JPH0850017A - 平面度測定装置 - Google Patents
平面度測定装置Info
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- JPH0850017A JPH0850017A JP18351494A JP18351494A JPH0850017A JP H0850017 A JPH0850017 A JP H0850017A JP 18351494 A JP18351494 A JP 18351494A JP 18351494 A JP18351494 A JP 18351494A JP H0850017 A JPH0850017 A JP H0850017A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】平面度の測定時間を大幅に短縮することので
き、測定者の負担も軽減できる平面度測定方法及びその
装置を提供する。 【構成】平面度測定装置１０は、複数の検出器Ａ、Ｂ、
Ｃ、Ｄと、検出器Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄをワーク２０の複数の
所定測定箇所の上方にそれぞれ配設するための測定治具
２４と、検出器Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄで検出した結果を自動的
に演算してワーク２０の平面度を算出するデータ処置装
置１４とで構成した。これにより、ワークテーブル２６
に載置されたワーク２０又は基準マスタ２２の複数の所
定測定箇所を一度で検出することができるので、従来の
ように、所定測定箇所を電気マイクロメータ等で一か所
づつ測定しなくてよく測定時間を大幅に短縮できる。ま
た、検出器Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄでの検出結果はデータ処理装
置１４で自動的に演算されてワーク２０の平面度が測定
されるので、測定者の負担が軽減される。
き、測定者の負担も軽減できる平面度測定方法及びその
装置を提供する。 【構成】平面度測定装置１０は、複数の検出器Ａ、Ｂ、
Ｃ、Ｄと、検出器Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄをワーク２０の複数の
所定測定箇所の上方にそれぞれ配設するための測定治具
２４と、検出器Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄで検出した結果を自動的
に演算してワーク２０の平面度を算出するデータ処置装
置１４とで構成した。これにより、ワークテーブル２６
に載置されたワーク２０又は基準マスタ２２の複数の所
定測定箇所を一度で検出することができるので、従来の
ように、所定測定箇所を電気マイクロメータ等で一か所
づつ測定しなくてよく測定時間を大幅に短縮できる。ま
た、検出器Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄでの検出結果はデータ処理装
置１４で自動的に演算されてワーク２０の平面度が測定
されるので、測定者の負担が軽減される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は平面度測装置に係り、特
に、ワークと基準マスタとの比較測定により平面度を測
定する平面度測定装置に関する。
に、ワークと基準マスタとの比較測定により平面度を測
定する平面度測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ワークの平面度を測定する際、ワ
ークにおける測定対象面上の複数箇所を電気マイクロメ
ータ等で一か所づつ測定し、その測定結果から平面度を
算出していた。
ークにおける測定対象面上の複数箇所を電気マイクロメ
ータ等で一か所づつ測定し、その測定結果から平面度を
算出していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
平面度測定方法は、ワークの複数箇所を一か所づつ測定
するので、一回の測定に時間がかかりすぎるという欠点
があった。この結果、流れ作業により生産されるワーク
の平面度を測定する場合、ワークの平面度を測定してか
らその結果をワークの生産装置にフィードバックするま
での時間がかかりすぎた為に、不良品発生率が高いとい
う問題があった。また、測定結果を記録したり、計算し
たりするので、測定作業者の負担も大きいという欠点が
あった。
平面度測定方法は、ワークの複数箇所を一か所づつ測定
するので、一回の測定に時間がかかりすぎるという欠点
があった。この結果、流れ作業により生産されるワーク
の平面度を測定する場合、ワークの平面度を測定してか
らその結果をワークの生産装置にフィードバックするま
での時間がかかりすぎた為に、不良品発生率が高いとい
