JPH08337654A - 化学吸着膜の製造方法及びこれに用いる化学吸着液 - Google Patents

化学吸着膜の製造方法及びこれに用いる化学吸着液

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JPH08337654A
JPH08337654A JP7147851A JP14785195A JPH08337654A JP H08337654 A JPH08337654 A JP H08337654A JP 7147851 A JP7147851 A JP 7147851A JP 14785195 A JP14785195 A JP 14785195A JP H08337654 A JPH08337654 A JP H08337654A
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JP
Japan
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film
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aqueous solvent
active hydrogen
chemisorption
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JP7147851A
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English (en)
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Kazufumi Ogawa
小川  一文
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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    • B05D1/18Processes for applying liquids or other fluent materials performed by dipping
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
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Abstract

(57)【要約】 【目的】アルコキシシラン系界面活性剤と、活性水素を
含まない非水系溶媒と、シラノール縮合触媒を含む混合
溶液を、基材表面に接触させて表面にシロキサン結合を
介して共有結合した化学吸着膜を形成することにより、
膜製造時に有害な塩酸ガスが発生せず反応速度も実用的
に十分である化学吸着方法を提供する。 【構成】青板ガラス板1をアルコキシシラン系界面活性
剤であるCF3(CF2)7(CH 2)2Si(OCH3)3を5重量%と、シラ
ノール縮合触媒であるn−ジブチル錫ジアセテートを
0.1重量%と、活性水素を含まない非水系溶媒として
n−デカンを94.9重量%とを混合した化学吸着液に
乾燥した雰囲気中に浸漬し、その後前記吸着液からガラ
スを取り出しクロロホルムで良く洗浄した後、空気中の
水分と反応させると、ガラス板表面に直接Siを介して
共有結合した膜厚約1.5nmの撥水撥油性の化学吸着
単分子膜3を1層形成できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、表面に活性水素を含む
基材の表面にシロキサン結合を介して化学吸着膜を形成
する製造方法及びこれに用いる化学吸着液に関するもの
である。さらに詳しくは、アルコキシシラン系界面活性
剤と非水系溶媒とシラノール縮合触媒を用いた化学吸着
膜の製造方法及びこれに用いる化学吸着液に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】プラスチック、金属、セラミックス、繊
維、木材、コンクリート、塗装面などの基材の表面を目
的に応じて改質することは、様々な分野で要請されてい
る。
【0003】一例として高分子をあげると、高分子の表
面を改質する方法としては、例えば撥水性・撥油性を付
与するために例えば含フッ素シランカップリング剤等を
コーティングする方法、潤滑性を付与するためにはワッ
クスをコーティングする方法、親水性を付与するために
はポリビニルアルコールをコーティングする方法、防汚
性を付与するためにフロロカーボン系ポリマーの懸濁液
をコーティングする方法などのコーティング方法が一般
によく知られている。
【0004】しかしながら従来の方法で得られるコーテ
ィング膜は、高分子を含む基体との結合力が弱く、布で
表面を拭いたり水での洗浄を繰り返すと、コーティング
膜が基体から剥離して表面処理効果がなくなってしまう
という課題があった。また、従来のコーティング膜は分
子がランダムな方向を向いているため、コーティング膜
にピンホールが多く、十分な特性が発揮されないという
課題があった。さらに例えば透明性が強く要求される透
明プラスチック光学材料等には、フロロカーボン系ポリ
マーのコーティング膜では透明性に欠如するため使用で
きないという課題もあった。
【0005】そこで、耐剥離性が高く、ピンホールフリ
ーでナノメーターオーダーの膜厚、即ち透明性が高く基
材表面の光沢や基材の透明性を損なわない化学吸着単分
子膜の製造方法が、本発明者らによって複数提案されて
いる(特開平4−132637号公報、特開平4−22
1630号公報、特開平4−367721号公報等)。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
化学吸着単分子膜の製造方法は、クロロシラン系の界面
活性剤と基材表面の活性水素との脱塩酸反応で被膜を形
成していたため、膜製造時に有害な塩酸ガスが発生する
という極めて大きい問題があった。また、アルコキシシ
ラン界面活性剤を脱アルコール反応して分子膜を形成す
ることの試みもあるが、反応速度が遅く膜形成を手軽に
行えないという問題があった。また、脱アルコール触媒
の使用も考えられるが、単に脱アルコール触媒の添加す
るだけでは、空気中の水分により界面活性剤が自ら架橋
してしまい失活するという問題がある。すなわち、表面
処理剤に水が含まれるようになると、基材表面と反応す
る前に界面活性剤が自ら架橋してしまい、基材表面の固
液界面での反応が阻害されて化学吸着膜ができにくくな
るという問題がある。
【0007】本発明は、前記従来技術の課題を解決する
ため、膜製造時に有害な塩酸ガスが発生せず、反応速度
も実用的に十分である化学吸着膜の製造方法及びこれに
用いる化学吸着液を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の化学吸着膜の製造方法は、活性水素を含む
基材の表面に化学吸着膜を形成する方法において、少な
くともアルコキシシラン系界面活性剤と、活性水素を含
まない非水系溶媒と、シラノール縮合触媒を含む混合溶
液を、前記基材表面に接触させて、前記基材表面にシロ
キサン結合を介して共有結合した化学吸着膜を形成する
ことを特徴とする。
【0009】また、活性水素を含む基材の表面に化学吸
着膜を形成する方法において、少なくともアルコキシシ
ラン系界面活性剤と、活性水素を含まない非水系溶媒
と、シラノール縮合触媒を含む混合溶液を、前記基材表
面に接触させ、前記基材表面に前記界面活性剤分子をシ
ロキサン結合を介して共有結合させ、次いで非水系の溶
媒で洗浄することにより、基材表面にシロキサン結合を
介して共有結合した前記界面活性剤分子よりなる単分子
膜状の被膜を形成することもできる。この様にすると、
基材表面にシロキサン結合を介して共有結合した界面活
性剤よりなる単分子膜状の被膜を効率良く形成できる。
【0010】また、活性水素を含む基材の表面に化学吸
着膜を形成する方法において、少なくともアルコキシシ
ラン系界面活性剤と、活性水素を含まない非水系溶媒
と、シラノール縮合触媒を含む混合溶液を、前記基材表
面に接触させて、前記基材表面に前記界面活性剤をシロ
キサン結合を介して共有結合させ、前記非水系の溶媒を
蒸発させた後、水と反応させることにより、基材表面に
シロキサン結合を介して共有結合したポリマー膜状の被
膜を形成することもできる。この様にすると、基材表面
にシロキサン結合を介して共有結合した界面活性剤より
なるポリマー膜状の被膜を効率良く形成できる。
【0011】また、活性水素を含む基材の表面に化学吸
着膜を形成する方法において、ヘキサアルコキシジシロ
キサン、オクタアルコキシトリシロキサン、ジアルコキ
シシラン、トリアルコキシシラン及びテトラアルコキシ
シランから選ばれる少なくとも一つのシラン系界面活性
剤と、活性水素を含まない非水系溶媒と、シラノール縮
合触媒を含む混合溶液を、前記基材表面に接触させて、
前記基材表面にシロキサン結合を介して共有結合したシ
ロキサン系化学吸着膜よりなる内層膜を形成し、次いで
第2のアルコキシシラン系界面活性剤と、活性水素を含
まない非水系溶媒と、シラノール縮合触媒を含む混合溶
液を、前記基材表面の内層膜に接触させて、前記内層膜
表面にシロキサン結合を介して共有結合した前記第2の
アルコキシシラン系界面活性剤分子の化学吸着膜よりな
る外層膜を形成するもできる。この様にすると、化学吸
着単分子膜状のシロキサン系内層膜と化学吸着単分子膜
