JPH088387A - 樹脂モールド型電子部品 - Google Patents

樹脂モールド型電子部品

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JPH088387A
JPH088387A JP13693594A JP13693594A JPH088387A JP H088387 A JPH088387 A JP H088387A JP 13693594 A JP13693594 A JP 13693594A JP 13693594 A JP13693594 A JP 13693594A JP H088387 A JPH088387 A JP H088387A
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resin
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lead
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JP13693594A
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Hiroyuki Tsuchiya
寛之 土屋
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Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
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Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
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  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 樹脂モールド型電子部品に関し、特にTAB
テープとリードフレームとを用いた樹脂モールド型電子
部品に関する。 【構成】 中間部が絶縁材よりなる枠体1に連結された
多数本のインナリード2の内端部を電子部品本体3上に
形成された多数の電極に接続し、この電子部品本体3を
端部より吊りピン5を延在したアイランド4上に支持
し、一端がアイランド4近傍に配置された多数本のリー
ド6と上記インナリード2の外端部とを電気的に接続し
て、樹脂成型金型にて電子部品本体3を含む主要部分を
樹脂15にて被覆した樹脂モールド型電子部品におい
て、アイランド4の樹脂注入部15’に対して反対側の
部分に透孔14を穿設したことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は樹脂モールド型電子部品
に関し、特にTABテープとリードフレームとを用いた
樹脂モールド型電子部品に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体装置などの電子部品は電子部品本
体例えば半導体ペレットの外形寸法を保ちつつ高機能・
高集積化を実現するため電子部品本体の電極数を増大さ
せて対応している。また電子部品の製造には一般的にリ
ードフレームが用いられ、電子部品本体の電極に対応し
て、リードの巾、間隔が設定されるが、電極数の増大は
電極の小径化、間隔の狭小化を余儀なくし、リードの厚
みも薄くしなければならない。そのためリードフレーム
の強度が低下し、とくに電子部品本体とリードとを接続
した後、電子部品本体を含む主要部を成型金型を用いて
樹脂被覆する際に、樹脂の注入圧によりリードフレーム
が変形し、電子部品本体とリードの電気的接続を損なっ
たり電子部品本体に局部的に過大な力がかかり電子部品
としての特性が変化するという問題があり、このような
問題を解決するため樹脂成型金型の改良が提案されてい
る。(例えば特開平3−60049号公報参照) しかしながら、電極数をさらに増大させると、リードの
巾、間隔をより細く、狭小にしなければならないため、
リードフレームの強度が一層低下し、樹脂成型金型だけ
で対応することが困難となっている。そのため、透孔を
有する絶縁フィルムに積層した導電箔をエッチングして
透孔内に延在するインナリードを含む導電パターンを形
成したTABテープを用いたTAB式電子部品をリード
フレームに接続することにより、リードフレーム自体の
