JPH0878184A - 除電器 - Google Patents
除電器Info
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- JPH0878184A JPH0878184A JP6211594A JP21159494A JPH0878184A JP H0878184 A JPH0878184 A JP H0878184A JP 6211594 A JP6211594 A JP 6211594A JP 21159494 A JP21159494 A JP 21159494A JP H0878184 A JPH0878184 A JP H0878184A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 除電能力が高い除電器を提供する。
【構成】 この発明による除電器は、中空円筒状の結合
リング17と、この結合リング17の下部に取り付けら
れた針状の放電電極14と、結合リング17と放電電極
14の周囲を覆うモールド部材100と、放電電極14
とギャップをおいてL字型と逆L字型をなし対向配置さ
れた接地電極15、15とを有している。モールド部材
100は、ポリウレタン樹脂等の高分子材料に発泡材が
混入されて構成されている。
リング17と、この結合リング17の下部に取り付けら
れた針状の放電電極14と、結合リング17と放電電極
14の周囲を覆うモールド部材100と、放電電極14
とギャップをおいてL字型と逆L字型をなし対向配置さ
れた接地電極15、15とを有している。モールド部材
100は、ポリウレタン樹脂等の高分子材料に発泡材が
混入されて構成されている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、フィルムシートや半
導体デバイス等の静電気を帯びた物体から静電気を除去
する除電器に関する。
導体デバイス等の静電気を帯びた物体から静電気を除去
する除電器に関する。
【0002】
【従来の技術】フィルムシートや半導体デバイス等の物
体は静電気を帯び易いため、その保管や製造工程におい
て、帯電した静電気を除去する必要がある。このため、
従来から、上記物体の製造工程等においては、例えば、
図2に示すような除電器が使用されていた。
体は静電気を帯び易いため、その保管や製造工程におい
て、帯電した静電気を除去する必要がある。このため、
従来から、上記物体の製造工程等においては、例えば、
図2に示すような除電器が使用されていた。
【0003】図2において、10は電源部であり、交流
電源1と、電源スイッチ2と、昇圧トランス3とから構
成されている。昇圧トランス3の一次側には、電源スイ
ッチ2を介して交流電源1(100V)が接続されてお
り、一次側に印加された電圧100Vを昇圧して二次側
に高電圧(例えば、7kV)を出力する。また、昇圧ト
ランス3の二次側は、その一端が同軸ケーブル11の中
心導体11aの一端に接続され、その他端が同軸ケーブ
ル11の外部導体11bに接続されるとともに、接地さ
れている。同軸ケーブル11の中心導体11aの他端
は、除電電極12内において、所定長さ分が高圧電極1
3として使用されている。
電源1と、電源スイッチ2と、昇圧トランス3とから構
成されている。昇圧トランス3の一次側には、電源スイ
ッチ2を介して交流電源1(100V)が接続されてお
り、一次側に印加された電圧100Vを昇圧して二次側
に高電圧(例えば、7kV)を出力する。また、昇圧ト
ランス3の二次側は、その一端が同軸ケーブル11の中
心導体11aの一端に接続され、その他端が同軸ケーブ
ル11の外部導体11bに接続されるとともに、接地さ
れている。同軸ケーブル11の中心導体11aの他端
は、除電電極12内において、所定長さ分が高圧電極1
3として使用されている。
【0004】次に、除電電極12の構成について図2及
び図3を参照して説明する。図3(A)は除電電極12
の一部裁断正面図、図3(B)は図3(A)のX−X’
方向における断面図である。図3において、19はポリ
エステル等からなる樹脂成形部であり、その断面が略H
字状に形成され、除電電極12を保護している。樹脂成
形部19の左右両側面下部の長手方向には、それぞれL
字状及び逆L字状の断面を有する接地電極15,15が
対向して取り付けられている(図3(B)参照)。この
接地電極15,15は、図2に示すように、同軸ケーブ
ル11の外部導体11bと接続されている。
び図3を参照して説明する。図3(A)は除電電極12
の一部裁断正面図、図3(B)は図3(A)のX−X’
方向における断面図である。図3において、19はポリ
エステル等からなる樹脂成形部であり、その断面が略H
字状に形成され、除電電極12を保護している。樹脂成
形部19の左右両側面下部の長手方向には、それぞれL
字状及び逆L字状の断面を有する接地電極15,15が
対向して取り付けられている(図3(B)参照)。この
接地電極15,15は、図2に示すように、同軸ケーブ
ル11の外部導体11bと接続されている。
【0005】また、図3において、樹脂成形部19の上
部溝部の略中央には、中空円筒状の真鍮等の導体で製作
された複数の結合リング17,17,・・・が所定間隔
を置いて設けられている(図3(A)参照)。そして、
各結合リング17の中を絶縁部材16で被覆された高圧
電極13が貫通している。各結合リング17の下部に
は、それぞれ針状の放電電極14が取り付けられてい
る。放電電極14の先端部は樹脂成形部19の下面から
突出し、かつ、接地電極15,15と対向している。高
圧電極13と各放電電極14とは、前述した絶縁材料を
介して静電結合されている。さらに、樹脂成形部19の
上部溝部には、ポリウレタン樹脂等からなるモールド部
18が充填されている。
部溝部の略中央には、中空円筒状の真鍮等の導体で製作
された複数の結合リング17,17,・・・が所定間隔
を置いて設けられている(図3(A)参照)。そして、
各結合リング17の中を絶縁部材16で被覆された高圧
電極13が貫通している。各結合リング17の下部に
は、それぞれ針状の放電電極14が取り付けられてい
る。放電電極14の先端部は樹脂成形部19の下面から
突出し、かつ、接地電極15,15と対向している。高
圧電極13と各放電電極14とは、前述した絶縁材料を
介して静電結合されている。さらに、樹脂成形部19の
上部溝部には、ポリウレタン樹脂等からなるモールド部
18が充填されている。
【0006】上記構成において、除電電極12の下方
に、これと非接触に帯電物体を対置した後、電源スイッ
チ2をオンにすると、交流電源1の出力電圧100Vが
昇圧トランス3により、例えば、7kVに昇圧されて高
圧電極13に印加される。この高圧電極13に印加され
た高圧電圧は、静電結合作用により結合リング17を介
して放電電極14に印加される。
に、これと非接触に帯電物体を対置した後、電源スイッ
チ2をオンにすると、交流電源1の出力電圧100Vが
昇圧トランス3により、例えば、7kVに昇圧されて高
圧電極13に印加される。この高圧電極13に印加され
た高圧電圧は、静電結合作用により結合リング17を介
して放電電極14に印加される。
【0007】これにより、放電電極14の先端部と接地
電極15,15との間に絶縁破壊が生じてコロナ放電が
発生し、周囲の空気が正イオンと負イオンにイオン化さ
れる。したがって、帯電物体の帯電電荷の極性に応じて
いずれかの極性のイオンが帯電物体に引き寄せられて帯
電物体の帯電電荷と結合することにより、帯電電荷が中
和され、この結果、帯電物体が除電される。
電極15,15との間に絶縁破壊が生じてコロナ放電が
発生し、周囲の空気が正イオンと負イオンにイオン化さ
れる。したがって、帯電物体の帯電電荷の極性に応じて
いずれかの極性のイオンが帯電物体に引き寄せられて帯
電物体の帯電電荷と結合することにより、帯電電荷が中
和され、この結果、帯電物体が除電される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の除電電極12において1個の結合リング17付近に
は、図4に示すように、高圧電極13と結合リング17
と間に結合容量C1が、結合リング17と接地電極1
5,15との間に接地容量C2がそれぞれ存在すると考
えられる。したがって、図2及び図3に示す除電器は、
例えば、図5に示す等価回路で表される。なお、図4及
び図5において、C2’及びV2’については後述する。
来の除電電極12において1個の結合リング17付近に
は、図4に示すように、高圧電極13と結合リング17
と間に結合容量C1が、結合リング17と接地電極1
5,15との間に接地容量C2がそれぞれ存在すると考
えられる。したがって、図2及び図3に示す除電器は、
例えば、図5に示す等価回路で表される。なお、図4及
び図5において、C2’及びV2’については後述する。
【0009】図5において、1’は電圧源であり、昇圧
トランス3の二次側電圧に相当する。この電圧源1’に
は、結合容量C1と接地容量C2とが直列に接続されてい
る。したがって、電圧源1’の電圧Vは、結合容量C1
と接地容量C2とによってV1とV2とに分圧される。こ
れらのうち、分圧V2は(1)式で示される。 V2=C1・V/(C1+C2) =k1・V・・・・・・・・(1) k1=C1/(C1+C2)・・・(2) (2)式に示す定数k1は、除電器の除電能力を左右す
