JPH08247246A - Lubricating device of rack pinion for carrier - Google Patents
Lubricating device of rack pinion for carrierInfo
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- JPH08247246A JPH08247246A JP7186228A JP18622895A JPH08247246A JP H08247246 A JPH08247246 A JP H08247246A JP 7186228 A JP7186228 A JP 7186228A JP 18622895 A JP18622895 A JP 18622895A JP H08247246 A JPH08247246 A JP H08247246A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はプラズマCVD装置の基
板の各成膜室間の搬送装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transfer device for a substrate of a plasma CVD apparatus between film forming chambers.
【0002】[0002]
【従来の技術】プラズマCVD装置ではガラス基に異る
複数の膜を重ねて付着させる。したがって、大気中から
真空中へ運び入れるための予備排気室、各成膜室を順に
移動する必要がある。それで各室間を移動する搬送台車
に前記ガラス基板をのせ前記各室間に設けられたゲート
弁を開いて出し入れする。2. Description of the Related Art In a plasma CVD apparatus, a plurality of films having different glass substrates are stacked and attached. Therefore, it is necessary to sequentially move the pre-evacuation chamber and the film forming chambers for carrying from the atmosphere into the vacuum. Then, the glass substrate is placed on a carrier truck that moves between the chambers, and a gate valve provided between the chambers is opened and taken out.
【0003】従来例を図5によって説明する。図5は従
来例のプラズマCVD装置の台車搬送機構の模式図であ
る。図において搬送台車01が図示しない軸受を介して
ガイド03に取付けられたつば付ガイドローラ03aに
よって矢印アの方向に移動可能に支持されている。01
aは搬送台車01の側面に取付けられたラックでモータ
04の軸に取付けられた駆動用ピニオン02と噛み合っ
ている。A conventional example will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a schematic view of a carriage transport mechanism of a conventional plasma CVD apparatus. In the figure, a carrier vehicle 01 is supported by a guide roller 03a with a collar attached to a guide 03 via a bearing (not shown) so as to be movable in the direction of arrow A. 01
Reference numeral a denotes a rack mounted on the side surface of the carrier vehicle 01, which meshes with a drive pinion 02 mounted on the shaft of the motor 04.
【0004】前記従来例の作用を説明する。モータ04
の軸の回転を変化させることにより搬送台車01を矢印
アの方向に前進後進停止させることができる。駆動用ピ
ニオン02はラック01aの方向に複数配置されている
ので順次ラック01aに噛み合い搬送台車01を移動さ
せる。プラズマCVD装置の成膜室は不純物のガスを嫌
うので10-6torr以下の真空に排気した後原料ガス
を導入する。The operation of the conventional example will be described. Motor 04
By changing the rotation of the shaft of the carriage, the carrier carriage 01 can be moved forward and backward in the direction of arrow A and stopped. Since a plurality of drive pinions 02 are arranged in the direction of the rack 01a, the meshing transport carriage 01 is sequentially moved to the rack 01a. Since the film forming chamber of the plasma CVD apparatus does not like impurity gas, the raw material gas is introduced after evacuation to a vacuum of 10 −6 torr or less.
【0005】したがってピニオン02の潤滑には通常の
グリースは使用できない。真空用の特に蒸気圧の低いグ
リース(弗素化ポリエーテルを基油に使用したもの)を
使用することが考えられるが、潤滑部を密封する構造が
とれないので流れ出したり飛散したりして機器を汚染す
るので好ましくない。そこでピニオン02は潤滑性のあ
る樹脂材料PEEK(ポリエーテルエーテルケトン樹
脂)を使用しラックにはステンレス鋼を使用していた。Therefore, ordinary grease cannot be used for lubricating the pinion 02. It is conceivable to use a grease with a low vapor pressure for vacuum (using fluorinated polyether as the base oil), but since the structure that seals the lubrication part cannot be taken, it may flow out or scatter and Contamination is not preferable. Therefore, for the pinion 02, a resin material PEEK (polyether ether ketone resin) having lubricity is used, and stainless steel is used for the rack.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】プラズマCVD装置で
生産効率を高めるために搬送台車の搬送速度を速くする
と、駆動するピニオンの歯にかかる荷重が大きくなる。
そのためPEEK材料でできたピニオンでは強度が不足
するので、強度が樹脂より大きい金属材料で駆動用ピニ
オンを製作することが必要になる。よく知られているよ
うに真空中では金属は焼付を起しやすいために潤滑が必
要である。When the transport speed of the transport carriage is increased in order to increase the production efficiency in the plasma CVD apparatus, the load applied to the teeth of the driven pinion is increased.