う問題があった。また、測定結果を記録したり、計算し
たりするので、測定作業者の負担も大きいという欠点が
あった。
【０００４】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、平面度の測定時間を大幅に短縮することので
き、測定者の負担も軽減できる平面度測定装置を提供す
ることを目的とする。
たもので、平面度の測定時間を大幅に短縮することので
き、測定者の負担も軽減できる平面度測定装置を提供す
ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、ワークを載置するワークテーブルと、前記ワ
ークテーブル上に立設された支持フレームと、前記支持
フレームに保持され、前記ワークと接触する測定子を有
すると共に、該測定子の移動変位量を検出する複数の検
出器と、前記複数の検出器の測定子の移動変位量に基づ
いて前記ワークの平面度を算出する演算手段と、前記ワ
ークテーブル上にワークの載置が可能なように、測定子
をワークテーブル上のワーク挿入域から退避させるリト
ラクト機構と、から成ることを特徴とする。
する為に、ワークを載置するワークテーブルと、前記ワ
ークテーブル上に立設された支持フレームと、前記支持
フレームに保持され、前記ワークと接触する測定子を有
すると共に、該測定子の移動変位量を検出する複数の検
出器と、前記複数の検出器の測定子の移動変位量に基づ
いて前記ワークの平面度を算出する演算手段と、前記ワ
ークテーブル上にワークの載置が可能なように、測定子
をワークテーブル上のワーク挿入域から退避させるリト
ラクト機構と、から成ることを特徴とする。
【０００６】
【作用】本発明によれば、ワークを載置するワークテー
ブルの上方に支持フレームを立設させて、該支持フレー
ムに、ワークと接触する測定子を有すると共に、該測定
子の移動変位量を検出する複数の検出器を保持させた。
これにより、ワークテーブルに載置されたワークの複数
の測定箇所を一度で測定することができるので、短時間
で測定することができる。
ブルの上方に支持フレームを立設させて、該支持フレー
ムに、ワークと接触する測定子を有すると共に、該測定
子の移動変位量を検出する複数の検出器を保持させた。
これにより、ワークテーブルに載置されたワークの複数
の測定箇所を一度で測定することができるので、短時間
で測定することができる。
【０００７】また、前記複数の検出器の測定子の移動変
位量に基づいて前記ワークの平面度を算出する演算手段
を設けたので、検出器での検出結果を自動的に演算して
ワークの平面度を算出することができる。また、前記ワ
ークテーブル上にワークの載置が可能なように、測定子
をワークテーブル上のワーク挿入域から退避させるリト
ラクト機構を設けたので、ワークをワークテーブルに載
置する際に検出器が邪魔にならない。
位量に基づいて前記ワークの平面度を算出する演算手段
を設けたので、検出器での検出結果を自動的に演算して
ワークの平面度を算出することができる。また、前記ワ
ークテーブル上にワークの載置が可能なように、測定子
をワークテーブル上のワーク挿入域から退避させるリト
ラクト機構を設けたので、ワークをワークテーブルに載
置する際に検出器が邪魔にならない。
【０００８】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る平面度測
定装置の好ましい実施例について詳説する。図１は本発
明の平面度測定装置１０の全体構成図である。本発明の
平面度測定装置１０は、大きく分けると測定装置本体１
２と、データ処理装置１４とから構成される。
定装置の好ましい実施例について詳説する。図１は本発
明の平面度測定装置１０の全体構成図である。本発明の
平面度測定装置１０は、大きく分けると測定装置本体１
２と、データ処理装置１４とから構成される。
【０００９】また、測定装置本体１２は、スピンドル１
６（図２参照）先端の測定子１８を、平面度が測定され
るワーク２０又はワーク２０と同形状に形成され基準平
面度を有する基準マスタ２２に当接させて、その時の測
定子１８の移動変位量（換言するとスピンドル１６の移
動変位量でもある）を検出する複数の検出器Ａ、Ｂ、
Ｃ、Ｄと、ワーク２０又は基準マスタ２２を載置すると
共に、載置されたワーク２０又は基準マスタ２２の複数
の測定ポイントである所定測定箇所の上方に検出器Ａ、
Ｂ、Ｃ、Ｄをそれぞれ配設させる測定治具２４と、から
構成される。測定治具２４は、矩形板上に形成されたワ
ークテーブル２６の上方に、ワークテーブル２６面に平
行な矩形上の支持フレーム２８が配置され、支持フレー
ム２８はワークテーブル２６の一辺から立設した２本の
アーム３０、３０でワークテーブル２６に支持される。
また、フレーム２８の略４つのコーナには、検出器Ａ、
Ｂ、Ｃ、Ｄを着脱自在に保持する保持部が形成される。
保持部は検出器Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを貫通させる貫通孔３２
