JPH07245544A - Piezoelectric resonator - Google Patents
Piezoelectric resonatorInfo
- Publication number
- JPH07245544A JPH07245544A JP6034415A JP3441594A JPH07245544A JP H07245544 A JPH07245544 A JP H07245544A JP 6034415 A JP6034415 A JP 6034415A JP 3441594 A JP3441594 A JP 3441594A JP H07245544 A JPH07245544 A JP H07245544A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- piezoelectric resonator
- resonator
- electrode fingers
- interdigital transducer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ＳＨタイプの表面波を
利用した圧電共振子に関し、特に、複数の共振特性を有
する圧電共振子に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric resonator utilizing SH type surface waves, and more particularly to a piezoelectric resonator having a plurality of resonance characteristics.
【０００２】[0002]
【従来の技術】テレビジョン受像機やビデオテープレコ
ーダーの映像中間周波段では、隣接チャンネルとのビー
ト障害を防止するために、図１に示すトラップ特性を有
するトラップ回路が使用されている。すなわち、隣接チ
ャネル映像信号周波数ｆap（アメリカのＮＴＳＣ方式で
は３９．７５ＭＨｚ）及び隣接チャンネル音声信号周波
数ｆas（アメリカのＮＴＳＣ方式では４７．２５ＭＨ
ｚ）において信号を十分に減衰させることが必要であ
る。2. Description of the Related Art In a video intermediate frequency stage of a television receiver or a video tape recorder, a trap circuit having a trap characteristic shown in FIG. 1 is used in order to prevent a beat disturbance with an adjacent channel. That is, the adjacent channel video signal frequency f ap (39.75 MHz in the American NTSC system) and the adjacent channel audio signal frequency f as (47.25 MH in the American NTSC system)
It is necessary to sufficiently attenuate the signal in z).
【０００３】上記のようなトラップ特性を実現するため
に、従来、隣接チャンネル映像信号周波数ｆapにおいて
減衰極を有するトラップと、隣接チャンネル音声信号周
波数ｆasに減衰極を有するトラップとの２個のトラップ
が用いられており、それぞれのトラップは、ＬＣ共振回
路や圧電共振子等により構成されている。In order to realize the above trap characteristics, conventionally, there are two traps, one having an attenuation pole at the adjacent channel video signal frequency f ap and the other having a attenuation pole at the adjacent channel audio signal frequency f as . A trap is used, and each trap is composed of an LC resonance circuit, a piezoelectric resonator, or the like.
【０００４】また、このような用途に用いられる圧電共
振子として、ＢＧＳ波のようなＳＨタイプの表面波を利
用した圧電共振子が注目されている。図２は、ＢＧＳ波
を利用した端面反射型の表面波共振子を示す。As a piezoelectric resonator used for such an application, a piezoelectric resonator utilizing an SH type surface wave such as a BGS wave has been receiving attention. FIG. 2 shows an end surface reflection type surface wave resonator utilizing BGS waves.
【０００５】端面反射型表面波共振子１は、平面形状が
四角形の圧電基板２を用いて構成されている。圧電基板
２は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミック
スやＬｉＮｂＯ3 圧電単結晶、ＬｉＴａＯ3 圧電単結晶
などの圧電材料により構成されており、圧電セラミック
スの場合には図示の矢印Ｐ方向に分極処理されている。
圧電基板２の上面２ａには、一対のくし歯電極３，４が
形成されており、それによってインターデジタルトラン
スデューサが構成されている。くし歯電極３，４は、そ
れぞれ、複数本の電極指３ａ〜３ｃ及び４ａ〜４ｃを有
する。The end surface reflection type surface acoustic wave resonator 1 is composed of a piezoelectric substrate 2 having a quadrangular planar shape. The piezoelectric substrate 2 is made of a piezoelectric material such as lead zirconate titanate-based piezoelectric ceramics, LiNbO 3 piezoelectric single crystal, or LiTaO 3 piezoelectric single crystal. In the case of piezoelectric ceramics, the piezoelectric substrate 2 is polarized in the direction of arrow P shown in the figure. Is being processed.
On the upper surface 2a of the piezoelectric substrate 2, a pair of comb-teeth electrodes 3 and 4 are formed, which constitutes an interdigital transducer. The comb electrodes 3 and 4 have a plurality of electrode fingers 3a to 3c and 4a to 4c, respectively.
【０００６】端面反射型表面波共振子１では、くし歯電
極３，４から交流電圧を印加することにより、ＢＧＳ波
が励起され，該ＢＧＳ波は図示の矢印Ｘ方向に伝播され
る。このＢＧＳ波は圧電基板２の端面で反射される。In the end surface reflection type surface acoustic wave resonator 1, by applying an AC voltage from the comb-teeth electrodes 3 and 4, a BGS wave is excited and the BGS wave is propagated in the arrow X direction shown in the figure. This BGS wave is reflected by the end surface of the piezoelectric substrate 2.
