JPH09106066A - Pericle liner separating method - Google Patents
Pericle liner separating methodInfo
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- JPH09106066A JPH09106066A JP26113395A JP26113395A JPH09106066A JP H09106066 A JPH09106066 A JP H09106066A JP 26113395 A JP26113395 A JP 26113395A JP 26113395 A JP26113395 A JP 26113395A JP H09106066 A JPH09106066 A JP H09106066A
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- pellicle
- liner
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体素子製造に
用いられるマスク又はレチクルに、防塵のためのぺリク
ル付フレームを貼付ける作業又は動作に関し、詳しく
は、ぺリクル付フレームの貼付け面を保護するペリクル
ライナーに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a work or an operation of attaching a frame with a pellicle for dust protection to a mask or a reticle used for manufacturing a semiconductor element, and more specifically, to protect the attachment surface of the frame with a pellicle. About the pellicle liner.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体素子構造の微細化に伴い、半導体
素子製造のフォトリソグラフィ工程で用いられるマスク
又はレチクルの保管、管理も年々厳しさを増している。
マスク又はレチクル（以下、両者を合わせて基板と称
す）のパターン領域にゴミやダストが付着するのを防止
するために、従来から、基板表面から５〜７mm程度の間
隔をとって、ぺリクルを設ける手法、すなわち、ペリク
ル付フレームを基板に貼付ける方法が採用されていた。2. Description of the Related Art With the miniaturization of semiconductor device structures, the storage and management of masks or reticles used in the photolithography process for manufacturing semiconductor devices have become more and more strict year by year.
In order to prevent dust and dirt from adhering to the pattern area of a mask or reticle (hereinafter, both are collectively referred to as a substrate), a pellicle is conventionally placed at a distance of about 5 to 7 mm from the substrate surface. A method of providing, that is, a method of attaching a frame with a pellicle to a substrate has been adopted.
【０００３】図３に示すように、ぺリクル付フレーム１
は、光学的に安定した透明高分子膜であるペリクル２
を、基板の形状、寸法に合わせた高さ５〜７mm程度のフ
レーム３の片方の面に張設し、もう一方の面に粘着層を
設けたものである。該粘着層を保護するために、ペリク
ル付フレームの貼付け面は、ペリクルライナー４と称す
るシートで覆われている。ペリクルライナー４は、フレ
ーム３の粘着面とほぼ同じ形状、寸法であるが、ペリク
ルライナー４を粘着面から剥がすときに掴むための突き
出し部分が設けられている。この突き出し部分をライナ
ー耳５と称する。As shown in FIG. 3, a frame 1 with a pellicle is provided.
Is a pellicle 2 which is an optically stable transparent polymer film
Is stretched on one surface of the frame 3 having a height of about 5 to 7 mm according to the shape and size of the substrate, and an adhesive layer is provided on the other surface. In order to protect the adhesive layer, the attachment surface of the frame with a pellicle is covered with a sheet called a pellicle liner 4. The pellicle liner 4 has substantially the same shape and size as the adhesive surface of the frame 3, but has a protruding portion for gripping when the pellicle liner 4 is peeled from the adhesive surface. This protruding portion is called a liner ear 5.
【０００４】ぺリクル付フレーム１は、図４に示すよう
に、使用前にはフレームケース６に収納されている。フ
レームケース６は、トレイ６ａと蓋６ｂから構成され
る。ペリクルライナー４を剥離するときには、通常は、
人手にてフレームケース６からペリクル付フレーム１を
取り出し、ライナー耳５を掴んでペリクルライナー４を
剥がし、ペリクルライナー４を回収用ボックスに投入し
ていた。The pellicle-equipped frame 1 is housed in a frame case 6 before use, as shown in FIG. The frame case 6 is composed of a tray 6a and a lid 6b. When peeling off the pellicle liner 4, normally,
The frame 1 with a pellicle was manually taken out from the frame case 6, the liner ears 5 were gripped, the pellicle liner 4 was peeled off, and the pellicle liner 4 was placed in the collection box.
【０００５】又、近年上記操作を自動で行う発明がなさ
れており、例えば、特開平1-97961に自動ペリクル貼付
装置が記載されている。この自動ペリクル貼付装置にお
いては、ペリクルライナー４を剥離するときには、ロボ
ットアームにてフレームケース６からペリクル付フレー
ム１を取り出して把持し、別のロボットアームの先でラ
イナー耳５を掴んで固定した後に、ペリクル付フレーム
１を把持したロボットアームを移動するという手法が採
られている。この場合も、ペリクルライナー４を回収用
ボックスに投入する。Further, in recent years, an invention has been made in which the above operation is automatically performed. For example, JP-A-1-97961 discloses an automatic pellicle sticking device. In this automatic pellicle sticking apparatus, when the pellicle liner 4 is peeled off, the robot arm takes out the frame 1 with the pellicle from the frame case 6 and holds it, and after holding the liner ear 5 by the tip of another robot arm, it is fixed. A method of moving a robot arm that holds the frame 1 with a pellicle is adopted. Also in this case, the pellicle liner 4 is put in the collection box.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上述の従来の方法にお
いて、人手にてペリクルライナーを剥がす場合は、ペリ
クル付フレームの取り出し、ペリクルライナーの剥離、
ペリクルライナーの投入、トレイの投入という４つの基
本作業があった。又、上記の自動ペリクル貼付装置を用
いてペリクルライナーを剥がす場合も同様に、ペリクル
付フレームの取り出し、ペリクルライナーの剥離、ペリ
クルライナーの投入、トレイの投入という４つの基本動
作が必要であった。In the conventional method described above, when the pellicle liner is manually peeled off, the frame with the pellicle is taken out, the pellicle liner is peeled off,
There were four basic tasks: loading the pellicle liner and loading the tray. Similarly, when the pellicle liner is peeled off using the above-mentioned automatic pellicle sticking device, four basic operations of taking out the frame with the pellicle, peeling the pellicle liner, loading the pellicle liner, and loading the tray are required.
【０００７】人手による方法では、上記４つの動作をな
るべく軽減することが課題であり、自動ペリクル貼付装
置を用いる方法では、ロボットのシーケンス制御を簡略
化することが課題である。In the manual method, the problem is to reduce the above four operations as much as possible, and in the method using the automatic pellicle sticking device, the problem is to simplify the sequence control of the robot.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、マスク又はレチクルに防塵のためのペリク
ル付フレームを貼付ける際に、前記ペリクル付フレーム
の粘着面を保護するためのペリクルライナーを剥離する
方法において、前記ペリクルライナーの突出し部を、前
記ぺリクル付フレームを収納するフレームケースのトレ
イに予め固定しておくことを特徴とする。In order to solve the above problems, the present invention provides a pellicle for protecting an adhesive surface of a pellicle-attached frame when a dust-proof pellicle-attached frame is attached to a mask or reticle. In the method of peeling off the liner, the protruding portion of the pellicle liner is fixed in advance to a tray of a frame case for accommodating the frame with the pellicle.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施例に係るペ
リクルライナーの剥離方法を説明するために、ペリクル
付フレーム１とフレームケースのトレイ６ａとの位置関
係を示す斜視図である。図１において、ペリクル付フレ
ーム１の上面にはペリクル２が張設され、下面のフレー
ム部分には粘着層を保護するためのペリクルライナー４
が貼られている。ペリクルライナー４の、フレームの外
側に突き出している部分がライナー耳５である。ペリク
ル付フレーム１はフレームケース６のトレイ６ａの上に
設置されており、ライナー耳５はピン７によってトレイ
６ａの上面に固定されている。1 is a perspective view showing a positional relationship between a frame 1 with a pellicle and a tray 6a of a frame case in order to explain a method of separating a pellicle liner according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, a pellicle 2 is stretched on an upper surface of a frame 1 with a pellicle, and a pellicle liner 4 for protecting an adhesive layer is provided on a lower frame portion.
