JPH08233862A - 基板検査用プローブ装置 - Google Patents
基板検査用プローブ装置Info
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- JPH08233862A JPH08233862A JP7035541A JP3554195A JPH08233862A JP H08233862 A JPH08233862 A JP H08233862A JP 7035541 A JP7035541 A JP 7035541A JP 3554195 A JP3554195 A JP 3554195A JP H08233862 A JPH08233862 A JP H08233862A
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- probes
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ベアボードの導体パターンの断線、短絡検査
前にプローブが導体パターンに接触しているか否かをチ
ェックする。 【構成】 基台41に固定された支持板43に支持され
たホルダ47と、このホルダに各基端が支持され、各先
端が僅かな間隔を存して対向し導体パターンに同時に接
触可能な2枚のプローブ55、56とを備えた構成とし
たものである。
前にプローブが導体パターンに接触しているか否かをチ
ェックする。 【構成】 基台41に固定された支持板43に支持され
たホルダ47と、このホルダに各基端が支持され、各先
端が僅かな間隔を存して対向し導体パターンに同時に接
触可能な2枚のプローブ55、56とを備えた構成とし
たものである。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線板の導体
パターンのショート、オープン等を検査する基板検査用
プローブ装置に関する。
パターンのショート、オープン等を検査する基板検査用
プローブ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】プリント回路板は、電子回路部品が実装
されて電子機器に組み込まれ、完成品となるまでに、各
段階で様々の検査を受ける。即ち、プリン配線板単体の
状態で行うショート、オープンの検査(ベアボードテス
ト)、回路部品搭載後に行う搭載の有無、極性の検査
(実装検査)、ハンダ付け後に行うショート、オープン
の検査(インサーキットテスト)、その後機能検査(フ
ァンクションテスト)を行い、最後に機器に組み込んで
からシステムとしての性能検査が行われる。
されて電子機器に組み込まれ、完成品となるまでに、各
段階で様々の検査を受ける。即ち、プリン配線板単体の
状態で行うショート、オープンの検査(ベアボードテス
ト)、回路部品搭載後に行う搭載の有無、極性の検査
(実装検査)、ハンダ付け後に行うショート、オープン
の検査(インサーキットテスト)、その後機能検査(フ
ァンクションテスト)を行い、最後に機器に組み込んで
からシステムとしての性能検査が行われる。
【0003】プリント配線板単体(以下「ベアボード」
という)の検査は、導体パターンやスルーホールのショ
ート、オープンを電気的に検査するもので、通常ベアボ
ードの所定箇所にスプリング付のコンタクトプローブと
呼ばれるピンを接触させて、電気的に導体パターンの接
続状態を検出する自動検査機により行われる。また、表
面実装用のベアボードは、部品取付用の孔がないために
片面からでは検査することができない箇所が出てくる。
従って、このようなベアボードに対しては、両面から挟
み込んで検査を行う冶具等が使用される。
という)の検査は、導体パターンやスルーホールのショ
ート、オープンを電気的に検査するもので、通常ベアボ
ードの所定箇所にスプリング付のコンタクトプローブと
呼ばれるピンを接触させて、電気的に導体パターンの接
続状態を検出する自動検査機により行われる。また、表
面実装用のベアボードは、部品取付用の孔がないために
片面からでは検査することができない箇所が出てくる。
従って、このようなベアボードに対しては、両面から挟
み込んで検査を行う冶具等が使用される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
コンタクトプローブは、ベアボードの導体パターンにピ
ンの先端をばね力により単に接触させる構成であるため
に確実に接触しているか否かを判別することができず、
導体パターンが短絡(ショート)しているにも拘わらず
短絡していないと誤診する虞があり、検査の信頼性に欠
けるという問題がある。
コンタクトプローブは、ベアボードの導体パターンにピ
ンの先端をばね力により単に接触させる構成であるため
に確実に接触しているか否かを判別することができず、
導体パターンが短絡(ショート)しているにも拘わらず
短絡していないと誤診する虞があり、検査の信頼性に欠
けるという問題がある。
【0005】本発明は、上述の点に鑑みてなされたもの
で、プリント配線板(ベアボード)の断線、短絡検査を
行う前にプローブが検査すべき導体パターンに確実に接
触しているか否かをチェックするようにした基板検査用
プローブ装置を提供することを目的とする。
で、プリント配線板(ベアボード)の断線、短絡検査を
行う前にプローブが検査すべき導体パターンに確実に接
触しているか否かをチェックするようにした基板検査用
プローブ装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明によれば、基台に固定された支持板に支持され
たホルダと、前記ホルダに各基端が支持され、各先端が
僅かな間隔を存して対向し導体パターンに同時に接触可
能な2枚のプローブとを備えた構成としたものである。
に本発明によれば、基台に固定された支持板に支持され
たホルダと、前記ホルダに各基端が支持され、各先端が
僅かな間隔を存して対向し導体パターンに同時に接触可
能な2枚のプローブとを備えた構成としたものである。
【0007】請求項2では、前記2枚のプローブは、各
先端が前記導体パターンを介して導通する構成としたも
のである。請求項3では、前記ホルダは、前記支持板に
昇降可能に支持され、前記2枚のプローブの先端を前記
導体パターンに接触させる構成としたものである。
先端が前記導体パターンを介して導通する構成としたも
のである。請求項3では、前記ホルダは、前記支持板に
昇降可能に支持され、前記2枚のプローブの先端を前記
導体パターンに接触させる構成としたものである。
【0008】
【作用】2枚のプローブは、各先端がベアボードの導体
パターンに接触すると当該導体パターンを介して導通す
