JPH08279729A - Surface acoustic wave resonator - Google Patents
Surface acoustic wave resonatorInfo
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- JPH08279729A JPH08279729A JP7108050A JP10805095A JPH08279729A JP H08279729 A JPH08279729 A JP H08279729A JP 7108050 A JP7108050 A JP 7108050A JP 10805095 A JP10805095 A JP 10805095A JP H08279729 A JPH08279729 A JP H08279729A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は弾性表面波共振子に関
し、特にたとえば、ＢＧＳ波( Bleustein-Gulyaev-Shim
izu wave )およびラブ波( Love wave ) などのＳＨ波(
horizontal shear wave ) を利用し、複数の共振特性を
有する弾性表面波共振子に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface acoustic wave resonator, and more particularly to, for example, BGS wave (Bleustein-Gulyaev-Shim).
SH waves (such as izu wave) and love wave (Love wave)
The present invention relates to a surface acoustic wave resonator having a plurality of resonance characteristics by utilizing horizontal shear wave).
【０００２】[0002]
【従来の技術】テレビジョン受像機やビデオテープレコ
ーダーの映像中間周波増幅回路では、隣接チャンネルと
のビート障害、つまり、映像および音声の搬送信号の他
に搬送色信号も同時に増幅するので、それらが互いに干
渉して妨害ビートが受像画面に現れるのを防止するため
に、図９に示すトラップ特性を有するトラップ回路が使
用されている。すなわち、この映像中間周波増幅回路で
は、隣接チャンネル映像信号周波数ｆap（アメリカのＮ
ＴＳＣ方式では３９．７５ＭＨｚ）および隣接チャンネ
ル音声信号周波数ｆas（アメリカのＮＴＳＣ方式では４
７．２５ＭＨｚ）において信号を十分に減衰させること
が必要である。2. Description of the Related Art In an image intermediate frequency amplifier circuit of a television receiver or a video tape recorder, a beat failure with an adjacent channel, that is, a carrier color signal is simultaneously amplified in addition to a carrier signal of video and audio, so that they are In order to prevent interference beats from appearing on the image receiving screen by interfering with each other, a trap circuit having a trap characteristic shown in FIG. 9 is used. That is, in this video intermediate frequency amplifier circuit, the adjacent channel video signal frequency f ap (American N
39.75 MHz in the TSC system and adjacent channel audio signal frequency f as (4 in the American NTSC system)
It is necessary to fully attenuate the signal at 7.25 MHz).
【０００３】従来より、テレビジョン受像機やビデオテ
ープレコーダーの映像中間周波段／映像中間周波増幅回
路では、図９に示すようなトラップ特性を実現するため
に、隣接チャンネル映像信号周波数ｆapにおいて減衰極
を有するトラップと、隣接チャンネル音声信号周波数ｆ
asにおいて減衰極を有するトラップとの２個のトラップ
が用いられており、それぞれのトラップは、たとえばＬ
Ｃ共振回路や圧電共振子などにより構成されている。Conventionally, in an image intermediate frequency stage / image intermediate frequency amplifier circuit of a television receiver or a video tape recorder, in order to realize a trap characteristic as shown in FIG. 9, attenuation is performed at an adjacent channel image signal frequency f ap . Trap with poles and adjacent channel audio signal frequency f
Two traps, a trap having an attenuation pole in as , are used, and each trap is, for example, L
It is composed of a C resonance circuit, a piezoelectric resonator, and the like.
【０００４】この２つのトラップを１つの素子で実現す
るために、従来より、１つの素子上にたとえばＬＣ共振
回路などで２つの共振子を形成する方法、１つの基板上
に正規型の端面反射型の共振子を２つ設ける方法、ある
いは、１つの素子上にたとえば間引き法，アポダイズ法
などの重み付け法によって重み付け電極が設けられた圧
電共振子を形成する方法などが行われていた。In order to realize these two traps by one element, conventionally, a method of forming two resonators on one element by, for example, an LC resonant circuit, a normal type end face reflection on one substrate. A method of providing two type resonators or a method of forming a piezoelectric resonator in which weighting electrodes are provided on one element by a weighting method such as a thinning method or an apodization method has been performed.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
１つの素子上に２つの共振子を形成する方法によれば、
隣接チャンネル映像信号周波数ｆap側と隣接チャンネル
音声信号周波数ｆas側とで、独立して共振周波数を合わ
せることができるのに対して、後者の重み付け電極を形
成する方法では、独立して共振周波数を合わせることが
できないため、隣接チャンネル映像信号周波数ｆapと隣
接チャンネル音声信号周波数ｆasとの間隔を調整するこ
とが困難であった。However, according to the former method of forming two resonators on one element,
While the resonance frequency can be adjusted independently on the adjacent channel video signal frequency f ap side and the adjacent channel audio signal frequency f as side, in the latter method of forming the weighting electrode, the resonance frequency is independently set. Therefore, it is difficult to adjust the interval between the adjacent channel video signal frequency f ap and the adjacent channel audio signal frequency f as .
【０００６】すなわち、間引き法およびアポダイズ法等
の重み付け法により重み付け電極を形成した従来の圧電
共振子では、１つの圧電共振子で２つのトラップを実現
する場合、一方の共振周波数（共振点）が変われば他方
の共振周波数（共振点）も変わるため、２つの共振共振
点の間隔が、隣接チャンネル映像信号周波数ｆapと隣接
チャンネル音声信号周波数ｆasとの間隔に一致していな
ければ、双方の共振周波数を合わせることができない。
なお、重み付け電極を形成することにより得られる複数
の共振周波数の間隔は、すだれ状電極の対数によってほ
ぼ決定される。また、重み付けのパターンによっても２
つの共振周波数の間隔は変わるけれども、その間隔が小
さく、しかも、共振の強度が弱くなったりする。That is, in the conventional piezoelectric resonator in which the weighting electrodes are formed by the weighting method such as the thinning method and the apodization method, when two traps are realized by one piezoelectric resonator, one resonance frequency (resonance point) is If it changes, the other resonance frequency (resonance point) also changes, so if the interval between the two resonance resonance points does not match the interval between the adjacent channel video signal frequency f ap and the adjacent channel audio signal frequency f as , then both The resonance frequency cannot be adjusted.
The intervals between the plurality of resonance frequencies obtained by forming the weighted electrodes are almost determined by the number of pairs of interdigital electrodes. Also, depending on the weighting pattern, 2
Although the spacing between the two resonance frequencies changes, the spacing is small and the strength of resonance is weakened.
