JPH08330890A - 弾性表面波共振器 - Google Patents
弾性表面波共振器Info
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- JPH08330890A JPH08330890A JP13039895A JP13039895A JPH08330890A JP H08330890 A JPH08330890 A JP H08330890A JP 13039895 A JP13039895 A JP 13039895A JP 13039895 A JP13039895 A JP 13039895A JP H08330890 A JPH08330890 A JP H08330890A
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- acoustic wave
- transducer
- wave resonator
- resonance
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0538—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
- H03H9/0542—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a lateral arrangement
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 低い共振周波数に対しても共振損失Ａｒを小
さく抑えた高品位の弾性表面波共振器を提供する。 【構成】 圧電物質から成る基板７上に、トランスジュ
ーサ８が形成され、そのトランスジューサ８に接続され
た入出力端子９・10の少なくともいずれか一方にインダ
クタンス部13が直列接続され、かつトランスジューサ８
の両側に反射器11・12を設けて成る弾性表面波共振器で
ある。
さく抑えた高品位の弾性表面波共振器を提供する。 【構成】 圧電物質から成る基板７上に、トランスジュ
ーサ８が形成され、そのトランスジューサ８に接続され
た入出力端子９・10の少なくともいずれか一方にインダ
クタンス部13が直列接続され、かつトランスジューサ８
の両側に反射器11・12を設けて成る弾性表面波共振器で
ある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は各種電子機器における発
振器として使用される弾性表面波共振器の改良に関し、
詳しくは共振子に直列に付加されたインダクタンス部材
を内蔵した弾性表面波共振器に関するものである。
振器として使用される弾性表面波共振器の改良に関し、
詳しくは共振子に直列に付加されたインダクタンス部材
を内蔵した弾性表面波共振器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、弾性表面波共振器はＶＨＦ〜ＵＨ
Ｆ帯における副共振が少なく安定な基本波直接発振が得
られることから、各種の電子機器における発振器として
使用されている。
Ｆ帯における副共振が少なく安定な基本波直接発振が得
られることから、各種の電子機器における発振器として
使用されている。
【０００３】このような従来の弾性表面波共振器は通
常、図３に平面図で示すように、水晶やＬｉＴａＯ3 な
どの圧電物質から成る基板１上に一対の櫛歯状電極によ
り形成されたトランスジューサ２と、そのトランスジュ
ーサ２の電極にそれぞれ接続された入出力端子３・４
と、トランスジューサ２の両側に配されたすだれ状に形
成された電極から成る一対の反射器５・６とを設けた構
造を有している。入出力端子３・４は外部電気回路とボ
ンディングワイヤにより接続するためのボンディングパ
ッド部を兼ねるように形成されている。そして外部電気
回路から入出力端子３・４を介して印加される電気信号
に応じてトランスジューサ２により弾性表面波が励起さ
れ、その弾性表面波を反射器５・６の間で往復させるこ
とによって発生する共振をトランスジューサ２から入出
力端子３・４を介して外部電気回路に導出することによ
って共振器として機能する。
常、図３に平面図で示すように、水晶やＬｉＴａＯ3 な
どの圧電物質から成る基板１上に一対の櫛歯状電極によ
り形成されたトランスジューサ２と、そのトランスジュ
ーサ２の電極にそれぞれ接続された入出力端子３・４
と、トランスジューサ２の両側に配されたすだれ状に形
成された電極から成る一対の反射器５・６とを設けた構
造を有している。入出力端子３・４は外部電気回路とボ
