JPH08252512A - 枚葉塗工装置 - Google Patents
枚葉塗工装置Info
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- JPH08252512A JPH08252512A JP7059187A JP5918795A JPH08252512A JP H08252512 A JPH08252512 A JP H08252512A JP 7059187 A JP7059187 A JP 7059187A JP 5918795 A JP5918795 A JP 5918795A JP H08252512 A JPH08252512 A JP H08252512A
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- Japan
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- ball screw
- wafer coating
- linear slider
- wafer
- straightness
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 移動速度を余り損なうことなく真直度を著し
く高めることができるリニアスライダを提供する。 【構成】 基台1上にコロ軸受3bを介してテーブル3
cを支承し、ボールネジ3gおよびボールネジナット3
eによりテーブル3cに駆動力を伝達する。
く高めることができるリニアスライダを提供する。 【構成】 基台1上にコロ軸受3bを介してテーブル3
cを支承し、ボールネジ3gおよびボールネジナット3
eによりテーブル3cに駆動力を伝達する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明はリニアスライダを用い
て、カラーフィルタなどの被塗布基板に対する枚葉塗工
を行う枚葉塗工装置に関する。
て、カラーフィルタなどの被塗布基板に対する枚葉塗工
を行う枚葉塗工装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来からカラーフィルタ基板などに対す
る塗工を行うための枚葉塗工装置において、枚葉塗工用
ステージとして、リニアモーションガイドを用いて基台
上にテーブルを往復動可能に支承するとともに、ボール
ネジ機構を介してテーブルに駆動力を与えるようにした
構成のものが提案されている。ここで、リニアモーショ
ンガイドとは、多数のボールが自転可能に設けられてい
るとともに、予め設定された所定の経路内を移動(以
下、公転と称する)可能に設けられてなるものであり、
これらボールの自転および公転によりテーブルをスムー
ズに移動させることができると思われている。また、ボ
ールの自転および公転によりテーブルを案内するのであ
るから、テーブルを高速に移動させることができ、枚葉
塗工効率を高めることができる。
る塗工を行うための枚葉塗工装置において、枚葉塗工用
ステージとして、リニアモーションガイドを用いて基台
上にテーブルを往復動可能に支承するとともに、ボール
ネジ機構を介してテーブルに駆動力を与えるようにした
構成のものが提案されている。ここで、リニアモーショ
ンガイドとは、多数のボールが自転可能に設けられてい
るとともに、予め設定された所定の経路内を移動(以
下、公転と称する)可能に設けられてなるものであり、
これらボールの自転および公転によりテーブルをスムー
ズに移動させることができると思われている。また、ボ
ールの自転および公転によりテーブルを案内するのであ
るから、テーブルを高速に移動させることができ、枚葉
塗工効率を高めることができる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、リニアモーシ
ョンガイドを用いた枚葉塗工用ステージを採用した場合
には、ピッチング、ヨーイングがかなり大きい関係上、
真直度(精度)を余り高めることができず、この結果、
塗膜組成物吐出用のノズルとテーブルとの距離がかなり
大きく変動するのであるから、塗膜の厚みを高精度に制
御することが不可能になってしまう。
ョンガイドを用いた枚葉塗工用ステージを採用した場合
には、ピッチング、ヨーイングがかなり大きい関係上、
