JPH0854190A - Heat treating box and vertical heat treating furnace - Google Patents
Heat treating box and vertical heat treating furnaceInfo
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- JPH0854190A JPH0854190A JP21055294A JP21055294A JPH0854190A JP H0854190 A JPH0854190 A JP H0854190A JP 21055294 A JP21055294 A JP 21055294A JP 21055294 A JP21055294 A JP 21055294A JP H0854190 A JPH0854190 A JP H0854190A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本願発明は、熱処理匣及び熱処理
炉に関し、詳しくは、セラミック電子部品などの予備焼
成や本焼成などに用いられる熱処理匣及び縦型熱処理炉
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a heat treatment box and a heat treatment furnace, and more particularly, to a heat treatment box and a vertical heat treatment furnace used for pre-firing and main firing of ceramic electronic parts and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】セラミ
ック電子部品用の熱処理炉の一つに、例えば図６に示す
ような縦型熱処理炉がある。この縦型熱処理炉は、ヒー
タ５１、断熱材５２及び外壁材５３を備えてなる炉本体
５４と、該炉本体５４を貫通するように配設された、所
定の位置に雰囲気制御用のガス打込みパイプ５５を備え
た炉芯管５６と、炉芯管５６の内部に多数積み重ねられ
た熱処理匣５７とを備えて構成されている。そして、こ
の縦型熱処理炉においては、熱処理が済んだ熱処理匣５
７を炉芯管５６の下端側から取り出すとともに、炉芯管
５６の上端側から新たな被熱処理物の入った熱処理匣５
７を供給することにより、連続的に熱処理を行うことが
できるように構成されている。2. Description of the Related Art One of the heat treatment furnaces for ceramic electronic parts is a vertical heat treatment furnace as shown in FIG. 6, for example. This vertical heat treatment furnace has a furnace body 54 including a heater 51, a heat insulating material 52 and an outer wall material 53, and a gas injection for atmosphere control at a predetermined position which is arranged so as to penetrate the furnace body 54. A furnace core tube 56 having a pipe 55 and a plurality of heat treatment boxes 57 stacked inside the furnace core tube 56 are configured. In this vertical heat treatment furnace, the heat treatment box 5 which has been heat treated
7 is taken out from the lower end side of the furnace core tube 56, and a heat treatment box 5 containing new heat-treated material from the upper end side of the furnace core tube 56.
By supplying 7, the heat treatment can be continuously performed.
【０００３】ところで、上記従来の縦型熱処理炉におい
ては、熱処理匣５７を搬送するためのガイドとして、ま
た、雰囲気の封じ込め及び周囲部材の汚染防止のため
に、炉本体５４内に炉芯管５６が配設された構造を有し
ているが、その構造上、以下に述べるような問題点を有
している。By the way, in the conventional vertical heat treatment furnace, a furnace core tube 56 is provided in the furnace body 54 as a guide for conveying the heat treatment box 57 and for containing the atmosphere and preventing contamination of surrounding members. However, due to the structure, there are problems as described below.
【０００４】炉芯管５６は、通常、セラミックからな
る長尺パイプであり、大きな曲りや反りなどのないもの
を使用しなければならないため、容易に製造することが
できず、コストの増大を招く。The furnace core tube 56 is usually a long pipe made of ceramics, and must be one without large bending or warping, so that it cannot be easily manufactured, resulting in an increase in cost. .
【０００５】被熱処理物の蒸気を吸着するため、被熱
処理物の種類ごとに炉芯管５６を交換する必要があり、
多種少量生産の場合には、炉の稼働率が極端に低下す
る。また、交換を容易にするために炉全体の設計の自由
度が低下し、コストを押し上げる要因となる。In order to adsorb the vapor of the object to be heat treated, it is necessary to replace the furnace core tube 56 for each type of the object to be heat treated.
In the case of a wide variety of small-scale production, the operating rate of the furnace is extremely reduced. In addition, the degree of freedom in designing the entire furnace is reduced to facilitate replacement, which causes a cost increase.
【０００６】炉芯管５６が破損した場合に、復旧に手
間がかかり、効率が悪い。When the furnace core tube 56 is damaged, it takes time and effort to restore it, resulting in poor efficiency.
【０００７】本願発明は、上記問題点を解決するもので
あり、炉芯管が不要で、被熱処理物を効率よく熱処理す
ることが可能な縦型熱処理炉及び該縦型熱処理炉に用い
るのに適した熱処理匣を提供することを目的とする。The present invention solves the above-mentioned problems, and it is not necessary to use a furnace core tube, and it is possible to use a vertical heat treatment furnace capable of efficiently heat-treating an object to be heat-treated and a vertical heat treatment furnace. The purpose is to provide a suitable heat treatment box.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明の熱処理匣は、周縁部全周に側壁部が形成
されているとともに、底部の略中央に貫通穴が形成され
ており、かつ、複数段積み重ねた場合に、各熱処理匣が
その上に積み重ねられた熱処理匣によって封止されると
ともに、前記貫通穴を介して各熱処理匣が連通するよう
に構成されていることを特徴としている。In order to achieve the above object, the heat treatment box of the present invention has a side wall formed around the entire periphery and a through hole formed substantially in the center of the bottom. In addition, when stacked in a plurality of stages, each heat treatment box is sealed by the heat treatment box stacked thereon, and each heat treatment box is configured to communicate with each other through the through hole. I am trying.