ンディングワイヤにより接続するためのボンディングパ
ッド部を兼ねるように形成されている。そして外部電気
回路から入出力端子３・４を介して印加される電気信号
に応じてトランスジューサ２により弾性表面波が励起さ
れ、その弾性表面波を反射器５・６の間で往復させるこ
とによって発生する共振をトランスジューサ２から入出
力端子３・４を介して外部電気回路に導出することによ
って共振器として機能する。
【０００４】
【発明が解決しようとする問題点】弾性表面波共振器に
はその特性として、共振器の共振尖鋭度Ｑが高く共振抵
抗Ｒｓが小さいこと、および共振点における共振損失Ａ
ｒが小さいとともに共振損失Ａｒと***振点における反
共振損失Ａａとの差が大きいことなどが要求される。中
でも弾性表面波共振器の共振損失Ａｒが小さく且つ***
振損失Ａａとの差が大きいと、その共振器が使用される
回路における回路発振の余裕度が大きくなるため、弾性
表面波共振器の品位が高いとされる。
はその特性として、共振器の共振尖鋭度Ｑが高く共振抵
抗Ｒｓが小さいこと、および共振点における共振損失Ａ
ｒが小さいとともに共振損失Ａｒと***振点における反
共振損失Ａａとの差が大きいことなどが要求される。中
でも弾性表面波共振器の共振損失Ａｒが小さく且つ***
振損失Ａａとの差が大きいと、その共振器が使用される
回路における回路発振の余裕度が大きくなるため、弾性
表面波共振器の品位が高いとされる。
【０００５】しかしながら、上記従来の弾性表面波共振
器は種々の共振周波数に対してその諸特性が変動し、特
に共振周波数が低くなるにつれてパッケージサイズによ
る対数制限のために共振損失Ａｒが大きくなり、回路発
振余裕が減少する傾向があった。そしてこのためにＲｓ
の特性ばらつきが大きくなり、製造歩留りを低下させる
という問題点があった。
器は種々の共振周波数に対してその諸特性が変動し、特
に共振周波数が低くなるにつれてパッケージサイズによ
る対数制限のために共振損失Ａｒが大きくなり、回路発
振余裕が減少する傾向があった。そしてこのためにＲｓ
の特性ばらつきが大きくなり、製造歩留りを低下させる
という問題点があった。
【０００６】本発明者は上記問題点に鑑みて研究を行な
った結果、上記のような構成の従来の弾性表面波共振器
において基板１上に形成されるパターンに対してトラン
スジューサ２と入出力端子３・４との間にインダクタン
ス成分を付加すると、低い共振周波数に対しても弾性表
面波共振器の共振損失Ａｒを小さく抑えることができ、
Ａｒ特性を向上させて回路発振の余裕度を大きくでき
て、弾性表面波共振器の品位を高めることができること
を知見した。
った結果、上記のような構成の従来の弾性表面波共振器
において基板１上に形成されるパターンに対してトラン
スジューサ２と入出力端子３・４との間にインダクタン
ス成分を付加すると、低い共振周波数に対しても弾性表
面波共振器の共振損失Ａｒを小さく抑えることができ、
Ａｒ特性を向上させて回路発振の余裕度を大きくでき
て、弾性表面波共振器の品位を高めることができること
を知見した。
【０００７】本発明の目的は、低い共振周波数に対して
も共振損失Ａｒを小さく抑えてＡｒ特性を向上させた、
回路発振の余裕度が大きい高品位の弾性表面波共振器を
提供することにある。
も共振損失Ａｒを小さく抑えてＡｒ特性を向上させた、
回路発振の余裕度が大きい高品位の弾性表面波共振器を
提供することにある。
【０００８】
【問題点を解決するための手段】本発明の弾性表面波共
振器は、圧電物質から成る基板上に、トランスジューサ
が形成され、そのトランスジューサに接続された入出力
端子の少なくともいずれか一方にインダクタンス部が直
列接続され、かつ前記トランスジューサの両側に反射器
を設けて成ることを特徴とするものである。
振器は、圧電物質から成る基板上に、トランスジューサ
が形成され、そのトランスジューサに接続された入出力
端子の少なくともいずれか一方にインダクタンス部が直
列接続され、かつ前記トランスジューサの両側に反射器
を設けて成ることを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】本発明の弾性表面波共振器によれば、共振器を
構成する回路パターン中のトランスジューサと入出力端
子の少なくともいずれか一方との間にインダクタンス成
分を付加するインダクタンス部を設けることにより、数
10ＭＨｚ程度の低い共振周波数ｆｒに対しても共振損失
Ａｒが小さくなり、また共振抵抗Ｒｓが小さくなること
により回路発振の余裕度が大きい高品位の弾性表面波共
振器となる。
構成する回路パターン中のトランスジューサと入出力端
