JPH08247723A - 寸法測定装置 - Google Patents
寸法測定装置Info
- Publication number
- JPH08247723A JPH08247723A JP7052799A JP5279995A JPH08247723A JP H08247723 A JPH08247723 A JP H08247723A JP 7052799 A JP7052799 A JP 7052799A JP 5279995 A JP5279995 A JP 5279995A JP H08247723 A JPH08247723 A JP H08247723A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- light
- threshold value
- dimension measuring
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Image Input (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
に測定できる寸法測定装置を提供することである。 【構成】 平行光を被測定物4に照射する投光部1と、
投光部1からの平行光を受光するCCDイメージセンサ
5(受光部)と、CCD5の出力信号を平滑化するロー
パスフィルタ6と、平滑化された信号を所定の閾値で2
値化する2値化部7とを備え、2値化部7は、ローパス
フィルタ6によって平滑化された信号を、測定距離Lに
応じて閾値テーブル11から与えられる閾値により2値
化する。
Description
射し、被測定物で遮光された平行光をCCDイメージセ
ンサに投影し、その出力信号を処理して物体の寸法を測
定する寸法測定装置に関する。
CCDとも略す)を用いた寸法測定装置として、平行光
を被測定物に照射する投光部と、投光部からの平行光を
CCDで受光する受光部と、受光部の出力信号を平滑化
するローパスフィルタ(以下、LPFとも略す)と、平
滑化された信号を所定の閾値で2値化する2値化部とを
備え、2値化信号のエッジ間を高速のクロックカウンタ
で計測することにより、被測定物の寸法を高分解能で測
定するものがある。
回路の電気的ノイズ、及び回折や干渉等により生じる光
学的ノイズ成分(リップル)が含まれているので、これ
らのノイズをLPFにより除去した後に、一定の閾値を
用いて明部又は暗部に2値化し、暗部の長さより被測定
物の外形寸法を測定している。
ズは被測定物や測定距離(被測定物とCCDとの間隔)
に依存しないノイズ成分であるが、光学的ノイズ成分は
フレネル−キルヒホッフの回折積分で表されるように、
距離依存性を有している。即ち、同一の外形寸法の被測
定物であっても、閾値を一定にしていると、測定結果が
測定距離によって変動するという問題点がある。
説明する。図3は、同一の外形寸法の被測定物を異なる
測定距離に設置したときに得られるCCD出力信号の代
表的な例である。但し、図3の(a)の測定距離は図3
の(b)の測定距離よりも短く〔(a)<(b)〕、ま
た被測定物が平行光束内に無いときの振幅値を1とす
る。この場合、測定距離が短いとき(a)の方が測定距
離が長いとき(b)に比べて高周波成分を多く含んでい
ることが分かる。
用いて高周波除去処理した結果の代表例である。図4の
(a)において、時間tが被測定物の外形寸法に相当す
るものとすると、2値化する際に最も小さな誤差で測定
できる閾値は閾値1であり、図4の(b)においては、
2値化する際に最も小さな誤差で測定できる閾値は閾値
2である。この場合、閾値1>閾値2になっているの
で、閾値をどちらか一方に固定しておくと、(a)に閾
値2を適応し、(b)に閾値1を適応すると、それぞれ
測定誤差が生じることになる。
目してなされたもので、測定距離に依らずに被測定物の
寸法を高精度に測定できる寸法測定装置を提供すること
を目的とする。
に、本発明の寸法測定装置は、平行光を被測定物に照射
する投光部と、この投光部からの平行光をCCDイメー
ジセンサで受光する受光部と、この受光部の出力信号を
平滑化するローパスフィルタと、平滑化された信号を所
定の閾値で2値化する2値化部とを備え、2値化信号か
ら前記被測定物の寸法を測定するものにおいて、前記2
値化部が、前記ローパスフィルタによって平滑化された
信号を、前記被測定物と受光部との間の測定距離に応じ
た閾値により2値化することを特徴とする。
距離に応じた閾値を予め設定しておき、その閾値を例え
ば閾値テーブルで保持しておき、寸法測定時には例えば
装置外部より測定距離を入力し、その入力値に応じて閾
値テーブルより対応の閾値を読み出し、その閾値を用い
て、LPFで平滑化されたCCD出力信号を2値化する
構成としてあるので、測定距離が変動しても被測定物の
寸法を高精度で測定できる。
いて説明する。その一実施例に係る構成を図1に示す。
この装置は、光源(例えば半導体レーザ、発光ダイオー
ド)2からの光をレンズ3により平行光として出射する
投光部1と、この投光部1に対向配置され、投光部1か
らの平行光を受光するCCDイメージセンサ5(受光
部)とを備える。被測定物4は、投光部1とCCD5と
の間に配置され、被測定物4とCCD5との間隔が測定
距離Lとなる。
次の回路構成により処理されて、被測定物の寸法が出力
される。まず、図2の(a)に示すように、CCD5か
らの電圧出力信号は、受光量に比例し、振幅値が大きい
ほど明部で、小さいほど暗部となる。又、電圧出力信号
には、回路の電気的なノイズやリップル、及び平行光の
回折や干渉等により生じる光学的なリップルが含まれて
いる。このノイズやリップル成分はLPF6で除去さ
れ、CCD出力信号が平滑化される〔図2の(b)参
照:信号a→b〕。
ル11によって与えられた閾値を用いて、2値化部7に
より2値化される〔図2の(c)参照:信号b→c〕。
ここに前述したように、2値化のための閾値は測定距離
Lに応じて予め設定されて、閾値テーブル11に記憶保
持されており、測定距離Lに応じた閾値が設定される。
例えば前記図4の(a)の測定距離では、閾値=閾値1
とし、図4の(b)の測定距離では、閾値=閾値2とす
る。続いて、2値化信号のエッジ間の間隔(時間t)が
高速クロック12より与えられるクロックパルス(信号
d)のパルス数でクロックカウンタ8により測定され
〔図2の(d)参照〕、その測定結果が出力部9に出力
される。
より測定距離Lを距離入力部10に入力し、その入力値
に応じて閾値テーブル11が対応の閾値を2値化部7に
与えるようにしているが、測定距離Lは測定者が距離入
力部10に手動で入力する他に、距離センサ等を用いて
測定距離Lを自動的に測定し、その結果を取り込むよう
にしてもよいし、或いは両方を併用し、測定者が任意に
切り替えることができるようにしても構わない。
ように、2値化部がローパスフィルタによって平滑化さ
れた信号を、被測定物と受光部との間の測定距離に応じ
た閾値により2値化する構成としてあるので、測定距離
が変動しても被測定物の寸法を高精度で測定できる。
形を示す図である。
形を示し、(a)が測定距離が短い場合、(b)が測定
距離が長い場合である。
滑化した後の波形を示し、(a)が図3の(a)に、
(b)が図3の(b)に対応する。
Claims (1)
- 【請求項1】平行光を被測定物に照射する投光部と、こ
の投光部からの平行光をCCDイメージセンサで受光す
る受光部と、この受光部の出力信号を平滑化するローパ
スフィルタと、平滑化された信号を所定の閾値で2値化
する2値化部とを備え、2値化信号から前記被測定物の
寸法を測定する寸法測定装置において、 前記2値化部は、前記ローパスフィルタによって平滑化
された信号を、前記被測定物と受光部との間の測定距離
に応じた閾値により2値化することを特徴とする寸法測
定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7052799A JPH08247723A (ja) | 1995-03-13 | 1995-03-13 | 寸法測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7052799A JPH08247723A (ja) | 1995-03-13 | 1995-03-13 | 寸法測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08247723A true JPH08247723A (ja) | 1996-09-27 |
Family
ID=12924896
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7052799A Pending JPH08247723A (ja) | 1995-03-13 | 1995-03-13 | 寸法測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08247723A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002277207A (ja) * | 2001-03-19 | 2002-09-25 | Keyence Corp | 光学測定装置 |
US8169624B2 (en) | 2009-04-24 | 2012-05-01 | Keyence Corporation | Transmissive dimension measuring device |
-
1995
- 1995-03-13 JP JP7052799A patent/JPH08247723A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002277207A (ja) * | 2001-03-19 | 2002-09-25 | Keyence Corp | 光学測定装置 |
US8169624B2 (en) | 2009-04-24 | 2012-05-01 | Keyence Corporation | Transmissive dimension measuring device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20220066004A1 (en) | Distortion determination apparatus and method of determining a distortion | |
JPH032990A (ja) | バーコードリーダーのアナログ信号処理方式 | |
JPH08247723A (ja) | 寸法測定装置 | |
JPH08247726A (ja) | 寸法測定装置 | |
JPH03134548A (ja) | 表面検査装置 | |
JP4726065B2 (ja) | エッジ検出方法およびエッジ検出装置 | |
GB2303915A (en) | Counting the revolutions of a rotating component | |
JPS6015561A (ja) | 線状物体の移動速度測定方法 | |
JP2717334B2 (ja) | 放射線測定器 | |
JPH08247728A (ja) | 寸法測定装置 | |
JPH11132729A (ja) | 寸法測定装置 | |
JPS5858404A (ja) | 信号の浮動2値方式 | |
JPS62153703A (ja) | 寸法測定方法 | |
JP3107026B2 (ja) | 透過部分形状検査装置 | |
JPH0514858B2 (ja) | ||
TWM537219U (zh) | 游離輻射計讀儀與微小電流量測裝置 | |
JPH09210650A (ja) | 光学式計測装置 | |
JPH086244Y2 (ja) | 寸法測定装置 | |
JPH04344408A (ja) | 寸法測定器 | |
JPH04166787A (ja) | 距離測定装置 | |
JPH05273349A (ja) | レーザードップラ速度計の信号処理装置 | |
JPS59222930A (ja) | 電子ビ−ム露光におけるマ−ク位置検出方法及び装置 | |
JP2732913B2 (ja) | 物品検出装置 | |
JP2000346809A (ja) | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 | |
JPS6230114Y2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091010 Year of fee payment: 6 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091010 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091010 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101010 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101010 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111010 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111010 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121010 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121010 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131010 Year of fee payment: 10 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |