JPH02257045A

JPH02257045A - メッキ鋼板のメッキ付着量およびメッキ被膜組成の測定方法およびその測定装置

Info

Publication number: JPH02257045A
Application number: JP7996489A
Authority: JP
Inventors: Katsuyuki Nishifuji; 西藤　勝之; Kiyotaka Imai; 清隆今井; Hiroharu Katou; 宏晴加藤; Tadaaki Hattori; 服部　忠昭
Original assignee: NKK Corp; Nippon Kokan Ltd
Current assignee: JFE Engineering Corp
Priority date: 1989-03-30
Filing date: 1989-03-30
Publication date: 1990-10-17
Anticipated expiration: 2010-11-22
Also published as: JPH07109406B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、メッキ鋼板のメッキ（＝１着量およびメッキ
被膜組成をオンラインで測定するメッキ鋼板のメッキ（
−１着量およびメッキ被膜組成の測定方法およびその測
定装置に係わり、特にメッキ被膜が下地金属と同じ成分
を含む場合の分析に有効なメッキ鋼板のメッキ付着量お
よびメッキ波膜組成の測定方法およびその測定装置に関
する。

〔従来の技術〕

この種のメッキ鋼板のメッキ刊着量やメッキ波膜組成を
測定する場合、蛍光Ｘ線分析法が用いられている。この
蛍光Ｘ線分析法はＺｎメッキ鋼板やＺｎ−Ｎｉメッキ鋼
板の如くメッキ被膜が下地金属を含まないものについて
はオンラインでメッキ４７１着量やメッキ被膜組成を測
定することが可能である。

しかし、近年、ｚｎ−ｒｅ合金メッキ鋼板が耐食性、加
工性等で優れた特性を有することが注目されてきている
が、蛍光Ｘ線分析法ではメッキ彼膜中のＦｅによる蛍光
Ｘ線と下地のＦｅによる蛍光Ｘ線との区別がつけ難く、
ひいては蛍光Ｘ線強度とメッキ付着量、メッキ被膜組成
との関係を対応づけることが困難であり、オンラインで
分析することか難しい。

そこで、従来１以上のような不具合を解決する方法とし
て、次の２つの分析法が提案されている。

その１つは、Ｚｎ−Ｆｅ合金メッキ鋼板」二に多数の波
長をもった。いわゆる白色Ｘ線を照射した後、そのメッ
キ鋼板の下地金属からの蛍光Ｘ線がＸ線侵入深さの点か
ら実質的に検出されない第１の／ｌ１ｌｌ定角と、下地
金属からの蛍光Ｘ線か検出できる第２の測定角とにおい
てそれぞれＩ（系列の蛍光Ｘ線の強度を測定し、この両
側定値に基づいてメッキ付ｆＨｍおよびメッキ被膜組成
を求めるオンライン分析法である（特開昭５８−２２３
０４７号公報）。

他の１つは、Ｚｎ−Ｆｅ合金メッキ鋼板において、被膜
による吸収を利用して下地のα−Ｆｅの回折Ｘ線からメ
ッキ付着量を求め、さらにメッキ肢ｊ摸中のＺｎ−Ｆｅ
合金Ｊ・ＩＪおよびη相から選ばれた１つ以」二の相の
回折Ｘ線強度からメッキ被膜組成を求める方法である（
特開昭ＧＯ−１６９５５３号公報）。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、以上のように２つの＃ＩＩＪ定角を用いた蛍光
Ｘ線分析法は、入射Ｘ線として白色Ｘ線を用いているた
めに次のような問題が指摘されている。

先ず、前者の蛍光Ｘ線分析法では、 ■−１白色Ｘ線中の高エネルギーのＸ線は、メッキ被膜
中での減衰が小さいために侵入深さか大きいといった性
質を有しており、そのため下地金属からの蛍光Ｘ線が検
出されない第１の測定角は５°以内と非常に小さくする
必要があるので、鋼板面の」二下動、つまりバタツキに
よる測定距離の変動および測定角の変動の影響を受けや
すい問題がある。