【０００７】そして、この端面反射型表面波共振子１で
は、インターデジタルトランスデューサで決定される周
波数スペクトルと端面間の寸法で決定される周波数を一
致させることにより、有効な共振特性を得る。In the end face reflection type surface wave resonator 1, effective resonance characteristics are obtained by matching the frequency spectrum determined by the interdigital transducer with the frequency determined by the dimension between the end faces.
【０００８】上記端面反射型表面波共振子１の減衰量−
周波数スペクトル特性及びインピーダンス−周波数特性
を図３（ａ）及び（ｂ）に示す。図３（ａ）及び（ｂ）
から明らかなように、端面反射型表面波共振子１におい
ても、従来のＬＣ共振回路や他の形式の圧電共振子と同
様に、単一の共振特性を有する。Attenuation amount of the end face reflection type surface wave resonator 1-
Frequency spectrum characteristics and impedance-frequency characteristics are shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b). 3 (a) and 3 (b)
As is apparent from the above, the end surface reflection type surface acoustic wave resonator 1 also has a single resonance characteristic, like the conventional LC resonance circuit and other types of piezoelectric resonators.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来、
例えば図１に示したようなトラップ特性を実現するに
は、２個の共振回路や圧電共振子等を用意し、接続しな
ければならなかった。As described above, as described above,
For example, in order to realize the trap characteristics as shown in FIG. 1, it is necessary to prepare and connect two resonant circuits and piezoelectric resonators.
【００１０】他方、レイリー波を利用した弾性表面波共
振子においては、単一の共振子において２個の共振特性
を有するものが示されている（例えば、国際電気技報Ｎ
ｏ．１６、第１頁〜第７頁，１９９２）。すなわち、レ
イリー波を利用した表面波共振子フィルタにおいて、０
次縦モード（基本モード）と２次縦モードとを利用した
二重モード共振子が知られており、ここでは、２個の共
振特性が得られる。しかしながら、上記二重モード共振
子では、２個の共振特性を得るためには、２つ以上のイ
ンターデジタルトランスデューサと反射器が必要であっ
た。また、上記二重モード共振子では、その共振特性が
反射器の反射係数−周波数特性で決定されるが、反射係
数の大きい周波数領域が狭いために、２個の共振点の差
が約１ＭＨｚと非常に小さく、図１に示したようなトラ
ップフィルタを該二重モード共振子のみで構成すること
はできない。On the other hand, as a surface acoustic wave resonator utilizing Rayleigh waves, one having two resonance characteristics in a single resonator has been shown (for example, International Electric Technical Report N.
o. 16, p. 1 to p. 7, 1992). That is, in the surface wave resonator filter using the Rayleigh wave,
A dual mode resonator utilizing a secondary longitudinal mode (basic mode) and a secondary longitudinal mode is known, and two resonance characteristics are obtained here. However, in the above dual mode resonator, two or more interdigital transducers and a reflector are required to obtain two resonance characteristics. Further, in the above dual mode resonator, its resonance characteristic is determined by the reflection coefficient-frequency characteristic of the reflector. However, since the frequency region where the reflection coefficient is large is narrow, the difference between the two resonance points is about 1 MHz. It is so small that the trap filter as shown in FIG. 1 cannot be constructed with only the dual mode resonator.
【００１１】本発明の目的は、ＳＨタイプの表面波を利
用した圧電共振子であって、かつ複数の減衰極を単一の
素子で構成することができる圧電共振子を提供すること
にある。It is an object of the present invention to provide a piezoelectric resonator utilizing SH type surface waves and capable of forming a plurality of attenuation poles with a single element.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、圧電基板と、圧電基板上に形成されたインターデジ
タルトランスデューサとを備え、ＳＨタイプの表面波を
利用した圧電共振子であって、インターデジタルトラン
スデューサが少なくとも２つの共振特性を有することを
特徴とする圧電共振子である。According to a first aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric resonator including a piezoelectric substrate and an interdigital transducer formed on the piezoelectric substrate, which utilizes an SH type surface wave. , An interdigital transducer having at least two resonance characteristics.
【００１３】すなわち、本発明は、ＳＨタイプの表面波
を利用した圧電共振子において、少なくとも２つの共振
特性を有するようにインターデジタルトランスデューサ
が構成されていることを特徴とする。That is, the present invention is characterized in that the interdigital transducer is configured to have at least two resonance characteristics in the piezoelectric resonator utilizing SH type surface waves.
【００１４】上記のように、少なくとも２つの共振特性
を有するようにインターデジタルトランスデューサを構
成する方法としては、請求項２に記載のように、互いに
間挿し合う電極指のうち適宜の電極指を間引いてなる、
間引き電極によりインターデジタルトランスデューサを
構成する構造、あるいは請求項３のように、交叉幅重み
付けが施されているインターデジタルトランスデューサ
が挙げられる。As described above, as a method of configuring the interdigital transducer so as to have at least two resonance characteristics, as described in claim 2, among the electrode fingers to be interleaved, appropriate electrode fingers are thinned out. Become
Examples thereof include a structure in which an interdigital transducer is formed by thinned electrodes, or an interdigital transducer in which cross width weighting is applied as in claim 3.
【００１５】また、本発明では、上記圧電共振子をトラ
ップ素子に用いることにより、請求項４に記載のよう
に、ＳＨタイプの表面波を利用した圧電共振子を用いた
トラップ素子であって、インターデジタルトランスデュ
ーサが少なくとも２つのトラップ周波数を有するように
構成することにより、単一の素子で２個のトラップ周波
数を有するトラップ素子を提供し得る。Further, according to the present invention, by using the piezoelectric resonator as a trap element, as described in claim 4, there is provided a trap element using the piezoelectric resonator utilizing SH type surface waves. By configuring the interdigital transducer to have at least two trap frequencies, a single element can provide a trap element having two trap frequencies.
【００１６】[0016]
【作用及び発明の効果】本発明では、請求項１に記載の
ように、少なくとも２つの共振特性を有するようにイン
ターデジタルトランスデューサが構成されている。すな
わち、請求項２に記載のように間引き電極により、ある
いは請求項３に記載のように交叉幅重み付けを施すこと
により、少なくとも２つの共振特性を有するようにイン
ターデジタルトランスデューサが構成されている。According to the present invention, as described in claim 1, the interdigital transducer is configured to have at least two resonance characteristics. That is, the interdigital transducer is configured to have at least two resonance characteristics by the thinned electrode as described in claim 2 or by performing the cross width weighting as described in claim 3.
【００１７】このように、インターデジタルトランスデ
ューサを工夫することにより少なくとも２つの共振特性
を実現した構造では、後述の実施例から明らかなよう
に、複数の共振点の間の周波数差が例えば８ＭＨｚ程度
とかなり大きくされ得る。これは、インターデジタル
トランスデューサで決定される周波数スペクトルのメイ
ンローブの周波数と端面間の寸法で決定される周波数を
大きく離すように設計できること、あるいは周波数ス
ペクトルのメインローブを複数個設計できることによ
る。As described above, in the structure in which at least two resonance characteristics are realized by devising the interdigital transducer, the frequency difference between a plurality of resonance points is, for example, about 8 MHz. Can be quite large. This is because the frequency can be designed so that the frequency of the main lobe of the frequency spectrum determined by the interdigital transducer and the frequency determined by the dimension between the end faces can be widely separated, or a plurality of main lobes of the frequency spectrum can be designed.
【００１８】よって、例えば図１に示したトラップ特性
のように、複数のトラップ周波数を必要とする用途に用
いる場合、単一の素子で複数のトラップ周波数に対応す
ることができるため、部品点数の低減及び組み立てコス
トの低減を図ることができる。また、請求項４に記載の
トラップ素子のように、複数のトラップ周波数を有する
単一のトラップ素子を提供することができる。Therefore, when it is used for an application requiring a plurality of trap frequencies, such as the trap characteristic shown in FIG. 1, a single element can handle a plurality of trap frequencies, so that the number of parts can be reduced. It is possible to reduce the assembly cost and the assembly cost. Further, it is possible to provide a single trap element having a plurality of trap frequencies like the trap element according to the fourth aspect.
【００１９】[0019]
【実施例の説明】以下、図面を参照しつつ、本発明の非
限定的な実施例を説明する。図４は、本発明の第１の実
施例にかかる圧電共振子を示す平面図であり、図５は該
圧電共振子を示す斜視図である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, non-limiting embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 4 is a plan view showing a piezoelectric resonator according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a perspective view showing the piezoelectric resonator.
【００２０】圧電共振子１１は、平面形状が矩形の圧電
基板１２を用いて構成されている。圧電基板１２は、例
えばチタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックスのような
適宜の圧電材料により構成されている。圧電基板１２
は、図示の矢印Ｐ方向すなわち主面と平行であり、かつ
電極指の延びる方向と平行な方向に分極処理されてい
る。The piezoelectric resonator 11 is constructed by using a piezoelectric substrate 12 having a rectangular planar shape. The piezoelectric substrate 12 is made of an appropriate piezoelectric material such as lead zirconate titanate-based piezoelectric ceramics. Piezoelectric substrate 12
Is polarized in a direction indicated by an arrow P, that is, parallel to the main surface and in a direction parallel to the extending direction of the electrode fingers.
【００２１】圧電基板１２の上面には、くし歯電極１
３，１４からなるインターデジタルトランスデューサ
（以下、ＩＤＴと略す。）１５が形成されている。くし
歯電極１３，１４は、それぞれ、複数本の電極指１３
ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ及び１４ａ〜１４ｉを有す
る。すなわち、ＩＤＴ１５は、互いに間挿し合う複数本
の電極指のうち、幾本かの電極指が間引かれて、間引き
電極の形態で構成されている。On the upper surface of the piezoelectric substrate 12, the comb electrode 1
An interdigital transducer (hereinafter abbreviated as IDT) 15 including 3 and 14 is formed. Each of the comb-teeth electrodes 13 and 14 has a plurality of electrode fingers 13
a, 13b, 13c, 13d and 14a to 14i. That is, the IDT 15 is configured in the form of thinned electrodes by thinning out some of the plurality of electrode fingers that are inserted into each other.
