JPH085582A - 多層板のオンライン分析方法及びオンライン分析装置 - Google Patents
多層板のオンライン分析方法及びオンライン分析装置Info
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- JPH085582A JPH085582A JP13315494A JP13315494A JPH085582A JP H085582 A JPH085582 A JP H085582A JP 13315494 A JP13315494 A JP 13315494A JP 13315494 A JP13315494 A JP 13315494A JP H085582 A JPH085582 A JP H085582A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 表面に異なる材質からなる被覆層が２重に形
成された母材にＸ線を異なる角度で照射し、高低二つの
取り出し角で得られる蛍光Ｘ線強度より各被覆層の付着
量と組成とを得る方法であって、高い取り出し角での分
析線及び低い取り出し角での分析線の夫々の理論強度計
算式を求める工程と、簡易理論強度換算式を用いて未知
試料より得た各蛍光Ｘ線測定強度より理論強度近似値を
算出する工程と、理論強度計算式中の各被覆層の付着量
と組成とを変化させ、夫々の値に対応して得られる各蛍
光Ｘ線の理論強度と理論強度近似値との差の平方値を夫
々求め、それらの合計が最小値となる付着量や組成を分
析値とする工程とを含む多層板のオンライン分析方法。 【効果】 未知数が測定可能なＸ線強度の数より多い場
合又は第１層の付着量が小さい場合でも、多層板の各層
の付着量及び組成の分析を行うことができる。
成された母材にＸ線を異なる角度で照射し、高低二つの
取り出し角で得られる蛍光Ｘ線強度より各被覆層の付着
量と組成とを得る方法であって、高い取り出し角での分
析線及び低い取り出し角での分析線の夫々の理論強度計
算式を求める工程と、簡易理論強度換算式を用いて未知
試料より得た各蛍光Ｘ線測定強度より理論強度近似値を
算出する工程と、理論強度計算式中の各被覆層の付着量
と組成とを変化させ、夫々の値に対応して得られる各蛍
光Ｘ線の理論強度と理論強度近似値との差の平方値を夫
々求め、それらの合計が最小値となる付着量や組成を分
析値とする工程とを含む多層板のオンライン分析方法。 【効果】 未知数が測定可能なＸ線強度の数より多い場
合又は第１層の付着量が小さい場合でも、多層板の各層
の付着量及び組成の分析を行うことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は多層板のオンライン分析
方法及びオンライン分析装置に関し、より詳細には最表
層（以下、第１層と記す）と、その下の層（以下、第２
層と記す）に異なる材質からなる合金めっき層、セラミ
ックス塗布層、金属分散セラミックス塗布層又はそれら
が組み合わされた層等を有する多層板の付着量及び組成
を求めることができる多層板のオンライン分析方法及び
オンライン分析装置に関する。
方法及びオンライン分析装置に関し、より詳細には最表
層（以下、第１層と記す）と、その下の層（以下、第２
層と記す）に異なる材質からなる合金めっき層、セラミ
ックス塗布層、金属分散セラミックス塗布層又はそれら
が組み合わされた層等を有する多層板の付着量及び組成
を求めることができる多層板のオンライン分析方法及び
オンライン分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】基板上にめっき、蒸着、塗布等の被覆処
理を複数回施した多層板の各層の付着量や組成を蛍光Ｘ
線を用いて分析する方法については未だ報告例は少な
く、その分析方法も確立されてはいないものの、従来よ
り以下のような指針の下に分析対象に応じて個別にその
分析方法が検討されてきた。
理を複数回施した多層板の各層の付着量や組成を蛍光Ｘ
線を用いて分析する方法については未だ報告例は少な
く、その分析方法も確立されてはいないものの、従来よ
り以下のような指針の下に分析対象に応じて個別にその
分析方法が検討されてきた。
【０００３】その指針として、分析対象毎に、付着量、
組成等の未知数と最も相関の強い分析線を選択するこ
と、及び相互に独立性の強い分析線を選択することの２
点が挙げられる。
組成等の未知数と最も相関の強い分析線を選択するこ
と、及び相互に独立性の強い分析線を選択することの２
点が挙げられる。
【０００４】実際に多層板の分析方法として使用するこ
とができるためには、各層の組成むらが小さいこと、分
析対象からの蛍光Ｘ線が十分な強度で検出されること、
分析対象となる多層板の付着量や組成、すなわち未知数
の数と分析線の数とが一致すること等の条件が前提とな
る。また分析可能な層の数や成分数は、分析線の測定強
度を基に定量演算を行うコンピューターの処理能力によ
り決定されるが、現在のところ最大で８層１６成分まで
分析可能であり、また単層の場合は最大で１６成分まで
可能である。
とができるためには、各層の組成むらが小さいこと、分
析対象からの蛍光Ｘ線が十分な強度で検出されること、
分析対象となる多層板の付着量や組成、すなわち未知数
の数と分析線の数とが一致すること等の条件が前提とな
る。また分析可能な層の数や成分数は、分析線の測定強
度を基に定量演算を行うコンピューターの処理能力によ
り決定されるが、現在のところ最大で８層１６成分まで
分析可能であり、また単層の場合は最大で１６成分まで
可能である。
【０００５】そして、実際にポリカーボネート基板の上
に、順次Ｓｉ3 Ｎ4 誘電体層、ＴｂＦｅＣｏ磁性層、Ｓ
ｉ3 Ｎ4 誘電体層及びＡｌ反射層が形成された光磁気デ
ィスク等について、その付着量及び組成が実験室的に分
析された例（第２７回Ｘ線分析討論会講演要旨集 ４７
頁 １９９０年１０月発行）等が知られている。
に、順次Ｓｉ3 Ｎ4 誘電体層、ＴｂＦｅＣｏ磁性層、Ｓ
ｉ3 Ｎ4 誘電体層及びＡｌ反射層が形成された光磁気デ
ィスク等について、その付着量及び組成が実験室的に分
析された例（第２７回Ｘ線分析討論会講演要旨集 ４７
頁 １９９０年１０月発行）等が知られている。
【０００６】このように、上記分析対象の未知数と分析
線の数が一致し、かつ各被覆層の付着量が十分なＸ線強
度を与えることができる程度に厚い場合、コンピュータ
ー等を用いる方法によりその付着量や組成を分析するこ
とができる。
線の数が一致し、かつ各被覆層の付着量が十分なＸ線強
度を与えることができる程度に厚い場合、コンピュータ
ー等を用いる方法によりその付着量や組成を分析するこ
とができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】一方、本発明がその対
象の一つとしている、第１層にＡｌ−Ｍｎの合金めっき
層が形成され、第２層には合金化溶融Ｚｎめっきにより
Ｚｎ−Ｆｅの合金めっき層が形成されている２層めっき
鋼板のような多層板では、第１層の合金めっき層中にＡ
ｌが含まれており、このような軽元素を蛍光Ｘ線を用い
てオンライン分析しようとしても、Ｘ線経路に存在する
空気による散乱吸収が大きいため、定量に十分な蛍光Ｘ
線強度の検出が困難になる。このため、前記２層めっき
鋼板の分析では、Ａｌ元素より発生する蛍光Ｘ線を分析
線として使用することができず、分析線のうち散乱吸収
が小さいために強い強度が得られるＫα線は他の元素に
基づく３個になってしまうため、通常の方法では前記２
層めっき鋼板の組成及び付着量を分析することはできな
いという課題があった。
象の一つとしている、第１層にＡｌ−Ｍｎの合金めっき
層が形成され、第２層には合金化溶融Ｚｎめっきにより
Ｚｎ−Ｆｅの合金めっき層が形成されている２層めっき
鋼板のような多層板では、第１層の合金めっき層中にＡ
ｌが含まれており、このような軽元素を蛍光Ｘ線を用い
てオンライン分析しようとしても、Ｘ線経路に存在する
空気による散乱吸収が大きいため、定量に十分な蛍光Ｘ
線強度の検出が困難になる。このため、前記２層めっき
鋼板の分析では、Ａｌ元素より発生する蛍光Ｘ線を分析
線として使用することができず、分析線のうち散乱吸収
が小さいために強い強度が得られるＫα線は他の元素に
基づく３個になってしまうため、通常の方法では前記２
層めっき鋼板の組成及び付着量を分析することはできな
いという課題があった。
【０００８】また本発明がその対象の一つとしている、
第１層にＩｒ−ＴｉＯ2 金属分散セラミックスが塗布さ
れ、第２層にはＩｎ2 Ｏ3 −ＭｇＯセラミックスが塗布
されている２層塗布アルミナ板のような多層板の場合に
は、第２層の塗膜中にＭｇＯが含まれており、このよう
な軽元素を蛍光Ｘ線を用いオンライン分析しようとして
も、Ｘ線経路に存在する空気による散乱吸収が大きいた
め、定量に十分な蛍光Ｘ線強度の検出が困難になる。こ
のため、前記２層塗布アルミナ板の分析では、Ｍｇ元素
より発生する蛍光Ｘ線を分析線として使用することがで
きず、分析線のうち散乱吸収が小さいために強い強度が
得られるＫα線は他の元素に基づく３個になってしまう
ため、通常の方法では前記２層塗布アルミナ板の組成及
び付着量を分析することはできないという課題があっ
た。
第１層にＩｒ−ＴｉＯ2 金属分散セラミックスが塗布さ
れ、第２層にはＩｎ2 Ｏ3 −ＭｇＯセラミックスが塗布
されている２層塗布アルミナ板のような多層板の場合に
は、第２層の塗膜中にＭｇＯが含まれており、このよう
な軽元素を蛍光Ｘ線を用いオンライン分析しようとして
も、Ｘ線経路に存在する空気による散乱吸収が大きいた
め、定量に十分な蛍光Ｘ線強度の検出が困難になる。こ
のため、前記２層塗布アルミナ板の分析では、Ｍｇ元素
より発生する蛍光Ｘ線を分析線として使用することがで
きず、分析線のうち散乱吸収が小さいために強い強度が
得られるＫα線は他の元素に基づく３個になってしまう
ため、通常の方法では前記２層塗布アルミナ板の組成及
び付着量を分析することはできないという課題があっ
た。
【０００９】さらに本発明がその対象の一つとしてい
る、第１層にＳｉＯ2 セラミックスが蒸着され、第２層
にＡｇ−Ｓｎ合金が蒸着されている２層蒸着樹脂板のよ
うな多層板で、第１層のセラミックス層が０．１μｍ程
度と薄いものでは、第１層の厚さを蛍光Ｘ線を用いオン
ライン分析しようとしても、定量に十分な蛍光Ｘ線強度
が得られなかった。すなわち、前記２層蒸着樹脂板の分
析では、Ｓｉ元素より発生する蛍光Ｘ線強度が弱いた
め、未知数３個（ＳｉＯ2 付着量、Ａｇ−Ｓｎ付着量、
Ｓｎ含有率）に対し既知の測定強度がＡｇＬα，ＳｎＬ
αと２個しかないため、従来から用いられている通常の
蛍光Ｘ線分析方法では前記２層蒸着樹脂板の組成及び付
着量を分析することはできないという課題があった。
る、第１層にＳｉＯ2 セラミックスが蒸着され、第２層
にＡｇ−Ｓｎ合金が蒸着されている２層蒸着樹脂板のよ
うな多層板で、第１層のセラミックス層が０．１μｍ程
度と薄いものでは、第１層の厚さを蛍光Ｘ線を用いオン
ライン分析しようとしても、定量に十分な蛍光Ｘ線強度
が得られなかった。すなわち、前記２層蒸着樹脂板の分
析では、Ｓｉ元素より発生する蛍光Ｘ線強度が弱いた
め、未知数３個（ＳｉＯ2 付着量、Ａｇ−Ｓｎ付着量、
Ｓｎ含有率）に対し既知の測定強度がＡｇＬα，ＳｎＬ
αと２個しかないため、従来から用いられている通常の
蛍光Ｘ線分析方法では前記２層蒸着樹脂板の組成及び付
着量を分析することはできないという課題があった。
【００１０】一方、本発明で対象としている前記多層板
の分析方法に近いものとして、同様に軽元素であるＰを
含有し、第１層及び第２層の両方にＦｅを含有するＦｅ
−Ｐ／Ｚｎ−Ｆｅ２層めっき鋼板の分析方法として、Ｘ
線回折分析及び蛍光Ｘ線分析を組み合わせ、Ｆｅ−Ｐ／
Ｚｎ−Ｆｅ２層めっき鋼板の各層の付着量及び組成をオ
ンライン分析する方法（川崎製鉄技報 Ｖｏｌ．２１
Ｎｏ．２ １９８９年５３頁）が提案されている。
の分析方法に近いものとして、同様に軽元素であるＰを
含有し、第１層及び第２層の両方にＦｅを含有するＦｅ
−Ｐ／Ｚｎ−Ｆｅ２層めっき鋼板の分析方法として、Ｘ
線回折分析及び蛍光Ｘ線分析を組み合わせ、Ｆｅ−Ｐ／
Ｚｎ−Ｆｅ２層めっき鋼板の各層の付着量及び組成をオ
ンライン分析する方法（川崎製鉄技報 Ｖｏｌ．２１
Ｎｏ．２ １９８９年５３頁）が提案されている。
【００１１】この分析方法は、塩化物浴めっきで形成
される第２層のＺｎ−Ｆｅ金属間化合物の回折ピーク位
置とＦｅ含有率の間に相関があることを利用し、複数の
検出器が回折角が少しづつ異なるように固定配置された
固定チャンネルＸ線回折法で測定される回折ピーク位置
からＦｅ含有率を求める工程、Ｚｎ、Ｆｅの蛍光Ｘ線
を高角及び低角の二つの取り出し角で測定し、被測定め
っき鋼板が変位するに従ってそのＸ線経路長が変動す
る、いわゆるバタツキによるＺｎの蛍光Ｘ線測定強度の
変動を、同時に測定したＦｅの蛍光Ｘ線測定強度で補正
する工程、蛍光Ｘ線理論強度式から導出した高角用の
ＺｎＫα強度近似式及び低角用のＺｎＫα強度近似式
に、それぞれの補正後のＺｎＫα強度及びで求めたＦ
ｅ含有率を代入し、これらの近似式を連立させることに
より、第１層及び第２層の付着量を求める工程からな
る。
される第２層のＺｎ−Ｆｅ金属間化合物の回折ピーク位
置とＦｅ含有率の間に相関があることを利用し、複数の
検出器が回折角が少しづつ異なるように固定配置された
固定チャンネルＸ線回折法で測定される回折ピーク位置
からＦｅ含有率を求める工程、Ｚｎ、Ｆｅの蛍光Ｘ線
を高角及び低角の二つの取り出し角で測定し、被測定め
っき鋼板が変位するに従ってそのＸ線経路長が変動す
る、いわゆるバタツキによるＺｎの蛍光Ｘ線測定強度の
変動を、同時に測定したＦｅの蛍光Ｘ線測定強度で補正
する工程、蛍光Ｘ線理論強度式から導出した高角用の
ＺｎＫα強度近似式及び低角用のＺｎＫα強度近似式
に、それぞれの補正後のＺｎＫα強度及びで求めたＦ
ｅ含有率を代入し、これらの近似式を連立させることに
より、第１層及び第２層の付着量を求める工程からな
る。
【００１２】しかし前記分析方法において、第２層のＦ
ｅ含有率を求めることができるのは、塩化物浴めっきで