る重要な要素であることが知られている。これは、定数
k1が大きければ、(1)式より分圧V2が大きくなるの
で、コロナ放電が発生する量が増加してイオンの発生量
も増加し、この結果、除電能力も高くなるからである。
そこで、除電器の除電能力を高くするためには、定数k
1を大きくすればよいが、そのためには、(2)式から
わかるように、結合容量C1を大きくするか、接地容量
C2を小さくすればよい。
トランス3の二次側電圧に相当する。この電圧源1’に
は、結合容量C1と接地容量C2とが直列に接続されてい
る。したがって、電圧源1’の電圧Vは、結合容量C1
と接地容量C2とによってV1とV2とに分圧される。こ
れらのうち、分圧V2は(1)式で示される。 V2=C1・V/(C1+C2) =k1・V・・・・・・・・(1) k1=C1/(C1+C2)・・・(2) (2)式に示す定数k1は、除電器の除電能力を左右す
る重要な要素であることが知られている。これは、定数
k1が大きければ、(1)式より分圧V2が大きくなるの
で、コロナ放電が発生する量が増加してイオンの発生量
も増加し、この結果、除電能力も高くなるからである。
そこで、除電器の除電能力を高くするためには、定数k
1を大きくすればよいが、そのためには、(2)式から
わかるように、結合容量C1を大きくするか、接地容量
C2を小さくすればよい。
【0010】しかしながら、従来の除電器においては、
高圧電極13及び結合リング17の構造上の制約から結
合容量C1をあまり大きくすることはできず、約1〜1
0pF程度である。いっぽう、接地容量C2について
は、以下に示す理由により、あまり小さくできないとい
う問題があった。
高圧電極13及び結合リング17の構造上の制約から結
合容量C1をあまり大きくすることはできず、約1〜1
0pF程度である。いっぽう、接地容量C2について
は、以下に示す理由により、あまり小さくできないとい
う問題があった。
【0011】ここで、結合リング17と接地電極15、
15との間を平行コンデンサとみなせば、接地容量C2
は、(3)式で示される。 C2=εs・ε0・S/d・・・(3) (3)式において、εsはモールド部18及び樹脂成形
部19の比誘電率、ε0は真空中の誘電率、Sは結合リ
ング17と接地電極15,15との対向面積、dは結合
リング17と接地電極15、15と間の距離である。
15との間を平行コンデンサとみなせば、接地容量C2
は、(3)式で示される。 C2=εs・ε0・S/d・・・(3) (3)式において、εsはモールド部18及び樹脂成形
部19の比誘電率、ε0は真空中の誘電率、Sは結合リ
ング17と接地電極15,15との対向面積、dは結合
リング17と接地電極15、15と間の距離である。
【0012】したがって、接地容量C2を小さくするた
めには、モールド部18及び樹脂成形部19に比誘電率
εsの小さい材料を用いればよいが、高圧電圧及びこの
高圧電圧によって発生するオゾンから作業者を保護する
等の理由により、現在、モールド部18及び樹脂成形部
19には、ポリウレタン樹脂やポリエステル等の高分子
材料を使わざるを得ず、これらの比誘電率εsは、2〜
4程度と大きいため、接地容量C2をあまり小さくでき
ない。この発明は、このような背景の下になされたもの
で、簡単な構成で高い除電能力が得られる除電器を提供
することを目的とする。
めには、モールド部18及び樹脂成形部19に比誘電率
εsの小さい材料を用いればよいが、高圧電圧及びこの
高圧電圧によって発生するオゾンから作業者を保護する
等の理由により、現在、モールド部18及び樹脂成形部
19には、ポリウレタン樹脂やポリエステル等の高分子
材料を使わざるを得ず、これらの比誘電率εsは、2〜
4程度と大きいため、接地容量C2をあまり小さくでき
ない。この発明は、このような背景の下になされたもの
で、簡単な構成で高い除電能力が得られる除電器を提供
することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
第1の電極と、前記第1の電極を貫通させた中空円筒状
の導体の下部に取り付けられた針状の第2の電極と、前
記第2の電極と対向するように空隙をもたせて配置され
た第3の電極と、前記第1の電極の周囲を覆う絶縁部材
とを有し、前記第2の電極と前記第3の電極との間に高
電圧を印加し、コロナ放電を発生させて周囲の空気をイ
オン化させることにより、前記第2の電極と非接触に対
置される帯電物体の帯電電荷を除去する除電器におい
て、前記絶縁部材に気泡を含有させたことを特徴として
いる。また、請求項2記載の発明は、請求項1記載の除
電器において、前記絶縁部材に代えて気体を封入または