真直度(精度)を余り高めることができず、この結果、
塗膜組成物吐出用のノズルとテーブルとの距離がかなり
大きく変動するのであるから、塗膜の厚みを高精度に制
御することが不可能になってしまう。
【0004】具体的には、リニアモーションガイドを構
成する各ボールにはそれぞれバラツキがあるとともに、
これらボールを公転させるために移動経路とボールの直
径との間にも多少の余裕があるので、両者の相乗効果に
より、真直度の上限が±5μm程度になってしまう。こ
の結果、塗膜の厚みを5μm以下の精度で制御すること
が不可能になってしまう。
成する各ボールにはそれぞれバラツキがあるとともに、
これらボールを公転させるために移動経路とボールの直
径との間にも多少の余裕があるので、両者の相乗効果に
より、真直度の上限が±5μm程度になってしまう。こ
の結果、塗膜の厚みを5μm以下の精度で制御すること
が不可能になってしまう。
【0005】なお、この不都合は、高い真直度が要求さ
れる用途に用いられるリニアスライダであれば、同様に
発生する。
れる用途に用いられるリニアスライダであれば、同様に
発生する。
【0006】
【発明の目的】この発明は上記の問題点に鑑みてなされ
たものであり、移動速度を余り損なうことなく、リニア
モーションガイドを用いる場合よりも著しく高い真直度
を達成できるリニアスライダを用いた高性能な枚葉塗工
装置を提供することを目的としている。
たものであり、移動速度を余り損なうことなく、リニア
モーションガイドを用いる場合よりも著しく高い真直度
を達成できるリニアスライダを用いた高性能な枚葉塗工
装置を提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】請求項1の枚葉塗工装置
は、高性能な枚葉塗工を達成するための高い真直度を有
するリニアスライダとして、基台上にテーブルがコロ軸
受を介して所定方向に往復動自在に支承されているとと
もに、ボールネジ機構を介して駆動力が伝達されてなる
ものを採用している。
は、高性能な枚葉塗工を達成するための高い真直度を有
するリニアスライダとして、基台上にテーブルがコロ軸
受を介して所定方向に往復動自在に支承されているとと
もに、ボールネジ機構を介して駆動力が伝達されてなる
ものを採用している。
【0008】請求項2の枚葉塗工装置は、リニアスライ
ダとして、テーブルとボールネジ機構との間に弾性部材
が設けられたものを採用している。請求項3の枚葉塗工
装置は、リニアスライダとして、コロ軸受としてV字状
に配置されたものを採用している。請求項4の枚葉塗工
装置は、高性能な枚葉塗工を達成するための高い真直度
を有するリニアスライダとして、基台上にテーブルがV
字状の滑り軸受を介して所定方向に往復動自在に支承さ
れているとともに、ボールネジ機構を介して駆動力が伝
達されてなるものを採用している。
ダとして、テーブルとボールネジ機構との間に弾性部材
が設けられたものを採用している。請求項3の枚葉塗工
装置は、リニアスライダとして、コロ軸受としてV字状
に配置されたものを採用している。請求項4の枚葉塗工
装置は、高性能な枚葉塗工を達成するための高い真直度
を有するリニアスライダとして、基台上にテーブルがV
字状の滑り軸受を介して所定方向に往復動自在に支承さ
れているとともに、ボールネジ機構を介して駆動力が伝
達されてなるものを採用している。
【0009】請求項5の枚葉塗工装置は、リニアスライ
ダとして、テーブルとボールネジ機構との間に弾性部材
が設けられたものを採用している。
ダとして、テーブルとボールネジ機構との間に弾性部材
が設けられたものを採用している。
【0010】
【作用】請求項1の枚葉塗工装置であれば、基台上にテ
ーブルがコロ軸受を介して所定方向に往復動自在に支承
されているとともに、ボールネジ機構を介して駆動力が
伝達されてなるリニアスライダを採用しているのである
から、かなり高い移動速度を確保することができるとと
もに、リニアモーションガイドを使用する場合と比較し
て高い真直度を達成することができる。この結果、枚葉
塗工速度を余り低下させることなく高精度の枚葉塗工を
達成することができる。
ーブルがコロ軸受を介して所定方向に往復動自在に支承
されているとともに、ボールネジ機構を介して駆動力が
伝達されてなるリニアスライダを採用しているのである
から、かなり高い移動速度を確保することができるとと
もに、リニアモーションガイドを使用する場合と比較し
て高い真直度を達成することができる。この結果、枚葉
塗工速度を余り低下させることなく高精度の枚葉塗工を
達成することができる。
【0011】請求項2の枚葉塗工装置であれば、テーブ
ルとボールネジ機構との間に弾性部材が設けられている
ので、ボールネジの回転に伴なう振れやボールネジ軸の
軸受部の精度低下による振動などを該弾性部材により吸
収させることができ、ボールネジの振れや振動などの外
乱がテーブルに伝達されることなく、高い真直度を保ち
ながらテーブルをスライドさせることができる。
ルとボールネジ機構との間に弾性部材が設けられている
ので、ボールネジの回転に伴なう振れやボールネジ軸の
軸受部の精度低下による振動などを該弾性部材により吸
収させることができ、ボールネジの振れや振動などの外
乱がテーブルに伝達されることなく、高い真直度を保ち
ながらテーブルをスライドさせることができる。
【0012】請求項3の枚葉塗工装置であれば、コロ軸
受としてV字状に配置されたものを採用しているので、
移動方向と直角方向の振れが規制され、テーブルのヨー
イングを大幅に低減でき、真直度を一層高めることがで
きる。請求項4の枚葉塗工装置であれば、基台上にテー
ブルがV字状の滑り軸受を介して所定方向に往復動自在
に支承されているとともに、ボールネジ機構を介して駆
動力が伝達されてなるリニアスライダを採用しているの
であるから、コロ軸受を採用した場合の真直度以上の真
直度を達成することができる。この結果、高精度の枚葉
塗工を達成することができる。
受としてV字状に配置されたものを採用しているので、
移動方向と直角方向の振れが規制され、テーブルのヨー
イングを大幅に低減でき、真直度を一層高めることがで
きる。請求項4の枚葉塗工装置であれば、基台上にテー
ブルがV字状の滑り軸受を介して所定方向に往復動自在
に支承されているとともに、ボールネジ機構を介して駆
動力が伝達されてなるリニアスライダを採用しているの
であるから、コロ軸受を採用した場合の真直度以上の真
直度を達成することができる。この結果、高精度の枚葉
塗工を達成することができる。
【0013】請求項5の枚葉塗工装置であれば、テーブ
ルとボールネジ機構との間に弾性部材が設けられている
ので、ボールネジの回転に伴なう振れやボールネジ軸の
軸受部の精度低下による振動などを該弾性部材により吸
収させることができ、ボールネジの振れや振動などの外
乱がテーブルに伝達されることなく、高い真直度を保ち
ながらテーブルをスライドすることができる。
ルとボールネジ機構との間に弾性部材が設けられている
ので、ボールネジの回転に伴なう振れやボールネジ軸の
軸受部の精度低下による振動などを該弾性部材により吸
収させることができ、ボールネジの振れや振動などの外
乱がテーブルに伝達されることなく、高い真直度を保ち
ながらテーブルをスライドすることができる。
【0014】以上の請求項1〜5の枚葉塗工装置であれ
ば、基板の枚葉塗工効率をかなり高く維持することがで
きるとともに、基板上に形成される塗膜の厚みを高精度
に制御することができ、ひいては高品質のカラーフィル
タなどを得ることができる。
ば、基板の枚葉塗工効率をかなり高く維持することがで
きるとともに、基板上に形成される塗膜の厚みを高精度
に制御することができ、ひいては高品質のカラーフィル
タなどを得ることができる。
【0015】
【実施例】以下、実施例を示す添付図面によってこの発
明を詳細に説明する。図1はこの発明の一実施例のリニ
アスライダが適用されるスリットダイコータより構成さ
れる枚葉塗工装置を示す斜視図である。このスリットダ
イコータより構成される枚葉塗工装置は、鋳物などから
なる基台1の上面所定位置にスリットダイ2を設けてい
るとともに、リニアスライダ3を設けている。
明を詳細に説明する。図1はこの発明の一実施例のリニ
アスライダが適用されるスリットダイコータより構成さ
れる枚葉塗工装置を示す斜視図である。このスリットダ
イコータより構成される枚葉塗工装置は、鋳物などから
なる基台1の上面所定位置にスリットダイ2を設けてい
るとともに、リニアスライダ3を設けている。
【0016】上記スリットダイ2は、Z軸ステージ2a
によって上下位置が制御され、基台1の上面との間の距
離、即ち、後述するテーブル3cとの間の距離が制御さ
れる。上記リニアスライダ3は、図2に要部を拡大して
示すように、基台1の上面に形成した1対のV字溝3a
と、このV字溝3aに収容されたV字状のコロ軸受3b
と、このコロ軸受3bにより支承される脚部3dを有す
るテーブル3cと、テーブル3cの下面所定位置に設け
たボールネジナット3eと、このボールネジナット3e
と螺合しているとともに、駆動用モータ3fにより回転
されるボールネジ3gとを有している。なお、上記ボー
ルネジナット3eは、テーブル3cに連結されたボール
ネジナット支承部3e1に対して、部分的にのみ存在す
る連結部3e2を介して連結されており、しかも、この
連結部3e2に弾性を持たせることにより、ボールネジ
ナット3eの弾性支持を達成している。また、上記テー
ブル3cは、その上面に吸着盤3hを有しており、吸着
盤3hにより、枚葉塗工用基板の一例としてのガラス基
板4を吸着保持する。
によって上下位置が制御され、基台1の上面との間の距
離、即ち、後述するテーブル3cとの間の距離が制御さ
れる。上記リニアスライダ3は、図2に要部を拡大して
示すように、基台1の上面に形成した1対のV字溝3a
と、このV字溝3aに収容されたV字状のコロ軸受3b
と、このコロ軸受3bにより支承される脚部3dを有す
るテーブル3cと、テーブル3cの下面所定位置に設け
たボールネジナット3eと、このボールネジナット3e
と螺合しているとともに、駆動用モータ3fにより回転
されるボールネジ3gとを有している。なお、上記ボー
ルネジナット3eは、テーブル3cに連結されたボール
ネジナット支承部3e1に対して、部分的にのみ存在す
る連結部3e2を介して連結されており、しかも、この
連結部3e2に弾性を持たせることにより、ボールネジ
ナット3eの弾性支持を達成している。また、上記テー
ブル3cは、その上面に吸着盤3hを有しており、吸着
盤3hにより、枚葉塗工用基板の一例としてのガラス基
板4を吸着保持する。
【0017】さらに、上記コロ軸受3bは、V字状に形
成されたリテーナ3b1と、リテーナ3b1の各面にそ
れぞれ自転自在に支持された複数個のコロ3b2とから
構成されている。したがって、Z軸ステージ2aによっ
てスリットダイ2の上下位置を設定し、吸着盤3hによ
りガラス基板4を吸着保持した状態において駆動用モー
タ3fを動作させれば、ボールネジ3gとボールネジナ
ット3eとが螺合しているので、テーブル3cを所定速
度で移動させることができる。この場合において、脚部
3dとV字溝3aとの間にはコロ軸受3bが介在してい
るのであるから、テーブル3cのスムーズかつかなり高
速での移動を達成することができる。また、テーブル3
cには、コロ軸受3bを構成する各コロ3b2の直径の
バラツキに起因してピッチング、ヨーイングが発生し、
真直度が低下することになるが、各コロ3b2は自転す
るだけであり、リニアモーションガイドのように自転の
みならず公転を伴なうのではないから、真直度を±1μ
mもしくはサブミクロンにまで高めることができる。
成されたリテーナ3b1と、リテーナ3b1の各面にそ
れぞれ自転自在に支持された複数個のコロ3b2とから
構成されている。したがって、Z軸ステージ2aによっ
てスリットダイ2の上下位置を設定し、吸着盤3hによ
りガラス基板4を吸着保持した状態において駆動用モー
タ3fを動作させれば、ボールネジ3gとボールネジナ
ット3eとが螺合しているので、テーブル3cを所定速
度で移動させることができる。この場合において、脚部
3dとV字溝3aとの間にはコロ軸受3bが介在してい
るのであるから、テーブル3cのスムーズかつかなり高
速での移動を達成することができる。また、テーブル3
cには、コロ軸受3bを構成する各コロ3b2の直径の
バラツキに起因してピッチング、ヨーイングが発生し、
真直度が低下することになるが、各コロ3b2は自転す
るだけであり、リニアモーションガイドのように自転の
みならず公転を伴なうのではないから、真直度を±1μ
mもしくはサブミクロンにまで高めることができる。
【0018】この結果、吸着盤3hの上面とスリットダ
イ2との間隔のバラツキを±1μmもしくはサブミクロ
ン以下に押えることができる。したがって、ガラス基板
4の端部がスリットダイ2の直下に位置した時点でスリ
ットダイ2を通して塗液、即ち塗膜組成物の吐出を開始
することにより、ガラス基板4の表面に膜厚のバラツキ
が少ない塗膜を形成することができる。
イ2との間隔のバラツキを±1μmもしくはサブミクロ
ン以下に押えることができる。したがって、ガラス基板
4の端部がスリットダイ2の直下に位置した時点でスリ
ットダイ2を通して塗液、即ち塗膜組成物の吐出を開始
することにより、ガラス基板4の表面に膜厚のバラツキ
が少ない塗膜を形成することができる。
【0019】特に、塗膜組成物として粘度が低いものを
採用した場合{例えば、従来は100cp(センチポイ
ズ)以上の粘度のカラーフィルタ用塗膜組成物を採用し
ていたのに対し、100cp以下、好ましくは30〜5
0cpの粘度のニュートリアン流体をカラーフィルタ用
塗膜組成物として採用する場合}には、必然的にスリッ
トダイ2とガラス基板4との間隔を小さく(従来の1/
2以下であり、例えば、50μm程度)しなければなら
ず、この結果、この間隔の精度も高めなければならない
(例えば、3μm以下にしなければならない)。このよ
うに厳しい要求に対しては、従来のリニアモーションガ
イドを用いたリニアスライダでは到底対処できないが、
この実施例のリニアスライダであれば簡単に対処するこ
とができる。
採用した場合{例えば、従来は100cp(センチポイ
ズ)以上の粘度のカラーフィルタ用塗膜組成物を採用し
ていたのに対し、100cp以下、好ましくは30〜5
0cpの粘度のニュートリアン流体をカラーフィルタ用
塗膜組成物として採用する場合}には、必然的にスリッ
トダイ2とガラス基板4との間隔を小さく(従来の1/
2以下であり、例えば、50μm程度)しなければなら
ず、この結果、この間隔の精度も高めなければならない
(例えば、3μm以下にしなければならない)。このよ
うに厳しい要求に対しては、従来のリニアモーションガ
イドを用いたリニアスライダでは到底対処できないが、
この実施例のリニアスライダであれば簡単に対処するこ
とができる。
【0020】また、この実施例のスリットダイコータを
用いてガラス基板4に枚葉塗工を行う場合には、生産性
を高めるために、テーブル3cの移動速度を高めなけれ
ばならない。この点に関しても、この実施例ではかなり
高い移動速度(10m/分以上)を達成することがで
き、滑り軸受を採用した場合の1〜2m/分と比較して
移動速度を著しく高めることができる。また、上記移動
速度は、リニアモーションガイドを採用した場合の移動
速度よりも多少は遅いのであるが、リニアモーションガ
イドを採用した場合には到底達成し得なかった精度を達
成できるのであるから、多少の移動速度の遅さは問題に
はならない。
用いてガラス基板4に枚葉塗工を行う場合には、生産性
を高めるために、テーブル3cの移動速度を高めなけれ
ばならない。この点に関しても、この実施例ではかなり
高い移動速度(10m/分以上)を達成することがで
き、滑り軸受を採用した場合の1〜2m/分と比較して
移動速度を著しく高めることができる。また、上記移動
速度は、リニアモーションガイドを採用した場合の移動
速度よりも多少は遅いのであるが、リニアモーションガ
イドを採用した場合には到底達成し得なかった精度を達
成できるのであるから、多少の移動速度の遅さは問題に
はならない。
【0021】さらに、ガラス基板4に枚葉塗工を行う場
合において、塗膜組成物の供給を受けながらガラス基板
4を移動させる場合の移動速度よりも、復動時の移動速
度を高めることが一般的であり、このような場合には、
コロ軸受3bに滑りが発生して、コロ軸受3bが一方の
側に移動してしまうことになる。このような場合には、
テーブル3cを多少持ち上げた状態で手動操作などによ
りコロ軸受3bを復元させればよい。また、テーブル3
cを持ち上げた場合に、連結部3e2が弾性変形するこ
とにより、ボールネジ3g、ボールネジナット3eに必
要以上の力が加えられてしまうことを未然に防止するこ
とができ、ひいてはボールネジ機構の精度低下を未然に
防止することができる。
合において、塗膜組成物の供給を受けながらガラス基板
4を移動させる場合の移動速度よりも、復動時の移動速
度を高めることが一般的であり、このような場合には、
コロ軸受3bに滑りが発生して、コロ軸受3bが一方の
側に移動してしまうことになる。このような場合には、
テーブル3cを多少持ち上げた状態で手動操作などによ
りコロ軸受3bを復元させればよい。また、テーブル3
cを持ち上げた場合に、連結部3e2が弾性変形するこ
とにより、ボールネジ3g、ボールネジナット3eに必
要以上の力が加えられてしまうことを未然に防止するこ
とができ、ひいてはボールネジ機構の精度低下を未然に
防止することができる。
【0022】なお、V字溝3aに代えて矩形溝を採用す
るとともに、脚部3dをも矩形状とし、リテーナ3b1
が平板状のコロ軸受3bを採用した場合にも、真直度が
多少低下するが、同様の作用を達成することができる。
また、連結部3e2を採用する代わりに、テーブル3c
との連結部にゴム板などの弾性板を介在させるようにし
ても同様の作用を達成することができる。
るとともに、脚部3dをも矩形状とし、リテーナ3b1
が平板状のコロ軸受3bを採用した場合にも、真直度が
多少低下するが、同様の作用を達成することができる。
また、連結部3e2を採用する代わりに、テーブル3c
との連結部にゴム板などの弾性板を介在させるようにし
ても同様の作用を達成することができる。
【0023】
【発明の効果】請求項1の発明は、かなり高い移動速度
を確保することができるとともに、リニアモーションガ
イドを使用する場合と比較して高い真直度を達成するこ
とができ、ひいては枚葉塗工速度を余り低下させること
なく高精度の枚葉塗工を達成することができるという特
有の効果を奏する。
を確保することができるとともに、リニアモーションガ
イドを使用する場合と比較して高い真直度を達成するこ
とができ、ひいては枚葉塗工速度を余り低下させること
なく高精度の枚葉塗工を達成することができるという特
有の効果を奏する。
【0024】請求項2の発明は、ボールネジの回転に伴
なう振れやボールネジ軸の軸受部の精度低下による振動
などを該弾性部材により吸収させることができ、ボール
ネジの振れや振動などの外乱がテーブルに伝達されるこ
となく、高い真直度を保ちながらテーブルをスライドさ
せることができるという特有の効果を奏する。請求項3
の発明は、移動方向と直角方向の振れが規制され、テー
ブルのヨーイングを大幅に低減でき、真直度を一層高め
ることができるという特有の効果を奏する。
なう振れやボールネジ軸の軸受部の精度低下による振動
などを該弾性部材により吸収させることができ、ボール
ネジの振れや振動などの外乱がテーブルに伝達されるこ
となく、高い真直度を保ちながらテーブルをスライドさ
せることができるという特有の効果を奏する。請求項3
の発明は、移動方向と直角方向の振れが規制され、テー
ブルのヨーイングを大幅に低減でき、真直度を一層高め
ることができるという特有の効果を奏する。
【0025】請求項4の発明は、ある程度の移動速度を
確保することができるとともに、コロ軸受を用いる場合
の真直度以上の真直度を達成することができ、ひいては
枚葉塗工速度を余り低下させることなく高精度の枚葉塗
工を達成することができるという特有の効果を奏する。
請求項5の発明は、ボールネジの回転に伴なう振れやボ
ールネジ軸の軸受部の精度低下による振動などを該弾性
部材により吸収させることができ、ボールネジの振れや
振動などの外乱がテーブルに伝達されることなく、高い
真直度を保ちながらテーブルをスライドさせることがで
きるという特有の効果を奏する。
確保することができるとともに、コロ軸受を用いる場合
の真直度以上の真直度を達成することができ、ひいては
枚葉塗工速度を余り低下させることなく高精度の枚葉塗
工を達成することができるという特有の効果を奏する。
請求項5の発明は、ボールネジの回転に伴なう振れやボ
ールネジ軸の軸受部の精度低下による振動などを該弾性
部材により吸収させることができ、ボールネジの振れや
振動などの外乱がテーブルに伝達されることなく、高い
真直度を保ちながらテーブルをスライドさせることがで
きるという特有の効果を奏する。
【0026】以上のように、請求項1〜5の発明は、基
板の枚葉塗工効率をかなり高く維持することができると
ともに、基板上に形成される塗膜の厚みを高精度に制御
することができ、ひいては高品質のカラーフィルタなど
を得ることができるという特有の効果を奏する。
板の枚葉塗工効率をかなり高く維持することができると
ともに、基板上に形成される塗膜の厚みを高精度に制御
することができ、ひいては高品質のカラーフィルタなど
を得ることができるという特有の効果を奏する。
【図1】この発明の一実施例のリニアスライダが適用さ
れるスリットダイコータの構成を示す斜視図である。
れるスリットダイコータの構成を示す斜視図である。
【図2】同上要部拡大縦断面図である。
1 基台 3b コロ軸受 3c テーブル 3e ボールネジナット 3e2 連結部 3g ボールネジ
Claims (5)
- 【請求項1】 スリットダイ(2)より塗液を基板
(4)上に塗布する枚葉塗工装置において、基台(1)
上にテーブル(3c)がコロ軸受(3b)を介して所定
方向に往復動自在に支承されているとともに、ボールネ
ジ機構(3e)(3g)を介して駆動力が伝達されてな
るリニアスライダを用いたことを特徴とする枚葉塗工装
置。 - 【請求項2】 上記リニアスライダにおいて、テーブル
(3c)とボールネジ機構(3e)との間に弾性部材
(3e2)が設けられている請求項1に記載の枚葉塗工
装置。 - 【請求項3】 上記リニアスライダにおいて、コロ軸受
(3b)がV字状に配置されている請求項1に記載の枚
葉塗工装置。 - 【請求項4】 スリットダイ(2)より塗液を基板
(4)上に塗布する枚葉塗工装置において、基台(1)
上にテーブル(3c)がV字状の滑り軸受を介して所定
方向に往復動自在に支承されているとともに、ボールネ
ジ機構(3e)(3g)を介して駆動力が伝達されてな
るリニアスライダを用いたことを特徴とする枚葉塗工装
置。 - 【請求項5】 上記リニアスライダにおいて、テーブル
(3c)とボールネジ機構(3e)との間に弾性部材
(3e2)が設けられている請求項4に記載の枚葉塗工
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7059187A JPH08252512A (ja) | 1995-03-17 | 1995-03-17 | 枚葉塗工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP7059187A JPH08252512A (ja) | 1995-03-17 | 1995-03-17 | 枚葉塗工装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH08252512A true JPH08252512A (ja) | 1996-10-01 |
Family
ID=13106165
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7059187A Pending JPH08252512A (ja) | 1995-03-17 | 1995-03-17 | 枚葉塗工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08252512A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100600859B1 (ko) * | 2004-05-20 | 2006-07-14 | (주)브레인유니온시스템 | 액상형 물질 도포기의 이송 장치 |
CN111097665A (zh) * | 2019-11-26 | 2020-05-05 | 西安微城信息科技有限公司 | 一种电子通讯产品生产用绝缘封装装置 |
CN115489981A (zh) * | 2022-09-14 | 2022-12-20 | 苏州新颖新材料科技股份有限公司 | 一种环保型隔热彩钢板加工设备 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03270844A (ja) * | 1990-03-20 | 1991-12-03 | Nippon Seiko Kk | スライドテーブル機構 |
JPH04304936A (ja) * | 1991-03-29 | 1992-10-28 | Canon Inc | 移動案内装置 |
JPH06339655A (ja) * | 1993-05-31 | 1994-12-13 | Hirata Kiko Kk | 流体塗布装置 |
-
1995
- 1995-03-17 JP JP7059187A patent/JPH08252512A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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