JPH09101451A - 紫外線用広角レンズ - Google Patents

紫外線用広角レンズ

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JPH09101451A
JPH09101451A JP7260182A JP26018295A JPH09101451A JP H09101451 A JPH09101451 A JP H09101451A JP 7260182 A JP7260182 A JP 7260182A JP 26018295 A JP26018295 A JP 26018295A JP H09101451 A JPH09101451 A JP H09101451A
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wide
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隆夫 長南
Yoshiyuki Fukuyama
義幸 福山
Kenji Ono
賢治 小野
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Japan Steel Works Ltd
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 0.20μmより長い波長帯の紫外線を対象
とし、全画角120度、Fナンバー1.2を達成し、挿
脱自在のNDフィルタや偏光フィルタ等を複数枚配置す
るスペースと、十分なバックフォーカスとを十分に確保
でき、結像性能が良好な紫外線用広角レンズを提供す
る。 【解決手段】 第1レンズ群G1は、物体側から順に、
物体側に凸面を向けた負屈折力を有する第1レンズ成分
と、物体側に凸面を向けた負屈折力を有する第2レンズ
成分とからなり、第2レンズ群G2は、物体側から順
に、物体側に凹面を向けた正屈折力を有する第3レンズ
成分と、負の屈折力を有する第4レンズ成分と、正の屈
折力を有する第5レンズ成分と、負の屈折力を有する第
6レンズ成分と、正の屈折力を有する第7レンズ成分
と、負の屈折力を有する第8レンズ成分と、物体側に凹
面を向けた負の屈折力を有する第9レンズ成分と、正屈
折力を有する第10レンズ成分とからなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、紫外線撮像装置に
用いる紫外線用レンズに関するものであり、特に波長
0.20μmより長い波長帯で使用する紫外線用広角レ
ンズに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来における広角レンズとして、例えば
特開昭54−137328号公報、特開昭55−164
805号公報及び特開昭58−58514号公報には1
0枚構成で、接合レンズが含まれる単焦点広角レンズが
開示されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
特開昭54−137328号公報、特開昭55−164
805号公報及び特開昭58−58514号公報に開示
されている構成で、全画角120度、Fナンバー1.2
程度の諸元を持つ単焦点レンズを達成しようとすると、
収差を良好に補正することができず、鮮明な画像を得る
ことはできない。また、上記公報に開示されたレンズ構
成では、レンズの間に挿脱自在のNDフィルタや偏光フ
ィルタ等を複数枚配置するスペースを十分に確保するこ
とができない問題点がある。
【0004】そこで本発明は上記の問題点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、0.20μ
mより長い波長帯の紫外線を対象とし、全画角120度
を達成し、Fナンバーが1.2と明るく、レンズの間で
挿脱自在のNDフィルタや偏光フィルタ等を複数枚配置
するスペースを十分に確保でき、更に、十分なバックフ
ォーカスが確保でき、結像性能が良好な紫外線用広角レ
ンズの提供にある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の紫外線用広角レンズは、以下に示す構成を有
している。例えば図1に示す如く、本発明の紫外線用広
角レンズは、物体側から順に、負屈折力の第1レンズ群
G1と正屈折力の第2レンズ群G2とを有する紫外線用
広角レンズであって、前記第1レンズ群G1は、物体側
から順に、物体側に凸面を向けた負屈折力を有する第1
レンズ成分L1と、物体側に凸面を向けた負屈折力を有
する第2レンズ成分L2とを有し、前記第2レンズ群G
2は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正屈折力
を有する第3レンズ成分L3と、負の屈折力を有する第
4レンズ成分L4と、正の屈折力を有する第5レンズ成
分L5と、負の屈折力を有する第6レンズ成分L6と、
正の屈折力を有する第7レンズ成分L7と、負の屈折力
を有する第8レンズ成分L8と、物体側に凹面を向けた
負の屈折力を有する第9レンズ成分L9と、正屈折力を
有する第10レンズ成分L10とを有するように構成さ
れる。そして、本発明による紫外線用広角レンズは、以
下の条件を満足するように構成される。 1.86 <|f1/fT|<1.89 ・・・(1) 3.00 <|f2/fT|<3.22 ・・・(2) 但し、f1:前記第1レンズ群G1の焦点距離、 fT:全系の焦点距離、 f2:前記第2レンズ群G2の焦点距離、である。
【0006】また、本発明による紫外線広角レンズの好
ましい態様によれば、前記第2レンズ成分L2と前記第
3レンズ成分L3との光軸上の間隔をD1、前記紫外線
用広角レンズの全系焦点距離をfTとするとき、 2.7<|D1/fT|<2.9 ・・・(3) を満足する。
【0007】また、本発明による紫外線広角レンズの別
の好ましい態様によれば、前記第9レンズ成分L9の物
体側のレンズ面の曲率半径をr21、前記紫外線用広角
レンズの焦点距離をfTとするとき、 −6.0< r21/fT <−3.0 ・・・(4) を満足する。
【0008】
【発明の実施の態様】以下、本発明の実施の形態を、
0.28〜0.3μmの波長帯の紫外光により紫外画像
を得る所謂紫外線撮像装置用の光学系として適用したも
のとして説明する。
【0009】図1は、本発明の実施の形態である紫外線
用広角レンズのレンズ構成図である。図1において、紫
外線用広角レンズは、物体側から順に、負屈折力の第1
レンズ群G1と正屈折力の第2レンズ群G2とから構成
されている。
【0010】負の第1レンズ群G1は、物体側から順
に、物体側に凸面を向けた負屈折力の第1レンズ成分と
しての物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL1
と、物体側に凸面を向けた負屈折力の第2レンズ成分と
しての物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL2と
から構成されている。
【0011】また、正の第2レンズ群G2は、物体側か
ら順に、物体側に凹面を向けた正屈折力の第3レンズ成
分としての物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL
3と、負屈折力の第4レンズ成分としての物体側に凸面
を向けた負メニスカスレンズL4と、正屈折力の第5レ
ンズ成分としての両凸形状の正レンズL5と、負屈折力
の第6レンズ成分としての物体側に凹面を向けた負メニ
スカスレンズL6と、正屈折力の第7レンズ成分として
の両凸形状の正レンズL7と、負屈折力の第8レンズ成
分としての物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL
8と、物体側に凹面を向けた負屈折力の第9レンズ成分
としての物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL9
と、正屈折力の第10レンズ成分としての物体側に凸面
を向けたメニスカスレンズL10とから構成される。
【0012】また、図3は、本発明の別の実施の形態で
ある紫外線用広角レンズのレンズ構成図である。図3に
示す紫外線用広角レンズは、図1に示す紫外線用広角レ
ンズと同様の構成であるため、ここでは説明を省略す
る。
【0013】なお、図1及び図3に示す態様では、第1
レンズ群G1と第2レンズ群G2との間にフィルターF
が配置されている。また、図1及び図3では、第2レン
ズ群G2と紫外線用検知器表面が位置する像面Iとの間
に配置されてこの紫外線用検知器表面を保護するための
窓Wを併せて示している。
【0014】そして、図1及び図3の紫外線用広角レン
ズは以下の条件を満足している。 1.86 <|f1/fT|<1.89 ・・・(1) 3.00 <|f2/fT|<3.22 ・・・(2) 但し、f1:前記第1レンズ群G1の焦点距離、 fT:全系の焦点距離、 f2:前記第2レンズ群G2の焦点距離、である。
【0015】このように、本発明の実施の態様による紫
外線用広角レンズにおいては、10群10枚のレンズか
ら構成され、負の第1レンズ群G1と正の第2レンズ群
G2との焦点距離の比が適切な範囲内に規定されている
ため、諸収差を劣化させることなく、Fナンバーが1.
