JPH0882432A - 加湿方法及び空気調和システム - Google Patents
加湿方法及び空気調和システムInfo
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- JPH0882432A JPH0882432A JP6243296A JP24329694A JPH0882432A JP H0882432 A JPH0882432 A JP H0882432A JP 6243296 A JP6243296 A JP 6243296A JP 24329694 A JP24329694 A JP 24329694A JP H0882432 A JPH0882432 A JP H0882432A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 クリーンルームなど恒温恒湿の室に対して加
湿する場合、安定した制御の下で省エネ効果の高い精密
な湿度コントロールを実現する。 【構成】 外気を処理する空調機１１の出口付近に露点
温度センサ２１と風量計２２を設置する。空調機１１を
経た導入外気（ＯＡ）の絶対湿度と導入外気量を検出
し、湿度コントローラ２３の演算によって、クリーンル
ーム１の設定湿度（絶対湿度）と導入外気（ＯＡ）との
絶対湿度の差に、導入外気量を乗じた量を所要加湿量と
する。加湿手段２４によって当該所要加湿量を循環空気
系の循環空気に付加させる。
湿する場合、安定した制御の下で省エネ効果の高い精密
な湿度コントロールを実現する。 【構成】 外気を処理する空調機１１の出口付近に露点
温度センサ２１と風量計２２を設置する。空調機１１を
経た導入外気（ＯＡ）の絶対湿度と導入外気量を検出
し、湿度コントローラ２３の演算によって、クリーンル
ーム１の設定湿度（絶対湿度）と導入外気（ＯＡ）との
絶対湿度の差に、導入外気量を乗じた量を所要加湿量と
する。加湿手段２４によって当該所要加湿量を循環空気
系の循環空気に付加させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、工業用クリーンルーム
等、恒温恒湿室に特に適した加湿方法及び空気調和シス
テムに関するものである。
等、恒温恒湿室に特に適した加湿方法及び空気調和シス
テムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】工業用クリーンルーム等の温湿度制御に
おいては、湿度制御は外気を処理する空調機（以下、
「外調機」という）で空気中の絶対湿度を制御する露点
制御方式が採られている。このような外調機での露点制
御は、外気の絶対湿度を室内の設定湿度（絶対湿度）に
まで調湿した空気（以下、「調湿外気」という）を室内
に送風するものであり、これは室内で発生する湿分が外
気導入量に比べてきわめて少ない場合、室内の絶対湿度
は定常状態において調湿外気の絶対湿度と等しくなるこ
とを利用した制御方式である。
おいては、湿度制御は外気を処理する空調機（以下、
「外調機」という）で空気中の絶対湿度を制御する露点
制御方式が採られている。このような外調機での露点制
御は、外気の絶対湿度を室内の設定湿度（絶対湿度）に
まで調湿した空気（以下、「調湿外気」という）を室内
に送風するものであり、これは室内で発生する湿分が外
気導入量に比べてきわめて少ない場合、室内の絶対湿度
は定常状態において調湿外気の絶対湿度と等しくなるこ
とを利用した制御方式である。
【０００３】この点に関し、循環空気の湿度を直接セン
サで検出して制御する方法も考えられるが、工業用クリ
ーンルーム等では循環空気量がきわめて多いので、変化
の小さい循環空気の湿度を直接的にセンサで検出して加
湿器で制御すると、センサや加湿器に一定の応答速度が
あるため、いわゆるハンチング現象を生じ安定的な運転
が難しい。これに対し外気の露点制御方式では、設定湿
度との差が大きい外気を調湿し、さらにその調湿外気
を、外気の十数倍もある多量の循環空気と混合するた
め、センサ及び加湿器の応答速度が循環空気系で用いる
場合より遅くても、安定な制御が可能である。このた
め、大型の工業用クリーンルーム等では露点制御方式が
用いられているのである。
サで検出して制御する方法も考えられるが、工業用クリ
ーンルーム等では循環空気量がきわめて多いので、変化
の小さい循環空気の湿度を直接的にセンサで検出して加
湿器で制御すると、センサや加湿器に一定の応答速度が
あるため、いわゆるハンチング現象を生じ安定的な運転
が難しい。これに対し外気の露点制御方式では、設定湿
度との差が大きい外気を調湿し、さらにその調湿外気
を、外気の十数倍もある多量の循環空気と混合するた
め、センサ及び加湿器の応答速度が循環空気系で用いる
場合より遅くても、安定な制御が可能である。このた
め、大型の工業用クリーンルーム等では露点制御方式が
用いられているのである。
【０００４】前記した外調機での露点制御方式によれ
ば、夏期の除湿時においては、外調機の中で外調機出口
空気の露点を検出しながら、必要最小限の湿分を外調機
内の冷却コイルで除去するため、省エネルギーである
が、冬期においては、同様に外調機内の蒸気加湿器等を
用いて所定の露点温度まで加湿しているため、外気の温
度が低すぎると、加湿しても低い露点温度で飽和してし
まうので、所定の露点温度に制御できない。そのため従
来は、外気をヒータによって予め加熱する、即ち再熱後
に加湿する方法を採っている。
ば、夏期の除湿時においては、外調機の中で外調機出口
空気の露点を検出しながら、必要最小限の湿分を外調機
内の冷却コイルで除去するため、省エネルギーである
が、冬期においては、同様に外調機内の蒸気加湿器等を
用いて所定の露点温度まで加湿しているため、外気の温
度が低すぎると、加湿しても低い露点温度で飽和してし
まうので、所定の露点温度に制御できない。そのため従
来は、外気をヒータによって予め加熱する、即ち再熱後
に加湿する方法を採っている。
【０００５】これを図２に基づいて説明すれば、従来一
般のクリーンルームの空調システムは、目的空間となる
クリーンルーム１０１への給気は、外調機１０２を経た
導入外気（ＯＡ）と、クリーンルーム１０１からの還気
（ＲＡ）を、例えば床下チャンバ１０３内で混合させて
いた。そして外調機１０２の出口付近に露点温度センサ
１０４を設置して、導入外気（ＯＡ）の絶対湿度を検出
し、それによって夏期の除湿時においては、外調機１０
２内の冷温水コイル１０５を制御し、冬期の加湿時にお
いては、外調機１０２内の加湿器１０６を、湿度コント
ローラ１０７で制御するようにしていた。なお一般的に
温度制御については、天井チャンバ１０８に設置した給
気（ＳＡ）の温度を検出する温度センサ１０９の検出結
果に基づいて温度コントローラ１１０がドライコイル１
１１を制御するようになっている。そして冬期の加湿時
においては、外気の温度が低いため、外調機１０２内に
再熱ヒータ１１２を設置して、外気を予め加熱していた
のである。
般のクリーンルームの空調システムは、目的空間となる
クリーンルーム１０１への給気は、外調機１０２を経た
導入外気（ＯＡ）と、クリーンルーム１０１からの還気
（ＲＡ）を、例えば床下チャンバ１０３内で混合させて
いた。そして外調機１０２の出口付近に露点温度センサ
１０４を設置して、導入外気（ＯＡ）の絶対湿度を検出
し、それによって夏期の除湿時においては、外調機１０
２内の冷温水コイル１０５を制御し、冬期の加湿時にお
いては、外調機１０２内の加湿器１０６を、湿度コント
ローラ１０７で制御するようにしていた。なお一般的に
温度制御については、天井チャンバ１０８に設置した給
気（ＳＡ）の温度を検出する温度センサ１０９の検出結
果に基づいて温度コントローラ１１０がドライコイル１
１１を制御するようになっている。そして冬期の加湿時
においては、外気の温度が低いため、外調機１０２内に
再熱ヒータ１１２を設置して、外気を予め加熱していた
のである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが工業用クリー
ンルーム等では、内部の熱負荷が大きいため、冬期にお
いても冷房を行っている。そのため従来の外調機での露
点制御方式採用に伴う加湿方法では、再熱ヒータ１１２
による加熱に起因したエネルギーロスが大きい。以上の
点で従来の加湿方法は好ましくなかったのである。
ンルーム等では、内部の熱負荷が大きいため、冬期にお
いても冷房を行っている。そのため従来の外調機での露
点制御方式採用に伴う加湿方法では、再熱ヒータ１１２
による加熱に起因したエネルギーロスが大きい。以上の
点で従来の加湿方法は好ましくなかったのである。
【０００７】本発明はかかる点に鑑みてなされたもので
あり、循環空気系で加湿を行う方式を採用しつつもハン
チング現象が生じず、しかもエネルギーロスのない加湿
方法、並びに当該加湿方法及び既述の露点制御方式の長
所を採り入れた空気調和システムを提供して、前記問題
の解決を図ることを目的とするものである。
あり、循環空気系で加湿を行う方式を採用しつつもハン
チング現象が生じず、しかもエネルギーロスのない加湿
方法、並びに当該加湿方法及び既述の露点制御方式の長
所を採り入れた空気調和システムを提供して、前記問題
の解決を図ることを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項１によれば、目的空間からの還気と、空調機
によって処理された導入外気とを混合させ、これを再び
目的空間への給気とする循環空気系を有した空気調和シ
ステムにおける、前記目的空間内を加湿手段によって加
湿する方法であって、導入外気の絶対湿度と導入量を検
出し、設定湿度における絶対湿度と導入外気との絶対湿
度の差に、導入外気量を乗じた量を所要加湿量として、
前記加湿手段によって前記循環空気系の循環空気に付加