状の前記第2のアルコキシシラン系界面活性剤でできた
外層膜を含む2層構造の化学吸着膜を効率良く製造でき
る。
【0012】また、活性水素を含む基材の表面に化学吸
着膜を形成する方法に際し、ヘキサアルコキシジシロキ
サン、オクタアルコキシトリシロキサン、ジアルコキシ
シラン、トリアルコキシシラン及びテトラアルコキシシ
ランから選ばれる少なくとも一つのシラン系界面活性剤
と、活性水素を含まない非水系溶媒と、シラノール縮合
触媒を含む混合溶液を、前記基材表面に接触させて、前
記基材表面に前記シラン系界面活性剤分子をシロキサン
結合を介して共有結合させ、次に非水系の溶媒で洗浄す
ることにより基材表面にシロキサン結合を介して共有結
合した化学吸着単分子膜状のシロキサン系内層膜を形成
し、次いで第2のアルコキシシラン系界面活性剤と、活
性水素を含まない非水系溶媒と、シラノール縮合触媒を
含む混合溶液を前記基材表面の内層膜に接触させて、前
記第2のアルコキシシラン系界面活性剤分子をシロキサ
ン結合を介して共有結合させ、次に非水系の溶媒で洗浄
することにより前記基材表面にシロキサン結合を介して
共有結合した化学吸着単分子膜状の前記第2のアルコキ
シシラン系界面活性剤分子の外層膜を形成することもで
きる。この様にすると、化学吸着単分子膜状のシロキサ
ン系内層膜と化学吸着単分子膜状の前記第2のアルコキ
シシラン系界面活性剤でできた外層膜を含む2層構造の
化学吸着膜を効率良く製造できる。
【0013】また、活性水素を含む基材の表面に化学吸
着膜を形成する方法において、ヘキサアルコキシジシロ
キサン、オクタアルコキシトリシロキサン、ジアルコキ
シシラン、トリアルコキシシラン及びテトラアルコキシ
シランから選ばれる少なくとも一つのシラン系界面活性
剤と、活性水素を持たない非水系溶媒と、シラノール縮
合触媒を含む混合溶液を前記基材表面に接触させ、前記
基材表面に前記シラン系界面活性剤分子をシロキサン結
合を介して共有結合させ、次に非水系の溶媒で洗浄する
ことにより基材表面にシロキサン結合を介して共有結合
した化学吸着単分子膜状のシロキサン系内層膜を形成
し、次いで第2のアルコキシシラン系界面活性剤と、活
性水素を持たない非水系溶媒と、シラノール縮合触媒を
含む混合溶液を前記基材表面に接触させて、前記基材表
面に前記界面活性剤分子をシロキサン結合を介して共有
結合させ、前記非水系の溶媒を蒸発させた後、表面に残
った第2のアルコキシシラン系界面活性剤のアルコキシ
基を水と反応させることにより、基材表面にシロキサン
結合を介して共有結合したポリマー膜状の前記第2のア
ルコキシシラン系界面活性剤分子の化学吸着膜よりなる
外層膜を形成することが好ましい。この様にすると、化
学吸着単分子膜状のシロキサン系内層膜とポリマー膜状
の前記第2のアルコキシシラン系界面活性剤でできた化
学吸着膜よりなる外層膜を含む2層構造の化学吸着膜を
効率良く製造できる。
【0014】また、活性水素を含む基材の表面に化学吸
着膜を形成する方法において、ヘキサアルコキシジシロ
キサン、オクタアルコキシトリシロキサン、ジアルコキ
シシラン、トリアルコキシシラン及びテトラアルコキシ
シラン系界面活性剤から選ばれる少なくとも一つのシラ
ン系界面活性剤と、活性水素を持たない非水系溶媒と、
シラノール縮合触媒を含む混合溶液を、前記基材表面に
接触させ、前記基材表面に前記シラン系界面活性剤をシ
ロキサン結合を介して共有結合させ、前記非水系の溶媒
を蒸発させた後、表面に残った界面活性剤分子のアルコ
キシ基を水と反応させることにより、基材表面にシロキ
サン結合を介して共有結合したポリシロキサン系内層膜
を形成し、次いで第2のアルコキシシラン系界面活性剤
と、活性水素を持たない非水系溶媒と、シラノール縮合
触媒を含む混合溶液を前記基材表面の内層膜に接触させ
て前記第2のアルコキシシラン系界面活性剤分子をシロ
キサン結合を介して共有結合させ、次いで非水系の溶媒
で洗浄することにより前記基材表面にシロキサン結合を
介して共有結合した化学吸着単分子膜状の前記第2のア
ルコキシシラン系界面活性剤分子の外層膜を形成するこ
ともできる。この様にすると、ポリシロキサン系内層膜
と化学吸着単分子膜状の前記第2のアルコキシシラン系
界面活性剤でできた外層膜を含む2層構造の化学吸着膜
を効率良く製造できる。
【0015】また、活性水素を含む基材の表面に化学吸
着膜を形成する方法において、ヘキサアルコキシジシロ
キサン、オクタアルコキシトリシロキサン、ジアルコキ
シシラン、トリアルコキシシラン及びテトラアルコキシ
シラン系界面活性剤から選ばれる少なくとも一つのシラ
ン系界面活性剤と、活性水素を持たない非水系溶媒と、
シラノール縮合触媒を含む混合溶液を前記基材表面に接
触させ、前記基材表面に前記シラン系界面活性剤分子を
シロキサン結合を介して共有結合させ、前記非水系の溶
媒を蒸発させた後、表面に残った界面活性剤分子のアル
コキシ基を水と反応させることにより、基材表面にシロ
キサン結合を介して共有結合したポリシロキサン系内層
膜を形成し、次いで第2のアルコキシシラン系界面活性
剤と、活性水素を持たない非水系溶媒と、シラノール縮
合触媒を含む混合溶液を前記基材表面の内層膜に接触さ
せて、前記界面活性剤分子をシロキサン結合を介して共
有結合させ、前記非水系の溶媒を蒸発させた後、表面に
残った第2のアルコキシシラン界面活性剤分子のアルコ
キシ基を水と反応させることにより、基材表面の内層膜
表面にシロキサン結合を介して共有結合したポリマー膜
状の前記第2のアルコキシシラン系界面活性剤分子の化
学吸着膜よりなる外層膜を形成することもできる。この
様にすると、ポリシロキサン系内層膜とポリマー状の前
記第2のアルコキシシラン系界面活性剤でできた外層膜
を含む2層構造の化学吸着膜を効率良く製造できる。
【0016】また、活性水素を含む基材の表面に化学吸
着膜を形成する方法において、ヘキサアルコキシジシロ
キサン、オクタアルコキシトリシロキサン、ジアルコキ
シシラン、トリアルコキシシラン及びテトラアルコキシ
シランから選ばれる少なくとも一つのシラン系界面活性
剤と、活性水素を含まない非水系溶媒と、シラノール縮
合触媒を含む混合溶液を、前記基材表面に接触させて、
前記基材表面にシロキサン結合を介して共有結合したシ
ロキサン系化学吸着膜を形成することもできる。この様
にすると、親水性に優れたシロキサン系分子膜を効率良
く形成できる。
【0017】また、活性水素を含む基材の表面に化学吸
着膜を形成する方法において、ヘキサアルコキシジシロ
キサン、オクタアルコキシトリシロキサン、ジアルコキ
シシラン、トリアルコキシシラン及びテトラアルコキシ
シランから選ばれる少なくとも一つのシラン系界面活性
剤と、活性水素を含まない非水系溶媒と、シラノール縮
合触媒を含む混合溶液を、前記基材表面に接触させて、
前記基材表面に前記シラン系界面活性剤分子をシロキサ
ン結合を介して共有結合させ、次に非水系の溶媒で洗浄
することにより基材表面にシロキサン結合を介して共有
結合した化学吸着単分子膜状のシロキサン系膜を形成す
ることもできる。この様にすると、親水性に優れたシロ
キサン系単分子膜を効率良く形成できる。
【0018】また、活性水素を含む基材の表面に化学吸
着膜を形成する方法において、ヘキサアルコキシジシロ
キサン、オクタアルコキシトリシロキサン、ジアルコキ
シシラン、トリアルコキシシラン及びテトラアルコキシ
シラン系界面活性剤から選ばれる少なくとも一つのシラ
ン系界面活性剤と、活性水素を持たない非水系溶媒と、
シラノール縮合触媒を含む混合溶液を、前記基材表面に
接触させ、前記基材表面に前記シラン系界面活性剤をシ
ロキサン結合を介して共有結合させ、前記非水系の溶媒
を蒸発させた後、表面に残った界面活性剤分子のアルコ
キシ基を水と反応させることにより、基材表面にシロキ
サン結合を介して共有結合したポリシロキサン系膜を形
成することもできる。この様にすると、親水性に優れた
ポリシロキサン系膜を効率良く形成できる。
【0019】前記方法においては、シラノール縮合触媒
が、カルボン酸金属塩、カルボン酸エステル金属塩、カ
ルボン酸金属塩ポリマー、カルボン酸金属塩キレート、
チタン酸エステル及びチタン酸エステルキレート類から
選ばれる少なくとも一つの物質であることが好ましい。
触媒活性が高いからである。シラノール縮合触媒として
は、たとえば酢酸第1錫、ジブチル錫ジラウレート、ジ
ブチル錫ジオクテート、ジブチル錫ジアセテート、ジオ
クチル錫ジラウレート、ジオクチル錫ジオクテート、ジ
オクチル錫ジアセテート、ジオクタン酸第1錫、ナフテ
ン酸鉛、ナフテン酸コバルト、2−エチルヘキセン酸
鉄、ジオクチル錫ビスオクチリチオグリコール酸エステ
ル塩、ジオクチル錫マレイン酸エステル塩、ジブチル錫
マレイン酸塩ポリマー、ジメチル錫メルカプトプロピオ
ン酸塩ポリマー、ジブチル錫ビスアセチルアセテート、
ジオクチル錫ビスアセチルラウレート、テトラブチルチ
タネート、テトラノニルチタネート及びビス(アセチル
アセトニル)ジープロピルチタネートから選ばれる少な
くとも一つを用いることができる。
【0020】また前記方法においては、アルコキシシラ
ン界面活性剤が、フッ化炭素基を含むことが好ましい。
第2番目の膜(外層膜)にこれを用いると撥水・撥油・
防汚性に優れるからである。フッ化炭素基を含むアルコ
キシシラン界面活性剤としては、たとえばCF3−(C
2n−(R)m−SiXp(OA)3-p(nは0または
整数、Rはアルキレン基、ビニレン基、エチニレン
基、、アリーレン基、シリコン若しくは酸素原子を含む
