JPH08318469A - レジノイド超砥粒ホイール及びその基盤並びにその製法 - Google Patents

レジノイド超砥粒ホイール及びその基盤並びにその製法

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JPH08318469A
JPH08318469A JP9027395A JP9027395A JPH08318469A JP H08318469 A JPH08318469 A JP H08318469A JP 9027395 A JP9027395 A JP 9027395A JP 9027395 A JP9027395 A JP 9027395A JP H08318469 A JPH08318469 A JP H08318469A
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JP
Japan
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resinoid
ceramic substrate
mixed
superabrasive
press
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JP9027395A
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Akira Sakai
明 酒井
Hisamitsu Miyazaki
久光 宮崎
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MITSUI KENSAKU TOISHI KK
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MITSUI KENSAKU TOISHI KK
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 レジノイド超砥粒層の簡易な製法によるコス
トの低減、並びに熱伝達熱膨張の小さい基盤の完成、及
び遠心力の影響の少ないホイールの完成。 【構成】 炭化珪素SiC 又は酸化アルミニウムAl2O3
いずれかの骨材に結合剤を混合させプレス加工により環
状に押圧しこれを焼成してセラミックス基盤1とするレ
ジノイド超砥粒ホイール用の基盤の製法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ホイール周速度が1800
m/min を越える高速回転で使用しても、高精度加工が可
能であるレジノイド超砥粒ホイール及びその基盤並びに
その製法に関するものである。
【0002】
【従来技術】従来、砥粒にダイヤモンド又は立方晶窒化
硼素(CBN)を用いこれを樹脂で固めてレジノイド超
砥粒としたものは公知であり、従来公知のレジノイド超
砥粒を用いたホイールは、図1のように、超砥粒を樹脂
で固めて短冊状の研削層片aを形成し、これをアルミニ
ウム或はアルミニウムと樹脂を原料とした基盤bの外周
に接着材で固定していた。なお、図中cは、基盤bの中
心に形成した軸への取付孔である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】公知のレジノイド超砥
粒ホイールは、研削層片aにも、基盤bにも、夫々課題
があり、製造工程に起因するコスト高、寸法変化、砥粒
の形状変化に基づく高精密製品の製作困難という問題が
あった。即ち、短冊状の研削層片aを一個ずつ基盤外周
に接着材で接着していたが、この方法によるときは、製
造の手間が多く掛りコスト高になるばかりでなく、一個
ずつ接着材で接着するから、研削層片aが高速回転して
摩擦熱が生ずると、接着材に影響が生じて砥粒層の形状
が変化し、被研削物に対する砥粒の向きも変化して食い
込みも不良になったり逃げたりするようになる。また、
前記公知の基盤は、アルミニウム或はアルミニウムと樹
脂を原料としているが、いずれも、熱伝達が良好である
ため、ホイールの回転軸受部で発生する熱が回転軸に伝
達し、更に基盤を経由して研削層片まで伝達される。し
かし、研削層片と基盤とでは熱膨張係数が相違するた
め、異なる割合で熱膨張を生じて互いの間に亀裂を生じ
て破壊の原因を形成する。のみならず、基盤及び研削層
の著しい熱膨張により、外径寸法も大きく変化し、研削
精度に狂いを生じさせて高精密製品は得られない。
【0004】
【発明の目的】レジノイド超砥粒層の簡易な製法による