Is affixed. The portion of the pellicle liner 4 that projects outside the frame is the liner ear 5. The frame 1 with pellicle is installed on the tray 6a of the frame case 6, and the liner ears 5 are fixed to the upper surface of the tray 6a by the pins 7.
【００１０】従って、ペリクル付フレーム１を把持して
上方に引き上げ、ペリクル付フレーム１をトレイ６ａか
ら緩やかに引き離してゆくと、それに応じてペリクルラ
イナー４の剥離が進行する。剥離が完了した時点で、ペ
リクルライナー４はトレイ６ａの上に残る。ペリクル付
フレーム１は、図２に示すように、使用前にはフレーム
ケース６の中に収納されている。フレームケース６は、
トレイ６ａと蓋６ｂから構成される。ペリクルライナー
４の突き出し部分、すなわちライナー耳５はピン７によ
ってトレイ６ａの上面に固定されている。Therefore, when the frame 1 with pellicle is grasped and pulled upward and the frame 1 with pellicle is gently separated from the tray 6a, the peeling of the pellicle liner 4 progresses accordingly. When the peeling is completed, the pellicle liner 4 remains on the tray 6a. The frame 1 with a pellicle is housed in a frame case 6 before use, as shown in FIG. The frame case 6 is
It is composed of a tray 6a and a lid 6b. The protruding portion of the pellicle liner 4, that is, the liner ear 5 is fixed to the upper surface of the tray 6 a by the pin 7.
【００１１】自動ペリクル貼付装置を用いた場合のペリ
クルライナー剥離動作を以下に説明する。ペリクル付フ
レーム１が収納されたフレームケース６がテーブル上に
搬送され、トレイ６ａの底面に設けられたリブ６ｃによ
り該テーブルに固定される。真空吸着パッドにより蓋６
ｂが取り外され、ロボットアームによりペリクル付フレ
ーム１の側面が挟持され、上方に引き上げられると同時
にペリクルライナー４の剥離が進行する。剥離完了後
に、ペリクルライナー４とトレイ６とを回収ボックスに
投入する。The pellicle liner peeling operation using the automatic pellicle sticking device will be described below. A frame case 6 accommodating the pellicle-equipped frame 1 is conveyed onto a table and fixed to the table by ribs 6c provided on the bottom surface of the tray 6a. 6 with a vacuum suction pad
b is removed, the side surface of the pellicle-equipped frame 1 is sandwiched by the robot arm, and the pellicle liner 4 is peeled off at the same time as being pulled up. After the peeling is completed, the pellicle liner 4 and the tray 6 are put into the collection box.
【００１２】このような剥離動作は、前述した従来の動
作に比べ、別のロボットアームでライナー耳５を掴んで
固定するという動作の分だけ簡略化できる。Such a peeling operation can be simplified as compared with the above-mentioned conventional operation by the operation of gripping and fixing the liner ear 5 by another robot arm.
【００１３】[0013]
【発明の効果】以上のとおり本発明によれば、第１に、
ペリクル付フレーム１の取り出しとペリクルライナー４
の剥離が同時に進行するので、従来は２つの工程であっ
たものが１つで済むことになる。第２に、ペリクルライ
ナー４とトレイ６ａが一体化した状態となるので、従来
はペリクルライナー４とトレイ６ａとを別々に回収して
いたものが１回で済むことになる。As described above, according to the present invention, firstly,
Taking out frame 1 with pellicle and pellicle liner 4
Since the peeling of (1) proceeds at the same time, the conventional two steps can be completed in one. Secondly, since the pellicle liner 4 and the tray 6a are integrated with each other, the pellicle liner 4 and the tray 6a, which have been separately collected in the past, need only be collected once.