【００２２】より詳しくは、電極指１４ｃ〜１４ｇ間に
おいて、他方側のくし歯電極１３側の電極指が間引かれ
ている。この場合、電極指間領域のうち、両側の電極指
が異なる電位に接続される電極指である領域、すなわち
両側の電極指から電圧が印加されてＢＧＳ波が励振され
る領域を「１」、電極指が間引かれているため、両側の
電極指が同電位である、すなわちＢＧＳ波が励振されな
い電極指間領域を「０」と表現することにする。圧電共
振子１１では、電極指１４ａから電極指１４ｉまでの１
２個の領域は、順に、１，１，１，１，０，０，０，
０，１，１，１，１で表される。More specifically, between the electrode fingers 14c to 14g, the electrode fingers on the other side of the comb electrode 13 are thinned out. In this case, in the inter-electrode finger area, the area where the electrode fingers on both sides are connected to different potentials, that is, the area where the voltage is applied from the electrode fingers on both sides to excite the BGS wave is “1”, Since the electrode fingers are thinned out, the electrode fingers on both sides have the same potential, that is, the inter-electrode finger region in which the BGS wave is not excited is expressed as “0”. In the piezoelectric resonator 11, 1 from the electrode finger 14a to the electrode finger 14i
The two regions are, in order, 1, 1, 1, 1, 0, 0, 0,
It is represented by 0, 1, 1, 1, 1.
【００２３】なお、上記くし歯電極１３，１４において
は、電極指間の各領域の幅は、励振されるＢＧＳ波の波
長λとしたときに、λ／４とされており、かつ電極指１
４ａ，１４ｉを除く残りの電極指の幅もλ／４とされて
いる。また、最も外側に位置する電極指１４ａ，１４ｉ
の幅はλ／８とされており、電極指１４ａ，１４ｉは圧
電基板１２の端面１２ａ，１２ｂと上面との端縁に沿う
ように配置されている。In the comb electrodes 13 and 14, the width of each region between the electrode fingers is λ / 4 when the wavelength λ of the excited BGS wave is set, and the electrode finger 1
The width of the remaining electrode fingers other than 4a and 14i is also λ / 4. In addition, the electrode fingers 14a and 14i located on the outermost sides
Has a width of λ / 8, and the electrode fingers 14a and 14i are arranged along the edges between the end surfaces 12a and 12b of the piezoelectric substrate 12 and the upper surface.
【００２４】上記のようなくし歯電極１３，１４は、例
えば、圧電基板１２よりも幅方向がより大きな圧電基板
を用意し、λ／４ピッチで幅λ／４の電極指を多数形成
した後、上記くし歯電極１３，１４が得られるように圧
電基板をダイシングすることにより、すなわち電極指１
４ａ，１４ｉについては、上記ダイシングによりλ／４
の幅の電極指を半分の幅に切断することにより、形成す
ることができる。このようにして、上記ＩＤＴ１５と、
端面１２ａ，１２ｂを有する圧電共振子１１を得ること
ができる。As the comb-teeth electrodes 13 and 14 as described above, for example, a piezoelectric substrate having a width direction larger than that of the piezoelectric substrate 12 is prepared, and a large number of electrode fingers having a width λ / 4 are formed at a λ / 4 pitch. By dicing the piezoelectric substrate so that the comb electrodes 13 and 14 are obtained, that is, the electrode fingers 1
4a and 14i are λ / 4 by the above dicing.
It can be formed by cutting an electrode finger having a width of 4 to a half width. In this way, the IDT 15 and
The piezoelectric resonator 11 having the end faces 12a and 12b can be obtained.
【００２５】圧電共振子１１では、図２に示した従来の
ＳＨタイプの表面波を利用した端面反射型表面波共振子
１と同様に、くし歯電極１３，１４から交流電圧を印加
することにより、電極指の延びる方向と直交する方向に
伝播するＢＧＳ波が励起され、該ＢＧＳ波は端面１２
ａ，１２ｂ間で反射される。In the piezoelectric resonator 11, by applying an alternating voltage from the comb-teeth electrodes 13 and 14 in the same manner as in the conventional end face reflection type surface wave resonator 1 utilizing the surface wave of SH type shown in FIG. , A BGS wave propagating in a direction orthogonal to the extending direction of the electrode fingers is excited, and the BGS wave is excited by the end face 12
It is reflected between a and 12b.
【００２６】従って、圧電共振子１１は、ＢＧＳ波を利
用した端面反射型の表面波共振子である。圧電共振子１
１の減衰量−周波数スペクトル特性及びインピーダンス
−周波数特性を、図６及び図７にそれぞれ示す。Therefore, the piezoelectric resonator 11 is an end face reflection type surface wave resonator utilizing BGS waves. Piezoelectric resonator 1
The attenuation-frequency spectrum characteristic and the impedance-frequency characteristic of No. 1 are shown in FIGS. 6 and 7, respectively.