【０００９】また、前記貫通穴の周囲に、周縁部全周に
形成された側壁部より背の低い筒状側壁部が形成されて
いることを特徴としている。Further, it is characterized in that a cylindrical side wall portion, which is shorter than a side wall portion formed on the entire circumference of the peripheral portion, is formed around the through hole.
【００１０】また、本願発明の縦型熱処理炉は、被熱処
理物を所定の雰囲気下に熱処理するための縦型熱処理炉
において、複数段積み重ねられた請求項１または２記載
の熱処理匣と、複数段積み重ねられた熱処理匣の上端側
と下端側の熱処理匣を封止することにより各熱処理匣内
部を密閉する封止手段と、前記貫通穴を介して熱処理匣
内部と連通し、熱処理工程において熱処理匣内に発生す
るガスを外部に排気する排気手段と、前記貫通穴から複
数段積み重ねられた熱処理匣の内部に挿入された、所定
の位置から雰囲気ガスを供給する雰囲気ガス供給手段
と、積み重ねられた熱処理匣のうち熱処理の済んだ熱処
理匣を、上端側または下端側から順次取り出すととも
に、逆側から新たな被熱処理物の入った熱処理匣を順次
供給して積み重ねる熱処理匣排出・供給手段と、積み重
ねられた熱処理匣を所定の温度に加熱する加熱手段とを
具備することを特徴としている。Further, the vertical heat treatment furnace of the present invention is a vertical heat treatment furnace for heat-treating an object to be heat-treated in a predetermined atmosphere, and the heat treatment box according to claim 1 or 2 stacked in a plurality of stages, Sealing means for sealing the inside of each heat treatment box by sealing the upper and lower heat treatment boxes of the stacked heat treatment boxes, and communicating with the inside of the heat treatment box through the through holes, and performing heat treatment in the heat treatment step. The exhaust means for exhausting the gas generated in the box to the outside, the atmosphere gas supply means for supplying the atmosphere gas from a predetermined position, which is inserted into the heat treatment box stacked in a plurality of stages from the through hole, are stacked. Heat that has been heat-treated among the heat-treated swatches is taken out sequentially from the upper or lower end, and the heat-treated swatches containing new heat-treated objects are sequentially supplied from the opposite side to stack them. And Rikushige discharge and supply means is characterized by comprising a heating means for heating the stacked thermal treatment Napishtim to a predetermined temperature.
【００１１】さらに、複数段積み重ねられた熱処理匣の
内部に挿入される前記雰囲気ガス供給手段の挿入深さを
調節可能としたことを特徴としている。Further, it is characterized in that the insertion depth of the atmosphere gas supply means inserted into the heat treatment boxes stacked in a plurality of stages can be adjusted.
【００１２】[0012]
【作用】本願発明の熱処理匣は、周縁部全周に側壁部が
形成されているとともに、底部の略中央に貫通穴が形成
されており、複数段積み重ねた場合に、各熱処理匣がそ
の上に積み重ねられた熱処理匣により封止されるととも
に、貫通穴を介して各熱処理匣が連通する。したがっ
て、炉芯管を用いることなく、貫通穴を介して各熱処理
匣内部のガス交換を行ったり、あるいは、該貫通穴を介
して所定の組成の雰囲気ガスを供給することにより各熱
処理匣内部の雰囲気制御を行ったりすることができるよ
うになる。In the heat treatment box of the present invention, the side wall portion is formed around the entire periphery and the through hole is formed substantially in the center of the bottom portion. The heat treatment boxes stacked on top of each other are sealed, and the heat treatment boxes communicate with each other through the through holes. Therefore, without using the furnace core tube, the gas inside each heat treatment box is exchanged through the through-hole, or the atmosphere gas of a predetermined composition is supplied through the through-hole so that the inside of each heat treatment box You will be able to control the atmosphere.
【００１３】また、前記貫通穴の周囲に、周縁部全周に
形成された側壁部（周縁側壁部）より背の低い筒状側壁
部を形成した構造を有する熱処理匣の場合には、該筒状
側壁部の上端面に封止部材を当接させることにより、貫
通穴を容易に封止することができるようになるととも
に、周縁側壁部と筒状側壁部との間に形成される凹部が
貫通穴により連通する連通部から適度に隔てられるた
め、雰囲気が乱れにくくなり、安定した雰囲気条件下に
確実な熱処理を行うことが可能になる。Further, in the case of a heat treatment box having a structure in which a cylindrical side wall portion which is shorter than a side wall portion (peripheral side wall portion) formed around the entire peripheral portion is formed around the through hole, in the case of the heat treatment box By bringing the sealing member into contact with the upper end surface of the cylindrical side wall portion, the through hole can be easily sealed, and the concave portion formed between the peripheral side wall portion and the cylindrical side wall portion is formed. Since the through hole appropriately separates the communicating portion from the communicating portion, the atmosphere is less likely to be disturbed, and reliable heat treatment can be performed under stable atmosphere conditions.