【０００７】それゆえに、この発明の主たる目的は、複
数の共振特性を単一の素子で構成することができ、さら
に、複数の共振周波数間の間隔を容易に調整することが
できる、弾性表面波共振子を提供することである。Therefore, a main object of the present invention is to allow a plurality of resonance characteristics to be constituted by a single element, and also to easily adjust the interval between the plurality of resonance frequencies. It is to provide a resonator.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】この発明は、その主面と
平行に分極された圧電基板と、圧電基板の一方主面に形
成されるインターデジタルトランスデューサとを含む、
端面反射型の弾性表面波共振子、インターデジタルトラ
ンスデューサは、圧電基板の分極方向に延びる重み付け
されたすだれ状電極で形成されることにより、複数の共
振特性を有し、すだれ状電極の内の少なくとも１つの電
極指の長さが他の電極指の長さよりも短く形成される、
弾性表面波共振子である。The present invention includes a piezoelectric substrate polarized parallel to its main surface, and an interdigital transducer formed on one main surface of the piezoelectric substrate.
The end surface reflection type surface acoustic wave resonator and the interdigital transducer have a plurality of resonance characteristics by being formed by weighted interdigital transducers extending in the polarization direction of the piezoelectric substrate, and at least among the interdigital transducers. The length of one electrode finger is formed shorter than the length of the other electrode finger,
It is a surface acoustic wave resonator.
【０００９】すだれ状電極の内で、圧電基板の一方の端
面に沿って延びる電極指の長さを他の電極指の長さより
も短く形成するとよい。また、すだれ状電極の内で、圧
電基板の一方および他方の端面に沿って延びる電極指の
長さを他の電極指の長さよりも短く形成するとよい。In the interdigital transducer, the length of the electrode fingers extending along one end face of the piezoelectric substrate may be shorter than the length of the other electrode fingers. In addition, in the interdigital transducer, it is preferable that the length of the electrode fingers extending along one and the other end faces of the piezoelectric substrate be shorter than the length of the other electrode fingers.
【００１０】さらに、すだれ状電極の内の少なくとも１
つの電極指の長さを他の電極指の長さよりも短く形成す
るとともに、その短くした電極指の延長線上に、電極指
と分離された浮き電極指を形成することもできる。Further, at least one of the interdigital transducers.
It is also possible to form one electrode finger shorter than the other electrode fingers and to form a floating electrode finger separated from the electrode finger on the extension line of the shortened electrode finger.
【００１１】すだれ状電極は、幅一定重み付け法により
重み付けされて形成されるとよい。この場合、すだれ状
電極は、間引き法により重み付けされて形成されること
が好ましい。また、すだれ状電極は、容量重み付け法に
より重み付けされて形成してもよい。さらに、すだれ状
電極は、幅方向重み付け法により重み付けされて形成し
てもよい。The interdigital electrodes are preferably formed by weighting by a constant width weighting method. In this case, the interdigital transducers are preferably formed by weighting by the thinning method. Further, the interdigital electrodes may be formed by weighting by the capacitance weighting method. Further, the interdigital electrodes may be formed by weighting by the width direction weighting method.
【００１２】さらに、すだれ状電極は、電極指の交差幅
が一様な正規型の電極で形成することもできる。Further, the interdigital electrode can be formed of a normal type electrode in which the cross width of the electrode fingers is uniform.
【００１３】また、この発明は、その主面と平行に分極
された圧電基板と、圧電基板の一方主面に形成されるイ
ンターデジタルトランスデューサとを含む端面反射型の
弾性表面波共振子を用いたトラップ素子であって、イン
ターデジタルトランスデューサは、圧電基板の分極方向
に延びる重み付けされたすだれ状電極で形成されること
により、複数のトラップ周波数を有し、前記すだれ状電
極の内の少なくとも１つの電極指の長さが他の電極指の
長さよりも短く形成される、トラップ素子である。Further, the present invention uses an end surface reflection type surface acoustic wave resonator including a piezoelectric substrate polarized in parallel with its main surface and an interdigital transducer formed on one main surface of the piezoelectric substrate. In the trap element, the interdigital transducer has a plurality of trap frequencies formed by weighted interdigital transducers extending in a polarization direction of the piezoelectric substrate, and at least one electrode among the interdigital transducers. This is a trap element in which the length of a finger is formed shorter than the length of other electrode fingers.
【００１４】[0014]
【作用】この発明にかかる弾性表面波共振子では、すだ
れ状電極に交流電圧を印加した場合、すだれ状電極の複
数の電極指の延びる方向、言い換えれば、圧電基板の分
極方向と直交する方向に弾性表面波が励起され、その弾
性表面波は圧電基板の端面で反射する。インターデジタ
ルトランスデューサを構成するすだれ状電極がたとえば
間引き法などの重み付け法によって重み付けされた電極
で形成されているため、この弾性表面波共振子では、複
数の共振周波数を具備する共振子として作用する。さら
に、すだれ状電極の内の少なくとも１つの電極指が他の
電極指の長さよりも短く形成することにより、複数の共
振周波数間の間隔が変更される。In the surface acoustic wave resonator according to the present invention, when an AC voltage is applied to the interdigital transducer, the plurality of electrode fingers of the interdigital electrode extend in the direction, that is, in the direction orthogonal to the polarization direction of the piezoelectric substrate. The surface acoustic wave is excited, and the surface acoustic wave is reflected by the end surface of the piezoelectric substrate. Since the interdigital transducers that form the interdigital transducer are formed by electrodes weighted by a weighting method such as the thinning method, the surface acoustic wave resonator functions as a resonator having a plurality of resonance frequencies. Further, by forming at least one electrode finger of the interdigital transducers shorter than the length of the other electrode fingers, the intervals between the resonance frequencies are changed.
【００１５】[0015]
【発明の効果】この発明によれば、複数の共振特性を単
一の素子で構成することができ、さらに、複数の共振周
波数間の間隔を容易に調整することができる、弾性表面
波共振子が得られる。また、この発明に係る弾性表面波
共振子を、複数のトラップ周波数を必要とするたとえば
テレビジョン受像機やビデオテープレコーダーの映像中
間周波増幅回路に用いた場合、１つの素子で複数のトラ
ップ周波数に対応することができるため、複数のトラッ
プ周波数を有する単一のトラップ素子を提供することが
できる。According to the present invention, a surface acoustic wave resonator capable of forming a plurality of resonance characteristics with a single element and easily adjusting the intervals between the plurality of resonance frequencies. Is obtained. Further, when the surface acoustic wave resonator according to the present invention is used in a video intermediate frequency amplifier circuit of a television receiver or a video tape recorder which requires a plurality of trap frequencies, one element can generate a plurality of trap frequencies. Being able to accommodate, it is possible to provide a single trap element having multiple trap frequencies.
