JPH08264125A - Ac-type plasma display, and its manufacture - Google Patents

Abstract

PURPOSE: To provide an AC-type plasma display capable of lowering the discharge start voltage and the drive voltage (consumption voltage) and manufacture at low cost, by forming a magnesium oxide protective film simple, stable, and uniform. CONSTITUTION: This is an AC-type display where a rear board and a front board are counterposed with gas discharge space 3 between, and electrodes 4a and 4b in a pair covered with a dielectric layer 5 are made severally on one board at least, and also a protective film 6 is made on the dielectric layer 5. The protective layer 6 is a magnesium oxide layer fundamentally constituted of plate-shaped particles.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は交流型プラズマディスプ
レイ及びその製造方法に係り、特に誘電体層の表面に形
成する保護層に特徴を有する交流型プラズマディスプレ
イに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an AC plasma display and a method for manufacturing the same, and more particularly to an AC plasma display characterized by a protective layer formed on the surface of a dielectric layer.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来、放電に伴う発光現象をディスプレ
イに利用する所謂プラズマディスプレイは、電極の構造
から、放電空間に金属電極が露出している直流型と、金
属電極が誘電体層で覆われている交流型とに大別される
が、これらディスプレイを薄型且つ大画面のカラーテレ
ビに用いる場合には、メモリ機能を有しており大型化に
対応可能な交流型が好適である。この交流型プラズマデ
ィスプレイは、電極の配向構造から、面放電方式と対向
電極方式とに分けられるが、いずれの方式においても、
前記誘電体層の表面には保護膜（主として酸化マグネシ
ウム層）を形成している。2. Description of the Related Art Conventionally, a so-called plasma display, which utilizes a light emission phenomenon caused by discharge in a display, has a structure in which a metal electrode is exposed in a discharge space and a metal electrode is covered with a dielectric layer. When these displays are used in a thin and large-screen color television, an AC type having a memory function and capable of coping with an increase in size is suitable. This AC plasma display can be divided into a surface discharge method and a counter electrode method depending on the orientation structure of the electrodes.
A protective film (mainly a magnesium oxide layer) is formed on the surface of the dielectric layer.

【０００３】この保護層の形成方法としては、薄膜法と
してＥＢ蒸着法があり、厚膜法として酸化マグネシウム
原料である塩基性炭酸マグネシウムをスプレーで層形成
した後に熱処理して酸化マグネシウム層とする方法（特
公昭６０−４２５７９号公報、特公昭６３−５９２２１
号公報、特公昭５７−１３９８３号公報等参照）が提案
されている。又、これらの他に考えられる方法として、
スパッタ法、ＣＶＤ法及びコーティング法等が挙げられ
る。As a method of forming this protective layer, there is an EB vapor deposition method as a thin film method, and as a thick film method, a method of forming a layer of basic magnesium carbonate, which is a raw material of magnesium oxide, by spraying and then heat treating it to form a magnesium oxide layer. (Japanese Patent Publication No. 60-42579, Japanese Patent Publication No. 63-59221)
Japanese Patent Publication No. 57-13983). Also, as other possible methods,
The sputtering method, the CVD method, the coating method and the like can be mentioned.

【０００４】[0004]

【発明が解決しようする問題点】上記各方法のうち、Ｅ
Ｂ蒸着法やスパッタ法、ＣＶＤ法等の真空プロセスを用
いた方法は、概して生産性が低く製品が高価になるとい
う欠点に加え、プラズマディスプレイの様な大きな被付
着物を真空チャンバー内に収納するのが非常に困難であ
るという欠点がある。特に大画面化を想定した場合、設
備費や生産性の点で問題がある。Problems to be Solved by the Invention Of the above methods, E
The method using a vacuum process such as the B vapor deposition method, the sputtering method, and the CVD method has a drawback that the productivity is generally low and the product is expensive, and a large adherend such as a plasma display is housed in a vacuum chamber. It has the drawback of being very difficult to operate. Especially, assuming a large screen, there is a problem in terms of equipment cost and productivity.

【０００５】これに対して、前記コーティング法は、手
軽な方法であることから鋭意検討がなされてきたにも係
らず、性能上の目的を達成するに至っていない。その理
由としては、過去に市販されてきた酸化マグネシウム粒
子が混入されたペーストは、その性質が製造のプロセス
に合致せず、必要なディスプレイのパネル特性を得られ
ない為と判明した。On the other hand, the above-mentioned coating method has not yet achieved the purpose in terms of performance, although it has been earnestly studied because it is a simple method. The reason is that pastes that have been mixed with magnesium oxide particles that have been commercially available in the past do not match the properties of the paste with the manufacturing process and cannot obtain the required panel characteristics of the display.