【００１４】また、本願発明の縦型熱処理炉は、上記本
願発明の熱処理匣を用いて構成されているため、従来の
縦型熱処理炉では必要であった炉芯管が不要になる。ま
た、本願発明の縦型熱処理炉は、貫通穴を介して熱処理
匣内部と連通する排気手段により熱処理匣内に発生する
ガスを排気するとともに、貫通穴から複数段積み重ねら
れた熱処理匣の内部に挿入された雰囲気ガス供給手段か
ら、所定の位置に雰囲気ガスを供給することができるよ
うに構成されており、かつ、熱処理匣排出・供給手段に
より、熱処理の済んだ熱処理匣を順次取り出すととも
に、新たな被熱処理物の入った熱処理匣を供給して積み
重ねることにより、連続的に熱処理を行うことができる
ように構成されているため、被熱処理物を所定の雰囲気
下に効率よく熱処理することが可能になる。Further, since the vertical heat treatment furnace of the present invention is constituted by using the heat treatment box of the present invention, the furnace core tube, which is required in the conventional vertical heat treatment furnace, becomes unnecessary. Further, the vertical heat treatment furnace of the present invention exhausts the gas generated in the heat treatment box by the exhaust means communicating with the inside of the heat treatment box through the through hole, and into the heat treatment box stacked in a plurality of stages from the through hole. The inserted atmosphere gas supply means is configured so that the atmosphere gas can be supplied to a predetermined position, and the heat treatment box discharge / supply means sequentially takes out the heat-treated box after the heat treatment. Since it is configured to be able to continuously perform heat treatment by supplying and stacking heat treatment jars containing various heat-treated objects, the heat-treated objects can be efficiently heat-treated in a predetermined atmosphere. become.
【００１５】なお、熱処理匣の流れ方向は、下段側が熱
処理時に発生するガスの影響を受けにくいことから、熱
処理匣の流れ方向を下向きにして、熱処理の済んだ熱処
理匣を下端側から取り出す方が好ましいが、排気手段
や、雰囲気ガス供給手段の構成（雰囲気ガスの打込み位
置など）によっては、熱処理匣の流れ方向を上向きにす
ることも可能である。Since the flow direction of the heat treatment box is not easily influenced by the gas generated during the heat treatment on the lower side, it is better to take the heat treatment box after the heat treatment from the lower end side with the flow direction of the heat treatment box facing downward. Although preferable, the flow direction of the heat treatment box may be upward depending on the configuration of the exhaust means and the atmosphere gas supply means (the position where the atmosphere gas is injected).
【００１６】また、雰囲気ガス供給手段の、熱処理匣の
内部への挿入深さを調節可能とすることにより、被熱処
理物の種類や熱処理条件に応じて、任意の位置に雰囲気
ガスを供給することが可能になり、熱処理条件の調節の
自由度を向上させることが可能になる。Further, the depth of insertion of the atmosphere gas supply means into the heat treatment box can be adjusted, so that the atmosphere gas can be supplied to an arbitrary position according to the kind of the object to be heat treated and the heat treatment conditions. It becomes possible to improve the degree of freedom in adjusting heat treatment conditions.
【００１７】[0017]
【実施例】以下、本願発明の実施例を図に基づいて説明
する。図１は、本願発明の一実施例にかかる熱処理匣を
示す斜視図、図２は、本願発明の一実施例にかかる熱処
理匣に被熱処理物を入れて積み重ねた状態を示す斜視
図、図３は、本願発明の一実施例にかかる熱処理匣を用
いて構成した縦型熱処理炉の要部を示す断面図、図４
は、本願発明の一実施例にかかる縦型熱処理炉の動作を
示す斜視図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a heat treatment box according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing a state in which objects to be heat treated are put in a heat treatment box according to one embodiment of the present invention and stacked. 4 is a cross-sectional view showing a main part of a vertical heat treatment furnace configured by using a heat treatment box according to one embodiment of the present invention, FIG.
FIG. 6 is a perspective view showing an operation of the vertical heat treatment furnace according to the embodiment of the present invention.
【００１８】この実施例の熱処理匣１（図１）は、平面
形状が略方形で、中央部に平面形状が円形の貫通穴４が
形成された平面形状が方形の底部２と、該底部２の周縁
部全周に形成された側壁部（周縁側壁部）３と、貫通穴
４の周囲に形成された、上記周縁側壁部３より背の低い
筒状側壁部５を備えて構成されており、周縁側壁部３と
筒状側壁部５との間には、被熱処理物６（図２）を収容
するための凹部７が形成されている。なお、周縁側壁部
３の上端面及び底部２の下面は、縦に積み重ねたときに
互に密着するように研磨されている。In the heat treatment box 1 (FIG. 1) of this embodiment, a bottom 2 having a substantially rectangular planar shape and a rectangular through hole 4 having a circular planar shape in a central portion, and a bottom 2 having a rectangular planar shape, are provided. A side wall portion (peripheral side wall portion) 3 formed on the entire periphery of the peripheral side wall portion, and a cylindrical side wall portion 5 formed around the through hole 4 and shorter in height than the peripheral side wall portion 3. A recess 7 is formed between the peripheral side wall portion 3 and the cylindrical side wall portion 5 for accommodating the heat-treated object 6 (FIG. 2). The upper end surface of the peripheral side wall portion 3 and the lower surface of the bottom portion 2 are polished so as to be in close contact with each other when vertically stacked.
