JPH0894197A - パルス管冷凍機 - Google Patents

パルス管冷凍機

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JPH0894197A
JPH0894197A JP22839194A JP22839194A JPH0894197A JP H0894197 A JPH0894197 A JP H0894197A JP 22839194 A JP22839194 A JP 22839194A JP 22839194 A JP22839194 A JP 22839194A JP H0894197 A JPH0894197 A JP H0894197A
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JP
Japan
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pulse tube
cold head
regenerator
main body
cylinder
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JP22839194A
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English (en)
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Takayuki Matsui
井 隆 行 松
Yoshihiro Ishizaki
崎 嘉 宏 石
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ECTI KK
Aisin Corp
Original Assignee
Aisin Seiki Co Ltd
ECTI KK
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ２系統以上の冷凍サイクルを有する多気筒の
パルス管冷凍機において、２つ以上のパルス管の内少な
くとも１つのパルス管への流入熱がそれに連結するコー
ルドヘッドに伝わるのを抑制して前記コールドヘッドの
冷凍温度を一層低く且つ他のコールドヘッドの冷凍温度
に比べても低くすることが可能なパルス管冷凍機を提供
すること。 【構成】 第２冷凍機本体３０のコールドヘッド３３ａ
を第１冷凍機本体１の蓄冷器１６及びパルス管１８に熱
接触させたこと。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、２系統以上の冷凍サイ
クルを有する多気筒のパルス管冷凍機に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】複数の被冷却体を冷却するためには、２
系統以上の冷凍サイクルを有する多気筒の冷凍機を用い
ることが望まれる。又、近年、信頼性を向上させる点か
ら、低温部に可動部分が存在しないようにしたパルス管
冷凍機が注目を浴びてきている。
【０００３】そこで、２系統の冷凍サイクルを有するパ
ルス管冷凍機としては、特開平５−５５６８号公報に示
されるものが知られている。このものの構成を図４を用
いて説明する。
【０００４】図４に示すパルス管冷凍機１００は、互い
に冷凍温度が同等の第１冷凍機本体１と第２冷凍機本体
３とから構成されている。第１冷凍機本体１は、圧縮シ
リンダ１１と、圧縮シリンダ１１内に往復動可能に配設
され圧縮シリンダ１１との間で第１圧縮空間１２及び第
２圧縮空間１３を形成する圧縮ピストン１４と、第１圧
縮空間１２に放熱器１５ａを有する可撓配管１５を介し
て接続された第１蓄冷器１６と、第１蓄冷器１６の低温
端に結合された第１コールドヘッド１７と、第１コール
ドヘッド１７に接続された第１パルス管１８と、室温雰
囲気にある膨張シリンダ１９と、膨張シリンダ１９内に
往復動可能に配設され膨張シリンダ１９との間で第１パ
ルス管１８の高温端に可撓配管２０を介して接続された
第１膨張空間２１及び第２膨張空間２２を形成する膨張
ピストン２３とから構成されている。尚、圧縮ピストン
１４はロッド２４を介して駆動源であるクランクシャフ