置換基、mは0又は1、XはH,アルキル基,アルコキ
シル基,含フッ素アルキル基又は含フッ素アルコキシ基
の置換基、Aはアルキル基、pは0、1または2)、ま
たはCF3COO−(CH2w−SiXp(OA)
3-p(ここで、wは整数、XはH,アルキル基,アルコ
キシル基,含フッ素アルキル基又は含フッ素アルコキシ
基の置換基、Aはアルキル基、pは0、1または2)で
表される物質を用いることができる。
【0021】また前記方法は、基材が、金属、セラミッ
クス、ガラス、プラスチック、紙、繊維及び皮革等、多
くの種類の材料に一つに適用できる。基材がプラスチッ
クまたは合成繊維の場合は、予め表面を酸素を含むプラ
ズマまたはコロナ雰囲気で処理して親水性化しておく
と、高い濃度で分子を共有結合により固定できる。
【0022】また前記方法においては、非水系の溶媒
が、水を含まない炭化水素系溶媒またはフッ化炭素系溶
媒であることが好ましい。とくにフッ化炭素系溶媒は毒
性が低く扱いやすい。
【0023】次に本発明の化学吸着液は、アルコキシシ
ラン系界面活性剤と、活性水素を含まない非水系溶媒
と、シラノール縮合触媒を少なくとも含む混合溶液から
なるものである。もちろん反応を阻害する影響を与えな
いものであれば任意の成分を添加しても良い。
【0024】前記化学吸着液のシラノール縮合触媒とし
ては、カルボン酸金属塩、カルボン酸エステル金属塩、
カルボン酸金属塩ポリマー、カルボン酸金属塩キレー
ト、チタン酸エステル及びチタン酸エステルキレート類
から選ばれる少なくとも一つの物質を含んでいることが
好ましい。前記シラノール縮合触媒の例としては、酢酸
第1錫、ジブチル錫ジラウレート、ジブチル錫ジオクテ
ート、ジブチル錫ジアセテート、ジオクチル錫ジラウレ
ート、ジオクチル錫ジオクテート、ジオクチル錫ジアセ
テート、ジオクタン酸第1錫、ナフテン酸鉛、ナフテン
酸コバルト、2−エチルヘキセン酸鉄、ジオクチル錫ビ
スオクチリチオグリコール酸エステル塩、ジオクチル錫
マレイン酸エステル塩、ジブチル錫マレイン酸塩ポリマ
ー、ジメチル錫メルカプトプロピオン酸塩ポリマー、ジ
ブチル錫ビスアセチルアセテート、ジオクチル錫ビスア
セチルラウレート、テトラブチルチタネート、テトラノ
ニルチタネート及びビス(アセチルアセトニル)ジープ
ロピルチタネートなどを挙げることができる。
【0025】また前記化学吸着液のアルコキシシラン界
面活性剤としては、フッ化炭素基を含むアルコキシシラ
ン界面活性剤を用いるのが好ましい。このフッ化炭素基
を含むアルコキシシラン界面活性剤としては、CF3
(CF2n−(R)m−SiX p(OA)3-p(nは0ま
たは整数、Rはアルキレン基、ビニレン基、エチニレン
基、、アリーレン基、シリコン若しくは酸素原子を含む
置換基、mは0又は1、XはH,アルキル基,アルコキ
シル基,含フッ素アルキル基又は含フッ素アルコキシ基
の置換基、Aはアルキル基、pは0、1または2)、ま
たはCF3COO−(CH2w−SiXp(OA)
3-p(ここで、wは整数、XはH,アルキル基,アルコ
キシル基,含フッ素アルキル基又は含フッ素アルコキシ
基の置換基、Aはアルキル基、pは0、1または2)で
表される物質を挙げることができる。
【0026】また前記化学吸着液の非水系の溶媒として
は、水を含まない炭化水素系溶媒またはフッ化炭素系溶
媒を用いることができる。前記方法及び吸着液において
は、混合溶液の水分率が10ppm以下であることが好
ましい。アルコキシシラン界面活性剤とシラノール縮合
触媒を安定に保ち、ポットライフを長く保つためであ
る。
【0027】また前記方法及び吸着液においては、混合
溶液を100重量%としたとき、アルコキシシラン系界
面活性剤の存在量が0.1〜30重量%、シラノール縮
合触媒の存在量が0.0001〜7.5重量%(前記界
面活性剤に対して0.1〜25重量%)、活性水素を含
まない非水系溶媒の存在量が62.5〜99.8999
重量%の範囲であることが好ましい。
【0028】
【作用】前記本発明の方法によれば、活性水素を含む基
材の表面に化学吸着膜を形成する方法において、少なく
ともアルコキシシラン系界面活性剤と、活性水素を含ま
ない非水系溶媒と、シラノール縮合触媒を含む混合溶液
を、前記基材表面に接触させて、前記基材表面にシロキ
サン結合を介して共有結合した化学吸着膜を形成するこ
とにより、膜製造時に有害な塩酸ガスが発生せず、反応
速度も実用的に十分である化学吸着膜の製造方法を実現
できる。
【0029】また前記本発明の化学吸着液によれば、化
学吸着膜の製造方法に有用な化学吸着液を提供できる。
さらに、化学吸着膜を形成する反応工程前に基材表面を
あらかじめヘキサアルコキシジシロキサン、オクタアル
コキシトリシロキサン、ジアルコキシシラン、トリアル
コキシシラン、またはテトラアルコキシシランで処理す
るという本発明方法の好ましい構成によれば、基材の表
面に高密度にシラノール結合を付与できる作用がある。
【0030】さらにまた、前記構成において、シラノー
ル縮合触媒として、カルボン酸金属塩、カルボン酸エス
テル金属塩、カルボン酸金属塩ポリマー、カルボン酸金
属塩キレート、チタン酸エステル、またはチタン酸エス
テルキレート類を用いると酸触媒を用いた場合に比べ格
段に反応制御性がよい。
【0031】また、アルコキシシラン界面活性剤にフッ
化炭素基を含ませておくと、形成された被膜の撥水撥油
性を向上できる。特に、フッ化炭素基を含むアルコキシ
シラン界面活性剤として、CF3−(CF2n−(R)m
−SiXp(OA)3-p(nは0または整数、Rはアルキ
ル基、ビニル基、エチニル基、、アリール基、シリコン
若しくは酸素原子を含む置換基、mは0又は1、Xは
H,アルキル基,アルコキシル基,含フッ素アルキル基
又は含フッ素アルコキシ基の置換基、Aはアルキル基、
pは0、1または2)、またはCF3COO−(CH2
w−SiXp(OA)3-p(ここで、wは整数、XはH,
アルキル基,アルコキシル基,含フッ素アルキル基又は
含フッ素アルコキシ基の置換基、Aはアルキル基、pは
0、1または2)で表される物質を用いるとより高密度
な化学吸着膜を製造できる。
【0032】さらにまた、非水系の溶媒として水を含ま
ない炭化水素系溶媒あるいはフッ化炭素系溶媒を用いる
ことより触媒活性を損なうこと無く高密度な化学吸着膜
を製造できる作用がある。特に、フッ化炭素系の溶剤
は、比熱が小さいため蒸発速度が速くポリマー膜を作成
する際好都合である。
【0033】さらに、基材が、プラスチックや合成繊維
のような表面に活性水素の含量が少ない場合には、予め
表面を酸素を含むプラズマまたはコロナ雰囲気で処理し
て親水性化しておくという本発明方法の好ましい構成に
よれば、従来法では比較的困難であった高分子化合物の
表面にも好適に本発明方法の高機能性化学吸着膜を形成
することが可能になる。
【0034】
【実施例】以下、実施例を用いて本発明をさらに具体的
に説明する。まず、本発明は下記の様な用途に広く適用
できるものである。 (a)基材の例;基材が金属、セラミックス、ガラス、
またはプラスチック、木材、石材からなる材料に適用で
きる。表面は塗料などで塗装されていても良い。 (b)刃物の例:包丁、鋏、ナイフ、カッター、彫刻
刀、剃刀、バリカン、鋸、カンナ、ノミ、錐、千枚通
し、バイト、ドリルの刃、ミキサーの刃、ジュ−サ−の
刃、製粉機の刃、芝刈り機の刃、パンチ、押切り、ホッ
チキスの刃、缶切りの刃、または手術用メス等。 (c)針の例:鍼術用の針、縫い針、ミシン針、畳針、
注射針、手術用針、安全ピン等。 (d)窯業製品の例:陶磁器製、ガラス製、セラミック
ス製またはほうろうを含む製品等。例えば衛生陶磁器
(例えば便器、洗面器、風呂等)、食器(例えば、茶
碗、皿、どんぶり、湯呑、コップ、瓶、コーヒー沸かし
容器、鍋、すり鉢、カップ等)、花器(水盤、植木鉢、
一輪差し等)、水槽(養殖用水槽、鑑賞用水槽等)、化
学実験器具(ビーカー、反応容器、試験管、フラスコ、
シャーレ、冷却管、撹拌棒、スターラー、乳鉢、バッ
ト、注射器)、瓦、タイル、ほうろう製食器、ほうろう
製洗面器、ほうろう製鍋。 (e)鏡の例:手鏡、姿見鏡、浴室用鏡、洗面所用鏡、
自動車用鏡(バックミラー、サイドミラー)、ハーフミ
ラー、ショーウィンドー用鏡、デパートの商品売り場の
鏡等。 (f)成形用部材の例:プレス成形用金型、注型成形用
金型、射出成形用金型、トランスファー成形用金型、真
空成形用金型、吹き込み成形用金型、押し出し成形用ダ
イ、インフレーション成形用口金、繊維紡糸用口金、カ
レンダー加工用ロールなど。 (g)装飾品の例:時計、宝石、真珠、サファイア、ル
ビー、エメラルド、ガーネット、キャッツアイ、ダイヤ
モンド、トパーズ、ブラッドストーン、アクアマリン、
サードニックス、トルコ石、瑪瑙、大理石、アメジス
ト、カメオ、オパール、水晶、ガラス、指輪、腕輪、ブ
ローチ、ネクタイピン、イヤリング、ネックレス、貴金
属装飾製品、白金、金、銀、銅、アルミ、チタン、錫あ
るいはそれらの合金やステンレス製、メガネフレーム
等。 (h)食品成形用型の例:ケーキ焼成用型、クッキー焼
成用型、パン焼成用型、チョコレート成形用型、ゼリー
成形用型、アイスクリーム成形用型、オーブン皿、製氷
皿等。 (i)調理器具の例:鍋、釜、やかん、ポット、フライ
パン、ホットプレート、焼き物調理用網、油切り、タコ
焼きプレート等。 (j)紙の例:グラビア紙、撥水撥油紙、ポスター紙、
高級パンフレット紙等 (k)樹脂の例:ポリプロピレン、ポリエチレン等のポ
リオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、
ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエス
テル、アラミド、ポリスチレン、ポリスルホン、ポリエ
ーテルスルホン、ポリフェニレンスルフィド、フェノー
ル樹脂、フラン樹脂、ユリア樹脂、エポキシ樹脂、ポリ
ウレタン、ケイ素樹脂、ABS樹脂、メタクリル樹脂、
アクリル酸エステル樹脂、ポリアセタール、ポリフェン
レンオキサイド等 (l)家庭電化製品の例:テレビジョン、ラジオ、テー
プレコーダー、オーディオ、CD、冷凍関係機器の冷蔵
庫、冷凍庫、エアコン、ジューサー、ミキサー、扇風機
の羽根、照明器具、文字盤、パーマ用ドライヤー等。 (m)スポーツ用品の例:スキー、釣竿、棒高跳び用の
ポール、ボート、ヨット、ジェットスキー、サーフボー
ド、ゴルフボール、ボーリングのボール、釣糸、魚網、
釣り浮き等。 (n)乗り物部品に適用する例: (1) ABS樹脂:ランプカバー、インストルメントパネ
ル、内装部品、オートバイのプロテクター (2) セルロースプラスチック:自動車のマーク、ハンド
ル (3) FRP(繊維強化樹脂):外板バンパー、エンジン
カバー (4) フェノール樹脂:ブレーキ (5) ポリアセタール:ワイパーギヤ、ガスバルブ、キャ
ブレター部品 (6) ポリアミド:ラジエータファン (7) ポリアリレート:方向指示レンズ、計器板レンズ、
リレーハウジング (8) ポリブチレンテレフタレート:リヤエンド、フロン
トフェンダ (9) ポリアミノビスマレイミド:エンジン部品、ギヤボ
ックス、ホイール、サスペンジョンドライブシステム (10)メタクリル樹脂はランプカバーレンズ、計器板とカ
バー、センターマーク (11)ポリプロピレンはバンパー (12)ポリフェニレンオキシド:ラジエーターグリル、ホ
イールキャップ (13)ポリウレタン:バンパー、フェンダー、インストル
メントパネル、ファン (14)不飽和ポリエステル樹脂:ボディ、燃料タンク、ヒ
ーターハウジング、計器板 (o)事務用品の例:万年筆、ボールペン、シャ−プペ
ンシル、筆入れ、バインダー、机、椅子、本棚、ラッ
ク、電話台、物差し、製図用具等。 (p)建材の例:屋根材、外壁材、内装材。屋根材とし
て窯瓦、スレート瓦、トタン(亜鉛メッキ鉄板)など。
外壁材としては木材(加工木材を含む)、モルタル、コ
ンクリート、窯業系サイジング、金属系サイジング、レ
ンガ、石材、プラスチック材料、アルミ等の金属材料な
ど。内装材としては木材(加工木材を含む)、アルミ等
の金属材料、プラスチック材料、紙、繊維など。 (q)石材の例:花コウ岩、大理石、みかげ石等。たと
えば建築物、建築材、芸術品、置物、風呂、墓石、記念
碑、門柱、石垣、歩道の敷石など。 (r)楽器および音響機器の例:打楽器、弦楽器、鍵盤
楽器、木管楽器、金管楽器などの楽器、およびマイクロ
ホン、スピーカなどの音響機器等。具体的には、ドラ
ム、シンバル、バイオリン、チェロ、ギター、琴、ピア
ノ、フルート、クラリネット、尺八、ホルンなどの打楽
器、弦楽器、鍵盤楽器、木管楽器、金管楽器などの楽
器、およびマイクロホン、スピーカ、イヤホーンなどの
音響機器。 (s)その他、魔法瓶、真空系機器、電力送電用碍子ま
たはスパークプラグ等の撥水撥油防汚効果の高い高耐電
圧性絶縁碍子等。
【0035】以下、具体的実施例と模式図を用いて本発
明を詳細に説明する。なお以下の実施例においては、と
くに記載していない限り%は重量%を意味する。 (実施例1)あらかじめ、活性水素を表面に含む基材、
例えば青板ガラス板1を準備して、アルカリ洗剤等で良
く洗った後水洗して脱脂した(図1(a))。次に、前
記ガラス板1をアルコキシシラン系界面活性剤としてフ
ッ化炭素基を含むCF3(CF27(CH22Si(O
CH33を5%と、シラノール縮合触媒としてカルボン
酸金属塩であるn−ジブチル錫ジアセテートを0.1%
と、活性水素を含まない非水系溶媒としてn−デカンを
94.9%とを混合した化学吸着液に乾燥した雰囲気
(相対湿度30%以下)中で室温25℃(ただし、非水
系の溶媒の沸点以下なら、加熱しても良い。)で2時間
浸漬した。その後、前記吸着液から取り出しクロロホル
ムで良く洗浄した後空気中の水分と反応させると、図1
(b)に示したようにガラス板表面に直接Siを介して
共有結合した膜厚約1.5nmの撥水撥油性の化学吸着
単分子膜3が1層形成できた。
【0036】さらに、このようにして形成された化学吸
着単分子膜の撥水撥油性を接触角を用いて評価した。結
果を後にまとめて表1に示す。表1から明らかなよう
に、実施例1の化学吸着単分子膜の製造方法で処理した
ものでは、表面を水を含んだ布で5万回繰り返し擦って
洗浄した後でも、撥水・撥油性はほとんど劣化せず、極
めて耐久性が高い被膜が得られた。
【0037】なお、本発明のように、化学吸着液に触媒
を添加しておくと、吸着液とガラス板が接触した界面で
は、アルコキシシラン界面活性剤のアルコキシシシラン
基(SiOR、ただしRはアルキル基を表すが、本実施
例ではメチル基を用いた)とガラス板表面に吸着した水
分及び表面の水酸基2(図1(a))とで、下記式(化
1〜2)に示す反応が進行する。
【0038】
【化1】
【0039】
【化2】
【0040】従って、この処理により、ガラス板と吸着
液の界面では、少なくともアルコキシシラン界面活性剤
がSi原子を介してガラス板表面に共有結合で固定され
た極めて薄い被膜膜が形成できる。なお、本発明の方法
においては、この反応式から明かなように、水が重要な
反応要素であることが解る。すなわち、化学吸着液に水
が含まれていると、基材表面と反応する前に界面活性剤
が自ら架橋してしまい、固液界面での反応が阻害されて
化学吸着膜ができにくくなる。そこで、化学吸着液中の
水分は可能な限り少なくしておく必要がある。できれ
ば、10ppm以下が望ましい。次に、非水系の溶剤
で、前記反応がほぼ完全に終了した段階でガラス板表面
に残っている残余の未反応の化学吸着液を洗浄除去する
と、Si原子を介してガラス板表面に共有結合で固定さ
れたアルコキシシラン界面活性剤分子よりなる単分子膜
のみが基材ガラス表面に残り、化学吸着単分子膜3が1
層形成できる。
【0041】また、上記実施例ではアルコキシシラン界
面活性剤として、CF3(CF27(CH22Si(O
CH33を用いたが、一般にSiXp(OA)4-p(Xは
H,アルキル基,アルコキシル基,含フッ素アルキル基
又は含フッ素アルコキシ基の置換基、Aはアルキル基、
pは0、1、2または3)で表される物質を用いること
が可能である。さらに、例えばCF3−(CF2n
(R)m−SiXp(OA)3-p(nは0または整数、R
はアルキレン基、ビニレン基、エチニレン基、アリーレ
ン基、シリコン若しくは酸素原子を含む置換基、mは0
又は1、XはH,アルキル基,アルコキシル基,含フッ
素アルキル基又は含フッ素アルコキシ基の置換基、Aは
アルキル基、pは0、1または2)で表される物質を用
いると、よりすぐれた撥水撥油性の被膜を形成できる
が、これに限定されるものではなく、これ以外にも、C
3−(CH2)r−SiXp(OA)3-pやCH3−(C
2s−O−(CH2)t−SiXp(OA)3-p,CH3
−(CH2u−Si(CH32−(CH2v-SiX
p(OA)3-p,CF3COO−(CH2w−SiXp(O
A)3 -p(ここで、好ましい範囲してrは1〜25、s
は0〜12、tは1〜20、uは0〜12、vは1〜2
0、wは1〜25を示す。XはH,アルキル基,アルコ
キシル基,含フッ素アルキル基又は含フッ素アルコキシ
基の置換基、Aはアルキル基、pは0、1または2)等
が使用可能である。
【0042】より具体的な分子を挙げると、以下のもの
がある。CH3CH2O(CH215Si(OCH33
CF3CH2O(CH215Si(OCH33,CH3(C
22Si(CH32(CH215Si(OCH33
CH3(CH26Si(CH32(CH29Si(OC
33,CH3COO(CH215Si(OCH33,C
3(CF25(CH22Si(OCH33,CF3(C
27−C66−Si(OCH33,CH3CH2O(C
215Si(OC253,CH3(CH22Si(C
32(CH215Si(OC253,CH3(CH2
6Si(CH32(CH29Si(OC253,CF3
(CH26Si(CH32(CH29Si(OC25
3,CH3COO(CH215Si(OC253,CF3
COO(CH215Si(OC253,CF3COO
(CH215Si(OCH33,CF3(CF29(CH
22Si(OC253,CF3(CF27(CH22
i(OC253,CF3(CF25(CH22Si(O
253,CF3(CF2766Si(OC
253,CF3(CF29(CH22Si(OC
33,CF3(CF25(CH22Si(OC
33,CF3(CF27(CH22SiCH3(OC
252,CF3(CF27(CH22SiCH3(OC
32,CF3(CF27(CH22Si(CH3)2OC2
5,CF3(CF27(CH22Si(CH3)2OCH3 なお、この発明の化学吸着膜の製造方法におけるアルコ
キシシラン界面活性剤の好ましい含有量は、0.1〜3
0%である。
【0043】また、本発明の方法におけるシラノール縮
合触媒としては、カルボン酸金属塩、カルボン酸エステ
ル金属塩、カルボン酸金属塩ポリマー、カルボン酸金属
塩キレート、チタン酸エステル、またはチタン酸エステ
