JPH08102053A - Magnetic recording medium - Google Patents

Magnetic recording medium

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Publication number
JPH08102053A
JPH08102053A JP23502194A JP23502194A JPH08102053A JP H08102053 A JPH08102053 A JP H08102053A JP 23502194 A JP23502194 A JP 23502194A JP 23502194 A JP23502194 A JP 23502194A JP H08102053 A JPH08102053 A JP H08102053A
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JP
Japan
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film
magnetic
recording medium
layer
magnetic recording
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Pending
Application number
JP23502194A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hirohide Mizunoya
博英 水野谷
Noriyuki Kitaori
典之 北折
Osamu Yoshida
修 吉田
Shigemi Wakabayashi
繁美 若林
Akira Shiga
章 志賀
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kao Corp
Original Assignee
Kao Corp
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Filing date
Publication date
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Abstract

PURPOSE: To obtain a magnetic recording medium having good durability and corrosion resistance by constituting the medium of a supporting body, magnetic layer formed on the surface of the supporting body and back coating layer on the back surface of the supporting body. CONSTITUTION: This magnetic recording medium is produced by the following method. A PET film 1 is mounted on a vapor deposition device first, a Cu-Al alloy filled in the device is irradiated with electron beams to deposit Cu-Al alloy particles on the back surface of the PET film 1 while oxygen gas is introduced into the device. Then the film is sent to an oblique vapor deposition device, where a Co base magnetic alloy in a crucible in the device is irradiated with electron beams to deposit the Co base magnetic alloy particles on the surface of the PET film 1 while oxygen gas is introduced. Then the film is introduced into an ECR plasma CVD device where a diamond-like carbon film 3 is formed on the metal magnetic film 2.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は磁気記録媒体に関する。FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a magnetic recording medium.

【0002】[0002]

【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体には、非磁
性支持体であるフィルム上に磁性粉やバインダを溶剤中
に分散させた磁性塗料を塗布してなる塗布型のものと、
バインダを用いず、金属磁性粒子をフィルム上に堆積さ
せてなる金属薄膜型のものとがある。
BACKGROUND OF THE INVENTION Magnetic recording media such as magnetic tapes are of a coating type in which a magnetic coating in which a magnetic powder or a binder is dispersed in a solvent is coated on a film which is a non-magnetic support.
There is a metal thin film type in which metal magnetic particles are deposited on a film without using a binder.

【0003】これらの中、金属薄膜型の磁気記録媒体
は、磁性層(磁性膜)にバインダを含まないことから、
磁性材料の充填密度が高く、高密度記録に適したもので
ある。特に、ハイビジョン方式やデジタル記録方式の出
現した今日にあっては、高密度記録の観点から、金属薄
膜型の磁気記録媒体に対する要請が高まる一方である。
このような金属薄膜型の磁気記録媒体は、磁性膜の表面
が平滑なことや磁性膜中に潤滑剤を含まないこと等か
ら、磁性膜上に保護層(保護膜)が設けられている。例
えば、金属磁性膜上にダイヤモンドライクカーボン等の
カーボン膜を設けることが提案されている。
Among these, the metal thin film type magnetic recording medium does not contain a binder in the magnetic layer (magnetic film),
The magnetic material has a high packing density and is suitable for high-density recording. In particular, with the advent of high-definition systems and digital recording systems, demands for metal thin film magnetic recording media are increasing from the viewpoint of high-density recording.
In such a metal thin film type magnetic recording medium, a protective layer (protective film) is provided on the magnetic film because the surface of the magnetic film is smooth and the magnetic film contains no lubricant. For example, it has been proposed to provide a carbon film such as diamond-like carbon on the metal magnetic film.

【0004】ところで、金属薄膜型の磁気記録媒体にあ
ってもバックコート層が設けられていることは塗布型の
磁気記録媒体の場合と同様である。但し、塗布型の磁気
記録媒体の場合におけるバックコート層はカーボンブラ
ック含有塗料を塗布して構成されたものに過ぎなかった
が、金属薄膜型の磁気記録媒体の場合におけるバックコ
ート層は、カーボンブラック含有塗料を塗布して構成さ
れる他、金属磁性膜の場合と同様にバインダ樹脂を含ま
ない金属薄膜により構成される場合がある。
Incidentally, even in the metal thin film type magnetic recording medium, the back coat layer is provided as in the case of the coating type magnetic recording medium. However, the back coat layer in the case of the coating type magnetic recording medium was only constituted by coating the carbon black-containing paint, but the back coat layer in the case of the metal thin film type magnetic recording medium was formed of carbon black. In addition to being formed by applying a coating material, it may be formed by a metal thin film containing no binder resin as in the case of the metal magnetic film.