【００１９】また、この実施例の縦型熱処理炉１１は、
図３，図４に示すように、複数段積み重ねられた熱処理
匣１と、積み重ねられた熱処理匣１の下端側と上端側の
熱処理匣１の貫通穴４を封止する封止手段（この実施例
では、下端側の熱処理匣１の貫通穴４を封止する昇降テ
ーブル１２（図４）と、上端側の熱処理匣１の筒状側壁
部５の上端面に密着してその貫通穴４を封止する封止部
材１３から構成されている）と、貫通穴４を介して熱処
理匣１の内部と連通し、熱処理工程において熱処理匣１
内で発生するガスを貫通穴４を介して外部に排気する排
気手段１６（この実施例では、排気管１４と排気ファン
１５を備えて構成されている）と、貫通穴４から複数段
積み重ねられた熱処理匣１の内部に挿入され、所定の位
置から雰囲気ガス（この実施例では脱脂用のエア）を供
給する雰囲気ガス供給手段（ガス供給管）１７と、熱処
理の済んだ熱処理匣１を、下端側から順次取り出すとと
もに、上端側から新たな被熱処理物の入った熱処理匣１
を順次供給して積み重ねる熱処理匣排出・供給手段（こ
の実施例では、チャック２０とハンドリング装置２１か
ら構成されている）と、積み重ねられた熱処理匣を所定
の温度に加熱する加熱手段（図示せず）を備えて構成さ
れている。Further, the vertical heat treatment furnace 11 of this embodiment is
As shown in FIG. 3 and FIG. 4, sealing means for sealing the heat treatment boxes 1 stacked in multiple stages and the through holes 4 of the heat treatment boxes 1 on the lower end side and the upper end side of the stacked heat treatment boxes 1 (this implementation In the example, the lifting table 12 (FIG. 4) that seals the through hole 4 of the heat treatment box 1 on the lower end side and the upper end surface of the cylindrical side wall portion 5 of the heat treatment box 1 on the upper end side are closely attached to the through hole 4. (Which is composed of a sealing member 13 for sealing) and the inside of the heat treatment box 1 through the through holes 4, and in the heat treatment step, the heat treatment box 1
Exhaust means 16 (in this embodiment, the exhaust pipe 14 and the exhaust fan 15 are provided) for exhausting the gas generated inside to the outside through the through hole 4, and a plurality of stages are stacked from the through hole 4. The atmosphere gas supply means (gas supply pipe) 17 that is inserted into the heat treatment box 1 and supplies the atmosphere gas (degreasing air in this embodiment) from a predetermined position, and the heat treatment box 1 that has been heat-treated. Take out from the lower end side one by one, and from the upper end side, a new heat treatment box 1
The heat treatment box discharging / supplying means (in this embodiment, the chuck 20 and the handling device 21) for sequentially supplying and stacking the heat treatment box and the heating means (not shown) for heating the stacked heat treatment box to a predetermined temperature. ) Is configured.
【００２０】なお、この実施例では、封止部材１３によ
り、上端側の熱処理匣１の貫通穴４のみを封止するよう
にしており、この場合、上から２段目以下の熱処理匣１
が密封されることになるが、本願発明は、この場合のよ
うに、上端側の熱処理匣１の貫通穴４のみを封止する場
合を含むものであり、２段目の熱処理匣１が封止される
べき上端側の熱処理匣となる場合を除くものでは決して
ない。なお、上端側の熱処理匣１の上面側全体を覆うよ
うな封止部材を用いて、上端側の熱処理匣１の凹部７を
も封止するように構成することも可能であり、この場合
には、上から１段目の熱処理匣１が封止されるべき上端
側の熱処理匣となる。In this embodiment, the sealing member 13 is used to seal only the through hole 4 of the heat treatment box 1 on the upper end side. In this case, the heat treatment box 1 of the second or lower stage from the top is used.
However, the present invention includes a case where only the through hole 4 of the heat treatment box 1 on the upper end side is sealed as in this case, and the heat treatment box 1 of the second stage is sealed. It does not exclude the case where the heat treatment box on the upper end side is to be stopped. It should be noted that it is also possible to use a sealing member that covers the entire upper surface side of the heat treatment box 1 on the upper end side so as to seal the recess 7 of the heat treatment box 1 on the upper end side. Is the heat treatment box on the upper end side where the first heat treatment box 1 from the top should be sealed.