通風させたことを特徴としている。
第1の電極と、前記第1の電極を貫通させた中空円筒状
の導体の下部に取り付けられた針状の第2の電極と、前
記第2の電極と対向するように空隙をもたせて配置され
た第3の電極と、前記第1の電極の周囲を覆う絶縁部材
とを有し、前記第2の電極と前記第3の電極との間に高
電圧を印加し、コロナ放電を発生させて周囲の空気をイ
オン化させることにより、前記第2の電極と非接触に対
置される帯電物体の帯電電荷を除去する除電器におい
て、前記絶縁部材に気泡を含有させたことを特徴として
いる。また、請求項2記載の発明は、請求項1記載の除
電器において、前記絶縁部材に代えて気体を封入または
通風させたことを特徴としている。
【0014】
【作用】請求項1記載の発明によれば、絶縁部材に気泡
を含有させているために、絶縁部材全体の比誘電率が小
さくなり、第2の電極と第3の電極との間に存在すると
考えられる浮遊容量の値が小さくなる。これにより第2
の電極と第3の電極との間に印加される電圧値が大きく
なることでイオン発生量が増加する。そして、帯電物体
からより多くの帯電電荷の除去が可能となる。また、請
求項2記載の発明によれば、絶縁部材の替わりに比誘電
率が極めて小さい気体を封入または、通風させているた
め、第2の電極と第3の電極との間に存在すると考えら
れる浮遊容量の値が更に小さくなる。これにより第2の
電極と第3の電極との間に印加される電圧値が大きくな
ることでイオン発生量が更に増加する。そして、帯電物
体から更に多くの帯電電荷の除去が可能となると共に、
除電器全体の軽量化を図ることができる。
を含有させているために、絶縁部材全体の比誘電率が小
さくなり、第2の電極と第3の電極との間に存在すると
考えられる浮遊容量の値が小さくなる。これにより第2
の電極と第3の電極との間に印加される電圧値が大きく
なることでイオン発生量が増加する。そして、帯電物体
からより多くの帯電電荷の除去が可能となる。また、請
求項2記載の発明によれば、絶縁部材の替わりに比誘電
率が極めて小さい気体を封入または、通風させているた
め、第2の電極と第3の電極との間に存在すると考えら
れる浮遊容量の値が更に小さくなる。これにより第2の
電極と第3の電極との間に印加される電圧値が大きくな
ることでイオン発生量が更に増加する。そして、帯電物
体から更に多くの帯電電荷の除去が可能となると共に、
除電器全体の軽量化を図ることができる。
【0015】
【実施例】以下、図面を参照して、この発明の実施例に
ついて説明する。図1はこの発明の一実施例による除電
器の除電電極12’の構造を表す図であり、この図にお
いて、図3の各部に対応する部分には同一の符号を付
け、その説明を省略する。この図に表す除電器12’に
おいては、モールド部18に代えて、モールド部材10
0が充填されている。このモールド部材100は、ポリ
ウレタン樹脂等の高分子材料に発泡材が混入されて構成
されている。すなわち、モールド部材100には、比誘
電率が1.0である空気が大量に含まれているので、モ
ールド部材100全体の比誘電率は、従来のモールド部
18のそれに比して小さい値となっている。なお、上記
構成における除電器の動作は、従来の除電器と同様であ
り、その説明を省略する。
ついて説明する。図1はこの発明の一実施例による除電
器の除電電極12’の構造を表す図であり、この図にお
いて、図3の各部に対応する部分には同一の符号を付
け、その説明を省略する。この図に表す除電器12’に
おいては、モールド部18に代えて、モールド部材10
0が充填されている。このモールド部材100は、ポリ
ウレタン樹脂等の高分子材料に発泡材が混入されて構成
されている。すなわち、モールド部材100には、比誘
電率が1.0である空気が大量に含まれているので、モ
ールド部材100全体の比誘電率は、従来のモールド部
18のそれに比して小さい値となっている。なお、上記
構成における除電器の動作は、従来の除電器と同様であ
り、その説明を省略する。
【0016】次に、モールド部材100が除電器の除電
能力に与える効果について図4及び5を参照して説明す
る。図4において、高圧電極13と結合リング17との
間には、従来と同様、結合容量C1が存在し、結合リン
グ17と接地電極15,15との間には、モールド部材
100と樹脂成形部19とを介して接地容量C2’が存
在すると考えられ、図5の等価回路で示される。したが
って、電圧源1’の電圧Vは、V1とV2’とに分圧さ
れ、V2’は、(4)式で示される。 V2’=C1・V/(C1+C2’) =k2・V・・・・・・・・・(4) k2 =C1/(C1+C2’)・・・(5) また、接地容量C2’は、(3)式と同様に(6)式で