形成されるＺｎ−Ｆｅ金属間化合物等、回折ピーク位置
とＦｅ含有率との間に相関がある特殊な場合に限られ、
本発明の対象とする多層板、例えば合金化溶融Ｚｎめっ
きにより形成されたＺｎ−Ｆｅ合金めっき層を第２層と
する２層めっき鋼板には適用できない。また、蛍光Ｘ線
の理論強度式から、高い取り出し角用及び低い取り出し
角用に近似式を導出する際、第１層のＦｅ−Ｐ組成が一
定と仮定されているが、本発明の対象とするＡｌ−Ｍｎ
合金めっきを第１層とする２層めっき鋼板では、Ａｌ−
Ｍｎ組成は一定ではない。さらに前記分析方法では集中
光学系を用いているために、前記の工程をもってして
も鋼板のバタツキによる蛍光Ｘ線の強度変動が大きく、
測定強度に対する補正の割合が大きくなるため、分析値
の誤差が大きくなるなどの問題があり、本発明で対象と
している多層板の分析には、前記方法を適用することは
できない。
ｅ含有率を求めることができるのは、塩化物浴めっきで
形成されるＺｎ−Ｆｅ金属間化合物等、回折ピーク位置
とＦｅ含有率との間に相関がある特殊な場合に限られ、
本発明の対象とする多層板、例えば合金化溶融Ｚｎめっ
きにより形成されたＺｎ−Ｆｅ合金めっき層を第２層と
する２層めっき鋼板には適用できない。また、蛍光Ｘ線
の理論強度式から、高い取り出し角用及び低い取り出し
角用に近似式を導出する際、第１層のＦｅ−Ｐ組成が一
定と仮定されているが、本発明の対象とするＡｌ−Ｍｎ
合金めっきを第１層とする２層めっき鋼板では、Ａｌ−
Ｍｎ組成は一定ではない。さらに前記分析方法では集中
光学系を用いているために、前記の工程をもってして
も鋼板のバタツキによる蛍光Ｘ線の強度変動が大きく、
測定強度に対する補正の割合が大きくなるため、分析値
の誤差が大きくなるなどの問題があり、本発明で対象と
している多層板の分析には、前記方法を適用することは
できない。
【００１３】また、取り出し角の異なる２種類の蛍光Ｘ
線を使用して単一めっき層の付着量及び組成を分析する
分析方法及び分析装置が、特開平２−２５７０４５号公
報に開示されている。
線を使用して単一めっき層の付着量及び組成を分析する
分析方法及び分析装置が、特開平２−２５７０４５号公
報に開示されている。
【００１４】この分析方法の一の発明は、めっき鋼板
に２種類の所定の入射角で単色のＸ線を入射した場合に
得られる、２種類の所定の取り出し角での分析目的元素
のＫ系列の蛍光Ｘ線測定強度又は強度比の理論計算式を
予め求めておく工程、めっき付着量及びめっき被膜組
成が既知の標準試料を用い、前記理論計算式を求めたの
と同じ条件で、蛍光Ｘ線測定強度又は強度比を実測し、
この実測値と前記理論計算式より、前記実測値を理論計
算値に換算する変換係数を求めておく工程、前記理論
計算式を求めたのと同じ条件で、めっき付着量及びめっ
き被膜組成が未知の被測定めっき鋼板から得られる前記
蛍光Ｘ線測定強度又は強度比を測定し、前記変換係数を
使用して理論強度又は強度比に変換する工程、前記理
論計算式より得られる理論強度又は強度比を、前記変換
された理論強度又は強度比に最も近づける、前記理論計
算式中のパラメーターであるめっき付着量及び被膜組成
を、前記被測定鋼板のめっき付着量及びめっき被膜組成
とする工程を有している。しかしこの分析方法では、単
層のめっき合金層を有する鋼板のみを対象とした分析方
法であるため、本発明が対象としている多層板の各層の
付着量及び組成を求めることはできない。
に２種類の所定の入射角で単色のＸ線を入射した場合に
得られる、２種類の所定の取り出し角での分析目的元素
のＫ系列の蛍光Ｘ線測定強度又は強度比の理論計算式を
予め求めておく工程、めっき付着量及びめっき被膜組
成が既知の標準試料を用い、前記理論計算式を求めたの
と同じ条件で、蛍光Ｘ線測定強度又は強度比を実測し、
この実測値と前記理論計算式より、前記実測値を理論計
算値に換算する変換係数を求めておく工程、前記理論
計算式を求めたのと同じ条件で、めっき付着量及びめっ
き被膜組成が未知の被測定めっき鋼板から得られる前記
蛍光Ｘ線測定強度又は強度比を測定し、前記変換係数を
使用して理論強度又は強度比に変換する工程、前記理
論計算式より得られる理論強度又は強度比を、前記変換
された理論強度又は強度比に最も近づける、前記理論計
算式中のパラメーターであるめっき付着量及び被膜組成
を、前記被測定鋼板のめっき付着量及びめっき被膜組成
とする工程を有している。しかしこの分析方法では、単
層のめっき合金層を有する鋼板のみを対象とした分析方
法であるため、本発明が対象としている多層板の各層の
付着量及び組成を求めることはできない。
【００１５】またこの分析方法に用いられている分析装
置においては、Ｘ線管球と試料との間にモノクロメータ
を挿入して入射Ｘ線を単色化したり、管球とモノクロメ
ータ、モノクロメータと試料との間にピンホールコリメ
ータを導入しているため、蛍光Ｘ線測定強度が低下し、
精度の高い分析値を得るためには長時間測定を続けてカ
ウント数を増大させなければならないという課題があっ
た。
置においては、Ｘ線管球と試料との間にモノクロメータ
を挿入して入射Ｘ線を単色化したり、管球とモノクロメ
ータ、モノクロメータと試料との間にピンホールコリメ
ータを導入しているため、蛍光Ｘ線測定強度が低下し、
精度の高い分析値を得るためには長時間測定を続けてカ
ウント数を増大させなければならないという課題があっ
た。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明者らは多層板のう
ち、オンライン分析による分析が困難な元素である軽元
素を第１層又は第２層に含有する多層板や、第１層が薄
いため従来より使用されている蛍光Ｘ線分析方法では分
析が難しい多層板の各層の付着量及び組成を求めること
ができるオンライン分析方法、及び発生した蛍光Ｘ線の
強度低下を最小限に抑え、各分析線の強度を精度良く測
定できるオンライン分析装置を提供することを目的とし
て検討を行った結果、分析方法については前記特開平２
−２５７０４５号公報に記載されているような２種類の
異なる取り出し角で得られる蛍光Ｘ線の強度を測定する
方法を基本とし、高い取り出し角において主に下層を構
成する元素から発せられる分析線を、また低い取り出し
角において主に上層を構成する元素から発せられる分析
線をそれぞれ検出し、これらの値を基にして簡便的に求
めた理論強度近似値と、既知の理論強度式を基に分析対
象となる多層板毎に導出した理論強度計算式を用いて求
めた理論強度とを比較する方法を採用することにより、
また分析装置については、Ｘ線管球と試料との間に照射
Ｘ線強度を低下させるモノクロメータやコリメータは設
置せずに比較的強度低下の小さいスリットを配設するこ
とにより、オンライン分析による分析が困難な軽元素を
第１層又は第２層に含有する多層板や第１層が薄いため
従来より使用されている蛍光Ｘ線分析方法では分析が難
しい多層板の各層の付着量及び組成を短時間の測定で正
確に分析することができることを見出し、本発明を完成
するに至った。
ち、オンライン分析による分析が困難な元素である軽元
素を第１層又は第２層に含有する多層板や、第１層が薄
いため従来より使用されている蛍光Ｘ線分析方法では分
析が難しい多層板の各層の付着量及び組成を求めること
ができるオンライン分析方法、及び発生した蛍光Ｘ線の
強度低下を最小限に抑え、各分析線の強度を精度良く測
定できるオンライン分析装置を提供することを目的とし
て検討を行った結果、分析方法については前記特開平２
−２５７０４５号公報に記載されているような２種類の
異なる取り出し角で得られる蛍光Ｘ線の強度を測定する
方法を基本とし、高い取り出し角において主に下層を構
成する元素から発せられる分析線を、また低い取り出し
角において主に上層を構成する元素から発せられる分析
線をそれぞれ検出し、これらの値を基にして簡便的に求
めた理論強度近似値と、既知の理論強度式を基に分析対
象となる多層板毎に導出した理論強度計算式を用いて求
めた理論強度とを比較する方法を採用することにより、
また分析装置については、Ｘ線管球と試料との間に照射
Ｘ線強度を低下させるモノクロメータやコリメータは設
置せずに比較的強度低下の小さいスリットを配設するこ
とにより、オンライン分析による分析が困難な軽元素を
第１層又は第２層に含有する多層板や第１層が薄いため
従来より使用されている蛍光Ｘ線分析方法では分析が難
しい多層板の各層の付着量及び組成を短時間の測定で正
確に分析することができることを見出し、本発明を完成
するに至った。
【００１７】すなわち本発明に係る多層板のオンライン
分析方法は、表面に異なる材質からなる被覆層が２重に
形成された母材にＸ線を異なる角度で照射し、高い取り
出し角及び低い取り出し角において得られる蛍光Ｘ線強
度より各被覆層の付着量及び組成を得る多層板のオンラ
イン分析方法であって、前記Ｘ線照射と同一条件下にお
いて、原子番号が１３（Ａｌ）以下の軽元素から発せら
れる分析線を除き、主に下層を構成する元素から発せら
れる分析線の高い取り出し角での理論強度及び主に上層
を構成する元素から発せられる分析線の低い取り出し角
での理論強度の計算式を予め求める第１工程と、該第１
工程で対象とした各分析線に関する別の簡易理論強度換
算式を得るために、標準試料より得られた蛍光Ｘ線測定
強度と前記第１工程で求めた理論強度計算式から得られ
る蛍光Ｘ線理論強度とから前記簡易理論強度換算式の各
係数を求め、前記一定条件下で前記多層板にＸ線を照射
して得られた各蛍光Ｘ線測定強度を前記簡易理論強度換
算式に代入して理論強度近似値をそれぞれ算出する第２
工程と、前記理論強度計算式中のパラメーター群である
各被覆層の付着量と組成とを変化させ、それぞれのパラ
メーター群に対応して得られる各蛍光Ｘ線の前記理論強
度と前記理論強度近似値との差の平方をそれぞれ求め、
それらをすべての分析線について合計した量を最小とす
る前記理論強度式中の各パラメーターを分析値とする第
３工程とを含むことを特徴としている（１）。
分析方法は、表面に異なる材質からなる被覆層が２重に
形成された母材にＸ線を異なる角度で照射し、高い取り
出し角及び低い取り出し角において得られる蛍光Ｘ線強
度より各被覆層の付着量及び組成を得る多層板のオンラ
イン分析方法であって、前記Ｘ線照射と同一条件下にお
いて、原子番号が１３（Ａｌ）以下の軽元素から発せら
れる分析線を除き、主に下層を構成する元素から発せら
れる分析線の高い取り出し角での理論強度及び主に上層
を構成する元素から発せられる分析線の低い取り出し角
での理論強度の計算式を予め求める第１工程と、該第１
工程で対象とした各分析線に関する別の簡易理論強度換
算式を得るために、標準試料より得られた蛍光Ｘ線測定
強度と前記第１工程で求めた理論強度計算式から得られ
る蛍光Ｘ線理論強度とから前記簡易理論強度換算式の各
係数を求め、前記一定条件下で前記多層板にＸ線を照射
して得られた各蛍光Ｘ線測定強度を前記簡易理論強度換
算式に代入して理論強度近似値をそれぞれ算出する第２
工程と、前記理論強度計算式中のパラメーター群である
各被覆層の付着量と組成とを変化させ、それぞれのパラ
メーター群に対応して得られる各蛍光Ｘ線の前記理論強
度と前記理論強度近似値との差の平方をそれぞれ求め、
それらをすべての分析線について合計した量を最小とす
る前記理論強度式中の各パラメーターを分析値とする第
３工程とを含むことを特徴としている（１）。
【００１８】また、本発明に係る多層板のオンライン分
析方法は、表面に異なる材質からなる被覆層が２重に形
成された母材にＸ線を異なる角度で照射し、高い取り出
し角及び低い取り出し角において得られる蛍光Ｘ線強度
より各被覆層の付着量及び組成を得る多層板のオンライ
ン分析方法であって、前記Ｘ線照射と同一条件下におい
て、原子番号が１３（Ａｌ）以下の軽元素から発せられ
る分析線を除き、主に下層を構成する元素から発せられ
る分析線の高い取り出し角での理論強度及び主に上層を
構成する元素から発せられる分析線の低い取り出し角で
の理論強度の計算式を基にし、該理論強度計算式中のパ
ラメーター群である各被覆層の付着量と組成のそれぞれ
につき個別に、最も相関の強い分析線の理論強度との関
係曲線である検量線を作成する第１工程と、該第１工程
で対象とした各分析線に関する別の簡易理論強度換算式
を得るために、標準試料より得られた蛍光Ｘ線測定強度
と前記第１工程で求めた理論強度計算式から得られる蛍
光Ｘ線理論強度とから前記簡易理論強度換算式の各係数
を求め、前記一定条件下で前記多層板にＸ線を照射して
得られた各蛍光Ｘ線測定強度を前記簡易理論強度換算式
に代入して理論強度近似値をそれぞれ算出する第２工程
と、前記パラメーター群の各パラメーターをそれぞれ一
定値に定めた場合に前記検量線より得られる各分析線の
理論強度と前記理論強度近似値とを比較してその差の平
方を求め、それらをすべての分析線について合計した量
を最小とする前記各パラメーターを分析値とする第３工
程とを含むことを特徴としている（２）。
析方法は、表面に異なる材質からなる被覆層が２重に形
成された母材にＸ線を異なる角度で照射し、高い取り出
し角及び低い取り出し角において得られる蛍光Ｘ線強度
より各被覆層の付着量及び組成を得る多層板のオンライ
ン分析方法であって、前記Ｘ線照射と同一条件下におい
て、原子番号が１３（Ａｌ）以下の軽元素から発せられ
る分析線を除き、主に下層を構成する元素から発せられ
る分析線の高い取り出し角での理論強度及び主に上層を
構成する元素から発せられる分析線の低い取り出し角で
の理論強度の計算式を基にし、該理論強度計算式中のパ
ラメーター群である各被覆層の付着量と組成のそれぞれ
につき個別に、最も相関の強い分析線の理論強度との関
係曲線である検量線を作成する第１工程と、該第１工程
で対象とした各分析線に関する別の簡易理論強度換算式
を得るために、標準試料より得られた蛍光Ｘ線測定強度
と前記第１工程で求めた理論強度計算式から得られる蛍
光Ｘ線理論強度とから前記簡易理論強度換算式の各係数
を求め、前記一定条件下で前記多層板にＸ線を照射して
得られた各蛍光Ｘ線測定強度を前記簡易理論強度換算式
に代入して理論強度近似値をそれぞれ算出する第２工程
と、前記パラメーター群の各パラメーターをそれぞれ一
定値に定めた場合に前記検量線より得られる各分析線の
理論強度と前記理論強度近似値とを比較してその差の平
方を求め、それらをすべての分析線について合計した量
を最小とする前記各パラメーターを分析値とする第３工
程とを含むことを特徴としている（２）。
【００１９】また本発明に係る多層板のオンライン分析
装置は、上記（１）記載の多層板のオンライン分析方法
に用いられる分析装置であって、Ｘ線を発生するＸ線発
生部と、Ｘ線のパスラインを決め、多層板に所定の入射
角で投射し、所定の取り出し角で受光するためのスリッ
ト系と、前記多層板の主に下層から発生する蛍光Ｘ線及
びバックグランド強度を高い取り出し角で検出する複数
個の検出器と、前記多層板の主に上層から発生する蛍光
Ｘ線及びバックグランド強度を低い取り出し角で検出す
る複数の検出器とを備えた蛍光Ｘ線強度測定部及び該蛍
光Ｘ線強度測定部の制御を行う制御部からなる蛍光Ｘ線
測定手段を有し、さらに、前記高い取り出し角で検出す
る分析線及び低い取り出し角で検出する分析線のそれぞ
れについて、分析時と同一の条件下における理論強度計
算式を求める理論強度計算式導出手段と、該理論強度計
算式導出手段で対象とした各分析線に関する別の簡易理
論強度換算式を記憶し、標準試料を対象として前記蛍光
Ｘ線測定手段を作動させることにより検出された各蛍光
Ｘ線測定強度と前記標準試料の蛍光Ｘ線理論強度とから
前記簡易理論強度換算式の各係数を求め、次に前記多層
板を対象として前記蛍光Ｘ線測定手段を作動させること
により検出された各蛍光Ｘ線測定強度を前記簡易理論強
度換算式に代入して理論強度近似値をそれぞれ算出する
理論強度近似値算出手段と、前記理論強度計算式中のパ
ラメーター群である各被覆層の付着量と組成とを変化さ
せ、それぞれのパラメーター群に対応して算出される各
分析線の理論強度と前記理論強度近似値との差の平方を
それぞれ求め、それらをすべての分析線について合計し
た量を最小とする前記理論強度式中の各パラメーターを
分析値とする分析値算出手段とを備えていることを特徴
としている（３）。
装置は、上記（１）記載の多層板のオンライン分析方法
に用いられる分析装置であって、Ｘ線を発生するＸ線発
生部と、Ｘ線のパスラインを決め、多層板に所定の入射
角で投射し、所定の取り出し角で受光するためのスリッ
ト系と、前記多層板の主に下層から発生する蛍光Ｘ線及
びバックグランド強度を高い取り出し角で検出する複数
個の検出器と、前記多層板の主に上層から発生する蛍光
Ｘ線及びバックグランド強度を低い取り出し角で検出す
る複数の検出器とを備えた蛍光Ｘ線強度測定部及び該蛍
光Ｘ線強度測定部の制御を行う制御部からなる蛍光Ｘ線
測定手段を有し、さらに、前記高い取り出し角で検出す
る分析線及び低い取り出し角で検出する分析線のそれぞ
れについて、分析時と同一の条件下における理論強度計
算式を求める理論強度計算式導出手段と、該理論強度計
算式導出手段で対象とした各分析線に関する別の簡易理
論強度換算式を記憶し、標準試料を対象として前記蛍光
Ｘ線測定手段を作動させることにより検出された各蛍光
Ｘ線測定強度と前記標準試料の蛍光Ｘ線理論強度とから
前記簡易理論強度換算式の各係数を求め、次に前記多層
板を対象として前記蛍光Ｘ線測定手段を作動させること
により検出された各蛍光Ｘ線測定強度を前記簡易理論強
度換算式に代入して理論強度近似値をそれぞれ算出する
理論強度近似値算出手段と、前記理論強度計算式中のパ
ラメーター群である各被覆層の付着量と組成とを変化さ
せ、それぞれのパラメーター群に対応して算出される各
分析線の理論強度と前記理論強度近似値との差の平方を
それぞれ求め、それらをすべての分析線について合計し
た量を最小とする前記理論強度式中の各パラメーターを
分析値とする分析値算出手段とを備えていることを特徴
としている（３）。
【００２０】また、本発明に係る多層板のオンライン分
析装置は、上記（２）記載の多層板のオンライン分析方
法に用いられる分析装置であって、Ｘ線を発生するＸ線
発生部と、Ｘ線のパスラインを決め、多層板に所定の入
射角で投射し、所定の取り出し角で受光するためのスリ
ット系と、前記多層板の主に下層から発生する蛍光Ｘ線
及びバックグランド強度を高い取り出し角で検出する複
数の検出器と、前記多層板の主に上層から発生する蛍光
Ｘ線及びバックグランド強度を低い取り出し角で検出す
る複数の検出器とを備えた蛍光Ｘ線強度測定部及び前記
蛍光Ｘ線強度測定部の制御を行う制御部からなる蛍光Ｘ
線測定手段を有し、さらに、前記高い取り出し角で検出
する分析線及び低い取り出し角で検出する分析線のそれ
ぞれについて、分析時と同一条件下で作成した前記理論
強度計算式中のパラメーター群である各被覆層の付着量
と組成のそれぞれにつき個別に、最も相関の強い分析線
の理論強度との関係曲線である検量線を記憶する検量線
記憶手段と、該検量線記憶手段で対象とした各分析線と
同じ分析線に関する別の簡易理論強度換算式を記憶し、
標準試料を対象として前記蛍光Ｘ線測定手段を作動させ
ることにより検出された各蛍光Ｘ線測定強度と前記標準
試料の蛍光Ｘ線理論強度とから前記簡易理論強度換算式
の各係数を求め、次に前記多層板を対象として前記蛍光
Ｘ線測定手段を作動させることにより検出された各蛍光
Ｘ線測定強度を前記簡易理論強度換算式に代入して理論
強度近似値をそれぞれ算出する理論強度近似値算出手段
と、前記パラメーター群の各パラメーターをそれぞれ一
定値に定めた場合に前記検量線より得られる各分析線の
理論強度と前記理論強度近似値とを比較してその差の平
方を求め、それらをすべての分析線につき合計した量を
最小とする前記各パラメーターを分析値とする分析値算
出手段とを備えていることを特徴としている（４）。
析装置は、上記（２）記載の多層板のオンライン分析方
法に用いられる分析装置であって、Ｘ線を発生するＸ線
発生部と、Ｘ線のパスラインを決め、多層板に所定の入
射角で投射し、所定の取り出し角で受光するためのスリ
ット系と、前記多層板の主に下層から発生する蛍光Ｘ線
及びバックグランド強度を高い取り出し角で検出する複
数の検出器と、前記多層板の主に上層から発生する蛍光
Ｘ線及びバックグランド強度を低い取り出し角で検出す
る複数の検出器とを備えた蛍光Ｘ線強度測定部及び前記
蛍光Ｘ線強度測定部の制御を行う制御部からなる蛍光Ｘ
線測定手段を有し、さらに、前記高い取り出し角で検出
する分析線及び低い取り出し角で検出する分析線のそれ
ぞれについて、分析時と同一条件下で作成した前記理論
強度計算式中のパラメーター群である各被覆層の付着量
と組成のそれぞれにつき個別に、最も相関の強い分析線
の理論強度との関係曲線である検量線を記憶する検量線
記憶手段と、該検量線記憶手段で対象とした各分析線と
同じ分析線に関する別の簡易理論強度換算式を記憶し、
標準試料を対象として前記蛍光Ｘ線測定手段を作動させ
ることにより検出された各蛍光Ｘ線測定強度と前記標準
試料の蛍光Ｘ線理論強度とから前記簡易理論強度換算式
の各係数を求め、次に前記多層板を対象として前記蛍光
Ｘ線測定手段を作動させることにより検出された各蛍光
Ｘ線測定強度を前記簡易理論強度換算式に代入して理論
強度近似値をそれぞれ算出する理論強度近似値算出手段
と、前記パラメーター群の各パラメーターをそれぞれ一
定値に定めた場合に前記検量線より得られる各分析線の
理論強度と前記理論強度近似値とを比較してその差の平
方を求め、それらをすべての分析線につき合計した量を
最小とする前記各パラメーターを分析値とする分析値算
出手段とを備えていることを特徴としている（４）。
【００２１】
【作用】上記構成のオンライン分析方法（１）によれ
ば、分析対象が第１層又は第２層にオンラインで蛍光Ｘ
線分析が困難な元素であるＡｌ、Ｍｇ、Ｂ等の軽元素を
含有する多層板であっても、前記２層めっき鋼板にＸ線
を異なる角度で照射し、主に下層を構成する元素の特定
の蛍光Ｘ線測定強度を高い取り出し角で、及び主に上層
を構成する元素の特定の蛍光Ｘ線測定強度を低い取り出
し角で同時に測定する方法をとっているので、高い取り
出し角で得た蛍光Ｘ線と低い取り出し角で得た蛍光Ｘ線
が独立となり、付着量や組成等に関する未知数が既知の
Ｘ線強度の数よりも多くなる場合でも、前記多層板の各
層の付着量及び組成の分析が可能となる。
ば、分析対象が第１層又は第２層にオンラインで蛍光Ｘ
線分析が困難な元素であるＡｌ、Ｍｇ、Ｂ等の軽元素を
含有する多層板であっても、前記２層めっき鋼板にＸ線
を異なる角度で照射し、主に下層を構成する元素の特定
の蛍光Ｘ線測定強度を高い取り出し角で、及び主に上層
を構成する元素の特定の蛍光Ｘ線測定強度を低い取り出
し角で同時に測定する方法をとっているので、高い取り
出し角で得た蛍光Ｘ線と低い取り出し角で得た蛍光Ｘ線
が独立となり、付着量や組成等に関する未知数が既知の
Ｘ線強度の数よりも多くなる場合でも、前記多層板の各
層の付着量及び組成の分析が可能となる。
【００２２】また、第１層中の成分の特定の蛍光Ｘ線を
低い入射角で発生させ、低い取り出し角で測定する方法
をとっているので、第１層が非常に薄いため通常の蛍光
Ｘ線による測定方法では分析が困難な多層板であって
も、Ｘ線が第１層を通過する距離を長くすることがで
き、前記多層板の各層の付着量及び組成の分析が可能と
なる。
低い入射角で発生させ、低い取り出し角で測定する方法
をとっているので、第１層が非常に薄いため通常の蛍光
Ｘ線による測定方法では分析が困難な多層板であって
も、Ｘ線が第１層を通過する距離を長くすることがで
き、前記多層板の各層の付着量及び組成の分析が可能と
なる。
【００２３】また上記構成のオンライン分析方法（２）
によれば、上記（１）記載の方法を基本とし、前記理論
強度計算式に基づいて作成した検量線を使用するという
上記（１）記載の分析方法よりも簡便な方法を用いるこ
とにより、同様に前記多層板の各層の付着量及び組成の
分析が可能となる。
によれば、上記（１）記載の方法を基本とし、前記理論
強度計算式に基づいて作成した検量線を使用するという
上記（１）記載の分析方法よりも簡便な方法を用いるこ
とにより、同様に前記多層板の各層の付着量及び組成の
分析が可能となる。
【００２４】また上記構成のオンライン分析装置（３）
によれば、Ｘ線管球と試料との間に照射Ｘ線強度を低下
させるモノクロメータやコリメータは設置せず、スリッ
トのみが配設された蛍光Ｘ線測定手段を有しているの
で、発生する蛍光Ｘ線の強度が増大し、各分析線の強度
が精度良く測定される。さらに前記理論強度計算式導出
手段と、前記理論強度近似値算出手段と、前記分析値算
出手段とを有しているので、迅速かつ高精度で前記多層
板の各層の付着量及び組成の分析が行われる。
によれば、Ｘ線管球と試料との間に照射Ｘ線強度を低下
させるモノクロメータやコリメータは設置せず、スリッ
トのみが配設された蛍光Ｘ線測定手段を有しているの
で、発生する蛍光Ｘ線の強度が増大し、各分析線の強度
が精度良く測定される。さらに前記理論強度計算式導出
手段と、前記理論強度近似値算出手段と、前記分析値算
出手段とを有しているので、迅速かつ高精度で前記多層
板の各層の付着量及び組成の分析が行われる。
【００２５】さらに上記構成のオンライン分析装置
（４）によれば、上記（３）記載の分析装置を基本と
し、前記理論強度計算式に基づいて予め作成した検量線
を記憶する検量線記憶手段、及び前記検量線に基づいて
分析値を算出する分析値算出手段を備えているので、よ
り簡便な手段により、迅速かつ高精度で前記多層板の各
層の付着量及び組成の分析が行われる。
（４）によれば、上記（３）記載の分析装置を基本と
し、前記理論強度計算式に基づいて予め作成した検量線
を記憶する検量線記憶手段、及び前記検量線に基づいて
分析値を算出する分析値算出手段を備えているので、よ
り簡便な手段により、迅速かつ高精度で前記多層板の各
層の付着量及び組成の分析が行われる。
【００２６】
【実施例】以下、本発明に係る多層板のオンライン分析
方法及びオンライン分析装置の実施例を図面に基づいて
説明する。
方法及びオンライン分析装置の実施例を図面に基づいて
説明する。
【００２７】最初に多層板として下地の鋼板の上に第２
層としてＺｎ−Ｆｅ合金めっき層が形成され、このＺｎ
−Ｆｅ合金めっき層の上にさらに第１層としてＡｌ−Ｍ
ｎ合金めっき層が形成された２層めっき鋼板を使用した
場合の実施例を説明する。
層としてＺｎ−Ｆｅ合金めっき層が形成され、このＺｎ
−Ｆｅ合金めっき層の上にさらに第１層としてＡｌ−Ｍ
ｎ合金めっき層が形成された２層めっき鋼板を使用した
場合の実施例を説明する。
【００２８】まず、前記２層めっき鋼板を使用した場合
のオンライン分析方法の第１の実施例を説明する。
のオンライン分析方法の第１の実施例を説明する。
【００２９】図１は、下地の鋼板１１の上にＺｎ−Ｆｅ
合金めっき層１２が形成され、このＺｎ−Ｆｅ合金めっ
き層１２の上にさらにＡｌ−Ｍｎ合金めっき層１３が形
成された２層めっき鋼板１０の分析方法を説明するため
の模式的な断面図である。
合金めっき層１２が形成され、このＺｎ−Ｆｅ合金めっ
き層１２の上にさらにＡｌ−Ｍｎ合金めっき層１３が形
成された２層めっき鋼板１０の分析方法を説明するため
の模式的な断面図である。
【００３０】また図２は、図１に示した２層めっき鋼板
１０の分析方法の手順を示したフローチャートである。
図２に示したフローチャートに従い、各ステップ（Ｓ１
〜Ｓ８）毎に実施例に係るオンライン分析方法の説明を
行っていく。
１０の分析方法の手順を示したフローチャートである。
図２に示したフローチャートに従い、各ステップ（Ｓ１
〜Ｓ８）毎に実施例に係るオンライン分析方法の説明を
行っていく。
【００３１】まずステップ１では、一般的な理論強度式
を基礎とし、前述した２層めっき層１０の各層の付着量
及び組成からなるパラメーター群と種々の基礎物理定数
とから構成される具体的な理論強度計算式を算出する。
を基礎とし、前述した２層めっき層１０の各層の付着量
及び組成からなるパラメーター群と種々の基礎物理定数
とから構成される具体的な理論強度計算式を算出する。
【００３２】次にステップ２では、図１に示したように
２層めっき鋼板１０にＸ線管球から発生したＸ線を入射
角φ1 、φ2 （φ1 ＜φ2 ）で照射し、まず入射角φ1
で入射したＸ線に対して被測定物である２層めっき鋼板
１０から発生するＭｎＫα線、ＺｎＫα線及びＢＧ（バ
ックグランド）の強度を取り出し角ψ1 又はその近傍で
測定する。次に、同じ種類又は異なる種類のＸ線管球か
ら入射角φ2 で入射したＸ線に対して２層めっき鋼板１
０から発生するＦｅＫα線、ＺｎＫα線及びＢＧの強度
を取り出し角ψ2 又はその近傍で測定する。
２層めっき鋼板１０にＸ線管球から発生したＸ線を入射
角φ1 、φ2 （φ1 ＜φ2 ）で照射し、まず入射角φ1
で入射したＸ線に対して被測定物である２層めっき鋼板
１０から発生するＭｎＫα線、ＺｎＫα線及びＢＧ（バ
ックグランド）の強度を取り出し角ψ1 又はその近傍で
測定する。次に、同じ種類又は異なる種類のＸ線管球か
ら入射角φ2 で入射したＸ線に対して２層めっき鋼板１
０から発生するＦｅＫα線、ＺｎＫα線及びＢＧの強度
を取り出し角ψ2 又はその近傍で測定する。
【００３３】なお、測定角（φ1 、ψ1 ）の条件下で測
定したＭｎＫα線、ＺｎＫα線及びＢＧの強度をそれぞ
れＩ1(Mn) 、Ｉ1(Zn) 、Ｉ1(BG) とし、測定角（φ2 、
ψ2）の条件下で測定したＦｅＫα線、ＺｎＫα線及び
ＢＧの強度をそれぞれＩ2(Fe) 、Ｉ2(Zn) 、Ｉ2(BG) と
し、これらの強度より下記の数１式〜数４式の演算を行
う。
定したＭｎＫα線、ＺｎＫα線及びＢＧの強度をそれぞ
れＩ1(Mn) 、Ｉ1(Zn) 、Ｉ1(BG) とし、測定角（φ2 、
ψ2）の条件下で測定したＦｅＫα線、ＺｎＫα線及び
ＢＧの強度をそれぞれＩ2(Fe) 、Ｉ2(Zn) 、Ｉ2(BG) と
し、これらの強度より下記の数１式〜数４式の演算を行
う。
【００３４】
【数１】Ｘ1(Mn) ＝Ｉ1(Mn) ／Ｉ1(BG)
【００３５】
【数２】Ｘ1(Zn) ＝Ｉ1(Zn) ／Ｉ1(BG)
【００３６】
【数３】Ｘ2(Fe) ＝Ｉ2(Fe) ／Ｉ2(BG)
【００３７】
【数４】Ｘ2(Zn) ＝Ｉ2(Zn) ／Ｉ2(BG)次に、ステップ
３として、上記数１式〜数４式で得られた強度比Ｘ1(M
n) 、Ｘ1(Zn) 、Ｘ2(Fe) 、Ｘ2(Zn) を理論強度近似値
Ｙ1(Mn) 、Ｙ1(Zn) 、Ｙ2(Fe) 、Ｙ2(Zn) に変換する。
３として、上記数１式〜数４式で得られた強度比Ｘ1(M
n) 、Ｘ1(Zn) 、Ｘ2(Fe) 、Ｘ2(Zn) を理論強度近似値
Ｙ1(Mn) 、Ｙ1(Zn) 、Ｙ2(Fe) 、Ｙ2(Zn) に変換する。
【００３８】本発明では、下記の数５式〜数８式に示し
た簡易理論強度変換式を用いて、実測値Ｘ1(Mn) 、Ｘ
1(Zn) 、Ｘ2(Fe) 、Ｘ2(Zn) を理論強度近似値Ｙ1(Mn)
、Ｙ1(Zn) 、Ｙ2(Fe) 、Ｙ2(Zn) に変換する。
た簡易理論強度変換式を用いて、実測値Ｘ1(Mn) 、Ｘ
1(Zn) 、Ｘ2(Fe) 、Ｘ2(Zn) を理論強度近似値Ｙ1(Mn)
、Ｙ1(Zn) 、Ｙ2(Fe) 、Ｙ2(Zn) に変換する。
【００３９】
【数５】Ｙ1(Mn) ＝ａ1(Mn) ・Ｘ1(Mn) ＋ｂ1(Mn)
【００４０】
【数６】Ｙ1(Zn) ＝ａ1(Zn) ・Ｘ1(Zn) ＋ｂ1(Zn)
【００４１】
【数７】Ｙ2(Fe) ＝ａ2(Fe) ・Ｘ2(Fe) ＋ｂ２（Ｆｅ）
【００４２】
【数８】Ｙ2(Zn) ＝ａ2(Zn) ・Ｘ2(Zn) ＋ｂ2(Zn) なお、上記数５式〜数８式において、ａ1(Mn) 、ａ1(Z
n) 、ａ2(Fe) 、ａ2(Zn) 、ｂ1(Mn) 、ｂ1(Zn) 、ｂ2(F
e) 、ｂ2(Zn) は変換係数であるが、この変換係数は、
以下のようにして求める。すなわち、図１に示した２層
めっき鋼板１０の各層の付着量や組成が既知の標準試料
を用い、予めステップ２で未知試料につき求めたのと同
じ条件で、Ｉ1(Mn) 、Ｉ1(Zn) 、Ｉ1(BG) 、Ｉ2(Fe) 、
Ｉ2(Zn) 、Ｉ2(BG) を実測し、実測値から求めた強度比
Ｘ1(Mn) 、Ｘ1(Zn) 、Ｘ2(Fe) 、Ｘ2(Zn) と理論強度近
似値Ｙ1(Mn) 、Ｙ1(Zn) 、Ｙ2(Fe) 、Ｙ2(Zn) との間に
上記した数５式〜数８式の簡易理論強度換算式が成立す
るように、回帰分析等を行って各変換係数を定める。
n) 、ａ2(Fe) 、ａ2(Zn) 、ｂ1(Mn) 、ｂ1(Zn) 、ｂ2(F
e) 、ｂ2(Zn) は変換係数であるが、この変換係数は、
以下のようにして求める。すなわち、図１に示した２層
めっき鋼板１０の各層の付着量や組成が既知の標準試料
を用い、予めステップ２で未知試料につき求めたのと同
じ条件で、Ｉ1(Mn) 、Ｉ1(Zn) 、Ｉ1(BG) 、Ｉ2(Fe) 、
Ｉ2(Zn) 、Ｉ2(BG) を実測し、実測値から求めた強度比
Ｘ1(Mn) 、Ｘ1(Zn) 、Ｘ2(Fe) 、Ｘ2(Zn) と理論強度近
似値Ｙ1(Mn) 、Ｙ1(Zn) 、Ｙ2(Fe) 、Ｙ2(Zn) との間に
上記した数５式〜数８式の簡易理論強度換算式が成立す
るように、回帰分析等を行って各変換係数を定める。
【００４３】ただし、上記した変換係数を定める時の
み、数５式〜数８式の理論強度近似値Ｙ1(Mn) 、Ｙ1(Z
n) 、Ｙ2(Fe) 、Ｙ2(Zn) としてステップ１で算出した
理論強度計算式を用いて、前記標準試料での理論強度を
計算し、その値を代入する。
み、数５式〜数８式の理論強度近似値Ｙ1(Mn) 、Ｙ1(Z
n) 、Ｙ2(Fe) 、Ｙ2(Zn) としてステップ１で算出した
理論強度計算式を用いて、前記標準試料での理論強度を
計算し、その値を代入する。
【００４４】ステップ１で算出した理論強度とは、前記
測定条件と同じＸ線管球、管電圧、入射角、取り出し角
で測定した場合に得られる蛍光Ｘ線測定強度を、２層め
っき鋼板１０を構成するＺｎ−Ｆｅ合金めっき層１２及
びＡｌ−Ｍｎ合金めっき層１３の付着量及び組成をパラ
メーターとし、この他に種々の基礎物理定数を含んだ理
論強度計算式を用いて予測した値をいい、前記Ｙ1(Mn)
、Ｙ1(Zn) 、Ｙ2(Fe)、Ｙ2(Zn) に対応する。実際の測
定強度は、検出器の感度特性やスリット系の影響等の装
置定数を含むため、直線関係はあるものの一般に理論強
度とは異なった値となる。
測定条件と同じＸ線管球、管電圧、入射角、取り出し角
で測定した場合に得られる蛍光Ｘ線測定強度を、２層め
っき鋼板１０を構成するＺｎ−Ｆｅ合金めっき層１２及
びＡｌ−Ｍｎ合金めっき層１３の付着量及び組成をパラ
メーターとし、この他に種々の基礎物理定数を含んだ理
論強度計算式を用いて予測した値をいい、前記Ｙ1(Mn)
、Ｙ1(Zn) 、Ｙ2(Fe)、Ｙ2(Zn) に対応する。実際の測
定強度は、検出器の感度特性やスリット系の影響等の装
置定数を含むため、直線関係はあるものの一般に理論強
度とは異なった値となる。
【００４５】このように、簡易理論強度換算式を使用
し、未知の装置定数ａ1(Mn) 、ａ1(Zn) 、ａ2(Fe) 、ａ
2(Zn) 、ｂ1(Mn) 、ｂ1(Zn) 、ｂ2(Fe) 、ｂ2(Zn) を標
準試料を使用して求める方法を採用したので、Ｘ1(Mn)
、Ｘ1(Zn) 、Ｘ2(Fe) 、Ｘ2(Zn) に、未知の試料の測
定強度の比を代入することにより、そのときの理論強度
近似値Ｙ1(Mn) 、Ｙ1(Zn) 、Ｙ2(Fe) 、Ｙ2(Zn) を求め
ることができる。
し、未知の装置定数ａ1(Mn) 、ａ1(Zn) 、ａ2(Fe) 、ａ
2(Zn) 、ｂ1(Mn) 、ｂ1(Zn) 、ｂ2(Fe) 、ｂ2(Zn) を標
準試料を使用して求める方法を採用したので、Ｘ1(Mn)
、Ｘ1(Zn) 、Ｘ2(Fe) 、Ｘ2(Zn) に、未知の試料の測
定強度の比を代入することにより、そのときの理論強度
近似値Ｙ1(Mn) 、Ｙ1(Zn) 、Ｙ2(Fe) 、Ｙ2(Zn) を求め
ることができる。
【００４６】次に、ステップ４、５として、前記２層め
っき鋼板の付着量及び組成をそれぞれ一定値としたパラ
メーター群Ｐｋ（ｋ＝１）を用い、前記数５式〜数８式
に示した理論強度近似値Ｙ1(Mn) 、Ｙ1(Zn) 、Ｙ2(Fe)
、Ｙ2(Zn) に対応する理論強度Ｙ'1(Mn)、Ｙ'1(Zn)、
Ｙ'2(Fe)、Ｙ'2(Zn)を求める。次に、ステップ６に移行
し、ここでは下記の数９式による演算を行う。
っき鋼板の付着量及び組成をそれぞれ一定値としたパラ
メーター群Ｐｋ（ｋ＝１）を用い、前記数５式〜数８式
に示した理論強度近似値Ｙ1(Mn) 、Ｙ1(Zn) 、Ｙ2(Fe)
、Ｙ2(Zn) に対応する理論強度Ｙ'1(Mn)、Ｙ'1(Zn)、
Ｙ'2(Fe)、Ｙ'2(Zn)を求める。次に、ステップ６に移行
し、ここでは下記の数９式による演算を行う。
【００４７】
【数９】Ａ＝［（Ｙ1(Mn) −Ｙ'1(Mn))2＋（Ｙ1(Zn) −
Ｙ'1(Zn))2＋（Ｙ2(Fe) −Ｙ'2(Fe))2＋（Ｙ2(Zn) −
Ｙ'2(Zn))2］1/2 次に、ステップ７に移行して、パラメーターＰk を変え
て（ｋ＝ｋ＋１）Ｙ'1(Mn)、Ｙ'1(Zn)、Ｙ'2(Fe)、Ｙ'2
(Zn)を再計算し、これらと前記Ｙ1(Mn) 、Ｙ1(Zn) 、Ｙ
2(Fe) 、Ｙ2(Zn) を用いて同様な演算を行う。
Ｙ'1(Zn))2＋（Ｙ2(Fe) −Ｙ'2(Fe))2＋（Ｙ2(Zn) −
Ｙ'2(Zn))2］1/2 次に、ステップ７に移行して、パラメーターＰk を変え
て（ｋ＝ｋ＋１）Ｙ'1(Mn)、Ｙ'1(Zn)、Ｙ'2(Fe)、Ｙ'2
(Zn)を再計算し、これらと前記Ｙ1(Mn) 、Ｙ1(Zn) 、Ｙ
2(Fe) 、Ｙ2(Zn) を用いて同様な演算を行う。
【００４８】そして、ステップ５〜７のループによる演
算を繰り返して行い、ステップ８において、これらのな
かで数９式に示した値（Ａ）が最小の演算値を与えるパ
ラメーター群Ｐk （ｋ＝ｎ）を決定する。
算を繰り返して行い、ステップ８において、これらのな
かで数９式に示した値（Ａ）が最小の演算値を与えるパ
ラメーター群Ｐk （ｋ＝ｎ）を決定する。
【００４９】そして、ステップ８において決定されたパ
ラメーター群Ｐk （ｋ＝ｎ）をもって、この２層めっき
鋼板１０のＡｌ−Ｍｎ合金めっき層１３の付着量とＭｎ
含有率、及びＺｎ−Ｆｅ合金めっき層１２の付着量とＦ
ｅ含有率とすることにより、被測定物である２層めっき
鋼板１０の各めっき層の付着量と組成とを得るものであ
る。
ラメーター群Ｐk （ｋ＝ｎ）をもって、この２層めっき
鋼板１０のＡｌ−Ｍｎ合金めっき層１３の付着量とＭｎ
含有率、及びＺｎ−Ｆｅ合金めっき層１２の付着量とＦ
ｅ含有率とすることにより、被測定物である２層めっき
鋼板１０の各めっき層の付着量と組成とを得るものであ
る。
【００５０】上記２層めっき鋼板を使用した場合のオン
ライン分析方法の第１の実施例において、各分析線から
得られた蛍光Ｘ線測定強度をそのまま使用せずにＢＧ強
度との比をとり、強度比Ｘ1(Mn) 、Ｘ1(Zn) 、Ｘ2(Fe)
、Ｘ2(Zn) としたのは、蛍光Ｘ線測定強度に及ぼす２
層めっき鋼板１０のバタツキ、温湿度及び管球より発生
するＸ線強度の変動の影響を低減でき、より精度の高い
分析値を得ることができるからである。
ライン分析方法の第１の実施例において、各分析線から
得られた蛍光Ｘ線測定強度をそのまま使用せずにＢＧ強
度との比をとり、強度比Ｘ1(Mn) 、Ｘ1(Zn) 、Ｘ2(Fe)
、Ｘ2(Zn) としたのは、蛍光Ｘ線測定強度に及ぼす２
層めっき鋼板１０のバタツキ、温湿度及び管球より発生
するＸ線強度の変動の影響を低減でき、より精度の高い
分析値を得ることができるからである。
【００５１】次に、２層めっき鋼板を使用した場合のオ
ンライン分析装置の第１の実施例を説明する。このオン
ライン分析装置は、上記第１の実施例に係るオンライン
分析方法に用いられる分析装置である。
ンライン分析装置の第１の実施例を説明する。このオン
ライン分析装置は、上記第１の実施例に係るオンライン
分析方法に用いられる分析装置である。
【００５２】図３は本実施例に係るオンライン分析装置
を示した構成図である。図中、分析の対象となる２層め
っき鋼板１０は一定の速度で左より右に移動している。
この２層めっき鋼板１０の上方には蛍光Ｘ線強度測定部
２２が配設されており、この蛍光Ｘ線強度測定部２２
は、所定の方向にＸ線を発生するＭｏ管球２３及びＣｏ
管球２４、このＭｏ管球２３及びＣｏ管球２４から発生
するＸ線の平行性を良好にするためのソーラースリット
２５、及び２層めっき鋼板１０から発生した蛍光Ｘ線の
強度をソーラースリット２５に挟まれた平板分光結晶２
６を介して測定するための検出器２７〜３２を含んで構
成されている。この６個の検出器２７〜３２は、上記実
施例に係る分析方法で説明した４個の分析線及び２個の
ＢＧの強度をそれぞれ検出できるように配設されてい
る。ＢＧ強度の検出器は、各取り出し角ψ1 、ψ2 にお
いて分光結晶による回折角が２つの蛍光Ｘ線の回折角の
間になるように配設される。蛍光Ｘ線及びＢＧ用の分光
結晶は、各取り出し角においてほぼ同一の取り出し角を
与えるように上下左右に近設される。このとき鋼板と各
分光結晶の間に配設されているそれぞれのソーラースリ
ットを１個のソーラースリットに置き換えてもよい。
を示した構成図である。図中、分析の対象となる２層め
っき鋼板１０は一定の速度で左より右に移動している。
この２層めっき鋼板１０の上方には蛍光Ｘ線強度測定部
２２が配設されており、この蛍光Ｘ線強度測定部２２
は、所定の方向にＸ線を発生するＭｏ管球２３及びＣｏ
管球２４、このＭｏ管球２３及びＣｏ管球２４から発生
するＸ線の平行性を良好にするためのソーラースリット
２５、及び２層めっき鋼板１０から発生した蛍光Ｘ線の
強度をソーラースリット２５に挟まれた平板分光結晶２
６を介して測定するための検出器２７〜３２を含んで構
成されている。この６個の検出器２７〜３２は、上記実
施例に係る分析方法で説明した４個の分析線及び２個の
ＢＧの強度をそれぞれ検出できるように配設されてい
る。ＢＧ強度の検出器は、各取り出し角ψ1 、ψ2 にお
いて分光結晶による回折角が２つの蛍光Ｘ線の回折角の
間になるように配設される。蛍光Ｘ線及びＢＧ用の分光
結晶は、各取り出し角においてほぼ同一の取り出し角を
与えるように上下左右に近設される。このとき鋼板と各
