JPH0845054A - Magnetic recording medium and its production - Google Patents
Magnetic recording medium and its productionInfo
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- JPH0845054A JPH0845054A JP17796594A JP17796594A JPH0845054A JP H0845054 A JPH0845054 A JP H0845054A JP 17796594 A JP17796594 A JP 17796594A JP 17796594 A JP17796594 A JP 17796594A JP H0845054 A JPH0845054 A JP H0845054A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体及びその
製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium and its manufacturing method.
【０００２】[0002]
【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体には、非磁
性支持体であるフィルム上に磁性粉や潤滑剤をバインダ
と共に溶剤中に分散させた磁性塗料を塗布してなる塗布
型のものと、バインダを用いず、金属磁性粒子をフィル
ム上に堆積させてなる金属薄膜型のものとがある。BACKGROUND OF THE INVENTION Magnetic recording media such as magnetic tapes are of a coating type in which a magnetic coating is prepared by coating a film, which is a non-magnetic support, with a magnetic powder and a lubricant together with a binder in a solvent. , A metal thin film type in which metal magnetic particles are deposited on a film without using a binder.
【０００３】これらの中、金属薄膜型の磁気記録媒体
は、磁性層にバインダを含まないことから、磁性材料の
充填密度が高く、高密度記録に適したものであると言わ
れている。そして、このような金属薄膜型の磁気記録媒
体において、磁性膜を多層状に構成したものが知られて
いる。すなわち、図２に示されるような斜め蒸着装置に
より支持体上に第１の金属磁性膜を設け、その後第１の
金属磁性膜上に第２の金属磁性膜を設けたものが知られ
ている。尚、図２中、１はポリエチレンテレフタレート
（ＰＥＴ）等の非磁性の支持体、２ａは供給側ロール、
２ｂは巻取側ロールであって、この間を支持体１は走行
するよう構成されている。３は冷却キャンロール、４は
遮蔽板、５はルツボ、６は磁性金属、７は電子銃、８は
真空容器、９は冷却キャンロール３に案内されている支
持体１に蒸着した膜に向けて酸素を照射するガス供給ノ
ズルである。そして、成膜に際してはガス供給ノズル９
から酸素ガスが供給されていることから、得られた磁気
記録媒体は図３のように構成されている。図３中、２１
はＰＥＴフィルム、２２は酸素ガスを導入しながら斜め
蒸着法により構成された厚さが１０００Åの第１のＦｅ
金属磁性膜、２３は酸素ガスを導入しながら斜め蒸着法
により構成された厚さが１０００Åの第２のＦｅ金属磁
性膜、２４は潤滑剤膜、２５はバックコート膜である。
尚、第１のＦｅ金属磁性膜２２や第２のＦｅ金属磁性膜
２３は、非磁性の酸化膜で覆われた磁性粒子で構成され
ている。Among these, the metal thin film type magnetic recording medium is said to be suitable for high-density recording because the magnetic layer does not contain a binder and therefore has a high packing density of the magnetic material. In such a metal thin film type magnetic recording medium, a magnetic film having a multilayer structure is known. That is, it is known that a first metal magnetic film is provided on a support and then a second metal magnetic film is provided on the first metal magnetic film by an oblique vapor deposition apparatus as shown in FIG. . In FIG. 2, 1 is a non-magnetic support such as polyethylene terephthalate (PET), 2a is a supply side roll,
2b is a winding-side roll, and the support 1 is configured to run during this period. 3 is a cooling can roll, 4 is a shielding plate, 5 is a crucible, 6 is a magnetic metal, 7 is an electron gun, 8 is a vacuum container, and 9 is a film deposited on the support 1 guided by the cooling can roll 3. This is a gas supply nozzle that irradiates oxygen with oxygen. The gas supply nozzle 9 is used for film formation.
Since oxygen gas is supplied from the magnetic recording medium, the obtained magnetic recording medium has a structure as shown in FIG. 21 in FIG.
Is a PET film, and 22 is a first Fe having a thickness of 1000 Å which is formed by an oblique deposition method while introducing oxygen gas.
The metal magnetic film 23 is a second Fe metal magnetic film having a thickness of 1000 Å formed by the oblique vapor deposition method while introducing oxygen gas, 24 is a lubricant film, and 25 is a back coat film.
The first Fe metal magnetic film 22 and the second Fe metal magnetic film 23 are composed of magnetic particles covered with a non-magnetic oxide film.
【０００４】この図３のように多層構造の磁気記録媒体
は、酸化膜によって磁気分離がなされていることから、
Ｃ／Ｎ特性が向上していると言われている。しかしなが
ら、本発明者による研究の結果、図３タイプのものは出
力がそれ程でもないことが判って来た。Since the magnetic recording medium having a multilayer structure as shown in FIG. 3 is magnetically separated by an oxide film,
It is said that the C / N characteristics are improved. However, as a result of research by the present inventor, it has been found that the output of the type shown in FIG. 3 is not so high.
【０００５】[0005]
【発明の開示】本発明の目的は、Ｃ／Ｎ及び出力いずれ
の特性にも優れた磁気記録媒体を提供することである。
この本発明の目的は、第１の金属薄膜型の磁性膜と第２
の金属薄膜型の磁性膜とが支持体上に積重されてなる磁
気記録媒体であって、前記第１の金属薄膜型の磁性膜と
第２の金属薄膜型の磁性膜とが非磁性の窒化膜で磁気的
に分離されてなることを特徴とする磁気記録媒体によっ
て達成される。DISCLOSURE OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a magnetic recording medium excellent in both C / N and output characteristics.
The object of the present invention is to provide a first metal thin film type magnetic film and a second metal thin film type magnetic film.
Magnetic thin film type magnetic film is stacked on a support, and the first metal thin film type magnetic film and the second metal thin film type magnetic film are non-magnetic. This is achieved by a magnetic recording medium characterized by being magnetically separated by a nitride film.
【０００６】又、第１の金属薄膜型の磁性膜と第２の金
属薄膜型の磁性膜とが支持体上に積重されてなる磁気記
録媒体であって、前記第１の金属薄膜型の磁性膜と第２
の金属薄膜型の磁性膜とが非磁性の炭化膜で磁気的に分
離されてなることを特徴とする磁気記録媒体によって達
成される。又、第１の金属薄膜型の磁性膜と第２の金属
薄膜型の磁性膜とが支持体上に積重されてなる磁気記録
媒体であって、前記第１の金属薄膜型の磁性膜は非磁性
の窒化膜で覆われた磁性粒子で構成されてなることを特
徴とする磁気記録媒体によって達成される。A magnetic recording medium in which a first metal thin film type magnetic film and a second metal thin film type magnetic film are stacked on a support, wherein the first metal thin film type magnetic film Magnetic film and second
The magnetic recording medium is characterized in that it is magnetically separated from the metal thin film type magnetic film by a non-magnetic carbide film. A magnetic recording medium in which a first metal thin film type magnetic film and a second metal thin film type magnetic film are stacked on a support, wherein the first metal thin film type magnetic film is The present invention is achieved by a magnetic recording medium characterized in that it is composed of magnetic particles covered with a non-magnetic nitride film.
【０００７】又、第１の金属薄膜型の磁性膜と第２の金
属薄膜型の磁性膜とが支持体上に積重されてなる磁気記
録媒体であって、前記第１の金属薄膜型の磁性膜は非磁
性の炭化膜で覆われた磁性粒子で構成されてなることを
特徴とする磁気記録媒体によって達成される。尚、これ
らの発明における磁気記録媒体において、第２の金属薄
膜型の磁性膜も非磁性の窒化膜および／または非磁性の
炭化膜で覆われた磁性粒子で構成されてなることが好ま
しい。すなわち、第１の金属薄膜型の磁性膜および第２
の金属薄膜型の磁性膜いずれもが、非磁性の窒化膜およ
び／または非磁性の炭化膜で覆われた磁性粒子で構成さ
れてなることが好ましい。A magnetic recording medium in which a first metal thin film type magnetic film and a second metal thin film type magnetic film are stacked on a support, wherein the first metal thin film type magnetic film The magnetic film is achieved by a magnetic recording medium characterized by being composed of magnetic particles covered with a non-magnetic carbonized film. In the magnetic recording medium of these inventions, it is preferable that the second metal thin film type magnetic film is also composed of magnetic particles covered with a nonmagnetic nitride film and / or a nonmagnetic carbide film. That is, the first metal thin film type magnetic film and the second
It is preferable that each of the metal thin film type magnetic films of (1) is composed of magnetic particles covered with a non-magnetic nitride film and / or a non-magnetic carbonized film.
【０００８】又、反応性を有するＮ元素を持つものを照
射しながら金属磁性粒子を支持体上に堆積させる第１の
金属磁性膜成膜工程と、第１の金属磁性膜成膜工程で設
けられた第１の金属薄膜型の磁性膜上に第２の金属薄膜
型の磁性膜を設ける第２の金属磁性膜成膜工程とを具備
することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法によって
達成される。Further, it is provided in a first metal magnetic film forming step of depositing metal magnetic particles on a support while irradiating a material having a reactive N element, and in a first metal magnetic film forming step. And a second metal magnetic film forming step of providing a second metal thin film magnetic film on the first metal thin film magnetic film. To be done.
【０００９】又、反応性を有するＣ元素を持つものを照
射しながら金属磁性粒子を支持体上に堆積させる第１の
金属磁性膜成膜工程と、第１の金属磁性膜成膜工程で設
けられた第１の金属薄膜型の磁性膜上に第２の金属薄膜
型の磁性膜を設ける第２の金属磁性膜成膜工程とを具備
することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法によって
達成される。Further, it is provided in the first metal magnetic film forming step of depositing the metal magnetic particles on the support while irradiating the one having a reactive C element, and in the first metal magnetic film forming step. And a second metal magnetic film forming step of providing a second metal thin film magnetic film on the first metal thin film magnetic film. To be done.
