JPH1151733A - 振動式測定装置 - Google Patents

振動式測定装置

Info

Publication number
JPH1151733A
JPH1151733A JP22191697A JP22191697A JPH1151733A JP H1151733 A JPH1151733 A JP H1151733A JP 22191697 A JP22191697 A JP 22191697A JP 22191697 A JP22191697 A JP 22191697A JP H1151733 A JPH1151733 A JP H1151733A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnets
sensor
magnet
vibrator
vibration
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP22191697A
Other languages
English (en)
Inventor
Futoshi Takahashi
太 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokico Ltd
Original Assignee
Tokico Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokico Ltd filed Critical Tokico Ltd
Priority to JP22191697A priority Critical patent/JPH1151733A/ja
Publication of JPH1151733A publication Critical patent/JPH1151733A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 加振器の励磁コイルに供給する電流値を大き
くすることなく、加振器の励振力を大きくして、計測精
度を向上させた振動式測定装置を得ること。 【解決手段】 センサチューブ4、5を振動させる加振
ユニット30の加振器31、32のマグネットを同極同
士が相対向するように配設された2つのマグネット31
bと31c、32bと32cとすることで、マグネット
31b、32bのみのときよりも磁束密度の極大値が大
きくなるようにし、加振器31、32の励振力を大きく
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、センサチューブを
振動させてコリオリ力を発生させ、センサチューブ内の
被測定流体の質量流量及び密度を測定する振動式測定装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の振動式測定装置を質量流量計とし
て用いた一例を、図5乃至図8を用いて説明する。従来
の振動式測定装置は、ケーシング1の流入側に、サポー
ト10が設けられ、同様に流出側にサポート11が固定
されている。被測定流体が流通するセンサチューブ4、
5は、サポート10、11を貫通して平行に横架されて
いる。
【0003】センサチューブ4、5には、上流側ピック
アップユニット22、下流側ピックアップユニット2
7、及び、加振ユニット30が設けられている。加振ユ
ニット30は、センサチューブ4、5を同期振動させ、
上流側ピックアップユニット22及び下流側ピックアッ
プユニット27は、加振ユニット30によって振動させ
られたセンサチューブ4、5のy方向の変位を検出す
る。
【0004】図6に示すように、上流側ピックアップユ
ニット22は、センサコイル23aとマグネット23b
とからなるピックアップ23と、センサコイル24aと
マグネット23bとからなるピックアップ24と、から
構成されており、ステイ25及びステイ26によってセ
ンサチューブ4、5に組付けられている。下流側ピック
アップユニット27も上流側ピックアップユニット22
と同様の構成であるので説明を省略する。
【0005】加振ユニット30は、図7、図8に示すよ
うに、励磁コイル31aとマグネット31bとからなる
加振器31と、励磁コイル32aとマグネット32bと
からなる加振器32とから構成されている。そして、加
振器31のマグネット31b及び加振器31の励磁コイ
ル32aはステイ33を介してセンサチューブ4に固定
され、加振器31の励磁コイル31a及び加振器32の
マグネット32bはステイ34を介してセンサチューブ
5に固定されている。励磁コイル31a、32aに励振
電流を供給することにより、励磁コイル31aとマグネ
ット31bと、励磁コイル32aとマグネット32bと
を図中y方向に相対変位させてセンサチューブ4、5を
振動させる。
【0006】上記従来の振動式測定装置では、センサチ
ューブ4、5を振動させることによって、被測定流体の
流量に応じたコリオリ力が発生し、センサチューブ4、
5の流入側と流出側とでコリオリ力の作用方向が逆向き
になることを利用し、上流側ピックアップユニット22
と下流側ピックアップユニット27とでセンサチューブ
4、5の変位を検出し、この位相差から流量を測定して
いる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の振動式測定
装置では、加振ユニット30により発生させられたセン
サチューブ4、5の変位を上流側ピックアップ22、下
流側ピックアップ27で検出し、この変位から流量を測
定している。このため、加振ユニット30が発生する励
振力が小さいとセンサチューブ4、5の変位が小さくな
り、よって、上流側ピックアップユニット22、下流側
ピックアップユニット27でセンサチューブ4、5の変
位を正確に検出しにくくなり、正確な流量測定が行えな
くなる問題があった。特に、上記従来の振動式測定装置
を流量が大の配管部分に設置する場合、センサチューブ
4、5の口径を大きくしなくてはならず、この口径の大
きなセンサチューブ4、5を振動させるためには、正確
な流量測定を行うために加振ユニット30の励振力を大
きくする必要が生じる。
【0008】従来の振動式測定装置を質量流量計として
ではなく密度計として用いた場合にも、同様の問題が生
じる。
【0009】本発明は、加振器の励振力を従来のものよ
りも大きくでき、よって、被測定流体を正確に測定する
ことのできる振動式測定装置を提供することを目的とす
る。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、被測定流体が流通するセンサチューブ
と、前記センサチューブを支持する支持部材と、励磁コ
イルとマグネットとからなり、前記センサチューブに取
り付けられて前記センサチューブを振動させる加振器
と、前記支持部材と前記加振器との間の前記センサチュ
ーブに取り付けられ、前記センサチューブの変位を検出
するピックアップと、からなり、前記ピックアップによ
り検出されたセンサチューブの変位に基づいて、前記セ
ンサチューブ内を流通する流体の質量流量または密度を
求める振動式測定装置において、前記加振器のマグネッ
トを同極同士を相対向させた2つの磁石から構成したこ
とを特徴とする。
【0011】従って、同極同士を相対向させた2つの磁
石それぞれの磁力線が2つ重なりあうことによって、加
振器の2つの磁石により生じる磁束密度が大きくなり、
加振器の励振力を大きくすることができる。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態の振
動式測定装置を質量流量計として用いたものを図1乃至
図4に基づいて説明する。振動式測定装置は密閉された
ケーシング1内に被測定流体が流通する流路2を挿通し
てなる。流路は、流入路3と、一対のセンサチューブ
4、5と、流出路6とより構成されている。
【0013】ケーシング1は、本体7が円筒状に形成さ
れ、その両端開口が蓋部材8、9により閉塞された構造
になっている。蓋部材8は、内部に流入路3が設けられ
るとともに、流入側端部に上流側配管(図示せず)に連
結されるフランジ8aを有し、他端側はセンサチューブ
4、5を支持する支持部材であるサポート10を介して
一対のセンサチューブ4、5に接続されている。また、
蓋部材9は、内部に流出路6が設けられるとともに、流
出側端部に下流側配管(図示せず)に連結されるフラン
ジ9aを有し、他端側はセンサチューブ4、5を支持す
る支持部材であるサポート11を介して一対のセンサチ
ューブ4、5に接続されている。
【0014】サポート10は、弾性部材とシール材を兼
ねたOリング12を介して蓋部材8に固定されており、
流路2を流入路3から一対のセンサチューブ4、5に分
岐させるように、蓋部材8とともにマニホールド14を
形成している。また、サポート11は、Oリング15を
介して蓋部材9に固定されており、流路2を一対のセン
サチューブ4、5から流出路6に合流させるように、蓋
部材9とともにマニホールド17を形成している。
【0015】Oリング12、15は、ケーシング1の振
動がサポート10、11を介してセンサチューブ4、5
に伝播しないように作用する。
【0016】一対のセンサチューブ4、5は、流体の流
れ方向に直線上に延在するステンレス製の直管よりな
り、互いに平行になるように両端側がサポート10、1
1に貫通して接続されており、流入路3と流出路6とを
連通している。また、一対のセンサチューブ4、5の両
端近傍にはセンサチューブ4、5が貫通することによっ
てセンサチューブ4、5に固定される連節板18が設け
られており、流量測定時には連節板18を振動の節とし
てセンサチューブ4、5が振動する。
【0017】センサチューブ4、5には、後述の上流側
ピックアップユニット22、下流側ピックアップユニッ
ト27、加振ユニット30が設けられている。加振ユニ
ット30はセンサチューブ4、5を振動させ、上流側ピ
ックアップユニット22または下流側ピックアップユニ
ット27では、センサチューブ4、5の振動が上流側ま
たは下流側の振動の位相を検出する。
【0018】図2に示すように、上流側ピックアップユ
ニット22は、センサコイル23aとマグネット23b
とからなるピックアップ23と、センサコイル24aと
マグネット24bとからなるピックアップ24とから構
成され、ピックアップ23、24はステイ25、26を
介してセンサチューブ4、5に固定されている。従っ
て、後述の加振ユニット30によってセンサチューブ
4、5が加振方向(図中、y方向)に相対変位させられ
ると、センサコイル23a、24aとマグネット23
b、24bとが相対変位してセンサコイル23a、24
aに電圧が発生する。ピックアップ23、24は、この
電圧値を検出して制御回路(図示せず)に出力する。制
御回路では、ピックアップ23、24の出力する電圧値
の平均から上流側ピックアップユニット22が設けられ
た位置のセンサチューブ4、5の変位量を求める。
【0019】また、下流側ピックアップユニット27に
ついても、上流側ピックアップユニット22と同様の構
成であり、センサコイル28aとマグネット28b、2
8cとからなるピックアップ28と、センサコイル29
aとマグネット29b、29cとからなるピックアップ
29とから大略構成されている。そして、センサチュー
ブ4、5のy方向の変位をピックアップ28、29によ
り加振ユニット30の下流側で検出し、センサコイル2
8a、29aに発生する電圧値を制御回路に出力する。
【0020】以下に、上記構成になる振動式測定装置の
動作を説明する。流量測定時、一対のセンサチューブ
4、5は加振ユニット30により図中、y方向に加振さ
れる。加振ユニット30はセンサチューブ4、5の共振
周波数でセンサチューブ4、5を振動させることによ
り、センサチューブ7、8の振動を維持する。上流側配
管から供給された被測定流体は流入路3よりセンサチュ
ーブ4、5内に流入し、流出路6より下流側配管に流出
する。
【0021】上述のように振動するセンサチューブ4、
5に流体が流れるとその流量に応じた大きさのコリオリ
力が発生する。これにより、上流側ピックアップユニッ
ト22の出力信号と下流側ピックアップユニット27の
出力信号から検出される変位量との間には位相差が現れ
る。
【0022】この流入側と流出側との位相差が流量に比
例するため、制御回路は上流側ピックアップユニット2
2からの出力信号と下流側ピックアップユニット27か
らの出力信号の位相差に基づいて流量を演算する。
【0023】次に、本発明の主要部分である加振ユニッ
ト30について説明する。加振ユニット30は、図3に
示すように、励磁コイル31aとマグネット31b、3
1cとからなる加振器31と、励磁コイル32aとマグ
ネット32b、32cとからなる加振器32とから構成
されている。2組のマグネット31bと31c、及び、
マグネット32bと32cは、それぞれS極同士が相対
向するように配置されている。そして、加振器31のマ
グネット31b、31c及び加振器32の励磁コイル3
2aはステイ33を介してセンサチューブ4に固定さ
れ、加振器31の励磁コイル31a及び加振器32のマ
グネット32b、32cはステイ34を介してセンサチ
ューブ5に固定されている。
【0024】励磁コイル31a、32aには図示せぬ制
御回路から電流を供給するための電線が接続されてお
り、励磁コイル31a、32aに励振電流を供給するこ
とにより、励磁コイル31aとマグネット31b、31
cと、励磁コイル32aとマグネット32b、32cと
を図中、y方向に相対変位させてセンサチューブ4、5
を振動させる。
【0025】図4に加振器31の概略図及びy方向に軸
をとったときのマグネット31b、31cの磁束密度の
グラフを示す。ただし、y軸の0点は電流が供給されて
いないときの励磁コイル31aの位置と対応する座標で
ある。図4のグラフにおいて、曲線aはマグネット31
bのy方向における磁束密度の変化を表し、曲線bはマ
グネット31cのy方向における磁束密度の変化を表
し、破線で示す曲線cはマグネット31bとマグネット
31cとの2つのマグネットによって形成されるy方向
における磁束密度の変化を表している。
【0026】曲線a及び曲線cは、それぞれマグネット
31b、31cのS極及びN極の端面付近で磁束密度が
極大または極小値をとり、マグネットの端面から遠ざか
るに従って磁束密度は0に近づく。また、マグネット3
1b、31cの中心点付近の極性が反転する位置におい
て磁束密度は0となる。曲線cは、マグネット32bと
マグネット32cとの間隔の中心部において磁束密度が
極大となっており、その極大値が曲線a及び曲線bの極
大値よりも大きくなっている。これはマグネット31b
の磁力線とマグネット31cの磁力線とが互いに重なり
あって、個々のマグネットにより生ずる磁束密度よりも
大きな磁束密度となるためである。なお、マグネット3
1bとマグネット31cとの距離が離れ過ぎてしまう
と、曲線cの極大値が曲線a及び曲線bの極大値よりも
小さくなることあるため、マグネット31bをマグネッ
ト31cとの距離は曲線cの極大値が曲線a、bの極大
値よりも大きくなる所定の距離以内に設定しておく。
【0027】ここで、センサチューブ4、5をy方向に
相対変位させるための励振力は、励磁コイル31a、3
2aに供給する励振電流の大きさ及びマグネット31
b、32bの磁束密度によって決定され、励振電力また
は磁束密度を大きくすると励振力が大きくなることは、
f(励振力)=I(電流)×B(磁束密度)の式からも
明らかである。ところが、振動式測定装置は防爆構造が
必要な雰囲気において使用されることが多く、このた
め、使用する電流値を制限した本質安全防爆構造をとっ
ており、加振ユニット30の励磁コイル31a、32a
に流す電流値に上限がある。
【0028】加振器31の励振力は励磁コイル31aに
流す電流値に比例するため、センサチューブ4、5を振
動させるのに大きな励振力が必要なときには、励磁コイ
ル31a、32aに上限値の電流を供給しても必要な励
振力に達っしないことがある。つまり、従来の振動式測
定装置では、被測定流体の状態(流体密度、流速、圧力
など)や、センサチューブ4、5の状態(材質・肉厚等
による強度、口径、長さなど)によっては、加振ユニッ
ト30の励振力が不足し、測定が正確に行えないといっ
た問題が起こりえた。
【0029】しかし、本実施の形態の振動式測定装置で
は、加振器31に、2つのマグネット31b、31cの
同極同士(ここではS極同士)を相対向して設けること
により、マグネット31bまたはマグネット31cのど
ちらか一方のみが設けられているときよりも大きな磁束
密度を得ることができ、f(励振力)=I(電流)×B
(磁束密度)の式から明らかなように、励磁コイル31
aに供給する電流が同等でも、図8に示したマグネット
31bのみしか設けられていない場合に比べて、より大
きな励振力を発生することができる。
【0030】なお、加振器32については、加振器31
と同様の構成、作用であるため、説明を省略するが、上
記のように大きな励振力を発揮できる加振器31、32
を有した加振ユニット30は、全体としてもより大きな
励振力を有することとなる。
【0031】以上述べたように、本実施の形態の振動式
測定装置では、加振ユニット30の加振器31、32が
同極同士が相対向する2つのマグネットを有しているた
め、マグネットが1つであった従来の振動式測定装置の
加振器に比べてより大きな励振力を発生できる。このた
め、センサチューブ4、5のy方向の変位が大きくな
り、上流側ピックアップユニット22、下流側ピックア
ップユニット27でセンサチューブ4、5の変位を正確
に検出することができ、流量測定精度が向上する。ま
た、加振ユニット30の励振力が大きいため、本質安全
防爆に適合した電流値のみを供給する場合でも、センサ
チューブ4、5の口径を大きくして、流量が大の配管部
分にも用いることができるようになる。
【0032】尚、本実施の形態では、マグネット31b
とマグネット31c、マグネット32bと32cという
それぞれ対をなしたマグネットのS極同士が相対向する
ように配設されているが、N極同士が相対向するように
配設しても良い。また、対をなしたマグネット同士を離
間して設けずに隣接して設けても良く、マグネット同士
の距離を、図4に示すところの曲線aと曲線bとの極大
値が重なる位置に来るように設定することで、最も大き
な磁束密度が得られ、加振器の発生する励振力を最大と
することができる。
【0033】また、本実施の形態では、一対の直管状の
センサチューブ7、8が平行に配設された構成を一例と
して説明したが、これに限らず、例えば単管のセンサチ
ューブや、J字状のセンサチューブを有する構成にも本
発明が適用できる。
【0034】また、本実施の形態では、振動式測定装置
を質量流量計として用いた場合を例に説明したが、密度
計として用いる場合でも同様の効果を有する。
【0035】
【発明の効果】本発明の振動式測定装置は、加振器のマ
グネットを同極同士を相対向させた2つの磁石から構成
しているため、2つの磁石の磁力線がそれぞれ重なりあ
って個々の磁石により生ずる磁束密度よりも磁束密度が
大きくなり、磁石が1つであった従来の振動式測定装置
の加振器に比べてより大きな励振力を発生できる。この
ため、加振方向へのセンサチューブの変位が大きくな
り、ピックアップでセンサチューブの変位を正確に検出
することができ、流量測定精度が向上する。また、加振
器の励振力が大きいため、センサチューブの口径を大き
くでき、流量が大の配管部分にも用いることができるよ
うになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の振動式測定装置を示す
断面図である。
【図2】同振動式測定装置の上流側ピックアップユニッ
ト22のA−A断面図である。
【図3】同振動式測定装置の加振ユニット30のB−B
断面図である。
【図4】同振動式測定装置の加振器31の概略図、およ
び、加振器31のマグネット31b、31cのy方向に
対する磁束密度を表すグラフである。
【図5】従来の振動式測定装置を示す断面図である。
【図6】同振動式測定装置の上流側ピックアップユニッ
ト22のA−A断面図である。
【図7】同振動式測定装置の加振ユニット30のC−C
断面図である。
【図8】同振動式測定装置の加振器31の概略図、およ
び、加振器31のマグネット31bのy方向に対する磁
束密度を表すグラフである。
【符号の説明】
1 ケーシング 2 流路 3 流入路 4 センサチューブ 5 センサチューブ 6 流出路 7 本体 8 蓋部材(支持部材) 8a フランジ 9 蓋部材(支持部材) 9a フランジ 10 サポート(支持部材) 11 サポート(支持部材) 12 Oリング 14 マニホールド 15 Oリング 17 マニホールド 18 連節板 22 上流側ピックアップユニット 23 ピックアップ 23a センサコイル 23b マグネット 24 ピックアップ 24a センサコイル 24b マグネット 25 ステイ 26 ステイ 27 下流側ピックアップユニット 28 ピックアップ 28a センサコイル 28b マグネット 29 ピックアップ 29a センサコイル 29b マグネット 30 加振ユニット 31 加振器 31a 励磁コイル 31b マグネット 31c マグネット 32 加振器 32a 励磁コイル 32b マグネット 32c マグネット 33 ステイ 34 ステイ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被測定流体が流通するセンサチューブ
    と、 前記センサチューブを支持する支持部材と、 励磁コイルとマグネットとからなり、前記センサチュー
    ブに取り付けられて前記センサチューブを振動させる加
    振器と、 前記支持部材と前記加振器との間の前記センサチューブ
    に取り付けられ、前記センサチューブの変位を検出する
    ピックアップと、 からなり、前記ピックアップにより検出されたセンサチ
    ューブの変位に基づいて、前記センサチューブ内を流通
    する流体の質量流量または密度を求める振動式測定装置
    において、 前記加振器のマグネットを同極同士を相対向させた2つ
    の磁石から構成したことを特徴とする振動式測定装置。
JP22191697A 1997-08-04 1997-08-04 振動式測定装置 Pending JPH1151733A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22191697A JPH1151733A (ja) 1997-08-04 1997-08-04 振動式測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22191697A JPH1151733A (ja) 1997-08-04 1997-08-04 振動式測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1151733A true JPH1151733A (ja) 1999-02-26

Family

ID=16774175

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22191697A Pending JPH1151733A (ja) 1997-08-04 1997-08-04 振動式測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1151733A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102018131742A1 (de) * 2018-12-11 2020-06-18 Endress+Hauser Flowtec Ag Coriolis-Messaufnehmer eines Coriolis-Messgeräts und ein Coriolis-Messgerät
DE102019105736B3 (de) * 2019-03-07 2020-06-25 Endress+Hauser Flowtec Ag Coriolis-Messaufnehmer und Coriolis-Messgerät mit Coriolis-Messaufnehmer
DE102019107605A1 (de) * 2019-03-25 2020-10-01 Endress+Hauser Flowtec Ag Coriolis-Messaufnehmer und Coriolis-Messgerät
DE102019107601A1 (de) * 2019-03-25 2020-10-01 Endress + Hauser Flowtec Ag Coriolis-Messaufnehmer und Coriolis-Messgerät

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11796364B2 (en) 2018-12-11 2023-10-24 Endress+Hauser Flowtec Ag Coriolis measuring sensor of a Coriolis measuring instrument and a Coriolis measuring instrument
DE102018131742A1 (de) * 2018-12-11 2020-06-18 Endress+Hauser Flowtec Ag Coriolis-Messaufnehmer eines Coriolis-Messgeräts und ein Coriolis-Messgerät
CN113167623A (zh) * 2018-12-11 2021-07-23 恩德斯+豪斯流量技术股份有限公司 科里奥利测量仪器的科里奥利测量传感器和科里奥利测量仪器
CN113167623B (zh) * 2018-12-11 2024-01-30 恩德斯+豪斯流量技术股份有限公司 科里奥利测量仪器的测量传感器和科里奥利测量仪器
DE102018131742B4 (de) 2018-12-11 2022-12-01 Endress+Hauser Flowtec Ag Coriolis-Messaufnehmer eines Coriolis-Messgeräts und ein Coriolis-Messgerät
EP3894803B1 (de) * 2018-12-11 2023-08-16 Endress + Hauser Flowtec AG Coriolis-messaufnehmer eines coriolis-messgeräts und ein coriolis-messgerät
DE102019105736B3 (de) * 2019-03-07 2020-06-25 Endress+Hauser Flowtec Ag Coriolis-Messaufnehmer und Coriolis-Messgerät mit Coriolis-Messaufnehmer
CN113557409B (zh) * 2019-03-07 2024-03-08 恩德斯+豪斯流量技术股份有限公司 科里奥利传感器和具有该传感器的科里奥利测量设备
CN113557409A (zh) * 2019-03-07 2021-10-26 恩德斯+豪斯流量技术股份有限公司 科里奥利传感器和具有科里奥利传感器的科里奥利测量设备
DE102019107601A1 (de) * 2019-03-25 2020-10-01 Endress + Hauser Flowtec Ag Coriolis-Messaufnehmer und Coriolis-Messgerät
CN113597539B (zh) * 2019-03-25 2023-12-15 恩德斯+豪斯流量技术股份有限公司 科里奥利测量换能器和科里奥利测量设备
CN113597539A (zh) * 2019-03-25 2021-11-02 恩德斯+豪斯流量技术股份有限公司 科里奥利测量换能器和科里奥利测量设备
DE102019107605A1 (de) * 2019-03-25 2020-10-01 Endress+Hauser Flowtec Ag Coriolis-Messaufnehmer und Coriolis-Messgerät

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7143655B2 (en) Magnetic circuit arrangement for a transducer
JPH0820295B2 (ja) コリオリ効果質量流量計
JPH04223224A (ja) 質量流量測定器
JPS6330721A (ja) 質量流量計
US6684716B2 (en) Coriolis flowmeter
JP3547527B2 (ja) 質量流量計
JPH1151733A (ja) 振動式測定装置
KR20130083936A (ko) 진동 유량계의 유관 진동 방법 및 장치
JPH09196730A (ja) 振動式測定装置
JPH07286880A (ja) 振動式測定装置
JP3767120B2 (ja) 振動式測定装置
JPS61283827A (ja) 質量流量計
JP2004061125A (ja) 振動式測定装置
JP2004294090A (ja) 振動式測定装置
JPH0882541A (ja) コリオリ質量流量計
JPH09325060A (ja) 質量流量計
JPH0436410Y2 (ja)
JP2984134B2 (ja) コリオリ流量計
JP2003177048A (ja) コリオリ流量計
JPH0650784A (ja) 質量流量計
JP2801849B2 (ja) コリオリ流量計
US20010049971A1 (en) Coriolis flowmeter
JP2012026776A (ja) コリオリ式質量流量計
JP3051681B2 (ja) コリオリ流量計
JPH0835872A (ja) 振動式測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050316

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050607

A02 Decision of refusal

Effective date: 20060207

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02