厚みの制約をなくした電子部品が知られている。(例え
ば特開平3−94435号公報参照)
【0003】この一例を図6及び図6のA−A面図であ
る図7から説明する。図において、1は絶縁テープを枠
状に打ち抜いた枠体、2は多数本のインナリードで、各
インナリード2の中間部は枠体1に接着され内端側は間
隔が密に、外端側は間隔が粗に設定されてそれぞれ平行
に延びている。この枠体1とインナリード2の一体物は
長尺のTABテープから得られるものであるが、その過
程の説明は省略する。3は電子部品本体である半導体ペ
レットで、上面に多数の突出した電極3aを形成してい
る。この半導体ペレット3は枠体1の中央部に配置さ
れ、インナリード2の内端部が電極3aに重合されて電
気的に接続されている。4は両端より吊りピン5を延在
したリードフレーム(図示せず)を構成するアイランド
で、インナリード2を接続した状態の半導体ペレット3
を固定している。6はアイランド4とともにリードフレ
ームを構成する多数本のリードで内端部はアイランド4
の近傍に配置されている。アイランド4は吊りピン5の
中間部を屈曲させリード6に対して段差を設けている。
インナリード2の外端部はリード6に重合されて熱圧着
などにより電気的に接続されている。7は半導体ペレッ
ト3とリード6の内端部を含む主要部分を被覆した樹脂
を示す。
【0004】この樹脂7は図8に示す樹脂成型装置の金
型8、9を用いて被覆される。図中、 10は上下金型
8、9の衝合面に形成したキャビティ、11は一つの吊
りピン5位置でキャビティ10内に流動化した樹脂7a
を供給するゲート、12はゲート11と対向する位置で
キャビティ10内に連通し、樹脂7aの注入によりキャ
ビティ10内の空気を排出するエアベントを示す。ゲー
ト11からキャビティ10内に供給された樹脂7aはキ
ャビティ10の内壁に沿って進行し枠体1及びインナリ
ード2によって仕切られた空間の上下両方向に進み、さ
らに前進するとアイランド4と下金型8間、アイランド
4と枠体1及びインナリード2、枠体1及びインナリー
ド2と上金型9の3層に分岐して前進し、エアベント1
2側に到達して樹脂充填を完了し樹脂被覆を完了する。
この後所定時間保持して樹脂7が半硬化状態となったと
ころで金型8、9を開き、樹脂成型品を取り出して、リ
ードフレームのリード6を連結したタイバ(図示せず)
や吊りピン5の外端部を切断して個々の電子部品即ち半
導体装置を得る。この半導体装置13は、半導体ペレッ
ト3上の狭小な電極3aをTABテープを介してリード
フレームのリード6に接続する構造であるためリードフ
レームの厚さを不必要に薄くすることなく多リード化に
対応できる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この半導体
装置はTABテープが、インナリード2の間隔を狭小と
しているため、樹脂7aがインナリード2の間を通過し
にくくなる。そのため半導体ペレット3の手前で3層に
分かれた樹脂7aはそのまま進行し中間層を進行する樹
脂は上下各層の樹脂とは交わらず、しかも半導体ペレッ
ト3によって水平面内で二方向に分岐された中間層の樹
脂7aは半導体ペレット3を通りすぎても合流しにく
く、半導体ペレット3から見てエアベント12側に位置
する枠体1、インナリード2とアイランド4との間に空
気が残留する。樹脂7aは樹脂注入作業時にも時間とと
もに硬化が進行し粘度が上昇するため樹脂の流動性が低
下する。そのため樹脂注入の最終段階で注入圧を上昇さ
せて未充填を生じないようにしているが、キャビティ1
0内の特にインナリード2と近接して空気が残留してい
るとインナリード2を介して前記残留空気が圧縮されイ
ンナリード2が変形する。この結果変形したインナリー
ド2が半導体ペレット3の周縁部に近接したり最悪の場
合接触し、耐電圧不良や短絡事故を発生することがあっ
た。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題の解決
を目的として提案されたもので、中間部が絶縁材よりな
る枠体に連結された多数本のインナリードの内端部を電
子部品本体上に形成された多数の電極に接続し、この電
子部品本体を端部より吊りピンを延在したアイランド上
に支持し、一端がアイランド近傍に配置された多数本の
リードと上記インナリードの外端部とを電気的に接続し
て、樹脂成型金型にて電子部品本体を含む主要部分を樹
脂にて被覆した樹脂モールド型電子部品において、上記