と、貫通孔３２に貫通させた検出器Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを固
定する止めネジ３４から構成される。
６（図２参照）先端の測定子１８を、平面度が測定され
るワーク２０又はワーク２０と同形状に形成され基準平
面度を有する基準マスタ２２に当接させて、その時の測
定子１８の移動変位量（換言するとスピンドル１６の移
動変位量でもある）を検出する複数の検出器Ａ、Ｂ、
Ｃ、Ｄと、ワーク２０又は基準マスタ２２を載置すると
共に、載置されたワーク２０又は基準マスタ２２の複数
の測定ポイントである所定測定箇所の上方に検出器Ａ、
Ｂ、Ｃ、Ｄをそれぞれ配設させる測定治具２４と、から
構成される。測定治具２４は、矩形板上に形成されたワ
ークテーブル２６の上方に、ワークテーブル２６面に平
行な矩形上の支持フレーム２８が配置され、支持フレー
ム２８はワークテーブル２６の一辺から立設した２本の
アーム３０、３０でワークテーブル２６に支持される。
また、フレーム２８の略４つのコーナには、検出器Ａ、
Ｂ、Ｃ、Ｄを着脱自在に保持する保持部が形成される。
保持部は検出器Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを貫通させる貫通孔３２
と、貫通孔３２に貫通させた検出器Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを固
定する止めネジ３４から構成される。
【００１０】また、データ処理装置１４は、検出器Ａ、
Ｂ、Ｃ、Ｄで検出された各スピンドル１６の移動変位量
データが電気信号に変換されて入力される。そして、デ
ータ処理装置１４では、ワークテーブル２６に載置され
た基準マスタ２２に検出器Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの測定子１８
を当接させた時に検出される各測定子１８の移動変位量
を基準値として、ワークテーブル２６に載置されたワー
ク２０に測定子１８を当接させた時の前記基準値に対す
る各測定子１８の変位増減量を演算すると共に、変位増
減量を大きい順又は小さい順に並べて一番大きな数値か
ら一番小さな数値を減じてワーク２０の平面度を算出す
る。また、データ処理装置１４の外面パネルには、測定
した平面度等を表示するデジタル表示部３６とキーボー
ド３８が設けられる。キーボード３８には、ゼロセット
キー、プリセットキー、実行キー、データ取込みキー、
データキャンセルキー、終了キー等のファンクションキ
ーが配列されている。
Ｂ、Ｃ、Ｄで検出された各スピンドル１６の移動変位量
データが電気信号に変換されて入力される。そして、デ
ータ処理装置１４では、ワークテーブル２６に載置され
た基準マスタ２２に検出器Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの測定子１８
を当接させた時に検出される各測定子１８の移動変位量
を基準値として、ワークテーブル２６に載置されたワー
ク２０に測定子１８を当接させた時の前記基準値に対す
る各測定子１８の変位増減量を演算すると共に、変位増
減量を大きい順又は小さい順に並べて一番大きな数値か
ら一番小さな数値を減じてワーク２０の平面度を算出す
る。また、データ処理装置１４の外面パネルには、測定
した平面度等を表示するデジタル表示部３６とキーボー
ド３８が設けられる。キーボード３８には、ゼロセット
キー、プリセットキー、実行キー、データ取込みキー、
データキャンセルキー、終了キー等のファンクションキ
ーが配列されている。
【００１１】図２は、検出器の内部構造を示す断面図で
あり、検出器Ａの例で説明する。図２に示すように、円
筒状のケース本体４０の外周にケースカバー４２が被嵌
される。また、ケース本体４０の底壁４０Ａは肉圧に形
成されると共に、底壁４０Ａの中心部に縦方向の貫通孔
が形成される。また、貫通孔に筒状のステム４４が挿入
されると共に、ステム４４の筒孔内には、先端に測定子
１８を有するスピンドル１６が軸方向に慴動自在に設け
られる。また、スピンドル１６の基端はケース本体４０
内を上ストッパ４６と下ストッパ４８との間で昇降自在
なピストン５０に支持される。そして、ケース本体４０
とピストン５０とにより、ケース本体４０内の上部にシ
リンダ室５２が形成される。また、ケース本体４０内の
上壁４０Ｂとピストン５０との間には、スプリング５４
が設けられ、スプリング５４はピストン５０を下ストッ
パ４８側方向に付勢し、スプリング５４の自然長の状態
で下ストッパ４８に当接する。このスプリング５４は測
定圧力を生じさせる機能も有する。また、ケース本体４
０の上壁４０Ｂには、シリンダ室５２に通じる貫通孔５
６が形成されると共に貫通孔５６はエアホース５８を介
してエア吸引装置６０（図１参照）に接続される。これ