2と明るく、画角120度のレンズを実現することがで
きる。上述の構成により、本発明の実施の態様による紫
外線用広角レンズでは、負の第1レンズ群G1と正の第
2レンズ群G2との間に挿脱自在のNDフィルタや偏光
フィルタ等を複数枚配置するスペースを確保することが
できる。以下、上記条件について詳述する。
【0016】上記条件(1)は、第1レンズ群G1の焦
点距離に関する最適な比を規定するものである。この条
件(1)の上限値を越える場合には、第1レンズ群G1
の屈折力が弱くなり、バックフォーカスを長くとること
ができなくなる。また、条件(1)の上限値を越える場
合には、全画角120度にわたる光束を通すために極端
に前玉の径を大きくする必要があるため好ましくない。
【0017】一方、条件(1)の下限値を越える場合に
は、第1レンズ群G1の屈折力が強くなるため、バック
フォーカスを長くとることができるが、正の球面収差、
コマ収差、非点収差、歪曲収差等の諸収差が著しく発生
し、第2レンズ群G2でこれらの諸収差を補正しきれな
くなるので好ましくない。
【0018】なお、本発明の実施の形態である紫外線用
広角レンズにおける更なる光学性能の向上を図るために
は、上記条件(1)の上限値を1.88とすることが望
ましい。
【0019】また、本発明の実施の形態である紫外線用
広角レンズでは、第1レンズ群G1に続いて配置される
第2レンズ群G2は、第1レンズ群G1にて発散した光
束を収束させる役割を有している。上記条件(2)は、
この第2レンズ群の焦点距離f2と全系の焦点距離fT
との適切な焦点距離比を規定して、Fナンバーが1.2
の明るさの光束が通過することによる諸収差の発生を抑
えるためのものである。
【0020】上記条件(2)の上限値を越える場合に
は、第2レンズ群の屈折力が弱くなるため、第1レンズ
群G1で発生する軸外の非点収差及びコマ収差の補正が
困難となるので好ましくない。一方、条件(2)の下限
値を越える場合には、第2レンズ群G2の屈折力が強く
なるため、バックフォーカスが短くなるだけではなく、
前玉の径が大きくなるので好ましくない。また、この場
合には、球面収差、非点収差等の諸収差を補正すること
が困難となるので好ましくない。
【0021】さて、本発明の実施の形態である紫外線用
広角レンズは、第2レンズ成分L2と第3レンズ成分L
3との光軸上の間隔をD1、全系焦点距離をfTとする
とき、 2.7<|D1/fT|<2.9 ・・・(3) の条件を満足するように構成することが望ましい。
【0022】上記条件(3)は、全系の焦点距離に対す
る第2レンズ成分L2と第3レンズ成分L3との光軸上
の間隔比を適切に規定するものである。特に、良好な光
学性能を維持しつつ、挿脱自在にNDフィルタや偏光フ
ィルタ等を複数枚配置するためのスプースを確保するた
めの条件である。そして、条件(3)の上限値を越える
場合には、第3レンズ成分L3を通過する軸上光線と軸
外光線との通過位置のバランスが悪くなり、軸外のコマ
収差が大きく発生するため好ましくない。また、この場
合には、必要なバックフォーカスを確保することが困難
になるので好ましくない。
【0023】一方、条件(3)の下限値を越える場合に
は、第2レンズ成分L2と第3レンズ成分L3との光軸
上の間隔が小さくなることを意味し、NDフィルタや偏
光フィルタ等を複数枚配置することが困難になるだけで
なく、コマ収差、非点収差が発生するため好ましくな
い。
【0024】また、本発明の実施の形態である紫外線用
広角レンズは、第9のレンズ成分L9の物体側のレンズ
面の曲率半径をr21、全系の光学系の焦点距離をfT
とするとき、 −6.0<r21/fT<−3.0 ・・・(4) を満足することが望ましい。
【0025】この条件(4)は、第9レンズ成分L9の
物体側レンズ面の曲率半径r21を適切な値に規定する
ものであり、これにより、球面収差、非点収差、コマ収
差等のバランスが良くなるように補正するためのもので
ある。
【0026】この条件(4)の上限値を上回る場合、第
9レンズ成分L9の物体側レンズ面の曲率半径r21が
大きくなるため、このレンズ面の負の屈折力が弱くな
る。これにより、負の球面収差が発生するだけでなく像
面湾曲が増大するため好ましくない。一方、条件(4)
の下限値を下回る場合、コマ収差と像面湾曲が発生する
ため好ましくない。
【0027】
【実施例】以下、本発明の実施の態様である紫外線用広
角レンズの数値実施例を表1及び表2に示す。
【0028】以下の数値実施例は、紫外線用広角レンズ
を0.28〜0.3μmの波長帯の紫外光により紫外画
像を得る所謂紫外線撮像装置用の光学系として、適用し
た例を示すものである。
【0029】以下に各数値実施例の諸元の値を揚げる。
表1、表2中において、rTは波長0.29μmの紫外
線に対する全系の焦点距離、FNOは開放Fナンバー、
2ωは画角、Bfはバックフォーカスを表す。また、f
1は第1レンズ群の焦点距離、f2は第2レンズ群の焦