Therefore, the strength of the pinion made of the PEEK material is insufficient, so it is necessary to manufacture the driving pinion from a metal material having a strength higher than that of the resin. As is well known, in vacuum, metal is susceptible to seizure, so lubrication is necessary.
【0007】一般的に真空中の固体潤滑剤として使われ
るものは二硫化モリブデンであり、材料の表面にバイン
ダ成分とともに塗布した後焼成して潤滑皮膜を形成す
る。前記のようにして形成された皮膜は当初はラックと
ピニオンの焼付を有効に防止するが、運転の経過にとも
なって潤滑皮膜が摩耗し、やがてその効力を失う。そこ
で摩耗していく潤滑成分を補ってやることが必要にな
る。Generally used as a solid lubricant in a vacuum is molybdenum disulfide, which is applied on the surface of a material together with a binder component and then fired to form a lubricating film. The film formed as described above effectively prevents the seizure of the rack and the pinion at first, but the lubricating film wears over the course of operation and eventually loses its effectiveness. Therefore, it is necessary to supplement the lubricating component that wears.
【0008】本発明の目的は前記必要に応じて搬送用ラ
ックピニオンに潤滑剤の補給装置を提供するにある。An object of the present invention is to provide a device for replenishing a lubricant to a rack and pinion for transportation as needed.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】第1発明の搬送用ラック
ピニオンの潤滑装置は雰囲気が真空にもなる空間を移動
する搬送台車にラックが取付けられこれに噛み合う駆動
用ピニオンによって駆動される搬送装置において、前記
ラックに噛み合い且回転に対しブレーキをかけ得る固体
潤滑剤を含有する樹脂製の潤滑用ピニオンを有してなる
ことを特徴としている。According to a first aspect of the present invention, there is provided a lubricating device for a transport rack and pinion in which a rack is mounted on a transport carriage that moves in a space where the atmosphere is also vacuum, and the transport device is driven by a drive pinion meshing with the rack. In the above, it is characterized by having a resin-made lubricating pinion containing a solid lubricant capable of engaging with the rack and braking the rotation.
【0010】第2発明の搬送用ラックピニオンの潤滑装
置は雰囲気が真空にもなる空間を移動する搬送台車1に
ラック1aが取付けられ之に噛み合う駆動用ピニオン2
によって駆動される搬送装置において、前記駆動用ピニ
オン2と噛み合い且回転に対しブレーキをかけ得る固体
潤滑剤を有する樹脂製の潤滑用ピニオン5を有してなる
ことを特徴としている。In the lubrication device for the rack rack and pinion of the second invention, the rack 1a is mounted on the transport carriage 1 which moves in a space where the atmosphere is also vacuum, and the drive pinion 2 meshes with each other.
The transport device driven by means of the present invention is characterized in that it has a resin-made lubricating pinion 5 having a solid lubricant that meshes with the driving pinion 2 and can brake the rotation.
【0011】[0011]
【作用】固体潤滑剤を含有する樹脂でできた潤滑用ピニ
オンにブレーキをかけてラック又は駆動用ピニオンと噛
み合せ駆動すると、前記潤滑用ピニオンからその含有す
る固体潤滑剤が前記ラックへ塗りつけられ、その固体潤
滑剤はラック表面に留り駆動用ピニオンとの噛み合いの
際潤滑作用をする。塗りつけられる固体潤滑剤の量は、
ピニオンのブレーキを大きくすることにより増加するこ
とができる。潤滑用ピニオンを回転可能に支持する方法
によっては、摩擦力のみで十分ブレーキがかかり得るの
で、そのときはブレーキをかける機構を必要としない。When a braking pinion made of a resin containing a solid lubricant is braked and driven to engage with a rack or a driving pinion, the solid lubricant contained therein is applied to the rack from the lubricating pinion, The solid lubricant stays on the rack surface and acts as a lubricant when meshing with the drive pinion. The amount of solid lubricant applied is
It can be increased by increasing the pinion brake. Depending on the method of rotatably supporting the lubricating pinion, the frictional force alone can provide sufficient braking, and at that time, a mechanism for applying the braking is not required.
【0012】[0012]
【実施例】第1発明に係る搬送用ラックピニオンの潤滑
装置の第1実施例を図1,2によって説明する。図1は
本発明に係る第1実施例のプラズマCVD装置の搬送機
構の模式図、図2は本発明に係る第1実施例の潤滑用ピ
ニオン支持構造の詳細図である。図において搬送台車1
が図示しない軸受を介してガイド3に取付けられたつば
付ガイドローラ3aによって矢印アの方向に移動可能に
支えられている。1aは搬送台車1の側面に矢印アの方
向に取付けられたラックでステンレス鋼(SUS44
0)の焼入れ、焼戻し材製である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of a lubricating device for a transport rack and pinion according to the first invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a schematic view of a transfer mechanism of a plasma CVD apparatus according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a detailed view of a lubricating pinion support structure according to the first embodiment of the present invention. In the figure, a carriage 1
Is supported by a guide roller 3a with a collar attached to the guide 3 via a bearing (not shown) so as to be movable in the direction of arrow A. 1a is a rack mounted on the side surface of the carrier 1 in the direction of arrow A and made of stainless steel (SUS44).
It is made of the quenched and tempered material of 0).
【0013】2は駆動用ピニオンでステンレス鋼(SU
S440)の焼入れ焼戻し材製で、モータ4の軸に取付
けられラック1aに噛み合っている。5は潤滑用ピニオ
ンでラック1aに噛み合い固体潤滑剤二硫化モリブデン
を含有したPEEK樹脂で作られ、図2に示すように固
定軸6に軸受7を介して回転可能に取付けられている。
潤滑用ピニオン5の上部にはブレーキワッシャ8がスプ
リングワッシャ9を介してナット10で押し当てられて
居り、ナット10を締めこむことにより潤滑用ピニオン
5の側面に押しつけブレーキをかけることができる。Reference numeral 2 is a drive pinion made of stainless steel (SU
It is made of a quenched and tempered material of S440) and is attached to the shaft of the motor 4 and meshes with the rack 1a. A lubricating pinion 5 is made of PEEK resin containing a solid lubricant molybdenum disulfide that meshes with the rack 1a and is rotatably attached to a fixed shaft 6 via a bearing 7 as shown in FIG.
The brake washer 8 is pressed against the upper part of the lubrication pinion 5 by the nut 10 via the spring washer 9, and by tightening the nut 10, the brake can be pressed against the side surface of the lubrication pinion 5 to apply the brake.
【0014】前記第1実施例の作用を説明する。モータ
4によって駆動用ピニオン2が回されてラック1aを矢
印アの方向に駆動する。駆動用ピニオン2はステンレス
鋼(SUS440)製であるから樹脂製のものより大き
な力に耐えうる。ラック1aは潤滑用ピニオン5をその
側面に接するブレーキワッシャ8の摩擦に抗して駆動す
る。ナット10の締め込みで前記摩擦の力は大きくでき
る。潤滑用ピニオン5の材料中に含有される固体潤滑剤
二硫化モリブデンがラック1aの歯面に塗りつけられ、
前記塗りつけられた二硫化モリブデンはラック1aと駆
動用ピニオン2との潤滑作用をはたすことができる。The operation of the first embodiment will be described. The drive pinion 2 is rotated by the motor 4 to drive the rack 1a in the direction of arrow A. Since the drive pinion 2 is made of stainless steel (SUS440), it can withstand a larger force than that made of resin. The rack 1a drives the lubricating pinion 5 against the friction of the brake washer 8 contacting its side surface. The friction force can be increased by tightening the nut 10. The solid lubricant molybdenum disulfide contained in the material of the lubricating pinion 5 is applied to the tooth surface of the rack 1a,
The applied molybdenum disulfide can exert a lubricating action on the rack 1a and the drive pinion 2.
【0015】前記潤滑用ピニオンの材質は前記樹脂PE
EKの他に弗素樹脂やポリイミド、ポリアミド、ポリオ
キシベンゾイル等が使用可能であり、又固体潤滑剤とし
てはグラファイトも使用可能である。The material of the lubricating pinion is the resin PE
In addition to EK, fluorine resin, polyimide, polyamide, polyoxybenzoyl, etc. can be used, and graphite can also be used as a solid lubricant.
【0016】第1発明に係る第2実施例を図3によって
説明する。図3は本発明に係る第2実施例の潤滑用ピニ
オン5の取付部詳細図である。第2実施例の潤滑用ピニ
オンの取付部以外は前記第1実施例と同じであるから説
明を省く。潤滑用ピニオン5は、二硫化モリブデンを含
有するPEEK樹脂製で固定軸6にすき間嵌めされ、ラ
ック1aにかみ合っている。潤滑用ピニオン5の上部に
軸6にキー止めされたおもり11がのせられている。A second embodiment according to the first invention will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a detailed view of the mounting portion of the lubricating pinion 5 of the second embodiment according to the present invention. Except for the mounting portion of the lubricating pinion of the second embodiment, it is the same as that of the first embodiment and will not be described. The lubricating pinion 5 is made of PEEK resin containing molybdenum disulfide, is fitted into the fixed shaft 6 with a clearance, and is engaged with the rack 1a. A weight 11 keyed to a shaft 6 is placed on the top of the lubricating pinion 5.
【0017】前記第1発明第2実施例の作用を説明す
る。駆動用ピニオン2に駆動されてラック1aが移動す
るとこれにより潤滑用ピニオン5が回わされ、このとき
固定軸6と潤滑用ピニオン5との間及び潤滑用ピニオン
5とおもり11との接触面における摩擦がブレーキとな
って荷重がかかり、潤滑用ピニオン5の含有する二硫化
モリブデンがラック1aの歯面に塗りつけられ潤滑剤と
なる。The operation of the second embodiment of the first invention will be described. When the rack 1a is driven by the drive pinion 2 to move, the lubrication pinion 5 is rotated by this, and at this time, in the contact surface between the fixed shaft 6 and the lubrication pinion 5 and the lubrication pinion 5 and the weight 11. The friction serves as a brake and a load is applied, and molybdenum disulfide contained in the lubricating pinion 5 is applied to the tooth surface of the rack 1a to serve as a lubricant.
【0018】次に第2発明に係る搬送用ラックピニオン
の潤滑装置をその模式図(図4)を参照して説明する。
図において搬送台車1、駆動用ピニオン2、ガイド3、
ガイドローラ3a,モータ4及び潤滑用ピニオン5等は
図1〜3に示す第1発明のものと同一のものを使用して
いる。Next, the lubricating device for the rack and pinion for transportation according to the second aspect of the invention will be described with reference to its schematic view (FIG. 4).
In the figure, a carrier vehicle 1, a drive pinion 2, a guide 3,
The guide roller 3a, the motor 4, the lubricating pinion 5, etc. are the same as those of the first invention shown in FIGS.
【0019】但しその構成において第1発明では潤滑用
ピニオン5はラック1aと直接噛み合っているが、第2
発明では該潤滑用ピニオン5は図4に示すように前記駆
動用ピニオン2と噛み合っている点が相違している。し
かしその他の点ではその構成は全く同じである。However, in the structure, in the first invention, the lubricating pinion 5 directly meshes with the rack 1a, but
The invention differs in that the lubricating pinion 5 meshes with the driving pinion 2 as shown in FIG. However, in other respects, the configuration is exactly the same.
【0020】次に第2発明の作用について図4によって
説明する。駆動用ピニオン2で潤滑用ピニオン5が回さ
れると、その接触面における摩擦でブレーキのかかった
潤滑用ピニオン5により駆動用ピニオン2の歯面に潤滑
用ピニオン5の含有する二硫化モルブデンが塗りつけら
れ、潤滑剤として作用するようになる点が第1発明と相
違している。Next, the operation of the second invention will be described with reference to FIG. When the lubrication pinion 5 is rotated by the drive pinion 2, the lubrication pinion 5 that is braked by the friction at the contact surface is applied with the morbutene disulfide contained in the lubrication pinion 5 on the tooth surface of the drive pinion 2. Therefore, it is different from the first invention in that it acts as a lubricant.
【0021】[0021]
【発明の効果】搬送台車ラックと駆動用ピニオンを金属
材料としても潤滑用ピニオンからラックへ又は前記駆動
用ピニオンへと付着した固体潤滑剤が潤滑効果を発揮し
て焼付や異常摩耗を起さず円滑な動作を行わせることが
できる。そのため樹脂で駆動用ピニオンを製作した場合
と比較して大きな駆動力に耐えることができ、搬送台車
の加速減速を大きくすることができるため、搬送時間が
短縮され、プラズマCVD装置の生産力が高まる。EFFECTS OF THE INVENTION Even when the carrier rack and the drive pinion are made of metal, the solid lubricant adhered from the lubrication pinion to the rack or to the drive pinion exerts a lubricating effect and does not cause seizure or abnormal wear. A smooth operation can be performed. Therefore, compared with the case where the driving pinion is made of resin, it is possible to endure a large driving force, and it is possible to increase the acceleration and deceleration of the transport carriage, so that the transport time is shortened and the productivity of the plasma CVD apparatus is increased. .
【図1】第1発明に係る第1実施例のプラズマCVD装
置の台車搬送機構の模式図、FIG. 1 is a schematic diagram of a carriage transport mechanism of a plasma CVD apparatus according to a first embodiment of the first invention,
【図2】第1発明に係る第1実施例の潤滑用ピニオン取
付部詳細図、FIG. 2 is a detailed view of the lubricating pinion mounting portion of the first embodiment according to the first invention,
【図3】第1発明に係る第2実施例の潤滑用ピニオン取
付部詳細図、FIG. 3 is a detailed view of a lubricating pinion mounting portion of a second embodiment according to the first invention,
【図4】第2発明の図1応当図、FIG. 4 is a correspondence diagram of FIG. 1 of the second invention;
【図5】従来例のプラズマCVD装置の台車搬送機構の
模式図。FIG. 5 is a schematic diagram of a carriage transport mechanism of a conventional plasma CVD apparatus.
01,1…搬送台車、02…駆動用ピニオン、2…駆動
用ピニオン、03,3…ガイド、03a,3a…つば付
ガイドローラ、04,4…駆動用モータ、5…潤滑用ピ
ニオン、6…固定軸、7…軸受、8…ブレーキワッシ
ャ、9…スプリングワッシャ、10…ナット、11…お
もり。01, 1 ... Transport carriage, 02 ... Drive pinion, 2 ... Drive pinion, 03, 3 ... Guide, 03a, 3a ... Brim guide roller, 04, 4 ... Drive motor, 5 ... Lubrication pinion, 6 ... Fixed shaft, 7 ... Bearing, 8 ... Brake washer, 9 ... Spring washer, 10 ... Nut, 11 ... Weight.
Claims (2)
送台車(1)にラック(1a)が取付けられ之に噛み合
う駆動用ピニオン(2)によって駆動される搬送装置に
おいて、前記ラックと噛み合い且回転に対しブレーキを
かけ得る固体潤滑剤を含有する樹脂製の潤滑用ピニオン
(5)を有してなることを特徴とする搬送用ラックピニ
オンの潤滑装置。1. A transporting device driven by a drive pinion (2), wherein a rack (1a) is attached to a transporting carriage (1) which moves in a space where the atmosphere is also vacuum, and meshes with the rack. A lubricating device for a rack and pinion for transportation, comprising a resin-made lubricating pinion (5) containing a solid lubricant capable of braking rotation.
送台車(1)にラック(1a)が取付けられ之に噛み合
う駆動用ピニオン(2)によって駆動される搬送装置に
おいて、前記駆動用ピニオン(2)と噛み合い且回転に
対しブレーキをかけ得る固体潤滑剤を有する樹脂製の潤
滑用ピニオン(5)を有してなることを特徴とする搬送
用ラックピニオンの潤滑装置。2. A transport device driven by a drive pinion (2), wherein a rack (1a) is attached to a transport carriage (1) which moves in a space where the atmosphere is also vacuum, and the drive pinion (2). A lubrication device for a transport rack and pinion, comprising a resin-made lubricating pinion (5) having a solid lubricant capable of meshing with 2) and braking against rotation.
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Publication number | Publication date |
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JP3310828B2 (en) | 2002-08-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020423 |
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