させることを特徴とする、加湿方法が提供される。
め、請求項１によれば、目的空間からの還気と、空調機
によって処理された導入外気とを混合させ、これを再び
目的空間への給気とする循環空気系を有した空気調和シ
ステムにおける、前記目的空間内を加湿手段によって加
湿する方法であって、導入外気の絶対湿度と導入量を検
出し、設定湿度における絶対湿度と導入外気との絶対湿
度の差に、導入外気量を乗じた量を所要加湿量として、
前記加湿手段によって前記循環空気系の循環空気に付加
させることを特徴とする、加湿方法が提供される。
【０００９】また請求項２によれば、さらに精密な確度
の高い制御が行えるための加湿方法として、導入外気の
絶対湿度と導入量を検出し、設定湿度における絶対湿度
と導入外気との絶対湿度の差に導入外気量を乗じた量を
所要加湿量とし、さらに給気の湿度を検出してこの検出
結果と設定湿度の差に基づいて前記所要加湿量を調整
し、これに基づいて加湿手段で循環空気系の循環空気に
付加させることを特徴とする、加湿方法が提供される。
の高い制御が行えるための加湿方法として、導入外気の
絶対湿度と導入量を検出し、設定湿度における絶対湿度
と導入外気との絶対湿度の差に導入外気量を乗じた量を
所要加湿量とし、さらに給気の湿度を検出してこの検出
結果と設定湿度の差に基づいて前記所要加湿量を調整
し、これに基づいて加湿手段で循環空気系の循環空気に
付加させることを特徴とする、加湿方法が提供される。
【００１０】前記した各加湿方法における加湿手段は、
蒸気方式を始めとする既存の種々の加湿手段を用いるこ
とが可能であるが、中でも請求項３に記載したように、
水噴霧方式及び／又は気化方式の加湿手段を採用すれ
ば、気化熱を奪い、給気の温度を下げる作用をするた
め、例えばドライコイルの負荷が小さくなるというさら
に好ましい結果が得られる。
蒸気方式を始めとする既存の種々の加湿手段を用いるこ
とが可能であるが、中でも請求項３に記載したように、
水噴霧方式及び／又は気化方式の加湿手段を採用すれ
ば、気化熱を奪い、給気の温度を下げる作用をするた
め、例えばドライコイルの負荷が小さくなるというさら
に好ましい結果が得られる。
【００１１】また請求項４によれば、外気を処理する空
調機を経た導入外気と、目的空間からの還気とを混合さ
せ、これを再び目的空間への給気とする循環空気系を有
した空気調和システムにおいて、導入外気の絶対湿度を
検出する湿度センサと、導入外気の量を検出する導入外
気量検出センサと、前記循環空気系に設置された加湿手
段と、湿度コントローラとを有し、さらに前記空調機は
少なくとも冷却コイルを有し、導入外気の絶対湿度が目
的空間の設定湿度の絶対湿度よりも低い場合には、目的
空間内の設定湿度における絶対湿度と、前記湿度センサ
によって得た導入外気の絶対湿度の差に、前記導入外気
量検出センサによって得た導入外気量を乗じた量が所要
加湿量として前記湿度コントローラによって演算される
と共に、この演算結果に基づいて前記加湿手段が制御さ
れ、導入外気の絶対湿度が目的空間の設定湿度の絶対湿
度よりも高い場合には、前記湿度コントローラによって
前記空調機の冷却コイルが制御される如く構成されたこ
とを特徴とする、空気調和システムが提供される。
調機を経た導入外気と、目的空間からの還気とを混合さ
せ、これを再び目的空間への給気とする循環空気系を有
した空気調和システムにおいて、導入外気の絶対湿度を
検出する湿度センサと、導入外気の量を検出する導入外
気量検出センサと、前記循環空気系に設置された加湿手
段と、湿度コントローラとを有し、さらに前記空調機は
少なくとも冷却コイルを有し、導入外気の絶対湿度が目
的空間の設定湿度の絶対湿度よりも低い場合には、目的
空間内の設定湿度における絶対湿度と、前記湿度センサ
によって得た導入外気の絶対湿度の差に、前記導入外気
量検出センサによって得た導入外気量を乗じた量が所要
加湿量として前記湿度コントローラによって演算される
と共に、この演算結果に基づいて前記加湿手段が制御さ
れ、導入外気の絶対湿度が目的空間の設定湿度の絶対湿
度よりも高い場合には、前記湿度コントローラによって
前記空調機の冷却コイルが制御される如く構成されたこ
とを特徴とする、空気調和システムが提供される。
【００１２】この場合、請求項５に記載したように、さ
らに給気の湿度を検出する給気湿度センサを有し、この
給気湿度センサによって得た給気湿度と目的空間におけ
る設定湿度の差に基づいて、前記所要加湿量を調整する
ように構成したり、また請求項６に記載したように、前
記所要加湿量の調整のみならず、冷却コイルの制御の調
整を行うように構成してもよい。
らに給気の湿度を検出する給気湿度センサを有し、この
給気湿度センサによって得た給気湿度と目的空間におけ
る設定湿度の差に基づいて、前記所要加湿量を調整する
ように構成したり、また請求項６に記載したように、前
記所要加湿量の調整のみならず、冷却コイルの制御の調
整を行うように構成してもよい。
【００１３】以上に挙げた各空気調和システムにおける
加湿手段についても、請求項７に記載したように、水噴
霧方式及び／又は気化方式の加湿手段を採用すれば、な
お好ましい結果が得られる。
加湿手段についても、請求項７に記載したように、水噴
霧方式及び／又は気化方式の加湿手段を採用すれば、な
お好ましい結果が得られる。
【００１４】
【作用】請求項１に記載の加湿方法によれば、目的空間
の湿度を直接検出する方式ではなく、導入外気の絶対湿
度と導入量を検出し、設定湿度（絶対湿度）と導入外気
との絶対湿度の差に、導入外気量を乗じた量を所要加湿
量として加湿するので、まずハンチングの問題は生じな
い。また例えば目的空間がクリーンルームである場合、
年間を通じて冷房運転を行っている関係上、循環空気の
温度は冬期でも２３゜Ｃ〜２５゜Ｃ程度である。したが
って循環空気に直接加湿する本発明によれば、加湿のた
めの再熱は不要である。
の湿度を直接検出する方式ではなく、導入外気の絶対湿
度と導入量を検出し、設定湿度（絶対湿度）と導入外気
との絶対湿度の差に、導入外気量を乗じた量を所要加湿
量として加湿するので、まずハンチングの問題は生じな
い。また例えば目的空間がクリーンルームである場合、
年間を通じて冷房運転を行っている関係上、循環空気の
温度は冬期でも２３゜Ｃ〜２５゜Ｃ程度である。したが
って循環空気に直接加湿する本発明によれば、加湿のた
めの再熱は不要である。
【００１５】請求項２に記載の加湿方法では、さらに給
気の湿度を検出してこの検出結果と設定湿度の差に基づ
いて前記請求項１における所要加湿量を調整しているの
で、確度を高め、より精密な加湿を実施することができ
る。なお具体的な調整に関しては、検出結果と設定湿度
の差に基づいて割だした定数を、前記所要加湿量に乗ず
る手法をその一例として挙げることができる。
気の湿度を検出してこの検出結果と設定湿度の差に基づ
いて前記請求項１における所要加湿量を調整しているの
で、確度を高め、より精密な加湿を実施することができ
る。なお具体的な調整に関しては、検出結果と設定湿度
の差に基づいて割だした定数を、前記所要加湿量に乗ず
る手法をその一例として挙げることができる。
【００１６】前記した各加湿方法において、請求項３に
記載したように、加湿手段に水噴霧方式又は気化方式、
あるいはその双方の方式を有する加湿手段を採用すれ
ば、加湿時に循環空気の温度を上昇させず、逆に温度を
下げることができる。従って、冬期でも冷房運転を行っ
ているクリーンルーム等に適しており、省エネルギーも
図れる。
記載したように、加湿手段に水噴霧方式又は気化方式、
あるいはその双方の方式を有する加湿手段を採用すれ
ば、加湿時に循環空気の温度を上昇させず、逆に温度を
下げることができる。従って、冬期でも冷房運転を行っ
ているクリーンルーム等に適しており、省エネルギーも
図れる。
【００１７】また請求項４によれば、例えば冬期など外
気が乾燥して目的空間を加湿する必要がある場合、湿度
コントローラによって加湿手段が制御され、請求項１の
加湿が循環空気になされる。従って、ハンチング現象が
ない安定した加湿制御が可能であり、再熱の必要もな
い。そして例えば夏期など外気の湿度が高い場合には、
湿度コントローラによって空調機の冷却コイルが制御さ
れるので、従前の露点制御方式の湿度制御をそのまま実
施することができ、安定した制御で省エネ効果の高い湿
度制御が可能である。
気が乾燥して目的空間を加湿する必要がある場合、湿度
コントローラによって加湿手段が制御され、請求項１の
加湿が循環空気になされる。従って、ハンチング現象が
ない安定した加湿制御が可能であり、再熱の必要もな
い。そして例えば夏期など外気の湿度が高い場合には、
湿度コントローラによって空調機の冷却コイルが制御さ
れるので、従前の露点制御方式の湿度制御をそのまま実
施することができ、安定した制御で省エネ効果の高い湿
度制御が可能である。
【００１８】請求項５、６によれば、さらに給気の湿度
をも勘案して加湿手段や冷却コイルを制御するので、請
求項４の場合よりもさらに確度の高い精密な湿度コント
ロールが可能になっている。
をも勘案して加湿手段や冷却コイルを制御するので、請
求項４の場合よりもさらに確度の高い精密な湿度コント
ロールが可能になっている。
【００１９】そして請求項７に記載したように、水噴霧
方式及び／又は気化方式の加湿手段を採用した場合に
は、請求項３の場合と同様、加湿時の循環空気の温度を
下げる効果があるので、さらなる省エネルギーを図るこ
とが可能である。
方式及び／又は気化方式の加湿手段を採用した場合に
は、請求項３の場合と同様、加湿時の循環空気の温度を
下げる効果があるので、さらなる省エネルギーを図るこ
とが可能である。
【００２０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づき説明
すれば、図１は実施例にかかる空気調和システムの主要
な構成を示しており、本実施例では、目的空間を工業用
のクリーンルーム１としている。
すれば、図１は実施例にかかる空気調和システムの主要
な構成を示しており、本実施例では、目的空間を工業用
のクリーンルーム１としている。
【００２１】このクリーンルーム１は、天井裏空間に天
井チャンバ２、床下空間に床下チャンバ３を有してお
り、クリーンルーム１外部に設けた循環ファン４によっ
て、給気（ＳＡ）は、天井部に設けたＨＥＰＡフィルタ
などによって構成されるフィルタユニット５を通じて天
井チャンバ２からクリーンルーム１内へと供給され、格
子板やパンチング板によって構成される床板６を通じ
て、床下チャンバ３へと流れて還気（ＲＡ）となる。そ
してこの還気（ＲＡ）は後述の空調機１１を経た処理済
みの導入外気（ＯＡ）と床下チャンバ３内で混合され、
ドライコイル７を介して循環ファン４によって再び天井
チャンバ２へと供給される。本実施例における循環空気
系は、以上のような経路を有している。
井チャンバ２、床下空間に床下チャンバ３を有してお
り、クリーンルーム１外部に設けた循環ファン４によっ
て、給気（ＳＡ）は、天井部に設けたＨＥＰＡフィルタ
などによって構成されるフィルタユニット５を通じて天
井チャンバ２からクリーンルーム１内へと供給され、格
子板やパンチング板によって構成される床板６を通じ
て、床下チャンバ３へと流れて還気（ＲＡ）となる。そ
してこの還気（ＲＡ）は後述の空調機１１を経た処理済
みの導入外気（ＯＡ）と床下チャンバ３内で混合され、
ドライコイル７を介して循環ファン４によって再び天井
チャンバ２へと供給される。本実施例における循環空気
系は、以上のような経路を有している。
【００２２】一方外気を処理して導入外気とする空調機
１１は、ガラリ１２を介してファン１３で吸い込んだ外
気をろ過する中間フィルタ１４と、中間フィルタ１４を
通過した空気を処理する冷温水コイル１５と、この冷温
水コイル１５を通過した空気を導入外気とするため、Ｈ
ＥＰＡフィルタなどで構成される最終フィルタ１６を有
している。そしてこの空調機１１における導入外気（Ｏ
Ａ）の出口付近には、導入外気（ＯＡ）の露点温度を検
出してその絶対湿度を測定するための露点温度センサ２
１と、導入外気（ＯＡ）の導入量を検出するための風量
計２２が設置されている。これら各露点温度センサ２１
と風量計２２の検出信号は、湿度コントローラ２３へと
入力される。
１１は、ガラリ１２を介してファン１３で吸い込んだ外
気をろ過する中間フィルタ１４と、中間フィルタ１４を
通過した空気を処理する冷温水コイル１５と、この冷温
水コイル１５を通過した空気を導入外気とするため、Ｈ
ＥＰＡフィルタなどで構成される最終フィルタ１６を有
している。そしてこの空調機１１における導入外気（Ｏ
Ａ）の出口付近には、導入外気（ＯＡ）の露点温度を検
出してその絶対湿度を測定するための露点温度センサ２
１と、導入外気（ＯＡ）の導入量を検出するための風量
計２２が設置されている。これら各露点温度センサ２１
と風量計２２の検出信号は、湿度コントローラ２３へと
入力される。
【００２３】湿度コントローラ２３は、前記した露点温
度センサ２１からの検出信号に基づいて、クリーンルー
ム１の設定湿度（絶対湿度）と導入外気の絶対湿度の差
を算出し、加湿が必要な場合には、当該差に風量計２２
からの検出信号に基づいて割だした導入外気量を乗じた
量を演算して、これを第１の所要加湿量として、加湿手
段３１にその指示を出力する機能を有している。
度センサ２１からの検出信号に基づいて、クリーンルー
ム１の設定湿度（絶対湿度）と導入外気の絶対湿度の差
を算出し、加湿が必要な場合には、当該差に風量計２２
からの検出信号に基づいて割だした導入外気量を乗じた
量を演算して、これを第１の所要加湿量として、加湿手
段３１にその指示を出力する機能を有している。
【００２４】より詳述すれば、前記床下チャンバ３にお
ける循環空気流路の下流側、即ち還気（ＲＡ）と導入外
気（ＯＡ）が混合された後の流路には、循環空気を加湿
するための水噴霧方式の加湿手段２４が設置されてお
り、湿度コントローラ２３によって演算された前記第１
の所要加湿量に基づく制御信号は、加湿手段２４の調節
弁２５へと入力され、それによって加湿量の調節が行わ
れるのである。なお流量の検出は流量計２６によって行
われ、そのの検出信号は常時湿度コントローラ２３へと
入力されている。
ける循環空気流路の下流側、即ち還気（ＲＡ）と導入外
気（ＯＡ）が混合された後の流路には、循環空気を加湿
するための水噴霧方式の加湿手段２４が設置されてお
り、湿度コントローラ２３によって演算された前記第１
の所要加湿量に基づく制御信号は、加湿手段２４の調節
弁２５へと入力され、それによって加湿量の調節が行わ
れるのである。なお流量の検出は流量計２６によって行
われ、そのの検出信号は常時湿度コントローラ２３へと
入力されている。
【００２５】一方逆に減湿が必要な場合には、湿度コン
トローラ２３は、空調機１１の冷温水コイル１５の調節
弁１５ａに対して必要な指示を出力するようになってい
る。
トローラ２３は、空調機１１の冷温水コイル１５の調節
弁１５ａに対して必要な指示を出力するようになってい
る。
【００２６】さらに前記湿度コントローラ２３には、天
井チャンバ２内に設置されている給気（ＳＡ）の湿度を
測定する湿度センサ３１と、給気（ＳＡ）の温度を測定
する温度センサ３２からの各信号も入力され、最終的な
到達湿度（絶対湿度）と設定湿度（絶対湿度）に差が生
じた場合には、前記第１の所要加湿量に、当該差に基づ
いて算出された定数を乗じて演算し、その結果を第２の
所要加湿量として、加湿手段２４の調節弁２５に指示を
出力する機能も有している。もちろんそのようないわば
確度の高い指示出力は、減湿が必要な場合、空調機１１
の冷温水コイル１５の調節弁１５ａに対しても出力可能
である。
井チャンバ２内に設置されている給気（ＳＡ）の湿度を
測定する湿度センサ３１と、給気（ＳＡ）の温度を測定
する温度センサ３２からの各信号も入力され、最終的な
到達湿度（絶対湿度）と設定湿度（絶対湿度）に差が生
じた場合には、前記第１の所要加湿量に、当該差に基づ
いて算出された定数を乗じて演算し、その結果を第２の
所要加湿量として、加湿手段２４の調節弁２５に指示を
出力する機能も有している。もちろんそのようないわば
確度の高い指示出力は、減湿が必要な場合、空調機１１
の冷温水コイル１５の調節弁１５ａに対しても出力可能
である。
【００２７】本実施例にかかる空気調和システムは以上
のように構成されており、例えば冬期において、外気が
極めて乾燥しており、その結果クリーンルーム１内の設
定湿度（絶対湿度）が外気の絶対湿度よりも高い場合、
湿度コントローラ２３はその差に、導入外気量を乗じた
量を第１の所要加湿量として、加湿手段２４の調節弁２
５を制御して、循環空気に当該第１の所要加湿量を付加
することが可能である。この場合、クリーンルーム１が
より精密な湿度設定を要求している場合には、湿度セン
サ３１と、温度センサ３２からの各信号からのデータも
取り入れて演算して求めた第２の所要加湿量に基づいて
湿分を付加させることも可能である。いずれの場合であ
っても、基本的には空調機１１の出口に設置した露点温
度センサ２１のデータを基にしているので、ハンチング
が生ぜず、制御性が良好で安定した湿度コントロールが
可能である。
のように構成されており、例えば冬期において、外気が
極めて乾燥しており、その結果クリーンルーム１内の設
定湿度（絶対湿度）が外気の絶対湿度よりも高い場合、
湿度コントローラ２３はその差に、導入外気量を乗じた
量を第１の所要加湿量として、加湿手段２４の調節弁２
５を制御して、循環空気に当該第１の所要加湿量を付加
することが可能である。この場合、クリーンルーム１が
より精密な湿度設定を要求している場合には、湿度セン
サ３１と、温度センサ３２からの各信号からのデータも
取り入れて演算して求めた第２の所要加湿量に基づいて
湿分を付加させることも可能である。いずれの場合であ
っても、基本的には空調機１１の出口に設置した露点温
度センサ２１のデータを基にしているので、ハンチング
が生ぜず、制御性が良好で安定した湿度コントロールが
可能である。
【００２８】しかも加湿にあたっては、加湿手段２４に
よって循環空気に直接加湿する方式を採っているので、
クリーンルーム１の室温が常時２３゜Ｃ〜２５゜Ｃであ
ることを鑑みると、冬期においても加湿のための再熱は
必要がない。従って、従来よりもその分、省エネルギー
が図れ、また再熱用のヒータを空調機１１に設置する必
要もない。さらに加湿手段２４自体は水噴霧方式を採用
しているから、加湿の際に循環空気の温度を下げる効果
があるので、この点でも、省エネ効果は大きいものとな
っている。
よって循環空気に直接加湿する方式を採っているので、
クリーンルーム１の室温が常時２３゜Ｃ〜２５゜Ｃであ
ることを鑑みると、冬期においても加湿のための再熱は
必要がない。従って、従来よりもその分、省エネルギー
が図れ、また再熱用のヒータを空調機１１に設置する必
要もない。さらに加湿手段２４自体は水噴霧方式を採用
しているから、加湿の際に循環空気の温度を下げる効果
があるので、この点でも、省エネ効果は大きいものとな
っている。
【００２９】一方、例えば夏期などにおいて外気の湿度
が高く、クリーンルーム１の設定湿度（絶対湿度）より
も外気の絶対湿度の方が高い場合には、湿度コントロー
ラ２３によって、空調機１１の冷温水コイル１５が制御
され、減湿運転がなされる。この場合は、いわゆる既述
の外気露点制御方式であり、露点温度センサ２１で導入
外気（ＯＡ）の露点を検出しながら、必要最小限の湿分
を冷温水コイル１５で除去するため、省エネルギー効果
がある。またそのようにして調湿した導入外気は、より