コストの低減、並びに熱伝達熱膨張の小さい基盤の完
成、及び遠心力の影響の少ないホイールの完成。
【0005】
【課題を解決する手段】よって、本発明は、炭化珪素Si
C 又は酸化アルミニウムAl2O3 のいずれかの骨材に結合
剤を混合させプレス加工により正円の環状に押圧しこれ
を焼成してセラミックス基盤1とするレジノイド超砥粒
ホイール用の基盤の製法としたものである。また、本発
明は、炭化珪素SiC 又は酸化アルミニウムAl2O3 のいず
れかの骨材に結合剤を混合させプレス加工により正円の
環状に押圧しこれを焼成して得たセラミックス基盤とし
たものである。また、本発明は、炭化珪素SiC 又は酸化
アルミニウムAl2O3 のいずれかの骨材に結合剤を混合さ
せプレス加工により正円の環状に押圧しこれを焼成して
セラミックス基盤1とし、該セラミックス基盤1を型3
内に水平に載置し、前記セラミックス基盤1の外周には
超砥粒層6の形成空間4を形成し、該形成空間4内にダ
イヤモンド又は立方晶窒化硼素(CBN)の粉材に熱硬
化性の樹脂を混合した混合物5を供給しプレスで押圧成
形したのち電気炉で加熱硬化をさせて得るレジノイド超
砥粒ホイールの製法としたものである。また、本発明
は、炭化珪素SiC 又は酸化アルミニウムAl2O3 のいずれ
かの骨材に結合剤を混合させプレス加工により正円の環
状に押圧しこれを焼成してセラミックス基盤1とし、該
セラミックス基盤1を型3内に水平に載置して前記セラ
ミックス基盤1の外周に超砥粒層6の形成空間4を形成
し、該形成空間4内にダイヤモンド又は立方晶窒化硼素
(CBN)の粉材に熱硬化性の樹脂を混合した混合物5
を供給しプレスで押圧成形したのち電気炉で加熱硬化を
させて得たレジノイド超砥粒ホイールとしたものであ
る。また、本発明は、炭化珪素SiC 又は酸化アルミニウ
ムAl2O3 のいずれかの骨材に結合剤を混合させプレス加
工により正円の環状に押圧しこれを焼成してセラミック
ス基盤1とし、ダイヤモンド又は立方晶窒化硼素(CB
N)の粉材に熱硬化性の樹脂を混合した混合物5を供給
しプレスで押圧成形したのち電気炉で加熱硬化をさせて
前記セラミックス基盤1の外周に嵌合するレジノイド超
砥粒層6を形成し、該レジノイド超砥粒層6を前記セラ
ミックス基盤1の外周に嵌合して接着材で接着するレジ
ノイド超砥粒層をレジノイド超砥粒ホイールの製法とし
たものである。また、本発明は、炭化珪素SiC 又は酸化
アルミニウムAl2O3 のいずれかの骨材に結合剤を混合さ
せプレス加工により正円の環状に押圧しこれを焼成して
セラミックス基盤1とし、該セラミックス基盤1の外周
にはダイヤモンド又は立方晶窒化硼素(CBN)の粉材
に熱硬化性の樹脂を混合した混合物5を加熱硬化させて
得たレジノイド超砥粒層6を接合させてレジノイド超砥
粒ホイールとしたものにおいて、前記レジノイド超砥粒
ホイールを多数枚接着材で接着して厚さの厚いものとし
たレジノイド超砥粒ホイールとしたものである。また、
本発明は、炭化珪素SiC 又は酸化アルミニウムAl2O3
いずれかの骨材に結合剤を混合させプレス加工により正
円の環状に押圧しこれを焼成してセラミックス基盤1と
し、該セラミックス基盤1を型3内に水平に載置して前
記セラミックス基盤1の外周に超砥粒層6の形成空間4
を形成し、該形成空間4内にダイヤモンド又は立方晶窒
化硼素(CBN)の粉材に熱硬化性の樹脂を混合した混
合物5を供給しプレスで押圧成形したのち電気炉で加熱
硬化をさせて得るレジノイド超砥粒ホイールにおいて、
前記型3内に水平に載置する前記セラミックス基盤1は
多数枚重合し、前記形成空間4内に供給する混合物5は
基盤数枚分一度に供給して得るレジノイド超砥粒ホイー
ルとしたものである。
【0006】
【実施例】本発明の製法を示す一実施例を図面により説
明すると、図2において、1はセラミックス基盤であ
り、中心に取付用透孔2を有する。セラミックス基盤1
は、炭化珪素SiC 又は酸化アルミニウムAl2O3 のいずれ
かの骨材に、結合剤を混合させ、プレス加工により図2
のような正円の円盤状に押圧し、これを乾燥して生仕上
をなし、ベル窯に入れて1280℃で約1週間焼成して
完成させる。
【0007】つぎに、上記の方法で焼成したセラミック
ス基盤1を図3のように型3内に水平に載置し、載置し
たセラミックス基盤1の外周には超砥粒層6の形成空間
4を形成し、該形成空間4にダイヤモンド又は立方晶窒
化硼素(CBN)の粉材に熱硬化性の樹脂とニッケルN
i、銅Cu、炭化珪素SiC 等の充填材を混合した混合物5
を供給し、プレスで押圧したのち電気炉で180℃の加