子の少なくともいずれか一方との間にインダクタンス成
分を付加するインダクタンス部を設けることにより、数
10ＭＨｚ程度の低い共振周波数ｆｒに対しても共振損失
Ａｒが小さくなり、また共振抵抗Ｒｓが小さくなること
により回路発振の余裕度が大きい高品位の弾性表面波共
振器となる。
【００１０】この理由は、低い共振周波数ｆｒに対して
波長比により開口しているため交差長を大きくしたこと
によって大きくなったトランスジューサの電極間容量に
よる共振器の容量成分が、インダクタンス成分を付加す
ることによってキャンセルされ、その結果、発振特性を
向上させるのではないかと考えられる。
波長比により開口しているため交差長を大きくしたこと
によって大きくなったトランスジューサの電極間容量に
よる共振器の容量成分が、インダクタンス成分を付加す
ることによってキャンセルされ、その結果、発振特性を
向上させるのではないかと考えられる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の弾性表面波共振器を実施例に
基づいて説明する。なお本発明は以下の実施例に何ら限
定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲
で種々の改良を加えることは何ら差し支えない。
基づいて説明する。なお本発明は以下の実施例に何ら限
定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲
で種々の改良を加えることは何ら差し支えない。
【００１２】図１および図２はそれぞれ本発明の実施例
としての弾性表面波共振器を示す平面図である。なお図
２において図１と同様の箇所には同じ符号を付してあ
る。
としての弾性表面波共振器を示す平面図である。なお図
２において図１と同様の箇所には同じ符号を付してあ
る。
【００１３】図１において７は圧電物質から成る基板
（圧電基板）であり、その上面に一対の櫛歯状電極によ
り形成されたトランスジューサ８と、そのトランスジュ
ーサ８の電極にそれぞれ接続された入出力端子９・10
と、トランスジューサ８の両側に配されたすだれ状に形
成された電極から成る一対の反射器11・12とがそれぞれ
被着形成されている。また入出力端子９・10は外部電気
回路とボンディングワイヤにより接続するためのボンデ
ィングパッド部を兼ねている。そしてこの実施例におい
てはトランスジューサ８の一方電極と入出力端子９との
間にメアンダ形状（つづら折形状）のインダクタンス部
13が付加されて形成されている。
（圧電基板）であり、その上面に一対の櫛歯状電極によ
り形成されたトランスジューサ８と、そのトランスジュ
ーサ８の電極にそれぞれ接続された入出力端子９・10
と、トランスジューサ８の両側に配されたすだれ状に形
成された電極から成る一対の反射器11・12とがそれぞれ
被着形成されている。また入出力端子９・10は外部電気
回路とボンディングワイヤにより接続するためのボンデ
ィングパッド部を兼ねている。そしてこの実施例におい
てはトランスジューサ８の一方電極と入出力端子９との
間にメアンダ形状（つづら折形状）のインダクタンス部
13が付加されて形成されている。
【００１４】また図２においても７は圧電基板であり、
その上面に一対の櫛歯状電極により形成されたトランス
ジューサ８と、そのトランスジューサ８の電極にそれぞ
れ接続されたボンディングパッド部を兼ねる入出力端子
９・10と、トランスジューサ８の両側に配されたすだれ
状に形成された電極から成る一対の反射器11・12とがそ
れぞれ被着形成されている。そしてこの実施例において
はトランスジューサ８の一方電極と入出力端子９との間
にスパイラル形状（渦巻形状）のインダクタンス部14が
付加されて形成されている。
その上面に一対の櫛歯状電極により形成されたトランス
ジューサ８と、そのトランスジューサ８の電極にそれぞ
れ接続されたボンディングパッド部を兼ねる入出力端子
９・10と、トランスジューサ８の両側に配されたすだれ
状に形成された電極から成る一対の反射器11・12とがそ
れぞれ被着形成されている。そしてこの実施例において
はトランスジューサ８の一方電極と入出力端子９との間
にスパイラル形状（渦巻形状）のインダクタンス部14が
付加されて形成されている。
【００１５】圧電基板７は弾性表面波の励起を良好とす
るために水晶やタンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3 ）、
ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3 ）などの圧電単結晶板