【００１０】尚、これらの発明における磁気記録媒体の
製造方法において、第２の金属磁性膜成膜工程は反応性
を有するＮ元素および／またはＣ元素を持つものを照射
しながら行われることが好ましい。すなわち、第１の金
属磁性膜成膜工程および第２の金属磁性膜成膜工程いず
れもが、反応性を有するＮ元素および／またはＣ元素を
持つものを照射しながら行われることが好ましい。In the method of manufacturing a magnetic recording medium according to these inventions, it is preferable that the second metal magnetic film forming step is performed while irradiating with a reactive N element and / or C element. . That is, it is preferable that both the first metal magnetic film forming step and the second metal magnetic film forming step are performed while irradiating the reactive N element and / or C element.
【００１１】本発明の磁気記録媒体に用いられる支持
体、特に非磁性の支持体としては、例えばポリエチレン
テレフタレート（ＰＥＴ）等のポリエステル、ポリアミ
ド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリカーボネート、
ポリプロピレン等のオレフィン系の樹脂、セルロース系
の樹脂、塩化ビニル系の樹脂といった高分子材料、ガラ
スやセラミック等の無機系材料、アルミニウム合金など
の金属材料が用いられる。そして、支持体面上には、必
要に応じて磁性層（磁性金属薄膜）の密着性を向上させ
る為のアンダーコート層が設けられている。すなわち、
表面の粗さを適度に粗すことにより、例えば斜め蒸着法
により構成される磁性金属薄膜の密着性を向上させ、さ
らに磁気記録媒体表面の表面粗さを適度なものとして走
行性を改善する為、例えばＳｉＯ2 等の粒子を含有させ
た厚さが０．００５〜０．１μｍの塗膜を設けることに
よってアンダーコート層が構成されている。The support used in the magnetic recording medium of the present invention, particularly the non-magnetic support, is, for example, polyester such as polyethylene terephthalate (PET), polyamide, polyimide, polysulfone, polycarbonate,
Polymer materials such as olefin resins such as polypropylene, cellulose resins and vinyl chloride resins, inorganic materials such as glass and ceramics, and metal materials such as aluminum alloys are used. An undercoat layer for improving the adhesion of the magnetic layer (magnetic metal thin film) is provided on the surface of the support, if necessary. That is,
By appropriately roughening the surface roughness, for example, to improve the adhesion of the magnetic metal thin film formed by the oblique vapor deposition method, and further to improve the running property by making the surface roughness of the magnetic recording medium moderate. The undercoat layer is formed by providing a coating film containing particles such as SiO 2 and having a thickness of 0.005 to 0.1 μm.
【００１２】上記のような支持体上に第１の金属薄膜型
の磁性膜が設けられる。この金属薄膜型の磁性膜を構成
する材料としては、例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の
他に、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−
Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ
−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合金、あるいはこれらにＡｌ等の
金属を含有させたもの等が用いられる。この他にも適宜
なものを用いることが出来る。A first metal thin film type magnetic film is provided on the support as described above. Examples of the material forming the metal thin film magnetic film include Co—Ni alloys, Co—Pt alloys, and Co—Ni— in addition to metals such as Fe, Co, and Ni.
Pt alloy, Fe-Co alloy, Fe-Ni alloy, Fe-C
o-Ni alloy, Fe-Co-B alloy, Co-Ni-Fe
A -B alloy, a Co-Cr alloy, or those containing a metal such as Al is used. Other than this, an appropriate one can be used.
【００１３】第１の金属薄膜型の磁性膜は、例えば蒸着
法、直流スパッタ法、交流スパッタ法、高周波スパッタ
法、直流マグネトロンスパッタ法、高周波マグネトロン
スパッタ法、イオンビームスパッタ法と言った乾式メッ
キ手段により形成される。ここで、注意すべき点は、第
１の金属薄膜型の磁性膜を成膜するに際して、酸素ガス
を導入しないことである。すなわち、格別な酸化膜が形
成されないように行う。しかしながら、後述の第２の金
属薄膜型の磁性膜との磁気分離がなされるよう、窒素ガ
スやアンモニアガス等のＮ元素を持つガスあるいはメタ
ンガス等のＣ元素を持つガスを導入する。もしくは、第
１の金属薄膜型の磁性膜を成膜するに際して、イオンガ
ン等の手段により窒素イオン及び／又は窒素ラディカ
ル、あるいは炭素イオン及び／又は炭素ラディカルを打
ち込む。つまり、堆積・成長した磁気カラム（磁性粒
子）が、酸化膜ではなく、非磁性の窒化膜あるいは炭化
膜で覆われるようにする。The first metal thin film type magnetic film is a dry plating means such as a vapor deposition method, a DC sputtering method, an AC sputtering method, a high frequency sputtering method, a DC magnetron sputtering method, a high frequency magnetron sputtering method and an ion beam sputtering method. Is formed by. Here, a point to be noted is that oxygen gas is not introduced when forming the first metal thin film type magnetic film. That is, it is performed so that no special oxide film is formed. However, a gas having an N element such as nitrogen gas or ammonia gas or a gas having a C element such as methane gas is introduced so as to be magnetically separated from a second metal thin film type magnetic film described later. Alternatively, when forming the first metal thin film type magnetic film, nitrogen ions and / or nitrogen radicals or carbon ions and / or carbon radicals are implanted by means of an ion gun or the like. That is, the deposited and grown magnetic column (magnetic particles) is covered with a non-magnetic nitride film or carbide film instead of the oxide film.
