JPH0829830B2 - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPH0829830B2 JPH0829830B2 JP15290289A JP15290289A JPH0829830B2 JP H0829830 B2 JPH0829830 B2 JP H0829830B2 JP 15290289 A JP15290289 A JP 15290289A JP 15290289 A JP15290289 A JP 15290289A JP H0829830 B2 JPH0829830 B2 JP H0829830B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rails
- shaped
- rail
- carrier
- slit
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Description
【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 ウエハ、フォトマスク等を搬送台車に載置して処理装
置間等を搬送する装置に関し、 搬送台車に振動を与えない平滑な搬送路を有する発塵
の少ない搬送装置を提供することを目的とし、 搬送台車の走行を案内する搬送路は複数のレールを連
接して構築され、該レールの連接部では矯正部材が該連
接するレール双方の端部に固着されており、該連接する
レールの双方又は一方には連接端面に開くスリットが前
記矯正部材の側面に平行に設けられているように構成す
る。
置間等を搬送する装置に関し、 搬送台車に振動を与えない平滑な搬送路を有する発塵
の少ない搬送装置を提供することを目的とし、 搬送台車の走行を案内する搬送路は複数のレールを連
接して構築され、該レールの連接部では矯正部材が該連
接するレール双方の端部に固着されており、該連接する
レールの双方又は一方には連接端面に開くスリットが前
記矯正部材の側面に平行に設けられているように構成す
る。
本発明は、半導体装置製造工程等においてウエハ、フ
ォトマスク等を搬送台車に載置して処理装置間等を搬送
する装置に関する。
ォトマスク等を搬送台車に載置して処理装置間等を搬送
する装置に関する。
近時半導体装置のパターンの微細化が進むに伴い、製
造工程での塵埃の存在が製品の歩留りに与える影響がま
すます大きくなって来た。そのため製造工程には高度に
清浄化した空気を供給すると共に、クリーンルーム内で
の発塵源となる作業者を減らすための自動化が処理装置
だけでなく装置間の搬送に対しても進められているが、
これらの装置自体からの発塵についてもクリーンルーム
を汚染するとして問題視されるに至っている。従ってウ
エハやフォトマスクの装置間等の搬送装置にあっても発
塵を極力少なくすることが望まれている。
造工程での塵埃の存在が製品の歩留りに与える影響がま
すます大きくなって来た。そのため製造工程には高度に
清浄化した空気を供給すると共に、クリーンルーム内で
の発塵源となる作業者を減らすための自動化が処理装置
だけでなく装置間の搬送に対しても進められているが、
これらの装置自体からの発塵についてもクリーンルーム
を汚染するとして問題視されるに至っている。従ってウ
エハやフォトマスクの装置間等の搬送装置にあっても発
塵を極力少なくすることが望まれている。
従来の搬送装置を第３図及び第４図により説明する。
第３図は車輪支持型自走式搬送装置の一例を示す模式断
面図であり、第４図は従来の搬送装置のレール連接部の
一例を示す斜視図である。
第３図は車輪支持型自走式搬送装置の一例を示す模式断
面図であり、第４図は従来の搬送装置のレール連接部の
一例を示す斜視図である。
先ず第３図により本搬送装置の全体構成の概略を説明
する（〔実施例〕の項で詳細に説明する）。この装置は
半導体装置製造工程においてクリーンルーム内でウエハ
30を搬送台車10に載置し、搬送路20に沿って工程間又は
処理装置間を搬送するものである。
する（〔実施例〕の項で詳細に説明する）。この装置は
半導体装置製造工程においてクリーンルーム内でウエハ
30を搬送台車10に載置し、搬送路20に沿って工程間又は
処理装置間を搬送するものである。
搬送台車10は上部にトレイ11を備え、この中に搬送す
るウエハ30を収容する。搬送台車10は車輪13、14、15を
備え、一対のレール21の内面に接してこれに上下左右を
ガイドされる。搬送台車10は下部にはリニアモータを構
成する二次導体16を備えており、これと搬送路20側に設
置されたリニアモータ一次導体24とによって発生する推
力で搬送台車10が自走する。
るウエハ30を収容する。搬送台車10は車輪13、14、15を
備え、一対のレール21の内面に接してこれに上下左右を
ガイドされる。搬送台車10は下部にはリニアモータを構