に適当な分極処理を施したものが使用され、特にＳＴカ
ットの水晶板を使用すると弾性表面波共振器の温度特性
やエージング特性を優れたものとすることができて好適
である。
るために水晶やタンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3 ）、
ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3 ）などの圧電単結晶板
に適当な分極処理を施したものが使用され、特にＳＴカ
ットの水晶板を使用すると弾性表面波共振器の温度特性
やエージング特性を優れたものとすることができて好適
である。
【００１６】圧電基板７上に設けられたトランスジュー
サ８は一対の櫛歯状電極がそれぞれの櫛歯部を一定長さ
で交差するように対向させて形成されており、そのトラ
ンスジューサ８は外部電気回路から入出力端子９・10を
介して印加される電気信号に応じて弾性表面波を励起す
るとともに発生する共振を外部電気回路に導出する作用
をなす。
サ８は一対の櫛歯状電極がそれぞれの櫛歯部を一定長さ
で交差するように対向させて形成されており、そのトラ
ンスジューサ８は外部電気回路から入出力端子９・10を
介して印加される電気信号に応じて弾性表面波を励起す
るとともに発生する共振を外部電気回路に導出する作用
をなす。
【００１７】また圧電基板７上でトランスジューサ８の
両側に設けられた反射器11・12はすだれ状の電極から成
り、トランスジューサ８によって励起された弾性表面波
を反射往復させ、一定の周波数に共振させる作用をな
す。
両側に設けられた反射器11・12はすだれ状の電極から成
り、トランスジューサ８によって励起された弾性表面波
を反射往復させ、一定の周波数に共振させる作用をな
す。
【００１８】そしてトランスジューサ８の一方電極と入
出力端子９との間に付加されたインダクタンス部13ある
いは14は、図１および図２に示したようなメアンダ形状
（つづら折形状）あるいはスパイラル形状（渦巻形状）
の回路パターンとして被着形成されている。それらのパ
ターンの各部の寸法や形状あるいは折れ数や巻き数など
は、所望のインダクタンス値に応じて適宜設定される。
またこれらインダクタンス部13あるいは14はトランスジ
ューサ８ともう一方の入出力端子10との間に形成して付
加してもよく、また両方に付加してもよい。
出力端子９との間に付加されたインダクタンス部13ある
いは14は、図１および図２に示したようなメアンダ形状
（つづら折形状）あるいはスパイラル形状（渦巻形状）
の回路パターンとして被着形成されている。それらのパ
ターンの各部の寸法や形状あるいは折れ数や巻き数など
は、所望のインダクタンス値に応じて適宜設定される。
またこれらインダクタンス部13あるいは14はトランスジ
ューサ８ともう一方の入出力端子10との間に形成して付
加してもよく、また両方に付加してもよい。
【００１９】そしてこれらのインダクタンス部13あるい
は14は、共振器と外部電気回路とのインピーダンスマッ
チングをとっているものではないので、そのインダクタ
ンス値は共振特性に応じてインピーダンス特性とは独立
に設定すればよいものである。
は14は、共振器と外部電気回路とのインピーダンスマッ
チングをとっているものではないので、そのインダクタ
ンス値は共振特性に応じてインピーダンス特性とは独立
に設定すればよいものである。
【００２０】またこれらのようなインダクタンス部13あ
るいは14をその回路パターンの面積を従来の弾性表面波
共振器におけるボンディングパッド部を兼ねた入出力端
子３・４の面積と同程度になるように設定すれば、圧電
基板７の面積を大きくする必要がなく、弾性表面波共振
器としてのサイズが大きくなってしまうこともないの
で、小型で信頼性の高い弾性表面波共振器とできる。
るいは14をその回路パターンの面積を従来の弾性表面波
共振器におけるボンディングパッド部を兼ねた入出力端
子３・４の面積と同程度になるように設定すれば、圧電
基板７の面積を大きくする必要がなく、弾性表面波共振
器としてのサイズが大きくなってしまうこともないの
で、小型で信頼性の高い弾性表面波共振器とできる。
【００２１】このようにトランスジューサ８と入出力端
子９・10との間にインダクタンス部13あるいは14を付加
することにより、前述したように共振器の容量成分がキ
ャンセルされて、その結果、低い共振周波数ｆｒに対し
ても共振損失Ａｒが小さくなり、回路発振の余裕度が大
きい高品位の弾性表面波共振器となる。
子９・10との間にインダクタンス部13あるいは14を付加
