JPH0850017A - 平面度測定装置 - Google Patents
平面度測定装置Info
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- JPH0850017A JPH0850017A JP18351494A JP18351494A JPH0850017A JP H0850017 A JPH0850017 A JP H0850017A JP 18351494 A JP18351494 A JP 18351494A JP 18351494 A JP18351494 A JP 18351494A JP H0850017 A JPH0850017 A JP H0850017A
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】平面度の測定時間を大幅に短縮することので
き、測定者の負担も軽減できる平面度測定方法及びその
装置を提供する。 【構成】平面度測定装置10は、複数の検出器A、B、
C、Dと、検出器A、B、C、Dをワーク20の複数の
所定測定箇所の上方にそれぞれ配設するための測定治具
24と、検出器A、B、C、Dで検出した結果を自動的
に演算してワーク20の平面度を算出するデータ処置装
置14とで構成した。これにより、ワークテーブル26
に載置されたワーク20又は基準マスタ22の複数の所
定測定箇所を一度で検出することができるので、従来の
ように、所定測定箇所を電気マイクロメータ等で一か所
づつ測定しなくてよく測定時間を大幅に短縮できる。ま
た、検出器A、B、C、Dでの検出結果はデータ処理装
置14で自動的に演算されてワーク20の平面度が測定
されるので、測定者の負担が軽減される。
き、測定者の負担も軽減できる平面度測定方法及びその
装置を提供する。 【構成】平面度測定装置10は、複数の検出器A、B、
C、Dと、検出器A、B、C、Dをワーク20の複数の
所定測定箇所の上方にそれぞれ配設するための測定治具
24と、検出器A、B、C、Dで検出した結果を自動的
に演算してワーク20の平面度を算出するデータ処置装
置14とで構成した。これにより、ワークテーブル26
に載置されたワーク20又は基準マスタ22の複数の所
定測定箇所を一度で検出することができるので、従来の
ように、所定測定箇所を電気マイクロメータ等で一か所
づつ測定しなくてよく測定時間を大幅に短縮できる。ま
た、検出器A、B、C、Dでの検出結果はデータ処理装
置14で自動的に演算されてワーク20の平面度が測定
されるので、測定者の負担が軽減される。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は平面度測装置に係り、特
に、ワークと基準マスタとの比較測定により平面度を測
定する平面度測定装置に関する。
に、ワークと基準マスタとの比較測定により平面度を測
定する平面度測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、ワークの平面度を測定する際、ワ
ークにおける測定対象面上の複数箇所を電気マイクロメ
ータ等で一か所づつ測定し、その測定結果から平面度を
算出していた。
ークにおける測定対象面上の複数箇所を電気マイクロメ
ータ等で一か所づつ測定し、その測定結果から平面度を
算出していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
平面度測定方法は、ワークの複数箇所を一か所づつ測定
するので、一回の測定に時間がかかりすぎるという欠点
があった。この結果、流れ作業により生産されるワーク
の平面度を測定する場合、ワークの平面度を測定してか
らその結果をワークの生産装置にフィードバックするま
での時間がかかりすぎた為に、不良品発生率が高いとい
う問題があった。また、測定結果を記録したり、計算し
たりするので、測定作業者の負担も大きいという欠点が
あった。
平面度測定方法は、ワークの複数箇所を一か所づつ測定
するので、一回の測定に時間がかかりすぎるという欠点
があった。この結果、流れ作業により生産されるワーク
の平面度を測定する場合、ワークの平面度を測定してか
らその結果をワークの生産装置にフィードバックするま
での時間がかかりすぎた為に、不良品発生率が高いとい
う問題があった。また、測定結果を記録したり、計算し
たりするので、測定作業者の負担も大きいという欠点が
あった。
【0004】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、平面度の測定時間を大幅に短縮することので