ルキレート類を利用できるが、特に、シラノール縮合触
媒として、酢酸第1錫、ジブチル錫ジラウレート、ジブ
チル錫ジオクテート、ジブチル錫ジアセテート、ジオク
チル錫ジラウレート、ジオクチル錫ジオクテート、ジオ
クチル錫ジアセテート、ジオクタンサン第1錫、ナフテ
ン酸鉛、ナフテン酸コバルト、2ーエチルヘキセン酸鉄
等のカルボン酸金属塩、ジオクチル錫ビスオクチリチオ
グリコール酸エステル塩、ジオクチル錫マレイン酸エス
テル塩等のカルボン酸エステル金属塩、ジブチル錫マレ
イン酸塩ポリマー、ジメチル錫メルカプトプロピオン酸
塩ポリマー等のカルボン酸金属塩ポリマー、ジブチル錫
ビスアセチルアセテート、ジオクチル錫ビスアセチルラ
ウレート等のカルボン酸金属塩キレート、テトラブチル
チタネート、テトラノニルチタネート等のチタン酸エス
テル、またはビス(アセチルアセトニル)ジープロピル
チタネート等のチタン酸エステルキレート類を用いるこ
とがより好ましい。
【0044】特に、カルボン酸金属塩およびカルボン酸
金属塩キレート類を用いれば、安定した化学吸着膜が得
られた。なお、シラノール縮合触媒の好ましい添加量
は、界面活性剤に対して0.1〜25%である。
【0045】なお、単にアルコキシ基から脱アルコール
反応を生じさせるのであれば、シラノール縮合触媒の代
わりに鉱酸や有機酸も用いることが可能であるが、前記
の如く化学吸着液に水分が入るのは好ましくない。した
がって、利用できる触媒は前記のシラノール縮合触媒に
限定される。
【0046】さらに、活性水素を含まない非水系溶媒と
しては、水を含まない炭化水素系溶媒あるいはフッ化炭
素系溶媒やシリコーン系溶媒を用いることが可能である
が、特に沸点が100〜250℃のものが使用し易い。
なお、石油系の溶剤の他に具体的に使用可能なものは、
石油ナフサ、ソルベントナフサ、石油エーテル、石油ベ
ンジン、イソパラフィン、ノルマルパラフィン、デカリ
ン、工業ガソリン、灯油、リグロイン、ジメチルシリコ
ーン、フェニルシリコーン、アルキル変性シリコーン、
ポリエーテルシリコーン等を挙げることができる。ま
た、フッ化炭素系溶媒には、フロン系溶媒や、フロリナ
ート(3M社製品)、アフルード(旭ガラス社製品)等
がある。なお、これらは1種単独で用いても良いし、良
く混ざるものなら2種以上を組み合わせてもよい。
【0047】また、本発明に使用できる基材としては、
表面に活性水素を含む、即ち水酸基(−OH)を持つ基
材、例えばAl、Cu若しくはステンレス等の金属、ガ
ラス、セラミックス、紙、天然繊維、皮革その他親水性
基材が挙げられる。なお、プラスチックや合成繊維のよ
うな表面に水酸基を持たない物質であれば、予め表面を
酸素を含むプラズマ雰囲気中で、例えば100Wで20
分程度処理若しくはコロナ処理して親水性基を導入する
のが好ましい。親水性基としては、水酸基(−OH)に
限らず、活性水素を有する−COOH,−CHO,=N
H,−NH2 等の官能基等でも良い。もっとも、ポリア
ミド樹脂やポリウレタン樹脂の場合は、表面にイミノ基
(−NH)が存在しており、このイミノ基(−NH)の
活性水素と化学吸着剤のアルコキシシリル基(−SiO
A)とが脱アルコール反応し、シロキサン結合(−Si
O−)を形成するのでとくに表面処理を必要としない。
たとえば、基材がナイロンやポリウレタン11の場合に
は、図2(a)に示したように表面にはイミノ基12
(活性水素が含まれている)が多く露出しているのでガ
ラス板と同様の方法でに化学吸着単分子膜13を形成で
きた(図2(b))。
【0048】(実施例2)あらかじめ、活性水素を表面
に含む基材、例えばステンレス板21を準備して、アル
カリ洗剤等で良く洗った後水洗して脱脂した(図3
(a))。次に、フルオロアルコキシシラン系界面活性
剤としてCF3(CF29(CH22Si(OCH33
を5%と、シラノール縮合触媒としてカルボン酸金属塩
キレートであるn−ジブチル錫ビスアセチルアセトネー
トを0.5%と、活性水素を含まない非水系溶媒として
フロリナートFC−40(3M会社製造の商品名)を9
4.5%とを混合した化学吸着液を70℃に加熱しなが
らに前記ステンレス板21を窒素ガス雰囲気中で10分
間浸漬した。その後、前記吸着液から取り出し基板表面
に残った吸着液中の前記溶媒を蒸発させると図3(b)
に示したように基材表面にシラノール縮合触媒を含んだ
前記フルオロアルコキシシラン系界面活性剤の被膜22
が形成される。このとき吸着液を加熱しておくと溶媒の
蒸発時間を短くできる効果がある。その後、大気中に取
り出して室温で空気中の水分と反応させると、ステンレ
ス板表面に直接Siを介して共有結合した膜厚約5nm
の撥水撥油性のポリマー膜状の被膜23が形成された
(図3(c))。
【0049】さらに、このようにして形成された化学吸
着膜の撥水撥油性を実施例1と同様の方法で評価した。
結果を表1に示す。表1から明らかなように、実施例2
の化学吸着ポリマー膜の製造方法で処理したものでは、
実施例1に比べて接触角はやや劣るが、表面を水を含ん
だ布で5万回繰り返し擦って洗浄した後でも、撥水・撥
油性はほとんど劣化せず、極めて耐久性が高い被膜が得
られた。
【0050】(実施例3)はじめに、基材として、アク
リル樹脂よりなるプラスチック板31を用意し、表面を
300W5分程度プラズマ処理して、プラスチック板の
表面を清浄にするとともに表面に活性水素を含む水酸基
32(図4(a))を付与した。次に、ヘキサアルコキ
シジシロキサンの一つであるヘキサメトキシジシロキサ
ン(オクタアルコキシトリシロキサン、ジアルコキシシ
ラン、トリアルコキシシラン、またはテトラアルコキシ
シラン系界面活性剤でも同様の被膜が形成できる)を1
%とフロリナートFC−40(3M会社製造の商品名、
活性水素を含まないフッ化炭素非水系溶媒)を98.7
5%とジブチル錫ジオクテート(シラノール縮合触媒)
を0.25%含む混合溶液(化学吸着液)を作り、乾燥
雰囲気(相対湿度25%)中で前記プラスチック板31
表面に塗布して、乾燥雰囲気中で室温で2時間放置して
前記プラスチック板31表面に前記ヘキサアルコキシシ
ロキサンを化学吸着させた。その後、フレオン113
(ダイキン社製造の商品名、フッ化炭素非水系の溶媒)
で洗浄して余分な吸着試薬を除去した後、残った未反応
のアルコキシ基を加水分解するとプラスチック板31表
面にシロキサン結合を介して共有結合したヘキサメトキ
シシロキサンからできた化学吸着単分子膜状のシロキサ
ン系内層膜33を形成できた(図4(b))。従って、
図4(b)からも明らかなように、これまでの工程でプ
ラスチック板表面には多数の水酸基(活性水素を含む)
を付与できた。
【0051】得られた単分子膜状のシロキサン系膜33
の水の接触角を常法により測定すると30°以下であ
り、親水性に富んでいた。したがってこの工程で終了す
れば、基材表面を親水性に処理できたことになる。
【0052】そこで、さらに前記プラスチック板31を
第2のアルコキシシラン系界面活性剤としてCF3(C
27(CH22Si(OCH33を5%と、シラノー
ル縮合触媒としてカルボン酸金属塩であるn−ジブチル
錫ジアセテートを0.1%と、活性水素を含まない非水
系溶媒としてフロリナートFC−40(3M社製)を9
4.9%とを混合した化学吸着液を作り、乾燥した雰囲
気(相対湿度30%以下)中で室温(非水系の溶媒の沸
点以下なら、加熱しても良い。)で前記プラスチック板
312時間浸漬した。その後、前記吸着液から取り出し
フロリナートFC−40で良く洗浄すると、図4(c)
に示したようにプラスチック板表面にシロキサン結合を
介して共有結合した化学吸着単分子膜状のCF3(C
27(CH22Si(O−)3でできた外層膜34を
高密度に形成できた。
【0053】さらに、このようにして形成された化学吸
着単分子累積膜の撥水撥油性を実施例1と同様の方法で
評価した。結果を後の表1に示す。表1から明らかなよ
うに、本実施例の化学吸着膜の製造方法で処理したもの
では、表面を水を含んだ布で繰り返し擦って洗浄した後
でも、撥水・撥油性はほとんど劣化せず、極めて耐久性
が高い被膜が得られた。
【0054】(実施例4)はじめに、基材として、アル
マイト処理されたアルミ板41を用意し、良く洗浄し
た。(図5(a))次に、ヘキサエトキシジシロキサン
を3%とn−デカン(活性水素を含まない非水系溶媒)
を96.5%とジオクチル錫ビスオクチリチオグリコー
ル酸エステル塩(シラノール縮合触媒)を0.5%含む
混合溶液(化学吸着液)を作り、窒素ガス中で前記アル
ミ板41表面に塗布して、乾燥雰囲気中で室温で2時間
放置して前記アルミ板41表面に前記ヘキサエトキシジ
シロキサンを化学吸着させた。その後、クロロホルム
(非水系の溶媒)で洗浄して残余の未反応吸着試薬を除
去した後表面に残った未反応のアルコキシ基を加水分解
するとアルミ板41のアルマイト表面にシロキサン結合
を介して共有結合したヘキサエトキシジシロキサンから
できた化学吸着単分子膜状のシロキサン系内層膜42を
形成できた(図5(b))。従って、図5(b)からも
明らかなように、これまでの工程でアルミ板表面にはア
ルマイト層を介して多数の水酸基すなわち活性水素を付
与できたことになる。
【0055】次に、第2のフルオロアルコキシシラン系
界面活性剤としてCF3(CF27(CH22Si(O
253を5%と、シラノール縮合触媒としてカルボ
ン酸金属塩キレートであるジオクチル錫ビスアセチルラ
ウレートを1%と、活性水素を含まない非水系溶媒とし
