JPH08233862A

JPH08233862A - 基板検査用プローブ装置

Info

Publication number: JPH08233862A
Application number: JP7035541A
Authority: JP
Inventors: Isao Okano; 勲岡野; Takashi Horii; 隆堀井; Hiroshi Suzuki; 弘鈴木
Original assignee: OKANO DENKI KK
Current assignee: OKANO DENKI KK
Priority date: 1995-02-23
Filing date: 1995-02-23
Publication date: 1996-09-13

Abstract

(57)【要約】【目的】ベアボードの導体パターンの断線、短絡検査
前にプローブが導体パターンに接触しているか否かをチ
ェックする。【構成】基台４１に固定された支持板４３に支持され
たホルダ４７と、このホルダに各基端が支持され、各先
端が僅かな間隔を存して対向し導体パターンに同時に接
触可能な２枚のプローブ５５、５６とを備えた構成とし
たものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線板の導体
パターンのショート、オープン等を検査する基板検査用
プローブ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】プリント回路板は、電子回路部品が実装
されて電子機器に組み込まれ、完成品となるまでに、各
段階で様々の検査を受ける。即ち、プリン配線板単体の
状態で行うショート、オープンの検査（ベアボードテス
ト）、回路部品搭載後に行う搭載の有無、極性の検査
（実装検査）、ハンダ付け後に行うショート、オープン
の検査（インサーキットテスト）、その後機能検査（フ
ァンクションテスト）を行い、最後に機器に組み込んで
からシステムとしての性能検査が行われる。

【０００３】プリント配線板単体（以下「ベアボード」
という）の検査は、導体パターンやスルーホールのショ
ート、オープンを電気的に検査するもので、通常ベアボ
ードの所定箇所にスプリング付のコンタクトプローブと
呼ばれるピンを接触させて、電気的に導体パターンの接
続状態を検出する自動検査機により行われる。また、表
面実装用のベアボードは、部品取付用の孔がないために
片面からでは検査することができない箇所が出てくる。
従って、このようなベアボードに対しては、両面から挟
み込んで検査を行う冶具等が使用される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
コンタクトプローブは、ベアボードの導体パターンにピ
ンの先端をばね力により単に接触させる構成であるため
に確実に接触しているか否かを判別することができず、
導体パターンが短絡（ショート）しているにも拘わらず
短絡していないと誤診する虞があり、検査の信頼性に欠
けるという問題がある。

【０００５】本発明は、上述の点に鑑みてなされたもの
で、プリント配線板（ベアボード）の断線、短絡検査を
行う前にプローブが検査すべき導体パターンに確実に接
触しているか否かをチェックするようにした基板検査用
プローブ装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明によれば、基台に固定された支持板に支持され
たホルダと、前記ホルダに各基端が支持され、各先端が
僅かな間隔を存して対向し導体パターンに同時に接触可
能な２枚のプローブとを備えた構成としたものである。

【０００７】請求項２では、前記２枚のプローブは、各
先端が前記導体パターンを介して導通する構成としたも
のである。請求項３では、前記ホルダは、前記支持板に
昇降可能に支持され、前記２枚のプローブの先端を前記
導体パターンに接触させる構成としたものである。

【０００８】

【作用】２枚のプローブは、各先端がベアボードの導体
パターンに接触すると当該導体パターンを介して導通す
る。これによりプローブの先端が検査すべき導体パター
ンに確実に接触したことが判定される。そして、プロー
ブの先端が導体パターンに確実に接触したことを判定し
た後、当該導体パターンの断線、短絡の検査を行う。

【０００９】請求項３では、ホルダは、支持板に昇降可
能に支持されており、２枚のプローブの各先端がベアボ
ードの導体パターンに同時にワンタッチで接触する。

【００１０】

【実施例】以下本発明の一実施例を添付図面に基づいて
詳述する。図１は、本発明に係る基板検査用プローブ装
置を備えた基板検査装置１の正面図、図２は、図１の側
面図、図３は、図２の矢印III−III方向から視た下面図
である。図１乃至図３において基板検査装置１は、筺体
２と、筺体２上に設置されたフレーム３と、フレーム３
の四隅の各支柱４の上端に載置固定されたプラテン５
と、筺体２上面に且つプラテン５と対向して水平に配設
固定されたプラテン６と、プラテン５及び６に夫々複数
台例えば、４台づつ配置された平面モータ７〜１０及び
１１〜１４と、これらの平面モータ７〜１０及び１１〜
１４に取り付けられたプローブ装置１５〜１８及び１９
〜２２と、プラテン５と６との略中間位置に水平に、且
つフレーム３の中央を左右方向に貫通して配置され、左
右両側が各支柱４に支持されてベアボードを搬送する搬
送機構例えば、ベルトコンベア３０等により構成されて
いる。