き、測定者の負担も軽減できる平面度測定装置を提供す
ることを目的とする。
たもので、平面度の測定時間を大幅に短縮することので
き、測定者の負担も軽減できる平面度測定装置を提供す
ることを目的とする。
【0005】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、ワークを載置するワークテーブルと、前記ワ
ークテーブル上に立設された支持フレームと、前記支持
フレームに保持され、前記ワークと接触する測定子を有
すると共に、該測定子の移動変位量を検出する複数の検
出器と、前記複数の検出器の測定子の移動変位量に基づ
いて前記ワークの平面度を算出する演算手段と、前記ワ
ークテーブル上にワークの載置が可能なように、測定子
をワークテーブル上のワーク挿入域から退避させるリト
ラクト機構と、から成ることを特徴とする。
する為に、ワークを載置するワークテーブルと、前記ワ
ークテーブル上に立設された支持フレームと、前記支持
フレームに保持され、前記ワークと接触する測定子を有
すると共に、該測定子の移動変位量を検出する複数の検
出器と、前記複数の検出器の測定子の移動変位量に基づ
いて前記ワークの平面度を算出する演算手段と、前記ワ
ークテーブル上にワークの載置が可能なように、測定子
をワークテーブル上のワーク挿入域から退避させるリト
ラクト機構と、から成ることを特徴とする。
【0006】
【作用】本発明によれば、ワークを載置するワークテー
ブルの上方に支持フレームを立設させて、該支持フレー
ムに、ワークと接触する測定子を有すると共に、該測定
子の移動変位量を検出する複数の検出器を保持させた。
これにより、ワークテーブルに載置されたワークの複数
の測定箇所を一度で測定することができるので、短時間
で測定することができる。
ブルの上方に支持フレームを立設させて、該支持フレー
ムに、ワークと接触する測定子を有すると共に、該測定
子の移動変位量を検出する複数の検出器を保持させた。
これにより、ワークテーブルに載置されたワークの複数
の測定箇所を一度で測定することができるので、短時間
で測定することができる。
【0007】また、前記複数の検出器の測定子の移動変
位量に基づいて前記ワークの平面度を算出する演算手段
を設けたので、検出器での検出結果を自動的に演算して
ワークの平面度を算出することができる。また、前記ワ
ークテーブル上にワークの載置が可能なように、測定子
をワークテーブル上のワーク挿入域から退避させるリト
ラクト機構を設けたので、ワークをワークテーブルに載
置する際に検出器が邪魔にならない。
位量に基づいて前記ワークの平面度を算出する演算手段
を設けたので、検出器での検出結果を自動的に演算して
ワークの平面度を算出することができる。また、前記ワ
ークテーブル上にワークの載置が可能なように、測定子
をワークテーブル上のワーク挿入域から退避させるリト
ラクト機構を設けたので、ワークをワークテーブルに載
置する際に検出器が邪魔にならない。
【0008】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る平面度測
定装置の好ましい実施例について詳説する。図1は本発
明の平面度測定装置10の全体構成図である。本発明の
平面度測定装置10は、大きく分けると測定装置本体1
2と、データ処理装置14とから構成される。
定装置の好ましい実施例について詳説する。図1は本発
明の平面度測定装置10の全体構成図である。本発明の
平面度測定装置10は、大きく分けると測定装置本体1
2と、データ処理装置14とから構成される。
【0009】また、測定装置本体12は、スピンドル1
6(図2参照)先端の測定子18を、平面度が測定され
るワーク20又はワーク20と同形状に形成され基準平
面度を有する基準マスタ22に当接させて、その時の測
定子18の移動変位量(換言するとスピンドル16の移
動変位量でもある)を検出する複数の検出器A、B、
C、Dと、ワーク20又は基準マスタ22を載置すると
共に、載置されたワーク20又は基準マスタ22の複数
の測定ポイントである所定測定箇所の上方に検出器A、
B、C、Dをそれぞれ配設させる測定治具24と、から
構成される。測定治具24は、矩形板上に形成されたワ
ークテーブル26の上方に、ワークテーブル26面に平
行な矩形上の支持フレーム28が配置され、支持フレー
ム28はワークテーブル26の一辺から立設した2本の
アーム30、30でワークテーブル26に支持される。
また、フレーム28の略4つのコーナには、検出器A、
B、C、Dを着脱自在に保持する保持部が形成される。
保持部は検出器A、B、C、Dを貫通させる貫通孔32