【0005】このような場合において、磁性膜上に保護
膜を設けたのと同様な観点から、バックコート層(バッ
クコート膜)上にも保護膜を設けることが提案されるに
至った。
In such a case, it has been proposed to provide a protective film also on the back coat layer (back coat film) from the same viewpoint as that of providing the protective film on the magnetic film.

【0006】[0006]

【発明の開示】しかしながら、このようなものでも充分
ではないことが次第に判って来た。すなわち、再生特性
を向上させる観点から、磁気テープの走行速度(あるい
は、再生ヘッドとの間の相対速度)を速くすることが求
められている。この為、記録・再生装置における磁気テ
ープの走行経路に設けられているガイド系との間の摺動
は激しくなる傾向にある。又、ハイビジョン方式やデジ
タル記録方式に用いられる磁気テープにあっては、厚さ
が従来のものよりも薄くなって来ている。従って、磁気
テープがダメージ(例えば、ワカメ状になる)を受ける
度合いは以前に比べると格段に大きくなって来た。
DISCLOSURE OF THE INVENTION However, it has gradually been found that such a thing is not enough. That is, from the viewpoint of improving the reproduction characteristics, it is required to increase the running speed of the magnetic tape (or the relative speed to the reproducing head). For this reason, the sliding between the guide system provided on the running path of the magnetic tape in the recording / reproducing apparatus tends to become severe. In addition, the magnetic tape used in the high-definition system and the digital recording system has become thinner than the conventional one. Therefore, the degree to which the magnetic tape is damaged (for example, becomes wakame-like) has become much greater than before.

【0007】ところで、磁気テープが上記のような損傷
を受けた場合に、磁気テープが金属薄膜型のものである
と、耐蝕性も急激に低下して来ることが判って来た。こ
の原因について検討を鋭意押し進めて行った結果、金属
薄膜型の磁気テープにおける磁性膜を構成している磁性
材料、例えばCoは耐蝕性が低く、この為磁気テープが
ワカメ状になったりすると、磁性膜が直接表面に露出
し、腐食が急速に進み始めることが判って来たのであ
る。
By the way, it has been found that when the magnetic tape is damaged as described above, if the magnetic tape is of a metal thin film type, the corrosion resistance is also sharply reduced. As a result of earnestly studying the cause of this, the magnetic material forming the magnetic film in the metal thin film type magnetic tape, for example, Co, has low corrosion resistance, and if the magnetic tape becomes wakame-like, It has been found that the film is exposed directly to the surface and corrosion begins to progress rapidly.

【0008】従って、上記のようなダメージが起き難い
ものとしておけば、耐蝕性にも富むものとなることが判
って来た。そして、磁性層やバックコート層の上だけで
はなく側面にも保護層を設けておけば、磁気テープの走
行経路に設けられているガイド系との間で激しく摺動し
ても、磁気テープはワカメ状になり難く、よって耐蝕性
にも富むであろうと考えられた。
Therefore, it has been found that if the above-mentioned damage is hard to occur, the corrosion resistance is also excellent. If a protective layer is provided not only on the magnetic layer or the back coat layer but also on the side surface, the magnetic tape will not be damaged even if it slides violently against the guide system provided in the running path of the magnetic tape. It was thought that it would not easily become wakame-like, and would therefore have excellent corrosion resistance.

【0009】このような知見に基づいて本発明が達成さ
れたものであり、本発明は耐久性および耐蝕性に富む磁
気記録媒体を提供することを目的とする。この本発明の
目的は、支持体と、この支持体の表面側に設けられた磁
性層と、前記支持体の裏面側に設けられたバックコート
層と、前記磁性層の表面側に設けられた保護層と、前記
バックコート層の裏面側に設けられた保護層と、前記支
持体、磁性層およびバックコート層が積層された積層体
の側面側に設けられた保護層とを具備することを特徴と
する磁気記録媒体によって達成される。
The present invention has been achieved based on such knowledge, and an object of the present invention is to provide a magnetic recording medium having excellent durability and corrosion resistance. The object of the present invention is to provide a support, a magnetic layer provided on the front surface side of the support, a back coat layer provided on the back surface side of the support, and a front surface side of the magnetic layer. A protective layer, a protective layer provided on the back surface side of the back coat layer, and a protective layer provided on the side surface side of a laminate in which the support, the magnetic layer and the back coat layer are laminated. This is achieved by the characteristic magnetic recording medium.