により、エア吸引装置６０のエア吸引動作によりシリン
ダ室５２内は負圧になるので、ピストン５０はスプリン
グ５４の付勢力に抗して上ストッパ４６に当接するまで
上昇し、スピンドル１６先端の測定子１８をワーク２０
又は基準マスタ２２から退避（リトラクト）させ、測定
ためのセットが行われる。一方、エア吸引装置６０のエ
ア吸引動作が停止してエアホース５８の図示しない大気
開放弁が開いてシリンダ室５２内常圧に戻ると、ピスト
ン５０はスプリング５４の付勢力で下降し、スピンドル
１６先端の測定子１８をワーク２０又は基準マスタ２２
に当接させる。この時、ピストン５０は最も下降しても
下ストッパ４８で停止して、次に説明する作動変圧器を
破損しないようにしてある。また、スピンドル１６の全
長のうち、ケース本体４０から外の部分はケース本体４
０の下端から測定子１８にかけて蛇腹状の防塵ゴム６２
で覆われている。
あり、検出器Ａの例で説明する。図２に示すように、円
筒状のケース本体４０の外周にケースカバー４２が被嵌
される。また、ケース本体４０の底壁４０Ａは肉圧に形
成されると共に、底壁４０Ａの中心部に縦方向の貫通孔
が形成される。また、貫通孔に筒状のステム４４が挿入
されると共に、ステム４４の筒孔内には、先端に測定子
１８を有するスピンドル１６が軸方向に慴動自在に設け
られる。また、スピンドル１６の基端はケース本体４０
内を上ストッパ４６と下ストッパ４８との間で昇降自在
なピストン５０に支持される。そして、ケース本体４０
とピストン５０とにより、ケース本体４０内の上部にシ
リンダ室５２が形成される。また、ケース本体４０内の
上壁４０Ｂとピストン５０との間には、スプリング５４
が設けられ、スプリング５４はピストン５０を下ストッ
パ４８側方向に付勢し、スプリング５４の自然長の状態
で下ストッパ４８に当接する。このスプリング５４は測
定圧力を生じさせる機能も有する。また、ケース本体４
０の上壁４０Ｂには、シリンダ室５２に通じる貫通孔５
６が形成されると共に貫通孔５６はエアホース５８を介
してエア吸引装置６０（図１参照）に接続される。これ
により、エア吸引装置６０のエア吸引動作によりシリン
ダ室５２内は負圧になるので、ピストン５０はスプリン
グ５４の付勢力に抗して上ストッパ４６に当接するまで
上昇し、スピンドル１６先端の測定子１８をワーク２０
又は基準マスタ２２から退避（リトラクト）させ、測定
ためのセットが行われる。一方、エア吸引装置６０のエ
ア吸引動作が停止してエアホース５８の図示しない大気
開放弁が開いてシリンダ室５２内常圧に戻ると、ピスト
ン５０はスプリング５４の付勢力で下降し、スピンドル
１６先端の測定子１８をワーク２０又は基準マスタ２２
に当接させる。この時、ピストン５０は最も下降しても
下ストッパ４８で停止して、次に説明する作動変圧器を
破損しないようにしてある。また、スピンドル１６の全
長のうち、ケース本体４０から外の部分はケース本体４
０の下端から測定子１８にかけて蛇腹状の防塵ゴム６２
で覆われている。
【００１２】また、測定子１８の移動変位量は、差動変
圧器により検出される。即ち、ケース本体４０内の下ス
トッパ４８の下方には、１次コイル６４及び結線された
２個の２次コイル６６、６６が巻回されたボビン６８が
設けられる。そして、このボビン６８内をスピンドル１
６に設けられたコア６９が、測定子１８の変位に応じて
昇降することにより、コア６９の変位、即ち測定子１８
の移動変位量に応じた出力電圧が２次コイル６６に発生
する。また、２次コイル６６から取り出された出力電圧
はケーブル７０を介してデータ処置装置１４に出力され
る。また、出力された出力電圧の増幅、整流、平滑等の
回路については公知であり、本発明の要旨ではないので
詳細な説明を省略する。
圧器により検出される。即ち、ケース本体４０内の下ス
トッパ４８の下方には、１次コイル６４及び結線された
２個の２次コイル６６、６６が巻回されたボビン６８が
設けられる。そして、このボビン６８内をスピンドル１
６に設けられたコア６９が、測定子１８の変位に応じて
昇降することにより、コア６９の変位、即ち測定子１８
の移動変位量に応じた出力電圧が２次コイル６６に発生
する。また、２次コイル６６から取り出された出力電圧
はケーブル７０を介してデータ処置装置１４に出力され
る。また、出力された出力電圧の増幅、整流、平滑等の
回路については公知であり、本発明の要旨ではないので
詳細な説明を省略する。
【００１３】次に、上記の如く構成された本発明の平面
度測定装置１０でワーク２０の平面度を測定する測定方
法を説明する。測定は、エア吸引装置６０をエア吸引動
作させて測定治具２４に保持された４つの検出器Ａ、
Ｂ、Ｃ、Ｄのシリンダ室５２を負圧にし、検出器Ａ、
Ｂ、Ｃ、Ｄの各スピンドル１６をスプリング５４の付勢
力に抗して上ストッパ４６の位置まで上昇させた後、エ
ア吸引装置６０を吸引動作を停止してシリンダ室５２を
常圧に戻し、検出器Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの各スピンドル１６
を一度に下降させて、測定子１８をワーク２０又は基準
マスタ２２の複数の測定ポイントである所定測定箇所に
当接させることにより行われる。
度測定装置１０でワーク２０の平面度を測定する測定方
法を説明する。測定は、エア吸引装置６０をエア吸引動
作させて測定治具２４に保持された４つの検出器Ａ、
Ｂ、Ｃ、Ｄのシリンダ室５２を負圧にし、検出器Ａ、
Ｂ、Ｃ、Ｄの各スピンドル１６をスプリング５４の付勢
力に抗して上ストッパ４６の位置まで上昇させた後、エ
ア吸引装置６０を吸引動作を停止してシリンダ室５２を
常圧に戻し、検出器Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの各スピンドル１６
を一度に下降させて、測定子１８をワーク２０又は基準
マスタ２２の複数の測定ポイントである所定測定箇所に
当接させることにより行われる。
【００１４】即ち、先ず、ワークテーブル２６上の所定
位置に基準マスタ２２を載置して、検出器Ａ、Ｂ、Ｃ、
Ｄの各測定子１８の移動変位量が検出され、検出された
出力電圧がデータ処理装置１４に出力される。次に、ワ
ークテーブル２６の前記基準マスタ２２が載置されたの
と同じ所定位置に平面度が測定されるワーク２０を載置
して、検出器Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの各測定子１８の移動変位
量が検出され、検出された出力電圧がデータ処理装置１
４に出力される。次に、データ処理装置１４では、基準
マスタ２２における各測定子１８の移動変位量を基準値
（零）として、ワーク２０における各測定子１８の前記
基準値に対する変位増減量を演算し、演算した変位増減
量のを大きい順又は小さい順に並べ変える。そして、変
位増減量のうち、一番大きな数値から一番小さな数値を
減じてワーク２０の平面度を算出する。算出されたワー
ク２０の平面度は、データ処理装置１４の表示部３６に
表示される。例えば、測定子Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの変位増減
量をそれぞれ、＋２μｍ、＋３μｍ、＋４μｍ、＋５μ
ｍとすると、ワーク２０の平面度は５μｍ−２μｍ＝３
μｍとなる。
位置に基準マスタ２２を載置して、検出器Ａ、Ｂ、Ｃ、
Ｄの各測定子１８の移動変位量が検出され、検出された
出力電圧がデータ処理装置１４に出力される。次に、ワ
ークテーブル２６の前記基準マスタ２２が載置されたの
と同じ所定位置に平面度が測定されるワーク２０を載置
して、検出器Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの各測定子１８の移動変位
量が検出され、検出された出力電圧がデータ処理装置１
４に出力される。次に、データ処理装置１４では、基準
マスタ２２における各測定子１８の移動変位量を基準値
（零）として、ワーク２０における各測定子１８の前記
基準値に対する変位増減量を演算し、演算した変位増減
量のを大きい順又は小さい順に並べ変える。そして、変
位増減量のうち、一番大きな数値から一番小さな数値を
減じてワーク２０の平面度を算出する。算出されたワー
ク２０の平面度は、データ処理装置１４の表示部３６に
表示される。例えば、測定子Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの変位増減
量をそれぞれ、＋２μｍ、＋３μｍ、＋４μｍ、＋５μ
ｍとすると、ワーク２０の平面度は５μｍ−２μｍ＝３
μｍとなる。
【００１５】尚、本実施例では、測定子１８の移動変位
量を差動変圧器で検出するようにしたが、これに限定さ
れるものではなく、光電式、静電容量式等でもよい。ま
た、測定治具２４のアーム３０長さを固定としたが、ア
ーム３０長さを可変できる、例えば送りねじ機構等を用
いて、ワークテーブル２６と検出器Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄとの
間の距離を可変できるようにすると、厚みの異なるワー
ク２０に対応させることができる。
量を差動変圧器で検出するようにしたが、これに限定さ
れるものではなく、光電式、静電容量式等でもよい。ま
た、測定治具２４のアーム３０長さを固定としたが、ア
ーム３０長さを可変できる、例えば送りねじ機構等を用
いて、ワークテーブル２６と検出器Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄとの
間の距離を可変できるようにすると、厚みの異なるワー
ク２０に対応させることができる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の平面度測
定装置によれば、ワークを載置するワークテーブルの上
方に支持フレームを立設させて、該支持フレームに複数