と、貫通孔32に貫通させた検出器A、B、C、Dを固
定する止めネジ34から構成される。
6(図2参照)先端の測定子18を、平面度が測定され
るワーク20又はワーク20と同形状に形成され基準平
面度を有する基準マスタ22に当接させて、その時の測
定子18の移動変位量(換言するとスピンドル16の移
動変位量でもある)を検出する複数の検出器A、B、
C、Dと、ワーク20又は基準マスタ22を載置すると
共に、載置されたワーク20又は基準マスタ22の複数
の測定ポイントである所定測定箇所の上方に検出器A、
B、C、Dをそれぞれ配設させる測定治具24と、から
構成される。測定治具24は、矩形板上に形成されたワ
ークテーブル26の上方に、ワークテーブル26面に平
行な矩形上の支持フレーム28が配置され、支持フレー
ム28はワークテーブル26の一辺から立設した2本の
アーム30、30でワークテーブル26に支持される。
また、フレーム28の略4つのコーナには、検出器A、
B、C、Dを着脱自在に保持する保持部が形成される。
保持部は検出器A、B、C、Dを貫通させる貫通孔32
と、貫通孔32に貫通させた検出器A、B、C、Dを固
定する止めネジ34から構成される。
【0010】また、データ処理装置14は、検出器A、
B、C、Dで検出された各スピンドル16の移動変位量
データが電気信号に変換されて入力される。そして、デ
ータ処理装置14では、ワークテーブル26に載置され
た基準マスタ22に検出器A、B、C、Dの測定子18
を当接させた時に検出される各測定子18の移動変位量
を基準値として、ワークテーブル26に載置されたワー
ク20に測定子18を当接させた時の前記基準値に対す
る各測定子18の変位増減量を演算すると共に、変位増
減量を大きい順又は小さい順に並べて一番大きな数値か
ら一番小さな数値を減じてワーク20の平面度を算出す
る。また、データ処理装置14の外面パネルには、測定
した平面度等を表示するデジタル表示部36とキーボー
ド38が設けられる。キーボード38には、ゼロセット
キー、プリセットキー、実行キー、データ取込みキー、
データキャンセルキー、終了キー等のファンクションキ
ーが配列されている。
B、C、Dで検出された各スピンドル16の移動変位量
データが電気信号に変換されて入力される。そして、デ
ータ処理装置14では、ワークテーブル26に載置され
た基準マスタ22に検出器A、B、C、Dの測定子18
を当接させた時に検出される各測定子18の移動変位量
を基準値として、ワークテーブル26に載置されたワー
ク20に測定子18を当接させた時の前記基準値に対す
る各測定子18の変位増減量を演算すると共に、変位増
減量を大きい順又は小さい順に並べて一番大きな数値か
ら一番小さな数値を減じてワーク20の平面度を算出す
る。また、データ処理装置14の外面パネルには、測定
した平面度等を表示するデジタル表示部36とキーボー
ド38が設けられる。キーボード38には、ゼロセット
キー、プリセットキー、実行キー、データ取込みキー、
データキャンセルキー、終了キー等のファンクションキ
ーが配列されている。
【0011】図2は、検出器の内部構造を示す断面図で
あり、検出器Aの例で説明する。図2に示すように、円
筒状のケース本体40の外周にケースカバー42が被嵌
される。また、ケース本体40の底壁40Aは肉圧に形
成されると共に、底壁40Aの中心部に縦方向の貫通孔
が形成される。また、貫通孔に筒状のステム44が挿入
されると共に、ステム44の筒孔内には、先端に測定子
18を有するスピンドル16が軸方向に慴動自在に設け
られる。また、スピンドル16の基端はケース本体40
内を上ストッパ46と下ストッパ48との間で昇降自在
なピストン50に支持される。そして、ケース本体40
とピストン50とにより、ケース本体40内の上部にシ
リンダ室52が形成される。また、ケース本体40内の
上壁40Bとピストン50との間には、スプリング54
が設けられ、スプリング54はピストン50を下ストッ
パ48側方向に付勢し、スプリング54の自然長の状態
で下ストッパ48に当接する。このスプリング54は測
定圧力を生じさせる機能も有する。また、ケース本体4
0の上壁40Bには、シリンダ室52に通じる貫通孔5
6が形成されると共に貫通孔56はエアホース58を介
してエア吸引装置60(図1参照)に接続される。これ
により、エア吸引装置60のエア吸引動作によりシリン
ダ室52内は負圧になるので、ピストン50はスプリン
グ54の付勢力に抗して上ストッパ46に当接するまで
上昇し、スピンドル16先端の測定子18をワーク20
又は基準マスタ22から退避(リトラクト)させ、測定