【0010】特に、上記積層体の表面、裏面、左右両側
面の周囲四面が保護層で覆われてなる場合、更には積層
体の表面、裏面、左右両側面の周囲四面が保護層で覆わ
れてなり、磁性層およびバックコート層が露出していな
いよう構成させた磁気記録媒体によって達成される。
尚、磁性層が金属薄膜型の磁性膜である場合やバックコ
ート層が金属薄膜型のバックコート膜である場合、この
本発明の構成は一段大きな効果を奏するようになる。従
って、いわゆる金属薄膜型の磁気記録媒体において上記
本発明の構成を採用することが特に好ましい。
In particular, when the front surface, the back surface, and the four peripheral surfaces of the left and right side surfaces of the laminate are covered with protective layers, the front surface, the back surface, and the four peripheral surfaces of the left and right side surfaces of the laminate are also covered with the protective layers. And a magnetic recording medium configured such that the magnetic layer and the back coat layer are not exposed.
When the magnetic layer is a metal thin film type magnetic film or when the back coat layer is a metal thin film type back coat film, the structure of the present invention exerts a greater effect. Therefore, it is particularly preferable to employ the constitution of the present invention in a so-called metal thin film type magnetic recording medium.

【0011】又、磁性層やバックコート層上の保護層の
表面には潤滑剤層が設けられていることが好ましい。す
なわち、保護膜がケミカルベーパーデポジションやフィ
ジカルベーパーデポジションで構成されると、この保護
膜は平滑性が高く、貼り付きが起き易くなり、走行性が
低下することから、潤滑剤が塗布され、潤滑剤層(潤滑
剤膜)が設けられていることが好ましい。
A lubricant layer is preferably provided on the surface of the protective layer on the magnetic layer or the back coat layer. That is, when the protective film is formed by chemical vapor deposition or physical vapor deposition, the protective film has high smoothness, sticking is likely to occur, and running property is deteriorated. It is preferable that a lubricant layer (lubricant film) is provided.

【0012】本発明の磁気記録媒体における支持体は、
磁性を有するものでも、非磁性のものでも良いが、一般
的には非磁性のものが用いられる。例えば、PET等の
ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォ
ン、ポリカーボネート、ポリプロピレン等のオレフィン
系の樹脂、セルロース系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂等
の高分子材料、ガラスやセラミック等の無機系材料が用
いられる。
The support in the magnetic recording medium of the present invention is
A magnetic material or a non-magnetic material may be used, but a non-magnetic material is generally used. For example, polyester such as PET, polyamide, polyimide, polysulfone, polycarbonate, olefin resin such as polypropylene, cellulose resin, polymer material such as vinyl chloride resin, or inorganic material such as glass or ceramic is used. To be

【0013】このような支持体の一面(表面)に磁性
層、特に金属薄膜型の磁性膜が一層以上(一層であって
も、二層以上の多層型のものでも良い)設けられる。
尚、この金属薄膜型の磁性膜は、その厚さが1000〜
2500Å、より好ましくは1500〜2000Å程度
である。すなわち、例えば無電解メッキ等の湿式メッキ
手段、蒸着法、直流スパッタ法、交流スパッタ法、高周
波スパッタ法、直流マグネトロンスパッタ法、高周波マ
グネトロンスパッタ法、イオンビームスパッタ法などの
乾式メッキ手段により金属薄膜型の磁性膜が設けられ
る。特に、斜め蒸着法などの乾式メッキ手段により形成
される。尚、この金属薄膜型の磁性層を構成する材料と
しては、例えばFe,Co,Ni等の金属の他に、Co
−Ni合金、Co−Pt合金、Co−Ni−Pt合金、
Fe−Co合金、Fe−Ni合金、Fe−Co−Ni合
金、Fe−Co−B合金、Co−Ni−Fe−B合金、
Co−Cr合金、あるいはこれらにAl等の金属を含有
させたもの等が用いられる。
A magnetic layer, in particular, a metal thin film type magnetic film is provided on one surface (surface) of such a support (one layer or a multilayer type of two or more layers may be provided).
The metal thin film magnetic film has a thickness of 1000 to
It is 2,500 Å, more preferably about 1500 to 2,000 Å. That is, for example, a wet plating means such as electroless plating, a vapor deposition method, a DC sputtering method, an AC sputtering method, a high frequency sputtering method, a DC magnetron sputtering method, a high frequency magnetron sputtering method, an ion beam sputtering method, etc. Magnetic film is provided. In particular, it is formed by a dry plating means such as an oblique vapor deposition method. In addition to the metals such as Fe, Co, and Ni, Co may be used as the material for forming the metal thin film type magnetic layer.
-Ni alloy, Co-Pt alloy, Co-Ni-Pt alloy,
Fe-Co alloy, Fe-Ni alloy, Fe-Co-Ni alloy, Fe-Co-B alloy, Co-Ni-Fe-B alloy,
A Co—Cr alloy or an alloy containing a metal such as Al is used.