熱硬化をさせてレジノイド超砥粒層6を形成する。この
とき、骨材と樹脂の混合物5を供給する前にセラミック
ス基盤1の外周に接着材を塗布することがある。
【0008】図4は、巾のあるものを得る実施例である
が、従来公知のものは、ボルト締めで形成していたとこ
ろ、本願は、多数枚重合する方法として、図3で得られ
たホイールを所望枚数接着材で接着して得る方法と、前
記図3の型3内に基盤1を収納するとき予め多数枚重合
して収納し、混合物5を多数枚分一挙に供給して厚さの
厚いレジノイド超砥粒層6を得る方法とがある。このと
き、基盤1の合せ面に接着材を塗布することがある。
【0009】第1比較例 本発明のセラミックス基盤と従来公知のアルミニウム基
盤の熱伝導度(Kcal/m,hv, ℃)を比較した結果は、図5
のとおりである。 第2比較例 本発明のセラミックス基盤と従来公知のアルミニウム基
盤の熱膨張係数(mm/℃)を比較した結果は、図6のと
おりである。 第3比較例 本発明のセラミックス基盤と従来公知のアルミニウム基
盤の熱膨張による変形(mm)を比較した結果は、図7の
とおりである(ただし、外径350mm 、厚み20mm、内径15
2.4mm 、回転数60/sec )。 第4比較例 本発明のセラミックス基盤と従来公知のアルミニウム基
盤の遠心力と熱膨張による変形(mm)の合計を比較した
結果は、図8のとおりである(ただし、外径350mm 、厚
み20mm、内径152.4mm 、回転数60/sec )。
【0010】
【発明の効果】本発明は、炭化珪素SiC 又は酸化アルミ
ニウムAl2O3 のいずれかの骨材に結合剤を混合させプレ
ス加工により環状に押圧しこれを焼成してセラミックス
基盤1とするレジノイド超砥粒ホイール用の基盤の製法
としたものであるから、従来公知のアルミニウム基盤の
熱伝導度(Kcal/m,hv, ℃)と対比した場合、その熱伝
導度は10/1 〜113 /1 と小さく、セラミックス基盤1
を介してレジノイド超砥粒層に熱伝達しないので、熱伝
達に基づく全ての問題を解決する。また、従来公知のア
ルミニウム基盤の熱膨張係数(mm/℃)と対比した場
合、その熱膨張係数は約1 /3 と小さく、セラミックス
基盤1は殆ど膨張しないから、熱膨張に基づく全ての問
題を解決する。また、従来公知のアルミニウム基盤の熱
膨張遠心力による変形と熱膨張による変形(mm)の合計
を比較した結果は、約1 /3 と小さく、セラミックス基
盤1は遠心力による変形が少ないから、遠心力に基づく
全ての問題を解決する。また、本発明は、炭化珪素SiC
又は酸化アルミニウムAl2O3 のいずれかの骨材に結合剤
を混合させプレス加工により正円の環状に押圧しこれを
焼成してセラミックス基盤1とし、該セラミックス基盤
1を型3内に水平に載置し、前記セラミックス基盤1の
外周には超砥粒層の形成空間4を形成し、該形成空間4
内にダイヤモンド又は立方晶窒化硼素(CBN)の粉材
に熱硬化性の樹脂を混合した混合物5を供給しプレスで
押圧成形したのち電気炉で加熱硬化をさせて得るレジノ
イド超砥粒ホイールの製法としたものであるから、前記
の効果はそのまま期待しう外、セラミックス基盤1を型
3内に水平に載置し、セラミックス基盤1の外周には超
砥粒層の形成空間4を形成し、該形成空間4内にダイヤ
モンド又は立方晶窒化硼素(CBN)の粉材に熱硬化性
の樹脂を混合した混合物5を供給しプレスで押圧成形し
たのち電気炉で加熱硬化をさせる方法としたので、従来
の短冊の研削層片を一個ずつ接着するものに比し、型内
に流し込めば接着するから、製法簡単で、コストダウン
できる効果がある。また、本発明は、炭化珪素SiC 又は
酸化アルミニウムAl2O3 のいずれかの骨材に結合剤を混
合させプレス加工により正円の環状に押圧しこれを焼成
してセラミックス基盤1とし、ダイヤモンド又は立方晶
窒化硼素(CBN)の粉材に熱硬化性の樹脂を混合した
混合物5を供給しプレスで押圧成形したのち電気炉で加
熱硬化をさせて前記セラミックス基盤1の外周に嵌合す
るレジノイド超砥粒層6を形成し、該レジノイド超砥粒
層6を前記セラミックス基盤1の外周に嵌合して接着材
で接着するレジノイド超砥粒層をレジノイド超砥粒ホイ
ールの製法としたものであるから、前記と同様、従来の
短冊の研削層片を一個ずつ接着するものに比し、製法簡
単で、コストダウンできる効果がある。また、本発明
は、炭化珪素SiC 又は酸化アルミニウムAl2O3 のいずれ
かの骨材に結合剤を混合させプレス加工により正円の環
状に押圧しこれを焼成してセラミックス基盤1とし、該