ト２５に連結され、膨張ピストン２３もロッド２６を介
してクランクシャフト２５に連結されている。ここで、
膨張ピストン２３は圧縮ピストン１４よりも所定の位相
差（例えば３０°）進んでいる。又、圧縮ピストン１４
の側部と圧縮シリンダ１１との間及び膨張ピストン２３
の側部と膨張シリンダ１９との間には、夫々ピストンリ
ング２７，２８が配設されている。
【０００５】一方、第２冷凍機本体３は、第２圧縮空間
１３に放熱器３１ａを有する可撓配管３１を介して接続
された第２蓄冷器３２と、第２蓄冷器３２の低温端に結
合された第２コールドヘッド３３と、第２コールドヘッ
ド３３に接続され且つその高温端が可撓配管３５を介し
て第２膨張空間２２に接続された第２パルス管３４とか
ら構成されている。
【０００６】上記した冷凍機１００では、１つの圧縮シ
リンダや圧縮ピストン等により２つの冷凍サイクルの圧
縮部を兼用し、１つの膨張シリンダや膨張ピストン等に
より膨張部（即ち位相調節機構）を兼用することによ
り、部品点数を削減でき、コスト的に有利である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記した冷
凍機１００においては、第１冷凍機本体１と第２冷凍機
本体３との間で熱接触が行われていないため、第１冷凍
機本体１の第１コールドヘッド１７の冷凍温度と第２冷
凍機本体３の第２コールドヘッド３３の冷凍温度とが同
等であり、その温度は未だ低くない。
【０００８】又、第１冷凍機本体１に注目して見ると、
前述したように、膨張シリンダ１９及び膨張ピストン２
３が室温部に存在し、極低温の第１コールドヘッド１７
に第１パルス管１８を介して連結されているので、この
第１パルス管１８を通して様々な種類の熱が流入する。
ここで、この流入熱としては、熱対流（即ち上部から下
部に向けて冷熱が移動する現象：パルス管冷凍機特有の
現象）によるもの、第１パルス管１８内の作動流体の圧
縮膨張に伴う流入熱（パルス管冷凍機特有の現象）、室
温側から低温側への作動流体の伝導熱等が考えられる。
これらの様々な種類の流入熱が冷凍を発生する第１コー
ルドヘッド１７に進入することで、冷凍温度が低くなり
難い。
【０００９】故に、本発明は、２系統以上の冷凍サイク
ルを有する多気筒のパルス管冷凍機において、２つ以上
のパルス管の内少なくとも１つのパルス管への流入熱が
それに連結するコールドヘッドに伝わるのを抑制して前
記コールドヘッドの冷凍温度を一層低く且つ他のコール
ドヘッドの冷凍温度に比べても低くすることが可能なパ
ルス管冷凍機を提供することを、その技術的課題とする
ものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記技術的課題を解決す
るために請求項１の発明において講じた技術的手段（以
下第１の技術的手段と称する）は、内部の作動流体の圧
力を変化させる第１圧力振動源と、第１圧力振動源に接
続された第１蓄冷器と、第１蓄冷器の低温端に結合され
た第１コールドヘッドと、第１コールドヘッドに接続さ
れた第１パルス管と、第１パルス管の高温端に接続され
作動流体の圧力変動と作動流体の動きとの間の位相を調
節する第１位相調節機構とを有する第１パルス管冷凍機
本体と；内部の作動流体の圧力を変化させる第２圧力振
動源と、第２圧力振動源に接続された第２蓄冷器と、第
２蓄冷器の低温端に結合された第２コールドヘッドと、
第２コールドヘッドに接続された第２パルス管と、第２
パルス管の高温端に接続され作動流体の圧力変動と作動
流体の動きとの間の位相を調節する第２位相調節機構と
を有する第２パルス管冷凍機本体とを備えたパルス管冷
凍機において、第２コールドヘッドを第１パルス管に熱
接触させたことである。
【００１１】上記技術的課題を解決するために請求項２
の発明において講じた技術的手段（以下第２の技術的手
段と称する）は、第１シリンダと、第１シリンダ内に往
復動可能に配設され第１シリンダとの間で第１作動空間
及び第２作動空間を形成する第１ピストンと、第１作動
空間に接続された第１蓄冷器と、第１蓄冷器の低温端に
結合された第１コールドヘッドと、第１コールドヘッド
に接続された第１パルス管と、第２シリンダと、第２シ