る。これによりプローブの先端が検査すべき導体パター
ンに確実に接触したことが判定される。そして、プロー
ブの先端が導体パターンに確実に接触したことを判定し
た後、当該導体パターンの断線、短絡の検査を行う。
パターンに接触すると当該導体パターンを介して導通す
る。これによりプローブの先端が検査すべき導体パター
ンに確実に接触したことが判定される。そして、プロー
ブの先端が導体パターンに確実に接触したことを判定し
た後、当該導体パターンの断線、短絡の検査を行う。
【0009】請求項3では、ホルダは、支持板に昇降可
能に支持されており、2枚のプローブの各先端がベアボ
ードの導体パターンに同時にワンタッチで接触する。
能に支持されており、2枚のプローブの各先端がベアボ
ードの導体パターンに同時にワンタッチで接触する。
【0010】
【実施例】以下本発明の一実施例を添付図面に基づいて
詳述する。図1は、本発明に係る基板検査用プローブ装
置を備えた基板検査装置1の正面図、図2は、図1の側
面図、図3は、図2の矢印III−III方向から視た下面図
である。図1乃至図3において基板検査装置1は、筺体
2と、筺体2上に設置されたフレーム3と、フレーム3
の四隅の各支柱4の上端に載置固定されたプラテン5
と、筺体2上面に且つプラテン5と対向して水平に配設
固定されたプラテン6と、プラテン5及び6に夫々複数
台例えば、4台づつ配置された平面モータ7〜10及び
11〜14と、これらの平面モータ7〜10及び11〜
14に取り付けられたプローブ装置15〜18及び19
〜22と、プラテン5と6との略中間位置に水平に、且
つフレーム3の中央を左右方向に貫通して配置され、左
右両側が各支柱4に支持されてベアボードを搬送する搬
送機構例えば、ベルトコンベア30等により構成されて
いる。
詳述する。図1は、本発明に係る基板検査用プローブ装
置を備えた基板検査装置1の正面図、図2は、図1の側
面図、図3は、図2の矢印III−III方向から視た下面図
である。図1乃至図3において基板検査装置1は、筺体
2と、筺体2上に設置されたフレーム3と、フレーム3
の四隅の各支柱4の上端に載置固定されたプラテン5
と、筺体2上面に且つプラテン5と対向して水平に配設
固定されたプラテン6と、プラテン5及び6に夫々複数
台例えば、4台づつ配置された平面モータ7〜10及び
11〜14と、これらの平面モータ7〜10及び11〜
14に取り付けられたプローブ装置15〜18及び19
〜22と、プラテン5と6との略中間位置に水平に、且
つフレーム3の中央を左右方向に貫通して配置され、左
右両側が各支柱4に支持されてベアボードを搬送する搬
送機構例えば、ベルトコンベア30等により構成されて
いる。
【0011】プラテン5は、平盤状をなし高透磁率を有
する純鉄の厚板により構成されており、下面5aに所定
の溝幅の溝が、所定のピッチで、横(X軸)方向、縦
(Y軸)方向(図3)に、且つ所定の深さで全面に亘り
正確に刻設されて、多数の歯が形成された歯形板状の鉄
心とされている。プラテン6もプラテン5と同様に形成
されており、プラテン5の歯形板状の下面5aと対向す
る上面6a(図2)も歯形板状とされている。
する純鉄の厚板により構成されており、下面5aに所定
の溝幅の溝が、所定のピッチで、横(X軸)方向、縦
(Y軸)方向(図3)に、且つ所定の深さで全面に亘り
正確に刻設されて、多数の歯が形成された歯形板状の鉄
心とされている。プラテン6もプラテン5と同様に形成
されており、プラテン5の歯形板状の下面5aと対向す
る上面6a(図2)も歯形板状とされている。
【0012】プラテン5の四隅には、平面モータ7〜1
0を各原点位置(当該プラテン5の四隅)に正確に復帰
させるための原点復帰装置25(図3)が設けられてい
る。プラテン6にも同様に平面モータ11〜14を原点
位置に正確に復帰させるための原点復帰装置(図示せ
ず)が設けられている。更に、筺体2の上面にはプラテ
ン5の両側中央位置に隣接して平面モータ7〜10をプ
ラテン5に搬入し、又はプラテン5から搬出するための
入出部26、26’が設けられている。これらの入出部
26、26’は、平面モータ7よりも僅かに大きいアル
ミニウム或いは合成樹脂部材等の非磁性部材の平板によ
り形成されており、下面がプラテン5の下面5aと同一
面とされている。
0を各原点位置(当該プラテン5の四隅)に正確に復帰
させるための原点復帰装置25(図3)が設けられてい
る。プラテン6にも同様に平面モータ11〜14を原点
位置に正確に復帰させるための原点復帰装置(図示せ
ず)が設けられている。更に、筺体2の上面にはプラテ
ン5の両側中央位置に隣接して平面モータ7〜10をプ
ラテン5に搬入し、又はプラテン5から搬出するための
入出部26、26’が設けられている。これらの入出部
26、26’は、平面モータ7よりも僅かに大きいアル
ミニウム或いは合成樹脂部材等の非磁性部材の平板によ
り形成されており、下面がプラテン5の下面5aと同一
面とされている。
【0013】平面モータ7は、正方形状の非磁性部材例
えば、アルミニウムにより形成されたハウジング40
(図3)内にプラテン5の下面5aに沿ってX軸方向に
走行するための電磁石と、Y軸方向に沿って走行するた
めの電磁石(図示せず)が収納されている。そして、各
電磁石の鉄心の各上面には夫々所定幅の溝が刻設された
鉄心が設けられ、プラテン5の下面5aの歯形と対向可
能とされている。更に、平面モータ7は、X軸方向、Y
軸方向への走行用の各電磁石内に夫々極めて強力な永久
磁石(図示せず)が配設されており、これらの永久磁石
は、前記電磁石と協働して前記X軸、Y軸方向への推力
を得ると共に、プラテン5と閉磁路を形成して当該プラ
テン5の下面5aにハウジング40を強力に吸着させる
機能を有している。
えば、アルミニウムにより形成されたハウジング40
(図3)内にプラテン5の下面5aに沿ってX軸方向に
走行するための電磁石と、Y軸方向に沿って走行するた
めの電磁石(図示せず)が収納されている。そして、各
電磁石の鉄心の各上面には夫々所定幅の溝が刻設された
鉄心が設けられ、プラテン5の下面5aの歯形と対向可
能とされている。更に、平面モータ7は、X軸方向、Y
軸方向への走行用の各電磁石内に夫々極めて強力な永久
磁石(図示せず)が配設されており、これらの永久磁石
は、前記電磁石と協働して前記X軸、Y軸方向への推力
を得ると共に、プラテン5と閉磁路を形成して当該プラ
テン5の下面5aにハウジング40を強力に吸着させる
機能を有している。
【0014】ハウジング40の上面の所定箇所には夫々
スリットが形成されており、各スリットの中央には夫々
小孔の各一端が開口されている(共に図示せず)。これ
らの小孔の各他端は、ハウジング内で纏められ、エアホ
ースを介して高圧空気源(図示せず)に接続される。そ
して、前記各小孔から高圧の空気が噴出され、ハウジン
グ40を前記永久磁石の吸引力に抗してプラテン5の下
面5aから僅かな間隙(例えば、10μm程度)を存し
て水平に離隔させる。これにより平面モータ7は、プラ
テン5の下面5aとの間に前記僅かな間隙を存して即
ち、空間に浮いた状態で自由に走行可能とされる。
スリットが形成されており、各スリットの中央には夫々
小孔の各一端が開口されている(共に図示せず)。これ
らの小孔の各他端は、ハウジング内で纏められ、エアホ
ースを介して高圧空気源(図示せず)に接続される。そ
して、前記各小孔から高圧の空気が噴出され、ハウジン
グ40を前記永久磁石の吸引力に抗してプラテン5の下
面5aから僅かな間隙(例えば、10μm程度)を存し
て水平に離隔させる。これにより平面モータ7は、プラ
テン5の下面5aとの間に前記僅かな間隙を存して即
ち、空間に浮いた状態で自由に走行可能とされる。
【0015】他の平面モータ8〜14も平面モータ7と
同様に構成されている。そして、上側の4台の平面モー
タ7〜10は、プラテン5の下側に空間に浮いた状態で
水平に保持される。また、下側の4台の平面モータ11
〜14は、プラテン6上に僅かな間隙を存して空間に浮
いた状態で水平に保持される。このようにして、上側の
4台の平面モータ7〜10は、プラテン5の下側を、下
側の4台の平面モータ11〜14は、プラテン6上を、
夫々各別にX軸及びY軸方向に水平に走行可能とされ
る。
同様に構成されている。そして、上側の4台の平面モー
タ7〜10は、プラテン5の下側に空間に浮いた状態で
水平に保持される。また、下側の4台の平面モータ11
〜14は、プラテン6上に僅かな間隙を存して空間に浮
いた状態で水平に保持される。このようにして、上側の
4台の平面モータ7〜10は、プラテン5の下側を、下
側の4台の平面モータ11〜14は、プラテン6上を、
夫々各別にX軸及びY軸方向に水平に走行可能とされ
る。
【0016】平面モータ7〜10、11〜14の各ハウ
ジング40の下面には、前述したようにプローブ装置1
5〜18、19〜22(図2)が設けられている。これ
らのプローブ装置15〜22は、ベアボードの導体パタ
ーンの断線、短絡を検査するためのもので、各平面モー
タの走行方向即ち、X軸及びY軸方向に対して所定の角
度例えば、45°の角度をなして(図3)ハウジング4
0に配置されている。
ジング40の下面には、前述したようにプローブ装置1
5〜18、19〜22(図2)が設けられている。これ
らのプローブ装置15〜22は、ベアボードの導体パタ
ーンの断線、短絡を検査するためのもので、各平面モー
タの走行方向即ち、X軸及びY軸方向に対して所定の角
度例えば、45°の角度をなして(図3)ハウジング4
0に配置されている。
【0017】プローブ装置15の基台41は、ハウジン
グ40の下面ほぼ中央に固定されており、当該基台41
の下面一側にはL型のブラケット42を介して支持板4
3が下方に臨んで垂直に取り付けられている。支持板4
3の前端一側面には端面視略コ字状をなすホルダ44
(図4)が垂直に固定されている。このホルダ44は、
対向する両端部が上下に位置し、中央部が支持板43に
ボルトにより固定されている。2本のシャフト45、4
6(図4)は、各上下両端がホルダ44の上下両端部に
夫々垂直に、且つ互いに平行に支持されており、これら
のシャフト45、46には、ホルダ47がボールブッシ
ュ48、49(図4、図7)を介して水平に、且つ昇降
可能に支持されている。
グ40の下面ほぼ中央に固定されており、当該基台41
の下面一側にはL型のブラケット42を介して支持板4
3が下方に臨んで垂直に取り付けられている。支持板4
3の前端一側面には端面視略コ字状をなすホルダ44
(図4)が垂直に固定されている。このホルダ44は、
対向する両端部が上下に位置し、中央部が支持板43に
ボルトにより固定されている。2本のシャフト45、4
6(図4)は、各上下両端がホルダ44の上下両端部に
夫々垂直に、且つ互いに平行に支持されており、これら
のシャフト45、46には、ホルダ47がボールブッシ
ュ48、49(図4、図7)を介して水平に、且つ昇降
可能に支持されている。
【0018】ホルダ47の前端にはアタッチメント50
が着脱可能に取り付けられている。即ち、ホルダ47の
前端面左右両側には2本のピン51、51(図6)が前
方に臨んで水平に、且つ互いに平行に固定されており、
中央にはボルト孔47aが水平に穿設され、前端上面に
はボルト孔47aに直交して偏平な孔47bが垂直に穿
設されている。そして、この孔47bには板ナット52
が嵌挿されている。一方、アタッチメント50の上端に
はホルダ47のピン51、51、ボルト孔47aと対応
して孔50a、50a、ボルト孔50bが穿設されてい
る。アタッチメント50は、孔50a、50aにピン5
1、51が嵌合されて支持され、ボルト孔50c、47
aを嵌挿して板ナット52に螺合するボルト53により
固定される。
が着脱可能に取り付けられている。即ち、ホルダ47の
前端面左右両側には2本のピン51、51(図6)が前
方に臨んで水平に、且つ互いに平行に固定されており、
中央にはボルト孔47aが水平に穿設され、前端上面に
はボルト孔47aに直交して偏平な孔47bが垂直に穿
設されている。そして、この孔47bには板ナット52
が嵌挿されている。一方、アタッチメント50の上端に
はホルダ47のピン51、51、ボルト孔47aと対応
して孔50a、50a、ボルト孔50bが穿設されてい
る。アタッチメント50は、孔50a、50aにピン5
1、51が嵌合されて支持され、ボルト孔50c、47
aを嵌挿して板ナット52に螺合するボルト53により
固定される。
【0019】アタッチメント50は、図6乃至図8に示
すように前部の左右両側面50c、50dが前方に臨ん
で所定の角α(例えば、70°)をなすテーパ状に形成
されている。そして、左側の面50cの前部略中央には
孔50eが、後部には上下にボルト孔50f、50fが
穿設され、上面にはこれらのボルト孔50f、50fの
後端と垂直に交わる偏平な孔50gが貫設されている。
そして、この孔50gに板ナット54が嵌挿されてい
る。右側の面50dも左側面50cと同様に形成されて
いる。
すように前部の左右両側面50c、50dが前方に臨ん
で所定の角α(例えば、70°)をなすテーパ状に形成
されている。そして、左側の面50cの前部略中央には
孔50eが、後部には上下にボルト孔50f、50fが
穿設され、上面にはこれらのボルト孔50f、50fの
後端と垂直に交わる偏平な孔50gが貫設されている。
そして、この孔50gに板ナット54が嵌挿されてい