【０００６】そして、過去に市販された酸化マグネシウ
ム粒子が混入しているペーストの造膜メカニズムは、造
膜性を有する有機金属化合物の熱分解による酸化マグネ
シウム層の形成であり、通常の熱処理プロセス（６００
℃以下）では膜強度及び密着性等が不十分であったり、
熱分解時に膜に亀裂を生じたりすると云った問題を有す
ると共に、コーティング性についても決して満足出来る
ものではなかった。又、混入されている酸化マグネシウ
ム粒子の粒子径が大きく、更に、ペースト自体の粘度も
大きい為に、層厚の薄化が困難であり、これに伴って放
電開始電圧や駆動電圧をなるべく低下させたいにも係ら
ず、それを実現することが出来ないと云う不都合があっ
た。[0006] The film forming mechanism of a paste containing magnesium oxide particles commercially available in the past is formation of a magnesium oxide layer by thermal decomposition of an organometallic compound having a film forming property, which is an ordinary heat treatment process ( 600
(° C or below), the film strength and adhesion are insufficient,
In addition to the problem of cracking in the film during thermal decomposition, the coating properties were also unsatisfactory. Further, since the mixed magnesium oxide particles have a large particle diameter and the paste itself has a large viscosity, it is difficult to reduce the layer thickness, and accordingly, the discharge start voltage and the drive voltage are reduced as much as possible. There was an inconvenience that it could not be realized regardless of the situation.

【０００７】上記問題点を解決する為に、最近、有機金
属化合物や無機金属塩等の加水分解や縮合反応の所謂ゾ
ルーゲル反応から、対応する金属酸化物のゾル溶液を作
製する方法が検討されている。このゾルーゲル反応を利
用することにより、水酸化マグネシウムゾルが溶液に均
一に分散されたコーティング液が得られ、このコーティ
ング液を誘電体層に塗布及び焼成することで、酸化マグ
ネシウム薄膜を形成することが出来る様になった。In order to solve the above problems, recently, a method of preparing a sol solution of a corresponding metal oxide from a so-called sol-gel reaction of hydrolysis or condensation reaction of an organometallic compound or an inorganic metal salt has been studied. There is. By utilizing this sol-gel reaction, a coating solution in which magnesium hydroxide sol is uniformly dispersed in the solution is obtained, and by coating and baking this coating solution on the dielectric layer, a magnesium oxide thin film can be formed. I can do it.

【０００８】しかし、通常のゾルーゲル法により得られ
るゾル粒子は真球形状の場合が多く、その溶液から得ら
れる薄膜は、通常の熱処理プロセス（６００℃付近）で
は、ゾル粒子同士の熱融着は起こりにくく、真球形状の
ゾル粒子の集合体のままである為、薄膜とした場合に溶
剤乾燥時に亀裂等の空隙が生じ、誘電体層を完全に覆う
ことが出来ず、真空プロセスからの酸化マグネシウム層
と比べ、保護膜としては不十分であるという問題があっ
た。又、形成された膜面の不均一により、同じ膜面での
酸化マグネシウムの二次電子放出特性にもばらつきが生
じる為、放電開始電圧や駆動電圧の低下を実現すること
が出来なかった。However, the sol particles obtained by the usual sol-gel method are often spherical in shape, and the thin film obtained from the solution thereof does not cause thermal fusion between the sol particles in the usual heat treatment process (around 600 ° C.). It is hard to occur and it remains as an aggregate of spherical sol particles, so when it is made into a thin film, voids such as cracks occur when drying the solvent, the dielectric layer cannot be completely covered, and oxidation from the vacuum process occurs. There is a problem that it is insufficient as a protective film as compared with the magnesium layer. Further, due to the nonuniformity of the formed film surface, the secondary electron emission characteristics of magnesium oxide on the same film surface also vary, so that the discharge start voltage and the driving voltage cannot be reduced.

【０００９】従って、本発明の目的は、上記従来技術の
問題点を解決し、簡便で安定且つ均一な酸化マグネシウ
ム保護膜を形成して、放電開始電圧や駆動電圧（消費電
力）の低下と、低コストでの製造が可能な交流型プラズ
マディスプレイ及びその製造方法を提供することであ
る。Therefore, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art and to form a simple, stable and uniform magnesium oxide protective film to reduce the discharge start voltage and the drive voltage (power consumption), An object is to provide an AC plasma display that can be manufactured at low cost and a manufacturing method thereof.

【００１０】[0010]

【問題点を解決する為の手段】上記目的は以下の本発明
によって達成される。即ち、本発明は、ガス放電空間を
挟んで背面基板と前面基板が対向配置され、少なくとも
一方の基板には、誘電体層に覆われた互いに対となる電
極が夫々形成されると共に、誘電体層の上には保護膜が
形成されてなる交流型プラズマディスプレイにおいて、
前記保護層が、平板状粒子から基本的に構成される酸化
マグネシウム層であることを特徴とする交流型プラズマ
ディスプレイ、及びその製造方法である。The above object can be achieved by the present invention described below. That is, according to the present invention, a back substrate and a front substrate are arranged so as to face each other with a gas discharge space interposed therebetween, and at least one of the substrates is provided with a pair of electrodes covered with a dielectric layer, respectively, and a dielectric substrate. In an AC type plasma display in which a protective film is formed on the layer,
An AC plasma display, wherein the protective layer is a magnesium oxide layer basically composed of tabular grains, and a method for producing the same.