ためのセットが行われる。一方、エア吸引装置60のエ
ア吸引動作が停止してエアホース58の図示しない大気
開放弁が開いてシリンダ室52内常圧に戻ると、ピスト
ン50はスプリング54の付勢力で下降し、スピンドル
16先端の測定子18をワーク20又は基準マスタ22
に当接させる。この時、ピストン50は最も下降しても
下ストッパ48で停止して、次に説明する作動変圧器を
破損しないようにしてある。また、スピンドル16の全
長のうち、ケース本体40から外の部分はケース本体4
0の下端から測定子18にかけて蛇腹状の防塵ゴム62
で覆われている。
あり、検出器Aの例で説明する。図2に示すように、円
筒状のケース本体40の外周にケースカバー42が被嵌
される。また、ケース本体40の底壁40Aは肉圧に形
成されると共に、底壁40Aの中心部に縦方向の貫通孔
が形成される。また、貫通孔に筒状のステム44が挿入
されると共に、ステム44の筒孔内には、先端に測定子
18を有するスピンドル16が軸方向に慴動自在に設け
られる。また、スピンドル16の基端はケース本体40
内を上ストッパ46と下ストッパ48との間で昇降自在
なピストン50に支持される。そして、ケース本体40
とピストン50とにより、ケース本体40内の上部にシ
リンダ室52が形成される。また、ケース本体40内の
上壁40Bとピストン50との間には、スプリング54
が設けられ、スプリング54はピストン50を下ストッ
パ48側方向に付勢し、スプリング54の自然長の状態
で下ストッパ48に当接する。このスプリング54は測
定圧力を生じさせる機能も有する。また、ケース本体4
0の上壁40Bには、シリンダ室52に通じる貫通孔5
6が形成されると共に貫通孔56はエアホース58を介
してエア吸引装置60(図1参照)に接続される。これ
により、エア吸引装置60のエア吸引動作によりシリン
ダ室52内は負圧になるので、ピストン50はスプリン
グ54の付勢力に抗して上ストッパ46に当接するまで
上昇し、スピンドル16先端の測定子18をワーク20
又は基準マスタ22から退避(リトラクト)させ、測定
ためのセットが行われる。一方、エア吸引装置60のエ
ア吸引動作が停止してエアホース58の図示しない大気
開放弁が開いてシリンダ室52内常圧に戻ると、ピスト
ン50はスプリング54の付勢力で下降し、スピンドル
16先端の測定子18をワーク20又は基準マスタ22
に当接させる。この時、ピストン50は最も下降しても
下ストッパ48で停止して、次に説明する作動変圧器を
破損しないようにしてある。また、スピンドル16の全
長のうち、ケース本体40から外の部分はケース本体4
0の下端から測定子18にかけて蛇腹状の防塵ゴム62
で覆われている。
【0012】また、測定子18の移動変位量は、差動変
圧器により検出される。即ち、ケース本体40内の下ス
トッパ48の下方には、1次コイル64及び結線された
2個の2次コイル66、66が巻回されたボビン68が
設けられる。そして、このボビン68内をスピンドル1
6に設けられたコア69が、測定子18の変位に応じて
昇降することにより、コア69の変位、即ち測定子18
の移動変位量に応じた出力電圧が2次コイル66に発生
する。また、2次コイル66から取り出された出力電圧
はケーブル70を介してデータ処置装置14に出力され
る。また、出力された出力電圧の増幅、整流、平滑等の
回路については公知であり、本発明の要旨ではないので
詳細な説明を省略する。
圧器により検出される。即ち、ケース本体40内の下ス
トッパ48の下方には、1次コイル64及び結線された
2個の2次コイル66、66が巻回されたボビン68が
設けられる。そして、このボビン68内をスピンドル1
6に設けられたコア69が、測定子18の変位に応じて
昇降することにより、コア69の変位、即ち測定子18
の移動変位量に応じた出力電圧が2次コイル66に発生
する。また、2次コイル66から取り出された出力電圧
はケーブル70を介してデータ処置装置14に出力され
る。また、出力された出力電圧の増幅、整流、平滑等の
回路については公知であり、本発明の要旨ではないので
詳細な説明を省略する。
【0013】次に、上記の如く構成された本発明の平面
度測定装置10でワーク20の平面度を測定する測定方
法を説明する。測定は、エア吸引装置60をエア吸引動
作させて測定治具24に保持された4つの検出器A、
B、C、Dのシリンダ室52を負圧にし、検出器A、
B、C、Dの各スピンドル16をスプリング54の付勢
力に抗して上ストッパ46の位置まで上昇させた後、エ
ア吸引装置60を吸引動作を停止してシリンダ室52を