■−２また、メッキ（＝１着量及びメッキ被膜組成は、
メッキ鋼板に実際にＸ線を入射して得られる実４１１強
度と予め周知の理論強度計算式に与えて得られる理論強
度とを比較演算して求めることが考えられるが、理論強
度の計算の際、Ｘ線管の経時変化などによる入射Ｘ線の
スペクトル変動の影響を受けるので測定精度が低下する
問題がある。

■−３また、分析値を求めるに際して測定された実７１
１１蛍光Ｘ線強度と、周知の理論強度計算式から計算さ
れる理論蛍光Ｘ線強度との比較演算により分析値を求め
る場合、理論強度の計算において波長積分が必要なため
に計算時間が長くなり、ひいては／ｌ１１１定時間の増
加は否めない。

■−４さらに、前記■−２で指摘した問題を回避するた
めに、校正曲線を用いる方法があるが、この方法はマト
リクス効果を考慮したモデルの作成に２０〜３０種類の
標準試料が必要となり、非常に煩雑な分析法とならざる
を得ない。

一方、後者の回折Ｘ線による分析法では、■−１下地の
α−Ｆｅの回折Ｘ線強度は、メッキ付着量だけでなく、
鋼板の鋼種や板厚、メッキ鋼板の製造条件等により異な
る集合組織やメッキ被膜組成に依存し、測定精度の面で
問題がある。

■−２一方、合金相の回折Ｘ線強度はメッキ条件により
異なり、また溶融メッキ材と電気メッキ材では合金の構
造や組成が異なり、この場合にも同様に十分な測定精度
が得られない。

本発明は以上のような問題を解決するためになされたも
ので、メッキ鋼板表面の変動の影響を低減化でき、かつ
、分析精度の向上および分析時間の短縮化が図れ、少な
い標準試料を用いて確実にメッキ付着量およびメッキ被
膜組成を取得しうるメッキ鋼板のメッキ付着量およびメ
ッキ被膜組成の測定方法を提供することを目的とする。

また、他の発明であるメッキ鋼板のメッキ付着量および
メッキ被膜組成の」す定装置の目的とするところは、簡
単な構成を用いてオンラインでメッキ付着量およびメッ
キ被膜組成を精度良く測定することにある。

〔課題を解決するための手段および作用〕本発明方法は
」二記課題を解決するために、メッキ鋼板に所定の入射
角で単色のＸ線を入射した場合に得られる。２種類の所
定の測定角での分析口的元素のに系列の蛍光Ｘ線強度又
は強度比の理論計算式のほか、メッキ伺着量およびメッ
キ被膜組成を既知とする標準試料を用いて前記理論計算
式を求めたと同じ条件で蛍光Ｘ線強度又は強度比を実測
し、この実測値と前記理論計算式とに基づいて実測値を
理論計算値に換算するための変換係数を予め求めておく
。

以上のようにして理論計算式および変換係数を求めた後
、メッキ付着量およびメッキ被膜組成を未知とする被測
定メッキ鋼板に対し、前記理論計算式を求めたのと同じ
測定条件を用、いて当該被測定メッキ鋼板から得られる
蛍光Ｘ線強度又は強度比を測定し、その後、この蛍光Ｘ
線強度又は強度比を変換係数を用いて理論強度又は強度
比に変換する。そして、前記理論計算式より得られる理
論強度又は強度比を、前記変換された理論強度又は強度
比に最も近づける、理論計算式中のパラメーターである
メッキ付着間およびメッキ被Ｈ＃１成をもって前記被測
定メッキ鋼板のメッキ付着量およびメッキ被膜組成とす
るものである。

また、他の発明方法においては、予めメッキ鋼板に所定
の入射角で単色のＸ線を入射した場合に得られる、２種
類の所定の測定角での分析］」重元素のに系列の蛍光Ｘ
線強度又は強度比の検量線をメッキ付着量およびメッキ
被膜組成をパラメータとして求めておき、しかる後、メ
ッキ（＝１着量およびメッキ被膜組成を未知とするｉｔ
　ａｌｌ＋定メッキメッキ鋼板、前記検量線を求めたの
と同じ測定条件で当該被測定メッキ鋼板から得られる蛍
光Ｘ線強度又は強度比を測定する。さらに、検量線より
得られる蛍光Ｘ線強度又は強度比を、前記測定された蛍
光Ｘ線強度又は強度比に最も近づける、検量線中のパラ
メータ〜であるメッキ付着ｍおよびメッキ被膜組成をも
って前記被測定鋼板のメッキ付着量およびメッキ被膜組
成とするものである。

本発明装置においては、Ｘ線を発生するＸ線発生部と、
このＸ線発生部から発生ずるＸ線を単色化するモノクロ
メータと、Ｘ線のパスラインを決めメッキ鋼板に所定の
入射角で投射し所定の受光角で受光するスリット系と、
メッキ鋼板から発生する分析［１的元素のに系列蛍光Ｘ
線強度を異なる角度で測定する２個の検出器と、これら
の測定系で得られるべき理論強度又は強度比の理論計算
式を記憶する手段と、実際に測定された蛍光Ｘ線強度又
は強度比を理論強度又は強度比に変換する手段と、この
変換された理論強度又は強度比と理論計算式より得られ
る理論強度又は強度比の差を最小にするメッキ付着量お
よびメッキ被膜組成を求める手段とを備えたものである
。

従って、このような手段を講じたことにより、Ｘ線発生
部から発生されたＸ線をスリットを通してモノクロメー
タで単色化し所定の入射角で被測定メッキ鋼板へ入射し
、これによって被測定メッキ鋼板から発生する分析ｉ」
重元素のに系列蛍光Ｘ線強度を２個の検出器を用いて異
なる所定の受光角で検出する。

そして、この２個の検出器で測定した蛍光Ｘ線強度又は
強度比を理論強度又は強度比を変換し、またメッキ付着
量およびメッキ被膜組成を可変パラメータとして理論計
算式により理論強度又は強度比を計算し、この計算値が
前記変換値に最も近づくパラメータから被測定メッキ鋼
板のメッキ付着ｍおよびメッキ被膜組成を得るものであ
る。

また、他の本発明装置においては、Ｘ線発生部、モノク
ロメータ、スリット系および２個の検出器等からなる測
定系のほか、これらの測定系で得られるべき理論強度又
は強度比の検量線を記憶する記憶手段と、実際に測定さ
れる蛍光Ｘ線強度又は強度比と検量線より得られる蛍光
Ｘ線強度又は強度比の差を最小にするメッキ付着量およ
びメッキ被膜組成を求める手段とを備えたものである。

この装置では、理論計算式に代えて検量線を用いて上記
とほぼ同一の信号処理手段により、被Ａｌ１１定メッキ
鋼板のメッキ付着量およびメッキ被膜組成を／１１り定
する。

〔実施例〕

以下、本発明の詳細な説明するに先立ち、オンライン測
定に適したものとするため、次のような条件を満たす測
定系で構成するものとする。

（イ）　入射Ｘ！！ｉｌは市販のＸ線管を用いて十分な
蛍光Ｘ線強度が得られること。

（ロ）　Ｘ線入射角、蛍光Ｘ線取出角等の測定角はオン
ラインで実現可能な／測定角、つまり５°以上とするこ
と。

また、メッキ鋼板から発生する蛍光Ｘ線の強度は放射線
検出器で測定するが、望ましくは牛導体検出器を用いて
Δ１１定する。

以下、Ｚｎ−Ｆｅ合金メッキ鋼板のメッキ付着量および
メッキ被膜組成（Ｆｅ％）を測定する方法の実施例につ
いて説明する。

すなわち、この測定方法は、第１図および第２図に示す
如く被測定メッキ鋼板１１」二に単色化処理した波長λ
１．λ２のＸ線を入射角φ１．φ２で照射し、このとき
被測定メッキ鋼板１１から発生するＦｅｋａ線の強度お
よびＺｎｋａ線の強度を受光角ψ１．ψ２で測定する。