【００１４】表面に窒化膜あるいは炭化膜が形成された
第１の金属薄膜型の磁性膜の上に、第２の金属薄膜型の
磁性膜を設ける。この第２の金属薄膜型の磁性膜は、上
記第１の金属薄膜型の磁性膜を設けた手法と全く同じ手
法を採用できる。勿論、異なる手法が採用されても良
い。又、金属磁性膜を構成する材料のみを異ならしめて
も良い。尚、第１の金属薄膜型の磁性膜の厚さが３００
〜１５００Å程度であるのに対して、その上に成膜され
る第２の金属薄膜型の磁性膜の厚さは１５０〜１０００
Å程度である。A second metal thin film type magnetic film is provided on the first metal thin film type magnetic film having a nitride film or a carbonized film formed on the surface thereof. For this second metal thin film type magnetic film, the same method as the method of providing the first metal thin film type magnetic film can be adopted. Of course, different methods may be adopted. Further, only the material forming the metal magnetic film may be different. The thickness of the first metal thin film type magnetic film is 300
The thickness of the second metal thin film type magnetic film formed thereon is 150 to 1000, while the thickness is about 1500 to Å.
It is about Å.
【００１５】第２の金属薄膜型の磁性膜の成膜が第１の
金属薄膜型の磁性膜の成膜工程と同じ工程を経る場合に
は、表面に窒化膜あるいは炭化膜が形成されるから、格
別な保護膜を設けなくても済む。しかしながら、このよ
うな窒化膜あるいは炭化膜が形成されない場合には、例
えばＣＶＤ手段などによりダイヤモンドライクカーボン
と言ったような保護膜を設けるようにすることが好まし
い。If the second metal thin film type magnetic film is formed through the same steps as the first metal thin film magnetic film forming step, a nitride film or a carbide film is formed on the surface. , It is not necessary to provide a special protective film. However, when such a nitride film or a carbide film is not formed, it is preferable to provide a protective film such as diamond-like carbon by, for example, CVD means.
【００１６】保護膜（第２の金属薄膜型の磁性膜の表面
に形成された窒化膜あるいは炭化膜も含まれる）の上に
は潤滑剤が設けられる。潤滑剤は、これを含む溶液を塗
布することによって構成される。潤滑剤層の厚さは１０
〜２００Åであることが好ましい。特に、好ましいのは
２０〜５０Åである。用いられる潤滑剤はパーフロオロ
ポリエーテル、例えば-(C(R)F-CF2-O)p - （但し、Ｒは
Ｆ，ＣＦ3 ，ＣＨ3 などの基）、特にHOOC-CF2(O-C2F4)
p (OCF2) q -OCF2-COOH ，F-(CF2CF2CF2O)n -CF2CF2COO
H といったようなカルボキシル基変性パーフロオロポリ
エーテル、HOCH 2-CF2(O-C2F4) p (OCF2) q -OCF2-CH2O
H，HO-(C2H4-O) m -CH2-(O-C2F4) p (OCF 2) q -OCH2-(O
CH2CH2)n -OH ，F-(CF2CF2CF2O)n -CF2CF2CH2OHといっ
たようなアルコール変性パーフロオロポリエーテル等が
挙げられる。Protective film (the surface of the second metal thin film type magnetic film)
(Also includes nitride film or carbide film formed on)
Is provided with a lubricant. For the lubricant, apply a solution containing it.
Composed by cloth. The thickness of the lubricant layer is 10
It is preferably from 200 to 200Å. Especially preferred is
It is 20-50Å. The lubricant used is Perfluoro
Polyether, for example-(C (R) F-CF2-O)p-(However, R is
F, CF3, CH3Such as), especially HOOC-CF2(O-C2FFour)
p(OCF2)q -OCF2-COOH, F- (CF2CF2CF2O)n-CF2CF2COO
Carboxyl group-modified perfluoropolyol such as H
Ether, HOCH 2-CF2(O-C2FFour)p(OCF2)q -OCF2-CH2O
H, HO- (C2HFour-O)m-CH2-(O-C2FFour)p(OCF 2)q -OCH2-(O
CH2CH2)n-OH, F- (CF2CF2CF2O)n-CF2CF2CH2With OH
Such as alcohol-modified perfluoropolyether
Can be mentioned.