【００２１】また、排気手段１６を構成する排気管１４
は、封止部材１３に接続されている。さらに、雰囲気ガ
ス供給手段（ガス供給管）１７は、封止部材１３を貫通
した状態で、封止部材１３と独立して動くことができる
ように、摺動可能に封止部材１３に保持されている。ま
た、ガス供給管１７の側面には、熱処理匣１のピッチと
一致するようなピッチでガス吹出し用の穴（図示せず）
が形成されており、ガス供給管１７の位置（挿入深さ）
を調節することにより、任意の位置（高さ）の熱処理匣
１に雰囲気ガスを打込むことができるように構成されて
いる。Further, the exhaust pipe 14 constituting the exhaust means 16
Are connected to the sealing member 13. Further, the atmospheric gas supply means (gas supply pipe) 17 is slidably held by the sealing member 13 so as to be able to move independently of the sealing member 13 while penetrating the sealing member 13. ing. Further, on the side surface of the gas supply pipe 17, holes for blowing gas (not shown) are arranged at a pitch that matches the pitch of the heat treatment box 1.
Is formed and the position of the gas supply pipe 17 (insertion depth)
Is adjusted so that the atmospheric gas can be injected into the heat treatment box 1 at an arbitrary position (height).
【００２２】さらに、ガス供給管１７は、昇降機１８に
よりその位置を任意に調整することができるように構成
されている。Further, the position of the gas supply pipe 17 can be arbitrarily adjusted by the elevator 18.
【００２３】さらに、積み重ねられた熱処理匣１の周囲
には、熱処理匣１の位置ずれが生じたり、崩れたりしな
いように熱処理匣１をサポートするための複数のガイド
１９が配設されている。図５は、セラミック製の板材か
らなる複数のガイド１９の配設位置を示す平面図であ
る。但し、ガイド１９の形状や配設数、配設位置などは
これに限られるものではない。Further, a plurality of guides 19 for supporting the heat treatment boxes 1 are arranged around the stacked heat treatment boxes 1 so that the heat treatment boxes 1 are not displaced or collapsed. FIG. 5 is a plan view showing the arrangement positions of the plurality of guides 19 made of a ceramic plate material. However, the shape, the number of the guides 19 and the positions of the guides 19 are not limited to these.
【００２４】なお、この実施例の縦型熱処理炉１１は、
打込みガス（雰囲気ガス）として、脱脂用のエアを供給
するようにした炉であり、脱脂ゾーンＡ（図３）より下
側においては、熱処理匣１内の雰囲気の変動を極力避け
るように構成されている。そして、熱処理匣１は、図４
に示すように、上から下に順次送られ、熱処理の済んだ
熱処理匣１は下端側から取り出され、上端側から新たな
被熱処理物の入った熱処理匣１が供給されることによ
り、連続的に熱処理が行われるように構成されている。The vertical heat treatment furnace 11 of this embodiment is
This is a furnace that is supplied with degreasing air as a driving gas (atmosphere gas), and is configured to avoid fluctuations of the atmosphere in the heat treatment box 1 below the degreasing zone A (FIG. 3) as much as possible. ing. The heat treatment box 1 is shown in FIG.
As shown in, the heat treatment box 1 that has been sent from top to bottom and that has undergone the heat treatment is taken out from the lower end side, and the heat treatment box 1 containing new heat-treated material is supplied from the upper end side to continuously Is configured to be heat-treated.
【００２５】次に、上記のように構成された縦型熱処理
炉１１の動作を、図３，図４を参照しつつ説明する。な
お、ここでは、熱処理匣１を供給する供給機構側と、熱
処理匣１を取り出す排出機構側に分けてその動作を説明
する。Next, the operation of the vertical heat treatment furnace 11 configured as described above will be described with reference to FIGS. Here, the operation will be described separately for the supply mechanism side for supplying the heat treatment box 1 and the discharge mechanism side for taking out the heat treatment box 1.
【００２６】［供給機構側の動作］ 下端側から熱処理匣１が取り出され、上端側から熱処
理匣１を供給すべき状態になると、ガス供給管１７を適
当な距離だけ上方に引き上げる。 それから、封止部材１３をガス供給管１７とともに上
方に持ち上げる。 次いで、新たな熱処理匣１をハンドリング装置２１に
より、最上段の熱処理匣１の上に積み重ねる。 それから、封止部材１３とガス供給管１７を新たに積
み重ねた最上段の熱処理匣１の貫通穴４にセットして熱
処理匣１内を密閉する。 その後、ガス供給管１７を所定の位置（深さ）まで挿
入し、ガス（脱脂ガスであるエア）を供給する。[Operation on Supply Mechanism Side] When the heat treatment casing 1 is taken out from the lower end side and the heat treatment casing 1 is to be supplied from the upper end side, the gas supply pipe 17 is pulled upward by an appropriate distance. Then, the sealing member 13 is lifted upward together with the gas supply pipe 17. Next, the new heat treatment box 1 is stacked on the topmost heat treatment box 1 by the handling device 21. Then, the sealing member 13 and the gas supply pipe 17 are set in the through hole 4 of the newly stacked uppermost heat treatment box 1 to seal the inside of the heat treatment box 1. Then, the gas supply pipe 17 is inserted to a predetermined position (depth), and gas (air that is a degreasing gas) is supplied.