成する二次導体16を備えており、これと搬送路20側に設
置されたリニアモータ一次導体24とによって発生する推
力で搬送台車10が自走する。
搬送路20はレール21、支柱22、ベースプレート23と、
前述のリニアモータ一次導体24とからなる。この内レー
ル21はコの字形断面を有し、搬送路20の直線部分となる
ものは引抜き加工で製造され、曲線部分はコの字形の３
面を別々に加工した後溶接してコの字形に成形する。こ
れらを直列に順次継いで所要長とする。
前述のリニアモータ一次導体24とからなる。この内レー
ル21はコの字形断面を有し、搬送路20の直線部分となる
ものは引抜き加工で製造され、曲線部分はコの字形の３
面を別々に加工した後溶接してコの字形に成形する。こ
れらを直列に順次継いで所要長とする。
次にこのレール連接部の一例を第４図に示す。連接す
る２本のレール41はそれぞれの端面を突き合わせ、前記
支柱22を介して前記ベースプレート23に固定する。この
際コの字形の３面共に内面で極力段差を生じないように
取り付け位置を調整する。
る２本のレール41はそれぞれの端面を突き合わせ、前記
支柱22を介して前記ベースプレート23に固定する。この
際コの字形の３面共に内面で極力段差を生じないように
取り付け位置を調整する。
このような従来の搬送装置では、引抜き加工で製造さ
れたレール同士の連接では余り問題ではないが、引抜き
加工で製造されたレールと溶接で製造されたレールとを
連接する場合、又は溶接で製造されたレール同士を連接
する場合には両者の断面形状が必ずしも一致せず、コの
字形の３面共に段差を生じないように取り付けることが
困難となって３面中１面又は２面でレール連接部に段差
を生ずる場合があり、搬送台車がこの段差を通過する時
に衝撃を受けて搬送装置各部に付着していた塵埃の一部
が脱落してクリーンルーム内に浮遊したり搬送台車に収
容されているウエハに付着したりする、或いは搬送台車
の車輪が磨耗して発塵する、等の問題があった。
れたレール同士の連接では余り問題ではないが、引抜き
加工で製造されたレールと溶接で製造されたレールとを
連接する場合、又は溶接で製造されたレール同士を連接
する場合には両者の断面形状が必ずしも一致せず、コの
字形の３面共に段差を生じないように取り付けることが
困難となって３面中１面又は２面でレール連接部に段差
を生ずる場合があり、搬送台車がこの段差を通過する時
に衝撃を受けて搬送装置各部に付着していた塵埃の一部
が脱落してクリーンルーム内に浮遊したり搬送台車に収
容されているウエハに付着したりする、或いは搬送台車
の車輪が磨耗して発塵する、等の問題があった。
本発明は、このような問題を解決して、搬送台車に振
動を与えない平滑な搬送路を有して発塵の少ない搬送装
置を提供することを目的とする。
動を与えない平滑な搬送路を有して発塵の少ない搬送装
置を提供することを目的とする。
この目的は、本発明によれば、搬送台車（10）の走行
を案内する搬送路（20）は複数個のコの字形又はＬ字形
のレール（１）を連接して構築され、該レール（１）の
連接部では矯正部材（２）が隣合う該レール（１）の双
方に固着されており、該連接するレール（１）の双方又
は一方には、連接端面（1b）に開くスリット（1a）が、
該レールのコの字又はＬ字のコーナーに当たる部分に沿
って、前記矯正部材（２）の側面に平行に設けられてい
ることを特徴とする搬送装置とすることにより、達成さ
れる。
を案内する搬送路（20）は複数個のコの字形又はＬ字形
のレール（１）を連接して構築され、該レール（１）の
連接部では矯正部材（２）が隣合う該レール（１）の双
方に固着されており、該連接するレール（１）の双方又
は一方には、連接端面（1b）に開くスリット（1a）が、
該レールのコの字又はＬ字のコーナーに当たる部分に沿
って、前記矯正部材（２）の側面に平行に設けられてい
ることを特徴とする搬送装置とすることにより、達成さ
れる。
搬送路は搬送台車の走行の上下左右方向を拘束するた
め、この搬送路に使用するレールは通常コの字形断面等
を持つ。そのため、特に溶接によりコの字形等に成形し
たレールでは断面形状の精度の関係で、レール連接部で
全ての台車走行面のレベルを合わせることは容易ではな
い。そこでその端面から長手方向にスリットを入れて、
連接部近傍のみコの字型断面等を複数の平板断面に分割
することにより剛性を弱め、各台車走行面の裏側等に比
較的剛性の高い矯正部材を連接する双方のレールに固着
することにより、各台車走行面を個々に矯正する。これ
により各台車走行面共に段差は解消される。
め、この搬送路に使用するレールは通常コの字形断面等
を持つ。そのため、特に溶接によりコの字形等に成形し
たレールでは断面形状の精度の関係で、レール連接部で
全ての台車走行面のレベルを合わせることは容易ではな
い。そこでその端面から長手方向にスリットを入れて、
連接部近傍のみコの字型断面等を複数の平板断面に分割