【００１７】又、磁性膜と反対側の支持体面上にはバッ
クコート層が設けられる。このバックコート層は、Ａｌ
等の金属薄膜タイプのものでも良い。又、カーボンブラ
ック及びバインダ樹脂を含有する塗料を塗布したタイプ
のものでも良い。本発明は、磁性膜が多層状に構成され
ている点に大きな特徴を持っている。すなわち、磁性膜
が積層されていない場合には意味を持たない。例えば、
磁性膜が一層で構成されている場合には、その表面に酸
化膜が構成されている場合でも、窒化膜あるいは炭化膜
が構成されている場合でも、その奏する特長には大きな
相違が認められないのである。しかしながら、これが、
二層以上の多層構造のものになると、後で示す通り、そ
の表面に酸化膜が構成されている場合と、窒化膜あるい
は炭化膜が構成されている場合とでは大きな差異が認め
られるのである。A back coat layer is provided on the surface of the support opposite to the magnetic film. This back coat layer is made of Al
It may be a metal thin film type such as. Further, a type in which a coating material containing carbon black and a binder resin is applied may be used. The present invention has a great feature in that the magnetic film has a multi-layered structure. That is, it has no meaning when the magnetic films are not stacked. For example,
When the magnetic film is composed of a single layer, no significant difference is observed in the characteristics exhibited, whether the oxide film is formed on the surface or the nitride film or the carbide film is formed. Of. However, this is
In the case of a multi-layer structure having two or more layers, as will be shown later, a large difference is recognized between the case where an oxide film is formed on the surface and the case where a nitride film or a carbide film is formed.
【００１８】尚、以下の実施例においては、磁性膜が二
層型のもので説明するが、これは三層型、あるいはそれ
以上のものであっても良い。以下、具体的な実施例を挙
げて本発明を説明する。In the following embodiments, the magnetic film will be described as a two-layer type, but this may be a three-layer type or more. Hereinafter, the present invention will be described with reference to specific examples.
【００１９】[0019]
〔実施例１〕図１は、本発明に係る磁気記録媒体の概略
断面図である。同図中、１１は６μｍ厚のＰＥＴフィル
ム、１２は斜め蒸着手段により１０００Åの厚さ設けら
れた第１のＦｅ金属磁性膜（第１の金属薄膜型の磁性
膜）である。尚、この第１のＦｅ金属磁性膜１２を形成
するに際して、図２に示される斜め蒸着装置が用いら
れ、そしてガス供給ノズル９から１００℃のアンモニア
ガスが７５ｓｃｃｍの割合で蒸着部めがけて吹き付けら
れている。従って、図１に示される通り、第１のＦｅ金
属磁性膜１２を構成する磁気カラム１２ａの表面は非磁
性の窒化膜（Ｆｅ2 ＮとＦｅＮとの混合系）１２ｂで覆
われている。[Embodiment 1] FIG. 1 is a schematic sectional view of a magnetic recording medium according to the present invention. In the figure, 11 is a PET film having a thickness of 6 μm, and 12 is a first Fe metal magnetic film (first metal thin film type magnetic film) provided with a thickness of 1000 Å by oblique vapor deposition means. When forming the first Fe metallic magnetic film 12, the oblique vapor deposition apparatus shown in FIG. 2 is used, and ammonia gas at 100 ° C. is sprayed from the gas supply nozzle 9 at a rate of 75 sccm toward the vapor deposition section. ing. Therefore, as shown in FIG. 1, the surface of the magnetic column 12a forming the first Fe metal magnetic film 12 is covered with the nonmagnetic nitride film (mixed system of Fe 2 N and FeN) 12b.
【００２０】この後、第１のＦｅ金属磁性膜１２の成膜
工程と同じ工程を経て、第１のＦｅ金属磁性膜１２の上
に第２のＦｅ金属磁性膜（第２の金属薄膜型の磁性膜）
１３が１０００Åの厚さ設けられた。従って、図１に示
される通り、第２のＦｅ金属磁性膜１３を構成する磁気
カラム１３ａの表面は非磁性の窒化膜（Ｆｅ2 ＮとＦｅ
Ｎとの混合系）１３ｂで覆われている。After that, the second Fe metal magnetic film (of the second metal thin film type) is formed on the first Fe metal magnetic film 12 through the same step as the step of forming the first Fe metal magnetic film 12. Magnetic film)
13 was provided with a thickness of 1000Å. Therefore, as shown in FIG. 1, the surface of the magnetic column 13a forming the second Fe metal magnetic film 13 is formed of a non-magnetic nitride film (Fe 2 N and Fe).
Mixed system with N) 13b.