多量の循環空気と床下チャンバ３内で混合されるため、
安定な制御が可能となっている。
が高く、クリーンルーム１の設定湿度（絶対湿度）より
も外気の絶対湿度の方が高い場合には、湿度コントロー
ラ２３によって、空調機１１の冷温水コイル１５が制御
され、減湿運転がなされる。この場合は、いわゆる既述
の外気露点制御方式であり、露点温度センサ２１で導入
外気（ＯＡ）の露点を検出しながら、必要最小限の湿分
を冷温水コイル１５で除去するため、省エネルギー効果
がある。またそのようにして調湿した導入外気は、より
多量の循環空気と床下チャンバ３内で混合されるため、
安定な制御が可能となっている。
【００３０】
【発明の効果】請求項１に記載の加湿方法によれば、ハ
ンチング現象が生じないので、安定した加湿制御が可能
であり、しかもクリーンルームなど目的空間が常時冷房
運転を行っている場合には、高い省エネ効果が得られ、
再熱ヒータも不要である。請求項２の加湿方法では、さ
らに確度の高い精密な加湿制御を実施することができ
る。そして請求項３に記載の加湿方法によれば、より一
層高い省エネ効果を得ることが可能である。
ンチング現象が生じないので、安定した加湿制御が可能
であり、しかもクリーンルームなど目的空間が常時冷房
運転を行っている場合には、高い省エネ効果が得られ、
再熱ヒータも不要である。請求項２の加湿方法では、さ
らに確度の高い精密な加湿制御を実施することができ
る。そして請求項３に記載の加湿方法によれば、より一
層高い省エネ効果を得ることが可能である。
【００３１】また請求項４に記載の空気調和システムに
よれば、目的空間の加湿時には、前記した請求項１の加
湿方法を実施でき、その作用効果を享有することができ
る。一方減湿時には、従前の外気を処理する空調機での
露点制御方式を採用することができ、高い省エネ効果と
安定した制御が可能である。従って、状況に応じて常に
エネルギー効率の良好な湿度コントロールが可能であ
る。請求項５、６に記載の空気調和システムによれば、
かかる作用効果に加えて、より一層確度の高い精密な湿
度コントロールを実現することができる。そして請求項
７に記載した空気調和システムによれば、加湿時の循環
空気の温度を下げる効果があるので、その分、さらなる
省エネルギーを図ることが可能である。
よれば、目的空間の加湿時には、前記した請求項１の加
湿方法を実施でき、その作用効果を享有することができ
る。一方減湿時には、従前の外気を処理する空調機での
露点制御方式を採用することができ、高い省エネ効果と
安定した制御が可能である。従って、状況に応じて常に
エネルギー効率の良好な湿度コントロールが可能であ
る。請求項５、６に記載の空気調和システムによれば、
かかる作用効果に加えて、より一層確度の高い精密な湿
度コントロールを実現することができる。そして請求項
７に記載した空気調和システムによれば、加湿時の循環
空気の温度を下げる効果があるので、その分、さらなる
省エネルギーを図ることが可能である。
【図１】本発明の実施例にかかる空気調和システムの主
要な構成を示す説明図である。
要な構成を示す説明図である。
【図２】従来技術にかかる空気調和システムの主要な構
成を示す説明図である。
成を示す説明図である。
１ クリーンルーム ２ 天井チャンバ ３ 床下チャンバ ４ 循環ファン ７ ドライコイル １１ 空調機 １５ 冷温水コイル ２１ 露点温度センサ ２２ 風量計 ２３ 湿度コントローラ ２４ 加湿手段 ２５ 調節弁 ３１ 湿度センサ ３２ 温度センサ ３３ 温度コントローラ
Claims (7)
- 【請求項１】 目的空間からの還気と導入外気とを混合
させ、これを再び目的空間への給気とする循環空気系を
有した空気調和システムにおける、前記目的空間内を加
湿手段によって加湿する方法であって、 導入外気の絶対湿度と導入量を検出し、設定湿度におけ
る絶対湿度と導入外気との絶対湿度の差に、導入外気量
を乗じた量を所要加湿量として、加湿手段によって前記
循環空気系の循環空気に付加させることを特徴とする、
加湿方法。 - 【請求項２】 目的空間からの還気と導入外気とを混合
させ、これを再び目的空間への給気とする循環空気系を
有した空気調和システムにおける、前記目的空間内を加
湿手段によって加湿する方法であって、 導入外気の絶対湿度と導入量を検出し、設定湿度におけ
る絶対湿度と導入外気との絶対湿度の差に導入外気量を
乗じた量を所要加湿量とし、さらに給気の湿度を検出し
てこの検出結果と設定湿度の差に基づいて前記所要加湿
量を調整して、加湿手段によって前記循環空気系の循環
空気に付加させることを特徴とする、加湿方法。 - 【請求項３】 前記加湿手段が、水噴霧方式及び／又は
気化方式の加湿手段であることを特徴とする、請求項１
又は２に記載の加湿方法。 - 【請求項４】 外気を処理する空調機を経た導入外気
と、目的空間からの還気とを混合させ、これを再び目的
空間への給気とする循環空気系を有した空気調和システ
ムにおいて、導入外気の絶対湿度を検出する湿度センサ
と、導入外気の量を検出する導入外気量検出センサと、
前記循環空気系に設置された加湿手段と、湿度コントロ
ーラとを有し、さらに前記空調機は少なくとも冷却コイ
ルを有し、導入外気の絶対湿度が目的空間の設定湿度に
おける絶対湿度よりも低い場合には、目的空間内の設定
湿度における絶対湿度と前記湿度センサによって得た導
入外気の絶対湿度の差に、前記導入外気量検出センサに
よって得た導入外気量を乗じた量が、所要加湿量として
前記湿度コントローラによって演算されると共に、この
演算結果に基づいて前記加湿手段が制御され、導入外気
の絶対湿度が目的空間の設定湿度における絶対湿度より
も高い場合には、前記湿度コントローラによって前記空
調機の冷却コイルが制御される如く構成されたことを特
徴とする、空気調和システム。 - 【請求項５】 さらに給気の湿度を検出する給気湿度セ
ンサを有し、この給気湿度センサによって得た給気湿度
と目的空間における設定湿度の差に基づいて、前記所要
加湿量が調整される如く構成されたことを特徴とする、
請求項４に記載の空気調和システム。 - 【請求項６】 さらに給気の湿度を検出する給気湿度セ
ンサを有し、この給気湿度センサによって得た給気湿度
と目的空間における設定湿度の差に基づいて、前記所要
加湿量の調整並びに冷却コイルの制御調整がされる如く
構成されたことを特徴とする、請求項４に記載の空気調
和システム。 - 【請求項７】 前記加湿手段が、水噴霧方式及び／又は
気化方式の加湿手段であることを特徴とする、請求項
４、５又は６に記載の空気調和システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24329694A JP3310118B2 (ja) | 1994-09-12 | 1994-09-12 | 加湿方法及び空気調和システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24329694A JP3310118B2 (ja) | 1994-09-12 | 1994-09-12 | 加湿方法及び空気調和システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0882432A true JPH0882432A (ja) | 1996-03-26 |
| JP3310118B2 JP3310118B2 (ja) | 2002-07-29 |
Family
ID=17101734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24329694A Expired - Lifetime JP3310118B2 (ja) | 1994-09-12 | 1994-09-12 | 加湿方法及び空気調和システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3310118B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000329374A (ja) * | 1999-05-14 | 2000-11-30 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 空調用加湿方法及び加湿装置 |
| JP2001280657A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-10 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 空調機 |
| JP2002156137A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-05-31 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 空調用加湿設備 |
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| EP3404338B1 (de) | 2017-05-18 | 2021-04-21 | Schilling Engineering GmbH | Luftbehandlungsvorrichtung und verfahren zum betrieb einer solchen vorrichtung |
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-
1994
- 1994-09-12 JP JP24329694A patent/JP3310118B2/ja not_active Expired - Lifetime
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