【００１１】[0011]

【作用】本発明者の詳細な研究によれば、保護層の出発
原料、及び酸化マグネシウムを生成させる反応条件を選
択することで、ゾルーゲル反応等の化学的手法によって
も、真球形状以外の平板状の酸化マグネシウム粒子を形
成させることが出来、これを薄膜にして保護層とした場
合に、直下の誘電体層をより効率よく覆うことが出来る
ことを見出した。即ち、後述の如きマグネシウム化合物
の加水分解物溶液を用い、該溶液を塗布後、加熱するこ
とで均一且つ薄膜の酸化マグネシウム層を形成すること
が出来、交流型プラズマディスプレイの誘電体層の保護
層が均一になるに伴って、放電開始電圧や駆動電圧の制
御が促進されて消費電力が大幅に低下し、且つディスプ
レイ自体の厚さの薄化も実現することが出来る。According to a detailed study by the present inventor, by selecting the starting material for the protective layer and the reaction conditions for producing magnesium oxide, a flat plate other than a spherical shape can be obtained by a chemical method such as a sol-gel reaction. It has been found that it is possible to form magnesium oxide particles in the form of particles, and when this is made into a thin film to form a protective layer, the dielectric layer immediately below can be covered more efficiently. That is, it is possible to form a uniform and thin magnesium oxide layer by applying a solution of a hydrolyzate of a magnesium compound as described below and applying the solution, and a protective layer for a dielectric layer of an AC plasma display. As the voltage becomes uniform, the control of the discharge starting voltage and the driving voltage is promoted, the power consumption is significantly reduced, and the thickness of the display itself can be reduced.

【００１３】特に、平板状粒子から基本的に構成される
酸化マグネシウム層を得る為には、前記コーティング液
中の加水分解物が平板状粒子であるのが好ましい。又、
平板粒子状の加水分解物を得る為には、前記マグネシウ
ム化合物として、マグネシウムアルコキシドを用いるの
が好ましい。又、コーティングゾル溶液中のマグネシウ
ム化合物の加水分解物の形状が平板状粒子であること、
及びその粒径を１０ｎｍ〜１０μｍとすることにより、
塗布後の微粒子が平面的に誘電体層の表面に形成され、
その結果、上述の保護層の薄化や消費電力の低下が更に
促進される。ここでコーティング液中の前記マグネシウ
ム化合物濃度が固形分で０．１重量％未満であると、形
成される保護層が充分な特性を発揮することが出来ず、
一方、３０重量％より多いと膜厚が厚くなりすぎて、膜
にひび割れ等が生じるので好ましくない。In particular, in order to obtain a magnesium oxide layer basically composed of tabular grains, the hydrolyzate in the coating solution is preferably tabular grains. or,
In order to obtain a tabular grain hydrolyzate, it is preferable to use magnesium alkoxide as the magnesium compound. Further, the shape of the hydrolyzate of the magnesium compound in the coating sol solution is tabular grains,
And by setting the particle size to 10 nm to 10 μm,
Fine particles after coating are formed on the surface of the dielectric layer in a plane,
As a result, the thinning of the protective layer and the reduction in power consumption are further promoted. When the magnesium compound concentration in the coating liquid is less than 0.1% by weight in terms of solid content, the protective layer formed cannot exhibit sufficient characteristics,
On the other hand, if it is more than 30% by weight, the film thickness becomes too thick and cracks or the like occur in the film, which is not preferable.

【００１４】又、本発明の交流型プラズマディスプレイ
の製造方法によれば、前記マグネシウム化合物を含むコ
ーティング液を誘電体層の表面に対しコーティング法を
用いて塗布することにより、保護層を形成するもので、
大面積に対し、低コストで造膜が可能であるから、例え
ば、大面積（例えば、対角４０インチ程度）のカラーテ
レビのディスプレイを低コストで製造するにあたって極
めて好適である。Further, according to the method of manufacturing an AC type plasma display of the present invention, the protective layer is formed by applying the coating liquid containing the magnesium compound to the surface of the dielectric layer by a coating method. so,
Since it is possible to form a film on a large area at a low cost, it is extremely suitable for manufacturing a large area (for example, a diagonal of about 40 inches) color television display at a low cost.

【００１５】[0015]

【好ましい実施態様】次に好ましい実施態様を挙げて本
発明を更に詳細に説明する。図１は、カラーテレビのデ
ィスプレイ（パネル）に適用される面放電方式の交流型
プラズマディスプレイの概略構造を示しており、符号
１、２は、夫々ガス放電空間３を挟んで互いに平行に対
向配置された前面基板及び背面基板である。これら基板
１及び２は、所定厚さのガラスから構成されている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, the present invention will be described in more detail with reference to preferred embodiments. FIG. 1 shows a schematic structure of an AC plasma display of a surface discharge type applied to a display (panel) of a color television. Reference numerals 1 and 2 are arranged in parallel to each other with a gas discharge space 3 in between. These are a front substrate and a back substrate that are formed. These substrates 1 and 2 are made of glass having a predetermined thickness.

【００１６】前面基板１の背面基板２に面する対向面に
は、Ｘ電極４ａ及びＹ電極４ｂからなる電極対４が形成
されている。これら電極対４はガラス製の誘電体層５で
被覆されており、更にこの誘電体層５は、本発明による
酸化マグネシウム含有層からなる保護層６で被覆されて
いる。又、一方の背面基板２の前面基板１に面する対向
面には、アドレス電極７、障壁８及び蛍光体９が形成さ
れている。An electrode pair 4 consisting of an X electrode 4a and a Y electrode 4b is formed on the surface of the front substrate 1 facing the rear substrate 2. These electrode pairs 4 are covered with a dielectric layer 5 made of glass, and this dielectric layer 5 is further covered with a protective layer 6 comprising a magnesium oxide-containing layer according to the present invention. An address electrode 7, a barrier 8 and a phosphor 9 are formed on the opposite surface of the one rear substrate 2 facing the front substrate 1.

【００１７】以上の例は本発明を説明する為の交流型プ
ラズマディスプレイの１例であり、以下に説明する保護
層の構成を除き、本発明は図１に示した構造の交流型プ
ラズマディスプレイに限定されるものではない。本発明
では、上記保護層をマグネシウム化合物の加水分解物を
含有するコーティング液を、誘電体層上に塗布及び焼成
して酸化マグネシウム層とすることによって形成され
る。The above example is one example of the AC type plasma display for explaining the present invention, and the present invention is applied to the AC type plasma display having the structure shown in FIG. 1 except for the constitution of the protective layer described below. It is not limited. In the present invention, the protective layer is formed by applying a coating liquid containing a hydrolyzate of a magnesium compound onto the dielectric layer and baking the coating liquid to form a magnesium oxide layer.

【００１８】前記マグネシウム化合物としては、水と反
応させることによって加水分解し、酸化マグネシウム及
び／又は水酸化マグネシウムが生成することが確認され
ているマグネシウム化合物がいずれも使用可能である
が、具体的にはゾルーゲル法による無機ガラスやセラミ
ックスの前駆体として知られるマグネシウムアルコキシ
ド誘導体、マグネシウムアセチルアセトネート誘導体、
又はマグネシウムカルボキシレート誘導体の有機金属化
合物、対応するマグネシウム硝酸塩、塩化物、硫酸塩或
はそれらの無機金属化合物、各々の加水分解物、部分加
水分解物及び部分縮合物から選ばれた１種又は２種以上
が挙げられる。As the magnesium compound, any magnesium compound which has been confirmed to be hydrolyzed by reaction with water to produce magnesium oxide and / or magnesium hydroxide can be used. Is a magnesium alkoxide derivative, a magnesium acetylacetonate derivative, which is known as a precursor of inorganic glass or ceramics by the sol-gel method,
Or one or two selected from organometallic compounds of magnesium carboxylate derivatives, corresponding magnesium nitrates, chlorides, sulfates or inorganic metal compounds thereof, respective hydrolyzates, partial hydrolysates and partial condensates. There are more than one species.

【００１９】特に、マグネシウム化合物としてマグネシ
ウムアルコキシドを用いると、加水分解物として比較的
粒径の揃った平板状微粒子が得られ易く好適である。加
水分解反応は、上記マグネシウム化合物及び水を反応系
内に添加することによって進行し、更に加熱することに
よって反応速度を増大させることが出来る。又、反応を
均一で効率良く進行させる為に反応を溶媒中で行うこと
が好ましい。溶媒としては特に限定されないが、水、ア
ルコール、エステル、エーテル、或はプロピレンカーボ
ネート、γ−ブチロラクトン等の高誘電率有機溶媒が使
用可能である。In particular, the use of magnesium alkoxide as the magnesium compound is preferable because it is easy to obtain tabular fine particles having a relatively uniform particle size as a hydrolyzate. The hydrolysis reaction proceeds by adding the magnesium compound and water into the reaction system, and the reaction rate can be increased by further heating. It is also preferable to carry out the reaction in a solvent in order to proceed the reaction uniformly and efficiently. The solvent is not particularly limited, but water, alcohols, esters, ethers, or high dielectric constant organic solvents such as propylene carbonate and γ-butyrolactone can be used.