【００２１】この後、ダイ塗工法により第２のＦｅ金属
磁性膜１３の上にパーフロオロポリエーテル（モンテカ
チーニ社のＦＯＭＢＬＩＮ Ｚ ＤＯＬ）の０．１ｗｔ
％溶液（溶剤はフッ素系の不活性液体（モンテカチーニ
社のＳＶ１１０））を乾燥後の厚さが２０Åとなるよう
塗布し、この後室温下において乾燥させ、潤滑剤層１４
を構成した。Then, 0.1 wt% of perfluoropolyether (FOMBLIN Z DOL of Montecatini Co.) was applied on the second Fe metal magnetic film 13 by a die coating method.
% Solution (solvent is fluorine-based inert liquid (SV110 of Montecatini)) is applied so that the thickness after drying becomes 20 Å, and then dried at room temperature to form the lubricant layer 14
Was configured.
【００２２】尚、１５は厚さ０．５μｍのバックコート
層である。 〔実施例２〕実施例１において、ガス供給ノズル９から
アンモニアガスを吹き付ける代わりにメタンガスを吹き
付け、非磁性の窒化膜が構成される代わりに非磁性の炭
化膜が構成されるようにした。Reference numeral 15 is a back coat layer having a thickness of 0.5 μm. [Example 2] In Example 1, methane gas was blown from the gas supply nozzle 9 instead of blowing ammonia gas, and a nonmagnetic carbide film was formed instead of a nonmagnetic nitride film.
【００２３】すなわち、実施例１において、第１の金属
薄膜型の磁性膜１２及び第２の金属薄膜型の磁性膜１３
における磁気カラムの表面は非磁性の炭化膜で覆われた
ものである。 〔比較例１〕実施例１において、ガス供給ノズル９から
アンモニアガスを吹き付ける代わりに酸素ガスを５５ｓ
ｃｃｍの割合で吹き付け、非磁性の窒化膜が構成される
代わりに酸化膜が構成されるようにした。That is, in Example 1, the first metal thin film type magnetic film 12 and the second metal thin film type magnetic film 13 were used.
The surface of the magnetic column in is covered with a non-magnetic carbide film. [Comparative Example 1] In Example 1, instead of spraying ammonia gas from the gas supply nozzle 9, 55 s of oxygen gas was used.
It was sprayed at a rate of ccm so that an oxide film was formed instead of a nonmagnetic nitride film.
【００２４】すなわち、実施例１において、第１の金属
薄膜型の磁性膜１２及び第２の金属薄膜型の磁性膜１３
における磁気カラムの表面は酸化膜で覆われたものであ
る。 〔比較例２〕実施例１において、アンモニアガス導入量
を４０ｓｃｃｍにした他は同様にして成膜した。尚、こ
の場合にあっては、Ｘ線回折によれば窒化膜は軟磁性を
有するものであった。That is, in Example 1, the first metal thin film type magnetic film 12 and the second metal thin film type magnetic film 13 were used.
The surface of the magnetic column in is covered with an oxide film. [Comparative Example 2] A film was formed in the same manner as in Example 1 except that the amount of introduced ammonia gas was 40 sccm. In this case, the X-ray diffraction showed that the nitride film had soft magnetism.
【００２５】〔比較例３〕比較例１において、第２の金
属薄膜型の磁性膜を設けない代わりに、第１の金属薄膜
型の磁性膜の厚さを２０００Å厚さの一層構成とした他
は同様にした。尚、本比較例にあっても、金属薄膜型の
磁性膜における磁気カラムの表面は酸化膜で覆われてい
る。[Comparative Example 3] In Comparative Example 1, the second metal thin film type magnetic film was not provided, but the first metal thin film type magnetic film had a thickness of 2000 Å. Did the same. Even in this comparative example, the surface of the magnetic column in the metal thin film type magnetic film is covered with the oxide film.
【００２６】〔比較例４〕実施例１において、第２の金
属薄膜型の磁性膜を設けない代わりに、第１の金属薄膜
型の磁性膜の厚さを２０００Å厚さの一層構成とした他
は同様にした。尚、本比較例にあっても、金属薄膜型の
磁性膜における磁気カラムの表面は窒化膜で覆われてい
る。[Comparative Example 4] In Example 1, the second metal thin film type magnetic film was not provided, but the thickness of the first metal thin film type magnetic film was set to 2000 Å one layer. Did the same. Even in this comparative example, the surface of the magnetic column in the metal thin film type magnetic film is covered with the nitride film.
【００２７】〔比較例５〕実施例２において、第２の金
属薄膜型の磁性膜を設けない代わりに、第１の金属薄膜
型の磁性膜の厚さを２０００Å厚さの一層構成とした他
は同様にした。尚、本比較例にあっても、金属薄膜型の
磁性膜における磁気カラムの表面は炭化膜で覆われてい
る。[Comparative Example 5] In Example 2, the second metal thin film type magnetic film was not provided, but the thickness of the first metal thin film type magnetic film was set to 2000 Å one layer. Did the same. Even in this comparative example, the surface of the magnetic column in the metal thin film type magnetic film is covered with the carbonized film.