る。右側の面50dも左側面50cと同様に形成されて
いる。
【0020】アタッチメント50の両側面50c、50
dには夫々プローブ55、56が着脱可能に取り付けら
れている。プローブ55は、板状をなし基端55aの略
中央に小孔55cが穿設されており、先端55bが尖鋭
とされてベアボードに形成された導体パターンに接触可
能とされている。このプローブ55は、例えば、基端5
5aの下端に先端55bの上端部が電気的に導通可能に
接続固定されている。尚、プローブ55は、基端55a
が約1mm、先端55bが約0.3 mm 程度の板厚を有する
導電性部材により形成されている。プローブ56もプロ
ーブ55と同様に形成されている。
dには夫々プローブ55、56が着脱可能に取り付けら
れている。プローブ55は、板状をなし基端55aの略
中央に小孔55cが穿設されており、先端55bが尖鋭
とされてベアボードに形成された導体パターンに接触可
能とされている。このプローブ55は、例えば、基端5
5aの下端に先端55bの上端部が電気的に導通可能に
接続固定されている。尚、プローブ55は、基端55a
が約1mm、先端55bが約0.3 mm 程度の板厚を有する
導電性部材により形成されている。プローブ56もプロ
ーブ55と同様に形成されている。
【0021】プローブホルダ57は、プローブ55をア
タッチメント50に支持するためのもので、内面にはプ
ローブ55の基端55aが嵌合する溝57aが設けられ
ており、後端にはアタッチメント50の側面55cのボ
ルト孔55f、55fと対応してボルト孔57b、57
bが穿設されている。このプローブホルダ57は、ボル
ト孔57b、57b、50f、50fを挿通し板ナット
54に螺合するボルト58、58によりアタッチメント
50の側面50cに固定される。アタッチメント50の
側面50cの孔50eにはスプリング59、ボール60
が収納され、当該ボール60は、スプリング59のばね
力によりプローブホルダ57の溝57aの対向する面に
圧接する。
タッチメント50に支持するためのもので、内面にはプ
ローブ55の基端55aが嵌合する溝57aが設けられ
ており、後端にはアタッチメント50の側面55cのボ
ルト孔55f、55fと対応してボルト孔57b、57
bが穿設されている。このプローブホルダ57は、ボル
ト孔57b、57b、50f、50fを挿通し板ナット
54に螺合するボルト58、58によりアタッチメント
50の側面50cに固定される。アタッチメント50の
側面50cの孔50eにはスプリング59、ボール60
が収納され、当該ボール60は、スプリング59のばね
力によりプローブホルダ57の溝57aの対向する面に
圧接する。
【0022】プローブ55は、基端55aがプローブホ
ルダ57の溝57a内に下方から挿入され、ボール60
をスプリング59のばね力に抗して孔50e内に押し込
む。そして、孔55cがボール60と合致すると、当該
ボール60の先端がスプリング59のばね力により孔5
5c内に押し込まれて係合し、基端55aをプローブホ
ルダ57の溝57aに圧接する。これによりプローブ5
5は、アタッチメント50に支持される。プローブ55
を取り外す場合には、下方に引っ張ると、ボール60が
スプリング59のばね力に抗して孔55cから抜け出し
て係合が解除され取り外される。このようにしてプロー
ブ55がアタッチメント50に着脱可能に取り付けられ
る。プローブ56もプローブ55と同様にアタッチメン
ト50の右側面50dに着脱可能に取り付けられる。そ
して、左右2枚のプローブ55と56は、各先端55
b、56bが僅かな間隙d(例えば、0.02 mm 程度)を
存して対向して取り付けられる(図10)。
ルダ57の溝57a内に下方から挿入され、ボール60
をスプリング59のばね力に抗して孔50e内に押し込
む。そして、孔55cがボール60と合致すると、当該
ボール60の先端がスプリング59のばね力により孔5
5c内に押し込まれて係合し、基端55aをプローブホ
ルダ57の溝57aに圧接する。これによりプローブ5
5は、アタッチメント50に支持される。プローブ55
を取り外す場合には、下方に引っ張ると、ボール60が
スプリング59のばね力に抗して孔55cから抜け出し
て係合が解除され取り外される。このようにしてプロー
ブ55がアタッチメント50に着脱可能に取り付けられ
る。プローブ56もプローブ55と同様にアタッチメン
ト50の右側面50dに着脱可能に取り付けられる。そ
して、左右2枚のプローブ55と56は、各先端55
b、56bが僅かな間隙d(例えば、0.02 mm 程度)を
存して対向して取り付けられる(図10)。
【0023】図5及び図7に戻り、ホルダ47の後端面
にはドッグプレート62の基端が水平に固定されてお
り、支持板43に上下方向に穿設されたスリット43c
を水平に遊貫して当該ホルダ44と反対側に突出し、先
端62aが後方に略直角に折曲されている。支持板43
のホルダ47と反対側にはスリット43cの上端近傍に
ブラケット63を介してセンサ64が固定されている。
尚、ブラケット63は、支持板43に上下方向に調整可
能に取り付けられている。センサ64は、ドッグプレー
ト62の先端62aを検出してホルダ47の上限位置を
検出する。
にはドッグプレート62の基端が水平に固定されてお
り、支持板43に上下方向に穿設されたスリット43c
を水平に遊貫して当該ホルダ44と反対側に突出し、先
端62aが後方に略直角に折曲されている。支持板43
のホルダ47と反対側にはスリット43cの上端近傍に
ブラケット63を介してセンサ64が固定されている。
尚、ブラケット63は、支持板43に上下方向に調整可
能に取り付けられている。センサ64は、ドッグプレー
ト62の先端62aを検出してホルダ47の上限位置を
検出する。
【0024】支持板43には、センサ64の後方位置に
駆動用モータ66が取り付けられており(図5)、支持
板43の孔を遊貫して反対側(ホルダ47側)に突出し
た回転軸には歯付プーリ67が固定されている(図
4)。また、支持板47にはホルダ47側に且つスリッ
ト43cの上下両端近傍位置に歯付プーリ68、69が
回転可能に軸支されている(図4)。歯付ベルト70
は、プーリ67、68、69に掛回され、プーリ68と
69との間にホルダ47の後端が固定されている。この
ホルダ47は、図4及び図7に示すようにドッグプレー
ト62の基端との間にベルト70を圧着して固定され
る。これによりホルダ47即ち、プローブ55、56
は、モータ66の回転により昇降される。そして、プロ
ーブ55、56の各基端55a、56a(図8)、セン
サ64、及びモータ66は、後述する制御装置81(図
1)に接続される。
駆動用モータ66が取り付けられており(図5)、支持
