ
ー１４はステップ的に回転させるのでなく、ある角度範
囲内で連続的に回転させ、その連続回転時間中に制御装
置２１からＣＣＤラインセンサ１３に所定個数の信号読
み出し指令を順次与えるよう構成することもできる。こ
の場合、信号読み出し指令の時間的な間隔がミラー１４
の角度つまり対象物１０の表面のスキャニング間隔に対
応し、信号読み出し指令の個数が対象物１０の表面のス
キャニング方向（左右方向）の画素数に対応することに
なる。また、光ファイバアレイ１２は、両端部分におい
て多数の光ファイバが１列に配列されていて、その配列
関係が両端で対応しているものであれば、上記のような
テープ状のものに限らない。光ファイバアレイ１２によ
って伝送されてきた光信号を電気信号に変換するライン
センサはＣＣＤラインセンサ１３以外の他のラインセン
サを用いることができる。さらに、上記の例では、フレ
ームメモリ２４に画像データを蓄積して１フレームの画
像を形成しているが、フレームメモリ２４を用いずに画
素信号を直接紙などにプリントして画像を作る構成など
を採用することも可能である。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の画像情
報読み取り装置によれば、通常の半導体装置が安定に動
作できないような高温度あるいは高放射線の雰囲気など
の悪環境下でも、非常に解像度の高い画像情報を安定・
高速に読み取ることができて、ある程度広い領域につい
ての高精細画像を高いフレームレートで得ることが可能
である。
報読み取り装置によれば、通常の半導体装置が安定に動
作できないような高温度あるいは高放射線の雰囲気など
の悪環境下でも、非常に解像度の高い画像情報を安定・
高速に読み取ることができて、ある程度広い領域につい
ての高精細画像を高いフレームレートで得ることが可能
である。
【図１】この発明の実施の形態にかかる画像情報読み取
り装置のブロック図。
り装置のブロック図。
１０ 対象物 １１ 対物レンズ １２ 光ファイバアレイ １３ ＣＣＤラインセンサ １４ 回転ミラー １５ 接眼レンズ １６ 往復回転駆動装置 ２１ 制御装置 ２２ 映像増幅器 ２３ Ａ／Ｄ変換器 ２４ フレームメモリ ２５ Ｄ／Ａ変換器 ２６ 画像モニター装置
Claims (1)
- 【請求項１】 多数の光ファイバが両端において１列に
配列されその位置関係が両端で相互に対応している光フ
ァイバアレイと、該光ファイバアレイの一端に対象画像
を結像させる光学系と、該光学系中に挿入された往復回
転ミラーと、上記光ファイバアレイの他端から出射され
る各光ファイバごとの光信号を電気信号に変換する光電
変換器と、上記のミラーの回転に同期して上記光電変換
器からの電気信号の読み出しタイミングを制御する制御
装置とを備えることを特徴とする画像情報読み取り装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7322360A JPH09139806A (ja) | 1995-11-16 | 1995-11-16 | 画像情報読み取り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7322360A JPH09139806A (ja) | 1995-11-16 | 1995-11-16 | 画像情報読み取り装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09139806A true JPH09139806A (ja) | 1997-05-27 |
Family
ID=18142778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7322360A Pending JPH09139806A (ja) | 1995-11-16 | 1995-11-16 | 画像情報読み取り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09139806A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001177705A (ja) * | 1999-12-16 | 2001-06-29 | Nec Corp | 画像入力方法及び入力装置 |
| JP2002028764A (ja) * | 2000-07-13 | 2002-01-29 | Tokai Carbon Co Ltd | 鉄鋼の連続鋳造におけるブレークアウト監視方法および装置 |
| WO2012086142A1 (ja) * | 2010-12-24 | 2012-06-28 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 検査装置 |
| JP2018179786A (ja) * | 2017-04-14 | 2018-11-15 | 新日鐵住金株式会社 | 撮像装置および検査システム |
-
1995
- 1995-11-16 JP JP7322360A patent/JPH09139806A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001177705A (ja) * | 1999-12-16 | 2001-06-29 | Nec Corp | 画像入力方法及び入力装置 |
| JP2002028764A (ja) * | 2000-07-13 | 2002-01-29 | Tokai Carbon Co Ltd | 鉄鋼の連続鋳造におけるブレークアウト監視方法および装置 |
| WO2012086142A1 (ja) * | 2010-12-24 | 2012-06-28 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 検査装置 |
| JP2018179786A (ja) * | 2017-04-14 | 2018-11-15 | 新日鐵住金株式会社 | 撮像装置および検査システム |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100704083B1 (ko) | 광학 거리를 결정하는 장치 및 결정 방법 | |
| JP2753541B2 (ja) | 静止画撮像装置 | |
| US5764285A (en) | Imaging apparatus having area sensor and line sensor | |
| JPH0614750B2 (ja) | カラ−原稿撮像装置 | |
| US5067020A (en) | Dual sensor film scanner having coupled optics and a video viewfinder | |
| US4706185A (en) | Apparatus for displaying ultrasonic image | |
| JP2001109422A (ja) | 動き検出画像制御機能を有するｃｃｄ書画カメラ付き液晶プロジェクタ | |
| JPH09139806A (ja) | 画像情報読み取り装置 | |
| JP3694956B2 (ja) | 光走査型顕微鏡 | |
| JP4574758B2 (ja) | 顕微鏡画像観察装置 | |
| US10129474B2 (en) | Observation apparatus, measurement system and observation method | |
| JPH09139821A (ja) | 画像情報読み取り装置 | |
| JP3462565B2 (ja) | 内視鏡用撮像装置 | |
| JPH09139807A (ja) | 画像情報読み取り装置 | |
| JP2000149848A (ja) | 透過電子顕微鏡像観察装置 | |
| JP2001242070A (ja) | 撮像装置 | |
| KR100704762B1 (ko) | 저조도 카메라 | |
| JP4792239B2 (ja) | 走査型共焦点レーザ顕微鏡 | |
| JPH03187582A (ja) | 赤外検知装置 | |
| JPH0679110B2 (ja) | 内視鏡装置 | |
| JPH10164327A (ja) | 画像入力装置 | |
| CN102045482A (zh) | 带可旋转镜片平面图像采集器 | |
| JPS60182883A (ja) | 画像の拡大表示方式 | |
| JPH09501036A (ja) | 部品の運動を検出する方法及び装置 | |
| JPH03188338A (ja) | 二次元赤外線撮像装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040413 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040614 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041208 |