JPH0887026A - 液晶表示パネル - Google Patents

液晶表示パネル

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JPH0887026A
JPH0887026A JP24873894A JP24873894A JPH0887026A JP H0887026 A JPH0887026 A JP H0887026A JP 24873894 A JP24873894 A JP 24873894A JP 24873894 A JP24873894 A JP 24873894A JP H0887026 A JPH0887026 A JP H0887026A
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JP
Japan
Prior art keywords
thin film
film transistor
gate
liquid crystal
data line
Prior art date
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Pending
Application number
JP24873894A
Other languages
English (en)
Inventor
Hidetsugu Kojima
英嗣 小島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Casio Computer Co Ltd
Original Assignee
Casio Computer Co Ltd
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Publication date
Application filed by Casio Computer Co Ltd filed Critical Casio Computer Co Ltd
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Publication of JPH0887026A publication Critical patent/JPH0887026A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 デルタ配列のカラー液晶表示装置において、
開口率を低下させることなく不要な寄生容量を少なく
し、且つ表示品位が悪化しないようにする。 【構成】 ゲート電極15をデータライン12の直交部
12aと重合しない位置に該データライン12の直交部
12aと平行に隣のゲートラインとの中間点まで達しな
い長さに引き出して設け、且つゲート電極15と重合し
ない位置にソース電極22を設ける。この結果、開口率
を低下させることなく不要な寄生容量を少なくすること
ができる。また、薄膜トランジスタ13のチャネル領域
17aをセルフアライメントにより形成する。この結
果、データライン12の左側と右側の薄膜トランジスタ
13においてソース領域17bとゲート電極15との重
なり部を同じとすることができ、したがってゲート・ソ
ース間の寄生容量Cgsが同じとなり、光学特性も同じ
となり、ひいては表示品位が悪化しないようにすること
ができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は液晶表示パネルに関す
る。
【0002】
【従来の技術】カラー液晶表示装置には、R(赤)、G
(緑)、B(青)の各カラーフィルタ要素及びそれに対
応する各画素電極の配列の仕方によりいくつかの種類が
あるが、そのうちの1つとして、図2に概略構成を示す
ように、デルタ配列と呼ばれるものがある。このカラー
液晶表示装置では、同一色を表示する画素電極R、G、
Bが上下方向に千鳥状に配置されている関係から、走査
駆動回路1に接続されたゲートライン2は左右方向に直
線状に配置されているが、信号駆動回路3に接続された
データライン4は同一色を表示する画素電極R、G、B
の各近傍を通過するために上下方向に蛇行して配置され
ている。
【0003】図3は従来のこのような液晶表示装置にお
ける液晶表示パネルの具体的な一例の一部を示したもの
である。データライン4は、ゲートライン2と直交する
直交部4aとゲートライン2と平行する平行部4bを有
している。そして、一例として、R用の画素を取り上げ
れば、隣接する直交部4aに対して画素電極R及び薄膜
トランジスタ5が左側と右側に交互に線対称的に配置さ
れている。各薄膜トランジスタ5は、ゲートライン2の
直線部2aからデータライン4の直交部4aと一部が重
なるように延出された延出部2bをゲート電極とし、デ
ータライン4の直交部4aと平行に延出されて各画素電
極Rに接続された延出部6をソース電極としている。
【発明が解決しようとする課題】
【0004】ところで、従来のこのような液晶表示パネ
ルでは、ゲートライン2から直交する方向に引き出され
たゲート電極2bが隣のゲートライン2の近傍まで引き
出され、またこのゲート電極2bの長手方向ほぼ全体に
沿ってソース電極6が設けられている。この結果、デー
タライン4の直交部4aとゲート電極2b間の重なり部
及びゲート電極2bとソース電極6間の重なり部が大き
くなり、したがってデータライン4の直交部4aとゲー
ト電極2b間の寄生容量及びゲート電極2bとソース電
極6間の寄生容量が大きくなってしまうという問題があ
った。なお、データライン4の直交部4aとゲート電極