【００２７】図６及び図７から明らかなように、圧電共
振子１１では、２個の共振点Ｆｒ1及びＦｒ2 が現れ
る。すなわち、２つの共振特性が得られる。これは、Ｉ
ＤＴ１５が、上記のように１，１，１，１，０，０，
０，０，１，１，１，１で間引きされた間引き電極によ
り構成されているためである。すなわち、上記のような
形態の間引き電極でＩＤＴ１５が構成されているため、
ＩＤＴで決定される周波数スペクトルのメインローブを
２個設計できたことにより、２個の共振特性が得られ
る。As apparent from FIGS. 6 and 7, in the piezoelectric resonator 11, two resonance points Fr 1 and Fr 2 appear. That is, two resonance characteristics are obtained. This is I
DT15 is 1,1,1,1,0,0,
This is because it is composed of thinned-out electrodes thinned out at 0, 0, 1, 1, 1, 1. That is, since the IDT 15 is composed of the thinning electrodes having the above-described form,
Since two main lobes of the frequency spectrum determined by IDT can be designed, two resonance characteristics can be obtained.
【００２８】この場合、２個の共振点Ｆｒ1 及びＦｒ2
間の周波数差は、約８ＭＨｚである。すなわち、前述し
たレイリー波を利用した二重モード共振子フィルタの場
合に比べて、大きな周波数差の２つの共振特性が得られ
る。これは、ＩＤＴで決定される周波数スペクトルのメ
インローブを２個設計できたためと考えられる。従って
圧電基板１２の材料、寸法及びＩＤＴ１５における間引
き電極の態様や電極指の寸法等を調整することにより、
比較的大きな適宜の周波数差を有する２つの共振点１１
を有する圧電共振子を提供することができる。In this case, two resonance points Fr 1 and Fr 2
The frequency difference between them is about 8 MHz. That is, two resonance characteristics with a large frequency difference can be obtained as compared with the case of the dual mode resonator filter using the Rayleigh wave described above. It is considered that this is because two main lobes of the frequency spectrum determined by IDT could be designed. Therefore, by adjusting the material and size of the piezoelectric substrate 12 and the mode of the thinned electrodes in the IDT 15 and the size of the electrode fingers,
Two resonance points 11 having a relatively large appropriate frequency difference
It is possible to provide a piezoelectric resonator having
【００２９】よって、圧電共振子１１は、例えば図１に
示したテレビジョン受像機やビデオテープレコーダーの
中間映像周波段におけるトラップフィルタとして好適に
用いることができる。すなわち、圧電共振子１１は、単
一の素子で、２つのトラップ周波数を有するトラップ素
子として用いることができる。Therefore, the piezoelectric resonator 11 can be suitably used as a trap filter in the intermediate video frequency stage of the television receiver or the video tape recorder shown in FIG. 1, for example. That is, the piezoelectric resonator 11 is a single element and can be used as a trap element having two trap frequencies.
【００３０】図８は本発明の第２の実施例にかかる圧電
共振子２１を示す平面図である。圧電共振子２１は、第
１の実施例と同様に、ＩＤＴ２５が間引き電極で構成さ
れているものであり、この間引きの態様が第１の実施例
の圧電共振子１１と異なる点を除いては、第１の実施例
と同様に構成されている。従って、ＩＤＴ２５の構成の
みを説明することとし、他の構成については第１の実施
例と同一の参照番号を付することにより、その説明は省
略する。FIG. 8 is a plan view showing a piezoelectric resonator 21 according to the second embodiment of the present invention. Similar to the first embodiment, the piezoelectric resonator 21 is such that the IDT 25 is composed of thinned electrodes, except that the thinning mode is different from that of the piezoelectric resonator 11 of the first embodiment. The configuration is similar to that of the first embodiment. Therefore, only the structure of the IDT 25 will be described, and other structures will be denoted by the same reference numerals as those in the first embodiment, and the description thereof will be omitted.
【００３１】ＩＤＴ２５は、一対のくし歯電極２３，２
４を有する。くし歯電極２３は、複数本の電極指２３
ａ，２３ｂを有し、くし歯電極２４は、複数本の電極指
２４ａ〜２４ｉを有する。従って、ＩＤＴ２５における
電極指間の領域は、１４個構成されているが、この１４
個の領域は、前述した「０」及び「１」の表現では、図
面上左から右に向かって、０，０，０，１，１，１，
１，，０，０，０，となる。The IDT 25 includes a pair of comb electrodes 23, 2
Have 4. The comb-teeth electrode 23 has a plurality of electrode fingers 23.
a, 23b, and the comb electrode 24 has a plurality of electrode fingers 24a to 24i. Therefore, there are 14 areas between the electrode fingers in the IDT 25.
In the expressions “0” and “1” described above, the individual areas are 0, 0, 0, 1, 1, 1, from left to right in the drawing.