【００２８】〔特性〕上記各例の磁気テープを８ｍｍ幅
にスリットし、市販の８ｍｍＶＴＲの改造機に装着し、
Ｃ／Ｎ及び出力特性を調べたので、その結果を表−１に
示す。又、スチル再生を行い、耐久性を調べた。耐久性
は、出力が３ｄＢ低下するまでの時間でもって示す。[Characteristics] The magnetic tape of each of the above examples was slit into a width of 8 mm and mounted on a commercially available modified 8 mm VTR,
The C / N and output characteristics were investigated, and the results are shown in Table-1. Also, still reproduction was performed to examine the durability. The durability is shown by the time until the output decreases by 3 dB.
【００２９】 表−１ Ｃ／Ｎ（dB） 出力（dB） 耐久性（分） 備考 実施例１ １．２ ２．３ ３３０ 二層磁性膜 実施例２ １．１ １．９ ２８０ 二層磁性膜 比較例１ ０ ０ １５０ 二層磁性膜 比較例２ −０．５ −１．５ １８０ 二層磁性膜 比較例３ −４．０ ０．５ １２０ 一層磁性膜 比較例４ −３．５ ０．５ １４０ 一層磁性膜 比較例５ −３．５ ０．５ １４０ 一層磁性膜 ＊Ｃ／Ｎ及び出力は、比較例１を基準とした値で表示 これによれば、多層構造の金属磁性膜の磁気分離膜とし
て非磁性の窒化膜や炭化膜が用いられてなる磁気記録媒
体は、Ｃ／Ｎや出力などの電磁変換特性に優れており、
しかも窒化膜や炭化膜は硬いことから耐久性にも富んで
いることが判る。Table-1 C / N (dB) Output (dB) Durability (min) Remark Example 1 1.2 2.3 330 Two-layer magnetic film Example 2 1.1 1.9 280 Two-layer magnetic film Comparative Example 1 0 0 150 two-layer magnetic film Comparative Example 2-0.5-1.5 180 two-layer magnetic film Comparative Example 3 -4.0 0.5 120 single-layer magnetic film Comparative Example 4-3.5 0.5 140 Single-Layer Magnetic Film Comparative Example 5-3.5 0.5 140 Single-Layer Magnetic Film * C / N and output are shown with reference to Comparative Example 1 according to the magnetic separation of the multi-layered metal magnetic film. A magnetic recording medium using a non-magnetic nitride film or a carbide film as a film is excellent in electromagnetic conversion characteristics such as C / N and output,
Moreover, since the nitride film and the carbonized film are hard, it can be seen that they are also highly durable.
【００３０】尚、比較例２，３，４同士の比較から判る
通り、磁性膜が一層からなる場合には、表面に形成され
るのが酸化膜であるか、窒化膜であるか、あるいは炭化
膜であるかによっては、電磁変換特性に大きな差が認め
られない。しかしながら、磁性膜が多層型のものになる
と、表面に形成されるのが酸化膜であるか、窒化膜であ
るか、あるいは炭化膜であるかによって大きな差が起き
ている。この点に、本発明の大きな特徴が有る。As can be seen from the comparison between Comparative Examples 2, 3, and 4, when the magnetic film is composed of one layer, it is an oxide film, a nitride film, or a carbonized film formed on the surface. No significant difference is observed in the electromagnetic conversion characteristics depending on whether the film is a film. However, when the magnetic film is of a multi-layer type, a large difference occurs depending on whether an oxide film, a nitride film, or a carbide film is formed on the surface. This point has a major feature of the present invention.
【００３１】[0031]
【効果】本発明によれば、電磁変換特性に優れ、耐久性
に優れたものが得られる。[Effect] According to the present invention, it is possible to obtain the one having excellent electromagnetic conversion characteristics and excellent durability.
【図１】本発明に係る磁気記録媒体の概略図FIG. 1 is a schematic diagram of a magnetic recording medium according to the present invention.
【図２】磁気記録媒体の製造装置の概略図FIG. 2 is a schematic diagram of a magnetic recording medium manufacturing apparatus.
【図３】従来の磁気記録媒体の概略図FIG. 3 is a schematic view of a conventional magnetic recording medium.