点距離を表す。そして、左端の数字は、光線の入射順に
沿った順序を表し、rはレンズ面の曲率半径、dはレン
ズ面の間隔、nは各光学部材の0.29μmの紫外線に
対する屈折率を示す。なお、以下の表1及び表2の諸元
においては、フィルタFに相当する平行平面板と紫外線
検知器用保護窓Wに相当する平行平面板のデータを併せ
て示す。
【表1】
【表2】
【0030】次に、上記の数値実施例でレンズ材料とし
て用いられている合成石英及び蛍石の各波長に対する屈
折率(n290、n280、n300)を以下の表3に
示す。ここで、n290は波長0.29μmの紫外線に
対する屈折率、n280は波長0.28μmの紫外線に
対する屈折率、n300は波長0.3μmの紫外線に対
する屈折率を表す。
【表3】
【0031】次に、第1実施例の無限遠時の諸収差図を
図2に、第2実施例の無限遠時の実施例における諸収差
図を図4に示す。ここで、球面収差図中において、実線
は波長0.29μmの紫外線に対する収差を示し、一点
鎖線は波長0.28μmの紫外線に対する収差を示し、
二点鎖線は波長0.3μmの紫外線に対する収差を示
し、破線は正弦条件を示している。また、非点収差図中
において、破線は波長0.29μmの紫外線に対するメ
リジオナル像面、実線は波長0.29μmの紫外線に対
するサジッタル像面を示している。コマ収差図中の実線
はメリジオナルコマ、破線はサジッタルコマを示してい
る。
【0032】各収差図の比較から、各数値実施例による
紫外線用広角レンズは、波長0.28〜0.3μmの範
囲にわたり良好な光学性能を示していることがわかる。
以下の表4に、本発明による各実施例の条件対応値表を
示す。
【表4】
【0033】このように、本発明による各実施例は、上
記条件で規定された範囲を満足しており、これにより、
良好な結像性能が達成されている。
【0034】上述の通り、本発明の実施の形態によれ
ば、その数値実施例に示す如く、Fナンバーが1.2と
明るく、広画角で、レンズの間に挿脱自在のNDフィル
タや偏光フィルタ等を複数枚配置するスペースを確保
し、かつ充分に収差補正された紫外線用広角レンズを良
好な光学性能のもとで提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の数値実施例である第1実施例のレンズ
構成図である。
【図2】本発明の数値実施例である第1実施例の無限遠
時の諸収差図である。
【図3】本発明の数値実施例である第2実施例のレンズ
構成図である。
【図4】本発明の数値実施例である第2実施例の無限遠
時の諸収差図である。
【符号の説明】
G1 第1レンズ群 G2 第2レンズ群 L1 第1レンズ成分 L2 第2レンズ成分 L3 第3レンズ成分 L4 第4レンズ成分 L5 第5レンズ成分 L6 第6レンズ成分 L7 第7レンズ成分 L8 第8レンズ成分 L9 第9レンズ成分 L10 第10レンズ成分

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 物体側より順に、負屈折力の第1レンズ
    群G1と正屈折力の第2レンズ群G2とを有する紫外線
    用広角レンズにおいて、 前記第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凸
    面を向けた負屈折力を有する第1レンズ成分と、物体側
    に凸面を向けた負屈折力を有する第2レンズ成分とから
    なり、 前記第2レンズ群G2は、物体側から順に、物体側に凹
    面を向けた正屈折力を有する第3レンズ成分と、負の屈
    折力を有する第4レンズ成分と、正の屈折力を有する第
    5レンズ成分と、負の屈折力を有する第6レンズ成分
    と、正の屈折力を有する第7レンズ成分と、負の屈折力
    を有する第8レンズ成分と、物体側に凹面を向けた負の
    屈折力を有する第9レンズ成分と、正屈折力を有する第
    10レンズ成分とからなり、 以下の条件を満足することを特徴とする紫外線用広角レ
    ンズ。 1.86<|f1/fT|<1.89 3.00<|f2/fT|<3.22 但し、f1:前記第1レンズ群G1の焦点距離、 fT:全系の焦点距離、 f2:前記第2レンズ群G2の焦点距離、である。
  2. 【請求項2】 前記第2レンズ成分と前記第3レンズ成
    分との光軸上の間隔をD1、前記紫外線用広角レンズの
    全系焦点距離をfTとするとき、 2.7<|D1/fT|<2.9 を満足することを特徴とする請求項1記載の紫外線用広
    角レンズ。
  3. 【請求項3】 前記第9レンズ成分の物体側のレンズ面
    の曲率半径をr21、前記紫外線用広角レンズの焦点距
    離をfTとするとき、 −6.0< r21/fT <−3.0 を満足することを特徴とする請求項1または請求項2記
    載の紫外線用広角レンズ。
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