JPH08296564A - ベローズポンプによる液体供給方法及びその装置 - Google Patents
ベローズポンプによる液体供給方法及びその装置Info
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- JPH08296564A JPH08296564A JP10625095A JP10625095A JPH08296564A JP H08296564 A JPH08296564 A JP H08296564A JP 10625095 A JP10625095 A JP 10625095A JP 10625095 A JP10625095 A JP 10625095A JP H08296564 A JPH08296564 A JP H08296564A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 供給しようとする薬液などの液体の脈動の少
ないポンプを得ること。 【構成】 本発明のベローズポンプによる液体供給装置
１は、エアー供給源１３８に一対のエアー供給装置１０
Ａ、１０Ｂを並列に接続し、各エアー供給装置１０Ａ、
１０Ｂにベローズポンプ２０Ａ、２０Ｂを接続し、これ
らのベローズポンプ２０Ａ、２０Ｂを所定の時間差を以
て作動させて液体を排出し、それぞれから排出された液
体を共通の供給管５０Ｃを介して目的の、例えば、洗浄
装置などに供給するようにしている。
ないポンプを得ること。 【構成】 本発明のベローズポンプによる液体供給装置
１は、エアー供給源１３８に一対のエアー供給装置１０
Ａ、１０Ｂを並列に接続し、各エアー供給装置１０Ａ、
１０Ｂにベローズポンプ２０Ａ、２０Ｂを接続し、これ
らのベローズポンプ２０Ａ、２０Ｂを所定の時間差を以
て作動させて液体を排出し、それぞれから排出された液
体を共通の供給管５０Ｃを介して目的の、例えば、洗浄
装置などに供給するようにしている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、液体、特に半導体ウ
エハなどを洗浄する洗浄槽に薬液を供給するのに好適な
ベローズポンプによる液体供給方法及びその装置の改良
に関するものである。
エハなどを洗浄する洗浄槽に薬液を供給するのに好適な
ベローズポンプによる液体供給方法及びその装置の改良
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】先ず、従来技術のベローズポンプによる
液体供給装置を図を用いて説明する。図４は従来技術の
ベローズポンプによる液体供給装置を用いた半導体ウエ
ハの洗浄装置を示す模式図であり、図５は図４に示した
半導体ウエハの洗浄装置へ薬液を供給、循環させるため
のベローズポンプによる液体供給装置（以下、単に「液
体供給装置」と略記する）であり、そして図６は図４の
半導体ウエハの洗浄装置の液体供給装置に装着されてい
る流量計の模式図である。
液体供給装置を図を用いて説明する。図４は従来技術の
ベローズポンプによる液体供給装置を用いた半導体ウエ
ハの洗浄装置を示す模式図であり、図５は図４に示した
半導体ウエハの洗浄装置へ薬液を供給、循環させるため
のベローズポンプによる液体供給装置（以下、単に「液
体供給装置」と略記する）であり、そして図６は図４の
半導体ウエハの洗浄装置の液体供給装置に装着されてい
る流量計の模式図である。
【０００３】図４において、符号１００は全体として、
半導体ウエハの洗浄装置（以下、単に「洗浄装置」と略
記する）を指す。この洗浄装置１００は洗浄槽１１０と
液体として洗浄薬液（以下、単に「薬液」と略記する）
を供給する洗浄薬液供給装置１２０とから構成されてい
る。前記洗浄槽１１０は内槽１１１と外槽１１２との二
重槽で構成されおり、具体的に図示していないが、薬液