示される。 C2’=εs’・ε0・S/d ・・・(6) (6)式において、εs’はモールド部材100と樹脂
成形部19との見かけ上の比誘電率である。なお、ε
0、S及びdについては、(3)式のそれらと同一であ
るので、その説明を省略する。
能力に与える効果について図4及び5を参照して説明す
る。図4において、高圧電極13と結合リング17との
間には、従来と同様、結合容量C1が存在し、結合リン
グ17と接地電極15,15との間には、モールド部材
100と樹脂成形部19とを介して接地容量C2’が存
在すると考えられ、図5の等価回路で示される。したが
って、電圧源1’の電圧Vは、V1とV2’とに分圧さ
れ、V2’は、(4)式で示される。 V2’=C1・V/(C1+C2’) =k2・V・・・・・・・・・(4) k2 =C1/(C1+C2’)・・・(5) また、接地容量C2’は、(3)式と同様に(6)式で
示される。 C2’=εs’・ε0・S/d ・・・(6) (6)式において、εs’はモールド部材100と樹脂
成形部19との見かけ上の比誘電率である。なお、ε
0、S及びdについては、(3)式のそれらと同一であ
るので、その説明を省略する。
【0017】比誘電率εs’は、比誘電率が1.0の空
気を大量に含んだモールド部材100を使用したため
に、従来の除電器における比誘電率εs(=2〜4)に
比して小さくなり、したがって、(3)式及び(6)式
より、接地容量C2’はC2に比して小さくなる。この結
果、(5)式による定数k2は、(2)式によるk1より
大きくなり、この実施例による除電器は、従来の除電器
に比して除電能力が向上する。
気を大量に含んだモールド部材100を使用したため
に、従来の除電器における比誘電率εs(=2〜4)に
比して小さくなり、したがって、(3)式及び(6)式
より、接地容量C2’はC2に比して小さくなる。この結
果、(5)式による定数k2は、(2)式によるk1より
大きくなり、この実施例による除電器は、従来の除電器
に比して除電能力が向上する。
【0018】以上、この発明の実施例を図面を参照して
詳述してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られる
ものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計
の変更等があってもこの発明に含まれる。たとえば、上
述した一実施例においては、ポリウレタン樹脂に発泡材
を混入したモールド部材100を用いた例を示したが、
これに限定されず、比誘電率が小さい絶縁部材であれば
どのようなものでもよい。たとえば、ガラスビーズ(微
小中空ガラス)等をモールド部18に含有させてもよ
い。また、モールド部材100に代えて、シリコン樹脂
等の発泡材を用いてもよく、もしくは、不活性ガス(も
しくは空気)を封入または通風させてもよい。同様にし
て、樹脂成形部19に比誘電率の小さい絶縁部材を用い
てもよい。さらに、樹脂形成部19に代えて、接地電極
15、15が取り付けられた金属製のフレームを用いて
もよい。
詳述してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られる
ものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計
の変更等があってもこの発明に含まれる。たとえば、上
述した一実施例においては、ポリウレタン樹脂に発泡材
を混入したモールド部材100を用いた例を示したが、
これに限定されず、比誘電率が小さい絶縁部材であれば
どのようなものでもよい。たとえば、ガラスビーズ(微
小中空ガラス)等をモールド部18に含有させてもよ
い。また、モールド部材100に代えて、シリコン樹脂
等の発泡材を用いてもよく、もしくは、不活性ガス(も
しくは空気)を封入または通風させてもよい。同様にし
て、樹脂成形部19に比誘電率の小さい絶縁部材を用い
てもよい。さらに、樹脂形成部19に代えて、接地電極
15、15が取り付けられた金属製のフレームを用いて
もよい。
【0019】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1記載の発
明によれば、簡単な構成で除電器の除電能力を向上させ
ることができるという効果がある。また、請求項2記載
の発明によれば、除電器の除電能力を更に向上させるこ
とができると共に、除電器の軽量化を図ることができ
る。
明によれば、簡単な構成で除電器の除電能力を向上させ
ることができるという効果がある。また、請求項2記載
の発明によれば、除電器の除電能力を更に向上させるこ
とができると共に、除電器の軽量化を図ることができ
る。