【００１４】結局、従来は４つの作業又は動作であった
ものを２つにまとめることができ、その結果、人手によ
る場合は、剥離作業の軽減と作業時間の短縮が図れる。
又、ペリクル貼付装置を用いる場合は、剥離動作のため
の複雑なシーケンス制御を省略できる。In the end, it is possible to combine four operations or operations in the past into two operations. As a result, when the operation is performed manually, the peeling operation and the operation time can be reduced.
Further, when using the pellicle sticking device, complicated sequence control for the peeling operation can be omitted.
【図１】本発明の実施例に係る剥離方法を説明するため
の、トレイ上のペリクル付フレームの斜視図。FIG. 1 is a perspective view of a frame with a pellicle on a tray for explaining a peeling method according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の実施例に係る剥離方法を説明するため
の、ペリクルケース中のペリクル付フレームの断面図。FIG. 2 is a sectional view of a frame with a pellicle in a pellicle case, for explaining a peeling method according to an embodiment of the present invention.
【図３】従来の剥離方法を説明するための、ペリクル付
フレームの斜視図。FIG. 3 is a perspective view of a frame with a pellicle for explaining a conventional peeling method.
【図４】従来の剥離方法を説明するための、ペリクルケ
ース中のペリクル付フレームの断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view of a frame with a pellicle in a pellicle case for explaining a conventional peeling method.
１・・・ペリクル付フレーム ２・・・ペリクル ３・・・フレーム ４・・・ペリクルライナー ５・・・ライナー耳 ６・・・ペリクルケース ６ａ・・・トレイ ６ｂ・・・蓋 ６ｃ・・・リブ ７・・・ピン 1 ... Frame with pellicle 2 ... Pellicle 3 ... Frame 4 ... Pellicle liner 5 ... Liner ear 6 ... Pellicle case 6a ... Tray 6b ... Lid 6c ... Rib 7 ... pin
Claims (1)
クル付フレームを貼付ける際に、前記ペリクル付フレー
ムの粘着面を保護するためのペリクルライナーを剥離す
る方法において、 前記ペリクルライナーの突出し部を、前記ぺリクル付フ
レームを収納するフレームケースのトレイに予め固定し
ておくことを特徴とする、ペリクルライナーの剥離方
法。1. A method of peeling off a pellicle liner for protecting an adhesive surface of the pellicle frame when a pellicle frame for dust protection is attached to a mask or reticle, comprising: A method for peeling a pellicle liner, characterized in that the pellicle liner is fixed to a tray of a frame case for accommodating the pellicle frame.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26113395A JPH09106066A (en) | 1995-10-09 | 1995-10-09 | Pericle liner separating method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26113395A JPH09106066A (en) | 1995-10-09 | 1995-10-09 | Pericle liner separating method |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09106066A true JPH09106066A (en) | 1997-04-22 |
Family
ID=17357558
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26113395A Pending JPH09106066A (en) | 1995-10-09 | 1995-10-09 | Pericle liner separating method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09106066A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002156744A (en) * | 2000-11-17 | 2002-05-31 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | Container for housing pellicle |
| JP2007017811A (en) * | 2005-07-08 | 2007-01-25 | Lasertec Corp | Pellicle liner or device for peeling pellicle, peeling method, and method for manufacturing pattern substrate |
| JP2014098913A (en) * | 2007-07-06 | 2014-05-29 | Asahi Kasei E-Materials Corp | Method for withdrawing large-sized pellicle from housing container |
| JP2014167627A (en) * | 2014-03-20 | 2014-09-11 | Asahi Kasei E-Materials Corp | Method of taking out large-sized pellicle from storage container |
-
1995
- 1995-10-09 JP JP26113395A patent/JPH09106066A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP4677632B2 (en) * | 2005-07-08 | 2011-04-27 | レーザーテック株式会社 | Pellicle liner or pellicle peeling apparatus, peeling method, and pattern substrate manufacturing method |
| JP2014098913A (en) * | 2007-07-06 | 2014-05-29 | Asahi Kasei E-Materials Corp | Method for withdrawing large-sized pellicle from housing container |
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