板43の孔を遊貫して反対側(ホルダ47側)に突出し
た回転軸には歯付プーリ67が固定されている(図
4)。また、支持板47にはホルダ47側に且つスリッ
ト43cの上下両端近傍位置に歯付プーリ68、69が
回転可能に軸支されている(図4)。歯付ベルト70
は、プーリ67、68、69に掛回され、プーリ68と
69との間にホルダ47の後端が固定されている。この
ホルダ47は、図4及び図7に示すようにドッグプレー
ト62の基端との間にベルト70を圧着して固定され
る。これによりホルダ47即ち、プローブ55、56
は、モータ66の回転により昇降される。そして、プロ
ーブ55、56の各基端55a、56a(図8)、セン
サ64、及びモータ66は、後述する制御装置81(図
1)に接続される。
【0025】他の平面モータ8〜10、11〜14(図
1)に取り付けられたプローブ装置16〜18、19〜
22もプローブ装置15と同様に構成されている。そし
て、上側の4台のプローブ装置15〜18の中の例え
ば、対向する2台のプローブ装置16、17の各ハウジ
ング40の一側の所定位置には、夫々ベアボードを位置
決め停止させるべく当該ベアボードの所定の箇所を検出
するための位置検出用のカメラ75が、そのレンズ面を
真下に臨ませて垂直に配置されており、各プローブ装置
16、17の近傍には、各プローブの先端の位置を監視
するための監視カメラ76(図3)が取り付けられてい
る。
1)に取り付けられたプローブ装置16〜18、19〜
22もプローブ装置15と同様に構成されている。そし
て、上側の4台のプローブ装置15〜18の中の例え
ば、対向する2台のプローブ装置16、17の各ハウジ
ング40の一側の所定位置には、夫々ベアボードを位置
決め停止させるべく当該ベアボードの所定の箇所を検出
するための位置検出用のカメラ75が、そのレンズ面を
真下に臨ませて垂直に配置されており、各プローブ装置
16、17の近傍には、各プローブの先端の位置を監視
するための監視カメラ76(図3)が取り付けられてい
る。
【0026】尚、位置検出用のカメラ75、監視カメラ
76は、各プローブ装置に設ける必要はなく、ベルトコ
ンベア30(図2)の上方即ち、ベアボードの上方に位
置し且つ当該ベアボードの前端側に位置する2台のプロ
ーブ装置の中の1台に設ければ十分である。また、下側
の4台のリニアモータに取り付けられる各プローブ装置
(図示せず)は位置検出用カメラ、監視カメラを設けな
くとも良い。
76は、各プローブ装置に設ける必要はなく、ベルトコ
ンベア30(図2)の上方即ち、ベアボードの上方に位
置し且つ当該ベアボードの前端側に位置する2台のプロ
ーブ装置の中の1台に設ければ十分である。また、下側
の4台のリニアモータに取り付けられる各プローブ装置
(図示せず)は位置検出用カメラ、監視カメラを設けな
くとも良い。
【0027】そして、上側の4台の平面モータ7〜10
は、プラテン5の下方に、各プローブ装置15〜18が
夫々当該プラテンの中央に臨み(図3)、且つ各プロー
ブの先端が下方に位置するベルトコンベア30上に載置
されたベアボードの上面に対して夫々所定の角度θ(約
3°)をなして斜め下方に臨んで配置される(図4、図
5)。下側の4台の平面モータ11〜14は、プラテン
6上に、各プローブ装置が夫々当該プラテン6の中央に
臨み、且つ各プローブの先端が上方に位置する前記検査
基板の下面に対して夫々前記所定の角度θをなして斜め
上方に臨んで配置される。
は、プラテン5の下方に、各プローブ装置15〜18が
夫々当該プラテンの中央に臨み(図3)、且つ各プロー
ブの先端が下方に位置するベルトコンベア30上に載置
されたベアボードの上面に対して夫々所定の角度θ(約
3°)をなして斜め下方に臨んで配置される(図4、図
5)。下側の4台の平面モータ11〜14は、プラテン
6上に、各プローブ装置が夫々当該プラテン6の中央に
臨み、且つ各プローブの先端が上方に位置する前記検査
基板の下面に対して夫々前記所定の角度θをなして斜め
上方に臨んで配置される。
【0028】上側のプローブ装置15〜18は、前述し
たように夫々平面モータ7〜10のX軸、Y軸方向に対
して45°の角度をなし、且つ各プローブの先端がベア
ボードに立てた垂線に対して前記所定の角度θをなして
傾斜している。従って、これら4台のプローブ装置15
〜18は、図9に示すように互いに干渉することなく任
意の一点に集中させることができ、各プローブの先端
が、図10に示すようにベアボードの上面の任意の導体
パターンの1点Pの範囲(直径約0.1〜0.2 mmの円内)
に集中可能とされる。或いは図11のように僅かな間隔
q(約0.2 mm)で一列に並んで配置可能とされる。下側
の4台のプローブ装置19〜22についても同様であ
る。
たように夫々平面モータ7〜10のX軸、Y軸方向に対
して45°の角度をなし、且つ各プローブの先端がベア
ボードに立てた垂線に対して前記所定の角度θをなして
傾斜している。従って、これら4台のプローブ装置15
〜18は、図9に示すように互いに干渉することなく任
意の一点に集中させることができ、各プローブの先端
が、図10に示すようにベアボードの上面の任意の導体
パターンの1点Pの範囲(直径約0.1〜0.2 mmの円内)
に集中可能とされる。或いは図11のように僅かな間隔
q(約0.2 mm)で一列に並んで配置可能とされる。下側
の4台のプローブ装置19〜22についても同様であ
る。
【0029】図1に戻り、ベルトコンベア30は、前行
程からベアボードを当該基板検査装置1内に搬入するた
めのコンベア30a、このコンベア30aにより搬入さ
れたベアボードを所定の検査位置まで搬送し、検査中当
該位置に停止保持し、検査終了後搬出するコンベア30
b、コンベア30bにより搬送されてきたベアボードを
次の行程に搬送するためのコンベア30c等により構成
されている。
程からベアボードを当該基板検査装置1内に搬入するた
めのコンベア30a、このコンベア30aにより搬入さ
れたベアボードを所定の検査位置まで搬送し、検査中当
該位置に停止保持し、検査終了後搬出するコンベア30
b、コンベア30bにより搬送されてきたベアボードを
次の行程に搬送するためのコンベア30c等により構成
されている。
【0030】更に図1及び図2に示すように、筺体2内
には、平面モータ7〜14を夫々各別に制御するための
駆動装置80、各プローブ装置15〜22の駆動用モー
タを制御して各プローブを上下動させるための制御装置
81、平面モータ7〜10をプラテン5の原点位置に、
平面モータ11〜14をプラテン6の原点位置に夫々復
帰させるための各原点復帰装置25(図3)、ベルトコ
ンベア30等を制御するための制御装置82、各プロー
ブ装置15〜22からの信号を入力して基板を検査する
ための計測装置83、及びこれらの各制御装置80〜8
2、計測装置83を制御するためのコンピュータ84等
が収納されている。
には、平面モータ7〜14を夫々各別に制御するための
駆動装置80、各プローブ装置15〜22の駆動用モー
タを制御して各プローブを上下動させるための制御装置
81、平面モータ7〜10をプラテン5の原点位置に、
平面モータ11〜14をプラテン6の原点位置に夫々復
帰させるための各原点復帰装置25(図3)、ベルトコ
ンベア30等を制御するための制御装置82、各プロー
ブ装置15〜22からの信号を入力して基板を検査する
ための計測装置83、及びこれらの各制御装置80〜8
2、計測装置83を制御するためのコンピュータ84等
が収納されている。
【0031】また、フレーム3上にはプローブ装置15
に設けられた監視カメラ76により撮影したプローブの
先端と検査基板とを表示するディスプレイ装置、検査基
板を検査するための各種の入力データ、検査結果等を表
示するためのディスプレイ装置(何れも図示せず)が載
置されている。また、検査エラーや平面モータの脱調等
を警告するディスプレ装置も設置されている。更に、筺
体2には検査基板のデータ、検査項目等を入力したり、
コンピュータ84を制御するための図示しない入力装置
(キーボード)が配置されている。尚、前記ディスプレ
イ装置は、必ずしも結果を画面に表示するものに限るも
のではなく、ランプ等により表示するようにしても良い
ことは勿論である。
に設けられた監視カメラ76により撮影したプローブの
先端と検査基板とを表示するディスプレイ装置、検査基
板を検査するための各種の入力データ、検査結果等を表
示するためのディスプレイ装置(何れも図示せず)が載
置されている。また、検査エラーや平面モータの脱調等
を警告するディスプレ装置も設置されている。更に、筺
体2には検査基板のデータ、検査項目等を入力したり、
コンピュータ84を制御するための図示しない入力装置
(キーボード)が配置されている。尚、前記ディスプレ
イ装置は、必ずしも結果を画面に表示するものに限るも
のではなく、ランプ等により表示するようにしても良い
ことは勿論である。
【0032】そして、平面モータ7〜14は、制御装置
80に、プローブ装置15〜22は、制御装置81、計
測装置83に夫々図示しないケーブルにより接続されて
いる。また、平面モータ7〜14は、夫々エアホースを
介して高圧空気源(共に図示せず)にも接続されてい
る。フレーム3と各平面モータ7〜14の間にはケーブ
ル保護可撓管91〜98(図1〜図3)が略水平に取り
付けられている。これらのケーブル保護可撓管91〜9
8は、各基端がフレーム3に、各先端が夫々平面モータ
7〜14に固定されており、フレーム3と平面モータ7
〜14との間における前記ケーブル及びエアホースを収
納し、各平面モータ7〜14のケーブル及びエアホース
が、他の平面モータ、フレーム3、プラテン6、ベルト
コンベア30等に干渉することなく、且つ各平面モータ
7〜14の走行に応じて自由に湾曲して追従し得るよう
に支持している(図3に2点鎖線で示す)。これにより
平面モータ7〜14は、夫々自由に走行可能とされる。
80に、プローブ装置15〜22は、制御装置81、計
測装置83に夫々図示しないケーブルにより接続されて
いる。また、平面モータ7〜14は、夫々エアホースを
介して高圧空気源(共に図示せず)にも接続されてい
る。フレーム3と各平面モータ7〜14の間にはケーブ
ル保護可撓管91〜98(図1〜図3)が略水平に取り
付けられている。これらのケーブル保護可撓管91〜9
8は、各基端がフレーム3に、各先端が夫々平面モータ
7〜14に固定されており、フレーム3と平面モータ7
〜14との間における前記ケーブル及びエアホースを収
納し、各平面モータ7〜14のケーブル及びエアホース
が、他の平面モータ、フレーム3、プラテン6、ベルト
コンベア30等に干渉することなく、且つ各平面モータ
7〜14の走行に応じて自由に湾曲して追従し得るよう
に支持している(図3に2点鎖線で示す)。これにより
平面モータ7〜14は、夫々自由に走行可能とされる。
【0033】以下に作用を説明する。基板検査装置1
は、待機状態において、図1乃至図3に示すように平面
モータ7〜10及び11〜14がプラテン5及び6の四
隅即ち、各原点位置に停止している。例えば、平面モー
タ7〜10は、図3に示すように夫々プラテン5の四隅
の各原点位置に停止している。尚、これらの平面モータ
7〜10、11〜14は、高圧空気が供給されないとき
には前述したように永久磁石によりプラテン5、6に強
力に吸着されて保持されている。また、プローブ装置1
5〜22は、夫々プローブが後退しており、各先端がベ
ルトコンベア30から上下に所定距離離隔している。
は、待機状態において、図1乃至図3に示すように平面
モータ7〜10及び11〜14がプラテン5及び6の四
隅即ち、各原点位置に停止している。例えば、平面モー
タ7〜10は、図3に示すように夫々プラテン5の四隅
の各原点位置に停止している。尚、これらの平面モータ
7〜10、11〜14は、高圧空気が供給されないとき
には前述したように永久磁石によりプラテン5、6に強
力に吸着されて保持されている。また、プローブ装置1
5〜22は、夫々プローブが後退しており、各先端がベ
ルトコンベア30から上下に所定距離離隔している。
【0034】さて、ベアボードの検査を開始すべく前記
入力装置が操作されると、制御装置80が平面モータ7
〜14に駆動電流を供給して、これらの平面モータ7〜
14を所定の検査位置まで高速走行させ、当該位置に正
確に位置決め停止させる。一方、制御装置82は、ベル
トコンベア30aを駆動してベアボード(図示せず)を
基板検査装置1内に搬入し、更にベルトコンベア30b
を駆動して当該基板検査装置1の中央に向かって搬送す
る。そして、平面モータ7の位置検出用カメラ75(図
3)が前記ベアボードの所定箇所例えば、前端を検出す
ると、制御装置82がベルトコンベア30a、30bを
停止させる。これによりベアボードが所定の検査位置に
搬送される。
入力装置が操作されると、制御装置80が平面モータ7
〜14に駆動電流を供給して、これらの平面モータ7〜
14を所定の検査位置まで高速走行させ、当該位置に正
確に位置決め停止させる。一方、制御装置82は、ベル
トコンベア30aを駆動してベアボード(図示せず)を
基板検査装置1内に搬入し、更にベルトコンベア30b
を駆動して当該基板検査装置1の中央に向かって搬送す
る。そして、平面モータ7の位置検出用カメラ75(図
3)が前記ベアボードの所定箇所例えば、前端を検出す
ると、制御装置82がベルトコンベア30a、30bを
停止させる。これによりベアボードが所定の検査位置に
搬送される。
【0035】次に、制御装置81がプローブ装置15〜
22の各駆動用モータを駆動し、各プローブの各先端を
ベアボードの導通パターンの所定の検査箇所に接触させ
る。プローブ装置15のプローブ55、56は、下降し
て各先端55b、56bが導体パターンの所定の箇所に
接触すると当該導体パターンにより導通する。即ち、制
御装置81は、プローブ装置15のプローブ55と56
とが接触していないことを確認した後、プローブ55と
56とを所定の位置まで下降させて停止させ、次に、計
測装置83が導体パターンによりプローブ55と56と
が導通するか否かを確認する。これによりプローブ5
5、56が当該導体パターンに接触したことが確認され
る。他のプローブ装置16〜18についても同様であ
る。
22の各駆動用モータを駆動し、各プローブの各先端を
ベアボードの導通パターンの所定の検査箇所に接触させ
る。プローブ装置15のプローブ55、56は、下降し
て各先端55b、56bが導体パターンの所定の箇所に
接触すると当該導体パターンにより導通する。即ち、制
御装置81は、プローブ装置15のプローブ55と56
とが接触していないことを確認した後、プローブ55と
56とを所定の位置まで下降させて停止させ、次に、計
測装置83が導体パターンによりプローブ55と56と
が導通するか否かを確認する。これによりプローブ5
5、56が当該導体パターンに接触したことが確認され
る。他のプローブ装置16〜18についても同様であ
る。
【0036】これにより計測装置83は、ベアボードの
導体パターンの断線、短絡等の検査をする前に、各プロ
ーブが夫々所定の導体パターンに確実に接触したことを
ワンタッチで判定する。そして、計測装置83は、プロ
ーブ装置15〜18の各プローブがベアボードの導体パ
ターンの所定の箇所に確実に接触したことを判定した
後、これらのプローブ装置15〜18からの信号により
導体パターンの断線、短絡の検査を行う。
導体パターンの断線、短絡等の検査をする前に、各プロ
ーブが夫々所定の導体パターンに確実に接触したことを
ワンタッチで判定する。そして、計測装置83は、プロ
ーブ装置15〜18の各プローブがベアボードの導体パ
ターンの所定の箇所に確実に接触したことを判定した
後、これらのプローブ装置15〜18からの信号により
導体パターンの断線、短絡の検査を行う。
【0037】制御装置81は、プローブ装置15による
当該箇所の検査が終了するとモータ66(図5)を駆動
してホルダ47を上昇させ、これに伴いプローブ55、
56が上昇して前記導体パターンから離隔する。ホルダ
47が上昇し、センサ64がドッグプレート62を検出
すると、制御装置81は、モータ66を停止させる。こ
れによりホルダ47即ち、プローブ55、56は、ベア
ボードの導体パターンから所定の高さhだけ離隔する
(図4、図5に2点鎖線で示す)。更に、制御装置81
は、プローブ55、56が接触していないことを確認す
る。即ち、制御装置81は、検査後のプローブ55と5
6との短絡を発見するために導体パターンから離隔した
後非導通であることを確認する。これにより検査の信頼
性が高められる。他のプローブ装置16〜18について
も同様である。
当該箇所の検査が終了するとモータ66(図5)を駆動
してホルダ47を上昇させ、これに伴いプローブ55、
56が上昇して前記導体パターンから離隔する。ホルダ
47が上昇し、センサ64がドッグプレート62を検出
すると、制御装置81は、モータ66を停止させる。こ
れによりホルダ47即ち、プローブ55、56は、ベア
ボードの導体パターンから所定の高さhだけ離隔する
(図4、図5に2点鎖線で示す)。更に、制御装置81
は、プローブ55、56が接触していないことを確認す
る。即ち、制御装置81は、検査後のプローブ55と5
6との短絡を発見するために導体パターンから離隔した
後非導通であることを確認する。これにより検査の信頼
性が高められる。他のプローブ装置16〜18について
も同様である。
【0038】次いで、制御装置80が、各平面モータ7
〜14をベアボードの次の検査箇所まで高速走行させ
る。制御装置81は、平面モータ7〜14が当該検査箇
所に停止すると、プローブ装置15〜18の各プローブ
の先端を前記ベアボードの導体パターンの所定の箇所に
接触させる。そして、当該箇所において各プローブの導
通を検出して確実に導体パターンに接触していることを
判定した後、当該導体パターンの断線、短絡を検出す
る。このようにしてプローブ装置15〜22を移動させ
て前記ベアボードの導体パターンの断線、短絡検査を順
次実行する。
〜14をベアボードの次の検査箇所まで高速走行させ
る。制御装置81は、平面モータ7〜14が当該検査箇
所に停止すると、プローブ装置15〜18の各プローブ
の先端を前記ベアボードの導体パターンの所定の箇所に
接触させる。そして、当該箇所において各プローブの導
通を検出して確実に導体パターンに接触していることを
判定した後、当該導体パターンの断線、短絡を検出す
る。このようにしてプローブ装置15〜22を移動させ
て前記ベアボードの導体パターンの断線、短絡検査を順
次実行する。
【0039】そして、前記ベアボードの導体パターンの
全ての断線、短絡検査が終了すると、制御装置81が各
プローブ装置を当該ベアボードから離隔させ、次に搬入
されてくるベアボードの検査を行うべく待機する。制御
装置82は、前記ベアボードの検査が終了すると、ベル
トコンベア30b、30cを駆動して当該ベアボードを
次の行程に搬送する。
全ての断線、短絡検査が終了すると、制御装置81が各
プローブ装置を当該ベアボードから離隔させ、次に搬入
されてくるベアボードの検査を行うべく待機する。制御
装置82は、前記ベアボードの検査が終了すると、ベル
トコンベア30b、30cを駆動して当該ベアボードを
次の行程に搬送する。
【0040】尚、ベアボードの検査の内容によっては、
上下何れか一側のプローブ装置例えば、上側のプローブ
装置15〜18だけで行う場合もあり、更に、4台のプ
ローブ装置15〜18の中の所定の2乃至3台のプロー
ブ装置を使用して検査を行う場合もある。
上下何れか一側のプローブ装置例えば、上側のプローブ
装置15〜18だけで行う場合もあり、更に、4台のプ
ローブ装置15〜18の中の所定の2乃至3台のプロー
ブ装置を使用して検査を行う場合もある。
【0041】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、基
台に固定された支持板に支持されたホルダと、前記ホル
ダに各基端が支持され、各先端が僅かな間隔を存して対
向し導体パターンに同時に接触可能な2枚のプローブと
を備えたことにより、ベアボードの導体パターンの断
線、短絡検査を行う前に各プローブの先端が当該導体パ
ターンに確実に接触したことを判定することができ、前
記導体パターンの断線、短絡を確実に検査することがで
き、信頼性の向上が図られる。
台に固定された支持板に支持されたホルダと、前記ホル
ダに各基端が支持され、各先端が僅かな間隔を存して対
向し導体パターンに同時に接触可能な2枚のプローブと
を備えたことにより、ベアボードの導体パターンの断
線、短絡検査を行う前に各プローブの先端が当該導体パ
ターンに確実に接触したことを判定することができ、前
記導体パターンの断線、短絡を確実に検査することがで
き、信頼性の向上が図られる。
【0042】請求項2では、2枚のプローブの各先端を
導体パターンを介して導通させることにより、プローブ
の先端が導体パターンに接触しているか否かを簡単に且
つ確実に判定することが可能である。請求項3では、2
枚のプローブを支持するホルダを支持板に昇降可能に設
けることにより、これらの2枚のプローブの先端を導体
パターンにワンタッチで接触させることができ、検査の
効率が向上する。
導体パターンを介して導通させることにより、プローブ
の先端が導体パターンに接触しているか否かを簡単に且
つ確実に判定することが可能である。請求項3では、2
枚のプローブを支持するホルダを支持板に昇降可能に設
けることにより、これらの2枚のプローブの先端を導体
パターンにワンタッチで接触させることができ、検査の
効率が向上する。
【図1】本発明に係る基板検査用プローブ装置を備えた
基板検査装置の一実施例を示す正面図である。
基板検査装置の一実施例を示す正面図である。
【図2】図1の側面図である。
【図3】図2の矢線III−III方向から見た下面図であ
る。
る。
【図4】本発明に係る基板検査用プローブ装置の一実施
例を示す一部切欠右側面図である。
例を示す一部切欠右側面図である。
【図5】図4のプローブ装置の左側面図である。
【図6】図4の一部切欠要部平面図である。
【図7】図4の一部切欠要部平面図である。
【図8】図7のプローブ装置の要部分解斜視図である。
【図9】図3のプローブ装置を一点に集中させた状態を
示す要部平面図である。
示す要部平面図である。
【図10】図9のプローブ装置の各プローブ先端の拡大
図である。
図である。
【図11】図3のプローブ装置を一列に近接して集中さ
せた場合の各プローブ先端の拡大図である。
せた場合の各プローブ先端の拡大図である。
1 基板検査装置 2 筺体 3 フレーム 4 支柱 5、6 プラテン 7〜14 平面モータ 15〜22 プローブ装置 25 原点復帰装置 26、26’ 入出部 30 ベルトコンベア 40 ハウジング 41 基台 43 支持板 47 ホルダ 50 アタッチメント 55、56 プローブ 57 プローブホルダ 62 ドッグプレート 64 センサ 66 モータ 67〜69 歯付プーリ 70 歯付ベルト 75、76 カメラ 80〜82 制御装置 83 計測装置 84 コンピュータ 91〜98 ケーブル保護可撓管
Claims (3)
- 【請求項1】 基台に固定された支持板に支持されたホ
ルダと、 前記ホルダに各基端が支持され、各先端が僅かな間隔を
存して対向し導体パターンに同時に接触可能な2枚のプ
ローブとを備えたことを特徴とする基板検査用プローブ
装置。 - 【請求項2】 前記2枚のプローブは、各先端が前記導
体パターンを介して導通することを特徴とする請求項1
に記載の基板検査用プローブ装置。 - 【請求項3】 前記ホルダは、前記支持板に昇降可能に
支持され、前記2枚のプローブの先端を前記導体パター
ンに接触させることを特徴とする請求項1又は2に記載
の基板検査用プローブ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7035541A JPH08233862A (ja) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | 基板検査用プローブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7035541A JPH08233862A (ja) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | 基板検査用プローブ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08233862A true JPH08233862A (ja) | 1996-09-13 |
Family
ID=12444601
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7035541A Pending JPH08233862A (ja) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | 基板検査用プローブ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08233862A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009524071A (ja) * | 2006-02-10 | 2009-06-25 | アーテーゲー ルーテル ウント メルツァー ゲーエムベーハー | コンポーネント化されていない印刷回路基板の検査のためのフィンガーテスター及びフィンガーテスターでコンポーネント化されていない印刷回路基板を検査する方法 |
JP2017015538A (ja) * | 2015-06-30 | 2017-01-19 | 能美防災株式会社 | 電圧測定用機器 |
-
1995
- 1995-02-23 JP JP7035541A patent/JPH08233862A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009524071A (ja) * | 2006-02-10 | 2009-06-25 | アーテーゲー ルーテル ウント メルツァー ゲーエムベーハー | コンポーネント化されていない印刷回路基板の検査のためのフィンガーテスター及びフィンガーテスターでコンポーネント化されていない印刷回路基板を検査する方法 |
JP2017015538A (ja) * | 2015-06-30 | 2017-01-19 | 能美防災株式会社 | 電圧測定用機器 |
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