分光結晶の間に配設されているそれぞれのソーラースリ
ットを１個のソーラースリットに置き換えてもよい。
【００５３】ここで、前記実施例に係るオンライン分析
装置において、平板分光結晶２６やソーラースリット２
５は、必ずなければならないというものではなく、例え
ば平板分光結晶２６やソーラースリット２５の代わり
に、湾曲分光結晶とコリメータ、又は半導体検出器と分
解能を補うためこれと試料との間にモノクロメータを備
えていても良い。
装置において、平板分光結晶２６やソーラースリット２
５は、必ずなければならないというものではなく、例え
ば平板分光結晶２６やソーラースリット２５の代わり
に、湾曲分光結晶とコリメータ、又は半導体検出器と分
解能を補うためこれと試料との間にモノクロメータを備
えていても良い。
【００５４】しかし、前記のような構成の装置とするこ
とにより、２層めっき鋼板１０のバタツキが蛍光Ｘ線の
強度に及ぼす影響がより小さくなる。また、上記のよう
な平行光学系の測定方法を採用すると同時に、分光結晶
直前のソーラースリット２５が見込む広さ以上に鋼板上
のＸ線照射領域を拡大することにより、鋼板上のＸ線取
り出し領域は鋼板のバタツキに拘らずＸ線照射領域に含
まれるようになるため、２層めっき鋼板１０のバタツキ
が蛍光Ｘ線の強度に及ぼす影響が小さくなる。さらに、
照射領域拡大により蛍光Ｘ線強度が増大するため、蛍光
Ｘ線強度の統計変動によるばらつきを低減できる。
とにより、２層めっき鋼板１０のバタツキが蛍光Ｘ線の
強度に及ぼす影響がより小さくなる。また、上記のよう
な平行光学系の測定方法を採用すると同時に、分光結晶
直前のソーラースリット２５が見込む広さ以上に鋼板上
のＸ線照射領域を拡大することにより、鋼板上のＸ線取
り出し領域は鋼板のバタツキに拘らずＸ線照射領域に含
まれるようになるため、２層めっき鋼板１０のバタツキ
が蛍光Ｘ線の強度に及ぼす影響が小さくなる。さらに、
照射領域拡大により蛍光Ｘ線強度が増大するため、蛍光
Ｘ線強度の統計変動によるばらつきを低減できる。
【００５５】Ｍｏ管球２３、Ｃｏ管球２４、ソーラース
リット２５、平板分光結晶２６、検出器２７等は、制御
部３８からの制御信号により位置等を制御することがで
きる。これら蛍光Ｘ線測定部２２と制御部３８とで蛍光
Ｘ線測定手段３７を構成している。
リット２５、平板分光結晶２６、検出器２７等は、制御
部３８からの制御信号により位置等を制御することがで
きる。これら蛍光Ｘ線測定部２２と制御部３８とで蛍光
Ｘ線測定手段３７を構成している。
【００５６】さらに、３３は信号処理手段であり、この
信号処理手段３３は理論強度近似値算出手段３４、理論
強度式算出手段３５及び分析値算出手段３６より構成さ
れている。
信号処理手段３３は理論強度近似値算出手段３４、理論
強度式算出手段３５及び分析値算出手段３６より構成さ
れている。
【００５７】次に、以上のように構成された実施例に係
る分析装置の動作について説明する。
る分析装置の動作について説明する。
【００５８】まず理論強度式算出手段３５では、既存の
一般的な理論強度計算式に基づき、２層めっき鋼板１０
の各層の付着量及び組成をパラメーターとし、分析試料
を対象として蛍光Ｘ線測定手段３７を作動させるときと
同ーの条件における理論強度計算式を導出する。この手
順は、めっき層の構成元素が変わらない限り再び行う必
要はない。
一般的な理論強度計算式に基づき、２層めっき鋼板１０
の各層の付着量及び組成をパラメーターとし、分析試料
を対象として蛍光Ｘ線測定手段３７を作動させるときと
同ーの条件における理論強度計算式を導出する。この手
順は、めっき層の構成元素が変わらない限り再び行う必
要はない。
【００５９】またＣｏ管球２４及びＭｏ管球２３から発
生したＸ線は、２層めっき鋼板１０にそれぞれ入射角φ
1 ＝１０〜３０°、φ2 ＝５０〜９０°なる角度で照射
される。２層めっき鋼板１０から発生するＭｎＫα線、
ＺｎＫα線及びＢＧの強度を取り出し角ψ1 ＝１０〜３
０°で、またＦｅＫα線、ＺｎＫα線及びＢＧ強度を取
り出し角ψ2 ＝５０〜９０°で、それぞれ検出器２７〜
２９、３０〜３２を用いて検出する。そして、実際に分
析の対象となる２層めっき鋼板１０を分析する前に、２
層めっき鋼板の各層の付着量及び組成が既知の標準試料
を少なくとも二つ使用して、前記した分析線及びＢＧの
強度を測定し、これら測定強度から得られる強度比Ｘ
1(Mn) 、Ｘ1(Zn) 、Ｘ2(Fe) 、Ｘ2(Zn) と、前記標準試
料について求めた前記した分析線の理論強度Ｙ1(Mn) 、
Ｙ1(Zn) 、Ｙ2(Fe) 、Ｙ2(Zn) とから数５式〜数８式の
係数ａ1(Mn) 、ａ1(Zn) 、ａ2(Fe) 、ａ2(Zn) 、ｂ1(M
n) 、ｂ1(Zn) 、ｂ2(Fe) 、ｂ2(Zn) を決定し、その値
を理論強度近似値算出手段３４に送出しておく。
生したＸ線は、２層めっき鋼板１０にそれぞれ入射角φ
1 ＝１０〜３０°、φ2 ＝５０〜９０°なる角度で照射
される。２層めっき鋼板１０から発生するＭｎＫα線、
ＺｎＫα線及びＢＧの強度を取り出し角ψ1 ＝１０〜３
０°で、またＦｅＫα線、ＺｎＫα線及びＢＧ強度を取
り出し角ψ2 ＝５０〜９０°で、それぞれ検出器２７〜
２９、３０〜３２を用いて検出する。そして、実際に分
析の対象となる２層めっき鋼板１０を分析する前に、２
層めっき鋼板の各層の付着量及び組成が既知の標準試料
を少なくとも二つ使用して、前記した分析線及びＢＧの
強度を測定し、これら測定強度から得られる強度比Ｘ
1(Mn) 、Ｘ1(Zn) 、Ｘ2(Fe) 、Ｘ2(Zn) と、前記標準試
料について求めた前記した分析線の理論強度Ｙ1(Mn) 、
Ｙ1(Zn) 、Ｙ2(Fe) 、Ｙ2(Zn) とから数５式〜数８式の
係数ａ1(Mn) 、ａ1(Zn) 、ａ2(Fe) 、ａ2(Zn) 、ｂ1(M
n) 、ｂ1(Zn) 、ｂ2(Fe) 、ｂ2(Zn) を決定し、その値
を理論強度近似値算出手段３４に送出しておく。
【００６０】理論強度近似値算出手段３４では、分析試
料を対象として蛍光Ｘ線測定手段３７を作動させ、６個
の検出器２７〜３２より検出された蛍光Ｘ線及びＢＧ強
度の値を取り込み、上記実施例に係る分析方法で説明し
たようにステップ１〜３に従い理論強度近似値Ｙ1(Mn)
、Ｙ1(Zn) 、Ｙ2(Fe) 、Ｙ2(Zn) を求める。
料を対象として蛍光Ｘ線測定手段３７を作動させ、６個
の検出器２７〜３２より検出された蛍光Ｘ線及びＢＧ強
度の値を取り込み、上記実施例に係る分析方法で説明し
たようにステップ１〜３に従い理論強度近似値Ｙ1(Mn)
、Ｙ1(Zn) 、Ｙ2(Fe) 、Ｙ2(Zn) を求める。
【００６１】さらに分析値算出手段３６では、理論強度
式算出手段３５で得た理論強度計算式に、具体的にパラ
メーターであるＺｎ−Ｆｅ合金めっき層１２及びＡｌ−
Ｍｎ合金めっき層１３の付着量及び組成を代入してそれ
ぞれの分析線の理論強度Ｙ'1(Mn)、Ｙ'1(Zn)、Ｙ'2(F
e)、Ｙ'2(Zn)を得、前記理論強度と理論強度近似値算出
手段３４で得た理論強度近似値Ｙ1(Mn) 、Ｙ1(Zn) 、Ｙ
2(Fe) 、Ｙ2(Zn) とから数９式に示したような演算を行
い、その値（Ａ）を最小とする前記パラメーターを分析
値とする。このようにして、分析の対象としている２層
めっき鋼板１０の各層の付着量及び組成を得るものであ
る。
式算出手段３５で得た理論強度計算式に、具体的にパラ
メーターであるＺｎ−Ｆｅ合金めっき層１２及びＡｌ−
Ｍｎ合金めっき層１３の付着量及び組成を代入してそれ
ぞれの分析線の理論強度Ｙ'1(Mn)、Ｙ'1(Zn)、Ｙ'2(F
e)、Ｙ'2(Zn)を得、前記理論強度と理論強度近似値算出
手段３４で得た理論強度近似値Ｙ1(Mn) 、Ｙ1(Zn) 、Ｙ
2(Fe) 、Ｙ2(Zn) とから数９式に示したような演算を行
い、その値（Ａ）を最小とする前記パラメーターを分析
値とする。このようにして、分析の対象としている２層
めっき鋼板１０の各層の付着量及び組成を得るものであ
る。
【００６２】次に、２層めっき鋼板１０を使用した場合
のオンライン分析方法の第２の実施例を説明する。
のオンライン分析方法の第２の実施例を説明する。
【００６３】上記オンライン分析方法の第１の実施例で
は、理論強度計算式を導出し、これを用いて前記パラメ
ーター群に対する理論強度を計算したが、本実施例では
このような理論強度計算式を用いて、各パラメーター値
と理論強度の関係曲線である検量線を予め求めておき、
この検量線を使用して各パラメータ値から理論強度値を
求める。この場合のフローチャートは図４のようにな
る。上記したオンライン分析方法の第１の実施例とステ
ップ１１及び１４以降の工程が異なるので、その部分に
ついて説明する。
は、理論強度計算式を導出し、これを用いて前記パラメ
ーター群に対する理論強度を計算したが、本実施例では
このような理論強度計算式を用いて、各パラメーター値
と理論強度の関係曲線である検量線を予め求めておき、
この検量線を使用して各パラメータ値から理論強度値を
求める。この場合のフローチャートは図４のようにな
る。上記したオンライン分析方法の第１の実施例とステ
ップ１１及び１４以降の工程が異なるので、その部分に
ついて説明する。
【００６４】ステップ１１においては、上記の方法で導
出したような理論強度計算式を用い、各パラメーター
と、各分析線の理論強度との関係をグラフ化した検量線
を他のパラメーターの変動範囲毎に複数個作成する。パ
ラメーターはＡｌ−Ｍｎめっき付着量、Ｍｎ含有率、Ｚ
ｎ−Ｆｅ付着量、Ｆｅ含有率の計４つ存在するので、一
つのパラメーターについての検量線を求めようとすれ
ば、他の３つのパラメーターを固定せねばならない。従
って、他の３つのパラメーターは、検量線へ及ぼす影響
が小さい限られた範囲内で変化するものとして各範囲毎
に検量線を作成するが、各検量線につき他の３つのパラ
メーターの変動範囲を小さくとりすぎると、パラメータ
ーの全変動範囲をカバーするために膨大な数の検量線が
必要となる。そこで、他の３つのパラメーターの全変動
範囲をそれぞれ大きく幾つかの範囲に分けて各範囲毎に
検量線を持てば、検量線の数を一定の数に抑えることが
できる。また、実際の分析では、パラメーターの変動の
範囲が限られていることが多いため、作成する検量線の
数を一定範囲に納めることができる。
出したような理論強度計算式を用い、各パラメーター
と、各分析線の理論強度との関係をグラフ化した検量線
を他のパラメーターの変動範囲毎に複数個作成する。パ
ラメーターはＡｌ−Ｍｎめっき付着量、Ｍｎ含有率、Ｚ
ｎ−Ｆｅ付着量、Ｆｅ含有率の計４つ存在するので、一
つのパラメーターについての検量線を求めようとすれ
ば、他の３つのパラメーターを固定せねばならない。従
って、他の３つのパラメーターは、検量線へ及ぼす影響
が小さい限られた範囲内で変化するものとして各範囲毎
に検量線を作成するが、各検量線につき他の３つのパラ
メーターの変動範囲を小さくとりすぎると、パラメータ
ーの全変動範囲をカバーするために膨大な数の検量線が
必要となる。そこで、他の３つのパラメーターの全変動
範囲をそれぞれ大きく幾つかの範囲に分けて各範囲毎に
検量線を持てば、検量線の数を一定の数に抑えることが
できる。また、実際の分析では、パラメーターの変動の
範囲が限られていることが多いため、作成する検量線の
数を一定範囲に納めることができる。
【００６５】次に、ステップ１４では、ある程度各層の
付着量や組成を予想し、ステップ１５でその予想値をパ
ラメーターの初期値とし、検量線を使用して各検量線に
おける蛍光Ｘ線理論強度（以下、検量線強度と記す）
Ｙ”1(Mn) 、Ｙ”1(Zn) 、Ｙ”2(Fe) 、Ｙ”2(Zn) を求
める。そして、ステップ１６で上記実施例の場合と同様
に下記の数１０式の計算を行い、さらに予想される範囲
でパラメーターを変動させて、同様に数１０式の計算を
行い、Ｂの最小値を与えるパラメーターを分析値とする
ものである。
付着量や組成を予想し、ステップ１５でその予想値をパ
ラメーターの初期値とし、検量線を使用して各検量線に
おける蛍光Ｘ線理論強度（以下、検量線強度と記す）
Ｙ”1(Mn) 、Ｙ”1(Zn) 、Ｙ”2(Fe) 、Ｙ”2(Zn) を求
める。そして、ステップ１６で上記実施例の場合と同様
に下記の数１０式の計算を行い、さらに予想される範囲
でパラメーターを変動させて、同様に数１０式の計算を
行い、Ｂの最小値を与えるパラメーターを分析値とする
ものである。
【００６６】
【数１０】Ｂ＝［（Ｙ1(Mn) −Ｙ”1(Mn))2 ＋（Ｙ1(Z
n) −Ｙ”1(Zn))2 ＋（Ｙ2(Fe) −Ｙ”2(Fe))2 ＋（Ｙ2
(Zn) −Ｙ”2(Zn))2 ］1/2 次に、２層めっき鋼板１０を使用した場合のオンライン
分析装置の第２の実施例を説明する。このオンライン分
析装置は前記第２の実施例に係るオンライン分析方法を
用いて２層めっき鋼板１０の各層の付着量及び組成を得
るものである。図５は、本実施例に係るオンライン分析
装置を示した構成図である。本実施例に係るオンライン
分析装置は上記したオンライン分析装置と基本的な構成
はほぼ同様で、理論強度式算出手段３４に代わり、検量
線記憶手段４５を備えている点が大きな相違点であり、
ここではその点を中心にして説明する。
n) −Ｙ”1(Zn))2 ＋（Ｙ2(Fe) −Ｙ”2(Fe))2 ＋（Ｙ2
(Zn) −Ｙ”2(Zn))2 ］1/2 次に、２層めっき鋼板１０を使用した場合のオンライン
分析装置の第２の実施例を説明する。このオンライン分
析装置は前記第２の実施例に係るオンライン分析方法を
用いて２層めっき鋼板１０の各層の付着量及び組成を得
るものである。図５は、本実施例に係るオンライン分析
装置を示した構成図である。本実施例に係るオンライン
分析装置は上記したオンライン分析装置と基本的な構成
はほぼ同様で、理論強度式算出手段３４に代わり、検量
線記憶手段４５を備えている点が大きな相違点であり、
ここではその点を中心にして説明する。
【００６７】この検量線記憶手段４５では、上記オンラ
イン分析装置で用いた理論強度計算式等から作成した検
量線を記憶させておく。検量線の作成については、上記
別の実施例に係るオンライン分析方法で説明したので、
ここでは省略する。記憶させた検量線は、理論強度計算
式と比較すると簡単であるので、分析値の算出に複雑な
ソフトウエアや高速演算の可能な高価なコンピュータを
必要としないため、より安価な装置を製作できる。すな
わち検量線を用いる分析装置では、高価につく理論強度
計算を省略できる。
イン分析装置で用いた理論強度計算式等から作成した検
量線を記憶させておく。検量線の作成については、上記
別の実施例に係るオンライン分析方法で説明したので、
ここでは省略する。記憶させた検量線は、理論強度計算
式と比較すると簡単であるので、分析値の算出に複雑な
ソフトウエアや高速演算の可能な高価なコンピュータを
必要としないため、より安価な装置を製作できる。すな
わち検量線を用いる分析装置では、高価につく理論強度
計算を省略できる。
【００６８】この検量線記憶手段４５より得られた検量
線を使用し、予想されるパラメーター群（初期値）を代
入することにより検量線強度を求める。そして、得られ
た検量線強度と理論強度近似値を数１０式に代入して、
分析値算出手段３６においてその値（Ｂ）を求める。次
に、各パラメーターを検量線毎に決まっている許容変動
範囲内で変化させて同様にＢを計算し、得られるＢ値を
最小とするパラメーターを分析値とする。各パラメータ
ーの許容範囲外のパラメーター値でＢ値がより小さくな
る場合は、検量線をそのパラメーター値を許容範囲内に
含むものに入れ替えて同様の計算を行う。
線を使用し、予想されるパラメーター群（初期値）を代
入することにより検量線強度を求める。そして、得られ
た検量線強度と理論強度近似値を数１０式に代入して、
分析値算出手段３６においてその値（Ｂ）を求める。次
に、各パラメーターを検量線毎に決まっている許容変動
範囲内で変化させて同様にＢを計算し、得られるＢ値を
最小とするパラメーターを分析値とする。各パラメータ
ーの許容範囲外のパラメーター値でＢ値がより小さくな
る場合は、検量線をそのパラメーター値を許容範囲内に
含むものに入れ替えて同様の計算を行う。
【００６９】図６〜図９は、図４に示した実施例に係る
オンライン分析装置を用いて実際に分析を行った結果得
られた２層めっき鋼板の各層の付着量と組成を、同じ試
料を化学分析により分析した結果と比較して示したもの
である。図６〜図９において、縦軸は実施例に係る分析
値であり、横軸は前記化学分析による分析値である。詳
細には、図６はＡｌ−Ｍｎ合金めっき層１３の付着量、
図７はＡｌ−Ｍｎ合金めっき層１３の組成、図８はＺｎ
−Ｆｅ合金めっき層１２の付着量、図９はＺｎ−Ｆｅ合
金めっき層１２の組成をそれぞれ示している。このとき
の測定角は、（φ1 ，ψ1 ）＝（２０°，２０°）、
（φ2 ，ψ2 ）＝（７０°，７０°）であり、Ｍｏ管球
２３及びＣｏ管球２４によるＸ線照射の条件は４０ｋ
Ｖ、７０ｍＡである。
オンライン分析装置を用いて実際に分析を行った結果得
られた２層めっき鋼板の各層の付着量と組成を、同じ試
料を化学分析により分析した結果と比較して示したもの
である。図６〜図９において、縦軸は実施例に係る分析
値であり、横軸は前記化学分析による分析値である。詳
細には、図６はＡｌ−Ｍｎ合金めっき層１３の付着量、
図７はＡｌ−Ｍｎ合金めっき層１３の組成、図８はＺｎ
−Ｆｅ合金めっき層１２の付着量、図９はＺｎ−Ｆｅ合
金めっき層１２の組成をそれぞれ示している。このとき
の測定角は、（φ1 ，ψ1 ）＝（２０°，２０°）、
（φ2 ，ψ2 ）＝（７０°，７０°）であり、Ｍｏ管球
２３及びＣｏ管球２４によるＸ線照射の条件は４０ｋ
Ｖ、７０ｍＡである。
【００７０】ここで比較の対象としている化学分析値
は、めっき被膜を酸溶解後、ＩＣＰ発光分光分析法で分
析することにより得られた値であり、この方法によれ
ば、オンライン分析はできないものの、各層の付着量及
び組成をより正確に求め得ることが知られている。
は、めっき被膜を酸溶解後、ＩＣＰ発光分光分析法で分
析することにより得られた値であり、この方法によれ
ば、オンライン分析はできないものの、各層の付着量及
び組成をより正確に求め得ることが知られている。
【００７１】図６〜図９から明らかなように、２層めっ
き鋼板１０のバタツキや温湿度の変動等が加わる実ライ
ンであるにも拘らず、正確な分析値を得ることができ
た。また、測定時間は１０秒という短時間で十分であっ
た。
き鋼板１０のバタツキや温湿度の変動等が加わる実ライ
ンであるにも拘らず、正確な分析値を得ることができ
た。また、測定時間は１０秒という短時間で十分であっ
た。
【００７２】次に、多層板として下地のアルミナ板の上
にＩｎ2 Ｏ3 −ＭｇＯセラミック層が形成され、このＩ
ｎ2 Ｏ3 −ＭｇＯセラミック層の上にさらにＩｒ−Ｔｉ
Ｏ2金属分散セラミックス層が形成された２層塗布アル
ミナ板を使用した場合の実施例を説明する。
にＩｎ2 Ｏ3 −ＭｇＯセラミック層が形成され、このＩ
ｎ2 Ｏ3 −ＭｇＯセラミック層の上にさらにＩｒ−Ｔｉ
Ｏ2金属分散セラミックス層が形成された２層塗布アル
ミナ板を使用した場合の実施例を説明する。
【００７３】まず、前記２層塗布アルミナ板を使用した
場合のオンライン分析方法の第１の実施例を説明する。
場合のオンライン分析方法の第１の実施例を説明する。
【００７４】図１０は、下地のアルミナ板５１の上にＩ
ｎ2 Ｏ3 −ＭｇＯセラミック層５２が形成され、このＩ
ｎ2 Ｏ3 −ＭｇＯセラミック層５２の上にさらにＩｒ−
ＴｉＯ2 金属分散セラミックス層５３が形成された２層
塗布アルミナ板５０の分析方法を説明するための模式的
な断面図である。また図１１は、図１０に示した２層塗
布アルミナ板５０の分析方法の手順を示したフローチャ
ートである。
ｎ2 Ｏ3 −ＭｇＯセラミック層５２が形成され、このＩ
ｎ2 Ｏ3 −ＭｇＯセラミック層５２の上にさらにＩｒ−
ＴｉＯ2 金属分散セラミックス層５３が形成された２層
塗布アルミナ板５０の分析方法を説明するための模式的
な断面図である。また図１１は、図１０に示した２層塗
布アルミナ板５０の分析方法の手順を示したフローチャ
ートである。
【００７５】図１０に示した２層塗布アルミナ板５０で
は、Ｘ線経路に存在する空気による散乱吸収が大きいた
め、定量に十分な蛍光Ｘ線強度の検出が困難なＭｇＯが
第２層の成分として含まれている。従って、Ｘ線管球か
ら入射角φ1 で入射したＸ線に対して２層塗布アルミナ
板５０から発生するＩｒＬα線、ＩｎＬα線及びＢＧの
強度を取り出し角ψ1 又はその近傍で測定し、同じ種類
又は異なる種類のＸ線管球から入射角φ2 で入射したＸ
線に対して２層塗布アルミナ板５０から発生するＩｎＬ
α線、ＴｉＫα線及びＢＧの強度を取り出し角ψ2 又は
その近傍で測定する。
は、Ｘ線経路に存在する空気による散乱吸収が大きいた
め、定量に十分な蛍光Ｘ線強度の検出が困難なＭｇＯが
第２層の成分として含まれている。従って、Ｘ線管球か
ら入射角φ1 で入射したＸ線に対して２層塗布アルミナ
板５０から発生するＩｒＬα線、ＩｎＬα線及びＢＧの
強度を取り出し角ψ1 又はその近傍で測定し、同じ種類
又は異なる種類のＸ線管球から入射角φ2 で入射したＸ
線に対して２層塗布アルミナ板５０から発生するＩｎＬ
α線、ＴｉＫα線及びＢＧの強度を取り出し角ψ2 又は
その近傍で測定する。
【００７６】選定した分析線は上記のように異なるが、
計算処理の方法自体は図２に示した２層めっき鋼板１０
を使用した場合の処理方法と同様であるので、ここでは
図１１に示したＳ２１〜Ｓ２８の計算処理方法の説明を
省略する。
計算処理の方法自体は図２に示した２層めっき鋼板１０
を使用した場合の処理方法と同様であるので、ここでは
図１１に示したＳ２１〜Ｓ２８の計算処理方法の説明を
省略する。
【００７７】次に、２層塗布アルミナ板５０を使用した
場合のオンライン分析装置の第１の実施例を説明する。
このオンライン分析装置は、前記した第１の実施例に係
るオンライン分析方法に用いられる分析装置である。
場合のオンライン分析装置の第１の実施例を説明する。
このオンライン分析装置は、前記した第１の実施例に係
るオンライン分析方法に用いられる分析装置である。
【００７８】２層塗布アルミナ板５０を分析の対象とす
る場合、上述した２層めっき鋼板１０を使用した場合の
分析装置の第１の実施例（図３）において、２層めっき
鋼板１０に替えて２層塗布アルミナ板５０が、Ｍｏ管球
２３に替えてＳｃ管球が、Ｃｏ管球２４に替えてＡｕ管
球がそれぞれ用られる他は、図３に示した分析装置の構
成と同様でよく、その動作も同様であり、詳しい説明は
省略する。
る場合、上述した２層めっき鋼板１０を使用した場合の
分析装置の第１の実施例（図３）において、２層めっき
鋼板１０に替えて２層塗布アルミナ板５０が、Ｍｏ管球
２３に替えてＳｃ管球が、Ｃｏ管球２４に替えてＡｕ管
球がそれぞれ用られる他は、図３に示した分析装置の構
成と同様でよく、その動作も同様であり、詳しい説明は
省略する。
【００７９】次に、２層塗布アルミナ板５０を使用した
場合のオンライン分析方法の第２の実施例を説明する。
場合のオンライン分析方法の第２の実施例を説明する。
【００８０】上記２層塗布アルミナ板５０を使用した場
合のオンライン分析方法の第１の実施例では、理論強度
計算式を導出し、これを用いて前記パラメーター群に対
する理論強度を計算したが、本実施例ではこのような理
論強度計算式を用いて、各パラメーターと理論強度との
関係曲線である検量線を予め求めておき、この検量線を
使用して各パラメータ値から理論強度を求める。
合のオンライン分析方法の第１の実施例では、理論強度
計算式を導出し、これを用いて前記パラメーター群に対
する理論強度を計算したが、本実施例ではこのような理
論強度計算式を用いて、各パラメーターと理論強度との
関係曲線である検量線を予め求めておき、この検量線を
使用して各パラメータ値から理論強度を求める。
【００８１】選定した分析線は異なるが、計算処理の方
法自体は図４に示した２層めっき鋼板を使用した場合の
処理方法と同様であるので、ここでは図１２に示したＳ
３１、Ｓ２２〜Ｓ２３、Ｓ３４〜Ｓ３８の計算処理方法
の説明を省略する。
法自体は図４に示した２層めっき鋼板を使用した場合の
処理方法と同様であるので、ここでは図１２に示したＳ
３１、Ｓ２２〜Ｓ２３、Ｓ３４〜Ｓ３８の計算処理方法
の説明を省略する。
【００８２】次に、２層塗布アルミナ板５０を使用した
場合のオンライン分析装置の第２の実施例を説明する。
このオンライン分析装置は前記第２の実施例に係るオン
ライン分析方法を用いて２層塗布アルミナ板５０の各層
の付着量及び組成を得るものであり、その構成は理論強
度式算出手段３４に代わり、検量線記憶手段４５を備え
ている点以外は、前記２層塗布アルミナ板５０を使用し
た場合のオンライン分析装置の第１の実施例と同様であ
る。
場合のオンライン分析装置の第２の実施例を説明する。
このオンライン分析装置は前記第２の実施例に係るオン
ライン分析方法を用いて２層塗布アルミナ板５０の各層
の付着量及び組成を得るものであり、その構成は理論強
度式算出手段３４に代わり、検量線記憶手段４５を備え
ている点以外は、前記２層塗布アルミナ板５０を使用し
た場合のオンライン分析装置の第１の実施例と同様であ
る。
【００８３】図１３〜図１６は、２層塗布アルミナ板５
０を使用した場合の第１の実施例に係るオンライン分析
装置により実際に分析を行った結果、得られた２層塗布
アルミナ板５０の各層の厚さと組成を、同じ試料を化学
分析により分析した結果と比較して示したものである。
図１３〜１６において、縦軸は実施例に係る分析値であ
り、横軸は前記化学分析による分析値である。詳細に
は、図１３はＩｒ−ＴｉＯ2 金属分散セラミックス層５
３の厚さ、図１４はＩｒ−ＴｉＯ2 金属分散セラミック
ス層５３の組成、図１５はＩｎ2 Ｏ3 −ＭｇＯセラミッ
クス層５２の厚さ、図１６はＩｎ2 Ｏ3 −ＭｇＯセラミ
ックス層５２の組成をそれぞれ示している。このときの
測定角は、（φ1 ，ψ1 ）＝（２０°，２０°）、（φ
2 ，ψ2 ）＝（７０°，７０°）であり、Ｓｃ管球２３
及びＡｕ管球２４によるＸ線照射の条件は４０ｋＶ、７
０ｍＡであった。
０を使用した場合の第１の実施例に係るオンライン分析
装置により実際に分析を行った結果、得られた２層塗布
アルミナ板５０の各層の厚さと組成を、同じ試料を化学
分析により分析した結果と比較して示したものである。
図１３〜１６において、縦軸は実施例に係る分析値であ
り、横軸は前記化学分析による分析値である。詳細に
は、図１３はＩｒ−ＴｉＯ2 金属分散セラミックス層５
３の厚さ、図１４はＩｒ−ＴｉＯ2 金属分散セラミック
ス層５３の組成、図１５はＩｎ2 Ｏ3 −ＭｇＯセラミッ
クス層５２の厚さ、図１６はＩｎ2 Ｏ3 −ＭｇＯセラミ
ックス層５２の組成をそれぞれ示している。このときの
測定角は、（φ1 ，ψ1 ）＝（２０°，２０°）、（φ
2 ，ψ2 ）＝（７０°，７０°）であり、Ｓｃ管球２３
及びＡｕ管球２４によるＸ線照射の条件は４０ｋＶ、７
０ｍＡであった。
【００８４】ここで比較の対象としている化学分析値
は、２層めっき鋼板１０の場合と同様に、前記塗布層を
酸溶解後、ＩＣＰ発光分光分析法で分析することにより
得られた値である。
は、２層めっき鋼板１０の場合と同様に、前記塗布層を
酸溶解後、ＩＣＰ発光分光分析法で分析することにより
得られた値である。
【００８５】図１３〜図１６から明らかなように、２層
塗布アルミナ板５０のバタツキや温湿度の変動等が加わ
る実ラインであるにも拘らず、正確な分析値を得ること
ができた。また、測定時間は１０秒という短時間で十分
であった。
塗布アルミナ板５０のバタツキや温湿度の変動等が加わ
る実ラインであるにも拘らず、正確な分析値を得ること
ができた。また、測定時間は１０秒という短時間で十分
であった。
【００８６】次に、多層板として下地の樹脂板の上にＡ
ｇ−Ｓｎ合金蒸着層が形成され、このＡｇ−Ｓｎ合金蒸
着層の上にさらにＳｉＯ2 蒸着層が形成された２層蒸着
樹脂板を使用した場合の実施例を説明する。
ｇ−Ｓｎ合金蒸着層が形成され、このＡｇ−Ｓｎ合金蒸
着層の上にさらにＳｉＯ2 蒸着層が形成された２層蒸着
樹脂板を使用した場合の実施例を説明する。
【００８７】まず、前記２層蒸着樹脂板を使用した場合
のオンライン分析法の第１の実施例を説明する。
のオンライン分析法の第１の実施例を説明する。
【００８８】図１７は、下地の樹脂板６１の上にＡｇ−
Ｓｎ合金蒸着層６２が形成され、このＡｇ−Ｓｎ合金蒸
着層６２の上にさらにＳｉＯ2 蒸着層６３が形成された
２層蒸着樹脂板６０の分析方法を説明するための模式的
な断面図である。また図１８は、図１７に示した２層蒸
着樹脂板６０の分析方法の手順を示したフローチャート
である。
Ｓｎ合金蒸着層６２が形成され、このＡｇ−Ｓｎ合金蒸
着層６２の上にさらにＳｉＯ2 蒸着層６３が形成された
２層蒸着樹脂板６０の分析方法を説明するための模式的
な断面図である。また図１８は、図１７に示した２層蒸
着樹脂板６０の分析方法の手順を示したフローチャート
である。
【００８９】図１７に示したＳｉＯ2 蒸着層６３は薄い
ため従来の技術において説明したような通常の蛍光Ｘ線
分析によっては、その付着量や組成を求めることができ
ない。そこで本実施例では、Ｘ線管球から入射角φ1 で
入射したＸ線に対して２層蒸着樹脂板６０から発生する
ＳｉＫα線及びＢＧの強度を取り出し角ψ1 又はその近
傍で測定し、同じ種類又は異なる種類のＸ線管球から入
射角φ2 で入射したＸ線に対して２層蒸着樹脂板６０か
ら発生するＡｇＬα線、ＳｎＬα線及びＢＧの強度を取
り出し角ψ2 又はその近傍で測定する。
ため従来の技術において説明したような通常の蛍光Ｘ線
分析によっては、その付着量や組成を求めることができ
ない。そこで本実施例では、Ｘ線管球から入射角φ1 で
入射したＸ線に対して２層蒸着樹脂板６０から発生する
ＳｉＫα線及びＢＧの強度を取り出し角ψ1 又はその近
傍で測定し、同じ種類又は異なる種類のＸ線管球から入
射角φ2 で入射したＸ線に対して２層蒸着樹脂板６０か
ら発生するＡｇＬα線、ＳｎＬα線及びＢＧの強度を取
り出し角ψ2 又はその近傍で測定する。
【００９０】選定した分析線は上記のように３個になっ
たので、強度比に関する数式がＸ1(Si) 、Ｘ2(Sn) 、Ｘ
2(Ag) の３個になり、理論強度近似値に関する数式がＹ
1(Sn) 、Ｙ2(Sn) 、Ｙ2(Ag) になるが、計算処理の方法
自体は図２に示した２層めっき鋼板１０を使用した場合
の処理方法と同様であるので、ここでは図１８に示した
Ｓ４１〜Ｓ４８の計算処理方法の詳しい説明を省略す
る。
たので、強度比に関する数式がＸ1(Si) 、Ｘ2(Sn) 、Ｘ
2(Ag) の３個になり、理論強度近似値に関する数式がＹ
1(Sn) 、Ｙ2(Sn) 、Ｙ2(Ag) になるが、計算処理の方法
自体は図２に示した２層めっき鋼板１０を使用した場合
の処理方法と同様であるので、ここでは図１８に示した
Ｓ４１〜Ｓ４８の計算処理方法の詳しい説明を省略す
る。
【００９１】次に、２層蒸着樹脂板６０を使用した場合
のオンライン分析装置の第１の実施例を説明する。この
オンライン分析装置は、上記第１の実施例に係るオンラ
イン分析方法に用いられる分析装置である。
のオンライン分析装置の第１の実施例を説明する。この
オンライン分析装置は、上記第１の実施例に係るオンラ
イン分析方法に用いられる分析装置である。
【００９２】２層蒸着樹脂板６０を分析の対象とする場
合、上述した２層めっき鋼板１０を使用した場合の分析
装置の第１の実施例（図３）において、２層めっき鋼板
１０に替えて２層蒸着樹脂板６０が、Ｍｏ管球２３に替
えてＳｃ管球が、Ｃｏ管球２４に替えてＲｈ管球がそれ
ぞれ用いられる点、及びＳｉＫα線及びＢＧ強度の測定
に必要な検出管は２つなので、３つの検出管３０〜３２
のうち１つの検出管が不要である点を除き、図３に示し
た分析装置の構成と同様でよく、その動作も同様であ
る。
合、上述した２層めっき鋼板１０を使用した場合の分析
装置の第１の実施例（図３）において、２層めっき鋼板
１０に替えて２層蒸着樹脂板６０が、Ｍｏ管球２３に替
えてＳｃ管球が、Ｃｏ管球２４に替えてＲｈ管球がそれ
ぞれ用いられる点、及びＳｉＫα線及びＢＧ強度の測定
に必要な検出管は２つなので、３つの検出管３０〜３２
のうち１つの検出管が不要である点を除き、図３に示し
た分析装置の構成と同様でよく、その動作も同様であ
る。
【００９３】次に、２層蒸着樹脂板６０を使用した場合
のオンライン分析方法の第２の実施例を説明する。
のオンライン分析方法の第２の実施例を説明する。
【００９４】２層蒸着樹脂板６０を使用した場合のオン
ライン分析方法の第１の実施例では、理論強度計算式を
導出し、これを用いて前記パラメーター群に対する理論
強度を計算したが、本実施例ではこのような理論強度計
算式を用いて、各パラメーターと理論強度との関係曲線
である検量線を予め求めておき、この検量線を使用して
各パラメータ値から理論強度を求める。
ライン分析方法の第１の実施例では、理論強度計算式を
導出し、これを用いて前記パラメーター群に対する理論
強度を計算したが、本実施例ではこのような理論強度計
算式を用いて、各パラメーターと理論強度との関係曲線
である検量線を予め求めておき、この検量線を使用して
各パラメータ値から理論強度を求める。
【００９５】選定した分析線は前記したように３個と異
なるが、計算処理の方法自体は図４に示した２層めっき
鋼板１０を使用した場合の処理方法と同様であるので、
ここでは図１９に示したＳ５１、Ｓ４２〜Ｓ４３、Ｓ５
４〜Ｓ５８の計算処理方法の説明を省略する。
なるが、計算処理の方法自体は図４に示した２層めっき
鋼板１０を使用した場合の処理方法と同様であるので、
ここでは図１９に示したＳ５１、Ｓ４２〜Ｓ４３、Ｓ５
４〜Ｓ５８の計算処理方法の説明を省略する。
【００９６】次に、２層蒸着樹脂板６０を使用した場合
のオンライン分析装置の第２の実施例を説明する。この
オンライン分析装置は前記第２の実施例に係るオンライ
ン分析方法を用いて２層蒸着樹脂板６０の各層の付着量
及び組成を得るものであり、その構成は理論強度式算出
手段３４に代わり、検量線記憶手段４５を備えている点
以外は、２層蒸着樹脂板６０を使用した場合のオンライ
ン分析装置の第１の実施例と同様である。
のオンライン分析装置の第２の実施例を説明する。この
オンライン分析装置は前記第２の実施例に係るオンライ
ン分析方法を用いて２層蒸着樹脂板６０の各層の付着量
及び組成を得るものであり、その構成は理論強度式算出
手段３４に代わり、検量線記憶手段４５を備えている点
以外は、２層蒸着樹脂板６０を使用した場合のオンライ
ン分析装置の第１の実施例と同様である。
【００９７】図２０〜図２２は、２層蒸着樹脂板６０を
使用した場合の第１の実施例に係るオンライン分析装置
により実際に分析を行った結果、得られた２層蒸着樹脂
板６０の各層の厚さと組成を、同じ試料を化学分析によ
り分析した結果と比較して示したものである。
使用した場合の第１の実施例に係るオンライン分析装置
により実際に分析を行った結果、得られた２層蒸着樹脂
板６０の各層の厚さと組成を、同じ試料を化学分析によ
り分析した結果と比較して示したものである。
【００９８】図２０〜図２２において、縦軸は実施例に
係る分析値であり、横軸は前記化学分析による分析値で
ある。詳細には、図２０はＳｉＯ2 蒸着層６３の厚さ、
図２１はＡｇ−Ｓｎ合金蒸着層６２の厚さ、図２２はＡ
ｇ−Ｓｎ合金蒸着層６２の組成をそれぞれ示している。
このときの測定角は、（φ1 ，ψ1 ）＝（２０°，２０
°）、（φ2 ，ψ2 ）＝（７０°，７０°）であり、Ｓ
ｃ管球２３及びＲｈ管球２４によるＸ線照射の条件は４
０ｋＶ、７０ｍＡである。
係る分析値であり、横軸は前記化学分析による分析値で
ある。詳細には、図２０はＳｉＯ2 蒸着層６３の厚さ、
図２１はＡｇ−Ｓｎ合金蒸着層６２の厚さ、図２２はＡ
ｇ−Ｓｎ合金蒸着層６２の組成をそれぞれ示している。
このときの測定角は、（φ1 ，ψ1 ）＝（２０°，２０
°）、（φ2 ，ψ2 ）＝（７０°，７０°）であり、Ｓ
ｃ管球２３及びＲｈ管球２４によるＸ線照射の条件は４
０ｋＶ、７０ｍＡである。
【００９９】ここで比較の対象としている化学分析値
は、２層メッキ鋼板１０の場合と同様に２層蒸着樹脂板
６０の蒸着層を酸溶解後、ＩＣＰ発光分光分析法で分析
することにより得られた値である。
は、２層メッキ鋼板１０の場合と同様に２層蒸着樹脂板
６０の蒸着層を酸溶解後、ＩＣＰ発光分光分析法で分析
することにより得られた値である。
【０１００】図２０〜図２２から明らかなように、２層
蒸着樹脂板６０のバタツキや温湿度の変動等が加わる実
ラインであるにも拘らず、正確な分析値を得ることがで
きた。また、測定時間は１０秒という短時間で十分であ
った。
蒸着樹脂板６０のバタツキや温湿度の変動等が加わる実
ラインであるにも拘らず、正確な分析値を得ることがで
きた。また、測定時間は１０秒という短時間で十分であ
った。
【０１０１】
【発明の効果】以上詳述したように本発明に係るオンラ
イン分析方法（１）にあっては、分析対象が第１層又は
第２層にオンラインで蛍光Ｘ線分析が困難な元素である
Ａｌ、Ｍｇ、Ｂ等の軽元素を含有する多層板であって
も、前記２層めっき鋼板にＸ線を異なる角度で照射し、
主に下層を構成する元素の特定の蛍光Ｘ線測定強度を高
い取り出し角で、及び主に上層を構成する元素の特定の
蛍光Ｘ線測定強度を低い取り出し角で同時に測定する方
法をとっているので、高い取り出し角で得た蛍光Ｘ線と
低い取り出し角で得た蛍光Ｘ線が独立となり、付着量や
組成等に関する未知数が既知のＸ線強度の数よりも多く
なる場合でも、前記多層板の各層の付着量及び組成の分
析が可能となる。
イン分析方法（１）にあっては、分析対象が第１層又は
第２層にオンラインで蛍光Ｘ線分析が困難な元素である
Ａｌ、Ｍｇ、Ｂ等の軽元素を含有する多層板であって
も、前記２層めっき鋼板にＸ線を異なる角度で照射し、
主に下層を構成する元素の特定の蛍光Ｘ線測定強度を高
い取り出し角で、及び主に上層を構成する元素の特定の
蛍光Ｘ線測定強度を低い取り出し角で同時に測定する方
法をとっているので、高い取り出し角で得た蛍光Ｘ線と
低い取り出し角で得た蛍光Ｘ線が独立となり、付着量や
組成等に関する未知数が既知のＸ線強度の数よりも多く
なる場合でも、前記多層板の各層の付着量及び組成の分
析が可能となる。
【０１０２】また、第１層中の成分の特定の蛍光Ｘ線を
低い入射角で発生させ、低い取り出し角で測定する方法
をとっているので、第１層が非常に薄いため通常の蛍光
Ｘ線による測定方法では分析が困難な多層板であって
も、Ｘ線が第１層を通過する距離を長くすることがで
き、前記多層板の各層の付着量及び組成の分析が可能と
なる。
低い入射角で発生させ、低い取り出し角で測定する方法
をとっているので、第１層が非常に薄いため通常の蛍光
Ｘ線による測定方法では分析が困難な多層板であって
も、Ｘ線が第１層を通過する距離を長くすることがで
き、前記多層板の各層の付着量及び組成の分析が可能と
なる。
【０１０３】また本発明に係るオンライン分析方法
（２）にあっては、上記（１）記載の方法を基本とし、
前記理論強度計算式に基づいて作成した検量線を使用す
るという上記（１）記載の分析方法よりも簡便な方法を
用いることにより、同様に前記多層板の各層の付着量及
び組成の分析が可能となる。
（２）にあっては、上記（１）記載の方法を基本とし、
前記理論強度計算式に基づいて作成した検量線を使用す
るという上記（１）記載の分析方法よりも簡便な方法を
用いることにより、同様に前記多層板の各層の付着量及
び組成の分析が可能となる。
【０１０４】また本発明に係るオンライン分析装置
（３）にあっては、Ｘ線管球と試料との間に照射Ｘ線強
度を低下させるモノクロメータやコリメータは設置され
ず、スリットのみが配設された蛍光Ｘ線測定手段を有し
ているので、発生する蛍光Ｘ線の強度が増大し、各分析
線の強度を精度良く測定することができる。さらに前記
理論強度計算式導出手段と、前記理論強度近似値算出手
段と、前記分析値算出手段とを有しているので、迅速か
つ高精度で前記多層板の各層の付着量及び組成の分析を
行うことができる。
（３）にあっては、Ｘ線管球と試料との間に照射Ｘ線強
度を低下させるモノクロメータやコリメータは設置され
ず、スリットのみが配設された蛍光Ｘ線測定手段を有し
ているので、発生する蛍光Ｘ線の強度が増大し、各分析
線の強度を精度良く測定することができる。さらに前記
理論強度計算式導出手段と、前記理論強度近似値算出手
段と、前記分析値算出手段とを有しているので、迅速か
つ高精度で前記多層板の各層の付着量及び組成の分析を
行うことができる。
【０１０５】さらに本発明に係るオンライン分析装置
（４）にあっては、上記（３）記載の分析装置を基本と
し、前記理論強度計算式に基づいて予め作成した検量線
を記憶する検量線記憶手段、及び前記検量線に基づいて
分析値を算出する分析値算出手段を備えているので、よ
り簡便な手段により、迅速かつ高精度で前記多層板の各
層の付着量及び組成の分析を行うことができる。
（４）にあっては、上記（３）記載の分析装置を基本と
し、前記理論強度計算式に基づいて予め作成した検量線
を記憶する検量線記憶手段、及び前記検量線に基づいて
分析値を算出する分析値算出手段を備えているので、よ
り簡便な手段により、迅速かつ高精度で前記多層板の各
層の付着量及び組成の分析を行うことができる。
【図１】２層めっき鋼板の分析方法を説明するための模
式的な断面図である。
式的な断面図である。
【図２】本発明において、多層板として２層めっき鋼板
を使用した場合の第１の実施例に係るオンライン分析方
法の各ステップを示したフローチャートである。
を使用した場合の第１の実施例に係るオンライン分析方
法の各ステップを示したフローチャートである。
【図３】多層板として２層めっき鋼板を使用した場合の
第１の実施例に係るオンライン分析装置を示したブロッ
ク構成図である。
第１の実施例に係るオンライン分析装置を示したブロッ
ク構成図である。
【図４】多層板として２層めっき鋼板を使用した場合の
第２の実施例に係るオンライン分析方法の各ステップを
示したフローチャートである。
第２の実施例に係るオンライン分析方法の各ステップを
示したフローチャートである。
【図５】多層板として２層めっき鋼板を使用した場合の
第２の実施例に係るオンライン分析装置を示したブロッ
ク構成図である。
第２の実施例に係るオンライン分析装置を示したブロッ
ク構成図である。
【図６】多層板として２層めっき鋼板を使用した場合の
第１の実施例に係るＡｌ−Ｍｎめっき層の付着量の分析
値を化学分析法による分析値と比較して示したグラフで
ある。
第１の実施例に係るＡｌ−Ｍｎめっき層の付着量の分析
値を化学分析法による分析値と比較して示したグラフで
ある。
【図７】多層板として２層めっき鋼板を使用した場合の
第１の実施例に係るＡｌ−Ｍｎめっき層の組成の分析値
を化学分析法による分析値と比較して示したグラフであ
る。
第１の実施例に係るＡｌ−Ｍｎめっき層の組成の分析値
を化学分析法による分析値と比較して示したグラフであ
る。
【図８】多層板として２層めっき鋼板を使用した場合の
第１の実施例に係るＺｎ−Ｆｅめっき層の付着量の分析
値を化学分析法による分析値と比較して示したグラフで
ある。
第１の実施例に係るＺｎ−Ｆｅめっき層の付着量の分析
値を化学分析法による分析値と比較して示したグラフで
ある。
【図９】多層板として２層めっき鋼板を使用した場合の
第１の実施例に係るＺｎ−Ｆｅめっき層の組成の分析値
を化学分析法による分析値と比較して示したグラフであ
る。
第１の実施例に係るＺｎ−Ｆｅめっき層の組成の分析値
を化学分析法による分析値と比較して示したグラフであ
る。
【図１０】２層塗布アルミナ板の分析方法を説明するた
めの模式的な断面図である。
めの模式的な断面図である。
【図１１】多層板として２層塗布アルミナ板を使用した
場合の第１の実施例に係るオンライン分析方法の各ステ
ップを示したフローチャートである。
場合の第１の実施例に係るオンライン分析方法の各ステ
ップを示したフローチャートである。
【図１２】多層板として２層塗布アルミナ板を使用した
場合の第２の実施例に係るオンライン分析方法の各ステ
ップを示したフローチャートである。
場合の第２の実施例に係るオンライン分析方法の各ステ
ップを示したフローチャートである。
【図１３】多層板として２層塗布アルミナ板を使用した
場合の第１の実施例に係るＩｒ−ＴｉＯ2 金属分散セラ
ミックス層の厚さの分析値を化学分析法による分析値と
比較して示したグラフである。
場合の第１の実施例に係るＩｒ−ＴｉＯ2 金属分散セラ
ミックス層の厚さの分析値を化学分析法による分析値と
比較して示したグラフである。
【図１４】多層板として２層塗布アルミナ板を使用した
場合の第１の実施例に係るＩｒ−ＴｉＯ2 金属分散セラ
ミックス層の組成の分析値を化学分析法による分析値と
比較して示したグラフである。
場合の第１の実施例に係るＩｒ−ＴｉＯ2 金属分散セラ
ミックス層の組成の分析値を化学分析法による分析値と
比較して示したグラフである。
【図１５】多層板として２層塗布アルミナ板を使用した
場合の第１の実施例に係るＩｎ2Ｏ3 −ＭｇＯセラミッ
クス塗布層の厚さの分析値を化学分析法による分析値と
比較して示したグラフである。
場合の第１の実施例に係るＩｎ2Ｏ3 −ＭｇＯセラミッ
クス塗布層の厚さの分析値を化学分析法による分析値と
比較して示したグラフである。
【図１６】多層板として２層塗布アルミナ板を使用した
場合の第１の実施例に係るＩｎ2Ｏ3 −ＭｇＯセラミッ
クス塗布層の組成の分析値を化学分析法による分析値と
比較して示したグラフである。
場合の第１の実施例に係るＩｎ2Ｏ3 −ＭｇＯセラミッ
クス塗布層の組成の分析値を化学分析法による分析値と
比較して示したグラフである。
【図１７】２層蒸着樹脂板の分析方法を説明するための
模式的な断面図である。
模式的な断面図である。
【図１８】多層板として２層蒸着樹脂板を使用した場合
の第１の実施例に係るオンライン分析方法の各ステップ
を示したフローチャートである。
の第１の実施例に係るオンライン分析方法の各ステップ
を示したフローチャートである。
【図１９】多層板として２層蒸着樹脂板を使用した場合
の第２の実施例に係るオンライン分析方法の各ステップ
を示したフローチャートである。
の第２の実施例に係るオンライン分析方法の各ステップ
を示したフローチャートである。
【図２０】多層板として２層蒸着樹脂板を使用した場合
の第１の実施例に係るＳｉＯ2 蒸着層の厚さの分析値を
化学分析法による分析値と比較して示したグラフであ
る。
の第１の実施例に係るＳｉＯ2 蒸着層の厚さの分析値を
化学分析法による分析値と比較して示したグラフであ
る。
【図２１】多層板として２層蒸着樹脂板を使用した場合
の第１の実施例に係るＡｇ−Ｓｎ合金蒸着層の厚さの分
析値を化学分析法による分析値と比較して示したグラフ
である。
の第１の実施例に係るＡｇ−Ｓｎ合金蒸着層の厚さの分
析値を化学分析法による分析値と比較して示したグラフ
である。
【図２２】多層板として２層蒸着樹脂板を使用した場合
の第１の実施例に係るＡｇ−Ｓｎ合金蒸着層の組成の分
析値を化学分析法による分析値と比較して示したグラフ
である。
の第１の実施例に係るＡｇ−Ｓｎ合金蒸着層の組成の分
析値を化学分析法による分析値と比較して示したグラフ
である。
２２ 蛍光Ｘ線強度測定部 ２３ Ｍｏ管球 ２４ Ｃｏ管球 ２５ ソーラースリット ２６ 分光結晶 ２７〜３２ 検出器 ３３ 信号処理手段 ３４ 理論強度近似値算出手段 ３５ 理論強度式算出手段 ３６ 分析値算出手段 ３７ 蛍光Ｘ線測定手段 ３８ 制御部 ４５ 検量線記憶手段
Claims (4)
- 【請求項１】 表面に異なる材質からなる被覆層が２重
に形成された母材にＸ線を異なる角度で照射し、高い取
り出し角及び低い取り出し角において得られる蛍光Ｘ線
強度より各被覆層の付着量及び組成を得る多層板のオン
ライン分析方法であって、 前記Ｘ線照射と同一条件下において主に下層を構成する
元素から発せられる分析線の高い取り出し角での理論強
度及び主に上層を構成する元素から発せられる分析線の
低い取り出し角での理論強度の計算式を予め求める第１
工程と、 該第１工程で対象とした各分析線に関する別の簡易理論
強度換算式を得るために、標準試料より得られた蛍光Ｘ
線測定強度と前記第１工程で求めた理論強度計算式から
得られる蛍光Ｘ線理論強度とから前記簡易理論強度換算
式の各係数を求め、前記一定条件下で前記多層板にＸ線
を照射して得られた各蛍光Ｘ線測定強度を前記簡易理論
強度換算式に代入して理論強度近似値をそれぞれ算出す
る第２工程と、 前記理論強度計算式中のパラメーター群である各被覆層
の付着量と組成とを変化させ、それぞれのパラメーター
群に対応して得られる各蛍光Ｘ線の前記理論強度と前記
理論強度近似値との差の平方をそれぞれ求め、それらを
すべての分析線について合計した量を最小とする前記理
論強度式中の各パラメーターを分析値とする第３工程と
を含むことを特徴とする多層板のオンライン分析方法。 - 【請求項２】 表面に異なる材質からなる被覆層が２重
に形成された母材にＸ線を異なる角度で照射し、高い取
り出し角及び低い取り出し角において得られる蛍光Ｘ線
強度より各被覆層の付着量及び組成を得る多層板のオン
ライン分析方法であって、 前記Ｘ線照射と同一条件下において主に下層を構成する
元素から発せられる分析線の高い取り出し角での理論強
度及び主に上層を構成する元素から発せられる分析線の
低い取り出し角での理論強度計算式を基にし、該理論強
度計算式中のパラメーター群である各被覆層の付着量と
組成のそれぞれにつき個別に、最も相関の強い分析線の
理論強度との関係曲線である検量線を作成する第１工程
と、 該第１工程で対象とした各分析線に関する別の簡易理論
強度換算式を得るために、標準試料より得られた蛍光Ｘ
線測定強度と前記第１工程で求めた理論強度計算式から
得られる蛍光Ｘ線理論強度とから前記簡易理論強度換算
式の各係数を求め、前記一定条件下で前記多層板にＸ線
を照射して得られた各蛍光Ｘ線測定強度を前記簡易理論
強度換算式に代入して理論強度近似値をそれぞれ算出す
る第２工程と、 前記パラメーター群の各パラメーターをそれぞれ一定値
に定めた場合に前記検量線より得られる各分析線の理論
強度と前記理論強度近似値とを比較してその差の平方を
求め、それらをすべての分析線について合計した量を最
小とする前記各パラメーターを分析値とする第３工程と
を含むことを特徴とする多層板のオンライン分析方法。 - 【請求項３】 請求項１記載の多層板のオンライン分析
方法に用いられる分析装置であって、 Ｘ線を発生するＸ線発生部と、Ｘ線のパスラインを決
め、多層板に所定の入射角で投射し、所定の取り出し角
で受光するためのスリット系と、前記多層板の主に下層
から発生する蛍光Ｘ線及びバックグランド強度を高い取
り出し角で検出する複数個の検出器と、前記多層板の主
に上層から発生する蛍光Ｘ線及びバックグランド強度を
低い取り出し角で検出する複数の検出器とを備えた蛍光
Ｘ線強度測定部及び該蛍光Ｘ線強度測定部の制御を行う
制御部からなる蛍光Ｘ線測定手段を有し、 さらに、前記高い取り出し角で検出する分析線及び低い
取り出し角で検出する分析線のそれぞれについて、分析
時と同一の条件下における理論強度計算式を求める理論
強度計算式導出手段と、 該理論強度計算式導出手段で対象とした各分析線に関す
る別の簡易理論強度換算式を記憶し、標準試料を対象と
して前記蛍光Ｘ線測定手段を作動させることにより検出
された各蛍光Ｘ線測定強度と前記標準試料の蛍光Ｘ線理
論強度とから前記簡易理論強度換算式の各係数を求め、
次に前記多層板を対象として前記蛍光Ｘ線測定手段を作
動させることにより検出された各蛍光Ｘ線測定強度を前
記簡易理論強度換算式に代入して理論強度近似値をそれ
ぞれ算出する理論強度近似値算出手段と、 前記理論強度計算式中のパラメーター群である各被覆層
の付着量と組成とを変化させ、それぞれのパラメーター
群に対応して算出される各分析線の理論強度と前記理論
強度近似値との差の平方をそれぞれ求め、それらをすべ
ての分析線について合計した量を最小とする前記理論強
度式中の各パラメーターを分析値とする分析値算出手段
とを備えていることを特徴とするオンライン分析装置。 - 【請求項４】 請求項２記載の多層板のオンライン分析
方法に用いられる分析装置であって、 Ｘ線を発生するＸ線発生部と、Ｘ線のパスラインを決
め、多層板に所定の入射角で投射し、所定の取り出し角
で受光するためのスリット系と、前記多層板の主に下層
から発生する蛍光Ｘ線及びバックグランド強度を高い取
り出し角で検出する複数の検出器と、前記多層板の主に
上層から発生する蛍光Ｘ線及びバックグランド強度を低
い取り出し角で検出する複数の検出器とを備えた蛍光Ｘ
線強度測定部及び前記蛍光Ｘ線強度測定部の制御を行う
制御部からなる蛍光Ｘ線測定手段を有し、 さらに、前記高い取り出し角で検出する分析線及び低い
取り出し角で検出する分析線のそれぞれについて、分析
時と同一条件下で作成した前記理論強度計算式中のパラ
メーター群である各被覆層の付着量と組成のそれぞれに
つき個別に、最も相関の強い分析線の理論強度との関係
曲線である検量線を記憶する検量線記憶手段と、 該検量線記憶手段で対象とした各分析線と同じ分析線に
関する別の簡易理論強度換算式を記憶し、標準試料を対
象として前記蛍光Ｘ線測定手段を作動させることにより
検出された各蛍光Ｘ線測定強度と前記標準試料の蛍光Ｘ
線理論強度とから前記簡易理論強度換算式の各係数を求
め、次に前記多層板を対象として前記蛍光Ｘ線測定手段
を作動させることにより検出された各蛍光Ｘ線測定強度
を前記簡易理論強度換算式に代入して理論強度近似値を
それぞれ算出する理論強度近似値算出手段と、 前記パラメーター群の各パラメーターをそれぞれ一定値
に定めた場合に前記検量線より得られる各分析線の理論
強度と前記理論強度近似値とを比較してその差の平方を
求め、それらをすべての分析線につき合計した量を最小
とする前記各パラメーターを分析値とする分析値算出手
段とを備えていることを特徴とするオンライン分析装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13315494A JPH085582A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | 多層板のオンライン分析方法及びオンライン分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13315494A JPH085582A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | 多層板のオンライン分析方法及びオンライン分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH085582A true JPH085582A (ja) | 1996-01-12 |
Family
ID=15097974
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13315494A Pending JPH085582A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | 多層板のオンライン分析方法及びオンライン分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085582A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007292749A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-11-08 | Fukui Prefecture | 多層薄膜の分析方法ならびに装置 |
-
1994
- 1994-06-15 JP JP13315494A patent/JPH085582A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007292749A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-11-08 | Fukui Prefecture | 多層薄膜の分析方法ならびに装置 |
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