常圧に戻し、検出器A、B、C、Dの各スピンドル16
を一度に下降させて、測定子18をワーク20又は基準
マスタ22の複数の測定ポイントである所定測定箇所に
当接させることにより行われる。
度測定装置10でワーク20の平面度を測定する測定方
法を説明する。測定は、エア吸引装置60をエア吸引動
作させて測定治具24に保持された4つの検出器A、
B、C、Dのシリンダ室52を負圧にし、検出器A、
B、C、Dの各スピンドル16をスプリング54の付勢
力に抗して上ストッパ46の位置まで上昇させた後、エ
ア吸引装置60を吸引動作を停止してシリンダ室52を
常圧に戻し、検出器A、B、C、Dの各スピンドル16
を一度に下降させて、測定子18をワーク20又は基準
マスタ22の複数の測定ポイントである所定測定箇所に
当接させることにより行われる。
【0014】即ち、先ず、ワークテーブル26上の所定
位置に基準マスタ22を載置して、検出器A、B、C、
Dの各測定子18の移動変位量が検出され、検出された
出力電圧がデータ処理装置14に出力される。次に、ワ
ークテーブル26の前記基準マスタ22が載置されたの
と同じ所定位置に平面度が測定されるワーク20を載置
して、検出器A、B、C、Dの各測定子18の移動変位
量が検出され、検出された出力電圧がデータ処理装置1
4に出力される。次に、データ処理装置14では、基準
マスタ22における各測定子18の移動変位量を基準値
(零)として、ワーク20における各測定子18の前記
基準値に対する変位増減量を演算し、演算した変位増減
量のを大きい順又は小さい順に並べ変える。そして、変
位増減量のうち、一番大きな数値から一番小さな数値を
減じてワーク20の平面度を算出する。算出されたワー
ク20の平面度は、データ処理装置14の表示部36に
表示される。例えば、測定子A、B、C、Dの変位増減
量をそれぞれ、+2μm、+3μm、+4μm、+5μ
mとすると、ワーク20の平面度は5μm−2μm=3
μmとなる。
位置に基準マスタ22を載置して、検出器A、B、C、
Dの各測定子18の移動変位量が検出され、検出された
出力電圧がデータ処理装置14に出力される。次に、ワ
ークテーブル26の前記基準マスタ22が載置されたの
と同じ所定位置に平面度が測定されるワーク20を載置
して、検出器A、B、C、Dの各測定子18の移動変位
量が検出され、検出された出力電圧がデータ処理装置1
4に出力される。次に、データ処理装置14では、基準
マスタ22における各測定子18の移動変位量を基準値
(零)として、ワーク20における各測定子18の前記
基準値に対する変位増減量を演算し、演算した変位増減
量のを大きい順又は小さい順に並べ変える。そして、変
位増減量のうち、一番大きな数値から一番小さな数値を
減じてワーク20の平面度を算出する。算出されたワー
ク20の平面度は、データ処理装置14の表示部36に
表示される。例えば、測定子A、B、C、Dの変位増減
量をそれぞれ、+2μm、+3μm、+4μm、+5μ
mとすると、ワーク20の平面度は5μm−2μm=3
μmとなる。
【0015】尚、本実施例では、測定子18の移動変位
量を差動変圧器で検出するようにしたが、これに限定さ
れるものではなく、光電式、静電容量式等でもよい。ま
た、測定治具24のアーム30長さを固定としたが、ア
ーム30長さを可変できる、例えば送りねじ機構等を用
いて、ワークテーブル26と検出器A、B、C、Dとの
間の距離を可変できるようにすると、厚みの異なるワー
ク20に対応させることができる。
量を差動変圧器で検出するようにしたが、これに限定さ
れるものではなく、光電式、静電容量式等でもよい。ま
た、測定治具24のアーム30長さを固定としたが、ア
ーム30長さを可変できる、例えば送りねじ機構等を用
いて、ワークテーブル26と検出器A、B、C、Dとの
間の距離を可変できるようにすると、厚みの異なるワー
ク20に対応させることができる。
【0016】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の平面度測
定装置によれば、ワークを載置するワークテーブルの上
方に支持フレームを立設させて、該支持フレームに複数
の検出器を保持させ、複数の検出器の測定子の移動変位
量に基づいて前記ワークの平面度を演算手段で算出する
ようにした。これにより、ワークテーブルに載置された
ワークの複数の測定箇所を一度で測定することができ、
測定された結果に基づいて自動的にワークの平面度を算
出することができる。
定装置によれば、ワークを載置するワークテーブルの上
方に支持フレームを立設させて、該支持フレームに複数