2b間の重なり部及びゲート電極2bとソース電極6間
の重なり部を無くすために、これらを左右方向に離すこ
とが考えられるが、このようにすると、開口率が低下す
るという別の問題がある。また、左側の薄膜トランジス
タ5と右側の薄膜トランジスタ5がデータライン4を挾
んで線対称的に配置されているので、これら薄膜トラン
ジスタ5を形成するとき左右方向にずれた場合、図示し
ていないが、薄膜トランジスタ5の一部を構成する半導
体薄膜のソース領域とゲート電極2bとの重なり部が、
左側の薄膜トランジスタ5と右側の薄膜トランジスタ5
とで異なる方向にずれることになる。したがって、この
ような場合には、左側の薄膜トランジスタ5と右側の薄
膜トランジスタ5のゲート・ソース間の寄生容量Cgs
が異なることとなり、ひいては光学特性に差が生じ、表
示品位が悪化するという問題があった。この発明の目的
は、開口率を低下させることなく不要な寄生容量を少な
くすることができ、且つ表示品位が悪化しないようにす
ることができる液晶表示パネルを提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
左右方向に直線状に配置されたゲートラインと、該ゲー
トラインと直交する直交部と該ゲートラインと平行する
平行部を有し、上下方向に蛇行して配置されたデータラ
インと、該データラインの左側と右側に交互に接続され
た薄膜トランジスタと、該薄膜トランジスタに接続され
た画素電極とを備えた液晶表示パネルにおいて、前記左
側の薄膜トランジスタと前記右側の薄膜トランジスタ
を、前記データラインを挾んで線対称的に設けられ、且
つ前記データラインの直交部と重合しない位置に該デー
タラインの直交部と平行に隣のデータラインとの中間点
まで達しない長さに引き出されて設けられたゲート電極
と、該ゲート電極と重合しない位置に設けられたソース
電極とを有する構造としたものである。請求項2記載の
発明は、前記薄膜トランジスタのチャネル領域をセルフ
アライメントにより形成したものである。
【0006】
【作用】請求項1記載の発明によれば、ゲート電極をデ
ータラインの直交部と重合しない位置に該データライン
の直交部と平行に隣のデータラインとの中間点まで達し
ない長さに引き出して設け、且つゲート電極と重合しな
い位置にソース電極を設けているので、開口率を低下さ
せることなく不要な寄生容量を少なくすることができ
る。また、請求項2記載の発明によれば、薄膜トランジ
スタのチャネル領域をセルフアライメントにより形成し
ているので、データラインの左側の薄膜トランジスタと
右側の薄膜トランジスタにおいてソース領域とゲート電
極との重なり部を同じとすることができ、したがってC
gsが同じとなり、光学特性も同じとなり、ひいては表
示品位が悪化しないようにすることができる。
【0007】
【実施例】図1(A)及び(B)はこの発明の一実施例
における液晶表示パネルの要部を示したものである。こ
の場合も、デルタ配列であって、同一色を表示する画素
電極R、G、Bが上下方向に千鳥状に配置されている関
係から、ゲートライン11は左右方向に直線状に配置さ
れているが、データライン12は同一色を表示する画素
電極R、G、Bの各近傍を通過するために上下方向に蛇
行して配置されている。したがって、データライン12
は、ゲートライン11と直交する直交部12aとゲート
ライン11と平行する平行部12bを有している。そし
て、一例として、R用の画素を取り上げれば、隣接する
直交部12aに対して画素電極R及び薄膜トランジスタ
13が左側と右側に交互に線対称的に配置されている。
【0008】ここで、各薄膜トランジスタ13は、デー
タライン12の直交部12aと重合しない位置に該デー
タライン12の直交部12aと平行にゲートラインを引
き出してゲート電極15とするもので、このゲート電極
15は隣のゲートラインとの中間点まで達しない長さと
されている。また、各薄膜トランジスタ13のソース電
極22はゲート電極15と重合しない位置に設けられて
いる。
【0009】次に、主として、薄膜トランジスタ13の
構造について説明する。ガラス基板14の上面の所定の
個所にはゲートライン11及びこのゲートライン11か
ら直交する方向に少しだけ引き出されたゲート電極15
が形成されている。ゲートライン11及びゲート電極1
5を含むガラス基板14の上面にはゲート絶縁膜16が
形成されている。ゲート電極15及びその左右両側に対
応する部分におけるゲート絶縁膜16の上面にはアモル
ファスシリコンやポリシリコン等からなる半導体薄膜1
7が形成されている。ゲート電極15に対応する部分に
おける半導体薄膜17の上面にはチャネル保護膜18が
形成されている。そして、チャネル保護膜18をマスク
としてリンやボロン等のイオンが注入されていることに
より、チャネル保護膜18下の半導体薄膜17はチャネ
ル領域17aとされ、その左右両側はソース領域17b
及びドレイン領域17cとされている。半導体薄膜17
及びチャネル保護膜18を含むゲート絶縁膜16の上面
には層間絶縁膜19が形成されている。ソース領域17
b及びドレイン領域17cと対応する部分における層間
絶縁膜19にはコンタクトホール20、21が形成され
ている。コンタクトホール20、21の部分にはソース
電極222及びドレイン電極33が形成されている。な
お、これら電極22、23の形成と同時に、データライ
ン12が形成される。また、ソース電極22は、層間絶
縁膜19の上面の所定の個所に形成された画素電極Rと
接続されている。
【0010】このように、各薄膜トランジスタ13は、
データライン12の直交部12aと重合しない位置に該
データライン12の直交部12aと平行に隣のデータラ
インとの中間点まで達しない長さに引き出されqゲート
電極15と、ゲート電極15と重合しない位置に設けら
れたソース電極22を有する構造であるから、薄膜トラ
ンジスタ13の占有面積を小さくすることができ、した
がって開口率が低下しないようにすることができ、また
不要な寄生容量を少なくすることができる。
【0011】ところで、この液晶表示パネルにおいて薄
膜トランジスタ13のチャネル保護膜18を形成する場
合、ゲート電極15をマスクとした裏面露光によるフォ
トリソグラフィにより形成すると、チャネル保護膜18
がセルフアライメントされて形成されることになる。そ
して、このセルフアライメントされて形成されたチャネ
ル保護膜18をマスクとしてリンやボロン等のイオンを
注入すると、チャネル領域17aがセルフアライメント
されて形成されることになる。この結果、R用のデータ
ライン12の左側の薄膜トランジスタ13と右側の薄膜
トランジスタ13においてソース領域17bとゲート電
極15との重なり部を同じとすることができ、したがっ
てCgsが同じとなり、光学特性も同じとなり、ひいて
は表示品位が悪化しないようにすることができる。
【0012】なお、上記実施例では、薄膜トランジスタ
13として通常のMOS構造の薄膜トランジスタについ
て説明したが、チャネル領域とソース領域及びドレイン
領域との間に低濃度不純物注入領域を有するLDD構造
の薄膜トランジスタとしてもよい。この場合も、チャネ
ル領域をセルフアライメントにより形成すると、データ
ラインの左側の薄膜トランジスタと右側の薄膜トランジ
スタにおいて低濃度不純物注入領域からなるソース領域
とゲート電極との重なり部を同じとすることができる。
【0013】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1記載の発
明によれば、ゲート電極をデータラインの直交部と重合
しない位置に該データラインの直交部と平行に隣のデー
タラインとの中間点まで達しない長さに引き出して設
け、且つゲート電極と重合しない位置にソース電極を設
けているので、開口率を低下させることなく不要な寄生
容量を少なくすることができる。また、請求項2記載の
発明によれば、薄膜トランジスタのチャネル領域をセル
フアライメントにより形成しているので、データライン
の左側の薄膜トランジスタと右側の薄膜トランジスタに
おいてソース領域とゲート電極との重なり部を同じとす
ることができ、したがってCgsが同じとなり、光学特
性も同じとなり、ひいては表示品位が悪化しないように
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)はこの発明の一実施例における液晶表示
パネルの要部の平面図、(B)はそのX−X線に沿う断
面図。
【図2】従来のデルタ配列のカラー液晶表示装置の概略
構成図。
【図3】従来のこのようなカラー液晶表示装置における
液晶表示パネルの具体的な一例を示す一部の平面図。
【符号の説明】
11 ゲートライン 12 データライン 12a 直交部 12b 平行部 R、G、B 画素電極 13 薄膜トランジスタ 15 ゲート電極 17 半導体薄膜 17a チャネル領域 22 ソース電極 23 ドレイン電極

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 左右方向に直線状に配置されたゲートラ
    インと、該ゲートラインと直交する直交部と該ゲートラ
    インと平行する平行部を有し、上下方向に蛇行して配置
    されたデータラインと、該データラインの左側と右側に
    交互に接続された薄膜トランジスタと、該薄膜トランジ
    スタに接続された画素電極とを備えた液晶表示パネルに
    おいて、 前記左側の薄膜トランジスタと前記右側の薄膜トランジ
    スタは、前記データラインを挾んで線対称的に設けら
    れ、且つ前記データラインの直交部と重合しない位置に
    該データラインの直交部と平行に隣のデータラインとの
    中間点まで達しない長さに引き出されて設けられたゲー
    ト電極と、該ゲート電極と重合しない位置に設けられた
    ソース電極とを有する構造であることを特徴とする液晶
    表示パネル。
  2. 【請求項2】 前記薄膜トランジスタのチャネル領域は
    セルフアライメントにより形成されていることを特徴と
    する請求項1記載の液晶表示パネル。
JP24873894A 1994-09-16 1994-09-16 液晶表示パネル Pending JPH0887026A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0952479A1 (en) * 1998-04-20 1999-10-27 Sony Corporation Color display device
US7612839B2 (en) 2005-03-15 2009-11-03 Sharp Kabushiki Kaisha Active matrix substance and display device including the same

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Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20040113