てフロリナートFC−40を94%とを混合した化学吸
着液を70℃に加熱して、前記アルミ板41を窒素ガス
雰囲気中で10分間浸漬した。その後、前記吸着液から
取り出し基板表面に残った吸着液中の前記溶媒を蒸発さ
せると基材表面にシラノール縮合触媒を含んだフルオロ
アルコキシシラン系界面活性剤の被膜が形成される。こ
のとき吸着液が加熱されていると溶媒の蒸発を速く終了
できる効果がある。その後、大気中に取り出して残って
いるアルコキシ基を空気中の水分と反応させると、ステ
ンレス板表面にシロキサン結合を介して共有結合した膜
厚約7nmの撥水撥油性のポリマー膜状の被膜43が形
成された(図5(c))。
【0056】さらに、このようにして形成された化学吸
着膜の撥水撥油性を実施例1と同様の方法で評価した。
結果を後の表1に示す。表1から明らかなように、実施
例4の化学吸着膜の製造方法で処理したものでは、表面
を水を含んだ布で繰り返し擦って洗浄した後でも、撥水
・撥油性はほとんど劣化せず、極めて耐久性が高い被膜
が得られた。
【0057】(実施例5)あらかじめ、活性水素を表面
に含む基材、例えば紙51を準備して、良く乾燥した後
(図6(a))、第1のアルコキシシラン系界面活性剤
としてテトラメトキシジシランを0.5%と、シラノー
ル縮合触媒としてチタン酸エステルであるテトラブチル
チタネートを0.1%と、活性水素を含まない非水系溶
媒としてアフルードを99.4%とを混合した化学吸着
液に前記紙51を窒素ガス雰囲気中で室温で10分間浸
漬した。その後、前記吸着液から取り出し紙表面に残っ
た吸着液中の前記溶媒を蒸発させると紙の繊維表面にシ
ラノール縮合触媒を含んだテトラメトキシシランの被膜
が形成された。このとき紙を加熱したり、吸着液を加熱
すると溶媒の蒸発を速く終了できる効果がある。その
後、大気中に取り出して表面に残ったメトキシ基を加水
分解させると、紙の繊維表面には図6(b)に示したよ
うに水酸基が含まれているのでSiOを介してテトラメ
トキシシランからできた繊維表面に共有結合した膜厚約
4nmの親水性のポリシロキサン被膜52が形成され
た。
【0058】得られたポリマー状のシロキサン系膜52
の水の接触角を常法により測定してみたが、親水性が高
く測定は不可能であった。したがってこの工程で終了す
れば、基材表面に多数の水酸基を付与することで基材表
面を親水性に処理できたことになる。
【0059】そこで、さらに前記紙51に第2のアルコ
キシシラン系界面活性剤としてCF 3(CF27(C
22Si(OC253を3%と、シラノール縮合触
媒としてカルボン酸金属塩であるn−ジブチル錫ジアセ
テートを0.1%と、活性水素を含まない非水系溶媒と
してヘキサデカンを94.9%とを混合した化学吸着液
を窒素雰囲気中で塗布し、室温で20分放置した。その
後、クロロホルムで良く洗浄すると、図6(c)に示し
たように紙の繊維表面にポリシロキサン結合を介して共
有結合した化学吸着単分子膜状のCF3(CF27(C
22Si(O−)3でできた外層膜53を高密度で形
成できた。
【0060】さらに、このようにして形成された化学吸
着膜の撥水撥油性を実施例1と同様の方法で評価した。
結果を表1に示す。表1から明らかなように、実施例5
の化学吸着膜の製造方法で処理したものでは、基材が紙
であり、紙の表面が凸凹であるため、極めて高い撥水撥
油性が得られるが、柔らかいため表面を水を含んだ布で
繰り返し1万回擦って洗浄すると、撥水撥油性が大幅に
劣化し固体の場合に比べて耐久性は劣っていた。
【0061】(実施例6)あらかじめ、基材としてセラ
ミックスであるアルミナ板61を準備して、アルカリ洗
剤等で良く洗った後水洗して脱脂した(図7(a))。
次に、第1のアルコキシシラン系界面活性剤としてヘキ
サメトキシジシロキサンを5%と、シラノール縮合触媒
としてカルボン酸金属塩キレートであるn−ジブチル錫
ビスアセチルアセトネートを0.5%と、活性水素を含
まない非水系溶媒としてn−デカンを94.5%とを混
合した化学吸着液を室温で前記アルミナ板61の表面に
塗布し、30分放置した。その後、基板表面に残った吸
着液中の前記溶媒を蒸発させると基材表面にシラノール
縮合触媒を含んだヘキサエトキシジシロキサンの被膜が
形成される。このとき吸着液が加熱されていると溶媒の
蒸発を速く終了できる効果がある。その後、大気中に取
り出して表面に残ったメトキシ基を加水分解させると、
アルミナ板表面に直接Siを介して共有結合した膜厚約
5nmの親水性のポリシロキサン被膜62が形成された
(図7(b))。
【0062】次にアルコキシシラン系界面活性剤として
フッ化炭素基を含むCF3(CF2 7(CH22Si
(OC253を5%と、シラノール縮合触媒としてカ
ルボン酸金属塩キレートであるジオクチル錫ビスアセチ
ルラウレートを1%と、活性水素を含まない非水系溶媒
としてフロリナートFC−40を94%とを混合した化
学吸着液に70℃に加熱しながらに前記アルミ板61を
窒素ガス雰囲気中で10分間浸漬した。その後、前記吸
着液から取り出し基板表面に残った吸着液中の前記溶媒
を蒸発させると基材表面にシラノール縮合触媒を含んだ
フルオロアルコキシシラン系界面活性剤の被膜が形成さ
れる。このとき吸着液が加熱されていると溶媒の蒸発を
速く終了できる効果がある。その後、大気中に取り出し
て空気中の水分と反応させると、アルミナ板表面にポリ
シロキサン結合を介して共有結合した膜厚約6nmの撥
水撥油性のポリマー膜状のアルコキシシラン界面活性剤
でできた被膜63が形成された(図7(c))。
【0063】さらに、このようにして形成された化学吸
着膜の撥水撥油性を実施例1と同様の方法で評価した。
結果を表1に示す。表1から明らかなように、実施例6
の化学吸着膜の製造方法で処理したものでは、表面を水
を含んだ布で5万回繰り返し擦って洗浄した後でも、撥
水・撥油性はほとんど劣化せず、極めて耐久性が高い被
膜が得られた。
【0064】(比較例1)実施例1の化学吸着液でジ−
n−ブチル錫ジアセテートを除き、実施例1と同様の実
験をした。処理結果を第1表に示す。なお、本比較例の
ようにアルコキシシラン系の物質のみを用いた場合に
は、5万回擦ると形成された被膜の耐久性がほとんど無
かった。
【0065】(比較例2)実施例4の化学吸着液でシラ
ノール縮合触媒であるジオクチル錫ビスオクチリチオグ
リコール酸エステル塩よびジオクチル錫ビスアセチルラ
ウレートを除き、実施例4と同様に実験をした。処理結
果を第1表に示す。なお、比較例1と同様に形成された
被膜の耐久性はほとんど無かった。
【0066】
【表1】
【0067】表1から明らかなように、本発明の化学吸
着膜の製造方法で処理したものでは、表面を水を含んだ
布で繰り返し擦って洗浄した後でも、撥水・撥油性を保
持していたが、比較例1、2では撥水・撥油性がやや悪
く、耐久テスト後はほとんどなくなっていた。このこと
は、シラノール縮合触媒添加の効果が絶大であることを
示している。
【0068】
【発明の効果】以上説明した通り、前記本発明の方法に
よれば、活性水素を含む基材の表面に化学吸着膜を形成
する方法において、少なくともアルコキシシラン系界面
活性剤と、活性水素を含まない非水系溶媒と、シラノー
ル縮合触媒を含む混合溶液を、前記基材表面に接触させ
て、前記基材表面にシロキサン結合を介して共有結合し
た化学吸着膜を形成することにより、膜製造時に有害な
塩酸ガスが発生せず、反応速度も実用的に十分である化
学吸着膜の製造方法を実現できる。
【0069】また前記本発明の化学吸着液によれば、化
学吸着膜の製造方法に有用な化学吸着液を提供できる。
本発明の方法を用いて、少なくともアルコキシシラン系
界面活性剤と活性水素を含まない非水系溶媒とシラノー
ル縮合触媒を含む混合溶液を前記基材表面に接触させて
前記基材表面にシロキサン結合を介して共有結合した化
学吸着膜を製造する。あるいは、活性水素を含む基材の
表面に化学吸着膜を形成する方法において、少なくとも
ジアルコキシシラン、トリアルコキシシラン、またはテ
トラアルコキシシラン界面活性剤と活性水素を含まない
非水系溶媒とシラノール縮合触媒を含む混合溶液を前記
基材表面に接触させて前記基材表面にシロキサン結合を
介して共有結合したシロキサン系化学吸着膜よりなる内
層膜を形成する工程と、少なくとも第2のアルコキシシ
ラン系界面活性剤と活性水素を含まない非水系溶媒とシ
ラノール縮合触媒を含む混合溶液を前記基材表面に接触
させて前記基材表面にシロキサン結合を介して共有結合
した前記アルコキシシラン系界面活性剤でできた化学吸
着膜よりなる外層膜を形成する工程を含み2層構造の化
学吸着膜を製造すれば、少なくともアルコキシシリル基
を一個有する物質がSi原子を介して基材表面に化学吸
着して共有結合で固定された超薄膜が基材表面に安全に
しかも簡単に形成できる。つまり、従来のように膜製造
時に有害な塩酸ガスが発生することなく、プラスチッ
ク、セラミックス、ガラス、その他各種材料にも、効率
よく保護膜を形成できる効果がある。
【0070】したがって、エレクトロニクス製品、特に
電化製品、自動車、産業機器、鏡、眼鏡レンズ等の耐熱
性、耐候性、耐摩耗性超薄膜コーティングを必要とする
機器に極めて容易に適用できる効果がある。
【0071】なおこのとき、シラノール縮合触媒を失活
させないためには、処理雰囲気及び吸着液中の水分をで
きるだけ少なくしておくことが肝要である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施例における表面処理工程