リンダ内に往復動可能に配設され第２シリンダとの間で
第１パルス管の高温端に接続された第３作動空間及び第
４作動空間を形成する第２ピストンとを有する第１パル
ス管冷凍機本体と；第２作動空間に接続された第２蓄冷
器と、第２蓄冷器の低温端に結合された第２コールドヘ
ッドと、第２コールドヘッドに接続され且つその高温端
が第４作動空間に接続された第２パルス管とを有する第
２パルス管冷凍機本体とを備えたパルス管冷凍機におい
て、第２コールドヘッドを第１パルス管に熱接触させた
ことである。
【００１２】上記第１，第２の技術的手段において、第
１コールドヘッドの冷凍温度を一層低下させるために、
第２コールドヘッドを第１蓄冷器にも熱接触させると好
ましい。
【００１３】上記第１，第２の技術的手段において、第
１パルス管冷凍機本体の低温部への輻射熱の進入を回避
して第１コールドヘッドの冷凍温度を更に一層低下させ
るために、第１コールドヘッド、第１蓄冷器の低温端近
傍及びパルス管の低温端近傍を覆う輻射シールド容器を
備え、第２コールドヘッドを輻射シールド容器にも熱接
触させると好ましい。
【００１４】
【作用】上記第１，第２の技術的手段によれば、第２パ
ルス管冷凍機本体の第２コールドヘッドを第１パルス管
冷凍機本体の第１パルス管に熱接触させたので、熱対流
によるもの、第１パルス管内の作動流体の圧縮膨張に伴
う流入熱、室温側（即ち位相調節機構又は第２シリン
ダ）から低温側への作動流体の伝導熱等の第１パルス管
への流入熱が第１パルス管に連結された第１コールドヘ
ッドに伝わるのを極力抑制できる。その結果、第１コー
ルドヘッドの冷凍温度を低下させることができると共
に、第１コールドヘッドの冷凍温度を第２コールドヘッ
ドよりも低くすることができる。
【００１５】又、各コールドヘッド間で冷凍温度の温度
差をつけることが可能になるので、２つの被冷却体を夫
々異なる温度に冷却したい場合に有効である。
【００１６】又、上記第１，第２の技術的手段におい
て、第２コールドヘッドを第１蓄冷器にも熱接触させる
と、第１コールドヘッドの冷凍温度を一層低下させるこ
とができると共に、第２コールドヘッドの冷凍温度との
温度差を一層つけることができる。
【００１７】又、第１コールドヘッド、第１蓄冷器の低
温端近傍及びパルス管の低温端近傍を覆う輻射シールド
容器を備え、第２コールドヘッドを輻射シールド容器に
も熱接触させると、第１パルス管冷凍機本体の低温部へ
の輻射熱の進入を回避できることから、第１コールドヘ
ッドの冷凍温度を更に一層低下させることができると共
に、第２コールドヘッドの冷凍温度との温度差を更に一
層つけることができる。
【００１８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て説明する。
【００１９】図１及び図２を参照して第１実施例に係る
パルス管冷凍機の構成について説明する。尚、図１，図
２において、従来技術（図４）と同一のものについては
同一の符号を記した。
【００２０】パルス管冷凍機１０は、２系統の冷凍サイ
クルをもつもので、第１冷凍機本体（第１パルス管冷凍
機本体）１と第２冷凍機本体（第２パルス管冷凍機本
体）３０とから構成されている。
【００２１】第１冷凍機本体１は、従来技術と同様に、
圧縮シリンダ１１と、第１圧縮空間（第１作動空間）１
２と、圧縮ピストン１４と、放熱器１５ａを有する可撓
配管１５と、第１蓄冷器１６と、第１コールドヘッド１
７と、第１パルス管１８と、可撓配管２０と、膨張シリ
ンダ１９と、第１膨張空間（第３作動空間）２１と、膨
張ピストン２３と、ロッド２４，２６と、クランクシャ
フト２５と、クランクシャフトを回転駆動するモータ
（図示せず）と、ピストンリング２７，２８とから構成
されている。ここで、圧縮シリンダ１１と圧縮ピストン
１４とにより請求項１の圧力振動源が構成され、膨張シ
リンダ１９と膨張ピストン２３とにより請求項１の位相
調節機構が構成される。尚、圧力振動源には、図示する
ようなピストン式以外に、バルブ式等も適用可能であ
り、位相調節機構には、図示するようなピストン式以外
に、オリフィス及びバッファタンクを用いたオリフィス
式、バルブ式等も適用可能である。