することにより、前述したように共振器の容量成分がキ
ャンセルされて、その結果、低い共振周波数ｆｒに対し
ても共振損失Ａｒが小さくなり、回路発振の余裕度が大
きい高品位の弾性表面波共振器となる。
【００２２】前記トランスジューサ８および入出力端子
９・10、一対の反射器11・12ならびにインダクタンス部
13あるいは14は、アルミニウムや金、銀などの金属から
成る。これらは圧電基板７上にフォトリソグラフなどの
方法によって、前述のようにトランスジューサ８は櫛歯
状に、反射器11・12はすだれ状に、インダクタンス部13
あるいは14はメアンダ形状あるいはスパイラル形状に被
着形成される。
９・10、一対の反射器11・12ならびにインダクタンス部
13あるいは14は、アルミニウムや金、銀などの金属から
成る。これらは圧電基板７上にフォトリソグラフなどの
方法によって、前述のようにトランスジューサ８は櫛歯
状に、反射器11・12はすだれ状に、インダクタンス部13
あるいは14はメアンダ形状あるいはスパイラル形状に被
着形成される。
【００２３】次に、本発明の作用効果を実験例に基づい
て説明する。
て説明する。
【００２４】〔実験例〕圧電基板としてＳＴカットの水
晶板を使用し、その上面に図１に示した構成で、アルミ
ニウムから成るトランスジューサと、アルミニウムから
成るすだれ状の反射器を形成した。そして一方の入出力
端子とトランスジューサとの間にインダクタンス値が数
百ｎＨのアルミニウムから成るメアンダ形状のインダク
タンス部を形成した。このようにして共振周波数ｆｒが
55.25ＭＨｚの図１に示した構成の本発明の弾性表面波
共振器の試料Ａを作製した。
晶板を使用し、その上面に図１に示した構成で、アルミ
ニウムから成るトランスジューサと、アルミニウムから
成るすだれ状の反射器を形成した。そして一方の入出力
端子とトランスジューサとの間にインダクタンス値が数
百ｎＨのアルミニウムから成るメアンダ形状のインダク
タンス部を形成した。このようにして共振周波数ｆｒが
55.25ＭＨｚの図１に示した構成の本発明の弾性表面波
共振器の試料Ａを作製した。
【００２５】またインダクタンス部を形成しなかった他
は上記と同様にして、共振周波数ｆｒが 55.25ＭＨｚの
従来の構成の弾性表面波共振器の試料（比較例）Ｂを作
製した。
は上記と同様にして、共振周波数ｆｒが 55.25ＭＨｚの
従来の構成の弾性表面波共振器の試料（比較例）Ｂを作
製した。
【００２６】次にこれらの試料に 55.25ＭＨｚ付近の周
波数の電気信号を印加し、共振周波数特性としての特性
曲線を調べた。その結果を図４に示す。図４において横
軸は周波数（単位：ＭＨｚ）を、縦軸は減衰量（単位：
ｄＢ）を表わしており、図中の曲線Ａは試料Ａの特性曲
線を、曲線Ｂは試料Ｂの特性曲線を示している。またそ
れぞれの特性曲線において、イで示した部分は共振点
を、ロで示した部分は***振点を表わしている。
波数の電気信号を印加し、共振周波数特性としての特性
曲線を調べた。その結果を図４に示す。図４において横
軸は周波数（単位：ＭＨｚ）を、縦軸は減衰量（単位：
ｄＢ）を表わしており、図中の曲線Ａは試料Ａの特性曲
線を、曲線Ｂは試料Ｂの特性曲線を示している。またそ
れぞれの特性曲線において、イで示した部分は共振点
を、ロで示した部分は***振点を表わしている。
【００２７】これらの特性曲線より、それぞれの共振点
の共振周波数ｆｒおよび共振点における共振損失Ａｒ、
ならびに***振点における***振損失Ａａを求めた。そ
の結果を表１に示す。
の共振周波数ｆｒおよび共振点における共振損失Ａｒ、
ならびに***振点における***振損失Ａａを求めた。そ
の結果を表１に示す。
【００２８】
【表１】
【００２９】以上の結果より、試料Ｂの共振損失Ａｒが
3.9ｄＢであるのに対して試料Ａの共振損失Ａｒは数百
ｎＨのインダクタンス部を付加したことによって 3.5ｄ
Ｂと小さくなり、両者の***振損失Ａａは変わらなかっ
たことから試料ＡにおいてはＡｒ特性が 0.4ｄＢ向上し
たことが分かる。これらのことから、試料Ａは試料Ｂに
比べて回路発振の余裕度が大きい高品位の弾性表面波共
振器であることが確認できた。
3.9ｄＢであるのに対して試料Ａの共振損失Ａｒは数百
ｎＨのインダクタンス部を付加したことによって 3.5ｄ
Ｂと小さくなり、両者の***振損失Ａａは変わらなかっ
たことから試料ＡにおいてはＡｒ特性が 0.4ｄＢ向上し
たことが分かる。これらのことから、試料Ａは試料Ｂに
比べて回路発振の余裕度が大きい高品位の弾性表面波共
振器であることが確認できた。
【００３０】
【発明の効果】以上詳述したように本発明の弾性表面波