アイランドの樹脂注入部に対して反対側の部分に透孔を
穿設したことを特徴とする樹脂モールド型電子部品を提
供する。上記透孔の開口径を0.5mm以上にすること
により、樹脂成型時の樹脂の流動性を良好にでき、この
透孔を一つだけでなく複数形成することにより、リード
フレームの形状、寸法などに対応して樹脂の流動方向を
任意に設定でき、空気の残留をなくすことができる。こ
の透孔を複数形成する場合、アイランド中央寄りの透孔
の開口径を周縁側の開口径より径大に設定することによ
りアイランドと吊りピンとの接続部の機械的強度を低下
させることなく空気の残留をなくすことができる。さら
には透孔をアイランドの電子部品本体と重合する位置に
穿設することにより、樹脂の通過量、流動方向ともに所
望するように設定できる。
【0007】
【作用】本発明によれば、樹脂成型金型のキャビティ内
で枠体、インナリード、リードフレームによって分割さ
れることによって樹脂が多層に分岐されてキャビティ内
を流動しても、エアベント側で樹脂の層間合流がスムー
ズにでき、気泡の発生がなく、気泡に基づく耐電圧低
下、短絡などの発生を防止できる。
【0008】
【実施例】以下に本発明の実施例を図1及び図2から説
明する。図において、図6乃至図8と同一符号は同一物
を示し説明を省略する。図中相違するのは、電子部品本
体、例えば半導体ペレット3を固定したアイランドの樹
脂注入部(ゲート側)に対して反対側(エアベント側)
の部分に透孔14を穿設したことのみである。尚、15
は半導体ペレット3を含む主要部分を被覆した樹脂、1
5’は樹脂成型金型のキャビティに流動化した樹脂を注
入した痕跡(樹脂注入部)を示す。この電子部品(半導
体装置)の製造過程での樹脂成型の状態を図3及び図4
から説明する。即ち、アイランド4に半導体ペレット3
を固定し半導体ペレット3上の電極3aとリード6とを
枠体1に固定されたインナリード2を介して接続したリ
ードフレームを上下金型8、9で挟持し、ゲート11を
介してキャビティ10内に流動化した樹脂15を注入す
る。このとき流動化した樹脂15はキャビティ10の内
壁に沿ってエアベント12に向かって進行し、半導体ペ
レット3の手前で、下金型8とアイランド4、アイラン
ド4と枠体1及びインナリード2、枠体1及びインナリ
ード2と上金型9によって上下方向に樹脂15a、15
b、15cの三層に分流されて進行する。さらに枠体1
とアイランド4の間を進行する中間層の樹脂15bは図
4に示すように半導体ペレット3により水平面内で分岐
され、上下層の樹脂15a、15cより進行速度が低下
する。
【0009】この分岐された中間層の樹脂15bはイン
ナリード2の間隔が数10μmと狭小であるため上層の
樹脂15cが中間層の樹脂15bとは合流せず、半導体
ペレット3の側壁を通りすぎると下層の樹脂15aと合
流しエアベント12側に進行するが、重力によって樹脂
に下方の力が作用するため、下層樹脂15a側に流れ込
み、進行速度が低下するだけでなく半導体ペレット3の
エアベント12側の側壁側に回り込むだけの力がなく半
導体ペレット3の背面側は中間層の樹脂がない空乏状態
となる。従ってこの時点では上下金型に沿う樹脂15
a、15cは中間層の樹脂15bより先行している。ア
イランド4と下金型8の間にある樹脂15aはアイラン
ド4及び下金型8の壁面に圧力を及ぼすため、この樹脂
15aが進行して本発明の特徴である透孔14位置に到
達すると、樹脂15aは透孔14を通って枠体1、イン
ナリード2とアイランド3の間に流入し半導体ペレット
3の背面側を覆うとともに、前記空乏領域を充填し、さ
らに時間が経過すると遅れて進行してきた中間層の樹脂
15bと合流する。上下層の樹脂15a、15cはアイ
ランド4の下面及びインナリード2の上面から外れると
開口断面積が広くなるため進行速度が急激に低下し各金
型8、9の壁面に沿って進行するため、アイランド4の
終端部から上方へ樹脂を持ち上げる力は期待できない
が、アイランド4と接触した樹脂には注入圧がかかって
いるため透孔14から樹脂が継続して押し出され前記空
乏領域への樹脂充填が続行される。このようにして、枠
体1、インナリード2とアイランド4との間に空気を滞
留させることなくキャビティ10内に樹脂を充填させる
ことができる。これにより、樹脂注入の最終段階で、注
入圧を高めてもインナリード2の部分に空気が残留しな
いため、枠体1の傾きやインナリード2の変形がなく、