セラミックス基盤1の外周にはダイヤモンド又は立方晶
窒化硼素(CBN)の粉材に熱硬化性の樹脂を混合した
混合物5を加熱硬化させて得たレジノイド超砥粒層6を
接合させてレジノイド超砥粒ホイールとしたものにおい
て、前記レジノイド超砥粒ホイールを多数枚接着材で接
着して厚さの厚いものとしたレジノイド超砥粒ホイール
としたものであるから、従来のように多数枚をボルト締
めしたものと相違し、容易に得られる。また、本発明
は、炭化珪素SiC 又は酸化アルミニウムAl2O3 のいずれ
かの骨材に結合剤を混合させプレス加工により正円の環
状に押圧しこれを焼成してセラミックス基盤1とし、該
セラミックス基盤1を型3内に水平に載置して前記セラ
ミックス基盤1の外周に超砥粒層6の形成空間4を形成
し、該形成空間4内にダイヤモンド又は立方晶窒化硼素
(CBN)の粉材に熱硬化性の樹脂を混合した混合物5
を供給しプレスで押圧成形したのち電気炉で加熱硬化を
させて得るレジノイド超砥粒ホイールにおいて、前記型
3内に水平に載置する前記セラミックス基盤1は多数枚
重合し、前記形成空間4内に供給する混合物5は基盤数
枚分一度に供給して得るレジノイド超砥粒ホイールとし
たものであるから、前記と同様、巾のあるものを容易に
得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 公知例図。
【図2】 本発明のホイール全体を示す斜視図。
【図3】 製造状態図。
【図4】 第2実施例図。
【図5】 本発明のセラミックス基盤と従来公知のアル
ミニウム基盤の熱伝導度を表す表図。
【図6】 本発明のセラミックス基盤と従来公知のアル
ミニウム基盤の熱膨張係数を表す表図。
【図7】 本発明のセラミックス基盤と従来公知のアル
ミニウム基盤の熱膨張による変形を表す表図。
【図8】 本発明のセラミックス基盤と従来公知のアル
ミニウム基盤の遠心力と熱膨張の合計による変形を表す
表図。
【符号の説明】
1…セラミックス基盤、2…取付用透孔、3…型、4…
形成空間、5…混合物、6…超砥粒層。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 炭化珪素SiC 又は酸化アルミニウムAl2O
    3 のいずれかの骨材に結合剤を混合させプレス加工によ
    り正円の環状に押圧しこれを焼成してセラミックス基盤
    1とするレジノイド超砥粒ホイール用の基盤の製法。
  2. 【請求項2】 炭化珪素SiC 又は酸化アルミニウムAl2O
    3 のいずれかの骨材に結合剤を混合させプレス加工によ
    り正円の環状に押圧しこれを焼成して得たセラミックス
    基盤。
  3. 【請求項3】 炭化珪素SiC 又は酸化アルミニウムAl2O
    3 のいずれかの骨材に結合剤を混合させプレス加工によ
    り正円の環状に押圧しこれを焼成してセラミックス基盤
    1とし、該セラミックス基盤1を型3内に水平に載置
    し、前記セラミックス基盤1の外周には超砥粒層6の形
    成空間4を形成し、該形成空間4内にダイヤモンド又は
    立方晶窒化硼素(CBN)の粉材に熱硬化性の樹脂を混
    合した混合物5を供給しプレスで押圧成形したのち電気
    炉で加熱硬化をさせて得るレジノイド超砥粒ホイールの
    製法。
  4. 【請求項4】 炭化珪素SiC 又は酸化アルミニウムAl2O
    3 のいずれかの骨材に結合剤を混合させプレス加工によ
    り正円の環状に押圧しこれを焼成してセラミックス基盤
    1とし、該セラミックス基盤1を型3内に水平に載置し
    て前記セラミックス基盤1の外周に超砥粒層6の形成空
    間4を形成し、該形成空間4内にダイヤモンド又は立方
    晶窒化硼素(CBN)の粉材に熱硬化性の樹脂を混合し
    た混合物5を供給しプレスで押圧成形したのち電気炉で
    加熱硬化をさせて得たレジノイド超砥粒ホイール。
  5. 【請求項5】 炭化珪素SiC 又は酸化アルミニウムAl2O
    3 のいずれかの骨材に結合剤を混合させプレス加工によ
    り正円の環状に押圧しこれを焼成してセラミックス基盤
    1とし、ダイヤモンド又は立方晶窒化硼素(CBN)の
    粉材に熱硬化性の樹脂を混合した混合物5を供給しプレ
    スで押圧成形したのち電気炉で加熱硬化をさせて前記セ
    ラミックス基盤1の外周に嵌合するレジノイド超砥粒層
    6を形成し、該レジノイド超砥粒層6を前記セラミック