【００１１】プラテン５は、平盤状をなし高透磁率を有
する純鉄の厚板により構成されており、下面５ａに所定
の溝幅の溝が、所定のピッチで、横（Ｘ軸）方向、縦
（Ｙ軸）方向（図３）に、且つ所定の深さで全面に亘り
正確に刻設されて、多数の歯が形成された歯形板状の鉄
心とされている。プラテン６もプラテン５と同様に形成
されており、プラテン５の歯形板状の下面５ａと対向す
る上面６ａ（図２）も歯形板状とされている。

【００１２】プラテン５の四隅には、平面モータ７〜１
０を各原点位置（当該プラテン５の四隅）に正確に復帰
させるための原点復帰装置２５（図３）が設けられてい
る。プラテン６にも同様に平面モータ１１〜１４を原点
位置に正確に復帰させるための原点復帰装置（図示せ
ず）が設けられている。更に、筺体２の上面にはプラテ
ン５の両側中央位置に隣接して平面モータ７〜１０をプ
ラテン５に搬入し、又はプラテン５から搬出するための
入出部２６、２６’が設けられている。これらの入出部
２６、２６’は、平面モータ７よりも僅かに大きいアル
ミニウム或いは合成樹脂部材等の非磁性部材の平板によ
り形成されており、下面がプラテン５の下面５ａと同一
面とされている。

【００１３】平面モータ７は、正方形状の非磁性部材例
えば、アルミニウムにより形成されたハウジング４０
（図３）内にプラテン５の下面５ａに沿ってＸ軸方向に
走行するための電磁石と、Ｙ軸方向に沿って走行するた
めの電磁石（図示せず）が収納されている。そして、各
電磁石の鉄心の各上面には夫々所定幅の溝が刻設された
鉄心が設けられ、プラテン５の下面５ａの歯形と対向可
能とされている。更に、平面モータ７は、Ｘ軸方向、Ｙ
軸方向への走行用の各電磁石内に夫々極めて強力な永久
磁石（図示せず）が配設されており、これらの永久磁石
は、前記電磁石と協働して前記Ｘ軸、Ｙ軸方向への推力
を得ると共に、プラテン５と閉磁路を形成して当該プラ
テン５の下面５ａにハウジング４０を強力に吸着させる
機能を有している。

【００１４】ハウジング４０の上面の所定箇所には夫々
スリットが形成されており、各スリットの中央には夫々
小孔の各一端が開口されている（共に図示せず）。これ
らの小孔の各他端は、ハウジング内で纏められ、エアホ
ースを介して高圧空気源（図示せず）に接続される。そ
して、前記各小孔から高圧の空気が噴出され、ハウジン
グ４０を前記永久磁石の吸引力に抗してプラテン５の下
面５ａから僅かな間隙（例えば、１０μｍ程度）を存し
て水平に離隔させる。これにより平面モータ７は、プラ
テン５の下面５ａとの間に前記僅かな間隙を存して即
ち、空間に浮いた状態で自由に走行可能とされる。

【００１５】他の平面モータ８〜１４も平面モータ７と
同様に構成されている。そして、上側の４台の平面モー
タ７〜１０は、プラテン５の下側に空間に浮いた状態で
水平に保持される。また、下側の４台の平面モータ１１
〜１４は、プラテン６上に僅かな間隙を存して空間に浮
いた状態で水平に保持される。このようにして、上側の
４台の平面モータ７〜１０は、プラテン５の下側を、下
側の４台の平面モータ１１〜１４は、プラテン６上を、
夫々各別にＸ軸及びＹ軸方向に水平に走行可能とされ
る。

【００１６】平面モータ７〜１０、１１〜１４の各ハウ
ジング４０の下面には、前述したようにプローブ装置１
５〜１８、１９〜２２（図２）が設けられている。これ
らのプローブ装置１５〜２２は、ベアボードの導体パタ
ーンの断線、短絡を検査するためのもので、各平面モー
タの走行方向即ち、Ｘ軸及びＹ軸方向に対して所定の角
度例えば、４５°の角度をなして（図３）ハウジング４
０に配置されている。

【００１７】プローブ装置１５の基台４１は、ハウジン
グ４０の下面ほぼ中央に固定されており、当該基台４１
の下面一側にはＬ型のブラケット４２を介して支持板４
３が下方に臨んで垂直に取り付けられている。支持板４
３の前端一側面には端面視略コ字状をなすホルダ４４
（図４）が垂直に固定されている。このホルダ４４は、
対向する両端部が上下に位置し、中央部が支持板４３に
ボルトにより固定されている。２本のシャフト４５、４
６（図４）は、各上下両端がホルダ４４の上下両端部に
夫々垂直に、且つ互いに平行に支持されており、これら
のシャフト４５、４６には、ホルダ４７がボールブッシ
ュ４８、４９（図４、図７）を介して水平に、且つ昇降
可能に支持されている。

【００１８】ホルダ４７の前端にはアタッチメント５０
が着脱可能に取り付けられている。即ち、ホルダ４７の
前端面左右両側には２本のピン５１、５１（図６）が前
方に臨んで水平に、且つ互いに平行に固定されており、
中央にはボルト孔４７ａが水平に穿設され、前端上面に
はボルト孔４７ａに直交して偏平な孔４７ｂが垂直に穿
設されている。そして、この孔４７ｂには板ナット５２
が嵌挿されている。一方、アタッチメント５０の上端に
はホルダ４７のピン５１、５１、ボルト孔４７ａと対応
して孔５０ａ、５０ａ、ボルト孔５０ｂが穿設されてい
る。アタッチメント５０は、孔５０ａ、５０ａにピン５
１、５１が嵌合されて支持され、ボルト孔５０ｃ、４７
ａを嵌挿して板ナット５２に螺合するボルト５３により
固定される。

【００１９】アタッチメント５０は、図６乃至図８に示
すように前部の左右両側面５０ｃ、５０ｄが前方に臨ん
で所定の角α（例えば、７０°）をなすテーパ状に形成
されている。そして、左側の面５０ｃの前部略中央には
孔５０ｅが、後部には上下にボルト孔５０ｆ、５０ｆが
穿設され、上面にはこれらのボルト孔５０ｆ、５０ｆの
後端と垂直に交わる偏平な孔５０ｇが貫設されている。
そして、この孔５０ｇに板ナット５４が嵌挿されてい
る。右側の面５０ｄも左側面５０ｃと同様に形成されて
いる。

【００２０】アタッチメント５０の両側面５０ｃ、５０
ｄには夫々プローブ５５、５６が着脱可能に取り付けら
れている。プローブ５５は、板状をなし基端５５ａの略
中央に小孔５５ｃが穿設されており、先端５５ｂが尖鋭
とされてベアボードに形成された導体パターンに接触可
能とされている。このプローブ５５は、例えば、基端５
５ａの下端に先端５５ｂの上端部が電気的に導通可能に
接続固定されている。尚、プローブ５５は、基端５５ａ
が約１mm、先端５５ｂが約0.3 mm 程度の板厚を有する
導電性部材により形成されている。プローブ５６もプロ
ーブ５５と同様に形成されている。

【００２１】プローブホルダ５７は、プローブ５５をア
タッチメント５０に支持するためのもので、内面にはプ
ローブ５５の基端５５ａが嵌合する溝５７ａが設けられ
ており、後端にはアタッチメント５０の側面５５ｃのボ
ルト孔５５ｆ、５５ｆと対応してボルト孔５７ｂ、５７
ｂが穿設されている。このプローブホルダ５７は、ボル
ト孔５７ｂ、５７ｂ、５０ｆ、５０ｆを挿通し板ナット
５４に螺合するボルト５８、５８によりアタッチメント
５０の側面５０ｃに固定される。アタッチメント５０の
側面５０ｃの孔５０ｅにはスプリング５９、ボール６０
が収納され、当該ボール６０は、スプリング５９のばね
力によりプローブホルダ５７の溝５７ａの対向する面に
圧接する。

【００２２】プローブ５５は、基端５５ａがプローブホ
ルダ５７の溝５７ａ内に下方から挿入され、ボール６０
をスプリング５９のばね力に抗して孔５０ｅ内に押し込
む。そして、孔５５ｃがボール６０と合致すると、当該
ボール６０の先端がスプリング５９のばね力により孔５
５ｃ内に押し込まれて係合し、基端５５ａをプローブホ
ルダ５７の溝５７ａに圧接する。これによりプローブ５
５は、アタッチメント５０に支持される。プローブ５５
を取り外す場合には、下方に引っ張ると、ボール６０が
スプリング５９のばね力に抗して孔５５ｃから抜け出し
て係合が解除され取り外される。このようにしてプロー
ブ５５がアタッチメント５０に着脱可能に取り付けられ
る。プローブ５６もプローブ５５と同様にアタッチメン
ト５０の右側面５０ｄに着脱可能に取り付けられる。そ
して、左右２枚のプローブ５５と５６は、各先端５５
ｂ、５６ｂが僅かな間隙ｄ（例えば、0.02 mm 程度）を
存して対向して取り付けられる（図１０）。

【００２３】図５及び図７に戻り、ホルダ４７の後端面
にはドッグプレート６２の基端が水平に固定されてお
り、支持板４３に上下方向に穿設されたスリット４３ｃ
を水平に遊貫して当該ホルダ４４と反対側に突出し、先
端６２ａが後方に略直角に折曲されている。支持板４３
のホルダ４７と反対側にはスリット４３ｃの上端近傍に
ブラケット６３を介してセンサ６４が固定されている。
尚、ブラケット６３は、支持板４３に上下方向に調整可
能に取り付けられている。センサ６４は、ドッグプレー
ト６２の先端６２ａを検出してホルダ４７の上限位置を
検出する。

【００２４】支持板４３には、センサ６４の後方位置に
駆動用モータ６６が取り付けられており（図５）、支持
板４３の孔を遊貫して反対側（ホルダ４７側）に突出し
た回転軸には歯付プーリ６７が固定されている（図
４）。また、支持板４７にはホルダ４７側に且つスリッ
ト４３ｃの上下両端近傍位置に歯付プーリ６８、６９が
回転可能に軸支されている（図４）。歯付ベルト７０
は、プーリ６７、６８、６９に掛回され、プーリ６８と
６９との間にホルダ４７の後端が固定されている。この
ホルダ４７は、図４及び図７に示すようにドッグプレー
ト６２の基端との間にベルト７０を圧着して固定され
る。これによりホルダ４７即ち、プローブ５５、５６
は、モータ６６の回転により昇降される。そして、プロ
ーブ５５、５６の各基端５５ａ、５６ａ（図８）、セン
サ６４、及びモータ６６は、後述する制御装置８１（図
１）に接続される。

【００２５】他の平面モータ８〜１０、１１〜１４（図
１）に取り付けられたプローブ装置１６〜１８、１９〜
２２もプローブ装置１５と同様に構成されている。そし
て、上側の４台のプローブ装置１５〜１８の中の例え
ば、対向する２台のプローブ装置１６、１７の各ハウジ
ング４０の一側の所定位置には、夫々ベアボードを位置
決め停止させるべく当該ベアボードの所定の箇所を検出
するための位置検出用のカメラ７５が、そのレンズ面を
真下に臨ませて垂直に配置されており、各プローブ装置
１６、１７の近傍には、各プローブの先端の位置を監視
するための監視カメラ７６（図３）が取り付けられてい
る。

【００２６】尚、位置検出用のカメラ７５、監視カメラ
７６は、各プローブ装置に設ける必要はなく、ベルトコ
ンベア３０（図２）の上方即ち、ベアボードの上方に位
置し且つ当該ベアボードの前端側に位置する２台のプロ
ーブ装置の中の１台に設ければ十分である。また、下側
の４台のリニアモータに取り付けられる各プローブ装置
（図示せず）は位置検出用カメラ、監視カメラを設けな
くとも良い。

【００２７】そして、上側の４台の平面モータ７〜１０
は、プラテン５の下方に、各プローブ装置１５〜１８が
夫々当該プラテンの中央に臨み（図３）、且つ各プロー
ブの先端が下方に位置するベルトコンベア３０上に載置
されたベアボードの上面に対して夫々所定の角度θ（約
３°）をなして斜め下方に臨んで配置される（図４、図
５）。下側の４台の平面モータ１１〜１４は、プラテン
６上に、各プローブ装置が夫々当該プラテン６の中央に
臨み、且つ各プローブの先端が上方に位置する前記検査
基板の下面に対して夫々前記所定の角度θをなして斜め
上方に臨んで配置される。

【００２８】上側のプローブ装置１５〜１８は、前述し
たように夫々平面モータ７〜１０のＸ軸、Ｙ軸方向に対
して４５°の角度をなし、且つ各プローブの先端がベア
ボードに立てた垂線に対して前記所定の角度θをなして
傾斜している。従って、これら４台のプローブ装置１５
〜１８は、図９に示すように互いに干渉することなく任
意の一点に集中させることができ、各プローブの先端
が、図１０に示すようにベアボードの上面の任意の導体
パターンの１点Ｐの範囲（直径約0.1〜0.2 mmの円内）
に集中可能とされる。或いは図１１のように僅かな間隔
ｑ（約0.2 mm）で一列に並んで配置可能とされる。下側
の４台のプローブ装置１９〜２２についても同様であ
る。

【００２９】図１に戻り、ベルトコンベア３０は、前行
程からベアボードを当該基板検査装置１内に搬入するた
めのコンベア３０ａ、このコンベア３０ａにより搬入さ
れたベアボードを所定の検査位置まで搬送し、検査中当
該位置に停止保持し、検査終了後搬出するコンベア３０
ｂ、コンベア３０ｂにより搬送されてきたベアボードを
次の行程に搬送するためのコンベア３０ｃ等により構成
されている。

【００３０】更に図１及び図２に示すように、筺体２内
には、平面モータ７〜１４を夫々各別に制御するための
駆動装置８０、各プローブ装置１５〜２２の駆動用モー
タを制御して各プローブを上下動させるための制御装置
８１、平面モータ７〜１０をプラテン５の原点位置に、
平面モータ１１〜１４をプラテン６の原点位置に夫々復
帰させるための各原点復帰装置２５（図３）、ベルトコ
ンベア３０等を制御するための制御装置８２、各プロー
ブ装置１５〜２２からの信号を入力して基板を検査する
ための計測装置８３、及びこれらの各制御装置８０〜８
２、計測装置８３を制御するためのコンピュータ８４等
が収納されている。

【００３１】また、フレーム３上にはプローブ装置１５
に設けられた監視カメラ７６により撮影したプローブの
先端と検査基板とを表示するディスプレイ装置、検査基
板を検査するための各種の入力データ、検査結果等を表
示するためのディスプレイ装置（何れも図示せず）が載
置されている。また、検査エラーや平面モータの脱調等
を警告するディスプレ装置も設置されている。更に、筺
体２には検査基板のデータ、検査項目等を入力したり、
コンピュータ８４を制御するための図示しない入力装置
（キーボード）が配置されている。尚、前記ディスプレ
イ装置は、必ずしも結果を画面に表示するものに限るも
のではなく、ランプ等により表示するようにしても良い
ことは勿論である。

【００３２】そして、平面モータ７〜１４は、制御装置
８０に、プローブ装置１５〜２２は、制御装置８１、計
測装置８３に夫々図示しないケーブルにより接続されて
いる。また、平面モータ７〜１４は、夫々エアホースを
介して高圧空気源（共に図示せず）にも接続されてい
る。フレーム３と各平面モータ７〜１４の間にはケーブ
ル保護可撓管９１〜９８（図１〜図３）が略水平に取り
付けられている。これらのケーブル保護可撓管９１〜９
８は、各基端がフレーム３に、各先端が夫々平面モータ
７〜１４に固定されており、フレーム３と平面モータ７
〜１４との間における前記ケーブル及びエアホースを収
納し、各平面モータ７〜１４のケーブル及びエアホース
が、他の平面モータ、フレーム３、プラテン６、ベルト
コンベア３０等に干渉することなく、且つ各平面モータ
７〜１４の走行に応じて自由に湾曲して追従し得るよう
に支持している（図３に２点鎖線で示す）。これにより
平面モータ７〜１４は、夫々自由に走行可能とされる。

【００３３】以下に作用を説明する。基板検査装置１
は、待機状態において、図１乃至図３に示すように平面
モータ７〜１０及び１１〜１４がプラテン５及び６の四
隅即ち、各原点位置に停止している。例えば、平面モー
タ７〜１０は、図３に示すように夫々プラテン５の四隅
の各原点位置に停止している。尚、これらの平面モータ
７〜１０、１１〜１４は、高圧空気が供給されないとき
には前述したように永久磁石によりプラテン５、６に強
力に吸着されて保持されている。また、プローブ装置１
５〜２２は、夫々プローブが後退しており、各先端がベ
ルトコンベア３０から上下に所定距離離隔している。

【００３４】さて、ベアボードの検査を開始すべく前記
入力装置が操作されると、制御装置８０が平面モータ７
〜１４に駆動電流を供給して、これらの平面モータ７〜
１４を所定の検査位置まで高速走行させ、当該位置に正
確に位置決め停止させる。一方、制御装置８２は、ベル
トコンベア３０ａを駆動してベアボード（図示せず）を
基板検査装置１内に搬入し、更にベルトコンベア３０ｂ
を駆動して当該基板検査装置１の中央に向かって搬送す
る。そして、平面モータ７の位置検出用カメラ７５（図
３）が前記ベアボードの所定箇所例えば、前端を検出す
ると、制御装置８２がベルトコンベア３０ａ、３０ｂを
停止させる。これによりベアボードが所定の検査位置に
搬送される。

【００３５】次に、制御装置８１がプローブ装置１５〜
２２の各駆動用モータを駆動し、各プローブの各先端を
ベアボードの導通パターンの所定の検査箇所に接触させ
る。プローブ装置１５のプローブ５５、５６は、下降し
て各先端５５ｂ、５６ｂが導体パターンの所定の箇所に
接触すると当該導体パターンにより導通する。即ち、制
御装置８１は、プローブ装置１５のプローブ５５と５６
とが接触していないことを確認した後、プローブ５５と
５６とを所定の位置まで下降させて停止させ、次に、計
測装置８３が導体パターンによりプローブ５５と５６と
が導通するか否かを確認する。これによりプローブ５
５、５６が当該導体パターンに接触したことが確認され
る。他のプローブ装置１６〜１８についても同様であ
る。

【００３６】これにより計測装置８３は、ベアボードの
導体パターンの断線、短絡等の検査をする前に、各プロ
ーブが夫々所定の導体パターンに確実に接触したことを
ワンタッチで判定する。そして、計測装置８３は、プロ
ーブ装置１５〜１８の各プローブがベアボードの導体パ
ターンの所定の箇所に確実に接触したことを判定した
後、これらのプローブ装置１５〜１８からの信号により
導体パターンの断線、短絡の検査を行う。

【００３７】制御装置８１は、プローブ装置１５による
当該箇所の検査が終了するとモータ６６（図５）を駆動
してホルダ４７を上昇させ、これに伴いプローブ５５、
５６が上昇して前記導体パターンから離隔する。ホルダ
４７が上昇し、センサ６４がドッグプレート６２を検出
すると、制御装置８１は、モータ６６を停止させる。こ
れによりホルダ４７即ち、プローブ５５、５６は、ベア
ボードの導体パターンから所定の高さｈだけ離隔する
（図４、図５に２点鎖線で示す）。更に、制御装置８１
は、プローブ５５、５６が接触していないことを確認す
る。即ち、制御装置８１は、検査後のプローブ５５と５
６との短絡を発見するために導体パターンから離隔した
後非導通であることを確認する。これにより検査の信頼
性が高められる。他のプローブ装置１６〜１８について
も同様である。

【００３８】次いで、制御装置８０が、各平面モータ７
〜１４をベアボードの次の検査箇所まで高速走行させ
る。制御装置８１は、平面モータ７〜１４が当該検査箇
所に停止すると、プローブ装置１５〜１８の各プローブ
の先端を前記ベアボードの導体パターンの所定の箇所に
接触させる。そして、当該箇所において各プローブの導
通を検出して確実に導体パターンに接触していることを
判定した後、当該導体パターンの断線、短絡を検出す
る。このようにしてプローブ装置１５〜２２を移動させ
て前記ベアボードの導体パターンの断線、短絡検査を順
次実行する。

【００３９】そして、前記ベアボードの導体パターンの
全ての断線、短絡検査が終了すると、制御装置８１が各
プローブ装置を当該ベアボードから離隔させ、次に搬入
されてくるベアボードの検査を行うべく待機する。制御
装置８２は、前記ベアボードの検査が終了すると、ベル
トコンベア３０ｂ、３０ｃを駆動して当該ベアボードを
次の行程に搬送する。

【００４０】尚、ベアボードの検査の内容によっては、
上下何れか一側のプローブ装置例えば、上側のプローブ
装置１５〜１８だけで行う場合もあり、更に、４台のプ
ローブ装置１５〜１８の中の所定の２乃至３台のプロー
ブ装置を使用して検査を行う場合もある。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、基
台に固定された支持板に支持されたホルダと、前記ホル
ダに各基端が支持され、各先端が僅かな間隔を存して対
向し導体パターンに同時に接触可能な２枚のプローブと
を備えたことにより、ベアボードの導体パターンの断
線、短絡検査を行う前に各プローブの先端が当該導体パ
ターンに確実に接触したことを判定することができ、前
記導体パターンの断線、短絡を確実に検査することがで
き、信頼性の向上が図られる。

【００４２】請求項２では、２枚のプローブの各先端を
導体パターンを介して導通させることにより、プローブ
の先端が導体パターンに接触しているか否かを簡単に且
つ確実に判定することが可能である。請求項３では、２
枚のプローブを支持するホルダを支持板に昇降可能に設
けることにより、これらの２枚のプローブの先端を導体
パターンにワンタッチで接触させることができ、検査の
効率が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板検査用プローブ装置を備えた
基板検査装置の一実施例を示す正面図である。

【図２】図１の側面図である。

【図３】図２の矢線III−III方向から見た下面図であ
る。

【図４】本発明に係る基板検査用プローブ装置の一実施
例を示す一部切欠右側面図である。

【図５】図４のプローブ装置の左側面図である。

【図６】図４の一部切欠要部平面図である。

【図７】図４の一部切欠要部平面図である。

【図８】図７のプローブ装置の要部分解斜視図である。

【図９】図３のプローブ装置を一点に集中させた状態を
示す要部平面図である。

【図１０】図９のプローブ装置の各プローブ先端の拡大
図である。

【図１１】図３のプローブ装置を一列に近接して集中さ
せた場合の各プローブ先端の拡大図である。

【符号の説明】

１基板検査装置２筺体３フレーム４支柱５、６プラテン７〜１４平面モータ１５〜２２プローブ装置２５原点復帰装置２６、２６’ 入出部３０ベルトコンベア４０ハウジング４１基台４３支持板４７ホルダ５０アタッチメント５５、５６プローブ５７プローブホルダ６２ドッグプレート６４センサ６６モータ６７〜６９歯付プーリ７０歯付ベルト７５、７６カメラ８０〜８２制御装置８３計測装置８４コンピュータ９１〜９８ケーブル保護可撓管

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基台に固定された支持板に支持されたホ
ルダと、前記ホルダに各基端が支持され、各先端が僅かな間隔を
存して対向し導体パターンに同時に接触可能な２枚のプ
ローブとを備えたことを特徴とする基板検査用プローブ
装置。
【請求項２】前記２枚のプローブは、各先端が前記導
体パターンを介して導通することを特徴とする請求項１
に記載の基板検査用プローブ装置。
【請求項３】前記ホルダは、前記支持板に昇降可能に
支持され、前記２枚のプローブの先端を前記導体パター
ンに接触させることを特徴とする請求項１又は２に記載
の基板検査用プローブ装置。