【００２０】酸化マグネシウム膜の途中段階として水酸
化マグネシウムゾルを調製する。その際に反応は大量の
水溶液中で行うことが好ましいが、最終的には生成物の
溶媒中での安定性も考慮すると、アルコール、特にメタ
ノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等を併
せて使用することが好ましい。前記コーティング液の濃
度は、いずれも固形分で０．１〜３０重量％であり、好
ましくは０．１〜１０重量％であり、０．１重量％未満
であると形成される保護膜が、保護膜としての特性が充
分に発揮出来ず 一方、３０重量％を越えると透明均質
膜の形成が困難となる。又、本発明においては、以上の
固形分以内であるならば、有機物や無機物バインダーを
用いることも可能である。特に加熱により金属酸化物と
なる無機物バインダーが密着性や保護膜特性の向上が期
待できるためより好ましい。A magnesium hydroxide sol is prepared as an intermediate stage of the magnesium oxide film. In that case, the reaction is preferably carried out in a large amount of aqueous solution, but finally, considering the stability of the product in a solvent, alcohol, particularly methanol, ethanol, propanol, butanol, etc. should be used together. Is preferred. The coating liquid has a solid content of 0.1 to 30% by weight, preferably 0.1 to 10% by weight, and a protective film formed when the concentration is less than 0.1% by weight, On the other hand, the characteristics as a protective film cannot be fully exhibited, while when it exceeds 30% by weight, it becomes difficult to form a transparent homogeneous film. Further, in the present invention, an organic or inorganic binder may be used as long as it is within the above solid content. In particular, an inorganic binder which becomes a metal oxide by heating can be expected to improve adhesiveness and protective film characteristics, and is therefore more preferable.

【００２１】本発明では、マグネシウム化合物を反応さ
せることにより加水分解物の生成、加水分解物同士の縮
合反応によるゾルの形成、ゾルを熟成させることによる
ゾルの成長、及び成長したゾルを基体上に塗布及び加熱
することにによる酸化マグネシウム膜の形成という一連
の反応を含む。その際に酸化マグネシウムを製造する反
応は、室内でも起こり得るが、反応速度を高める溶媒の
沸点以下の温度、即ちアルコールの場合、約１００℃以
下まで加熱することが可能である。In the present invention, a hydrolyzate is produced by reacting a magnesium compound, a sol is formed by a condensation reaction of hydrolysates, a sol is grown by aging the sol, and the grown sol is placed on a substrate. It includes a series of reactions of forming a magnesium oxide film by coating and heating. At that time, the reaction for producing magnesium oxide may occur in the room, but it is possible to heat the temperature to a temperature lower than the boiling point of the solvent for increasing the reaction rate, that is, up to about 100 ° C. in the case of alcohol.

【００２２】本発明の交流型プラズマディスプレイの製
造方法では、前記マグネシウム化合物を含むコーティン
グ液を、前記誘電体層の表面に対し、コーティング法を
用いて塗布し、その後コーティング物を焼成することに
より、前記保護層を形成する。本発明において反応が終
了した溶液はそのまま基体上への塗布液として供し得
る。このとき、低沸点の溶媒を用いた場合、室温下での
乾燥で均一な膜が得られるが、膜の強度を向上させるこ
と、水酸化マグネシウムから酸化マグネシウムへ移行さ
せること、及び膜の結晶性を高める等の理由により、焼
成条件は３００〜６００℃程度の温度範囲と約０．５〜
５時間の焼成時間が好ましい。In the method for manufacturing an AC plasma display of the present invention, the coating liquid containing the magnesium compound is applied to the surface of the dielectric layer by a coating method, and then the coated product is baked, The protective layer is formed. The solution in which the reaction has been completed in the present invention can be used as it is as a coating liquid on the substrate. At this time, when a solvent having a low boiling point is used, a uniform film can be obtained by drying at room temperature, but improving the strength of the film, converting magnesium hydroxide to magnesium oxide, and crystallinity of the film. For reasons such as increasing the temperature, the firing conditions are in the temperature range of about 300 to 600 ° C. and about 0.5 to
A firing time of 5 hours is preferred.

【００２３】前記コーティング液の誘電体層上への塗布
方法としては、スピンコート法、ディップ法、スプレー
法、ロールコーター法、メニスカスコーター法、フレキ
ソ印刷法、スクリーン印刷法、ビードコーター法等種々
考えられる。かかる方法によって本発明によるコーティ
ング溶液を塗布することにより、従来のペーストでは実
現が困難であった１μｍ以下の薄膜形成が可能である。
本発明における酸化マグネシウム膜は、交流型プラズマ
ディスプレイの誘電体層上に形成される保護膜として使
用されるが、特に限定されるものではなくその他の基体
にも目的に応じて使用することが出来る。Various coating methods such as spin coating method, dipping method, spraying method, roll coater method, meniscus coater method, flexo printing method, screen printing method, bead coater method, etc. can be considered as the coating method of the coating liquid on the dielectric layer. To be By applying the coating solution according to the present invention by such a method, it is possible to form a thin film having a thickness of 1 μm or less, which is difficult to achieve with the conventional paste.
The magnesium oxide film in the present invention is used as a protective film formed on the dielectric layer of an AC plasma display, but is not particularly limited and can be used for other substrates depending on the purpose. .

【００２４】[0024]

【実施例】次に実施例を挙げて本発明を更に詳細に説明
する。 実施例 先ずコーティング液の調製について説明する。マグネシ
ウムジメトキシドを純水に溶かし０．６４３モル／リッ
トルのＭｇ⁺²溶液とする。これを８０℃で１２時間加熱
すると、やや粘性のある透明水酸化マグネシウムゾル分
散コーティング溶液が得られる。この様な生成条件によ
って得られた水酸化マグネシウムは６角平板状を呈する
と共に、その粒径は５０〜２００ｎｍとなる。上記のコ
ーティングゾル溶液の溶媒をエタノールに交換した後、
超音波で再分散させる。この様な操作により重縮合反応
が抑えられて安定なゾル溶液を得ることが出来る。Next, the present invention will be described in more detail with reference to examples. Example First, the preparation of the coating liquid will be described. Magnesium dimethoxide is dissolved in pure water to prepare a 0.643 mol / liter Mg ⁺² solution. When this is heated at 80 ° C. for 12 hours, a slightly viscous transparent magnesium hydroxide sol dispersion coating solution is obtained. The magnesium hydroxide obtained under such production conditions has a hexagonal plate shape, and its particle size is 50 to 200 nm. After replacing the solvent of the coating sol solution with ethanol,
Redisperse with ultrasound. By such an operation, the polycondensation reaction is suppressed and a stable sol solution can be obtained.

【００２５】次に交流型プラズマディスプレイの作製
（誘電体層５への酸化マグネシウム保護層６の形成）に
ついて説明する。図１は、本発明において構成されたカ
ラーテレビのディスプレイ（パネル）に適用される面放
電方式の交流型プラズマディスプレイの概略構造を示し
ており、具体的には前記説明の通りである。上記交流型
プラズマディスプレイにおける保護層６は以下の様にし
て形成される。Next, production of an AC plasma display (formation of the magnesium oxide protective layer 6 on the dielectric layer 5) will be described. FIG. 1 shows a schematic structure of a surface discharge type AC plasma display applied to a display (panel) of a color television constructed according to the present invention, which is specifically as described above. The protective layer 6 in the AC plasma display is formed as follows.

【００２６】実施例１の手法により調製した水酸化マグ
ネシウムゾル分散コーティング液を誘電体層５の表面に
対し、コーティング印刷法の一種であるディップコーテ
ィング法を用いて大気中で塗布する。塗布膜形成後、１
２０℃で１時間乾燥させ、５００℃で２時間キープの熱
処理（焼成）を施す。この後、水分を最終的に水蒸気と
して気化させる後処理として適宜加熱温度でベーキング
を施す。実施例で得られた酸化マグネシウム保護層と、
比較の為に真空プロセスを用いて作製した酸化マグネシ
ウム保護層のＳＥＭ写真を図２及び図３に示す。コーテ
ィング法を用いた実施例の場合には６角平板状粒子から
保護膜が構成されていることがわかる。The magnesium hydroxide sol-dispersed coating liquid prepared by the method of Example 1 is applied to the surface of the dielectric layer 5 in the atmosphere by using a dip coating method which is a kind of coating printing method. After forming the coating film, 1
It is dried at 20 ° C. for 1 hour, and kept at 500 ° C. for 2 hours by heat treatment (baking). After that, baking is appropriately performed at a heating temperature as a post-treatment for finally vaporizing the water vapor. A magnesium oxide protective layer obtained in Example,
For comparison, SEM photographs of the magnesium oxide protective layer produced by using the vacuum process are shown in FIGS. 2 and 3. In the case of the example using the coating method, it can be seen that the protective film is composed of hexagonal tabular grains.

【００２７】以上により保護層６が形成されるが、ディ
ップコート法で形成する保護層６は、真空プロセスによ
る造膜法に比較すると、大面積に対し低コストで造膜が
可能であるから、例えば、大面積（例えば、対角４０イ
ンチ程度）のカラーテレビのディスプレイを低コストで
製造することが出来る。又、上記実施例の生成条件で調
製したコーティング液を上記の形成条件で誘電体層５に
対して塗布及び焼成して保護層６を形成することによ
り、水酸化マグネシウムゾル粒子は、誘電体層５の表面
上においてその面方向が誘電体層５と平行な状態に成長
しながら積層し、その結果、保護層６の積層を極めて薄
くすることが出来る。Although the protective layer 6 is formed as described above, the protective layer 6 formed by the dip coating method can form a film on a large area at a low cost as compared with the film forming method by the vacuum process. For example, a large area (for example, a diagonal of about 40 inches) color television display can be manufactured at low cost. Further, the magnesium hydroxide sol particles are formed into a dielectric layer by forming the protective layer 6 by applying the coating liquid prepared under the producing conditions of the above-mentioned example to the dielectric layer 5 under the above-mentioned forming conditions and firing. The layers of the protective layer 6 can be made extremely thin as a result of the layers being grown on the surface of the protective layer 6 in a direction parallel to the dielectric layer 5.

【００２８】一般に交流型プラズマディスプレイの保護
層は、２μｍ以下の層厚で形成することが実用上最も必
要充分な条件とされているが、この２μｍの層厚を上記
方法では充分に形成し得る。その保護層６の層厚である
が、層厚が例えば１０μｍ程度と厚いと、交流型プラズ
マディスプレイの重要な特性の一つであるメモリ機能の
発生源である壁電荷効果を弱めることになって駆動電圧
を高くする必要が生じ、その結果として、駆動回路に用
いるトランジスタの出電圧を高耐圧仕様にせねばならな
くなる。Generally, the protective layer of an AC type plasma display is required to have a layer thickness of 2 μm or less for practical use, but the layer thickness of 2 μm can be sufficiently formed by the above method. . Regarding the layer thickness of the protective layer 6, if the layer thickness is as thick as, for example, about 10 μm, the wall charge effect which is a source of the memory function, which is one of the important characteristics of the AC plasma display, is weakened. It becomes necessary to increase the drive voltage, and as a result, the output voltage of the transistor used in the drive circuit must be made to have a high withstand voltage specification.

【００２９】ところが、上記実施例の如く形成した酸化
マグネシウムの保護層６は、平板状の酸化マグネシウム
粒子から形成されているので、薄膜の場合でも誘電体層
を完全に被覆することが可能となる為、膜厚の調整が任
意に行えるので、２μｍ程度の層厚の保護層の形成が可
能で、しかも亀裂により誘電体層５が露出する恐れが無
い。この様に保護層６の層厚を薄く出来ることにより、
駆動電圧の低下を促進することが出来てコスト低下を実
現出来ると共に、ディスプレイ自体の厚さを極めて薄く
することが可能となる。However, since the magnesium oxide protective layer 6 formed as in the above embodiment is formed of tabular magnesium oxide particles, it is possible to completely cover the dielectric layer even in the case of a thin film. Therefore, since the film thickness can be arbitrarily adjusted, a protective layer having a layer thickness of about 2 μm can be formed, and the dielectric layer 5 is not exposed by cracks. By making the protective layer 6 thin in this way,
It is possible to promote the reduction of the driving voltage and realize the cost reduction, and it is possible to make the display itself extremely thin.

【００３０】次にパネル性能を測定する為に実施例で作
製した保護層６を含むパネルを作製した。測定に用いた
パネルは、前面ガラス基板上にスクリーン印刷でバリア
リブを形成後、蛍光体を塗布したものと、背面ガラス基
板上に真空蒸着法により形成したＣｒ電極をパターニン
グ後、同じく真空蒸着法で電極上に絶縁層を形成した
後、本発明の方法で酸化マグネシウム膜を形成したもの
を貼り合わせたものである。ここでＣｒ電極の膜厚は
２，０００Å、絶縁層膜厚は８，０００Å、封入ガスは
Ｈｅ−Ｘｅ（１．１％）ペニングガスを５００Ｔｏｒｒ
封入した。駆動波形は駆動周波数１５ｋＨｚ、デューテ
ィ比２３％の交流パルスである。測定の結果、実施例の
保護層をもつパネルの最小点火電圧Ｖｆ＝２００Ｖ、最
小維持電圧Ｖｓｍ＝１４５Ｖ、メモリーマージン（Ｖｆ
−Ｖｓｍ）５５Ｖであった。Next, in order to measure the panel performance, a panel including the protective layer 6 produced in the example was produced. The panel used for the measurement was formed by forming barrier ribs by screen printing on the front glass substrate, applying phosphor, and patterning Cr electrodes formed by vacuum deposition on the rear glass substrate, and then by the same vacuum deposition method. After forming an insulating layer on an electrode, a magnesium oxide film formed by the method of the present invention is bonded. Here, the Cr electrode has a film thickness of 2,000 Å, the insulating layer has a film thickness of 8,000 Å, and the enclosed gas is He-Xe (1.1%) Penning gas of 500 Torr.
Enclosed. The drive waveform is an AC pulse with a drive frequency of 15 kHz and a duty ratio of 23%. As a result of the measurement, the minimum ignition voltage Vf = 200V, the minimum sustaining voltage Vsm = 145V, and the memory margin (Vf) of the panel having the protective layer of the example.
-Vsm) 55V.

【００３１】[0031]

【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、交
流型プラズマディスプレイの誘電体層を覆う保護層を、
平板状粒子から基本的に構成される酸化マグネシウム層
で構成したことにより、誘電体層を完全に被覆すること
が出来、保護層の膜厚が薄くなるに伴って放電開始電圧
や駆動電圧の制御が促進されて消費電力が大幅に低下
し、且つディスプレイ自体の厚さの薄化が実現出来ると
いった効果を奏する。又、本発明の交流型プラズマディ
スプレイの製造方法によれば、上記コーティング液を誘
電体層の表面に対しコーティング法を用いて塗布するこ
とにより保護層を形成することを特徴としており、コー
ティング法は大面積に対し低コストで造膜が可能である
から、例えば、大面積（例えば、対角４０インチ程度）
のカラーテレビのディスプレイを低コストで製造するに
当たって極めて好適である。As described above, according to the present invention, the protective layer covering the dielectric layer of the AC type plasma display is
By using a magnesium oxide layer that is basically composed of tabular grains, the dielectric layer can be completely covered, and the discharge start voltage and drive voltage can be controlled as the protective layer becomes thinner. The effect is that the power consumption is significantly reduced due to the promotion of the power consumption, and the thickness of the display itself can be reduced. Further, according to the method for manufacturing an AC plasma display of the present invention, a protective layer is formed by applying the coating liquid on the surface of the dielectric layer by a coating method. Since it is possible to form a film at a low cost for a large area, for example, a large area (for example, a diagonal of about 40 inches)
Is extremely suitable for manufacturing the color television display at low cost.

【００３２】[0032]

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明の面放電方式の交流型プラズマディスプ
レイの概略を示す断面図。FIG. 1 is a cross-sectional view showing an outline of a surface discharge type AC plasma display of the present invention.

【図２】コーティング法による保護層を形成している酸
化マグネシウム粒子の状態を説明する図。FIG. 2 is a diagram illustrating a state of magnesium oxide particles forming a protective layer by a coating method.

【図３】ＥＢ蒸着による保護層を形成している酸化マグ
ネシウム粒子の状態を説明する図。FIG. 3 is a diagram illustrating a state of magnesium oxide particles forming a protective layer by EB vapor deposition.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１：前面基板 ２：背面基板 ４ａ：Ｘ電極 ４ｂ：Ｙ電極 ４：電極対 ５：誘電体層 ６：保護層 ７：アドレス電極 ８：障壁 ９：蛍光体 1: Front substrate 2: Rear substrate 4a: X electrode 4b: Y electrode 4: Electrode pair 5: Dielectric layer 6: Protective layer 7: Address electrode 8: Barrier 9: Phosphor

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 ガス放電空間を挟んで背面基板と前面基
板が対向配置され、少なくとも一方の基板には、誘電体
層に覆われた互いに対となる電極が夫々形成されると共
に、誘電体層の上には保護膜が形成されてなる交流型プ
ラズマディスプレイにおいて、前記保護層が、平板状粒
子から基本的に構成される酸化マグネシウム層であるこ
とを特徴とする交流型プラズマディスプレイ。1. A back substrate and a front substrate are arranged to face each other with a gas discharge space interposed therebetween, and at least one of the substrates is provided with respective electrodes covered by a dielectric layer and forming a pair with each other. An alternating-current plasma display having a protective film formed thereon, wherein the protective layer is a magnesium oxide layer basically composed of tabular grains. 【請求項２】 酸化マグネシウム層が、基板面に対して
並行に並んだ平板状粒子から構成されている請求項１に
記載の交流型プラズマディスプレイ。2. The AC plasma display according to claim 1, wherein the magnesium oxide layer is composed of tabular grains arranged in parallel with the surface of the substrate. 【請求項３】 酸化マグネシウム層を構成する平板状粒
子の粒径が、１０ｎｍ〜１０μｍである請求項１に記載
の交流型プラズマディスプレイ。3. The AC plasma display according to claim 1, wherein the tabular grains forming the magnesium oxide layer have a particle size of 10 nm to 10 μm. 【請求項４】 ガス放電空間を挟んで背面基板と前面基
板を対向配置し、少なくとも一方の基板に、誘電体層に
覆われた互いに対となる電極を夫々形成すると共に、誘
電体層の上に保護膜を形成する交流型プラズマディスプ
レイの製造方法において、前記保護層を、マグネシウム
化合物の加水分解物を含むコーティング液を基体上に塗
布した後加熱して、平板状粒子から基本的に構成される
酸化マグネシウム層として形成することを特徴とする交
流型プラズマディスプレイの製造方法。4. A back substrate and a front substrate are arranged so as to face each other with a gas discharge space interposed therebetween, and at least one of the substrates is provided with electrodes that form a pair and are covered with a dielectric layer. In the method for manufacturing an AC plasma display in which a protective film is formed on the protective layer, the protective layer is basically composed of tabular grains by applying a coating liquid containing a hydrolyzate of a magnesium compound on a substrate and then heating the coating liquid. Forming a magnesium oxide layer according to the present invention. 【請求項５】 マグネシウム化合物が、マグネシウム有
機金属化合物、マグネシウム無機金属化合物、及びそれ
らの加水分解物、部分加水分解物及び部分縮合物から選
ばれる１種或は２種以上である請求項４に記載の交流型
プラズマディスプレイの製造方法。5. The magnesium compound is one or more selected from a magnesium organic metal compound, a magnesium inorganic metal compound, and a hydrolyzate, partial hydrolyzate and partial condensate thereof. A method for manufacturing the described AC type plasma display. 【請求項６】 コーティング液のマグネシウム化合物の
濃度が、固形分基準で０．１〜３０重量％である請求項
４に記載の交流型プラズマディスプレイの製造方法。6. The method for producing an AC plasma display according to claim 4, wherein the concentration of the magnesium compound in the coating liquid is 0.1 to 30% by weight based on the solid content.