It becomes 1, 0, 0, 0.
【００３２】このような間引き電極であるＩＤＴ２５を
用いた場合にも、第１の実施例と同様に、２つの共振点
が存在することが確かめられた。すなわち、インターデ
ジタルトランスデューサで決定される周波数スペクトル
のメインローブの周波数と端面間の寸法で決定される周
波数を大きく離すように設計できたことにより、２個の
共振特性が得られる。しかも、上記のように間引き電極
の形態が第１の実施例と異なるため、２つの共振点の差
は、第１の実施例と異なることが確認された。すなわ
ち、第２の実施例の圧電共振子２１では、第１の実施例
の圧電共振子１１に比べて、２つの共振点の差が８．６
ＭＨｚとされていることが確かめられた。It has been confirmed that two resonance points are present even when the IDT 25 which is such a thinning electrode is used, as in the first embodiment. That is, two resonance characteristics can be obtained because the frequency can be designed so that the frequency of the main lobe of the frequency spectrum determined by the interdigital transducer and the frequency determined by the dimension between the end faces are largely separated. Moreover, it was confirmed that the difference between the two resonance points was different from that of the first embodiment because the form of the thinned electrode was different from that of the first embodiment as described above. That is, in the piezoelectric resonator 21 of the second embodiment, the difference between the two resonance points is 8.6 as compared with the piezoelectric resonator 11 of the first embodiment.
It was confirmed to be set to MHz.
【００３３】このように、間引き電極における間引きの
態様を変更することにより、２つの共振点の周波数差を
調整することができる。もっとも、２つの共振点の周波
数差は、間引き電極における間引きの態様だけでなく、
圧電共振子１１，２１における端面１２ａ，１２ｂ間の
距離や圧電基板材料、電極指のサイズ等によっても変わ
るため、一義的には定め得ない。すなわち、用途に応
じ、適宜、上記のような各ファクターを調整することに
より、所望の周波数差の２つの共振点を有する圧電共振
子を提供することができる。As described above, the frequency difference between the two resonance points can be adjusted by changing the thinning mode of the thinning electrode. However, the frequency difference between the two resonance points is not limited to the thinning mode in the thinning electrode,
This cannot be uniquely determined because it depends on the distance between the end faces 12a and 12b of the piezoelectric resonators 11 and 21, the piezoelectric substrate material, the size of the electrode fingers, and the like. That is, it is possible to provide a piezoelectric resonator having two resonance points having a desired frequency difference by appropriately adjusting the above factors according to the application.
【００３４】図９は、本発明の第３の実施例にかかる圧
電共振子を示す平面図である。圧電共振子３１では、平
面形状が矩形の圧電基板３２を用いて構成されており、
圧電基板３２の端面３２ａ，３２ｂ間でＢＧＳ波が反射
される端面反射型の表面波共振子が構成されている。FIG. 9 is a plan view showing a piezoelectric resonator according to the third embodiment of the present invention. The piezoelectric resonator 31 is configured by using a piezoelectric substrate 32 having a rectangular planar shape,
An end surface reflection type surface wave resonator is formed that reflects the BGS wave between the end surfaces 32 a and 32 b of the piezoelectric substrate 32.
【００３５】圧電基板３２は、図示の矢印Ｐ方向に一様
に分極処理されている。また、ＩＤＴ３５は、前述した
実施例と同様に一対のくし歯電極３３，３４を有する。
もっとも、ＩＤＴ３５では、交叉幅重み付けが施されて
いる。すなわち、図示のように、くし歯電極３３，３４
の複数本の電極指の長さが適宜異ならされており、それ
によって隣接する電極指と表面波伝播方向において重な
り合っている部分（交叉部分）の幅（交叉幅）が表面波
伝播方向に沿って変化されている。このように、交叉幅
重み付けが施されたＩＤＴを用いた圧電共振子３１にお
いても、第１の実施例と同様に、２つの共振点が現れる
ことが確かめられた。すなわち、ＩＤＴで決定される
周波数スペクトルとメインローブを２個設計できたこと
により、２個の共振特性が得られたこと、あるいは周
波数スペクトルのメインローブを複数個設計できたこと
による。そして、この２つの共振点の差は、第１の実施
例と同様に、約９．２ＭＨｚ程度とされ得ることが確か
められた。なお、特に図示はしないが、圧電共振子３１
の減衰量−周波数スペクトル特性及びインピーダンス−
周波数特性は、図６及び図７に示した第１の実施例にお
ける各特性と同様であることが確かめられた。The piezoelectric substrate 32 is uniformly polarized in the direction of arrow P shown. Further, the IDT 35 has a pair of comb-teeth electrodes 33 and 34 as in the above-described embodiment.