【００２７】［排出機構側の動作］ 積み重ねられた熱処理匣１のうち下端側の熱処理匣１
を取り出すべき状態になると、チャック２０により、最
下段より一つ上の熱処理匣１を把持する。 それから、昇降テーブル１２を速やかに下降させて最
下段の熱処理匣１を昇降テーブル１２とともに下方に降
ろす。 次いで、昇降テーブル１２上の熱処理匣１を横方向に
移動させて昇降テーブル１２上から取り除く。 それから、昇降テーブル１２を速やかに上昇させて、
チャック２０により把持された熱処理匣１の下面に押し
当てることにより、その貫通穴（図４には示さず）を密
閉する。 その後、チャック２０を解放する。[Operation on Discharging Mechanism Side] Of the stacked heat treatment boxes 1, the heat treatment box 1 on the lower end side
When it is in a state where it should be taken out, the chuck 20 holds the heat treatment box 1 one level above the lowermost stage. Then, the elevating table 12 is quickly lowered to lower the heat treatment box 1 at the lowermost stage together with the elevating table 12. Next, the heat treatment box 1 on the elevating table 12 is moved laterally and removed from the elevating table 12. Then, quickly raise and lower the lifting table 12,
The through hole (not shown in FIG. 4) is closed by pressing it against the lower surface of the heat treatment box 1 held by the chuck 20. Then, the chuck 20 is released.
【００２８】なお、上記実施例の縦型熱処理炉１１にお
いては、炉内雰囲気の、ドラフト効果による変動を極力
抑制するために、熱処理匣１の供給、排出時の封止部材
１３及び昇降テーブル１２の上下動ストロークを最小限
にするとともに、熱処理匣１の供給、排出を同時に行わ
ない（すなわち時間をずらせて行う）ように構成されて
おり、炉内雰囲気の保護が図られている。In the vertical heat treatment furnace 11 of the above embodiment, the sealing member 13 and the lifting table 12 at the time of supplying and discharging the heat treatment box 1 are provided in order to suppress the fluctuation of the atmosphere in the furnace due to the draft effect as much as possible. The vertical stroke is minimized, and the heat treatment box 1 is not supplied and discharged at the same time (that is, at different times), so that the atmosphere in the furnace is protected.
【００２９】上述のように、本願発明の一実施例にかか
る熱処理匣を用いることによって、炉芯管を使用するこ
となく、熱処理匣内の雰囲気制御、熱処理匣の連続的な
排出や供給、などを確実に行うことが可能な縦型熱処理
炉（すなわち本願発明の一実施例にかかる縦型熱処理
炉）を構成することができる。なお、この実施例の縦型
熱処理炉は、炉芯管を用いていないため、低コストで製
造することができるとともに、炉芯管の交換が不要にな
るため、設計の自由度を向上させることができるように
なる。As described above, by using the heat treatment box according to the embodiment of the present invention, the atmosphere in the heat treatment box is controlled without using the furnace core tube, and the heat treatment box is continuously discharged or supplied. A vertical heat treatment furnace (that is, a vertical heat treatment furnace according to an embodiment of the present invention) capable of reliably performing the above can be configured. Since the vertical heat treatment furnace of this embodiment does not use a furnace core tube, it can be manufactured at low cost, and since the furnace core tube does not need to be replaced, the degree of freedom in design can be improved. Will be able to.
【００３０】なお、上記実施例では、平面形状が方形の
熱処理匣を用いた場合について説明したが、熱処理匣の
具体的な形状には特別の制約はなく、その平面形状を円
形や正方形、さらにはその他の形状とすることも可能で
ある。また、貫通穴の形状についても特別の制約はな
く、円形以外の他の形状とすることも可能である。In the above embodiments, the case where the heat treatment box having a rectangular planar shape is used has been described. However, there is no particular restriction on the specific shape of the heat treatment box, and the plane shape may be a circle or a square. Can have other shapes. Further, the shape of the through hole is not particularly limited, and it may be a shape other than the circular shape.
【００３１】また、熱処理匣の貫通穴の周囲の筒状側壁
部の形状や高さを調整することにより、雰囲気ガスの交
換を促進したり抑制したりすることも可能である。Further, by adjusting the shape and height of the cylindrical side wall portion around the through hole of the heat treatment box, it is possible to promote or suppress the exchange of the atmospheric gas.
【００３２】本願発明は、さらにその他の点においても
上記実施例に限定されるものではなく、発明の要旨の範
囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能で
ある。The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments in other points as well, and various applications and modifications can be added within the scope of the gist of the invention.
【００３３】[0033]
【発明の効果】上述のように、本願発明の熱処理匣は、
周縁部全周に側壁部が形成され、底部の略中央に貫通穴
が形成された熱処理匣であって、複数段積み重ねた場合
に、各熱処理匣がその上に積み重ねられた熱処理匣によ
り封止されるとともに、貫通穴を介して各熱処理匣が連
通するため、炉芯管を用いることなく、貫通穴を介して
各熱処理匣内部のガス交換を行ったり、あるいは、該貫
通穴を介して所定の組成の雰囲気ガスを供給することに
より各熱処理匣内部の雰囲気制御を行ったりすることが
可能になる。As described above, the heat treatment box of the present invention is
A heat treatment box in which a side wall is formed all around the periphery and a through hole is formed in the approximate center of the bottom, and when stacked in multiple stages, each heat treatment box is sealed by the heat treatment box stacked on top of it. In addition, since each heat treatment box is communicated with each other through the through hole, the gas inside each heat treatment box is exchanged through the through hole without using the furnace core tube, or a predetermined amount is provided through the through hole. By supplying the atmosphere gas having the composition described above, it becomes possible to control the atmosphere inside each heat treatment box.
【００３４】したがって、本願発明の熱処理匣を用いる
ことにより、炉芯管を用いることなく、熱処理雰囲気の
制御や熱処理匣の連続的な排出・供給などを行うことが
可能な縦型熱処理炉を構成することが可能になる。Therefore, by using the heat treatment box of the present invention, a vertical heat treatment furnace capable of controlling the heat treatment atmosphere and continuously discharging and supplying the heat treatment box without using the furnace core tube is constructed. It becomes possible to do.
【００３５】また、貫通穴の周囲に、周縁部全周に形成
された側壁部（周縁側壁部）より背の低い筒状側壁部を
形成した場合には、該筒状側壁部の上端面に封止部材を
当接させることにより、貫通穴を容易に封止することが
できるようになるとともに、周縁側壁部と筒状側壁部と
の間に形成される凹部が貫通穴により連通する連通部か
ら適度に隔てられるため、雰囲気が乱れにくくなり、安
定した雰囲気条件下に確実な熱処理を行うことが可能に
なる。When a tubular side wall portion which is shorter than the side wall portion (peripheral side wall portion) formed all around the peripheral edge portion is formed around the through hole, the upper end surface of the tubular side wall portion is formed. By bringing the sealing member into contact, the through hole can be easily sealed, and the recess formed between the peripheral side wall portion and the cylindrical side wall portion communicates with the through hole. Since it is appropriately separated from the above, the atmosphere is less likely to be disturbed, and reliable heat treatment can be performed under stable atmospheric conditions.
【００３６】また、本願発明の熱処理匣を用いて構成さ
れた縦型熱処理炉は、炉芯管が用いられていないため、
経済性に優れ、かつ、炉芯管を交換する必要がないた
め、設計の自由度が高いという特徴を有している。Further, the vertical heat treatment furnace constituted by using the heat treatment box of the present invention does not use the furnace core tube,
It has the advantages of excellent economic efficiency and a high degree of freedom in design because it is not necessary to replace the furnace core tube.
【００３７】また、雰囲気ガス供給手段の、熱処理匣の
内部への挿入深さを調節可能とすることにより、被熱処
理物の種類や熱処理条件に応じて、任意の位置に雰囲気
ガスを供給することが可能になり、熱処理条件の調節の
自由度を向上させることが可能になる。Further, by making the insertion depth of the atmosphere gas supply means inside the heat treatment box adjustable, the atmosphere gas can be supplied to any position according to the kind of the object to be heat treated and the heat treatment conditions. It becomes possible to improve the degree of freedom in adjusting heat treatment conditions.
【図１】本願発明の一実施例にかかる熱処理匣を示す斜
視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a heat treatment box according to an embodiment of the present invention.
【図２】本願発明の一実施例にかかる熱処理匣に被熱処
理物を入れて積み重ねた状態を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a state in which objects to be heat-treated are put in a heat treatment box according to an embodiment of the present invention and stacked.
【図３】本願発明の一実施例にかかる熱処理匣を用いて
構成した縦型熱処理炉の要部を示す断面図である。FIG. 3 is a sectional view showing a main part of a vertical heat treatment furnace configured by using a heat treatment box according to an embodiment of the present invention.
【図４】本願発明の一実施例にかかる縦型熱処理炉の動
作を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing an operation of the vertical heat treatment furnace according to the embodiment of the present invention.
【図５】本願発明の一実施例にかかる縦型熱処理炉に用
いられている複数のガイドの配設位置を示す平面図であ
る。FIG. 5 is a plan view showing arrangement positions of a plurality of guides used in the vertical heat treatment furnace according to the embodiment of the present invention.
【図６】従来の縦型熱処理炉を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing a conventional vertical heat treatment furnace.