【図1】この発明の一実施例における除電器の除電電極
12’の構造を表す図である。
12’の構造を表す図である。
【図2】従来の除電器の構造を表す図である。
【図3】図2に示す除電器の除電電極12の構造を表す
図である。
図である。
【図4】除電電極12及び12’の結合容量C1及び接
地容量C2,C2’を説明する図である。
地容量C2,C2’を説明する図である。
【図5】除電電極12及び12’の結合容量C1及び接
地容量C2,C2’の等価回路を表す図である。
地容量C2,C2’の等価回路を表す図である。
10 電源部 14 放電電極 15 接地電極 100 モールド部材
Claims (2)
- 【請求項1】 第1の電極と、前記第1の電極を貫通さ
せた中空円筒状の導体の下部に取り付けられた針状の第
2の電極と、前記第2の電極と対向するように空隙をも
たせて配置された第3の電極と、前記第1の電極の周囲
を覆う絶縁部材とを有し、前記第2の電極と前記第3の
電極との間に高電圧を印加し、コロナ放電を発生させて
周囲の空気をイオン化させることにより、前記第2の電
極と非接触に対置される帯電物体の帯電電荷を除去する
除電器において、 前記絶縁部材に気泡を含有させたことを特徴とする除電
器。 - 【請求項2】前記絶縁部材に代えて、気体を封入または
通風させたことを特徴とする請求項1記載の除電器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6211594A JPH0878184A (ja) | 1994-09-05 | 1994-09-05 | 除電器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6211594A JPH0878184A (ja) | 1994-09-05 | 1994-09-05 | 除電器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0878184A true JPH0878184A (ja) | 1996-03-22 |
Family
ID=16608355
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6211594A Withdrawn JPH0878184A (ja) | 1994-09-05 | 1994-09-05 | 除電器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0878184A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009283981A (ja) * | 2009-08-31 | 2009-12-03 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路装置の製造方法 |
JP2010218697A (ja) * | 2009-03-13 | 2010-09-30 | Omron Corp | バー型イオナイザ |
CN111093339A (zh) * | 2018-10-24 | 2020-05-01 | 联想(新加坡)私人有限公司 | 框体用部件以及框体用部件的制造方法 |
-
1994
- 1994-09-05 JP JP6211594A patent/JPH0878184A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010218697A (ja) * | 2009-03-13 | 2010-09-30 | Omron Corp | バー型イオナイザ |
JP2009283981A (ja) * | 2009-08-31 | 2009-12-03 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路装置の製造方法 |
CN111093339A (zh) * | 2018-10-24 | 2020-05-01 | 联想(新加坡)私人有限公司 | 框体用部件以及框体用部件的制造方法 |
CN111093339B (zh) * | 2018-10-24 | 2021-05-11 | 联想(新加坡)私人有限公司 | 框体用部件以及框体用部件的制造方法 |
US11358377B2 (en) | 2018-10-24 | 2022-06-14 | Lenovo (Singapore) Pte Ltd | Method for manufacturing a chassis member |
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