ＬＭの供給口１１３と排出口１１４とを備えている。供
給口１１３から内槽１１１に供給された薬液ＬＭはオー
バーフローして外槽１１２内に流出し、この流出した薬
液ＬＭは前記排出口１１４から前記洗浄液供給装置１２
０に排出されるように構成されている。
半導体ウエハの洗浄装置（以下、単に「洗浄装置」と略
記する）を指す。この洗浄装置１００は洗浄槽１１０と
液体として洗浄薬液（以下、単に「薬液」と略記する）
を供給する洗浄薬液供給装置１２０とから構成されてい
る。前記洗浄槽１１０は内槽１１１と外槽１１２との二
重槽で構成されおり、具体的に図示していないが、薬液
ＬＭの供給口１１３と排出口１１４とを備えている。供
給口１１３から内槽１１１に供給された薬液ＬＭはオー
バーフローして外槽１１２内に流出し、この流出した薬
液ＬＭは前記排出口１１４から前記洗浄液供給装置１２
０に排出されるように構成されている。
【０００４】前記洗浄槽１１０の内槽１１１には複数枚
の半導体ウエハＳがキャリアＫに収納された状態で載置
され、洗浄液供給装置１２０から供給された高純度の薬
液ＬＭにより洗浄される。
の半導体ウエハＳがキャリアＫに収納された状態で載置
され、洗浄液供給装置１２０から供給された高純度の薬
液ＬＭにより洗浄される。
【０００５】前記洗浄液供給装置１２０は薬液ＬＭを前
記洗浄槽１１０へ供給、循環させるための液体供給装置
１３０とこの液体供給装置１３０から供給された薬液中
に含まれている不純物などを漉すフィルタ１２１と薬液
配管１２２Ｃ内を流れる薬液の流量を表示する流量計１
４０とから構成されている。
記洗浄槽１１０へ供給、循環させるための液体供給装置
１３０とこの液体供給装置１３０から供給された薬液中
に含まれている不純物などを漉すフィルタ１２１と薬液
配管１２２Ｃ内を流れる薬液の流量を表示する流量計１
４０とから構成されている。
【０００６】前記液体供給装置１３０は、図５に示した
ように、ベローズポンプ１３１を主要構成要素として構
成されており、シリンダ１３２内に２個のベローズ１３
３Ａ及び１３３Ｂが縦列的に接続されている。これらベ
ローズ１３３Ａ及び１３３Ｂの中間部には薬液の取入れ
口１３４と排出口１３５が設けられており、取入れ口１
３４には前記洗浄槽１１０から排出される薬液ＬＭを供
給する薬液配管１２２Ａが、排出口１３５には前記フィ
ルタ１２１へ薬液ＬＭを供給する薬液配管１２２Ｂが接
続される。前記シリンダ１３２の上端には、一対の電磁
弁１３６Ａ、１３６Ｂで構成されているエアー供給装置
１３６から導出されたエアー配管１３７Ａが接続されて
おり、またそのシリンダ１３２の下端には、前記エアー
供給装置１３６から導出された他のエアー配管１３７Ｂ
が接続されている。エアー供給装置１３６の入力側には
圧縮エアー供給源１３８がエアー配管１３７Ｃを介して
接続されている。また、このエアー供給装置１３６はコ
ントローラ１３９で制御されるように構成されている。
ように、ベローズポンプ１３１を主要構成要素として構
成されており、シリンダ１３２内に２個のベローズ１３
３Ａ及び１３３Ｂが縦列的に接続されている。これらベ
ローズ１３３Ａ及び１３３Ｂの中間部には薬液の取入れ
口１３４と排出口１３５が設けられており、取入れ口１
３４には前記洗浄槽１１０から排出される薬液ＬＭを供
給する薬液配管１２２Ａが、排出口１３５には前記フィ
ルタ１２１へ薬液ＬＭを供給する薬液配管１２２Ｂが接
続される。前記シリンダ１３２の上端には、一対の電磁
弁１３６Ａ、１３６Ｂで構成されているエアー供給装置
１３６から導出されたエアー配管１３７Ａが接続されて
おり、またそのシリンダ１３２の下端には、前記エアー
供給装置１３６から導出された他のエアー配管１３７Ｂ
が接続されている。エアー供給装置１３６の入力側には