１ 熱処理匣 ２ 底部 ３ 側壁部（周縁側壁部） ４ 貫通穴 ５ 筒状側壁部 ６ 被熱処理物 ７ 凹部 １１ 縦型熱処理炉 １２ 昇降テーブル １３ 封止部材 １４ 排気管 １５ 排気ファン １６ 排気手段 １７ 雰囲気ガス供給手段（ガス供給
管） １８ 昇降器 １９ ガイド ２０ チャック ２１ ハンドリング装置DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Heat treatment box 2 Bottom part 3 Side wall part (periphery side wall part) 4 Through hole 5 Cylindrical side wall part 6 Heat-treated object 7 Recessed part 11 Vertical heat treatment furnace 12 Elevating table 13 Sealing member 14 Exhaust pipe 15 Exhaust fan 16 Exhaust means 17 Atmosphere Gas supply means (gas supply pipe) 18 Elevator 19 Guide 20 Chuck 21 Handling device
Claims (4)
ともに、底部の略中央に貫通穴が形成されており、か
つ、 複数段積み重ねた場合に、各熱処理匣がその上に積み重
ねられた熱処理匣によって封止されるとともに、前記貫
通穴を介して各熱処理匣が連通するように構成されてい
ることを特徴とする熱処理匣。1. A side wall is formed around the entire periphery and a through hole is formed substantially in the center of the bottom, and in the case of stacking a plurality of stages, each heat treatment box is stacked on top of it. A heat treatment box which is sealed by the heat treatment box and communicates with each other through the through hole.
れた側壁部より背の低い筒状側壁部が形成されているこ
とを特徴とする請求項１記載の熱処理匣。2. The heat treatment box according to claim 1, wherein a cylindrical side wall portion, which is shorter than a side wall portion formed on the entire periphery of the peripheral edge portion, is formed around the through hole.
るための縦型熱処理炉において、 複数段積み重ねられた請求項１または２記載の熱処理匣
と、 複数段積み重ねられた熱処理匣の上端側と下端側の熱処
理匣を封止することにより各熱処理匣内部を密閉する封
止手段と、 前記貫通穴を介して熱処理匣内部と連通し、熱処理工程
において熱処理匣内に発生するガスを外部に排気する排
気手段と、 前記貫通穴から複数段積み重ねられた熱処理匣の内部に
挿入された、所定の位置から雰囲気ガスを供給する雰囲
気ガス供給手段と、 積み重ねられた熱処理匣のうち熱処理の済んだ熱処理匣
を、上端側または下端側から順次取り出すとともに、逆
側から新たな被熱処理物の入った熱処理匣を順次供給し
て積み重ねる熱処理匣排出・供給手段と、 積み重ねられた熱処理匣を所定の温度に加熱する加熱手
段とを具備することを特徴とする縦型熱処理炉。3. A vertical heat treatment furnace for heat-treating an object to be heat-treated in a predetermined atmosphere, wherein the heat treatment box according to claim 1 or 2 stacked in a plurality of stages, and the upper end side of the heat treatment box stacked in a plurality of stages. And a sealing means for sealing the inside of each heat treatment box by sealing the heat treatment box on the lower end side, and communicating with the inside of the heat treatment box through the through hole, and the gas generated in the heat treatment box in the heat treatment process is exposed to the outside. Exhaust means for evacuating, an atmosphere gas supply means for supplying an atmosphere gas from a predetermined position, which is inserted into the heat treatment box stacked in a plurality of stages from the through hole, and the heat treatment is completed among the stacked heat treatment boxes. The heat treatment box is taken out from the upper end side or the lower end side in sequence, and the heat treatment box containing a new heat-treated object is sequentially supplied from the opposite side and stacked, and the heat treatment box discharge / supply means is provided. A vertical heat treatment furnace, comprising: heating means for heating the stacked heat treatment boxes to a predetermined temperature.
挿入される前記雰囲気ガス供給手段の挿入深さを調節可
能としたことを特徴とする請求項３記載の縦型熱処理
炉。4. The vertical heat treatment furnace according to claim 3, wherein the depth of insertion of the atmosphere gas supply means inserted into the heat treatment boxes stacked in a plurality of stages can be adjusted.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21055294A JPH0854190A (en) | 1994-08-10 | 1994-08-10 | Heat treating box and vertical heat treating furnace |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21055294A JPH0854190A (en) | 1994-08-10 | 1994-08-10 | Heat treating box and vertical heat treating furnace |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0854190A true JPH0854190A (en) | 1996-02-27 |
Family
ID=16591216
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21055294A Withdrawn JPH0854190A (en) | 1994-08-10 | 1994-08-10 | Heat treating box and vertical heat treating furnace |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0854190A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003294374A (en) * | 2002-04-01 | 2003-10-15 | Noritake Co Ltd | Box bowl |
| JP2010121856A (en) * | 2008-11-20 | 2010-06-03 | Ngk Insulators Ltd | Vertical burning furnace for burning powder |
| JP2024063299A (en) * | 2022-10-26 | 2024-05-13 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | Vertical Heating Furnace |
-
1994
- 1994-08-10 JP JP21055294A patent/JPH0854190A/en not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003294374A (en) * | 2002-04-01 | 2003-10-15 | Noritake Co Ltd | Box bowl |
| JP2010121856A (en) * | 2008-11-20 | 2010-06-03 | Ngk Insulators Ltd | Vertical burning furnace for burning powder |
| JP2024063299A (en) * | 2022-10-26 | 2024-05-13 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | Vertical Heating Furnace |
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