However, in the IDT 35, the cross width is weighted. That is, as shown in the drawing, the comb electrodes 33, 34
The lengths of a plurality of electrode fingers of are different from each other, so that the width (crossing width) of a portion (crossover portion) overlapping with an adjacent electrode finger in the surface wave propagation direction is defined along the surface wave propagation direction. Has been changed. As described above, it was confirmed that two resonance points appear also in the piezoelectric resonator 31 using the IDT with the cross width weighted, as in the first embodiment. That is, it is possible to design two frequency spectra and main lobes determined by the IDT, to obtain two resonance characteristics, or to design multiple main lobes of the frequency spectrum. It was confirmed that the difference between the two resonance points can be set to about 9.2 MHz, as in the first embodiment. Although not particularly shown, the piezoelectric resonator 31
Attenuation-Frequency spectrum characteristics and impedance-
It was confirmed that the frequency characteristics are similar to the characteristics in the first embodiment shown in FIGS. 6 and 7.
【００３６】従って、ＩＤＴ３５のように、交叉幅重み
付けを施すことによっても、ＳＨタイプの表面波を利用
した端面反射型の表面波共振子において、比較的大きな
周波数差を有する複数の共振点を有する圧電共振子を提
供し得ることがわかる。Therefore, even if the cross width is weighted as in the IDT 35, an end surface reflection type surface wave resonator utilizing SH type surface waves has a plurality of resonance points having a relatively large frequency difference. It will be appreciated that a piezoelectric resonator can be provided.
【００３７】なお、上述した第１〜第３の実施例では、
ＳＨタイプの表面波としてＢＧＳ波を利用したものを用
いたが、ラブ波などの他のＳＨタイプの表面波を利用し
ても、同様にＩＤＴを間引き電極としたり、交叉幅重み
付けを施したりすることにより、複数の共振点を有する
圧電共振子を提供することができる。In the above-mentioned first to third embodiments,
Although the BGS wave was used as the SH type surface wave, the IDT can be similarly used as a thinning electrode or the cross width can be weighted even if another SH type surface wave such as a Love wave is used. As a result, it is possible to provide a piezoelectric resonator having a plurality of resonance points.
【００３８】さらに、上記実施例では、２つの共振点を
有する圧電共振子につき説明したが、間引き電極の態様
や交叉幅重み付けの態様を変更することにより、３以上
の共振点を有する圧電共振子を構成することも可能であ
る。Furthermore, in the above embodiment, the piezoelectric resonator having two resonance points has been described, but the piezoelectric resonator having three or more resonance points can be obtained by changing the mode of thinning electrodes and the mode of cross width weighting. Can also be configured.
【図１】２つのトラップを有するトラップ回路の減衰量
−周波数スペクトル特性を示す図。FIG. 1 is a diagram showing an attenuation-frequency spectrum characteristic of a trap circuit having two traps.
【図２】従来のＳＨタイプの表面波を利用した端面反射
型表面波共振子を示す斜視図。FIG. 2 is a perspective view showing an edge reflection type surface acoustic wave resonator using a conventional SH type surface acoustic wave.
【図３】（ａ）及び（ｂ）は、図２に示した表面波共振
子の減衰量−周波数スペクトル特性及びインピーダンス
−周波数特性を示す図。3A and 3B are diagrams showing attenuation-frequency spectrum characteristics and impedance-frequency characteristics of the surface acoustic wave resonator shown in FIG.
【図４】第１の実施例にかかる圧電共振子を示す平面
図。FIG. 4 is a plan view showing a piezoelectric resonator according to the first embodiment.
【図５】第１の実施例の圧電共振子の斜視図。FIG. 5 is a perspective view of the piezoelectric resonator according to the first embodiment.
【図６】第１の実施例の圧電共振子の減衰量−周波数ス
ペクトル特性を示す図。FIG. 6 is a diagram showing attenuation-frequency spectrum characteristics of the piezoelectric resonator of the first embodiment.
【図７】第１の実施例の圧電共振子のインピーダンス−
周波数特性を示す図。FIG. 7: Impedance of the piezoelectric resonator of the first embodiment-
The figure which shows a frequency characteristic.
【図８】第２の実施例の圧電共振子を示す平面図。FIG. 8 is a plan view showing a piezoelectric resonator according to a second embodiment.
【図９】第３の実施例の圧電共振子を示す平面図。FIG. 9 is a plan view showing a piezoelectric resonator according to a third embodiment.
１１，２１，３１…圧電共振子 １２，３２…圧電基板 １２ａ，１２ｂ，３２ａ，３２ｂ…端面 １３，１４，２３，２４，３３，３４…くし歯電極 １５，２５，３５…ＩＤＴ １３ａ〜１３ｄ，１４ａ〜１４ｉ…電極指 ２３ａ〜２３ｃ，２４ａ〜２４ｉ…電極指 11, 21, 31 ... Piezoelectric resonator 12, 32 ... Piezoelectric substrate 12a, 12b, 32a, 32b ... End face 13, 14, 23, 24, 33, 34 ... Comb tooth electrode 15, 25, 35 ... IDT 13a-13d, 14a to 14i ... Electrode fingers 23a to 23c, 24a to 24i ... Electrode fingers
Claims (4)
デューサとを備え、ＳＨタイプの表面波を利用した圧電
共振子であって、 前記インターデジタルトランスデューサが少なくとも２
つの共振特性を有することを特徴とする、圧電共振子。1. A piezoelectric resonator comprising a piezoelectric substrate and an interdigital transducer formed on the piezoelectric substrate, wherein the piezoelectric resonator uses SH type surface waves, wherein the interdigital transducer is at least 2.