圧縮エアー供給源１３８がエアー配管１３７Ｃを介して
接続されている。また、このエアー供給装置１３６はコ
ントローラ１３９で制御されるように構成されている。
【０００７】このような構成のベローズポンプ１３１
は、コントローラ１３９の制御の下にエアー供給装置１
３６の電磁弁１３６Ａ、１３６Ｂが交互に開閉し、圧縮
エアー供給源１３８からエアー配管１３７Ｃを通じて供
給される圧縮エアーをエアー配管１３７Ａ及び１３７Ｂ
を介して前記両ベローズ１３３Ａ及び１３３Ｂに供給
し、圧縮エアーがベローズ１３３Ｂを圧縮する時にはベ
ローズ１３３Ｂに存在した薬液を薬液配管１２２Ｂを通
じてフィルタ１２１に供給すると共に、一方のベローズ
１３３Ａを引き伸ばし、洗浄槽１１０から排出される薬
液を薬液配管１２２Ａを通じて取入れ口１３４から前記
引き伸ばされたベローズ１３３Ａ内に吸入する。このよ
うに圧縮エアーをベローズ１３３Ａ及び１３３Ｂに与え
て往復運動させ、薬液の流れを作り出している。この動
作を繰り返し行うことにより、連続して洗浄槽１１０内
に薬液ＬＭを循環、供給させることができる。
は、コントローラ１３９の制御の下にエアー供給装置１
３６の電磁弁１３６Ａ、１３６Ｂが交互に開閉し、圧縮
エアー供給源１３８からエアー配管１３７Ｃを通じて供
給される圧縮エアーをエアー配管１３７Ａ及び１３７Ｂ
を介して前記両ベローズ１３３Ａ及び１３３Ｂに供給
し、圧縮エアーがベローズ１３３Ｂを圧縮する時にはベ
ローズ１３３Ｂに存在した薬液を薬液配管１２２Ｂを通
じてフィルタ１２１に供給すると共に、一方のベローズ
１３３Ａを引き伸ばし、洗浄槽１１０から排出される薬
液を薬液配管１２２Ａを通じて取入れ口１３４から前記
引き伸ばされたベローズ１３３Ａ内に吸入する。このよ
うに圧縮エアーをベローズ１３３Ａ及び１３３Ｂに与え
て往復運動させ、薬液の流れを作り出している。この動
作を繰り返し行うことにより、連続して洗浄槽１１０内
に薬液ＬＭを循環、供給させることができる。
【０００８】前記流量計１４０は、図６に示したよう
に、円筒状の透明な管１４１と、この内部へ流入する薬
液により浮くフロート１４２と、この上下するフロート
１４２の上下位置を検出する一対の光センサ１４３Ａ、
１４３Ｂとから構成されていて、薬液配管１２２Ｃから
管１４１に流入する薬液の流量で上下動するフロート１
４２の上下動位置を前記各光センサ１４３Ａ、１４３Ｂ
で検出し、洗浄槽１１０に供給される薬液ＬＭの流量を
監視し、このように液体供給装置１３０の動作を薬液の
流れによって間接的に知る方法を採っている。
に、円筒状の透明な管１４１と、この内部へ流入する薬
液により浮くフロート１４２と、この上下するフロート
１４２の上下位置を検出する一対の光センサ１４３Ａ、
１４３Ｂとから構成されていて、薬液配管１２２Ｃから
管１４１に流入する薬液の流量で上下動するフロート１
４２の上下動位置を前記各光センサ１４３Ａ、１４３Ｂ
で検出し、洗浄槽１１０に供給される薬液ＬＭの流量を
監視し、このように液体供給装置１３０の動作を薬液の
流れによって間接的に知る方法を採っている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記のよう
に、圧縮エアーを印加することによって前記ベローズを
往復運動させ、それによって薬液の流れを作り出してい
るが、圧縮エアーの印加に応じてベローズポンプ１３１
が即動せず、またベローズポンプ１３１のストロークも
十分に取ることができない。更にまた、薬液ＬＭの流れ
が一定でなく、脈動してしまう。
に、圧縮エアーを印加することによって前記ベローズを
往復運動させ、それによって薬液の流れを作り出してい
るが、圧縮エアーの印加に応じてベローズポンプ１３１
が即動せず、またベローズポンプ１３１のストロークも
十分に取ることができない。更にまた、薬液ＬＭの流れ
が一定でなく、脈動してしまう。
【００１０】この薬液が脈動することにより下記のよう
な問題が生じる。 １．薬液の流れが一定でないため、正確な流量が測定す
ることができない。 ２．前記液体供給装置１３０における流量の検出方法で
は、薬液の脈動が大きいとポンプ１３０のオンオフ程度
しか検出できず、前記フィルタ１２１にパーティクルが
付着して、目詰まりを起こしてくると薬液の流れが低下
し、管１４１内での薬液の上下動の幅が狭くなって、前
記両光センサ１４３Ａ、１４３Ｂ間の位置では検出でき
なくなる。 ３．薬液の流れが一定でないため、ディップ洗浄機にお
いて、薬液の対流が起こり易く、エッチングレートが不
均一になったり、被加工物である半導体ウエハにパーテ
ィクルが再付着する可能性が高くなる。この発明はこの
ような問題を解決しようとするものであって、薬液の脈
動の少ないポンプを得ることを目的とするものである。
な問題が生じる。 １．薬液の流れが一定でないため、正確な流量が測定す
ることができない。 ２．前記液体供給装置１３０における流量の検出方法で
は、薬液の脈動が大きいとポンプ１３０のオンオフ程度
しか検出できず、前記フィルタ１２１にパーティクルが
付着して、目詰まりを起こしてくると薬液の流れが低下
し、管１４１内での薬液の上下動の幅が狭くなって、前
記両光センサ１４３Ａ、１４３Ｂ間の位置では検出でき
なくなる。 ３．薬液の流れが一定でないため、ディップ洗浄機にお
いて、薬液の対流が起こり易く、エッチングレートが不
均一になったり、被加工物である半導体ウエハにパーテ
ィクルが再付着する可能性が高くなる。この発明はこの
ような問題を解決しようとするものであって、薬液の脈
動の少ないポンプを得ることを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】それ故、この発明のベロ
ーズポンプによる液体供給方法は、圧縮エアー源に並列
接続された複数のエアー供給装置と複数のベローズポン
プとをそれぞれ互いに所定の時間差を設けて作動させ、
所望の液体を供給する方法を採って、前記課題を解決し
た。
ーズポンプによる液体供給方法は、圧縮エアー源に並列
接続された複数のエアー供給装置と複数のベローズポン
プとをそれぞれ互いに所定の時間差を設けて作動させ、
所望の液体を供給する方法を採って、前記課題を解決し
た。
【００１２】また、この液体供給方法を具体化した一実
施例であるベローズポンプによる液体供給装置は、エア
ー供給源と、液体供給源と、前記エアー供給源に並列に
接続され、そして前記液体供給源に接続された液体の取
入れ口と排出口とを備えた複数台のベローズポンプと、
前記エアー供給源と前記各ベローズポンプとの間に接続
され、前記各ベローズポンプを駆動するために接続さ
れ、弁を備えたエアー供給装置と、これら各エアー供給
装置を特定の時間差で駆動するコントローラと、前記各
ベローズポンプの排出口に接続された配管とから構成
し、前記課題を解決した。
施例であるベローズポンプによる液体供給装置は、エア
ー供給源と、液体供給源と、前記エアー供給源に並列に
接続され、そして前記液体供給源に接続された液体の取
入れ口と排出口とを備えた複数台のベローズポンプと、
前記エアー供給源と前記各ベローズポンプとの間に接続
され、前記各ベローズポンプを駆動するために接続さ
れ、弁を備えたエアー供給装置と、これら各エアー供給
装置を特定の時間差で駆動するコントローラと、前記各
ベローズポンプの排出口に接続された配管とから構成
し、前記課題を解決した。
【００１３】
【作用】従って、この発明によれば、ベローズポンプが
圧縮エアーの供給に応じて直ちに応動し、そのストロー
クも十分に取れるので十分な流量の薬液を供給すること
ができ、何よりも薬液の脈動を抑制することができる。
圧縮エアーの供給に応じて直ちに応動し、そのストロー
クも十分に取れるので十分な流量の薬液を供給すること
ができ、何よりも薬液の脈動を抑制することができる。
【００１４】
【実施例】次に、図を用いて、この発明のベローズポン
プによる液体供給方法及びその装置を説明する。図１は
この発明の一実施例であるベローズポンプによる液体供
給装置の模式図であり、図２は図１のベローズポンプに
よる液体供給装置の動作を説明するためのエアー供給装
置へ印加する電磁弁の切換え信号を示していて、そして
図３はこの発明のベローズポンプによる液体供給装置に
よる液体の脈動状態を示すグラフである。
プによる液体供給方法及びその装置を説明する。図１は
この発明の一実施例であるベローズポンプによる液体供
給装置の模式図であり、図２は図１のベローズポンプに
よる液体供給装置の動作を説明するためのエアー供給装
置へ印加する電磁弁の切換え信号を示していて、そして
図３はこの発明のベローズポンプによる液体供給装置に
よる液体の脈動状態を示すグラフである。
【００１５】先ず、図１を用いてこの発明の実施例であ
るベローズポンプによる液体供給装置（以下、単に「液
体供給装置」と略記する）を説明する。符号１は全体と
してこの発明の液体供給装置を指す。この液体供給装置
１は一対のエアー供給装置１０Ａ、１０Ｂと一対のベロ
ーズポンプ２０Ａ、２０Ｂと前記エアー供給装置１０
Ａ、１０Ｂを制御するコントローラ３０などから構成さ
れている。
るベローズポンプによる液体供給装置（以下、単に「液
体供給装置」と略記する）を説明する。符号１は全体と
してこの発明の液体供給装置を指す。この液体供給装置
１は一対のエアー供給装置１０Ａ、１０Ｂと一対のベロ
ーズポンプ２０Ａ、２０Ｂと前記エアー供給装置１０
Ａ、１０Ｂを制御するコントローラ３０などから構成さ
れている。
【００１６】前記圧縮エアー供給源１３８にはエアー配
管１２Ａ、１２Ｂを介して電磁弁１１Ａ、１１Ｂを具備
した前記一対のエアー供給装置１０Ａ、１０Ｂが並列に
接続されており、これらのエアー供給装置１０Ａ、１０
Ｂは、図２を用いて後記するが、前記コントローラ３０
で制御される。
管１２Ａ、１２Ｂを介して電磁弁１１Ａ、１１Ｂを具備
した前記一対のエアー供給装置１０Ａ、１０Ｂが並列に
接続されており、これらのエアー供給装置１０Ａ、１０
Ｂは、図２を用いて後記するが、前記コントローラ３０
で制御される。
【００１７】そしてエアー供給装置１０Ａには、エアー
配管４０Ａ、４０Ｂを介してベローズベローズポンプ２
０Ａが、そしてエアー配管４０Ｃ、４０Ｄを介してベロ
ーズポンプ２０Ｂが接続されている。各ベローズポンプ
２０Ａ、２０Ｂは円筒状で気密のシリンダ２１Ａ、２１
Ｂ内にそれぞれ一対のベローズ２２Ａ、２２Ｂ及び一対
のベローズ２２Ｃ、２２Ｄが直列的に接続された状態で
内蔵されている。前記エアー配管４０Ａ、４０Ｂはシリ
ンダ２１Ａの上下端に、エアー配管４０Ｃ、４０Ｄはシ
リンダ２１Ｂの上下端に接続されている。
配管４０Ａ、４０Ｂを介してベローズベローズポンプ２
０Ａが、そしてエアー配管４０Ｃ、４０Ｄを介してベロ
ーズポンプ２０Ｂが接続されている。各ベローズポンプ
２０Ａ、２０Ｂは円筒状で気密のシリンダ２１Ａ、２１
Ｂ内にそれぞれ一対のベローズ２２Ａ、２２Ｂ及び一対
のベローズ２２Ｃ、２２Ｄが直列的に接続された状態で
内蔵されている。前記エアー配管４０Ａ、４０Ｂはシリ
ンダ２１Ａの上下端に、エアー配管４０Ｃ、４０Ｄはシ
リンダ２１Ｂの上下端に接続されている。
【００１８】各一対のベローズ２２Ａ、２２Ｂ及びベロ
ーズ２２Ｃ、２２Ｄのそれぞれの中央接続部にはそれぞ
れ液体の取入れ口２３Ａ、２３Ｂが、液体の排出口２４
Ａ、２４Ｂが設けられている。そしてこれらの排出口２
４Ａ、２４Ｂには液体配管５０Ａ、５０Ｂが接続されて
おり、それぞれの液体配管５０Ａ、５０Ｂの他端は共通
供給管５０Ｃに接続され、例えば、図４に示したフィル
タ１２１に接続され、流量計１４０を介して洗浄槽１１
０に接続される。一方、前記各取入れ口２３Ａ、２３Ｂ
は、例えば、図４に示した洗浄槽１１０の排出口１１４
に接続し、薬液ＬＭのような液体を流入させる。
ーズ２２Ｃ、２２Ｄのそれぞれの中央接続部にはそれぞ
れ液体の取入れ口２３Ａ、２３Ｂが、液体の排出口２４
Ａ、２４Ｂが設けられている。そしてこれらの排出口２
４Ａ、２４Ｂには液体配管５０Ａ、５０Ｂが接続されて
おり、それぞれの液体配管５０Ａ、５０Ｂの他端は共通
供給管５０Ｃに接続され、例えば、図４に示したフィル
タ１２１に接続され、流量計１４０を介して洗浄槽１１
０に接続される。一方、前記各取入れ口２３Ａ、２３Ｂ
は、例えば、図４に示した洗浄槽１１０の排出口１１４
に接続し、薬液ＬＭのような液体を流入させる。
【００１９】前記各液体配管５０Ａ、５０Ｂにはそれぞ
れ逆止弁５１Ａ、５１Ｂが配設されていて、後記するよ
うに、エアー供給装置１０Ａ、１０Ｂから圧縮エアーに
より駆動させれる前記各ベローズ１３３Ａ及び１３３Ｂ
の交互作動によって排出される液体が互いに他方のポン
プ側に逆流することを防止するものである。以上のよう
に、この発明の液体供給装置１は構成されている。
れ逆止弁５１Ａ、５１Ｂが配設されていて、後記するよ
うに、エアー供給装置１０Ａ、１０Ｂから圧縮エアーに
より駆動させれる前記各ベローズ１３３Ａ及び１３３Ｂ
の交互作動によって排出される液体が互いに他方のポン
プ側に逆流することを防止するものである。以上のよう
に、この発明の液体供給装置１は構成されている。
【００２０】次に、この液体供給装置１の動作を図２及
び図３を用いて説明する。前記エアー供給装置１０Ａに
は、コントローラ３０で生成した図２に示したオンオフ
周期の切換え信号Ａを印加し、前記エアー供給装置１０
Ｂには、コントローラ３０から、切換え信号Ａより３／
４周期遅れた時間差の切換え信号Ｂを印加する。このよ
うな切換え信号Ａ、Ｂをそれぞれエアー供給装置１０
Ａ、１０Ｂの電磁弁１１Ａ、１１Ｂに印加すると、電磁
弁１１Ａ、１１Ｂが交互に開閉し、それぞれのエアー供
給装置１０Ａ、１０Ｂから圧縮エアーがそれぞれのベロ
ーズポンプ２０Ａ、２０Ｂを駆動し、ベローズ２２Ａ、
２２Ｂ及びベローズ２２Ｃ、２２Ｄが伸縮運動を起こ
す。その結果、ベローズポンプ２０Ａにより、図３に点
線で示した脈流Ａの液体が液体配管５０Ａに排出され、
ベローズポンプ２０Ｂにより、図３に一点鎖線で示した
脈流Ｂの液体が液体配管５０Ｂに排出され、前記共通供
給管５０Ｃには両脈流Ａ、Ｂの相乗により図３に示した
脈流Ｃの液体、即ち、ほぼ脈動が抑制された状態の液体
が生成することができる。
び図３を用いて説明する。前記エアー供給装置１０Ａに
は、コントローラ３０で生成した図２に示したオンオフ
周期の切換え信号Ａを印加し、前記エアー供給装置１０
Ｂには、コントローラ３０から、切換え信号Ａより３／
４周期遅れた時間差の切換え信号Ｂを印加する。このよ
うな切換え信号Ａ、Ｂをそれぞれエアー供給装置１０
Ａ、１０Ｂの電磁弁１１Ａ、１１Ｂに印加すると、電磁
弁１１Ａ、１１Ｂが交互に開閉し、それぞれのエアー供
給装置１０Ａ、１０Ｂから圧縮エアーがそれぞれのベロ
ーズポンプ２０Ａ、２０Ｂを駆動し、ベローズ２２Ａ、
２２Ｂ及びベローズ２２Ｃ、２２Ｄが伸縮運動を起こ
す。その結果、ベローズポンプ２０Ａにより、図３に点
線で示した脈流Ａの液体が液体配管５０Ａに排出され、
ベローズポンプ２０Ｂにより、図３に一点鎖線で示した
脈流Ｂの液体が液体配管５０Ｂに排出され、前記共通供
給管５０Ｃには両脈流Ａ、Ｂの相乗により図３に示した
脈流Ｃの液体、即ち、ほぼ脈動が抑制された状態の液体
が生成することができる。