【００１６】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。The above-mentioned objects, other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the detailed description of the following embodiments made with reference to the drawings.
【００１７】[0017]
【実施例】図１（Ａ）はこの発明の一実施例を示す平面
図であり、図１（Ｂ）はその斜視図である。弾性表面波
共振子１０は、たとえば矩形の圧電基板１２を含む。圧
電基板１２は、たとえばチタン酸ジルコン酸鉛系圧電セ
ラミックスなどの圧電材料で形成される。圧電基板１２
は、たとえばその主面に平行に分極処理が施されてい
る。この実施例では、図１に示す矢印Ｐの方向、すなわ
ち圧電基板１２の主面と平行であり、かつ、後述する複
数の電極指の延びる方向と平行な方向に分極処理が施さ
れている。1A is a plan view showing an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a perspective view thereof. The surface acoustic wave resonator 10 includes a rectangular piezoelectric substrate 12, for example. The piezoelectric substrate 12 is formed of a piezoelectric material such as lead zirconate titanate-based piezoelectric ceramics. Piezoelectric substrate 12
Is polarized, for example, parallel to its main surface. In this embodiment, the polarization process is performed in the direction of arrow P shown in FIG. 1, that is, in the direction parallel to the main surface of the piezoelectric substrate 12 and in the direction parallel to the extending direction of a plurality of electrode fingers described later.
【００１８】圧電基板１２の上面には、すだれ状電極１
４および１６からなるインターデジタルトランスデュー
サ１８が形成される。一方のすだれ状電極１４と他方の
すだれ状電極１６とは、互いに間挿し合うように形成さ
れる。また、一方のすだれ状電極１４および他方のすだ
れ状電極１６は、圧電基板１２の分極方向に延びて形成
される。On the upper surface of the piezoelectric substrate 12, the interdigital electrode 1 is formed.
An interdigital transducer 18 consisting of 4 and 16 is formed. One of the interdigital electrodes 14 and the other of the interdigital electrodes 16 are formed so as to be inserted into each other. The one interdigital electrode 14 and the other interdigital electrode 16 are formed so as to extend in the polarization direction of the piezoelectric substrate 12.
【００１９】一方のすだれ状電極１４は、たとえば４つ
の電極指１４ａ，１４ｂ，１４ｃおよび１４ｄを有す
る。４つの電極指１４ａ〜１４ｄは、圧電基板１２の長
手方向の一方側から他方側に延びて形成される。他方の
すだれ状電極１６は、たとえば９つの電極指１６ａ，１
６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅ，１６ｆ，１６ｇ，１６
ｈおよび１６ｉを有する。９つの電極指１６ａ〜１６ｉ
は、圧電基板１２の長手方向の他方側から一方側に延び
て形成される。したがって、この圧電基板１２の上面に
は、２つのすだれ状電極１４および１６からなるインタ
ーデジタルトランスデューサ１８が形成される。One interdigital electrode 14 has, for example, four electrode fingers 14a, 14b, 14c and 14d. The four electrode fingers 14a to 14d are formed to extend from one side in the longitudinal direction of the piezoelectric substrate 12 to the other side. The other interdigital transducer 16 has, for example, nine electrode fingers 16a, 1
6b, 16c, 16d, 16e, 16f, 16g, 16
with h and 16i. Nine electrode fingers 16a-16i
Are formed so as to extend from the other side in the longitudinal direction of the piezoelectric substrate 12 to one side. Therefore, an interdigital transducer 18 including the two interdigital transducers 14 and 16 is formed on the upper surface of the piezoelectric substrate 12.
【００２０】インターデジタルトランスデューサ１８
は、互いに間挿し合う複数本の電極指のうち、幾本かの
電極指が間引かれて、間引き電極の形態で構成される。
この実施例では、一方のすだれ状電極１６の電極指１６
ｂ〜１６ｈ間において、他方のすだれ状電極１４の電極
指が間引かれる。Interdigital transducer 18
Is formed in the form of thinned-out electrodes by thinning out some of the plurality of electrode fingers interleaved with each other.
In this embodiment, the electrode fingers 16 of one of the interdigital electrodes 16 are arranged.
Between b and 16h, the electrode fingers of the other interdigital transducer 14 are thinned out.
【００２１】この場合、各電極指間領域のうち、両側の
電極指が異なる電位に接続される電極指である領域、す
なわち両側の電極指から電圧が印加されてＢＧＳ波が励
振される領域を「１」、電極指が間引かれているため、
両側の電極指が同電位である領域、すなわちＢＧＳ波が
励振されない電極指間領域を「０」と表現した時、この
実施例の弾性表面波共振子１０では、その幅方向の一端
から他端までの間の電極指１４ａから電極指１４ｄまで
の１２個の領域は、順に、１，１，１，０，０，０，
０，０，０，１，１，１で表される。In this case, of the inter-electrode finger regions, the region where the electrode fingers on both sides are connected to different potentials, that is, the region where the voltage is applied from the electrode fingers on both sides to excite the BGS wave is set. "1", because the electrode fingers are thinned out,
When the area where the electrode fingers on both sides have the same potential, that is, the area between the electrode fingers where the BGS wave is not excited is expressed as “0”, in the surface acoustic wave resonator 10 of this embodiment, one end in the width direction to the other end 12 areas from the electrode finger 14a to the electrode finger 14d between 1 to 1, 1, 1, 1, 0, 0, 0,
It is represented by 0,0,0,1,1,1.
【００２２】すだれ状電極１４および１６において、各
電極指間の各領域の幅は、励振されるＢＧＳ波の波長λ
としたときに、λ／４に形成され、かつ、電極指１４
ａ，１４ｄを除く残りの電極指の幅もλ／４に形成され
る。さらに、圧電基板１２の上面で最も外側に位置する
電極指１４ａ，１４ｄの幅は、λ／８に形成され、電極
指１４ａおよび１４ｄの長さは、他の電極指の長さより
も短く形成される。電極指１４ａおよび１４ｄは、圧電
基板１２の幅方向の一方の端面１２ａおよび他方の端面
１２ｂと、上面との端縁に沿うように形成される。In the interdigital electrodes 14 and 16, the width of each region between the electrode fingers is determined by the wavelength λ of the excited BGS wave.
And the electrode fingers 14 are formed at λ / 4.
The width of the remaining electrode fingers other than a and 14d is also formed to be λ / 4. Further, the outermost electrode fingers 14a and 14d on the upper surface of the piezoelectric substrate 12 are formed to have a width of λ / 8, and the electrode fingers 14a and 14d are formed to be shorter in length than the other electrode fingers. It The electrode fingers 14a and 14d are formed along the edges of the upper surface and one end surface 12a and the other end surface 12b of the piezoelectric substrate 12 in the width direction.