することにより剛性を弱め、各台車走行面の裏側等に比
較的剛性の高い矯正部材を連接する双方のレールに固着
することにより、各台車走行面を個々に矯正する。これ
により各台車走行面共に段差は解消される。
本発明に基づく搬送装置の一実施例を第１図、第２図
及び第３図により説明する。第１図は本発明の実施例の
搬送装置のレール連接部を示す斜視図であり、第２図は
レール連接部近傍のスリットの例を示す模式断面図、第
３図は車輪支持型自走式搬送装置の一例を示す模式断面
図である。
及び第３図により説明する。第１図は本発明の実施例の
搬送装置のレール連接部を示す斜視図であり、第２図は
レール連接部近傍のスリットの例を示す模式断面図、第
３図は車輪支持型自走式搬送装置の一例を示す模式断面
図である。
先ず第３図により本搬送装置の全体構成を説明する。
この装置は半導体装置製造工程においてクリーンルーム
内でウエハ30を搬送第10に載置し、搬送路20に沿って工
程間又は処理装置間を搬送するものである。
この装置は半導体装置製造工程においてクリーンルーム
内でウエハ30を搬送第10に載置し、搬送路20に沿って工
程間又は処理装置間を搬送するものである。
搬送台車10は上部にトレイ11を備え、この中に搬送す
るウエハ30を収容する。図示はないが一側面にウエハ30
を出し入れするための扉を有している。このトレイ11は
複数個の吸着機構12を備えており、或る停止位置でこの
吸着機構12上に載置したウエハ30を吸着保持し、別の停
止位置でこれを開放する機能を有している。搬送台車10
は車輪13、14、15を備え、一対のレール21の内面に接し
てこれに上下左右をガイドされる。搬送台車10は下部に
はリニアモータを構成する二次導体16を備えており、こ
れと搬送路20側に設置されたリニアモータ一次導体24と
によって発生する推力で搬送台車10が自走する。
るウエハ30を収容する。図示はないが一側面にウエハ30
を出し入れするための扉を有している。このトレイ11は
複数個の吸着機構12を備えており、或る停止位置でこの
吸着機構12上に載置したウエハ30を吸着保持し、別の停
止位置でこれを開放する機能を有している。搬送台車10
は車輪13、14、15を備え、一対のレール21の内面に接し
てこれに上下左右をガイドされる。搬送台車10は下部に
はリニアモータを構成する二次導体16を備えており、こ
れと搬送路20側に設置されたリニアモータ一次導体24と
によって発生する推力で搬送台車10が自走する。
搬送路20はレール21、支柱22、ベースプレート23と、
前述のリニアモータ一次導体24とからなり、全長は100m
を超える場合が多い。この内レール21はコの字形断面を
有し、搬送路20の直線部分となるものは引抜き加工で製
造され（アルミニウム製で長さは２〜3m程度）、曲線部
分はコの字形の３面を別々に加工した後溶接してコの字
形に成形する。これらを直列に順次継いで所要長とす
る。
前述のリニアモータ一次導体24とからなり、全長は100m
を超える場合が多い。この内レール21はコの字形断面を
有し、搬送路20の直線部分となるものは引抜き加工で製
造され（アルミニウム製で長さは２〜3m程度）、曲線部
分はコの字形の３面を別々に加工した後溶接してコの字
形に成形する。これらを直列に順次継いで所要長とす
る。
次にこのレール連接部を第１図により説明する。連接
する２本のレール１はいずれも各辺の長さが約70mm、厚
さ３〜4mmのコの字形断面となっているが、連接部の端
面1bから長手方向それぞれ約70mmにわたってコの字形の
コーナーに当たる部分にスリット1aが設けられている。
スリット1aの幅は適当でよく、又、スリット1aの入れ方
も第２図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）及びこれらの類似の入
れ方でよく、要はコの字形の３面が分断されておればよ
い。２は矯正部材であり、ステンレス鋼が用いられ、厚
さ×幅×長さは５×50×120mm程度となっている。これ
をコの字形の各外面に双方のレール１に跨がって載せら
れ、強固にネジ止めされている。勿論ネジの位置は搬送
台車10の車輪13、14、15が接する部分は避けられてい
る。
する２本のレール１はいずれも各辺の長さが約70mm、厚
さ３〜4mmのコの字形断面となっているが、連接部の端
面1bから長手方向それぞれ約70mmにわたってコの字形の
コーナーに当たる部分にスリット1aが設けられている。
スリット1aの幅は適当でよく、又、スリット1aの入れ方
も第２図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）及びこれらの類似の入
れ方でよく、要はコの字形の３面が分断されておればよ
い。２は矯正部材であり、ステンレス鋼が用いられ、厚
さ×幅×長さは５×50×120mm程度となっている。これ
をコの字形の各外面に双方のレール１に跨がって載せら
れ、強固にネジ止めされている。勿論ネジの位置は搬送
台車10の車輪13、14、15が接する部分は避けられてい
る。
尚、レール１の断面形状としてはコの字形の他、Ｌ字
形、これらの組合せ形等でも本発明は有効である。
形、これらの組合せ形等でも本発明は有効である。
又、スリット1aを片方のレール１のみに設けた場合で
も、矯正の効果は生ずる。
も、矯正の効果は生ずる。
又、矯正部材２は搬送台車10の走行に支障のない位置
ならばコの字形の内面に固着してもよい。
ならばコの字形の内面に固着してもよい。
以上説明したように、本発明の搬送装置によれば、搬
送台車の走行を案内する搬送路は複数のレールを連接し
て構築され、該レールの連接部では矯正部材が該連接す
るレール双方の端部に固着されており、該連接するレー
ルの双方又は一方には連接端面に開くスリットが前記矯
正部材の側面に平行に設けられている搬送装置とするこ
とにより、段差のない平滑な搬送路を得ることが可能と
なり、発塵の少ない搬送装置を実現することが出来、ウ
エハ、フォトマスク等の製造工程における歩留り向上に
寄与するところが大きい。
送台車の走行を案内する搬送路は複数のレールを連接し
て構築され、該レールの連接部では矯正部材が該連接す
るレール双方の端部に固着されており、該連接するレー
ルの双方又は一方には連接端面に開くスリットが前記矯
正部材の側面に平行に設けられている搬送装置とするこ
とにより、段差のない平滑な搬送路を得ることが可能と
なり、発塵の少ない搬送装置を実現することが出来、ウ
エハ、フォトマスク等の製造工程における歩留り向上に
寄与するところが大きい。
第１図は本発明の実施例の搬送装置のレール連接部を示
す斜視図、 第２図はレール連接部近傍のスリットの例を示す模式断
面図、 第３図は車輪支持形自走式搬送装置の一例を示す模式断
面図、 第４図は従来の搬送装置のレール連接部の一例を示す斜
視図である。 図中、1,2,41はレール、 1aはスリット、 1bは連接端面、 ２は矯正部材、 10は搬送台車、 20は搬送路、 30はウエハ、である。
す斜視図、 第２図はレール連接部近傍のスリットの例を示す模式断
面図、 第３図は車輪支持形自走式搬送装置の一例を示す模式断
面図、 第４図は従来の搬送装置のレール連接部の一例を示す斜
視図である。 図中、1,2,41はレール、 1aはスリット、 1bは連接端面、 ２は矯正部材、 10は搬送台車、 20は搬送路、 30はウエハ、である。
Claims (1)
- 【請求項１】搬送台車（10）の走行を案内する搬送路
（20）は複数個のコの字形又はＬ字形のレール（１）を
連接して構築され、 該レール（１）の連接部では矯正部材（２）が隣合う該
レール（１）の双方に固着されており、 該連接するレール（１）の双方又は一方には、連接端面
（1b）に開くスリット（1a）が、該レールのコの字又は
Ｌ字のコーナーに当たる部分に沿って、前記矯正部材
（２）の側面に平行に設けられていることを特徴とする
搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15290289A JPH0829830B2 (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15290289A JPH0829830B2 (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0318518A JPH0318518A (ja) | 1991-01-28 |
| JPH0829830B2 true JPH0829830B2 (ja) | 1996-03-27 |
Family
ID=15550633
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15290289A Expired - Lifetime JPH0829830B2 (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0829830B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3395308B2 (ja) * | 1993-12-22 | 2003-04-14 | ミノルタ株式会社 | カメラ |
| JP4254857B2 (ja) | 2006-12-25 | 2009-04-15 | ソニー株式会社 | 撮像装置 |
-
1989
- 1989-06-14 JP JP15290289A patent/JPH0829830B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0318518A (ja) | 1991-01-28 |
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