を説明するためのもので、基材表面を分子レベルまで拡
大した模式断面図である。
【図2】 本発明の第1の実施例における表面処理工程
を説明するためのもので、基材表面を分子レベルまで拡
大した模式断面図である。
【図3】 本発明の第2の実施例における表面処理工程
を説明するためのもので、基材表面を分子レベルまで拡
大した模式断面図である。
【図4】 本発明の第3の実施例における表面処理工程
を説明するためのもので、基材表面を分子レベルまで拡
大した模式断面図である。
【図5】 本発明の第4の実施例における表面処理工程
を説明するためのもので、基材表面を分子レベルまで拡
大した模式断面図である。
【図6】 本発明の第5の実施例における表面処理工程
を説明するためのもので、基材表面を分子レベルまで拡
大した模式断面図である。
【図7】 本発明の第6の実施例における表面処理工程
を説明するためのもので、基材表面を分子レベルまで拡
大した模式断面図である。
【符号の説明】
1 ガラス板 2 水酸(OH)基 3 化学吸着単分子膜 11 ナイロン板 12 イミノ基 13 化学吸着単分子膜 21 ステンレス板 22 界面活性剤の被膜 23 ポリマー状の被膜 31 アクリル板 32 水酸基 33 シロキサン単分子膜 34 フロロシラン系単分子膜 41 アルミ板 42 シロキサン単分子膜 43 フロロシラン系ポリマー膜 51 紙の繊維 52 ポリシロキサン膜 53 フロロシラン系単分子膜 61 アルミナ板 62 ポリシロキサン膜 63 フロロシラン系ポリマー膜

Claims (26)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 活性水素を含む基材の表面に化学吸着膜
    を形成する方法において、少なくともアルコキシシラン
    系界面活性剤と、活性水素を含まない非水系溶媒と、シ
    ラノール縮合触媒を含む混合溶液を、前記基材表面に接
    触させて、前記基材表面にシロキサン結合を介して共有
    結合した化学吸着膜を形成することを特徴とする化学吸
    着膜の製造方法。
  2. 【請求項2】 活性水素を含む基材の表面に化学吸着膜
    を形成する方法において、少なくともアルコキシシラン
    系界面活性剤と、活性水素を含まない非水系溶媒と、シ
    ラノール縮合触媒を含む混合溶液を、前記基材表面に接
    触させ、前記基材表面に前記界面活性剤分子をシロキサ
    ン結合を介して共有結合させ、次いで非水系の溶媒で洗
    浄することにより、基材表面にシロキサン結合を介して
    共有結合した前記界面活性剤分子よりなる単分子膜状の
    被膜を形成する請求項1に記載の化学吸着膜の製造方
    法。
  3. 【請求項3】 活性水素を含む基材の表面に化学吸着膜
    を形成する方法において、少なくともアルコキシシラン
    系界面活性剤と、活性水素を含まない非水系溶媒と、シ
    ラノール縮合触媒を含む混合溶液を、前記基材表面に接
    触させて、前記基材表面に前記界面活性剤をシロキサン
    結合を介して共有結合させ、前記非水系の溶媒を蒸発さ
    せた後、水と反応させることにより、基材表面にシロキ
    サン結合を介して共有結合したポリマー膜状の被膜を形
    成する請求項1に記載の化学吸着膜の製造方法。
  4. 【請求項4】 活性水素を含む基材の表面に化学吸着膜
    を形成する方法において、ヘキサアルコキシジシロキサ
    ン、オクタアルコキシトリシロキサン、ジアルコキシシ
    ラン、トリアルコキシシラン及びテトラアルコキシシラ
    ンから選ばれる少なくとも一つのシラン系界面活性剤
    と、活性水素を含まない非水系溶媒と、シラノール縮合
    触媒を含む混合溶液を、前記基材表面に接触させて、前
    記基材表面にシロキサン結合を介して共有結合したシロ
    キサン系化学吸着膜よりなる内層膜を形成し、次いで第
    2のアルコキシシラン系界面活性剤と、活性水素を含ま
    ない非水系溶媒と、シラノール縮合触媒を含む混合溶液
    を、前記基材表面の内層膜に接触させて、前記内層膜表
    面にシロキサン結合を介して共有結合した前記第2のア
    ルコキシシラン系界面活性剤分子の化学吸着膜よりなる
    外層膜を形成することを特徴とする化学吸着膜の製造方
    法。
  5. 【請求項5】 活性水素を含む基材の表面に化学吸着膜
    を形成する方法において、ヘキサアルコキシジシロキサ
    ン、オクタアルコキシトリシロキサン、ジアルコキシシ
    ラン、トリアルコキシシラン及びテトラアルコキシシラ
    ンから選ばれる少なくとも一つのシラン系界面活性剤
    と、活性水素を含まない非水系溶媒と、シラノール縮合
    触媒を含む混合溶液を、前記基材表面に接触させて、前
    記基材表面に前記シラン系界面活性剤分子をシロキサン
    結合を介して共有結合させ、次に非水系の溶媒で洗浄す
    ることにより基材表面にシロキサン結合を介して共有結
    合した化学吸着単分子膜状のシロキサン系内層膜を形成
    し、次いで第2のアルコキシシラン系界面活性剤と、活
    性水素を含まない非水系溶媒と、シラノール縮合触媒を
    含む混合溶液を前記基材表面の内層膜に接触させて、前
    記第2のアルコキシシラン系界面活性剤分子をシロキサ
    ン結合を介して共有結合させ、次に非水系の溶媒で洗浄
    することにより前記基材表面にシロキサン結合を介して
    共有結合した化学吸着単分子膜状の前記第2のアルコキ
    シシラン系界面活性剤分子の外層膜を形成する請求項4
    に記載の化学吸着膜の製造方法。
  6. 【請求項6】 活性水素を含む基材の表面に化学吸着膜
    を形成する方法において、ヘキサアルコキシジシロキサ
    ン、オクタアルコキシトリシロキサン、ジアルコキシシ
    ラン、トリアルコキシシラン及びテトラアルコキシシラ
    ンから選ばれる少なくとも一つのシラン系界面活性剤
    と、活性水素を持たない非水系溶媒と、シラノール縮合
    触媒を含む混合溶液を前記基材表面に接触させ、前記基
    材表面に前記シラン系界面活性剤分子をシロキサン結合
    を介して共有結合させ、次に非水系の溶媒で洗浄するこ
    とにより基材表面にシロキサン結合を介して共有結合し
    た化学吸着単分子膜状のシロキサン系内層膜を形成し、
    次いで第2のアルコキシシラン系界面活性剤と、活性水
    素を持たない非水系溶媒と、シラノール縮合触媒を含む
    混合溶液を前記基材表面に接触させて、前記基材表面に
    前記界面活性剤分子をシロキサン結合を介して共有結合
    させ、前記非水系の溶媒を蒸発させた後、表面に残った
    第2のアルコキシシラン系界面活性剤のアルコキシ基を
    水と反応させることにより、基材表面にシロキサン結合
    を介して共有結合したポリマー膜状の前記第2のアルコ
    キシシラン系界面活性剤分子の化学吸着膜よりなる外層
    膜を形成する請求項4に記載の化学吸着膜の製造方法。
  7. 【請求項7】 活性水素を含む基材の表面に化学吸着膜
    を形成する方法において、ヘキサアルコキシジシロキサ
    ン、オクタアルコキシトリシロキサン、ジアルコキシシ
    ラン、トリアルコキシシラン及びテトラアルコキシシラ
    ン系界面活性剤から選ばれる少なくとも一つのシラン系
    界面活性剤と、活性水素を持たない非水系溶媒と、シラ
    ノール縮合触媒を含む混合溶液を、前記基材表面に接触
    させ、前記基材表面に前記シラン系界面活性剤をシロキ
    サン結合を介して共有結合させ、前記非水系の溶媒を蒸
    発させた後、表面に残った界面活性剤分子のアルコキシ
    基を水と反応させることにより、基材表面にシロキサン
    結合を介して共有結合したポリシロキサン系内層膜を形
    成し、次いで第2のアルコキシシラン系界面活性剤と、
    活性水素を持たない非水系溶媒と、シラノール縮合触媒
    を含む混合溶液を前記基材表面の内層膜に接触させて前
    記第2のアルコキシシラン系界面活性剤分子をシロキサ
    ン結合を介して共有結合させ、次いで非水系の溶媒で洗
    浄することにより前記基材表面にシロキサン結合を介し
    て共有結合した化学吸着単分子膜状の前記第2のアルコ
    キシシラン系界面活性剤分子の外層膜を形成する請求項
    4に記載の化学吸着膜の製造方法。
  8. 【請求項8】 活性水素を含む基材の表面に化学吸着膜
    を形成する方法において、ヘキサアルコキシジシロキサ
    ン、オクタアルコキシトリシロキサン、ジアルコキシシ
    ラン、トリアルコキシシラン及びテトラアルコキシシラ
    ン系界面活性剤から選ばれる少なくとも一つのシラン系
    界面活性剤と、活性水素を持たない非水系溶媒と、シラ
    ノール縮合触媒を含む混合溶液を前記基材表面に接触さ
    せ、前記基材表面に前記シラン系界面活性剤分子をシロ
    キサン結合を介して共有結合させ、前記非水系の溶媒を
    蒸発させた後、表面に残った界面活性剤分子のアルコキ
    シ基を水と反応させることにより、基材表面にシロキサ
    ン結合を介して共有結合したポリシロキサン系内層膜を
    形成し、次いで第2のアルコキシシラン系界面活性剤
    と、活性水素を持たない非水系溶媒と、シラノール縮合
    触媒を含む混合溶液を前記基材表面の内層膜に接触させ
    て、前記界面活性剤分子をシロキサン結合を介して共有
    結合させ、前記非水系の溶媒を蒸発させた後、表面に残
    った第2のアルコキシシラン界面活性剤分子のアルコキ
    シ基を水と反応させることにより、基材表面の内層膜表
    面にシロキサン結合を介して共有結合したポリマー膜状
    の前記第2のアルコキシシラン系界面活性剤分子の化学
    吸着膜よりなる外層膜を形成する請求項4に記載の化学
    吸着膜の製造方法。
  9. 【請求項9】 活性水素を含む基材の表面に化学吸着膜
    を形成する方法において、ヘキサアルコキシジシロキサ
    ン、オクタアルコキシトリシロキサン、ジアルコキシシ
    ラン、トリアルコキシシラン及びテトラアルコキシシラ
    ンから選ばれる少なくとも一つのシラン系界面活性剤
    と、活性水素を含まない非水系溶媒と、シラノール縮合
    触媒を含む混合溶液を、前記基材表面に接触させて、前
    記基材表面にシロキサン結合を介して共有結合したシロ
    キサン系化学吸着膜を形成することを特徴とする化学吸
    着膜の製造方法。
  10. 【請求項10】 活性水素を含む基材の表面に化学吸着
    膜を形成する方法において、ヘキサアルコキシジシロキ
    サン、オクタアルコキシトリシロキサン、ジアルコキシ
    シラン、トリアルコキシシラン及びテトラアルコキシシ
    ランから選ばれる少なくとも一つのシラン系界面活性剤
    と、活性水素を含まない非水系溶媒と、シラノール縮合
    触媒を含む混合溶液を、前記基材表面に接触させて、前
    記基材表面に前記シラン系界面活性剤分子をシロキサン
    結合を介して共有結合させ、次に非水系の溶媒で洗浄す
    ることにより基材表面にシロキサン結合を介して共有結
    合した化学吸着単分子膜状のシロキサン系膜を形成する
    ことを特徴とする請求項9に記載の化学吸着膜の製造方
    法。
  11. 【請求項11】 活性水素を含む基材の表面に化学吸着
    膜を形成する方法において、ヘキサアルコキシジシロキ
    サン、オクタアルコキシトリシロキサン、ジアルコキシ
    シラン、トリアルコキシシラン及びテトラアルコキシシ
    ラン系界面活性剤から選ばれる少なくとも一つのシラン
    系界面活性剤と、活性水素を持たない非水系溶媒と、シ
    ラノール縮合触媒を含む混合溶液を、前記基材表面に接
    触させ、前記基材表面に前記シラン系界面活性剤をシロ
    キサン結合を介して共有結合させ、前記非水系の溶媒を
    蒸発させた後、表面に残った界面活性剤分子のアルコキ
    シ基を水と反応させることにより、基材表面にシロキサ
    ン結合を介して共有結合したポリシロキサン系膜を形成
    することを特徴とする請求項9に記載の化学吸着膜の製
    造方法。
  12. 【請求項12】 シラノール縮合触媒が、カルボン酸金
    属塩、カルボン酸エステル金属塩、カルボン酸金属塩ポ
    リマー、カルボン酸金属塩キレート、チタン酸エステル
    及びチタン酸エステルキレート類から選ばれる少なくと
    も一つの物質である請求項1〜11のいずれかに記載の
    化学吸着膜の製造方法。
  13. 【請求項13】 シラノール縮合触媒が、酢酸第1錫、
    ジブチル錫ジラウレート、ジブチル錫ジオクテート、ジ
    ブチル錫ジアセテート、ジオクチル錫ジラウレート、ジ
    オクチル錫ジオクテート、ジオクチル錫ジアセテート、
    ジオクタン酸第1錫、ナフテン酸鉛、ナフテン酸コバル
    ト、2−エチルヘキセン酸鉄、ジオクチル錫ビスオクチ
    リチオグリコール酸エステル塩、ジオクチル錫マレイン
    酸エステル塩、ジブチル錫マレイン酸塩ポリマー、ジメ
    チル錫メルカプトプロピオン酸塩ポリマー、ジブチル錫
    ビスアセチルアセテート、ジオクチル錫ビスアセチルラ
    ウレート、テトラブチルチタネート、テトラノニルチタ
    ネート及びビス(アセチルアセトニル)ジープロピルチ
    タネートから選ばれる少なくとも一つである請求項1〜
    12のいずれかに記載の化学吸着膜の製造方法。
  14. 【請求項14】 アルコキシシラン界面活性剤が、フッ
    化炭素基を含む請求項1〜13のいずれかに記載の化学
    吸着膜の製造方法。
  15. 【請求項15】 フッ化炭素基を含むアルコキシシラン
    界面活性剤が、CF3−(CF2n−(R)m−SiXp
    (OA)3-p(nは0または整数、Rはアルキレン基、
    ビニレン基、エチニレン基、、アリーレン基、シリコン
    若しくは酸素原子を含む置換基、mは0又は1、Xは
    H,アルキル基,アルコキシル基,含フッ素アルキル基
    又は含フッ素アルコキシ基の置換基、Aはアルキル基、
    pは0、1または2)、またはCF3COO−(CH2
    w−SiXp(OA)3-p(ここで、wは整数、XはH,
    アルキル基,アルコキシル基,含フッ素アルキル基又は
    含フッ素アルコキシ基の置換基、Aはアルキル基、pは
    0、1または2)で表される物質である請求項14に記
    載の化学吸着膜の製造方法。
  16. 【請求項16】 基材が、金属、セラミックス、ガラ
    ス、プラスチック、紙、繊維及び皮革から選ばれる少な
    くとも一つである請求項1〜15のいずれかに記載の化
    学吸着膜の製造方法。
  17. 【請求項17】 プラスチックまたは繊維が、予め表面
    を酸素を含むプラズマまたはコロナ雰囲気で処理して親
    水性化したものである請求項16に記載の化学吸着膜の
    製造方法。
  18. 【請求項18】 非水系の溶媒が、水を含まない炭化水
    素系溶媒またはフッ化炭素系溶媒である請求項1〜17
    のいずれかに記載の化学吸着膜の製造方法。
  19. 【請求項19】 アルコキシシラン系界面活性剤と、活
    性水素を含まない非水系溶媒と、シラノール縮合触媒を
    少なくとも含む混合溶液である化学吸着液。
  20. 【請求項20】 シラノール縮合触媒が、カルボン酸金
    属塩、カルボン酸エステル金属塩、カルボン酸金属塩ポ
    リマー、カルボン酸金属塩キレート、チタン酸エステル
    及びチタン酸エステルキレート類から選ばれる少なくと
    も一つの物質である請求項19に記載の化学吸着液。
  21. 【請求項21】 シラノール縮合触媒が、酢酸第1錫、
    ジブチル錫ジラウレート、ジブチル錫ジオクテート、ジ
    ブチル錫ジアセテート、ジオクチル錫ジラウレート、ジ
    オクチル錫ジオクテート、ジオクチル錫ジアセテート、
    ジオクタン酸第1錫、ナフテン酸鉛、ナフテン酸コバル
    ト、2−エチルヘキセン酸鉄、ジオクチル錫ビスオクチ
    リチオグリコール酸エステル塩、ジオクチル錫マレイン
    酸エステル塩、ジブチル錫マレイン酸塩ポリマー、ジメ
    チル錫メルカプトプロピオン酸塩ポリマー、ジブチル錫
    ビスアセチルアセテート、ジオクチル錫ビスアセチルラ
    ウレート、テトラブチルチタネート、テトラノニルチタ
    ネート及びビス(アセチルアセトニル)ジープロピルチ
    タネートから選ばれる少なくとも一つである請求項19
    に記載の化学吸着液。
  22. 【請求項22】 アルコキシシラン界面活性剤がフッ化
    炭素基を含む請求項19、20または21に記載の化学
    吸着液。
  23. 【請求項23】 フッ化炭素基を含むアルコキシシラン
    界面活性剤が、CF3−(CF2n−(R)m−SiXp
    (OA)3-p(nは0または整数、Rはアルキレン基、
    ビニレン基、エチニレン基、、アリーレン基、シリコン
    若しくは酸素原子を含む置換基、mは0又は1、Xは
    H,アルキル基,アルコキシル基,含フッ素アルキル基
    又は含フッ素アルコキシ基の置換基、Aはアルキル基、
    pは0、1または2)、またはCF3COO−(CH2
    w−SiXp(OA)3-p(ここで、wは整数、XはH,
    アルキル基,アルコキシル基,含フッ素アルキル基又は
    含フッ素アルコキシ基の置換基、Aはアルキル基、pは
    0、1または2)で表される物質である請求項22に記
    載の化学吸着液。
  24. 【請求項24】 非水系の溶媒が、水を含まない炭化水
    素系溶媒またはフッ化炭素系溶媒である請求項19〜2
    3のいずれかに記載の化学吸着液。
  25. 【請求項25】 混合溶液の水分率が10ppm以下で
    ある請求項1または19に記載の化学吸着膜の製造方法
    及びこれに用いる化学吸着液。
  26. 【請求項26】 混合溶液を100重量%としたとき、
    アルコキシシラン系界面活性剤の存在量が0.1〜30
    重量%、シラノール縮合触媒の存在量が0.0001〜
    7.5重量%、活性水素を含まない非水系溶媒の存在量
    が62.5〜99.8999重量%の範囲である請求項
    1または19に記載の化学吸着膜の製造方法及びこれに
    用いる化学吸着液。
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