【００２３】すだれ状電極１４および１６は、圧電基板
１２よりもたとえば幅方向がより大きな圧電基板を用意
し、λ／４のピッチでλ／４の幅で電極指を多数形成し
た後、所望の数および長さのすだれ状電極１４および１
６が得られるように、圧電基板をたとえばダイシングす
ることによって形成することができる。この場合、圧電
基板１２の幅方向の両端に位置する電極指１４ａおよび
１４ｄについては、ダイシングによりλ／４の幅の電極
指をさらに半分の幅に切断することによって形成するこ
とができる。このようにして、端面１２ａおよび１２ｂ
を有する弾性表面波共振子１０と、その一方主面に設け
られるインターデジタルトランスデューサ１８とが形成
される。For the interdigital electrodes 14 and 16, for example, a piezoelectric substrate having a width direction larger than that of the piezoelectric substrate 12 is prepared, and a large number of electrode fingers are formed with a width of λ / 4 at a pitch of λ / 4, and then, desired electrodes are formed. Number and length of interdigital electrodes 14 and 1
6 can be formed by, for example, dicing the piezoelectric substrate. In this case, the electrode fingers 14a and 14d located at both ends in the width direction of the piezoelectric substrate 12 can be formed by cutting the electrode fingers having a width of λ / 4 into a half width by dicing. In this way, the end faces 12a and 12b
The surface acoustic wave resonator 10 having the above and the interdigital transducer 18 provided on the one main surface thereof are formed.
【００２４】この弾性表面波共振子１０では、一方のす
だれ状電極１４および他方のすだれ状電極１６から交流
電圧を印加することにより、複数の電極指１４ａ〜１４
ｄ，１６ａ〜１６ｉの延びる方向と直交する方向に伝播
するＢＧＳ波が励起され、そのＢＧＳ波は圧電基板１２
の一方の端面１２ａおよび他方の端面１２ｂ間で反射さ
れ、共振子として作用する。つまり、圧電基板１２の一
方の端面１２ａおよび他方の端面１２ｂで発生したＢＧ
Ｓ波が反射されて、所定の周波数で共振し得るように構
成される。In this surface acoustic wave resonator 10, a plurality of electrode fingers 14a to 14a are formed by applying an alternating voltage from one of the interdigital transducers 14 and the other of the interdigital transducers 16.
The BGS wave propagating in the direction orthogonal to the extending direction of d, 16a to 16i is excited, and the BGS wave is excited by the piezoelectric substrate 12.
It is reflected between the one end face 12a and the other end face 12b, and acts as a resonator. That is, the BG generated on the one end face 12a and the other end face 12b of the piezoelectric substrate 12
It is configured so that the S wave is reflected and can resonate at a predetermined frequency.
【００２５】このとき得られる共振周波数は、インター
デジタルトランスデューサ１８の電極指が間引きされた
重み付け電極となっているので、複数の共振特性を有す
る。また、この実施例では、複数の共振周波数間の間隔
がインターデジタルトランスデューサ１８の最も外側に
位置する電極指１４ａおよび１４ｄの長さによって変わ
る。The resonance frequency obtained at this time has a plurality of resonance characteristics because the electrode fingers of the interdigital transducer 18 are thinned-out weighting electrodes. Further, in this embodiment, the spacing between the plurality of resonance frequencies changes depending on the lengths of the electrode fingers 14 a and 14 d located on the outermost side of the interdigital transducer 18.
【００２６】次に、図１に示す弾性表面波共振子１０の
減衰量−周波数スペクトル特性およびインピーダンス−
周波数特性を、図２（Ａ）および図２（Ｂ）にそれぞれ
示す。図２（Ａ）および図２（Ｂ）からも明らかなよう
に、この弾性表面波共振子１０では、２個の共振点Ｆｒ
1 及びＦｒ2 が現れる。すなわち、２つの共振特性が得
られる。これは、インターデジタルトランスデューサ１
８が、上述のような１，１，１，０，０，０，０，０，
０，１，１，１の形態で間引きされた間引き電極により
構成されているためである。この場合、上述のような形
態の間引き電極でインターデジタルトランスデューサ１
８が構成されるので、インターデジタルトランスデュー
サ１８で決定される周波数スペクトルのメインローブを
複数個設計できたことにより、複数個の共振特性が得ら
れる。Next, the attenuation amount-frequency spectrum characteristic and impedance of the surface acoustic wave resonator 10 shown in FIG. 1-
The frequency characteristics are shown in FIGS. 2A and 2B, respectively. As is clear from FIGS. 2A and 2B, the surface acoustic wave resonator 10 has two resonance points Fr.
1 and Fr 2 appear. That is, two resonance characteristics are obtained. This is an interdigital transducer 1
8 is 1, 1, 1, 0, 0, 0, 0, 0, as described above.
This is because the thinned electrodes are thinned out in the form of 0, 1, 1, 1. In this case, the interdigital transducer 1 having the thinning electrodes having the above-described configuration is used.
8, the plurality of main lobes of the frequency spectrum determined by the interdigital transducer 18 can be designed, so that a plurality of resonance characteristics can be obtained.
【００２７】さらに、この実施例の弾性表面波共振子１
０では、インターデジタルトランスデューサ１８の最も
外側の電極指、この場合、圧電基板１２の幅方向の一端
および他端に位置する電極指１４ａおよび１４ｄの長さ
を変えることによって、たとえば図８中の黒丸・を実線
でつないだ曲線（Ａ）で示すように、２つの共振周波数
間の間隔を適宜変更することができる。なお、図８は、
この発明に係る弾性表面波共振子１０を例えばテレビジ
ョン受像機やビデオテープレコーダーに適用される映像
中間周波増幅回路に適用する場合において、インターデ
ジタルトランスデューサの電極指の長さと２つの共振周
波数間の間隔との関係を示すグラフである。図８におい
て、縦軸は、隣接チャンネル音声信号周波数ｆas側のト
ラップに用いる共振周波数と、隣接チャンネル映像信号
周波数ｆap側のトラップに用いる共振周波数の差Δｆを
示し、横軸は、電極指の交差幅に対するカットした電極
指の長さの比を示している。Further, the surface acoustic wave resonator 1 of this embodiment is used.
At 0, by changing the length of the outermost electrode fingers of the interdigital transducer 18, in this case, the electrode fingers 14a and 14d located at one end and the other end of the piezoelectric substrate 12 in the width direction, for example, black circles in FIG. The interval between the two resonance frequencies can be changed as appropriate, as indicated by the curve (A) in which the solid circles are connected. In addition, in FIG.
When the surface acoustic wave resonator 10 according to the present invention is applied to an image intermediate frequency amplifier circuit applied to, for example, a television receiver or a video tape recorder, the length of the electrode finger of the interdigital transducer and the two resonance frequencies are different. It is a graph which shows the relationship with a space. In FIG. 8, the vertical axis represents the difference Δf between the resonance frequency used for the trap on the adjacent channel audio signal frequency f as side and the resonance frequency used for the trap on the adjacent channel video signal frequency f ap side, and the horizontal axis indicates the electrode finger. 3 shows the ratio of the length of the cut electrode fingers to the cross width of the.
【００２８】図１に示す弾性表面波共振子１０は、例え
ばテレビジョン受像機やビデオテープレコーダーに適用
される映像中間周波増幅回路において、図１に示すよう
なトラップ特性を有するトラップフィルタとして好適に
用いることができる。すなわち、この発明に係る弾性表
面波共振子１０によれば、１つの素子で複数のトラップ
周波数を有するトラップ素子として用いることができ、
しかも、それらの共振周波数が合わせ易いものとなる。The surface acoustic wave resonator 10 shown in FIG. 1 is suitable as a trap filter having a trap characteristic as shown in FIG. 1 in a video intermediate frequency amplifier circuit applied to, for example, a television receiver or a video tape recorder. Can be used. That is, according to the surface acoustic wave resonator 10 of the present invention, one element can be used as a trap element having a plurality of trap frequencies,
Moreover, it becomes easy to match those resonance frequencies.
【００２９】図３はこの発明の他の実施例を示す平面図
である。この実施例の弾性表面波共振子１０は、図１に
示す弾性表面波共振子１０と比べて、特に、インターデ
ジタルトランスデューサ１８の最も外側の電極指１４ａ
および１４ｄを他の電極指よりも短く形成し、かつ、そ
の短くした電極指１４ａ，１４ｄの延長線上に、電極指
１４ａ，１４ｄと分離された浮き電極２０ａ，２０ｂを
形成したことを特徴としている。なお、図３に示す実施
例の弾性表面波共振子１０では、インターデジタルトラ
ンスデューサ１８の最も外側の電極指１４ａおよび１４
ｄの態様が図１に示す弾性表面波共振子１０と異なる点
を除いては、図１に示す弾性表面波共振子１０と同様に
構成される。FIG. 3 is a plan view showing another embodiment of the present invention. Compared with the surface acoustic wave resonator 10 shown in FIG. 1, the surface acoustic wave resonator 10 of this embodiment particularly has the outermost electrode fingers 14 a of the interdigital transducer 18.
And 14d are formed shorter than the other electrode fingers, and floating electrodes 20a and 20b separated from the electrode fingers 14a and 14d are formed on the extension lines of the shortened electrode fingers 14a and 14d. . In the surface acoustic wave resonator 10 of the embodiment shown in FIG. 3, the outermost electrode fingers 14 a and 14 of the interdigital transducer 18 are arranged.
The surface acoustic wave resonator 10 has the same configuration as that of the surface acoustic wave resonator 10 shown in FIG. 1 except that the aspect of d is different from the surface acoustic wave resonator 10 shown in FIG.
【００３０】図３に示す弾性表面波共振子１０では、イ
ンターデジタルトランスデューサ１８の電極指が間引き
された重み付け電極となっているので、図１に示す弾性
表面波共振子１０と同様に、２つの共振特性を有し、そ
れらの共振周波数間の間隔は、インターデジタルトラン
スデューサ１８の最も外側に位置する電極指１４ａ，１
４ｄの長さを変えることによって、たとえば図８中の白
丸を点線でつないだ曲線（Ｂ）で示すように、２つの共
振周波数間の間隔を適宜変更することができる。In the surface acoustic wave resonator 10 shown in FIG. 3, since the electrode fingers of the interdigital transducer 18 serve as thinned weighting electrodes, two surface acoustic wave resonators 10 are provided as in the surface acoustic wave resonator 10 shown in FIG. The electrode fingers 14a, 1 which have resonance characteristics and have an interval between the resonance frequencies are located at the outermost positions of the interdigital transducer 18.
By changing the length of 4d, it is possible to appropriately change the interval between the two resonance frequencies, for example, as shown by the curve (B) in which white circles are connected by dotted lines in FIG.
【００３１】図４はこの発明のさらに他の実施例を示す
平面図である。この実施例の弾性表面波共振子１０は、
図１に示す弾性表面波共振子１０と比べて、特に、イン
ターデジタルトランスデューサ１８の最も外側の一方の
電極指１４ａだけを他の電極指よりも短く形成たことを
特徴としている。なお、図４に示す実施例の弾性表面波
共振子１０では、上記特徴点を除いては、図１に示す弾
性表面波共振子１０と同様に構成される。FIG. 4 is a plan view showing still another embodiment of the present invention. The surface acoustic wave resonator 10 of this embodiment is
Compared with the surface acoustic wave resonator 10 shown in FIG. 1, in particular, only one outermost electrode finger 14a of the interdigital transducer 18 is formed shorter than the other electrode fingers. The surface acoustic wave resonator 10 of the embodiment shown in FIG. 4 has the same configuration as the surface acoustic wave resonator 10 shown in FIG. 1 except for the above characteristic points.
【００３２】図５はこの発明の別の実施例を示す平面図
である。この実施例の弾性表面波共振子１０は、図３に
示す弾性表面波共振子１０と比べて、特に、インターデ
ジタルトランスデューサ１８の最も外側の一方の電極指
１４ａだけを他の電極指よりも短く形成し、かつ、その
短くした電極指１４ａの延長線上に、電極指１４ａと分
離された浮き電極２０ａを形成したことを特徴としてい
る。なお、図５に示す実施例の弾性表面波共振子１０で
は、上記特徴点を除いては、図３に示す弾性表面波共振
子１０と同様に構成される。FIG. 5 is a plan view showing another embodiment of the present invention. Compared with the surface acoustic wave resonator 10 shown in FIG. 3, in the surface acoustic wave resonator 10 of this embodiment, in particular, only the outermost one electrode finger 14a of the interdigital transducer 18 is shorter than the other electrode fingers. It is characterized in that the floating electrode 20a formed and separated from the electrode finger 14a is formed on the extension line of the shortened electrode finger 14a. The surface acoustic wave resonator 10 of the embodiment shown in FIG. 5 has the same configuration as the surface acoustic wave resonator 10 shown in FIG. 3 except for the above characteristic points.
【００３３】図４および５に示す弾性表面波共振子１０
では、インターデジタルトランスデューサ１８の電極指
が間引きされた重み付け電極となっているので、図１，
図３に示す弾性表面波共振子１０と同様に、２つの共振
特性を有する。また、２つの共振周波数間の間隔は、イ
ンターデジタルトランスデューサ１８の最も外側に位置
する一方の電極指１４ａの長さを変えることによって、
たとえば図８中の黒四角を点線でつないだ曲線（Ｃ）お
よび白四角を一点鎖線でつないだ曲線（Ｄ）で示すよう
に、２つの共振周波数間の間隔を適宜変更することがで
きる。A surface acoustic wave resonator 10 shown in FIGS. 4 and 5.
Then, since the electrode fingers of the interdigital transducer 18 are thinned-out weighting electrodes,
Similar to the surface acoustic wave resonator 10 shown in FIG. 3, it has two resonance characteristics. Further, the interval between the two resonance frequencies is changed by changing the length of the one electrode finger 14a located on the outermost side of the interdigital transducer 18,
For example, as shown by a curve (C) in which black squares are connected by dotted lines in FIG. 8 and a curve (D) in which white squares are connected by alternate long and short dash lines, the interval between the two resonance frequencies can be appropriately changed.
【００３４】図６はこの発明のさらに別の実施例を示す
平面図である。この実施例の弾性表面波共振子１０で
は、図１に示す弾性表面波共振子１０と比べて、まず、
電極指の間引きの態様が相違し、さらに、その長さが他
の電極指よりも短く形成される電極指の構成位置が相違
する。FIG. 6 is a plan view showing still another embodiment of the present invention. In the surface acoustic wave resonator 10 of this embodiment, first, as compared with the surface acoustic wave resonator 10 shown in FIG.
The mode of thinning out the electrode fingers is different, and further, the constituent positions of the electrode fingers whose lengths are formed shorter than the other electrode fingers are different.
【００３５】すなわち、この弾性表面波共振子１０は、
その主面に平行に分極された矩形の圧電基板２２を含
み、圧電基板２２の上面には、インターデジタルトラン
スデューサ２４が形成される。インターデジタルトラン
スデューサ２４は、間挿し合う２つのすだれ状電極２６
および２８で形成される。一方のすだれ状電極２６は、
たとえば２つの電極指２６ａおよび２６ｂを有し、他方
のすだれ状電極２８は、たとえば７つの電極指２８ａ〜
２８ｇを有する。この場合、一方のすだれ状電極２６の
電極指２８ａ〜２８ｃ間および２８ｅ〜２８ｇ間におい
て、他方のすだれ状電極２６の電極指が間引かれる。こ
のとき、電極指間領域のうち、両側の電極指が異なる電
位に接続される電極指である領域、すなわち両側の電極
指から電圧が印加されてＢＧＳ波が励振される領域を
「１」、電極指が間引かれているため、両側の電極指が
同電位である、すなわちＢＧＳ波が励振されない電極指
間領域を「０」と表現した時、この実施例の弾性表面波
共振子１０では、その幅方向の一端から他端までの間の
電極指２８ａから電極指２８ｇまでの８個の領域は、順
に、０，０，１，１，１，１，０，０，０で表される。That is, the surface acoustic wave resonator 10 is
An interdigital transducer 24 is formed on the upper surface of the piezoelectric substrate 22 including a rectangular piezoelectric substrate 22 polarized parallel to the main surface. The interdigital transducer 24 includes two interdigital electrodes 26 that are interleaved.
And 28. One of the interdigital electrodes 26 is
For example, it has two electrode fingers 26a and 26b, and the other interdigital electrode 28 has, for example, seven electrode fingers 28a to 28a.
Having 28 g. In this case, the electrode fingers of the other interdigital transducer 26 are thinned between the electrode fingers 28a to 28c and 28e to 28g of the one interdigital transducer 26. At this time, in the inter-electrode-finger region, the region where the electrode fingers on both sides are electrode fingers connected to different potentials, that is, the region where the voltage is applied from the electrode fingers on both sides to excite the BGS wave is “1”, Since the electrode fingers on both sides have the same potential because the electrode fingers are thinned out, that is, when a region between the electrode fingers where the BGS wave is not excited is expressed as “0”, the surface acoustic wave resonator 10 of this embodiment has , 8 regions from the electrode finger 28a to the electrode finger 28g between one end and the other end in the width direction are sequentially represented by 0,0,1,1,1,1,1,0,0,0. It
【００３６】さらに、この実施例の弾性表面波共振子１
０では、上述の各実施例に示す弾性表面波共振子１０と
比べて、特に、インターデジタルトランスデューサ２４
の両端に位置しない電極指、つまり、圧電基板２２の幅
方向の中間部に位置する電極指の内の１つである電極指
２６ａが他の電極指の長さよりも短く形成される。Further, the surface acoustic wave resonator 1 of this embodiment is
0, compared with the surface acoustic wave resonator 10 shown in each of the above-described embodiments, in particular, the interdigital transducer 24
The electrode fingers that are not located at both ends of the electrode substrate, that is, the electrode finger 26a that is one of the electrode fingers located in the middle portion in the width direction of the piezoelectric substrate 22 is formed shorter than the length of the other electrode fingers.
【００３７】図７はこの発明のさらにまた別の実施例を
示す平面図である。この実施例の弾性表面波共振子１０
では、上述の各実施例の弾性表面波共振子１０と比べ
て、特に、インターデジタルトランスデューサの電極指
が正規型電極で形成されている。すなわち、この弾性表
面波共振子１０は、その主面に平行に分極された矩形の
圧電基板３２を含み、圧電基板３２の上面には、２つの
すだれ状電極３４および３６からなるインターデジタル
トランスデューサ３８が形成される。すだれ状電極３４
および３６は、それぞれ、たとえば４つの電極指３４ａ
〜３４ｄおよび３６ａ〜３６ｄを有する。この場合、電
極指３４ａ〜３４ｄおよび３６ａ〜３６ｄは、電極指の
交差幅が一様な正規型電極で形成され、互いに間挿する
ように配置される。さらに、インターデジタルトランス
デューサ３８の最も外側の一方の電極指３４ａは、他の
電極指よりも短く形成される。FIG. 7 is a plan view showing still another embodiment of the present invention. Surface acoustic wave resonator 10 of this embodiment
Then, as compared with the surface acoustic wave resonator 10 of each of the above-described embodiments, in particular, the electrode fingers of the interdigital transducer are formed of normal type electrodes. That is, the surface acoustic wave resonator 10 includes a rectangular piezoelectric substrate 32 that is polarized parallel to its main surface, and the interdigital transducer 38 that is composed of two interdigital electrodes 34 and 36 on the upper surface of the piezoelectric substrate 32. Is formed. Interdigital electrode 34
And 36 are, for example, four electrode fingers 34a, respectively.
~ 34d and 36a-36d. In this case, the electrode fingers 34a to 34d and 36a to 36d are formed of regular electrodes having a uniform crossing width of the electrode fingers, and are arranged so as to be inserted into each other. Further, the outermost one electrode finger 34a of the interdigital transducer 38 is formed shorter than the other electrode fingers.
【００３８】なお、上述の各実施例では、ＳＨタイプの
弾性表面波としてＢＧＳ波を利用したものを用いたが、
ＳＨタイプの弾性表面波として、たとえばラブ波などを
利用しても、同様に、すだれ状電極の電極指に、間引き
法などにより重み付けを施すことによって、複数の共振
点（減衰極）を有する弾性表面波共振子を提供すること
ができる。In each of the above embodiments, the BGS wave is used as the SH type surface acoustic wave.
Even if a Love wave or the like is used as the SH-type surface acoustic wave, similarly, by weighting the electrode fingers of the interdigital transducer by a thinning method or the like, an elastic wave having a plurality of resonance points (attenuation poles) can be obtained. A surface wave resonator can be provided.
【００３９】また、上述の各実施例では、間引き法によ
りすだれ状電極に重み付けを施したが、間引き法以外に
も、たとえば軸電界重み付け法，ドックレック法，容量
重み付け法などの幅一定重み付け法、あるいは、たとえ
ば傾斜（チルト ）形，幅方向分散法などの幅方向重み付
け法など、他の重み付け法によって、すだれ状電極に重
み付けを施すようにしてもよい。なお、幅一定重み付け
法とは、励振される弾性表面波のビーム幅を伝搬方向に
変化させる方法であり、幅方向重み付け法とは、弾性表
面波のビーム幅を一定にして励振電界または振源の密度
を変化させる方法である。Although the interdigital electrodes are weighted by the thinning method in each of the above-described embodiments, a constant width weighting method such as an axial electric field weighting method, a dock-reckoning method, or a capacitance weighting method is used in addition to the thinning method. Alternatively, the interdigital electrodes may be weighted by another weighting method such as a tilting method or a widthwise weighting method such as a widthwise dispersion method. The constant width weighting method is a method of changing the beam width of an excited surface acoustic wave in the propagation direction, and the width direction weighting method is a method of keeping the beam width of the surface acoustic wave constant and exciting electric field or source. Is a method of changing the density of.
【００４０】さらに、上述の各実施例では、２つの共振
点を有する弾性表面波共振子につき説明したが、間引き
電極等重み付け電極の態様を変更することにより、３つ
以上の共振点（減衰極）を有する弾性表面波共振子を構
成することができる。Furthermore, in each of the above-mentioned embodiments, the surface acoustic wave resonator having two resonance points has been described. However, by changing the mode of weighting electrodes such as thinning electrodes, three or more resonance points (damping poles) can be obtained. A surface acoustic wave resonator having
【図１】図１（Ａ）はこの発明の一実施例を示す平面図
であり、図１（Ｂ）はその斜視図である。FIG. 1 (A) is a plan view showing an embodiment of the present invention, and FIG. 1 (B) is a perspective view thereof.
【図２】図２（Ａ）は図１に示す弾性表面波共振子の減
衰量−周波数スペクトル特性を示す図であり、図２
（Ｂ）は図１に示す弾性表面波共振子のインピーダンス
−周波数特性を示す図である。2 (A) is a diagram showing an attenuation-frequency spectrum characteristic of the surface acoustic wave resonator shown in FIG.
FIG. 2B is a diagram showing impedance-frequency characteristics of the surface acoustic wave resonator shown in FIG. 1.
【図３】この発明の他の実施例を示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing another embodiment of the present invention.
【図４】この発明のさらに他の実施例を示す平面図であ
る。FIG. 4 is a plan view showing still another embodiment of the present invention.
【図５】この発明の別の実施例を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing another embodiment of the present invention.
【図６】この発明のさらに別の実施例を示す平面図であ
る。FIG. 6 is a plan view showing still another embodiment of the present invention.
【図７】この発明のさらにまた別の実施例を示す平面図
である。FIG. 7 is a plan view showing still another embodiment of the present invention.
【図８】この発明にかかる弾性表面波共振子のインター
デジタルトランスデューサの電極指の長さと２つの共振
周波数間の間隔との関係を示すグラフである。FIG. 8 is a graph showing the relationship between the length of the electrode finger of the interdigital transducer of the surface acoustic wave resonator according to the present invention and the distance between two resonance frequencies.
【図９】２つのトラップを有するトラップ回路の減衰量
−周波数スペクトル特性を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing an attenuation-frequency spectrum characteristic of a trap circuit having two traps.
１０ 弾性表面波共振子 １２，２２，３２ 圧電基板 １２ａ，１２ｂ 端面 １４，１６，２６，２８，３４，３６ すだれ状電極 １８，２４，３８ インターデジタルトランスデューサ １４ａ〜１４ｄ，１６ａ〜１６ｉ，２６ａ，２６ｂ，２
８ａ〜２８ｇ，３４ａ〜３４ｄ，３６ａ〜３６ｄ 電極
指10 surface acoustic wave resonators 12, 22, 32 piezoelectric substrates 12a, 12b end faces 14, 16, 26, 28, 34, 36 interdigital transducers 18, 24, 38 interdigital transducers 14a to 14d, 16a to 16i, 26a, 26b. , 2
8a-28g, 34a-34d, 36a-36d electrode fingers
─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成７年６月２６日[Submission date] June 26, 1995
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００３５[Correction target item name] 0035
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００３５】すなわち、この弾性表面波共振子１０は、
その主面に平行に分極された矩形の圧電基板２２を含
み、圧電基板２２の上面には、インターデジタルトラン
スデューサ２４が形成される。インターデジタルトラン
スデューサ２４は、間挿し合う２つのすだれ状電極２６
および２８で形成される。一方のすだれ状電極２６は、
たとえば２つの電極指２６ａおよび２６ｂを有し、他方
のすだれ状電極２８は、たとえば７つの電極指２８ａ〜
２８ｇを有する。この場合、一方のすだれ状電極２６の
電極指２８ａ〜２８ｃ間および２８ｅ〜２８ｇ間におい
て、他方のすだれ状電極２６の電極指が間引かれる。こ
のとき、電極指間領域のうち、両側の電極指が異なる電
位に接続される電極指である領域、すなわち両側の電極
指から電圧が印加されてＢＧＳ波が励振される領域を
「１」、電極指が間引かれているため、両側の電極指が
同電位である、すなわちＢＧＳ波が励振されない電極指
間領域を「０」と表現した時、この実施例の弾性表面波
共振子１０では、その幅方向の一端から他端までの間の
電極指２８ａから電極指２８ｇまでの８個の領域は、順
に、０，０，１，１，１，１，０，０で表される。 That is, the surface acoustic wave resonator 10 is
An interdigital transducer 24 is formed on the upper surface of the piezoelectric substrate 22 including a rectangular piezoelectric substrate 22 polarized parallel to the main surface. The interdigital transducer 24 includes two interdigital electrodes 26 that are interleaved.