耐電圧低下、短絡などの事故を防止できる。この透孔1
4の開口径は小径であると多数穿設して総合した開口面
積を大きく設定しても樹脂の流通を良好にできないた
め、直径は0.5mm以上に設定することが望ましく、
半導体ペレット3の支持に支障のない範囲で最大径に設
定できる。
【0010】また図示例では単一の透孔14を示した
が、多数形成することにより気泡の排除を良好にでき
る。この場合、アイランド4の中央寄り、即ち樹脂の進
行方向上流側を径大に、アイランド4側透孔を小径に設
定することにより、注入圧力の高い樹脂を透孔14に供
給できる。この透孔14は半導体ペレット3の裏面側と
一部重合するように穿設することにより、図5に示すよ
うに、下金型8に沿う樹脂15aはアイランド4の下面
から透孔14内に入り半導体ペレット3の下面3bと透
孔14のエアベント側内壁14aとで樹脂の流動方向を
図示矢印方向に設定でき、半導体ペレット3の背面側と
枠体1及びインナリード2で囲まれる領域を効率良く樹
脂充填できる。また、上記実施例では透孔14は半導体
ペレット3からみて樹脂注入部15’とは反対側のアイ
ランド4上に形成したが、吊りピン5と隣接する部分だ
けでなく半導体ペレット3の周面に沿って多数形成する
こともできる。尚、電子部品本体3は、半導体ペレット
単体だけでなく、絶縁基板上に半導体ペレットを含む多
数の電子部品をマウントし、多数本のリードで外部接続
されるものでも良い。
【0011】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、多リード
化によりインナリードとアイランドの間の樹脂の流通が
阻害され樹脂の充填困難な領域が形成されても、アイラ
ンドの所定位置に透孔を設けることによって、この領域
に樹脂を効率良く導くことができ、気泡の滞留を防止で
きる。そのため、インナリードの変形に基づく耐電圧低
下、短絡事故の発生を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例を示す平断面図
【図2】 図1のC−C断面図
【図3】 図1電子部品の樹脂成型状態を説明する側断
面図
【図4】 図3のD−D断面図
【図5】 透孔の変形例を示す要部側断面図
【図6】 本発明の前提となる電子部品の平断面図
【図7】 図6のA−A断面図
【図8】 図6に示す電子部品の樹脂成型作業を説明す
るB−B断面図
【符号の説明】
1 枠体 2 インナリード 3 半導体ペレット 3a 電極 4 アイランド 5 吊りピン 6 リード 14 透孔 15 樹脂 15’ 樹脂注入部

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】中間部が絶縁材よりなる枠体に連結された
    多数本のインナリードの内端部を電子部品本体上に形成
    された多数の電極に接続し、この電子部品本体を端部よ
    り吊りピンを延在したアイランド上に支持し、一端がア
    イランド近傍に配置された多数本のリードと上記インナ
    リードの外端部とを電気的に接続して、樹脂成型金型に
    て電子部品本体を含む主要部分を樹脂にて被覆した樹脂
    モールド型電子部品において、上記アイランドの樹脂注
    入部に対して反対側の部分に透孔を穿設したことを特徴
    とする樹脂モールド型電子部品。
  2. 【請求項2】透孔の開口径が0.5mm以上であること
    を特徴とする請求項1に記載の樹脂モールド型電子部
    品。
  3. 【請求項3】透孔が複数形成されていることを特徴とす
    る請求項2に記載の樹脂モールド型電子部品。
  4. 【請求項4】アイランド中央寄りの透孔の開口径を周縁
    側の開口径より径大に設定したことを特徴とする請求項
    3に記載の樹脂モールド型電子部品。
  5. 【請求項5】透孔が半導体ペレットと重合する位置に穿
    設されていることを特徴とする請求項1に記載の樹脂モ
    ールド型電子部品。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009099905A (ja) * 2007-10-19 2009-05-07 Rohm Co Ltd 半導体装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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