共振器によれば、圧電基板上に形成されたトランスジュ
ーサと入出力端子との間にインダクタンス部を付加した
ことにより、低い共振周波数に対しても共振損失Ａｒを
小さく抑えてＡｒ特性を向上させた、回路発振の余裕度
が大きい高品位の弾性表面波共振器を提供することがで
きた。
共振器によれば、圧電基板上に形成されたトランスジュ
ーサと入出力端子との間にインダクタンス部を付加した
ことにより、低い共振周波数に対しても共振損失Ａｒを
小さく抑えてＡｒ特性を向上させた、回路発振の余裕度
が大きい高品位の弾性表面波共振器を提供することがで
きた。
【００３１】また本発明の弾性表面波共振器によれば、
共振損失Ａｒを小さく抑えるとともに共振抵抗Ｒｓを小
さくでき、***振損失Ａａを大きくすることがなく、回
路発振の余裕度が大きい高品位の弾性表面波共振器を提
供することができた。
共振損失Ａｒを小さく抑えるとともに共振抵抗Ｒｓを小
さくでき、***振損失Ａａを大きくすることがなく、回
路発振の余裕度が大きい高品位の弾性表面波共振器を提
供することができた。
【００３２】さらに本発明の弾性表面波共振器によれ
ば、インダクタンス部を付加するためのパターンを従来
の入出力端子のボンディングパッド部と同程度の面積に
形成することにより、小型で信頼性の高い弾性表面波共
振器とすることができる。
ば、インダクタンス部を付加するためのパターンを従来
の入出力端子のボンディングパッド部と同程度の面積に
形成することにより、小型で信頼性の高い弾性表面波共
振器とすることができる。
【図１】本発明の一実施例としての弾性表面波共振器の
平面図である。
平面図である。
【図２】本発明の他の実施例としての弾性表面波共振器
の平面図である。
の平面図である。
【図３】従来の弾性表面波共振器の平面図である。
【図４】弾性表面波共振器の共振周波数特性としての特
性曲線である。
性曲線である。
１、７ 基板 ２、８ トランスジューサ ３、４、９、10 入出力端子 ５、６、11、12 反射器 13、14 インダクタンス部
Claims (1)
- 【請求項１】圧電物質から成る基板上に、トランスジュ
ーサが形成され、該トランスジューサに接続された入出
力端子の少なくともいずれか一方にインダクタンス部が
直列接続され、かつ前記トランスジューサの両側に反射
器を設けて成ることを特徴とする弾性表面波共振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13039895A JPH08330890A (ja) | 1995-05-29 | 1995-05-29 | 弾性表面波共振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13039895A JPH08330890A (ja) | 1995-05-29 | 1995-05-29 | 弾性表面波共振器 |
Publications (1)
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| JPH08330890A true JPH08330890A (ja) | 1996-12-13 |
Family
ID=15033352
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP13039895A Pending JPH08330890A (ja) | 1995-05-29 | 1995-05-29 | 弾性表面波共振器 |
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| JP (1) | JPH08330890A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006211057A (ja) * | 2005-01-25 | 2006-08-10 | Oki Electric Ind Co Ltd | トリプレクサ |
| WO2012081240A1 (ja) * | 2010-12-16 | 2012-06-21 | パナソニック株式会社 | 弾性波装置 |
| CN112398457A (zh) * | 2020-11-24 | 2021-02-23 | 广东广纳芯科技有限公司 | 声表面波滤波器及其制造方法 |
-
1995
- 1995-05-29 JP JP13039895A patent/JPH08330890A/ja active Pending
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