And 28. One of the interdigital electrodes 26 is
For example, it has two electrode fingers 26a and 26b, and the other interdigital electrode 28 has, for example, seven electrode fingers 28a to 28a.
Having 28 g. In this case, the electrode fingers of the other interdigital transducer 26 are thinned between the electrode fingers 28a to 28c and 28e to 28g of the one interdigital transducer 26. At this time, in the inter-electrode-finger region, the region where the electrode fingers on both sides are electrode fingers connected to different potentials, that is, the region where the voltage is applied from the electrode fingers on both sides to excite the BGS wave is “1”, Since the electrode fingers on both sides have the same potential because the electrode fingers are thinned out, that is, when a region between the electrode fingers where the BGS wave is not excited is expressed as “0”, the surface acoustic wave resonator 10 of this embodiment has , eight areas from the electrode finger 28a between the one end in the width direction to the other to the electrode fingers 28g is sequentially
, 0,0,1,1,1,1,0,0.
Claims (10)
と、前記圧電基板の一方主面に形成されるインターデジ
タルトランスデューサとを含む、端面反射型の弾性表面
波共振子であって、 前記インターデジタルトランスデューサは、前記圧電基
板の分極方向に延びる重み付けされたすだれ状電極で形
成されることにより、複数の共振特性を有し、前記すだ
れ状電極の内の少なくとも１つの電極指の長さが他の電
極指の長さよりも短く形成される、弾性表面波共振子。1. An end surface reflection type surface acoustic wave resonator comprising: a piezoelectric substrate polarized in parallel with its principal surface; and an interdigital transducer formed on one principal surface of the piezoelectric substrate. The interdigital transducer has a plurality of resonant characteristics by being formed by weighted interdigital transducers extending in the polarization direction of the piezoelectric substrate, and at least one electrode finger of the interdigital transducers has a length of at least one electrode finger. A surface acoustic wave resonator formed to be shorter than the length of other electrode fingers.
の一方の端面に沿って延びる電極指の長さが他の電極指
の長さよりも短く形成される、請求項１に記載の弾性表
面波共振子。2. The elasticity according to claim 1, wherein a length of an electrode finger extending along one end surface of the piezoelectric substrate is shorter than a length of another electrode finger in the interdigital transducer. Surface wave resonator.
の一方および他方の端面に沿って延びる電極指の長さが
他の電極指の長さよりも短く形成される、請求項１に記
載の弾性表面波共振子。3. The electrode fingers extending along one and the other end faces of the piezoelectric substrate in the interdigital transducer are formed to have a length shorter than that of the other electrode fingers. Surface acoustic wave resonator.
の電極指の長さが他の電極指の長さよりも短く形成され
るとともに、その短くした電極指の延長線上に、前記電
極指と分離された浮き電極指が形成される、請求項１な
いし請求項３のいずれかに記載の弾性表面波共振子。4. The length of at least one electrode finger of the interdigital transducer is formed to be shorter than the lengths of other electrode fingers, and the electrode finger is separated from the extension line of the shortened electrode finger. The surface acoustic wave resonator according to claim 1, wherein the floating electrode fingers are formed.
により重み付けされて形成される、請求項１ないし請求
項４のいずれかに記載された弾性表面波共振子。5. The surface acoustic wave resonator according to claim 1, wherein the interdigital transducer is formed by weighting by a constant width weighting method.
により重み付けされて形成される、請求項４に記載の弾
性表面波共振子。6. The surface acoustic wave resonator according to claim 4, wherein the interdigital transducer is formed by being weighted by a width direction weighting method.
み付けされて形成される、請求項５に記載された弾性表
面波共振子。7. The surface acoustic wave resonator according to claim 5, wherein the interdigital transducer is formed by weighting by a thinning method.
より重み付けされて形成される、請求項５に記載の弾性
表面波共振子。8. The surface acoustic wave resonator according to claim 5, wherein the interdigital transducer is formed by weighting by a capacitance weighting method.
一様な正規型の電極で形成される、請求項１ないし請求
項４のいずれかに記載された弾性表面波共振子。9. The surface acoustic wave resonator according to claim 1, wherein the interdigital transducer is formed of a normal type electrode having a uniform crossing width of electrode fingers.
と、前記圧電基板の一方主面に形成されるインターデジ
タルトランスデューサとを含む、端面反射型の弾性表面
波共振子を用いたトラップ素子であって、 前記インターデジタルトランスデューサは、前記圧電基
板の分極方向に延びる重み付けされたすだれ状電極で形
成されることにより、複数のトラップ周波数を有し、前
記すだれ状電極の内の少なくとも１つの電極指の長さが
他の電極指の長さよりも短く形成される、トラップ素
子。10. A trap element using an end surface reflection type surface acoustic wave resonator, which includes a piezoelectric substrate polarized parallel to its main surface and an interdigital transducer formed on one main surface of the piezoelectric substrate. The interdigital transducer has a plurality of trap frequencies formed by weighted interdigital transducers extending in a polarization direction of the piezoelectric substrate, and at least one electrode among the interdigital transducers. A trap element in which the length of a finger is formed shorter than the length of other electrode fingers.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10805095A JP3449034B2 (en) | 1995-04-06 | 1995-04-06 | Surface acoustic wave resonator |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10805095A JP3449034B2 (en) | 1995-04-06 | 1995-04-06 | Surface acoustic wave resonator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08279729A true JPH08279729A (en) | 1996-10-22 |
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ID=14474663
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|---|---|---|---|
| JP10805095A Expired - Fee Related JP3449034B2 (en) | 1995-04-06 | 1995-04-06 | Surface acoustic wave resonator |
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|---|---|
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6873226B2 (en) | 2001-03-19 | 2005-03-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Edge-reflection surface acoustic wave filter |
-
1995
- 1995-04-06 JP JP10805095A patent/JP3449034B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6873226B2 (en) | 2001-03-19 | 2005-03-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Edge-reflection surface acoustic wave filter |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3449034B2 (en) | 2003-09-22 |
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