そこで、この測定角（φ１．ψ１）の条件下で測定した
Ｆｅｋａ線強度、Ｚｎ１ｃａ線強度をそれぞれＩ　、Ｉ
　とＰｅ　　　Ｚｎし、また測定角（φ２．ψ２）の条件下でΔ１り定した
Ｆｃｋａ線強度、Ｚｎｋａ線強度をＩ２．Ｉ２Ｐｃ　　
　　　Ｚｎとし、Ｘ】＝Ｉ　／Ｉ　、Ｘｌ−Ｉｉ、。／Ｉン。なる演算Ｆ
ｅ　　　Ｚｎを行う（ステップＳ１．）。さらに、このＸｌＸ２を用
いて理論値Ｙ１．Ｙ２に変換する。ここで、Ｘｌ、Ｘｌ
を理論値Ｙ１．Ｙ２に変換するに際し、理論値とはホリ
定条件と同じＸ線波長、Ｘ線強度、幾何学的条件で測定
した場合に得られる蛍光Ｘ線強度を、メッキ鋼板のメッ
キ付着量およびメッキ被膜組成をパラメータとして理論
計算式により計算し、この値に基づいて前記Ｘ　１　、
　Ｘ　２に対応する値として求めたものである。実際の
測定値は検出器の感度特性、スリット系の影響等により
これらの理論強度とは異なった値となる。

そこで、本発明方法では、以下の換算式を用いて実測値
Ｘ１．Ｘｌを理論値Ｙ、、Ｙ２に変換する（ステップＳ
２）。

Ｙｌ−ａ１Ｘ１＋ｂ１Ｙ２−　ａ　２　Ｘｌ　＋ｂ　２なお、」−式においてａｌ、ａ２　、ｌ）］　、　　ｂ
２は変換係数であって、これはメッキ付着量およびメ］
５ツキ被膜組成を既知とする予め標準試料を用い、前記理
論計算式を求めたのと同じ条件で蛍光Ｘ線強度又は強度
比を実測し、前記理論計算式を用いて実測値を理論強度
又は強度比に換算することにより求める。すなわち、標
準試料のメッキ付着量およびメッキ被膜組成を用いて理
論計算式により計算した値をＹ、、Ｙ２とし、実測蛍光
Ｘ線強度から計算したＸｌ、Ｘｌとの間に上記式が成立
するように２回帰分析等によって変換係数ａｉｒ８２、
ｂｌ、ｂ２を予め求めておく。

このように理論計算式を使用し、実際の測定系との差を
標準試料を使用して構成する方法を採用したので、少な
い数の標準試料により、メッキ付着量およびメッキ被膜
組成と蛍光Ｘ線強度又は強度比の関係式を求めることが
できる。

次に、ステップＳ２において理論値Ｙ、、ｙ２を求めた
ならば、引き続き、メッキ付’ｆＪ　ｆｆｉおよびＦｅ
％を可変したパラメータＰ　ｋ（ｋ−１）を用いて、既
存の蛍光Ｘ線強度計算式から上記Ｙ１．Ｙ２に対応する
Ｙ１’、Ｙ２を求める（ステップＳ３゜Ｓ４）。しかる
後、ステップＳ５に移行し、ここでは、なる演算を行い、さらにパラメータＰｋを変えて同様な
演算を行い（ステップＳ６．Ｓ４．Ｓ５）、これら演算
値の中で最も小さくなる演算値のときのパラメータの値
を決定しくステップＳ７）、この決定パラメータ値をも
ってメッキ（＝ｊ前着間よびＦｅ％とすることにより、
被測定メッキ鋼板１１のメッキ付着量およびメッキ被覆
組成を得るものである。

次に、以上のような測定方法を用いたときの分析結果に
ついて具体的に説明する。今、Ｘｌの測定条件として例
えば入射Ｘ線の波長λ１＝１．２６人、４１１１定角（
φ１．ψ、）＝（１５゜４５°）とし、Ｘｌの測定条件
として例えば入射Ｘ線の波長λ２＝０．７１人、測定角
（φ２゜ψ２）＝（７５°、６０°）とする。なお、Ｘ
ｌに対してはタングステンターゲットを持つＸ線管を、
Ｘｌに対してはモリブデンターゲットを持つＸ線管を用
いれば、波長λ１．λ２はそれぞれＷＬβ線、Ｍ、）ｌ
ｃα線近傍の波長となり、前述した条件（イ）を満足さ
せることができる。

一方、２つの測定角のうち低角度側の測定角（φ１．ψ
１）は、メッキ被膜に対する減衰が大きく侵入深さが小
さい波長λ］＝１．２６人を用いているために（１５°
　４５°）となり、前述した条件（ロ）を十分に満足す
る測定角とすることができ、その結果、メッキ鋼板１１
面のバタツキによる測定距離変動およびｍｌｌ定角度変
動の影響を小さくできる。