【００２２】一方、第２冷凍機本体３０は、第２圧縮空
間（第２作動空間）１３と、放熱器３１ａを有する可撓
配管３１と、第２蓄冷器３２と、第２コールドヘッド３
３ａと、第２パルス管３４と、可撓配管３５と、第２膨
張空間（第４作動空間）２２とから構成されている。
【００２３】尚、上記した第１，第２冷凍機本体１，３
０内には、所定圧力（例えば１５気圧）の作動流体（例
えばヘリウム，アルゴン，窒素，水素，空気，これらの
混合気体）が封入されている。又、第１，第２蓄冷器１
６，３２は、金属メッシュ，金属球，鉛，希土類，その
他の材料で構成される。
【００２４】上記した冷凍機１０では、１つの圧縮シリ
ンダ１１及び１つの圧縮ピストン１４により２つの冷凍
機本体１，３０の圧縮部を兼用し、１つの膨張シリンダ
１９や１つの膨張ピストン２３により膨張部を兼用して
いるので、部品点数を削減でき、コスト的に有利であ
る。
【００２５】ここで、本発明の主要部について説明す
る。
【００２６】第２冷凍機本体３０の第２コールドヘッド
３３ａは、第２冷凍機本体１の第１蓄冷器１６及び第１
パルス管１８と熱接触しており、その略中央付近を冷却
可能となっている。又、第２コールドヘッド３３ａは、
第１蓄冷器１６の低温部，第１コールドヘッド１７及び
第１パルス管１８の低温部を覆う輻射シールド容器３６
にも熱接触している。
【００２７】尚、第１蓄冷器１６、第１コールドヘッド
１７、第１パルス管１８、第２蓄冷器３２、第２コール
ドヘッド３３ａ、第２パルス管３４及び輻射シールド容
器３６は、真空ケース３７により覆われており、断熱状
態に維持される。
【００２８】次に、図２を用いて図１に示すパルス管冷
凍機の要部の具体的構成について説明する。
【００２９】同図に示すように、第１冷凍機本体１の一
部は略２重管構造になっており、その内管は第１パルス
管１８を構成し、外管は第１蓄冷器１６を構成してい
る。第１パルス管１８と第１蓄冷器１６との図示上端の
結合部位には、第１コールドヘッド１７が結合されてい
る。
【００３０】一方、第２冷凍機本体３０の第２蓄冷器３
２は第１蓄冷器１６の下部の周りに配置され、第２蓄冷
器３２の上端には第２コールドヘッド３３ａが結合され
ている。この第２コールドヘッド３３ａにはスパイラル
状の通路３３ｂが形成され、第２蓄冷器３２の周りに巻
かれた第２パルス管３４に連通している。
【００３１】ここで、第２コールドヘッド３３ａは、第
１蓄冷器１６の略中央の外壁に直接的に熱接触している
と共に、第１蓄冷器１６の略中央の内部に配置された熱
交換器３８を介して第１パルス管１８の略中央の外壁を
間接的に熱接触している。第２コールドヘッド３３ａの
上部には、第１蓄冷器１６の中央部から低温部まで，第
１コールドヘッド１７及び第１パルス管１８の中央部か
ら低温部までを覆うように輻射シールド容器３６がボル
ト等（図示せず）により固定され、第２コールドヘッド
３３ａに取付部を介して熱接触している。
【００３２】上記の如く構成されたパルス管冷凍機１０
の作動について説明する。
【００３３】第１冷凍機本体１において、圧縮ピストン
１４及び膨張ピストン２３が上死点に向かって移動する
（即ち圧縮行程に入る）と、第１冷凍機本体１内の作動
流体の圧力が上昇し、作動流体は第１放熱器１５ａ，第
１蓄冷器１６，第１コールドヘッド１７及び第１パルス
管１８の夫々の位置で振動しながら熱を吐き出す。一
方、圧縮ピストン１４及び膨張ピストン２３が下死点に
向かって移動する（即ち膨張行程に入る）と、作動流体
の圧力が下がり、作動流体は第１放熱器１５ａ，第１蓄
冷器１６，第１コールドヘッド１７及び第１パルス管１
８の夫々の位置で振動しながら熱を吸い込む。このよう
な作動により主に第１蓄冷器１６内の作動流体が現在の
位置から一方に動いた所でその位置に存在する蓄冷材か
ら熱を吸い、他方に動いてその位置に存在する蓄冷材に
熱を吐くことを実現できる。
【００３４】つまり、第１蓄冷器１６内に分布している
作動流体が夫々の位置で往復動しながら蓄冷材に対して
熱の吸い吐きを行うことで、熱は第１蓄冷器１６の中を
あたかも熱のバケツリレーの如く汲み上げられていく。
その結果、第１蓄冷器１６の低温端に結合される第１コ
ールドヘッド１７の温度が下がって冷凍を発生すると共
に、高温側に熱が輸送されて外部に放出される。このよ
うに、圧縮ピストン１４及び膨張ピストン２３を所定の
位相差で往復動させることにより、作動流体の圧力変化
と作動流体の動きとの位相を調整することができ、効率
良く熱を低温側から高温側へ汲み上げることが可能にな
る。
【００３５】尚、第２冷凍機本体３０の作動も前述した
第１冷凍機本体１の作動と略同じであるのでその説明を
省略する。
【００３６】ここで、通常第１パルス管１８は天地方向
に延在するよう配置されるため、上記作動中にパルス管
上部からパルス管下部に向けて冷熱が移動する恐れがあ
る。
【００３７】つまり、熱対流現象が生じる恐れがある。
又、上記作動中における第１パルス管１８内の作動流体
の圧縮膨張に伴う熱が第１パルス管１８の低温部に移動
する恐れがある。更に、室温状態にある第１膨張空間２
１から第１パルス管１８へ作動流体の伝導熱が流入する
恐れがある。
【００３８】そして、このような流入熱又は発生熱が第
１パルス管１８から第１コールドヘッド１７に伝わる恐
れがあるが、本第１実施例では、第２コールドヘッド３
３ａを第１パルス管１８に熱接触させているので、それ
らの流入熱又は発生熱が第１コールドヘッド１７に伝わ
るのを抑制できる。
【００３９】又、第１蓄冷器１６内にも第１圧縮空間１
２から伝達される伝導熱が発生するが、本第１実施例で
は、第２コールドヘッド３３ａを第１蓄冷器１６にも熱
接触させているので、前記伝導熱が第１コールドヘッド
１７に伝わるのを抑制できる。
【００４０】次に、図３を参照して第２実施例に係るパ
ルス管冷凍機について説明する。
【００４１】同図に示すように、第２実施例に係るパル
ス管冷凍機１０ａは、第１蓄冷器１６の周りに第１パル
ス管１８ａが巻いてあり、その第１パルス管１８ａの直
線部１８ａａに第２コールドヘッド３３ａが直接的に熱
接触しており、更に、輻射シールド容器が廃止されてい
る点のみが第１実施例とは異なる。
【００４２】本第２実施例では、第２コールドヘッド３
３ａを第１パルス管１８ａに直接的に熱接触させたの
で、第１実施例に比べて、第１パルス管１８ａから第１
コールドヘッド１７へ熱が進入するのを一層抑制でき
る。
【００４３】
【発明の効果】請求項１，２の発明は、以下の如く効果
を有する。
【００４４】第２パルス管冷凍機本体の第２コールドヘ
ッドを第１パルス管冷凍機本体の第１パルス管に熱接触
させたので、熱対流によるもの、第１パルス管内の作動
流体の圧縮膨張に伴う流入熱、室温側（即ち位相調節機
構又は第２シリンダ）から低温側への作動流体の伝導熱
等の第１パルス管への流入熱が第１パルス管に連結され
た第１コールドヘッドに伝わるのを極力抑制できる。そ
の結果、第１コールドヘッドの冷凍温度を低下させるこ
とができると共に、第１コールドヘッドの冷凍温度を第
２コールドヘッドよりも低くすることができる。
【００４５】又、各コールドヘッド間で冷凍温度の温度
差をつけることが可能になるので、２つの被冷却体を夫
々異なる温度に冷却したい場合に有効である。
【００４６】請求項３の発明は、以下の如く効果を有す
る。
【００４７】第２コールドヘッドを第１蓄冷器にも熱接
触させたので、第１コールドヘッドの冷凍温度を一層低
下させることができると共に、第２コールドヘッドの冷
凍温度との温度差を一層つけることができる。
【００４８】請求項４の発明は、以下の如く効果を有す
る。
【００４９】第１コールドヘッド、第１蓄冷器の低温端
近傍及びパルス管の低温端近傍を覆う輻射シールド容器
を備え、第２コールドヘッドを輻射シールド容器にも熱
接触させると、第１パルス管冷凍機本体の低温部への輻
射熱の進入を回避できることから、第１コールドヘッド
の冷凍温度を更に一層低下させることができると共に、
第２コールドヘッドの冷凍温度との温度差を更に一層つ
けることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施例に係るパルス管冷凍機の全体構成図
である。
【図２】第１実施例に係るパルス管冷凍機の部分断面図
である。
【図３】第２実施例に係るパルス管冷凍機の部分断面図
である。
【図４】従来技術に係るパルス管冷凍機の全体構成図で
ある。
【符号の説明】
１０，１０ａ パルス管冷凍機 １１ 圧縮シリンダ（第１シリンダ） １２ 第１圧縮空間（第１作動空間） １３ 第２圧縮空間（第２作動空間） １４ 圧縮ピストン（第１ピストン） １６ 第１蓄冷器 １７ 第１コールドヘッド １８ 第１パルス管 １９ 膨張シリンダ（第２シリンダ） ２１ 第１膨張空間（第３作動空間） ２２ 第２膨張空間（第４作動空間） ２３ 膨張ピストン（第２ピストン） ３２ 第２蓄冷器 ３３ａ 第２コールドヘッド ３４ 第２パルス管 ３６ 輻射シールド容器

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 内部の作動流体の圧力を変化させる第１
    圧力振動源と、前記第１圧力振動源に接続された第１蓄
    冷器と、前記第１蓄冷器の低温端に結合された第１コー
    ルドヘッドと、前記第１コールドヘッドに接続された第
    １パルス管と、前記第１パルス管の高温端に接続され作
    動流体の圧力変動と作動流体の動きとの間の位相を調節
    する第１位相調節機構とを有する第１パルス管冷凍機本
    体と、内部の作動流体の圧力を変化させる第２圧力振動
    源と、前記第２圧力振動源に接続された第２蓄冷器と、
    前記第２蓄冷器の低温端に結合された第２コールドヘッ
    ドと、前記第２コールドヘッドに接続された第２パルス
    管と、前記第２パルス管の高温端に接続され作動流体の
    圧力変動と作動流体の動きとの間の位相を調節する第２
    位相調節機構とを有する第２パルス管冷凍機本体とを備
    えたパルス管冷凍機において、 前記第２コールドヘッドが前記第１パルス管に熱接触し
    ていることを特徴とするパルス管冷凍機。
  2. 【請求項２】 第１シリンダと、前記第１シリンダ内に
    往復動可能に配設され前記第１シリンダとの間で第１作
    動空間及び第２作動空間を形成する第１ピストンと、前
    記第１作動空間に接続された第１蓄冷器と、前記第１蓄
    冷器の低温端に結合された第１コールドヘッドと、前記
    第１コールドヘッドに接続された第１パルス管と、第２
    シリンダと、前記第２シリンダ内に往復動可能に配設さ
    れ前記第２シリンダとの間で前記第１パルス管の高温端
    に接続された第３作動空間及び第４作動空間を形成する
    第２ピストンとを有する第１パルス管冷凍機本体と、 前記第２作動空間に接続された第２蓄冷器と、前記第２
    蓄冷器の低温端に結合された第２コールドヘッドと、前
    記第２コールドヘッドに接続され且つその高温端が前記
    第４作動空間に接続された第２パルス管とを有する第２
    パルス管冷凍機本体とを備えたパルス管冷凍機におい
    て、 前記第２コールドヘッドが前記第１パルス管に熱接触し
    ていることを特徴とするパルス管冷凍機。
  3. 【請求項３】 請求項１，２において、前記第２コール
    ドヘッドが前記第１蓄冷器にも熱接触していることを特
    徴とするパルス管冷凍機。
  4. 【請求項４】 請求項１，２，３において、前記第１コ
    ールドヘッド、前記第１蓄冷器の低温端近傍及び前記パ
    ルス管の低温端近傍を覆う輻射シールド容器を備え、 前記第２コールドヘッドが前記輻射シールド容器にも熱
    接触していることを特徴とするパルス管冷凍機。
JP22839194A 1994-09-22 1994-09-22 パルス管冷凍機 Pending JPH0894197A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100383470C (zh) * 2006-05-18 2008-04-23 上海交通大学 双冷头狭缝冷指同轴脉管制冷机
JP2009506293A (ja) * 2005-08-23 2009-02-12 サンパワー・インコーポレーテツド 過渡的クールダウン時間及び熱損失を低減するよう作られた音響インピーダンスを有する多ステージ式パルス管クライオクーラー

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