の検出器を保持させ、複数の検出器の測定子の移動変位
量に基づいて前記ワークの平面度を演算手段で算出する
ようにした。これにより、ワークテーブルに載置された
ワークの複数の測定箇所を一度で測定することができ、
測定された結果に基づいて自動的にワークの平面度を算
出することができる。
定装置によれば、ワークを載置するワークテーブルの上
方に支持フレームを立設させて、該支持フレームに複数
の検出器を保持させ、複数の検出器の測定子の移動変位
量に基づいて前記ワークの平面度を演算手段で算出する
ようにした。これにより、ワークテーブルに載置された
ワークの複数の測定箇所を一度で測定することができ、
測定された結果に基づいて自動的にワークの平面度を算
出することができる。
【００１７】従って、従来のように、複数の測定箇所を
電気マイクロメータ等で一か所づつ測定しないので、測
定時間を大幅に短縮させることができる。また、検出器
で測定した結果を自動的に演算してワークの平面度を算
出することができるので、測定者は、従来のように測定
結果を記録したり、計算したりする必要がないので、測
定に要する負担を軽減できると共に、記録ミスや計算ミ
スをなくすことができる。
電気マイクロメータ等で一か所づつ測定しないので、測
定時間を大幅に短縮させることができる。また、検出器
で測定した結果を自動的に演算してワークの平面度を算
出することができるので、測定者は、従来のように測定
結果を記録したり、計算したりする必要がないので、測
定に要する負担を軽減できると共に、記録ミスや計算ミ
スをなくすことができる。
【００１８】従って、本発明の平面度測定装置を流れ作
業により生産されるワークの平面度測定に適用すれば、
ワークの平面度を測定してからその結果をワークの生産
装置にフィードバックするまでの時間が短縮されるの
で、不良品発生率を低減できる。
業により生産されるワークの平面度測定に適用すれば、
ワークの平面度を測定してからその結果をワークの生産
装置にフィードバックするまでの時間が短縮されるの
で、不良品発生率を低減できる。
【図１】本発明に係る平面度測定装置の全体構成図
【図２】本発明の平面度測定装置の測定装置本体の内部
構造を説明する断面図
構造を説明する断面図
１０…平面度測定装置 １２…測定装置本体 １４…データ処置装置 Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ…検出器 １６…スピンドル １８…測定子 ２０…ワーク ２２…基準マスタ ２４…測定治具 ２６…ワークテーブル ２８…フレーム ３０…アーム ４０…ケース本体 ５０…ピストン ５２…シリンダ室 ５４…スプリング ６０…エア吸引・供給装置 ６４…１次コイル ６６…２次コイル ６８…ボビン ６９…コア
Claims (1)
- 【請求項１】ワークを載置するワークテーブルと、 前記ワークテーブル上に立設された支持フレームと、 前記支持フレームに保持され、前記ワークと接触する測
定子を有すると共に、該測定子の移動変位量を検出する
複数の検出器と、 前記複数の検出器の測定子の移動変位量に基づいて前記
ワークの平面度を算出する演算手段と、 前記ワークテーブル上にワークの載置が可能なように、
測定子をワークテーブル上のワーク挿入域から退避させ
るリトラクト機構と、 から成ることを特徴とする平面度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18351494A JPH0850017A (ja) | 1994-08-04 | 1994-08-04 | 平面度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18351494A JPH0850017A (ja) | 1994-08-04 | 1994-08-04 | 平面度測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0850017A true JPH0850017A (ja) | 1996-02-20 |
Family
ID=16137181
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18351494A Pending JPH0850017A (ja) | 1994-08-04 | 1994-08-04 | 平面度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0850017A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1994
- 1994-08-04 JP JP18351494A patent/JPH0850017A/ja active Pending
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