なお、ＸｌとＸｌで、メッキ付着量およびＦａ％に対す
る特性に差があるほど精度は向上するので、λ２はλ１
に比べてメッキ被膜に対する減衰が小さい波長とし、測
定角（φ２．ψ２）も（φ１．ψ１）に比べて大きい角
度とし、蛍光Ｘ線を検出できる最大深さ、つまり分析深
さを大きくした。さらに、測定距離変動を小さくするた
めには、入射Ｘ線のビーム径を小さくし、かつ、検出器
の視野を大きくし、測定距離変動に拘らず入射Ｘ線を照
射している全ての部分からの蛍光Ｘ線を検出することが
望ましい。そこで、入射側はφ２、Ｏｍ＋ｎのピンホー
ルコリメータ、受光側は検出器の窓を開放とすることに
より実現できる。

さらに、もう１つの本発明方法としては、多数の標準試
料を使用することが可能な場合、前記理論計算式に代え
て、標準試料を使用してメッキ付着量およびメッキ被膜
組成と蛍光Ｘ線強度又は強度比の関係式すなわち検量線
を用いて、被測定メッキ鋼板１１のメッキ付着量および
メッキ被膜組成を＊めてもよい。

次に、本発明装置の実施例について第３図を参照して説
明する。同図において１１は被測定メッキ鋼板であって
、このメッキ鋼板１１の」二部に測定系１２が設置され
ている。この測定系１２には所定の方向にＸ線を発生ず
る２個のＸ線管２１３１と、このＸ線管２１．３１から
スリットとじて機能するピンホールコリメータ２２．３
２を介して入射される白色Ｘ線を単色化し、かつ、この
単色化処理したＸ線を所望の入射角度で被測定メ］９ツキ鋼板１１へ入射するモノクロメータ２３゜３３と、
被測定メッキ鋼板］１から得られた蛍光Ｘ線強度を幅可
変の平板スリット２４．３４を介して４１す定する検出
器２５．３５とによって構成されている。２６．３６は
ピンホールコリメータである。また、これらＸ線管２１
，３１．モノクロメータ２３．３３、スリット２２，２
４，３２゜３４、検出器２５．３５等は駆動制御部１３
からの駆動制御信号で位置調整可能となっている。

］４は信号処理手段であって、これは２個の検出器２５
．３５で測定された蛍光Ｘ線強度又は強度比を理論強度
又は強度比、つまり理論値に変換する理論値変換手段１
５、メッキ付着量およびＦｅ％を可変パラメータとして
既存の蛍光Ｘ線強度計算式により理論値を計算する理論
値計算手段１６、前記理論値変換手段１５で得た理論値
と理論値計算手段１６で得られた理論値とが等しくなる
パラメータを決定する決定するパラメータ値決定手段１
７等によって構成され、このパラメータ値をメッキ付着
量およびメッキ被膜組成とすることにより、被測定メッ
キ鋼板のメッキ（・１石針およびメッキ被膜組成を得る
ものである。

次に、以上のように構成された装置に動作を説明する。

２つのＸ線管２］、、３１から白色Ｘ線を発生すると、
この白色Ｘ線はピンホールコリメタ２２．３２を通り、
モノクロメータ２３．３３で単色化された後、被測定メ
ッキ鋼板１１にそれぞれ入射角φ１＝１０〜３０°、φ
２＝４５〜９０°なる角度で照射される。なお、Ｘ線管
２］としてタングステンターゲットを用い、これにより
モノクロメータ２３からメッキ被膜に対して減衰が大き
いＷＬβ線近傍の波長のＸ線を取出して被測定メッキ鋼
板１１への入射Ｘ線とし、一方、Ｘ線管３１側ではモリ
ブデンターゲットを用い、これによりモノクロメータ３
３からＷＬβ線に比べてメッキ被膜に対して減衰がはる
かに小さいＭｏｋα線近傍の波長のＸ線を取出して被測
定メッキ鋼板１１への入射Ｘ線とする。

そして、以」二のように単色化処理されたＸ線を照射後
、被測定メッキ鋼板１］から発生するＺｎ。

２］Ｆｅのにα線強度をそれぞれ受光角ψ１＝３０〜６０°
、ψ２−４５〜９０°の角度をもって検出器２５．３５
で検出する。しかる後、理論値変換手段１５を用いて雨
検出器２５．３５で得られた蛍光Ｘ線強度等に基づいて
前記Ｘｌ　＋　Ｘ　２を求めた後これを理論値に変換し
、パラメータ値決定手段１７に送出する。一方、理論値
計算手段］６ではメッキイ・１着量およびＦｅ％を順次
可変パラメータとしながら既存の蛍光Ｘ線強度計算式に
より理論値を求めながらパラメータ値決定手段１７に送
出する。そこで、このパラメータ値決定手段１７では、
理論値変換手段１５から送られてくる理論値と順次理論
値計算手段１６でパラメータを変えて得られる理論値と
を用いて所定の演算を実行し、両理論値が等しくなると
きのパラメータ値を決定し、このパラメータ値から被測
定メッキ鋼板１１のメッキ付着量およびメッキ被膜組成
を得るものである。

因みに、第４図および第５図は第３図の装置を用いて得
られた分析結果を示す図である。この第４図および第５
図は上記装置を用いてモノクロメタ２３．３３で波長λ
］＝］、、２６人、λ２−０．７１人とし、かつ、それ
ぞれの測定角を（φ１．ψ１）＝　（１５°、４５°）
、（φ２゜ψ２）＝（７５°、６０°）とした例であっ
て、そのうち第４図はメッキ（＝１石量、第５図はメッ
キ被膜組成を示す。従って、これらの図から明らかなよ
うに、測定距離変動、測定角度変動および温湿度変動等
を加わる実ラインであるにも拘らず、測定時間１０秒と
いう短い時間で高粘度に測定できる。また、この分析値
はＦ　（３またはＺｎの蛍光Ｘ線強度ではなく、Ｆｅお
よびＺ　ｎの蛍光Ｘ線の強度比から求めたが、この強度
比をとることにより温湿度変動、経時変化の影響を低減
できる。

なお、本発明装置は理論旧線式を用いて行ったか、この
理論計算式に代えて検量線を用いて行ってもよい。

その他、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々変形
して実施できる。

〔発明の効果〕

以」−説明したように本発明によれば次のような種々の
効果を奏する。

先ず、請求項１，２においては、単色化処理によってメ
ッキ被膜による吸収の大きな波長のＸ線を取りだして被
測定メッキ鋼板に照射するので、従来に比べて大きな測
定角で蛍光Ｘ線強度を測定でき、被測定メッキ鋼板のバ
タツキによる測定距離変動および測定角変動の影響を低
減でき、かつ、入射Ｘ線のスペクトル変動の影響が少な
く、かつ、波長積分を必要としないので測定精度の向」
二および測定時間の短縮化を図ることができる。また、
測定上必要な標準試料は実測値から理論値への変換パラ
メータを求めるために数種類でよく、オンラインに適す
るものである。

次に、請求項３，４においては、非常に簡単な構成で、
かつ、オンラインで被測定メッキ鋼板のメッキ付４’ｊ
　ＭＬおよびメッキ被膜組成を高精度に測定でき、メッ
キ製品の品質向」二に大きく貢献させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法を用いたときのＸ線と彼Ａ１１ｌ定
メッキ鋼板との関係を表す図、第２図は同じく本発明方
法による分析動作を説明する図、第３図は本発明装置の
一実施例を示す構成図、第４図および第５図は本発明装
置“を用いて１１￥られた分析結果図である。］１・・・被測定メッキ鋼板、１２・・測定系、２１３
１・・Ｘ線管、２’３．３３・・・モノクロメータ、２
５．３５・・・検出器、１３・・・駆動制御部、１４・
・・信号処理手段、１５・・理論値変換手段、１６・・
・理論値計算手段、１７・・・パラメータ値決定手段。出願人代理人　弁理士　鈴ｒＬ武彦謬弛攪佃７ＯＩＩＣ壷や戴駒

Claims

【特許請求の範囲】

（１）以下の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）の工程を
有してなるメッキ鋼板のメッキ付着量およびメッキ被膜
組成の測定方法。（ａ）メッキ鋼板に所定の入射角で単色のＸ線を入射し
た場合に得られる、２種類の所定の測定角での、分析目
的元素のに系列の蛍光Ｘ線強度又は強度比の理論計算式
を予め定めておく工程、（ｂ）メッキ付着量およびメッ
キ被膜組成が既知の標準試料を用い、前記理論計算式を
求めたのと同じ条件で、蛍光Ｘ線強度又は強度比を実測
し、この実測値と前記理論計算式より、前記実測値を理
論計算値に換算する変換係数を予め求めておく工程、（ｃ）前記理論計算式を求めたのと同じ条件で、メッキ
付着量およびメッキ被膜組成が未知の被測定メッキ鋼板
から得られる前記蛍光Ｘ線強度又は強度比を測定し、前
記変換係数を使用して理論強度又は強度比に変換する工
程、（ｄ）理論計算式より得られる理論強度又は強度比を、
前記変換された理論強度又は強度比に最も近づける、理
論計算式中のパラメーターであるメッキ付着量および被
膜組成を、前記被測定鋼板のメッキ付着量およびメッキ
被膜組成とする工程。
（２）以下の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の工程を有してな
るメッキ鋼板のメッキ付着量およびメッキ被膜組成の測
定方法。（ａ）メッキ鋼板に所定の入射角で単色のＸ線を入射し
た場合に得られる、２種類の所定の測定角での、分析目
的元素のｋ系列の蛍光Ｘ線強度又は強度比の検量線をメ
ッキ付着量およびメッキ被膜組成をパラメータとして予
め求めておく工程、（ｂ）前記検量線を求めたのと同じ
条件で、メッキ付着量およびメッキ被膜組成が未知の被
測定メッキ鋼板から得られる前記蛍光Ｘ線強度又は強度
比を測定する工程、（ｃ）検量線より得られる蛍光Ｘ線強度又は強度比を、
前記測定された蛍光Ｘ線強度又は強度比に最も近づける
、検量線中のパラメーターであるメッキ付着量およびメ
ッキ被膜組成を、前記被測定メッキ鋼板のメッキ付着量
およびメッキ被膜組成とする工程。
（３）Ｘ線を発生するＸ線発生部と、このＸ線発生部か
ら発生するＸ線を単色化するモノクロメータと、Ｘ線の
パスラインを決めメッキ鋼板に所定の入射角で投射し所
定の受光角で受光するスリット系と、メッキ鋼板から発
生する分析目的元素のに系列蛍光Ｘ線強度を異なる角度
で測定する２個の検出器と、これらの測定系で得られる
べき理論強度又は強度比の理論計算式を記憶する手段と
、実際に測定された蛍光Ｘ線強度又は強度比を理論強度
又は強度比に変換する手段と、この変換された理論強度
又は強度比と理論計算式より得られる理論強度又は強度
比の差を最小にするメッキ付着量およびメッキ被膜組成
を求める手段とを有してなるメッキ鋼板のメッキ付着量
およびメッキ被膜組成の測定装置。
（４）Ｘ線を発生するＸ線発生部と、このＸ線発生部か
ら発生するＸ線を単色化するモノクロメータと、Ｘ線の
パスラインを決めメッキ鋼板に所定の入射角で投射し所
定の受光角で受光するスリット系と、メッキ鋼板から発
生する分析目的元素のに系列蛍光Ｘ線強度を異なる角度
で測定する２個の検出器と、これらの測定系で得られる
べき理論強度又は強度比の検量線を記憶する手段と、実
際に測定される蛍光Ｘ線強度又は強度比と検量線より得
られる蛍光Ｘ線強度又は強度比の差を最小にするメッキ
付着量およびメッキ被膜組成を求める手段とを有してな
るメッキ鋼板のメッキ付着量およびメッキ被膜組成の測
定装置。
（５）スリット系は、入射側にピンホールコリメータ、
受光側に幅可変の平板スリットを有してなる請求項３又
は請求項４に記載のメッキ鋼板のメッキ付着量およびメ
ッキ被膜組成の測定装置。