【００２１】前記液体は洗浄薬液、エッチング液など、
どのような薬液であってもよい。従って、この液体供給
装置１は洗浄薬液供給装置１２０への洗浄薬液の供給に
適用してもよく、また、エッチング装置へのエッチング
液の供給に適用してもよいことは言うまでもない。
どのような薬液であってもよい。従って、この液体供給
装置１は洗浄薬液供給装置１２０への洗浄薬液の供給に
適用してもよく、また、エッチング装置へのエッチング
液の供給に適用してもよいことは言うまでもない。
【００２２】
【発明の効果】以上、説明したように、この発明のベロ
ーズポンプによる液体供給装置によれば、一対のベロー
ズポンプを交互に作動させることにより、両ベローズポ
ンプから排出する液体の脈動を抑制することができる。
従って、 １．図６に示した流量計１４０を用いても、液体の流量
を正確に測定できる ２．ポンプの作動能力が低下するなどしても、それを容
易に監視できる ３．液体の流量が一定に近いため、ディップ洗浄装置に
おいて、液体である薬液の滞留が減少し、薬液組成を一
定に保つことが容易で、かつ、エッチングレートも均一
化し、そしてパーティクルが被処理物に再付着する程度
も減少する など数々の優れた効果が得られる。
ーズポンプによる液体供給装置によれば、一対のベロー
ズポンプを交互に作動させることにより、両ベローズポ
ンプから排出する液体の脈動を抑制することができる。
従って、 １．図６に示した流量計１４０を用いても、液体の流量
を正確に測定できる ２．ポンプの作動能力が低下するなどしても、それを容
易に監視できる ３．液体の流量が一定に近いため、ディップ洗浄装置に
おいて、液体である薬液の滞留が減少し、薬液組成を一
定に保つことが容易で、かつ、エッチングレートも均一
化し、そしてパーティクルが被処理物に再付着する程度
も減少する など数々の優れた効果が得られる。
【図１】 この発明の一実施例であるベローズポンプに
よる液体供給装置の模式図である。
よる液体供給装置の模式図である。
【図２】 図１に示したベローズポンプによる液体供給
装置の動作を説明するためのエアー供給装置へ印加する
電磁弁の切換え信号を示す。
装置の動作を説明するためのエアー供給装置へ印加する
電磁弁の切換え信号を示す。
【図３】 この発明のベローズポンプによる液体供給装
置による液体の脈動状態を示すグラフである。
置による液体の脈動状態を示すグラフである。
【図４】 従来技術のベローズポンプによる液体供給装
置を用いた半導体ウエハの洗浄装置を示す模式図であ
る。
置を用いた半導体ウエハの洗浄装置を示す模式図であ
る。
【図５】 図４に示した半導体ウエハの洗浄装置へ薬液
を供給、循環させるためのベローズポンプによる液体供
給装置である。
を供給、循環させるためのベローズポンプによる液体供
給装置である。
【図６】 図４の半導体ウエハの洗浄装置の液体供給装
置に装着されている流量計の模式図である。
置に装着されている流量計の模式図である。
１ この発明のベローズポンプによる液体供給装置 １０Ａ エアー供給装置 １０Ｂ エアー供給装置 ２０Ａ ベローズポンプ ２０Ｂ ベローズポンプ ２２Ａ ベローズ ２２Ｂ ベローズ ２２Ｃ ベローズ ２２Ｄ ベローズ ３０ コントローラ ４０Ａ エアー配管 ４０Ｂ エアー配管 ４０Ｃ エアー配管 ４０Ｄ エアー配管 ５０Ａ 液体配管 ５０Ｂ 液体配管 ５０Ｃ 共通供給管
Claims (3)
- 【請求項１】 エアー供給源に並列接続された複数のエ
アー供給装置と複数のベローズポンプとをそれぞれ互い
に所定の時間差を設けて作動させて、所望の液体を供給
することを特徴とするベローズポンプによる液体供給方
法。 - 【請求項２】 エアー供給源と液体供給源と前記エアー
供給源に並列に接続され、そして前記液体供給源に接続
された液体の取入れ口と該液体の排出口とを備えた複数
台のベローズポンプと前記エアー供給源と前記各ベロー
ズポンプとの間に接続され、前記各ベローズポンプを駆
動するために接続され、弁を備えたエアー供給装置と該
各エアー供給装置を特定の時間差で駆動する制御装置と
前記各ベローズポンプの排出口に接続された配管とから
構成されていることを特徴とするベローズポンプによる
液体供給装置。 - 【請求項３】 前記各ベローズポンプの排出口に接続さ
れた配管の中間部には逆止弁が装着されていて、各逆止
弁の前記排出口側とは反対側の配管を一本の共通配管に
接続されていることを特徴とする請求項１に記載のベロ
ーズポンプによる液体供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10625095A JPH08296564A (ja) | 1995-04-28 | 1995-04-28 | ベローズポンプによる液体供給方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10625095A JPH08296564A (ja) | 1995-04-28 | 1995-04-28 | ベローズポンプによる液体供給方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08296564A true JPH08296564A (ja) | 1996-11-12 |
Family
ID=14428862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10625095A Pending JPH08296564A (ja) | 1995-04-28 | 1995-04-28 | ベローズポンプによる液体供給方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08296564A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008128178A (ja) * | 2006-11-24 | 2008-06-05 | Ckd Corp | 薬液供給システム及び薬液供給制御装置 |
| EP3239523A4 (en) * | 2014-12-25 | 2018-08-29 | Nippon Pillar Packing Co., Ltd. | Bellows pump apparatus |
-
1995
- 1995-04-28 JP JP10625095A patent/JPH08296564A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008128178A (ja) * | 2006-11-24 | 2008-06-05 | Ckd Corp | 薬液供給システム及び薬液供給制御装置 |
| US8033801B2 (en) | 2006-11-24 | 2011-10-11 | Ckd Corporation | Liquid chemical supply system and liquid chemical supply control device |
| EP3239523A4 (en) * | 2014-12-25 | 2018-08-29 | Nippon Pillar Packing Co., Ltd. | Bellows pump apparatus |
| US10718324B2 (en) | 2014-12-25 | 2020-07-21 | Nippon Pillar Packing Co., Ltd. | Bellows pump apparatus |
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