JPH08254452A - 振動式測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は磁石とコイルとが相対変位可能に組
み合わされた加振器，ピックアップの動作をスムーズに
行わせるよう構成した振動式測定装置を提供することを
目的とする。 【構成】 質量流量計１は、加振器ユニット１９により
振動するセンサチューブ７，８に流体を通過させ、ピッ
クアップユニット２０，２１により流量に応じた大きさ
のコリオリ力、即ち時間差を検出する。加振器ユニット
１９、ピックアップユニット２０，２１は、センサチュ
ーブ７，８に固定された各支持板２３，２４により支持
されている。加振器ユニット１９の各加振器には、コイ
ル１９ａと磁石１９ｂとの相対変位方向をガイドするガ
イド機構２９が設けられている。磁石１９ｂを支持する
磁石支持部材は、コイル１９ａを支持するコイル支持部
材内に収納された軸受により軸方向に摺動自在に軸承さ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は振動式測定装置に係り、
特に磁石とコイルとが相対変位可能に組み合わされた加
振器，ピックアップの動作をスムーズに行わせるよう構
成した振動式測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】流体が供給された管路を振動させて流体
の物理量を測定する振動式測定装置として、例えばコリ
オリ式質量流量計又は振動式密度計がある。コリオリ式
質量流量計では、振動するセンサチューブの流入側と流
出側との流量に比例した変位をピックアップにより検出
し、その位相差から質量流量を求めようになっている。
また、振動式密度計では、センサチューブの固有振動数
より流体の密度を測定するようになっている。このコリ
オリ式質量流量計と振動式密度計は、同一構成であるの
で、以下コリオリ式質量流量計について説明することに
する。

【０００３】この種の従来の質量流量計の一例として
は、特開昭６３−３０７２１号公報により開示された流
量計がある。この公報の質量流量計は、被測流体が通過
する際の圧力損失を低減するため直線状に延在する一対
のセンサチューブを加振器（駆動コイルと磁石とよりな
る）により半径方向に振動させ、流量に比例したコリオ
リ力による一対のセンサチューブの相対変位をピックア
ップ（センサコイルと磁石とよりなる）により検出する
よう構成されている。

【０００４】そして、加振器及びピックアップは、夫々
一対のセンサチューブの互いに平行に延在する直管部分
にろう付け等により固定された支持板に取り付けられ
る。その際、加振器及びピックアップは、コイルと磁石
との相対変位方向がセンサチューブの振動方向と一致
し、且つ磁石が非接触でコイル内を移動できるように取
り付けなければならない。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
振動式測定装置では、組立工程時に加振器，ピックアッ
プのコイルと磁石との相対変位方向がセンサチューブの
振動方向と一致するように各支持板に取り付けても、実
際にセンサチューブを振動させると支持板をセンサチュ
ーブに固定する際のばらつき等によりコイルと磁石との
相対変位方向がセンサチューブの振動方向からずれた
り、あるいはセンサチューブがコイルと磁石との相対変
位方方向からずれた方向に振動する場合がある。このよ
うにコイルと磁石との相対変位方向とセンサチューブの
振動方向とが一致しない場合、加振器，ピックアップの
磁石がコイル内壁に接触してしまうおそれがある。

【０００６】そのため、従来の振動式測定装置において
は、組立工程時に各コイルと磁石との相対変位方向がセ
ンサチューブの振動方向と一致するように加振器，ピッ
クアップの取付位置を調整して各磁石がコイル内壁を擦
らないようにしなければならず、その調整作業が面倒で
あるといった問題がある。

【０００７】また、加振器及びピックアップの各コイル
及び磁石の取付位置を１つずつ調整する必要があるた
め、全てのコイル及び磁石の取付位置調整が完了するま
でに多大な時間を要し、上記調整作業に手間がかかって
生産効率が低下するといった問題もあった。

【０００８】そこで、本発明は上記問題を解決した振動
式測定装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記請求項１の発明は、
磁石とコイルとが相対変位可能に組み合わされた加振
器，ピックアップを有し、該加振器により加振されたセ
ンサチューブの変位を該ピックアップにより検出する振
動式測定装置において、前記加振器及びピックアップの
磁石とコイルとの相対変位方向と前記センサチューブの
振動方向とを一致させるガイド機構を備えてなることを
特徴とするものである。

【００１０】また、請求項２の発明は、前記ガイド機構
が、少なくとも前記加振器又はピックアップのうちいず
れかに設けられたことを特徴とするものである。また、
請求項３の発明は、前記ガイド機構が、前記磁石とコイ
ルとの相対変位方向をガイドするリニアベアリングを有
することを特徴とするものである。

【００１１】

【作用】上記請求項１の発明によれば、ガイド機構によ
り加振器及びピックアップの磁石とコイルとの相対変位
方向とセンサチューブの振動方向とを一致させるさせる
ことができるので、加振器及びピックアップのコイルと
磁石とが接触することを防止できる。

【００１２】また、請求項２の発明によれば、ガイド機
構が少なくとも加振器又はピックアップのうちいずれか
に設けられているので、加振器又はピックアップの磁石
とコイルとの変位方向を直接ガイドすることができる。
また、請求項３の発明によれば、ガイド機構が磁石とコ
イルとの相対変位方向をガイドするリニアベアリングを
有するため、磁石の変位方向をセンサチューブの振動方
向にガイドすると共に、磁石とコイルとの相対変位をス
ムーズにさせることができる。

【００１３】

【実施例】図１に本発明になる振動式測定装置の一実施
例としてのコリオリ式質量流量計を示す。尚、図１は質
量流量計１の構成を示す縦断面図である。質量流量計１
は密閉されたケーシング２内に被測流体が通過する管路
３を挿通してなる。管路３は、軸方向に変位可能なベロ
ーズ４Ａ，４Ｂと、流入管５と、流入側マニホールド６
と、一対のセンサチューブ７，８と、流出側マニホール
ド９と、流出管１０とより構成されている。

【００１４】一対のセンサチューブ７，８は流体の流れ
方向（Ｘ方向）に直線状に延在するステンレス製の直管
よりなり、上記流入側マニホールド６と流出側マニホー
ルド９との間で平行に設けられている。また、センサチ
ューブ７，８の両端近傍には、センサチューブ７，８が
貫通して固定されるサポート板１１，１２が横架されて
いる。従って、センサチューブ７，８は、サポート板１
１，１２により平行となるように支持されており、計測
時にはサポート板１１，１２を支点として振動すること
になる。

【００１５】ケーシング２は円筒状のケーシング本体１
３の両端開口を蓋部材１４，１５により閉蓋した密閉構
造になっており、ケーシング２内の収納室１６に挿入さ
れた上記管路３表面に結露が発生することが防止され
る。さらに、密閉された収納室１６には、乾燥した保護
気体（例えば、アルゴンガス等）が所定圧力に充填され
ている。

【００１６】上記流入管５は、流入側端部に上流側配管
（図示せず）に連結されるフランジ５ａを有し、流入管
５の他端はケーシング２の蓋部材１４を貫通してケーシ
ング２の内部に延出している。流入側マニホールド６
は、上流側がベローズ４Ａに接続固定され、下流側がセ
ンサチューブ７，８の上流側端部に接続固定されてい
る。

【００１７】流出側マニホールド９は、上流側がセンサ
チューブ７，８の下流側端部に接続され、下流側がベロ
ーズ４Ｂの上流側端部に接続されている。流出管１０
は、上流側端部が流出側マニホールド９に接続固定さ
れ、下流側端部がケーシング２の蓋部材１５を貫通して
下流側（Ｘ方向）へ突出している。尚、流出管１０の下
流側端部には下流側配管（図示せず）に連結されるフラ
ンジ１０ａが設けられている。

【００１８】上流側のベローズ４Ａは、軸方向に伸縮自
在な構造でセンサチューブ７，８が熱膨張あるいは収縮
した場合、センサチューブ７，８の長手方向の伸縮のみ
を吸収する。そのため、ケーシング２の蓋部材１４と流
入側マニホールド６との間には、流入側マニホールド６
が振動しないように保持する防振機構１７が設けられて
いる。

【００１９】この防振機構１７は、一端が蓋部材１４に
固定され他端がケーシング２内に延在する複数の支柱１
７ａと、複数の支柱１７ａの他端間に横架されて流入側
マニホールド６に結合された金属ダイヤフラム１７ｂと
よりなる。従って、流入側マニホールド６は、防振機構
１７により軸方向に移動可能に支持されるとともに、横
方向への移動を規制される。

【００２０】また、下流側のベローズ４Ｂも上記上流側
のベローズ４Ａと同様に伸縮自在な構造でセンサチュー
ブ７，８が熱膨張あるいは収縮した場合、センサチュー
ブ７，８の長手方向の伸縮を吸収する。そのため、ケー
シング２の側壁２ｃと流出側マニホールド９との間に
は、流入側マニホールド９が振動しないように保持する
防振機構１８が設けられている。

【００２１】この防振機構１８は、上記防振機構１７と
同様に一端が蓋部材１５に固定され他端がケーシング２
内に延在する複数の支柱１８ａと、複数の支柱１８ａの
他端間に横架されて流出側マニホールド９に結合された
金属ダイヤフラム１８ｂとよりなる。従って、流出側マ
ニホールド９は、防振機構１８により軸方向に移動可能
に支持されるとともに、横方向への移動を規制される。

【００２２】１９は加振器ユニットで、励振信号が入力
される励振コイル１９ａと磁石１９ｂとを対向させた実
質電磁ソレノイドと同様な加振器を有する構成であり、
一対のセンサチューブ７，８の略中間部間に設けられて
いる。２０は上流側ピックアップユニットで、センサチ
ューブ７，８の振幅に応じた検出信号を出力するセンサ
コイル２０ａと磁石２０ｂとを対向させたピックアップ
を有する構成であり、上記加振器ユニット１９より上流
側に位置するように配設されている。

【００２３】２１は下流側ピックアップユニットで、セ
ンサチューブ７，８の振幅に応じた検出信号を出力する
センサコイル２１ａと磁石２１ｂとを対向させたピック
アップを有する構成であり、上記加振器ユニット１９よ
り下流側に位置するように配設されている。即ち、上記
各ピックアップユニット２０，２１は、夫々電磁ソレノ
イドと同様な構成であり、加振器ユニット１９により加
振されたセンサチューブ７，８の変位に応じたセンサコ
イル２０ａ，２１ａと磁石２０ｂ，２１ｂとの相対変位
により発生する電圧値を出力する。

【００２４】また、加振器ユニット１９，ピックアップ
ユニット２０，２１は、後述するように環状に形成され
たコイル１９ａ，２０ａ，２１ａと、コイル１９ａ，２
０ａ，２１ａ内に挿入された棒状の磁石１９ｂ，２０
ｂ，２１ｂとを有する構成であり、センサチューブ７，
８の振動によりコイル１９ａ，２０ａ，２１ａと磁石１
９ｂ，２０ｂ，２１ｂとの相対位置が変化するようにな
っている。そして、加振器ユニット１９，ピックアップ
ユニット２０，２１は、夫々センサチューブ７，８に固
定された支持板２３，２４に支持されている。

【００２５】流量計測時、上記構成になる質量流量計１
において、一対のセンサチューブ７，８は加振器１９に
より近接、離間する方向（Ｙ方向）に加振される。上流
側配管（図示せず）から供給された被測流体は流入管５
より上流側のベローズ４Ａを通ってマニホールド６に至
り、さらにマニホールド６の流路を通過して振動するセ
ンサチューブ７，８内に流入する。そして、センサチュ
ーブ７，８を通過した流体はマニホールド９の流路より
下流側のベローズ４Ｂを通って流出管１０より下流側配
管（図示せず）に流出する。

【００２６】このように、振動するセンサチューブ７，
８に流体が流れると、その流量に応じた大きさのコリオ
リ力が発生する。そのため、直管状のセンサチューブ
７，８の流入側と流出側で動作遅れが生じ、これにより
上流側のピックアップユニット２０の出力信号と下流側
のピックアップユニット２１の出力信号とでは位相差が
あらわれる。

【００２７】このように流入側と流出側との位相差が流
量に比例するため、流量計測制御回路２２は、ピックア
ップユニット２０からの出力信号とピックアップユニッ
ト２１からの出力信号の位相差に基づいて流量を演算す
る。図２は加振器ユニット１９，ピックアップユニット
２０，２１を個別に支持する支持板２３，２４の構成を
示す図である。

【００２８】本実施例では、各支持板２３，２４が同一
形状であり、各支持板２３，２４には加振器，ピックア
ップが２個ずつ配設されている。尚、各支持板２３，２
４に１個又は３個以上の加振器，ピックアップを取り付
ける構成としても良いのは勿論である。

【００２９】一方の支持板２３はセンサチューブ７に固
定され、他方の支持板２４はセンサチューブ８に固定さ
れる。即ち、各支持板２３，２４には、センサチューブ
７，８が挿通されるための貫通孔２３ａ，２４ａが穿設
されており、貫通孔２３ａ，２４ａに挿通されたセンサ
チューブ７，８の外周がろう付け等により固定される。

【００３０】そして、加振器ユニット１９，ピックアッ
プユニット２０，２１のコイル１９ａ，２０ａ，２１ａ
は筒状のコイル支持部材２５に固着され、各コイル支持
部材２５は取付ネジ２６の締め付けにより支持板２３の
取付部２３ｃ及び支持板２４の取付部２４ｂに固定され
る。また、磁石１９ｂ，２０ｂ，２１ｂは棒状の磁石支
持部材２７に固着され、各磁石支持部材２７は取付ネジ
２８の締め付けにより支持板２３の取付部２３ｂ及び支
持板２４の取付部２４ｃに固定される。

【００３１】各加振器，ピックアップは、環状に形成さ
れたコイル１９ａ，２０ａ，２１ａ内に棒状の磁石１９
ｂ，２０ｂ，２１ｂが挿入された構成であるため、例え
ば上記支持部材２５，２７が傾いた状態で取り付けられ
てしまうと、センサチューブ７，８の振動方向と一致せ
ず、傾いた角度だけずれた方向に相対変位することにな
る。この場合、コイル１９ａ，２０ａ，２１ａと磁石１
９ｂ，２０ｂ，２１ｂとの相対位置関係がずれてしま
い、コイル１９ａ，２０ａ，２１ａ内壁に磁石１９ｂ，
２０ｂ，２１ｂが接触するおそれがある。

【００３２】そのため、本実施例では、コイル１９ａ，
２０ａ，２１ａと磁石１９ｂ，２０ｂ，２１ｂとの相対
変位方向とセンサチューブ７，８の振動方向とを一致さ
せるようにガイドするガイド機構２９が加振器ユニット
１９の各加振器に設けられている。

【００３３】図３に加振器及びガイド機構２９の縦断面
図を示す。ここで、加振器及びガイド機構２９の構成に
ついて説明する。ガイド機構２９は、磁石１９ｂを支持
する磁石支持部材２７がコイル１９ａを支持するコイル
支持部材２５内に収納された軸受３０により軸方向に摺
動自在に軸承される構成となっている。そして、本実施
例では、ガイド機構２９が加振器に設けられているの
で、加振器の磁石１９ｂの変位方向を直接センサチュー
ブ７，８の振動方向と一致するようにガイドできると共
に、ガイド機構２９を加振器と別体に設けるよりも構成
の簡略化を図ることができる。

【００３４】コイル支持部材２５は、筒状に形成されて
おり、内部に磁石１９ｂが挿入される中空部２５ａが設
けられている。また、コイル支持部材２５は、一端の外
周にコイル１９ａが巻回されたコイル巻回部２５ｂを有
し、他端側には支持板２３又は２４に固定される固定部
２５ｃが設けられている。そして、固定部２５ｃには、
取付ネジ２８が挿通されるための孔２５ｄが貫通されて
いる。

【００３５】この固定部２５ｃの内部には、軸受３０が
収納される凹部２５ｅと、軸受３０の脱落を防止するリ
ング状のナット３１が螺合するめねじ部２５ｆが設けら
れている。軸受３０は環状に形成されたリニアベアリン
グであり、外周側が凹部２５ｅ内に嵌合した状態でナッ
ト３１に挟持される。そして、軸受３０の内周には、磁
石支持部材２７の先端部分２７ａが摺動自在に嵌合する
孔３０ａが形成されている。そのため、磁石支持部材２
７は、先端部分２７ａを軸受３０の孔３０ａ内に挿入さ
せた状態で軸方向に摺動可能に軸承される。

【００３６】また、本実施例では、軸受３０がリニアベ
アリングよりなるため、センサチューブ７，８の振動方
向と磁石支持部材２７の変位方向を一致させると共に、
磁石支持部材２７の先端部分２７ａがセンサチューブ
７，８の振動方向にスムーズに変位できるようにガイド
することができる。

【００３７】磁石支持部材２７は、パイプ状に形成され
た磁石１９ｂが嵌合する嵌合部２７ｂを有し、この嵌合
部２７ｂの先端には丸棒状に形成された上記先端部分２
７ａが軸方向に延在している。また、磁石支持部材２７
の他端側には支持板２３又は２４に固定される固定部２
７ｃが設けられている。そして、固定部２７ｃには、取
付ネジ２６が挿通されるための孔２７ｄが貫通されてい
る。

【００３８】磁石支持部材２７は、先端部分２７ａのつ
け根部分に磁石１９ｂの脱落を防止するためのナット３
２が螺合するためのおねじ部２７ｅを有し、ナット３２
はワッシャ３３を介して磁石１９ｂを軸方向から押圧し
て挟持する。そして、コイル支持部材２５の固定部２５
ｃが取付ネジ２８の締め付けにより支持板２３に固定さ
れると共に、磁石支持部材２７の固定部２７ｃが取付ネ
ジ２６の締め付けにより支持板２４に固定されると、磁
石１９ｂは磁石支持部材２７に支持された状態のままコ
イル支持部材２５の中空部２５ａに挿入され、コイル１
９ａの内側に挿入された状態に取り付けられる。

【００３９】さらに、磁石支持部材２７は先端部分２７
ａがコイル支持部材２５の中空部２５ａ内に保持された
軸受３０により軸方向（Ｙ方向）に摺動可能に軸承され
ているため、コイル１９ａと磁石１９ｂとの相対変位方
向は、先端部分２７ａと軸受３０との嵌合によりガイド
される。

【００４０】そのため、加振器ユニット１９の各コイル
１９ａ及び磁石１９ｂを支持板２３，２４に取り付ける
際、各コイル１９ａの軸線と磁石１９ｂの軸線が一致し
た状態で取り付けられる。その結果、コイル１９ａと磁
石１９ｂとの相対位置が正確に位置決めされ、計測時に
コイル１９ａと磁石１９ｂとが非接触状態のまま安定に
相対変位することができる。

【００４１】このようにコイル１９ａの取付位置と磁石
１９ｂの取付位置とが正確に設定されるため、加振器ユ
ニット１９により駆動されるセンサチューブ７，８の加
振方向（振動方向）が上記ガイド機構２９によりガイド
されることになり、センサチューブ７，８の振動方向が
Ｙ方向と一致する。すなわち、ガイド機構２９により各
コイル１９ａと磁石１９ｂとの相対変位のずれが防止さ
れるため、センサチューブ７，８は振動方向が各コイル
１９ａと磁石１９ｂとの取付位置のずれ等によりずれる
ことが無く、ピックアップユニット２０，２１のコイル
２０ａ，２１ａと磁石２０ｂ，２１ｂとの相対変位方向
と一致することになる。

【００４２】従って、流量計測時には、上記ガイド機構
２９のガイド動作により各コイル１９ａと磁石１９ｂと
の相対変位方向と、センサチューブ７，８の振動方向
と、ピックアップユニット２０，２１のコイル２０ａ，
２１ａと磁石２０ｂ，２１ｂとの相対変位方向とが夫々
同一方向となり、各コイル１９ａ，２０ａ，２１ａと磁
石１９ｂ，２０ｂ，２１ｂとの接触が防止される。しか
も、流量計に比例したセンサチューブ７，８の変位をよ
り正確に検出することが可能になり、流量計測精度をよ
り一層高めることができる。

【００４３】図４はセンサチューブ７，８に固定される
前の各支持板２３，２４を示す。固定前の各支持板２
３，２４は、連結板３５を介して一体に連結された１枚
の板３６よりなる。また、連結板３５は長方形に形成さ
れ、四隅が各接続部３７ａ〜３７ｄにより各支持板２
３，２４と一体化されている。従って、各支持板２３，
２４は、各接続部３７ａ〜３７ｄを介して相互に規制し
合うことになり、取付時も各接続部３７ａ〜３７ｄが切
断されるまで互いの相対位置を維持することができる。

【００４４】この各接続部３７ａ〜３７ｄは、板３６に
一対の溝３８，３９を設けることにより、各支持板２
３，２４間に位置するように形成される。また、コイル
１９ａ，２０ａ，２１ａ及び磁石１９ｂ，２０ｂ，２１
ｂは、ボルトとナットの締め付けにより各支持板２３，
２４に取り付けられるため、取付部２３ｂ，２３ｃ及び
取付部２４ｂ，２４ｃには、ボルト挿通用の孔２３ｄ，
２４ｄが穿設されている。

【００４５】また、溝３８，３９間には、支持板２３，
２４間に位置する連結板３５が形成される。従って、支
持板２３側の接続部３７ａ，３７ｂと支持板２４側の接
続部３７ｃ，３７ｄとの間は、連結板３５により連結さ
れる。そして、各接続部３７ａ〜３７ｄは、各支持板２
３，２４がセンサチューブ７，８に固定された後に切断
される。そのため、センサチューブ７，８に固定された
各支持板２３，２４は、各接続部３７ａ〜３７ｄが切断
されることにより、図２に示される状態に分離される。

【００４６】各接続部３７ａ〜３７ｄの接続強度は、各
接続部３７ａ〜３７ｄの長さ及び断面の大きさ、つまり
体積により決まる。つまり、各接続部３７ａ〜３７ｄの
体積は、板厚ｔ，幅ａ，長さｂにより設定されるため、
板３６の板厚ｔ及び溝３８，３９の長手方向の全長ｃ，
幅ｂを変えることにより任意の寸法に設定することがで
きる。そして、各接続部３７ａ〜３７ｄは、支持板２
３，２４間を保持するのに充分な強度を有すると共に、
各支持板２３，２４がセンサチューブ７，８に固定され
た後は容易に切断することができる程度の大きさに設定
されている。

【００４７】従って、各接続部３７ａ〜３７ｄは、固定
前は支持板２３，２４の相対位置を規制でき、固定後は
工具を使用して容易に切断される。尚、本実施例では、
ニッパ又はペンチ等の手動工具を使用して各接続部３７
ａ〜３７ｄを切断することができるように、各接続部３
７ａ〜３７ｄの接続強度が設定されるようにする。

【００４８】ここで、上記のように各接続部３７ａ〜３
７ｄを介して一体とされた支持板２３，２４の取り付け
方法について説明する。図４及び図５は支持板２３，２
４の取付作業の工程を示す図である。先ず、図４に示さ
れるように、各支持板２３，２４を接続部２５ａ〜２５
ｄにより一体に接続された状態のまま、センサチューブ
７，８に固定させる。即ち、支持板２３，２４の貫通孔
２３ａ，２４ａにセンサチューブ７，８を挿通させた
後、センサチューブ７，８の外周と貫通孔２３ａ，２４
ａの内周をろう付けする。

【００４９】このように各支持板２３，２４は一体に接
続された状態でセンサチューブ７，８に固定されるた
め、従来の場合のように長手方向の取付位置がずれた
り、センサチューブ７，８を軸として回動した状態で固
定されることがなく、所定の固定位置に正確に固定され
る。

【００５０】次に、図５に示されるように、接続部３７
ａ，３７ｂをニッパ又はペンチ等の手動工具を使用して
切断する。続いて、他の接続部３７ｃ，３７ｄを切断す
る。そのため、支持板２３，２４間に介在していた連結
板３５を除去することができる。その結果、支持板２
３，２４は、図２に示されるように、互いに相対移動可
能に分離される。

【００５１】尚、各接続部３７ａ〜３７ｄは、支持板２
３，２４の周縁部近傍に位置すると共に、ニッパ又はペ
ンチ等の手動工具を使用して容易に切断できる程度の接
続強度を有するため、簡単に切断することができる。次
に図２に示されるように、センサチューブ７，８に固定
された支持板２３，２４に加振器，ピックアップを装着
する。即ち、加振器ユニット１９，ピックアップユニッ
ト２０，２１のコイル１９ａ，２０ａ，２１ａ及び磁石
１９ｂ，２０ｂ，２１ｂを各支持板２３，２４の各取付
部２３ｂ，２３ｃ，２４ｂ，２４ｃに装着させる。

【００５２】そして、装着作業と共に各コイル１９ａ，
２０ａ，２１ａと磁石１９ｂ，２０ｂ，２１ｂとの相対
位置が一致するように各コイル１９ａ，２０ａ，２１ａ
及び磁石１９ｂ，２０ｂ，２１ｂの取付位置の微調整を
行う。その際、加振器のコイル１９ａと磁石１９ｂとの
相対変位方向が上記ガイド機構２９により規制されるた
め、コイル１９ａと磁石１９ｂとの取付作業が容易に行
える。

【００５３】このように調整されたコイル１９ａ，２０
ａ，２１ａと磁石１９ｂ，２０ｂ，２１ｂとの各相対位
置は、各支持板２３，２４がセンサチューブ７，８に正
確に固定されているため、より正確に調整することがで
きる。これで、センサチューブ７，８は振動することが
でき、計測可能な状態となる。このようにして、各支持
板２３，２４がセンサチューブ７，８の所定位置に正確
に固定されるため、コイル１９ａ，２０ａ，２１ａと磁
石１９ｂ，２０ｂ，２１ｂとの各相対位置は、取付後も
維持される。

【００５４】尚、振動式密度計の場合は上記実施例の質
量流量計と同様な構成であるので、その説明は省略す
る。また、振動式密度計の場合、センサチューブの固有
振動数が流体の密度によって変化することを利用して密
度を測定するようになっており、上記高調波成分のノイ
ズを除去することにより密度測定がより正確に行える。

【００５５】また、上記実施例では、コイルと磁石との
相対変位方向をガイドするガイド機構２９を加振器に設
けた構成を一例として挙げたが、これに限らず、例えば
ガイド機構をピックアップに設けてピックアップのコイ
ルと磁石との相対変位方向をガイドするようにしても良
いし、あるいは加振器、ピックアップの外部にガイド機
構を設ける構成としても良い。

【００５６】

【発明の効果】上述の如く、上記請求項１の発明によれ
ば、ガイド機構により加振器及びピックアップの磁石と
コイルとの相対変位方向とセンサチューブの振動方向と
を一致させるさせることができるので、加振器及びピッ
クアップのコイルと磁石とが接触することを防止でき
る。そのため、計測動作時にセンサチューブの振動方向
とピックアップのコイルと磁石との相対変位方向が一致
してセンサチューブの変位をより正確に検出することが
でき、これにより計測精度をより高めることができる。

【００５７】また、請求項２の発明によれば、ガイド機
構が少なくとも加振器又はピックアップのうちいずれか
に設けられているので、加振器又はピックアップの磁石
とコイルとの変位方向を直接ガイドすることができる。
しかも、ガイド機構を加振器又はピックアップから離間
した位置に設ける場合よりも構成の簡略化を図ることが
できる。

【００５８】また、請求項３の発明によれば、ガイド機
構が磁石とコイルとの相対変位方向をガイドするリニア
ベアリングを有するため、磁石の変位方向をセンサチュ
ーブの振動方向にガイドすると共に、磁石とコイルとの
相対変位をスムーズにさせることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明になる振動式測定装置の一実施例のコリ
オリ式質量流量計を示す縦断面図である。

【図２】支持板に加振器ユニット，ピックアップユニッ
トが取り付けられた組立状態示す図である。

【図３】加振器の内部構成及びガイド機構を示す縦断面
図である。

【図４】各支持板をセンサチューブに固定する取付作業
を説明するための工程図である。

【図５】各支持板間の接続部を切断する作業を説明する
ための工程図である。

【符号の説明】

１ 質量流量計 ７，８ センサチューブ １９ 加振器ユニット １９ａ コイル １９ｂ 磁石 ２０，２１ ピックアップユニット ２３，２４ 支持板 ２５ コイル支持部材 ２７ 磁石支持部材 ２９ ガイド機構 ３０ 軸受

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁石とコイルとが相対変位可能に組み合
   わされた加振器，ピックアップを有し、該加振器により
   加振されたセンサチューブの変位を該ピックアップによ
   り検出する振動式測定装置において、 前記加振器及びピックアップの磁石とコイルとの相対変
   位方向と前記センサチューブの振動方向とを一致させる
   ガイド機構を備えてなることを特徴とする振動式測定装
   置。
2. 【請求項２】 前記ガイド機構は、少なくとも前記加振
   器又はピックアップのうちいずれかに設けられたことを
   特徴とする請求項１の振動式測定装置。
3. 【請求項３】 前記ガイド機構は、前記磁石とコイルと
   の相対変位方向をガイドするリニアベアリングを有する
   ことを特徴とする請求項１の振動式測定装置。