の検出器を保持させ、複数の検出器の測定子の移動変位
量に基づいて前記ワークの平面度を演算手段で算出する
ようにした。これにより、ワークテーブルに載置された
ワークの複数の測定箇所を一度で測定することができ、
測定された結果に基づいて自動的にワークの平面度を算
出することができる。
【0017】従って、従来のように、複数の測定箇所を
電気マイクロメータ等で一か所づつ測定しないので、測
定時間を大幅に短縮させることができる。また、検出器
で測定した結果を自動的に演算してワークの平面度を算
出することができるので、測定者は、従来のように測定
結果を記録したり、計算したりする必要がないので、測
定に要する負担を軽減できると共に、記録ミスや計算ミ
スをなくすことができる。
電気マイクロメータ等で一か所づつ測定しないので、測
定時間を大幅に短縮させることができる。また、検出器
で測定した結果を自動的に演算してワークの平面度を算
出することができるので、測定者は、従来のように測定
結果を記録したり、計算したりする必要がないので、測
定に要する負担を軽減できると共に、記録ミスや計算ミ
スをなくすことができる。
【0018】従って、本発明の平面度測定装置を流れ作
業により生産されるワークの平面度測定に適用すれば、
ワークの平面度を測定してからその結果をワークの生産
装置にフィードバックするまでの時間が短縮されるの
で、不良品発生率を低減できる。
業により生産されるワークの平面度測定に適用すれば、
ワークの平面度を測定してからその結果をワークの生産
装置にフィードバックするまでの時間が短縮されるの
で、不良品発生率を低減できる。
【図1】本発明に係る平面度測定装置の全体構成図
【図2】本発明の平面度測定装置の測定装置本体の内部
構造を説明する断面図
構造を説明する断面図
10…平面度測定装置 12…測定装置本体 14…データ処置装置 A、B、C、D…検出器 16…スピンドル 18…測定子 20…ワーク 22…基準マスタ 24…測定治具 26…ワークテーブル 28…フレーム 30…アーム 40…ケース本体 50…ピストン 52…シリンダ室 54…スプリング 60…エア吸引・供給装置 64…1次コイル 66…2次コイル 68…ボビン 69…コア
Claims (1)
- 【請求項1】ワークを載置するワークテーブルと、 前記ワークテーブル上に立設された支持フレームと、 前記支持フレームに保持され、前記ワークと接触する測
定子を有すると共に、該測定子の移動変位量を検出する
複数の検出器と、 前記複数の検出器の測定子の移動変位量に基づいて前記
ワークの平面度を算出する演算手段と、 前記ワークテーブル上にワークの載置が可能なように、
測定子をワークテーブル上のワーク挿入域から退避させ
るリトラクト機構と、 から成ることを特徴とする平面度測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18351494A JPH0850017A (ja) | 1994-08-04 | 1994-08-04 | 平面度測定装置 |
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JP18351494A JPH0850017A (ja) | 1994-08-04 | 1994-08-04 | 平面度測定装置 |
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JPH0850017A true JPH0850017A (ja) | 1996-02-20 |
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ID=16137181
Family Applications (1)
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JP18351494A Pending JPH0850017A (ja) | 1994-08-04 | 1994-08-04 | 平面度測定装置 |
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JP (1) | JPH0850017A (ja) |
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- 1994-08-04 JP JP18351494A patent/JPH0850017A/ja active Pending
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