    ス基盤1の外周に嵌合して接着材で接着するレジノイド
    超砥粒層をレジノイド超砥粒ホイールの製法。
  6. 【請求項6】 炭化珪素SiC 又は酸化アルミニウムAl2O
    3 のいずれかの骨材に結合剤を混合させプレス加工によ
    り正円の環状に押圧しこれを焼成してセラミックス基盤
    1とし、該セラミックス基盤1の外周にはダイヤモンド
    又は立方晶窒化硼素(CBN)の粉材に熱硬化性の樹脂
    を混合した混合物5を加熱硬化させて得たレジノイド超
    砥粒層6を接合させてレジノイド超砥粒ホイールとした
    ものにおいて、前記レジノイド超砥粒ホイールを多数枚
    接着材で接着して厚さの厚いものとしたレジノイド超砥
    粒ホイール。
  7. 【請求項7】 炭化珪素SiC 又は酸化アルミニウムAl2O
    3 のいずれかの骨材に結合剤を混合させプレス加工によ
    り正円の環状に押圧しこれを焼成してセラミックス基盤
    1とし、該セラミックス基盤1を型3内に水平に載置し
    て前記セラミックス基盤1の外周に超砥粒層6の形成空
    間4を形成し、該形成空間4内にダイヤモンド又は立方
    晶窒化硼素(CBN)の粉材に熱硬化性の樹脂を混合し
    た混合物5を供給しプレスで押圧成形したのち電気炉で
    加熱硬化をさせて得るレジノイド超砥粒ホイールにおい
    て、前記型3内に水平に載置する前記セラミックス基盤
    1は多数枚重合し、前記形成空間4内に供給する混合物
    5は基盤数枚分一度に供給して得るレジノイド超砥粒ホ
    イール。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008101550A1 (de) * 2007-02-20 2008-08-28 Siemens Aktiengesellschaft Walze und/oder rolle sowie ein verfahren zur herstellung einer walze und/oder rolle
CN103406840A (zh) * 2013-07-12 2013-11-27 上海川禾实业发展有限公司 一种金相用磁吸研磨盘的制备方法
CN105382243A (zh) * 2015-11-06 2016-03-09 洛阳鹏飞耐磨材料股份有限公司 耐磨磨盘的制备方法
CZ307395B6 (cs) * 2015-10-10 2018-07-25 Univerzita J. E. Purkyně V Ústí Nad Labem Brousicí kotouč
CN108857851A (zh) * 2018-06-06 2018-11-23 国核宝钛锆业股份公司 一种磨石及其制备方法
CN109909897A (zh) * 2019-04-17 2019-06-21 江苏赛扬精工科技有限责任公司 活塞环梯磨专用高自锐性超硬砂轮及其应用
CN114473890A (zh) * 2022-03-15 2022-05-13 合肥陶陶新材料科技有限公司 一种陶瓷件用高耐磨砂轮及其制备方法

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008101550A1 (de) * 2007-02-20 2008-08-28 Siemens Aktiengesellschaft Walze und/oder rolle sowie ein verfahren zur herstellung einer walze und/oder rolle
CN103406840A (zh) * 2013-07-12 2013-11-27 上海川禾实业发展有限公司 一种金相用磁吸研磨盘的制备方法
CZ307395B6 (cs) * 2015-10-10 2018-07-25 Univerzita J. E. Purkyně V Ústí Nad Labem Brousicí kotouč
CN105382243A (zh) * 2015-11-06 2016-03-09 洛阳鹏飞耐磨材料股份有限公司 耐磨磨盘的制备方法
CN108857851A (zh) * 2018-06-06 2018-11-23 国核宝钛锆业股份公司 一种磨石及其制备方法
CN109909897A (zh) * 2019-04-17 2019-06-21 江苏赛扬精工科技有限责任公司 活塞环梯磨专用高自锐性超硬砂轮及其应用
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