１１ ＰＥＴフィルム １２ 第１の金属薄膜型の磁性膜 １２ａ 磁気カラム １２ｂ 非磁性の窒化膜（炭化膜） １３ 第２の金属薄膜型の磁性膜 １３ａ 磁気カラム １３ｂ 非磁性の窒化膜（炭化膜） １４ 潤滑剤層 １５ バックコート層 Reference Signs List 11 PET film 12 First metal thin film magnetic film 12a Magnetic column 12b Non-magnetic nitride film (carbide film) 13 Second metal thin film magnetic film 13a Magnetic column 13b Non-magnetic nitride film (carbide film) 14 Lubricant layer 15 Back coat layer
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若林 繁美 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内 (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Shigemi Wakabayashi 2606, Akabane, Kai-cho, Haga-gun, Tochigi Prefecture Kao Co., Ltd.Institute of Information Sciences (72) Inventor Akira Shiga, 2606 Akabane, Kaiga-cho, Haga-gun, Tochigi Kao-sha ceremony Company Information Science Laboratory
Claims (8)
薄膜型の磁性膜とが支持体上に積重されてなる磁気記録
媒体であって、前記第１の金属薄膜型の磁性膜と第２の
金属薄膜型の磁性膜とが非磁性の窒化膜で磁気的に分離
されてなることを特徴とする磁気記録媒体。1. A magnetic recording medium in which a first metal thin film type magnetic film and a second metal thin film type magnetic film are stacked on a support, wherein the first metal thin film type magnetic film A magnetic recording medium characterized in that the magnetic film and the second metal thin film type magnetic film are magnetically separated by a non-magnetic nitride film.
薄膜型の磁性膜とが支持体上に積重されてなる磁気記録
媒体であって、前記第１の金属薄膜型の磁性膜と第２の
金属薄膜型の磁性膜とが非磁性の炭化膜で磁気的に分離
されてなることを特徴とする磁気記録媒体。2. A magnetic recording medium in which a first metal thin film type magnetic film and a second metal thin film type magnetic film are stacked on a support, wherein the first metal thin film type magnetic film is A magnetic recording medium characterized in that a magnetic film and a second metal thin film type magnetic film are magnetically separated by a non-magnetic carbide film.
薄膜型の磁性膜とが支持体上に積重されてなる磁気記録
媒体であって、前記第１の金属薄膜型の磁性膜は非磁性
の窒化膜で覆われた磁性粒子で構成されてなることを特
徴とする磁気記録媒体。3. A magnetic recording medium in which a first metal thin film type magnetic film and a second metal thin film type magnetic film are stacked on a support, wherein the first metal thin film type magnetic film A magnetic recording medium characterized in that the magnetic film is composed of magnetic particles covered with a non-magnetic nitride film.
薄膜型の磁性膜とが支持体上に積重されてなる磁気記録
媒体であって、前記第１の金属薄膜型の磁性膜は非磁性
の炭化膜で覆われた磁性粒子で構成されてなることを特
徴とする磁気記録媒体。4. A magnetic recording medium in which a first metal thin film type magnetic film and a second metal thin film type magnetic film are stacked on a support, wherein the first metal thin film type magnetic film A magnetic recording medium characterized in that the magnetic film is composed of magnetic particles covered with a non-magnetic carbonized film.
化膜および／または非磁性の炭化膜で覆われた磁性粒子
で構成されてなることを特徴とする請求項１〜請求項４
いずれかに記載の磁気記録媒体。5. The second metal thin film type magnetic film is composed of magnetic particles covered with a non-magnetic nitride film and / or a non-magnetic carbonized film. Four
The magnetic recording medium according to any one of the above.
しながら金属磁性粒子を支持体上に堆積させる第１の金
属磁性膜成膜工程と、第１の金属磁性膜成膜工程で設け
られた第１の金属薄膜型の磁性膜上に第２の金属薄膜型
の磁性膜を設ける第２の金属磁性膜成膜工程とを具備す
ることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。6. A first metal magnetic film forming step of depositing metal magnetic particles on a support while irradiating a material having a reactive N element, and a first metal magnetic film forming step. A second metal magnetic film forming step of providing a second metal thin film magnetic film on the obtained first metal thin film magnetic film.
しながら金属磁性粒子を支持体上に堆積させる第１の金
属磁性膜成膜工程と、第１の金属磁性膜成膜工程で設け
られた第１の金属薄膜型の磁性膜上に第２の金属薄膜型
の磁性膜を設ける第２の金属磁性膜成膜工程とを具備す
ることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。7. A first metal magnetic film forming step of depositing metal magnetic particles on a support while irradiating a material having a reactive C element, and a first metal magnetic film forming step. A second metal magnetic film forming step of providing a second metal thin film magnetic film on the obtained first metal thin film magnetic film.
するＮ元素および／またはＣ元素を持つものを照射しな
がら行われることを特徴とする請求項６または請求項７
の磁気記録媒体の製造方法。8. The method according to claim 6 or 7, wherein the second metal magnetic film forming step is performed while irradiating a material having a reactive N element and / or C element.
Manufacturing method of magnetic recording medium of.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17796594A JPH0845054A (en) | 1994-07-29 | 1994-07-29 | Magnetic recording medium and its production |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17796594A JPH0845054A (en) | 1994-07-29 | 1994-07-29 | Magnetic recording medium and its production |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0845054A true JPH0845054A (en) | 1996-02-16 |
Family
ID=16040179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17796594A Pending JPH0845054A (en) | 1994-07-29 | 1994-07-29 | Magnetic recording medium and its production |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0845054A (en) |
-
1994
- 1994-07-29 JP JP17796594A patent/JPH0845054A/en active Pending
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