A piezoelectric resonator having two resonance characteristics.
が、互いに間挿し合う電極指のうち適宜の電極指を間引
いてなる、間引き電極により構成されている、請求項１
に記載の圧電共振子。2. The interdigital transducer is composed of thinned-out electrodes formed by thinning out appropriate electrode fingers out of electrode fingers to be interleaved with each other.
2. The piezoelectric resonator according to.
が、交叉幅重み付けを施されている構造を有する、請求
項１に記載の圧電共振子。3. The piezoelectric resonator according to claim 1, wherein the interdigital transducer has a cross-width weighted structure.
デューサとを備え、ＳＨタイプの表面波を利用した圧電
共振子を用いたトラップ素子であって、 前記インターデジタルトランスデューサが少なくとも２
つのトラップ周波数を有することを特徴とするトラップ
素子。4. A trap element comprising a piezoelectric substrate and an interdigital transducer formed on the piezoelectric substrate, the trap element using a piezoelectric resonator utilizing SH type surface waves, wherein the interdigital transducer is at least Two
A trap element having two trap frequencies.
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03441594A JP3191551B2 (en) | 1994-03-04 | 1994-03-04 | Piezoelectric resonator |
| TW084101313A TW256966B (en) | 1994-03-04 | 1995-02-14 | |
| GB9503524A GB2287580B (en) | 1994-03-04 | 1995-02-22 | Piezoelectric resonators |
| SG1995000047A SG30304A1 (en) | 1994-03-04 | 1995-03-02 | Piezoelectric resonators |
| CN95102026A CN1089968C (en) | 1994-03-04 | 1995-03-03 | Piezoelectric resonators for trap circuits having a plurality of trap frequeucies |
| KR1019950004657A KR100194185B1 (en) | 1994-03-04 | 1995-03-04 | Piezoelectric resonators for trap circuits with multiple trap frequencies |
| US08/746,150 US5767603A (en) | 1994-03-04 | 1996-11-06 | Piezoelectric resonators for trap circuits having a plurality of trap frequencies |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03441594A JP3191551B2 (en) | 1994-03-04 | 1994-03-04 | Piezoelectric resonator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07245544A true JPH07245544A (en) | 1995-09-19 |
| JP3191551B2 JP3191551B2 (en) | 2001-07-23 |
Family
ID=12413574
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03441594A Expired - Fee Related JP3191551B2 (en) | 1994-03-04 | 1994-03-04 | Piezoelectric resonator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3191551B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6873226B2 (en) | 2001-03-19 | 2005-03-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Edge-reflection surface acoustic wave filter |
-
1994
- 1994-03-04 JP JP03441594A patent/JP3191551B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6873226B2 (en) | 2001-03-19 | 2005-03-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Edge-reflection surface acoustic wave filter |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3191551B2 (en) | 2001-07-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5977686A (en) | Surface acoustic wave filter | |
| US6873226B2 (en) | Edge-reflection surface acoustic wave filter | |
| JPH0969751A (en) | Surface acoustic wave filter | |
| KR100194185B1 (en) | Piezoelectric resonators for trap circuits with multiple trap frequencies | |
| US5986523A (en) | Edge reflection type longitudinally coupled surface acoustic wave filter | |
| JP3185591B2 (en) | SAW resonator | |
| JP3196499B2 (en) | Surface wave resonator | |
| JPH08204498A (en) | End face reflection type surface acoustic wave device | |
| JP3106924B2 (en) | Surface wave resonator | |
| US6313563B1 (en) | Edge reflection type surface acoustic wave device | |
| JPH07245544A (en) | Piezoelectric resonator | |
| KR100208210B1 (en) | Surface wave resonator | |
| JP3397195B2 (en) | Edge reflection type surface acoustic wave filter | |
| JPH09294045A (en) | End face reflection type surface wave resonator | |
| JP3449034B2 (en) | Surface acoustic wave resonator | |
| JP2000312125A (en) | Surface acoustic wave unit | |
| JP3526125B2 (en) | Surface wave resonator | |
| JP3254892B2 (en) | Trap circuit | |
| JP3068035B2 (en) | Surface acoustic wave device | |
| JP3582225B2 (en) | Edge reflection type surface acoustic wave resonator and frequency adjustment method of surface acoustic wave resonator | |
| JPH09326661A (en) | Surface acoustic wave filter | |
| JP2003298384A (en) | Longitudinal coupling resonator type surface wave device | |
| JP3456810B2 (en) | Surface acoustic wave filter | |
| JP2001285014A (en) | Surface acoustic wave device | |
| JPH07122962A (en) | Surface wave filter |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090525 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090525 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100525 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |