JPH0825823A - 印刷凹版およびその製造方法 - Google Patents
印刷凹版およびその製造方法Info
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- JPH0825823A JPH0825823A JP16546494A JP16546494A JPH0825823A JP H0825823 A JPH0825823 A JP H0825823A JP 16546494 A JP16546494 A JP 16546494A JP 16546494 A JP16546494 A JP 16546494A JP H0825823 A JPH0825823 A JP H0825823A
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- JP
- Japan
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- alignment marker
- metal film
- glass
- etching
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 基体１がガラス系脆性基体であっても、短時
間で正確に位置測定が行える。 【構成】 ガラス系脆性基体１と、このガラス系脆性基
体１上に形成した基体エッチングパターン５ならびに基
体エッチングによる位置合わせマーカー６と、この基体
エッチングによる位置合わせマーカー６の上に重ねて形
成した金属膜エッチングによる位置合わせマーカー８と
を備えたものである。
間で正確に位置測定が行える。 【構成】 ガラス系脆性基体１と、このガラス系脆性基
体１上に形成した基体エッチングパターン５ならびに基
体エッチングによる位置合わせマーカー６と、この基体
エッチングによる位置合わせマーカー６の上に重ねて形
成した金属膜エッチングによる位置合わせマーカー８と
を備えたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、位置合わせマーカー
を形成したガラス系脆性基体印刷凹版およびその製造方
法に関するものである。
を形成したガラス系脆性基体印刷凹版およびその製造方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、オフセット印刷等に用いられる凹
版の基体材料には金属が用いられてきたが、近年作成の
し易さならびに安価な点から、ガラスや石英のようなガ
ラス系脆性基体を使用する場合も増えてきており、パタ
ーニングの手段として、主として湿式法のエッチング液
浸漬法等が実用化されている。
版の基体材料には金属が用いられてきたが、近年作成の
し易さならびに安価な点から、ガラスや石英のようなガ
ラス系脆性基体を使用する場合も増えてきており、パタ
ーニングの手段として、主として湿式法のエッチング液
浸漬法等が実用化されている。
【０００３】印刷に用いられる凹版は、通常、版面と同
一の面に位置合わせマーカーを形成し、これを多くは光
学式の位置測定センサで読み取って、印刷の所定位置の
設定や調整等を行っている。この位置合わせマーカーが
ないと、多色刷り等複数回の印刷を行う場合、それぞれ
の印刷において位置ずれを起こしてしまう恐れがある。
一の面に位置合わせマーカーを形成し、これを多くは光
学式の位置測定センサで読み取って、印刷の所定位置の
設定や調整等を行っている。この位置合わせマーカーが
ないと、多色刷り等複数回の印刷を行う場合、それぞれ
の印刷において位置ずれを起こしてしまう恐れがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】印刷に際しては、凹版
として用いるエッチングパターンと同一の面に、位置合
わせマーカーをエッチングパターンと同様に凹面で作成
する。金属で作られた凹版では、この凹面とその他の部
分の反射率が大幅に異なることから、これらの位置合わ
せマーカーは、広く使われている光学式の位置測定セン
サで容易に読み取ることができる。
として用いるエッチングパターンと同一の面に、位置合
わせマーカーをエッチングパターンと同様に凹面で作成
する。金属で作られた凹版では、この凹面とその他の部
分の反射率が大幅に異なることから、これらの位置合わ
せマーカーは、広く使われている光学式の位置測定セン
サで容易に読み取ることができる。
【０００５】凹版の基体に、ガラスや石英のようなガラ
ス系脆性基体を用いた場合について、図３を用いて説明
する。図において、１１はガラス系脆性基体、１２は基
体エッチングパターン、１３は位置合わせマーカーであ
る。位置合わせマーカー１３は、ガラス系脆性基体１１
に作られた所要の基体エッチングパターン１２と同様に
して、同一の面に凹面で作成される。
ス系脆性基体を用いた場合について、図３を用いて説明
する。図において、１１はガラス系脆性基体、１２は基
体エッチングパターン、１３は位置合わせマーカーであ
る。位置合わせマーカー１３は、ガラス系脆性基体１１
に作られた所要の基体エッチングパターン１２と同様に
して、同一の面に凹面で作成される。
【０００６】しかし、ガラス系脆性基体１１が透明であ
る場合、この位置合わせマーカー１３の凹面とその他の
部分の反射率はほとんど差がなく、広く使われている光
学式の位置測定センサでは、位置合わせマーカー１３と
周囲の基体平面部との識別がつき難い。このため、位置
測定センサによる位置合わせマーカー１３の検出に時間
を要したり、誤った位置測定を行う等の問題が多く発生
した。
る場合、この位置合わせマーカー１３の凹面とその他の
部分の反射率はほとんど差がなく、広く使われている光
学式の位置測定センサでは、位置合わせマーカー１３と
周囲の基体平面部との識別がつき難い。このため、位置
測定センサによる位置合わせマーカー１３の検出に時間
を要したり、誤った位置測定を行う等の問題が多く発生
した。
【０００７】この発明の目的は、基体がガラス系脆性基
体であっても、短時間で正確に位置測定が行える印刷凹
版およびその製造方法を提供することである。
体であっても、短時間で正確に位置測定が行える印刷凹
版およびその製造方法を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１の印刷凹版は、
ガラス系脆性基体と、このガラス系脆性基体上に形成し
たパターンならびに位置合わせマーカーと、この位置合
わせマーカーの上に重ねて形成した金属膜位置合わせマ
ーカーとを備えたものである。請求項２の印刷凹版の製
造方法は、ガラス系脆性基体上に金属膜を形成し、この
金属膜上に樹脂パターンを形成し、この樹脂パターンを
マスクとして金属膜にエッチングにより金属膜パターン
を形成し、樹脂パターンを除去し、金属膜パターンをマ
スクとしてガラス系脆性基体にエッチングによりパター
ンならびに位置合わせマーカーを形成し、この位置合わ
せマーカーを覆って金属膜パターン上に貼付パッチを貼
付し、この貼付パッチをマスクとして金属膜パターンを
エッチングにより除去し、位置合わせマーカーの上に重
ねて金属膜位置合わせマーカーを形成したものである。
ガラス系脆性基体と、このガラス系脆性基体上に形成し
たパターンならびに位置合わせマーカーと、この位置合
わせマーカーの上に重ねて形成した金属膜位置合わせマ
ーカーとを備えたものである。請求項２の印刷凹版の製
造方法は、ガラス系脆性基体上に金属膜を形成し、この
金属膜上に樹脂パターンを形成し、この樹脂パターンを
マスクとして金属膜にエッチングにより金属膜パターン
を形成し、樹脂パターンを除去し、金属膜パターンをマ
スクとしてガラス系脆性基体にエッチングによりパター
ンならびに位置合わせマーカーを形成し、この位置合わ
せマーカーを覆って金属膜パターン上に貼付パッチを貼
付し、この貼付パッチをマスクとして金属膜パターンを
エッチングにより除去し、位置合わせマーカーの上に重
ねて金属膜位置合わせマーカーを形成したものである。
【０００９】
【作用】請求項１の構成によれば、ガラス系脆性基体上
に、位置合わせマーカーならびにその上に重ねて金属膜
位置合わせマーカーを形成したので、印刷作業に際して
は、広く使われている光学式の位置測定センサによっ
て、位置合わせマーカーとその周辺部とが充分識別で
き、版面と同一の面にある位置合わせマーカーの読み取
りが容易に行える。
に、位置合わせマーカーならびにその上に重ねて金属膜
位置合わせマーカーを形成したので、印刷作業に際して
は、広く使われている光学式の位置測定センサによっ
て、位置合わせマーカーとその周辺部とが充分識別で
き、版面と同一の面にある位置合わせマーカーの読み取
りが容易に行える。
【００１０】請求項２の構成によれば、ガラス系脆性基
体上に、位置合わせマーカーならびにその上に重ねて金
属膜位置合わせマーカーが形成され、版面と同一の面に
ある位置合わせマーカーの読み取りが容易に行える。ま
た、印刷凹版の製造に際しては、位置合わせマーカーを
覆って貼付パッチを貼付ならびに除去する工程が新たに
付加されるのみであり、特別な構造，材料，工程等が不
要である。
体上に、位置合わせマーカーならびにその上に重ねて金
属膜位置合わせマーカーが形成され、版面と同一の面に
ある位置合わせマーカーの読み取りが容易に行える。ま
た、印刷凹版の製造に際しては、位置合わせマーカーを
覆って貼付パッチを貼付ならびに除去する工程が新たに
付加されるのみであり、特別な構造，材料，工程等が不
要である。
【００１１】
【実施例】この発明の一実施例を図１および図２に示
す。まず、図２を用いて、印刷凹版の製造方法について
説明する。 図２（ａ）に示すように、厚さ１．１mm、縦横寸法
１００mm×１００mmの青板ガラスをガラス系脆性基体１
とし、このガラス系脆性基体１上に厚さ１０００Åのク
ロム（Ｃｒ）からなる金属膜２を形成する。
す。まず、図２を用いて、印刷凹版の製造方法について
説明する。 図２（ａ）に示すように、厚さ１．１mm、縦横寸法
１００mm×１００mmの青板ガラスをガラス系脆性基体１
とし、このガラス系脆性基体１上に厚さ１０００Åのク
ロム（Ｃｒ）からなる金属膜２を形成する。
【００１２】 図２（ｂ）に示すように、金属膜２上
に厚さ２μｍのフォトレジストからなる樹脂層を塗布
し、露光，現像を行って所望の樹脂パターン３を形成す
る。 図２（ｃ）に示すように、樹脂パターン３をマスク
として酸化セリウム系のエッチャントを用いて、湿式エ
ッチングにより金属膜パターン４を作成し、続いてレジ
スト剥離剤等を用いて樹脂パターン３を全面除去する。
に厚さ２μｍのフォトレジストからなる樹脂層を塗布
し、露光，現像を行って所望の樹脂パターン３を形成す
る。 図２（ｃ）に示すように、樹脂パターン３をマスク
として酸化セリウム系のエッチャントを用いて、湿式エ
ッチングにより金属膜パターン４を作成し、続いてレジ
スト剥離剤等を用いて樹脂パターン３を全面除去する。
【００１３】 図２（ｄ）に示すように、金属膜パタ
ーン４をマスクとして弗化水素酸系のエッチャントを用
いて、湿式エッチングにより、基体エッチングパターン
５および基体エッチングによる位置合わせマーカー６を
作成する。 図２（ｅ）に示すように、基体エッチングによる位
置合わせマーカー６を覆うように、耐酸性の貼付パッチ
７を貼付し、酸化セリウム系のエッチャント等を用い
て、貼付パッチ７に覆われた部分以外の個所の金属膜パ
ターン４を除去する。
ーン４をマスクとして弗化水素酸系のエッチャントを用
いて、湿式エッチングにより、基体エッチングパターン
５および基体エッチングによる位置合わせマーカー６を
作成する。 図２（ｅ）に示すように、基体エッチングによる位
置合わせマーカー６を覆うように、耐酸性の貼付パッチ
７を貼付し、酸化セリウム系のエッチャント等を用い
て、貼付パッチ７に覆われた部分以外の個所の金属膜パ
ターン４を除去する。
【００１４】 図２（ｆ）に示すように、貼付パッチ
７を除去し、基体エッチングによる位置合わせマーカー
６、および金属膜エッチングによる位置合わせマーカー
８を露出させ、ガラス系脆性基体印刷凹版９を得る。図
１は、このようにして形成されたガラス系脆性基体印刷
凹版９の斜視図を示している。
７を除去し、基体エッチングによる位置合わせマーカー
６、および金属膜エッチングによる位置合わせマーカー
８を露出させ、ガラス系脆性基体印刷凹版９を得る。図
１は、このようにして形成されたガラス系脆性基体印刷
凹版９の斜視図を示している。
【００１５】表１に、この実施例のガラス系脆性基体印
刷凹版９の位置測定センサによる位置合わせマーカー
６，８の読み取り時間および読み取りの誤読率につい
て、従来例と比較して示す。なお、従来例は、図３に示
したように、基体エッチングによる位置合わせマーカー
１３のみを形成したものである。
刷凹版９の位置測定センサによる位置合わせマーカー
６，８の読み取り時間および読み取りの誤読率につい
て、従来例と比較して示す。なお、従来例は、図３に示
したように、基体エッチングによる位置合わせマーカー
１３のみを形成したものである。
【００１６】
【表１】 このように、従来例である基体エッチングによる位置合
わせマーカー１３のみの場合は、位置測定センサによる
読み取り時間が多く必要であり、また位置読み取りの誤
読の発生も多く、位置合わせマーカー１３の読み取りは
難しいということが言える。
わせマーカー１３のみの場合は、位置測定センサによる
読み取り時間が多く必要であり、また位置読み取りの誤
読の発生も多く、位置合わせマーカー１３の読み取りは
難しいということが言える。
【００１７】これに対して、この発明の実施例による同
一個所に同形状の基体エッチングによる位置合わせマー
カー６および金属膜エッチングによる位置合わせマーカ
ー８をもったものでは、位置測定センサによる読み取り
は短時間であり、また位置読み取り時の誤読の発生も少
なく、位置合わせマーカー６，８の読み取りは非常に容
易であると言える。
一個所に同形状の基体エッチングによる位置合わせマー
カー６および金属膜エッチングによる位置合わせマーカ
ー８をもったものでは、位置測定センサによる読み取り
は短時間であり、また位置読み取り時の誤読の発生も少
なく、位置合わせマーカー６，８の読み取りは非常に容
易であると言える。
【００１８】また、この発明の実施例によれば、従来の
製造工程と同一である基体エッチング工程の後、基体エ
ッチングによる位置合わせマーカー６を含んでいる箇所
を貼付パッチ７で覆うという工程、また金属膜パターン
４を除去した後に貼付パッチ７を除去するという工程の
２工程が増加するのみであり、その所要時間、必要材
料、所要設備はほとんど前後の工程で吸収が可能であ
る。このように、この実施例の構造や製造法は従来例の
構造や製造法と大きな違いがなく、材料，使用工程もほ
とんど同一で、わずかの材料付加ならびに工程付加で大
きな効果を得ることができる。
製造工程と同一である基体エッチング工程の後、基体エ
ッチングによる位置合わせマーカー６を含んでいる箇所
を貼付パッチ７で覆うという工程、また金属膜パターン
４を除去した後に貼付パッチ７を除去するという工程の
２工程が増加するのみであり、その所要時間、必要材
料、所要設備はほとんど前後の工程で吸収が可能であ
る。このように、この実施例の構造や製造法は従来例の
構造や製造法と大きな違いがなく、材料，使用工程もほ
とんど同一で、わずかの材料付加ならびに工程付加で大
きな効果を得ることができる。
【００１９】また、この発明の実施例での基体エッチン
グは、湿式エッチング液浸漬法であるので、フォトマス
クを使用し、フォトマスクに関わる費用ならびにフォト
工程に関する費用を必要とするが、微細加工品質は優れ
ており、また同じパターンのパターンエッチング基体を
複数個作成する場合、フォトマスクをマスターとしてい
くつも複製できるから、量産性に富んでいる。そのう
え、この方法によればパターン形成が浸漬エッチングに
よるため、材料費，設備費，生産工程数が少ない等、工
業的にも生産性が高く、コスト的にも有利である。
グは、湿式エッチング液浸漬法であるので、フォトマス
クを使用し、フォトマスクに関わる費用ならびにフォト
工程に関する費用を必要とするが、微細加工品質は優れ
ており、また同じパターンのパターンエッチング基体を
複数個作成する場合、フォトマスクをマスターとしてい
くつも複製できるから、量産性に富んでいる。そのう
え、この方法によればパターン形成が浸漬エッチングに
よるため、材料費，設備費，生産工程数が少ない等、工
業的にも生産性が高く、コスト的にも有利である。
【００２０】なお、以上の実施例では、基体に青板ガラ
スを用いたが、ほう硅酸ガラスなどガラス系脆性材料の
構造体が使用可能である。また金属膜２として、多くの
金属が使用可能であるが、望むべくはクロム（Ｃｒ），
ニッケル（Ｎｉ）がもっとも有効である。金属薄膜の厚
みは、５００Å以上で有効と考えられるが、耐久性と経
済性より１０００Å〜３０００Åが望ましい。
スを用いたが、ほう硅酸ガラスなどガラス系脆性材料の
構造体が使用可能である。また金属膜２として、多くの
金属が使用可能であるが、望むべくはクロム（Ｃｒ），
ニッケル（Ｎｉ）がもっとも有効である。金属薄膜の厚
みは、５００Å以上で有効と考えられるが、耐久性と経
済性より１０００Å〜３０００Åが望ましい。
【００２１】また、所望の樹脂パターン３の厚みは、
０．５μｍ以上で有効と考えられるが、耐久性と経済性
より、１μｍ〜３μｍ程度が望ましい。また、金属膜２
のエッチャントは実施例に示した以外、金属に対応した
他の種類のエッチャントの選択ができる。また、基体１
のエッチャントは実施例に示した以外、基体１に対応し
た他の種類のエッチャントの選択ができる。
０．５μｍ以上で有効と考えられるが、耐久性と経済性
より、１μｍ〜３μｍ程度が望ましい。また、金属膜２
のエッチャントは実施例に示した以外、金属に対応した
他の種類のエッチャントの選択ができる。また、基体１
のエッチャントは実施例に示した以外、基体１に対応し
た他の種類のエッチャントの選択ができる。
【００２２】また、金属膜２を残す箇所は、基体エッチ
ングによる位置合わせマーカー６を含んでいるなら、他
の箇所に広げても特に支障はなく、感光性樹脂など貼付
パッチ７以外の材料を使用しても同様の効果を得ること
ができる。
ングによる位置合わせマーカー６を含んでいるなら、他
の箇所に広げても特に支障はなく、感光性樹脂など貼付
パッチ７以外の材料を使用しても同様の効果を得ること
ができる。
【００２３】
【発明の効果】請求項１の構成によれば、ガラス系脆性
基体上に、位置合わせマーカーならびにその上に重ねて
金属膜位置合わせマーカーを形成したので、印刷作業に
際しては、広く使われている光学式の位置測定センサに
よって、位置合わせマーカーとその周辺部とが充分識別
でき、版面と同一の面にある位置合わせマーカーの読み
取りが容易に行える。したがって、位置測定センサによ
る位置合わせマーカーの検出に時間を必要とせず、かつ
誤読率を低減できるという効果が得られる。
基体上に、位置合わせマーカーならびにその上に重ねて
金属膜位置合わせマーカーを形成したので、印刷作業に
際しては、広く使われている光学式の位置測定センサに
よって、位置合わせマーカーとその周辺部とが充分識別
でき、版面と同一の面にある位置合わせマーカーの読み
取りが容易に行える。したがって、位置測定センサによ
る位置合わせマーカーの検出に時間を必要とせず、かつ
誤読率を低減できるという効果が得られる。
【００２４】請求項２の構成によれば、ガラス系脆性基
体上に、位置合わせマーカーならびにその上に重ねて金
属膜位置合わせマーカーが形成され、版面と同一の面に
ある位置合わせマーカーの読み取りが容易に行え、検出
時間の短縮ならびに誤読率を低減できる。また、印刷凹
版の製造に際しては、位置合わせマーカーを覆って貼付
パッチを貼付ならびに除去する工程が新たに付加される
のみであり、特別な構造，材料，工程等が不要であり、
材料費，設備費，工程の追加が不要であるという効果が
得られる。さらに、パターン形成が浸漬エッチングによ
り行え、材料費や設備費が安く、生産工程数が少なく、
処理時間が短い等、工業的にも生産性が高く、コスト的
に有利である。しかも、パターン形成が湿式法であるか
ら、エッチング液浸漬法の特長である微細なパターンが
形成可能であるなど、高い微細加工品質を得ることがで
きるという効果がある。
体上に、位置合わせマーカーならびにその上に重ねて金
属膜位置合わせマーカーが形成され、版面と同一の面に
ある位置合わせマーカーの読み取りが容易に行え、検出
時間の短縮ならびに誤読率を低減できる。また、印刷凹
版の製造に際しては、位置合わせマーカーを覆って貼付
パッチを貼付ならびに除去する工程が新たに付加される
のみであり、特別な構造，材料，工程等が不要であり、
材料費，設備費，工程の追加が不要であるという効果が
得られる。さらに、パターン形成が浸漬エッチングによ
り行え、材料費や設備費が安く、生産工程数が少なく、
処理時間が短い等、工業的にも生産性が高く、コスト的
に有利である。しかも、パターン形成が湿式法であるか
ら、エッチング液浸漬法の特長である微細なパターンが
形成可能であるなど、高い微細加工品質を得ることがで
きるという効果がある。
【図１】この発明の一実施例のガラス系脆性基体印刷凹
版の斜視図である。
版の斜視図である。
【図２】この発明の一実施例のガラス系脆性基体印刷凹
版の製造工程を示す断面図である。
版の製造工程を示す断面図である。
【図３】従来例のガラス系脆性基体印刷凹版の斜視図で
ある。
ある。
１ ガラス系脆性基体 ２ 金属膜 ３ 樹脂パターン ４ 金属膜パターン ５ 基体エッチングパターン ６ 基体エッチングによる位置合わせマーカー ７ 貼付パッチ ８ 金属膜エッチングによる位置合わせマーカー ９ ガラス系脆性基体印刷凹版
Claims (2)
- 【請求項１】 ガラス系脆性基体と、このガラス系脆性
基体上に形成したパターンならびに位置合わせマーカー
と、この位置合わせマーカーの上に重ねて形成した金属
膜位置合わせマーカーとを備えた印刷凹版。 - 【請求項２】 ガラス系脆性基体上に金属膜を形成し、
この金属膜上に樹脂パターンを形成し、この樹脂パター
ンをマスクとして前記金属膜にエッチングにより金属膜
パターンを形成し、前記樹脂パターンを除去し、前記金
属膜パターンをマスクとして前記ガラス系脆性基体にエ
ッチングによりパターンならびに位置合わせマーカーを
形成し、この位置合わせマーカーを覆って前記金属膜パ
ターン上に貼付パッチを貼付し、この貼付パッチをマス
クとして前記金属膜パターンをエッチングにより除去
し、前記位置合わせマーカーの上に重ねて金属膜位置合
わせマーカーを形成する印刷凹版の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16546494A JPH0825823A (ja) | 1994-07-18 | 1994-07-18 | 印刷凹版およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16546494A JPH0825823A (ja) | 1994-07-18 | 1994-07-18 | 印刷凹版およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0825823A true JPH0825823A (ja) | 1996-01-30 |
Family
ID=15812918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16546494A Pending JPH0825823A (ja) | 1994-07-18 | 1994-07-18 | 印刷凹版およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0825823A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010245467A (ja) * | 2009-04-10 | 2010-10-28 | Siix Corp | 透明部品の実装方法 |
-
1994
- 1994-07-18 JP JP16546494A patent/JPH0825823A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010245467A (ja) * | 2009-04-10 | 2010-10-28 | Siix Corp | 透明部品の実装方法 |
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