【0014】尚、斜め蒸着法などによって金属系磁性膜
を設ける際に、酸化性ガス(例えば、酸素、オゾン、こ
れらの混合ガス等)や酸素イオンあるいは酸素ラディカ
ルを供給し、金属系磁性膜の表層部分が酸化されるよう
にしても良い。あるいは、反応性に富む窒素化合物、窒
素イオンや窒素ラディカルを供給し、金属系磁性膜の表
層部分が窒化されるようにしても良い。若しくは、反応
性に富む炭素化合物、炭素イオンや炭素ラディカルを供
給し、金属系磁性膜の表層部分が炭化されるようにして
も良い。従って、このような酸化膜、窒化膜あるいは炭
化膜を保護膜と考えても良いが、後述する通り、格別な
保護膜が設けられることが好ましい。
When the metal-based magnetic film is formed by the oblique deposition method or the like, an oxidizing gas (for example, oxygen, ozone, a mixed gas thereof, etc.), oxygen ions or oxygen radicals are supplied to the metal-based magnetic film. The surface layer portion may be oxidized. Alternatively, a highly reactive nitrogen compound, nitrogen ions, or nitrogen radicals may be supplied to nitride the surface layer portion of the metal-based magnetic film. Alternatively, a highly reactive carbon compound, carbon ion or carbon radical may be supplied to carbonize the surface layer portion of the metal-based magnetic film. Therefore, such an oxide film, a nitride film, or a carbide film may be considered as a protective film, but as described later, it is preferable to provide a special protective film.

【0015】支持体の他面(裏面)には、バックコート
層、特に金属薄膜型のバックコート膜(金属系膜)が設
けられる。すなわち、例えば無電解メッキ等の湿式メッ
キ手段、蒸着法、直流スパッタ法、交流スパッタ法、高
周波スパッタ法、直流マグネトロンスパッタ法、高周波
マグネトロンスパッタ法、イオンビームスパッタ法など
の乾式メッキ手段により金属系膜が設けられる。尚、こ
のバックコート膜は、その厚さが1000〜3000
Å、より好ましくは1500〜2500Å程度である。
バックコート膜を構成する金属粒子の材料としては、例
えばAl,Zn,Sn,Ni,Ag,Fe,Tiなどの
金属が用いられる。又、Cu−Al−X(但し、XはM
n,Fe,Niの群の中から選ばれる一つ、若しくは二
つ以上)系合金、Al−Si系合金、Ti合金等が用い
られる。尚、Cu−Al−X(但し、XはMn,Fe,
Niの群の中から選ばれる一つ、若しくは二つ以上)系
合金におけるCu含有量は70〜90at%、Al含有
量は8〜25at%、Mn含有量が0.5〜4at%
で、Fe含有量が0.4〜5at%で、Ni含有量が
0.4〜4at%であり、Mn,Fe,Niの総含有量
が1〜6at%であることが好ましい。又、Al−Si
系合金におけるAl含有量は15〜70at%、Si含
有量が15〜70at%であることが好ましい。
On the other surface (back surface) of the support, a back coat layer, particularly a metal thin film type back coat film (metal film) is provided. That is, for example, a wet-type plating means such as electroless plating, a vapor deposition method, a DC sputtering method, an AC sputtering method, a high-frequency sputtering method, a DC magnetron sputtering method, a high-frequency magnetron sputtering method, an ion beam sputtering method, etc. Is provided. The back coat film has a thickness of 1000 to 3000.
Å, more preferably about 1500 to 2500Å.
As the material of the metal particles forming the back coat film, for example, metals such as Al, Zn, Sn, Ni, Ag, Fe and Ti are used. Also, Cu-Al-X (where X is M
One or more selected from the group consisting of n, Fe and Ni) based alloys, Al-Si based alloys, Ti alloys and the like are used. Cu-Al-X (where X is Mn, Fe,
One or two or more selected from the group of Ni) -based alloy has a Cu content of 70 to 90 at%, an Al content of 8 to 25 at%, and a Mn content of 0.5 to 4 at%.
It is preferable that the Fe content is 0.4 to 5 at%, the Ni content is 0.4 to 4 at%, and the total content of Mn, Fe, and Ni is 1 to 6 at%. Also, Al-Si
The Al content in the system alloy is preferably 15 to 70 at%, and the Si content is preferably 15 to 70 at%.

【0016】又、バックコート膜の成膜時に、酸化性ガ
スや酸素イオンあるいは酸素ラディカルを供給し、金属
系膜の表層部分が酸化されるようにしても良い。あるい
は、反応性に富む窒素化合物、窒素イオンや窒素ラディ
カルを供給し、金属系膜の表層部分が窒化されるように
しても良い。若しくは、反応性に富む炭素化合物、炭素
イオンや炭素ラディカルを供給し、金属系膜の表層部分
が炭化されるようにしても良い。従って、このような酸
化膜、窒化膜あるいは炭化膜を保護膜と考えても良い
が、後述する通り、格別な保護膜が設けられることが好
ましい。
Further, at the time of forming the back coat film, an oxidizing gas, oxygen ions or oxygen radical may be supplied to oxidize the surface layer portion of the metal film. Alternatively, a highly reactive nitrogen compound, nitrogen ion, or nitrogen radical may be supplied to nitride the surface layer portion of the metal-based film. Alternatively, a highly reactive carbon compound, carbon ion or carbon radical may be supplied to carbonize the surface layer portion of the metal-based film. Therefore, such an oxide film, a nitride film, or a carbide film may be considered as a protective film, but as described later, it is preferable to provide a special protective film.

【0017】上記磁性膜−支持体−バックコート膜の積
層体の表面、裏面、左右両側面には保護膜が設けられ
る。この保護膜を構成する材料としては、硬度が高い無
機材料が用いられる。例えば、カーボン系の膜で構成さ
れる。特に、好ましい例としてダイヤモンドライクカー
ボンが挙げられる。尚、このダイヤモンドライクカーボ
ン等からなる保護膜は、その厚さが30〜3000Å程
度である。特に、積層体の表面に形成される保護膜の厚
さは50〜150Å、積層体の裏面に形成される保護膜
の厚さは50〜200Å、積層体の側面に形成される保
護膜の厚さは50〜200Åであることが好ましい。
A protective film is provided on the front surface, the back surface, and the left and right side surfaces of the laminated body of the magnetic film-support-back coat film. An inorganic material having high hardness is used as a material for forming the protective film. For example, it is composed of a carbon-based film. Particularly preferable example is diamond-like carbon. The protective film made of diamond-like carbon or the like has a thickness of about 30 to 3000 Å. In particular, the thickness of the protective film formed on the surface of the laminated body is 50 to 150Å, the thickness of the protective film formed on the back surface of the laminated body is 50 to 200Å, the thickness of the protective film formed on the side surface of the laminated body. The length is preferably 50 to 200Å.

【0018】ダイヤモンドライクカーボン等の材料より
なる保護膜は、例えばCVD手段を用いて成膜される。
すなわち、真空槽内に配設された供給側ロールから冷却
キャンローラを経て巻取側ロールに走行している支持体
(積層体)に対してCVD装置を作動させ、冷却キャン
ローラに添接されている積層体に対して炭化水素系ガス
のプラズマを吹き付けると、表面にダイヤモンドライク
カーボン膜が成膜される。従って、三方から炭化水素系
ガスのプラズマを吹き付けるようにすれば、積層体の表
面(又は裏面)と左右両側面の三面にダイヤモンドライ
クカーボン膜が同時に成膜される。
The protective film made of a material such as diamond-like carbon is formed by using, for example, CVD means.
That is, the CVD device is operated on the support (laminate) running from the supply-side roll arranged in the vacuum tank to the winding-side roll through the cooling-can roller, and is attached to the cooling-can roller. When plasma of hydrocarbon gas is blown to the laminated body, a diamond-like carbon film is formed on the surface. Therefore, if the plasma of hydrocarbon gas is blown from three directions, the diamond-like carbon film is simultaneously formed on the front surface (or the back surface) and the left and right side surfaces of the laminate.

【0019】保護膜を形成する為の炭化水素系ガスとし
ては、メタン等のパラフィン系炭化水素、ベンゼン等の
芳香族炭化水素、あるいはこれらの同族体や誘導体のよ
うなNを環構成要素として含む窒素含有環状炭化水素を
挙げることが出来る。又、H 2 ,O2 ,N2 ,NH3
NO2 ,NO等も炭化水素系のガスと併用出来る。磁性
膜−支持体−バックコート膜の積層体の表面や裏面上の
保護膜上には潤滑剤が設けられる。潤滑剤は、これを含
む溶液を塗布することによって構成される。潤滑剤層の
厚さは10〜200Åであることが好ましい。特に、好
ましいのは20〜50Åである。用いられる潤滑剤はパ
ーフロオロポリエーテル、例えば-(C(R)F-CF2-O)p -
(但し、RはF,CF3 ,CH3 などの基)、特にHOOC
-CF2(O-C2F4)p (OCF2) q -OCF2-COOH ,F-(CF2CF2CF2O)
n -CF2CF2COOH といったようなカルボキシル基変性パー
フロオロポリエーテル、HOCH2-CF2(O-C2F4) p (OCF2) q
-OCF2-CH2OH,HO-(C2H4-O) m -CH2-(O-C2F4) p (OCF2)
q -OCH2-(OCH2CH2)n -OH ,F-(CF2CF2CF2O)n -CF2CF2C
H2OHといったようなアルコール変性パーフロオロポリエ
ーテル等が挙げられる。具体的には、モンテカチーニ社
製のFOMBLIN AM2001、FOMBLIN
ZDOL、ダイキン工業社製のDEMNUM SA等が
挙げられる。
As a hydrocarbon gas for forming a protective film
For paraffin hydrocarbons such as methane, benzene, etc.
Aromatic hydrocarbons or their homologues and derivatives
A nitrogen-containing cyclic hydrocarbon containing N as a ring constituent
I can name it. Also, H 2, O2, N2, NH3,
NO2, NO, etc. can also be used together with hydrocarbon type gas. Magnetism
Membrane-Support-Backcoat
A lubricant is provided on the protective film. Lubricants include this
It is constructed by applying a solution. Of the lubricant layer
The thickness is preferably 10 to 200Å. Especially good
The preferred range is 20 to 50Å. The lubricant used is
-Fluoropolyether, for example-(C (R) F-CF2-O)p-
(However, R is F, CF3, CH3Such as), especially HOOC
-CF2(O-C2FFour)p(OCF2)q -OCF2-COOH, F- (CF2CF2CF2O)
n-CF2CF2Carboxyl group-modified par such as COOH
Fluoropolyether, HOCH2-CF2(O-C2FFour)p(OCF2)q
-OCF2-CH2OH, HO- (C2HFour-O)m-CH2-(O-C2FFour)p(OCF2)
q -OCH2-(OCH2CH2)n-OH, F- (CF2CF2CF2O)n-CF2CF2C
H2Alcohol-modified perfluoropolyene such as OH
Ether etc. Specifically, Montecatini
FOMBLIN AM2001, FOMBLIN made by
ZDOL, DEMUM SA manufactured by Daikin Industries, Ltd.
No.

【0020】以下、具体的な実施例を挙げて本発明を説
明する。
The present invention will be described below with reference to specific examples.

【0021】[0021]

【実施例】【Example】

〔実施例1〕図1は、本発明に係る磁気記録媒体の概略
図である。同図中、1は7μm厚のPETフィルム、2
はPETフィルム1の表面に設けられたCo系磁性合金
からなる1800Å厚さの金属系磁性膜、3は金属系磁
性膜2上に設けられた75Å厚さのダイヤモンドライク
カーボン膜、4はPETフィルム1の裏面に設けられた
Cu−Al系合金からなる2000Å厚さの金属系膜
(バックコート膜)、5は金属系膜4上に設けられた7
5Å厚さのダイヤモンドライクカーボン膜、6a,6b
は左右端面上に設けられた60Å厚さのダイヤモンドラ
イクカーボン膜、7a,7bは20Å厚さの潤滑剤の膜
である。
[Embodiment 1] FIG. 1 is a schematic view of a magnetic recording medium according to the present invention. In the figure, 1 is a PET film with a thickness of 7 μm, 2
Is a 1800Å-thick metallic magnetic film made of a Co-based magnetic alloy provided on the surface of the PET film 1, 3 is a 75Å-thick diamond-like carbon film provided on the metallic magnetic film 2, and 4 is a PET film A 2000Å-thick metal-based film (back coat film) made of a Cu—Al-based alloy provided on the back surface of 1 is provided on the metal-based film 4.
5Å thick diamond-like carbon film, 6a, 6b
Is a diamond-like carbon film having a thickness of 60Å provided on the left and right end surfaces, and 7a and 7b are lubricant films having a thickness of 20Å.

【0022】尚、このような金属薄膜型の磁気記録媒体
は、先ず、PETフィルム1を蒸着装置に装填し、装置
内のルツボに充填されたCu−Al系合金に電子ビーム
を照射し、酸素ガスを導入しながらPETフィルム1の
裏面にCu−Al系合金粒子を蒸着させた後、斜め蒸着
装置に案内し、装置内のルツボに充填されたCo系磁性
合金に電子ビームを照射し、酸素ガスを導入しながらP
ETフィルム1の表面にCo系磁性合金粒子を蒸着させ
る。その後、ECRプラズマCVD装置に案内し、金属
系磁性膜2上にダイヤモンドライクカーボン膜3を設け
る。
Incidentally, in such a metal thin film type magnetic recording medium, first, the PET film 1 is loaded in a vapor deposition apparatus, and a Cu--Al alloy filled in a crucible in the apparatus is irradiated with an electron beam to obtain oxygen. After introducing Cu-Al based alloy particles on the back surface of the PET film 1 while introducing gas, it is guided to an oblique vapor deposition apparatus, the Co based magnetic alloy filled in the crucible in the apparatus is irradiated with an electron beam, and oxygen is introduced. P while introducing gas
Co-based magnetic alloy particles are deposited on the surface of the ET film 1. After that, the diamond-like carbon film 3 is provided on the metallic magnetic film 2 by guiding it to the ECR plasma CVD apparatus.

【0023】このようにして得られた磁気記録媒体の原
反を8mm幅にスリットし、このスリット後、再び、E
CRプラズマCVD装置に案内し、三方から炭化水素系
ガスのプラズマを吹き付け、金属系膜4の上(裏面)に
ダイヤモンドライクカーボン膜5を設けると共に、左右
の側面にもダイヤモンドライクカーボン膜6a,6bを
設ける。このようにして、表面、裏面、左右両側面の周
囲四面が同じダイヤモンドライクカーボン膜3,5,6
a,6bで覆われ、金属系磁性膜2や金属系膜(バック
コート膜)4が露出していない磁気テープが得られ、こ
の後潤滑剤(FOMBLIN AM2001)溶液を塗
布することによって本発明になる磁気テープが得られ
る。
The raw material of the magnetic recording medium thus obtained was slit into a width of 8 mm, and after this slit, again E
Guided to the CR plasma CVD apparatus, a plasma of hydrocarbon gas is blown from three directions, a diamond-like carbon film 5 is provided on the metal film 4 (rear surface), and diamond-like carbon films 6a and 6b are formed on the left and right side surfaces. To provide. In this way, the diamond-like carbon films 3, 5, 6 having the same front, back, and left and right side four sides
A magnetic tape which is covered with a and 6b and in which the metal-based magnetic film 2 and the metal-based film (back coat film) 4 are not exposed is obtained, and then a lubricant (FOMBLIN AM2001) solution is applied to the present invention. A magnetic tape is obtained.

【0024】〔実施例2〕実施例1において、ダイヤモ
ンドライクカーボン膜3,5の厚さを75Å、ダイヤモ
ンドライクカーボン膜6a,6bの厚さを75Åとした
他は同様に行って磁気テープを得た。 〔実施例3〕実施例1において、ダイヤモンドライクカ
ーボン膜3,5の厚さを75Å、ダイヤモンドライクカ
ーボン膜6a,6bの厚さを100Åとした他は同様に
行って磁気テープを得た。
[Example 2] A magnetic tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the diamond-like carbon films 3 and 5 was 75Å and the thickness of the diamond-like carbon films 6a and 6b was 75Å. It was [Example 3] A magnetic tape was obtained in the same manner as in Example 1, except that the thickness of the diamond-like carbon films 3 and 5 was 75Å and the thickness of the diamond-like carbon films 6a and 6b was 100Å.

【0025】〔比較例1〕実施例1において、ダイヤモ
ンドライクカーボン膜5,6a,6bを設けなかった他
は同様に行って磁気テープを得た。 〔比較例2〕実施例1において、ダイヤモンドライクカ
ーボン膜6a,6bを設けなかった他は同様に行って磁
気テープを得た。
[Comparative Example 1] A magnetic tape was obtained in the same manner as in Example 1, except that the diamond-like carbon films 5, 6a and 6b were not provided. [Comparative Example 2] A magnetic tape was obtained in the same manner as in Example 1, except that the diamond-like carbon films 6a and 6b were not provided.

【0026】〔特性〕上記各例で得た磁気テープについ
て、500回および1000回の繰り返し走行後におけ
るジッター及びドロップアウトを調べたので、その結果
を表−1に示す。 表−1 500回走行後 1000回走行後 ジッター ドロップアウト ジッター ドロップアウト 実施例1 48ns 9個/分 50ns 10個/分 実施例2 47ns 8個/分 51ns 12個/分 実施例3 48ns 8個/分 50ns 13個/分 比較例1 54ns 16個/分 69ns 39個/分 比較例2 53ns 12個/分 64ns 31個/分 これによれば、本発明の磁気テープは繰り返し使用され
てもダメージを受け難く、耐久性に富むものであり、記
録再生特性に優れていることが判る。
[Characteristics] The magnetic tapes obtained in the above examples were examined for jitter and dropout after 500 and 1000 times of repeated running. The results are shown in Table 1. Table-1 After running 500 times After running 1000 times Jitter dropout Jitter dropout Example 1 48ns 9 pieces / minute 50ns 10 pieces / minute Example 2 47ns 8 pieces / minute 51ns 12 pieces / minute Example 3 48ns 8 pieces / minute Min 50 ns 13 pcs / min Comparative Example 1 54 ns 16 pcs / min 69 ns 39 pcs / min Comparative Example 2 53 ns 12 pcs / min 64 ns 31 pcs / min According to this, the magnetic tape of the present invention causes damage even after repeated use. It can be seen that it is hard to receive and has high durability, and has excellent recording and reproducing characteristics.

【0027】[0027]

【効果】本発明の磁気記録媒体は、走行性が良く、耐久
性に富み、そしてジッターやドロップアウトが起き難
く、再生特性に優れたものである。
[Effect] The magnetic recording medium of the present invention has good running properties, excellent durability, and is resistant to jitter and dropout, and has excellent reproducing characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明になる磁気記録媒体の概略図FIG. 1 is a schematic view of a magnetic recording medium according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 PETフィルム(支持体) 2 金属系磁性膜 3,5,6a,6b ダイヤモンドライクカーボン膜
(保護膜) 4 金属系膜(バックコート膜) 7a,7b 潤滑剤膜
1 PET film (support) 2 Metal magnetic film 3, 5, 6a, 6b Diamond-like carbon film (protective film) 4 Metal film (back coat film) 7a, 7b Lubricant film

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若林 繁美 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内 (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Shigemi Wakabayashi 2606, Akabane, Kai-cho, Haga-gun, Tochigi Prefecture Kao Co., Ltd.Institute of Information Sciences (72) Inventor Akira Shiga, 2606 Akabane, Kaiga-cho, Haga-gun, Tochigi Kao-sha ceremony Company Information Science Laboratory

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 支持体と、この支持体の表面側に設けら
れた磁性層と、前記支持体の裏面側に設けられたバック
コート層と、前記磁性層の表面側に設けられた保護層
と、前記バックコート層の裏面側に設けられた保護層
と、前記支持体、磁性層およびバックコート層が積層さ
れた積層体の側面側に設けられた保護層とを具備するこ
とを特徴とする磁気記録媒体。
1. A support, a magnetic layer provided on the front surface side of the support, a backcoat layer provided on the back surface side of the support, and a protective layer provided on the front surface side of the magnetic layer. And a protective layer provided on the back surface side of the back coat layer, and a protective layer provided on the side surface side of the laminate in which the support, the magnetic layer and the back coat layer are laminated. Magnetic recording medium.
【請求項2】 磁性層が金属薄膜型の磁性膜であること
を特徴とする請求項1の磁気記録媒体。
2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic layer is a metal thin film type magnetic film.
【請求項3】 バックコート層が金属薄膜型のバックコ
ート膜であることを特徴とする請求項1の磁気記録媒
体。
3. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the back coat layer is a metal thin film type back coat film.
【請求項4】 積層体の表面、裏面、左右両側面の周囲
四面が保護層で覆われてなることを特徴とする請求項1
の磁気記録媒体。
4. The front surface, the back surface, and the four peripheral surfaces of the left and right side surfaces of the laminate are covered with protective layers.
Magnetic recording medium.
【請求項5】 積層体の表面、裏面、左右両側面の周囲
四面が保護層で覆われてなり、磁性層およびバックコー
ト層が露出していないことを特徴とする請求項1の磁気
記録媒体。
5. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the front surface, the back surface, and the four peripheral surfaces of the left and right side surfaces of the laminate are covered with protective layers, and the magnetic layer and the back coat layer are not exposed. .
【請求項6】 磁性層およびバックコート層上の保護層
の表面に潤滑剤層が設けられてなることを特徴とする請
求項1〜請求項5いずれかの磁気記録媒体。
6. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein a lubricant layer is provided on the surface of the protective layer on the magnetic layer and the back coat layer.
【請求項7】 保護層がカーボン膜であることを特徴と
する請求項1〜請求項6いずれかの磁気記録媒体。
7. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the protective layer is a carbon film.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2003017259A1 (en) * 2001-08-15 2003-02-27 Hitachi Maxell, Ltd. Magnetic tape and magnetic tape cartridge

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2003017259A1 (en) * 2001-08-15 2003-02-27 Hitachi Maxell, Ltd. Magnetic tape and magnetic tape cartridge
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