JPH0818003A - ソリッドステートリレー - Google Patents

ソリッドステートリレー

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JPH0818003A
JPH0818003A JP6173221A JP17322194A JPH0818003A JP H0818003 A JPH0818003 A JP H0818003A JP 6173221 A JP6173221 A JP 6173221A JP 17322194 A JP17322194 A JP 17322194A JP H0818003 A JPH0818003 A JP H0818003A
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  • Photo Coupler, Interrupter, Optical-To-Optical Conversion Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 発熱量を抑えるとともに信頼性の高いソリッ
ドステートリレーを安価に提供する。 【構成】 受光素子3、第1のMOSFET5aのソー
ス電極11a及び第2のMOSFET5bのソース電極
11bをそれぞれダイパッド9c,9a,9b上にダイ
ボンドする。受光素子3のカソード3aと中継用リード
10aを金線8でワイヤボンディングし、中継用リード
10aと第1のMOSFET5aのソース電極11a及
び第2のMOSFET5bのソース電極11bを1本の
アルミ線12でステッチボンディングする。受光素子3
のアノード3bと中継用リード10bを金線8でワイヤ
ボンディングし、中継用リード10bと第1のMOSF
ET5aのゲート電極13a及び第2のMOSFET5
bのゲート電極13bをアルミ線12でステッチボンデ
ィングする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はソリッドステートリレー
に関する。具体的にいうと、MOSFETを利用したソ
リッドステートリレーに関する。
【0002】
【従来の技術】近年、長寿命で、高速・高頻度開閉に適
した非接点リレーとしてMOSFETを利用したソリッ
ドステートリレー(以下「SSR」と記す。)が開発さ
れている。このSSRの一つとして2つのパワーMOS
FET(以下「MOSFET」と記す。)をソース電極
間で逆直列に接続することにより、AC/DC双方の出
力負荷に対応させたものがあり、図9にその動作原理を
示す。発光素子52は入力端子60,60から入力され
た入力信号を光信号に変換し、受光素子53に向けて出
射する。受光素子53は光信号を受光すると電気信号に
変換して、第1のMOSFET55aのゲート電極56
a及び第2のMOSFET55bのゲート電極56bに
それぞれ負の電圧を印加する。ゲート電極56a,56
bに負の電圧が印加されると第1のMOSFET55a
のソース電極58a−ドレイン電極59a間及び第2の
MOSFET55bのソース電極58b−ドレイン電極
59b間に電流通路が開かれ、出力端子61,61間は
導通状態となる。
【0003】しかして、第1のMOSFET55aにお
いてドレイン電極59aに正の負荷を加えた状態で、入
力端子60,60間をONにすると、第1のゲート電極
56aに負の電圧が印加され、第1のドレイン電極59
a→第1のソース電極58a→第2のダイオード57b
→第2のドレイン電極59bへと電流が流れ、出力端子
61,61の間がONされる。また、第2のドレイン電
極59bに正の負荷を加えた状態で、入力端子60,6
0間をONにすると、第2のゲート電極56bに負の電
圧が印加され、第2のドレイン電極59b→第2のソー
ス電極58b→第1のダイオード57a→第1のドレイ
ン電極59aへと電流が流れ、出力端子61,61間が
ONされる。したがって、入力端子60,60間を電気
的にON−OFF制御することによって、AC/DCい
ずれの負荷であっても出力端子61,61間をON−O
FF制御することができる。なお、図中54はターンオ
フ回路であって、MOSFET55a,55bのターン
オフ時間を短くするための回路である。
【0004】図10に示すものは、この従来のSSR5
1の一例を示す平面構造図であって、発光素子52及び
受光素子53は光信号を界面で反射することによって効
率よく伝達するためシリコンゲルのような透明な封止樹
脂62によって封止され、2つのMOSFET55a,
55bとともに一体として樹脂によって封止成形されて
おり、一対の入力端子用リード63a,63bと一対の
出力端子用リード64a,64bが外装樹脂部65から
引き出されている。このSSR51はリードフレーム6
6を用いて簡単に作製することができ、リードフレーム
66は図11に示すように、入力端子用リード63a,
63bや出力端子用リード64a,64b、MOSFE
T55a,55bや受光素子53を実装するためのダイ
パッド67a,67b,67c及び一対の中継用リード
68a,68bなどが所定のパターンに加工されてい
る。
【0005】SSR51を作成するには図11に示すよ
うにまず、一方の入力端子用リード63aにLEDのよ
うな発光素子52をダイボンドし、発光素子52と並列
させフォトダイオードのような受光素子53をダイパッ
ド67c上にダイボンドする。また、ダイパッド67
a,67b上にはMOSFET55a,55bのドレイ
ン電極59a,59bをそれぞれダイボンドする。次に
発光素子52と残る入力端子用リード63bを金線69
でボンディングし、受光素子53の各端子と各中継用リ
ード68a,68bとの間を金線69でボンディングし
た後、発光素子52と受光素子53を封止樹脂62で封
止する。また、中継用リード68aと2つのMOSFE
T55a,55bの各ゲート電極56a,56bの間を
それぞれアルミ線70でボンディングし、中継用リード
68bと各ソース電極58a,58bの間をそれぞれア
ルミ線70でボンディングする。このようにして、リー
ドフレーム66上に発光素子52及び受光素子53並び
に2つのMOSFET55a,55bをほぼ一列となる
ように実装したのち、最後にこれらを一体として封止成
形し、外装樹脂部65をリードフレーム66から切り離
してSSR51を作製することができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】このとき、中継用リー
ド68a,68bと2つのMOSFET55a,55b
のワイヤボンディングに用いるアルミ線70には、配線
抵抗をできるだけ小さくするため太いアルミ線か複数本
のアルミ線が用いられていた。
【0007】しかしながら、2つのMOSFET55
a,55bの各ソース電極58a,58bと中継用リー
ド68bとの間はそれぞれアルミ線70によってワイヤ
ボンディングされていたため、ソース電極58aとソー
ス電極58bの間の電気抵抗は、2本のアルミ線70の
電気抵抗と中継用リード68bの電気抵抗の和となって
かなり大きなものとなっていた。例えば、直径が200
μmのアルミ線70を用いた場合には、アルミ線1mm
当たり0.6mΩの抵抗があり、中継用リード68bは
銅製であるのでその抵抗を無視したとしても、ソース電
極58aとソース電極58bとの間の全アルミ線70の
長さが20mmあれば、両者間のアルミ線70の抵抗値
は12mΩとなる。したがって、仮にソース電極58
a,58b間に10Aの電流が流れた場合には1.2W
の発熱量を生じ、SSR51からの放熱や周囲温度など
の使用条件を考慮しなければならなかった。また、ゲー
ト電極56a,56b間の電気抵抗も同様にかなり大き
なものとなり、SSR51全体としての発熱量を増加さ
せる結果となっていた。
【0008】また、受光素子53の各端子と各中継用リ
ード68a,68bとの間は金線69によってそれぞれ
ワイヤボンディングされていた。このため、金線69を
ワイヤボンディングする各中継用リード68a,68b
には金メッキなど金線69と接合性のよいメッキを施さ
なければならず、製造工程が繁雑なものとなり、製造コ
ストが高くなるという問題点もあった。
【0009】さらに、2つのMOSFET55a,55
bは、ドレイン電極59a,59bが直接ダイパッド6
7a,67b上にダイボンドされて実装されているた
め、出力端子用リード64a,64bと反対側のダイパ
ッド側面が外装樹脂部65から露出されていると感電す
る危険性があった。このため、ダイパッド側面が外部に
露出されないように、ダイパッド67a,67b,67
cがリードフレーム外枠66aから切り離された状態と
なっていた(図11参照)。その結果、例えばダイパッ
ド67b上にMOSFET55bを実装した場合には、
図12(a)に示すようにその重みによってリードフレ
ーム66が変形してダイパッド67bが傾いてしまい、
ワイヤボンディングを行なうことが困難であった。特に
厚さが0.5mm以下でリードフレーム66の厚さが薄
くなればなるほど顕著であった。また、リードフレーム
66の変形を矯正してダイパッド67bを水平の状態に
戻してワイヤボンディングしたとしても、次工程への搬
送中に再び変形してしまい、図12(b)に示すように
ダイパッド67bが傾いたまま封止成形されたり、ボン
ディングされたアルミ線70や金線69が切断されて、
SSR51の歩留りが悪くなるという問題点もあった。
【0010】また、このSSR51にあっては、発光素
子52と受光素子53とが同一平面上に配置された平面
型カプラ構造となっているため光の伝達効率が悪く、こ
のため複数個の発光素子52を用いて発光量を多くする
場合がある。例えば、図13に示すSSR71のよう
に、装着用リード72上にもう一つ別な発光素子52を
実装し、入力端子用リード63a上の発光素子52と装
着用リード72とを金線69によってボンディングして
いた。このとき、図14(a)に示すように、同じ型の
発光素子52、例えばNサイドアップ型の発光素子52
を用いて、発光素子52のPサイドをそれぞれ入力端子
用リード63a及び装着用リード72上にダイボンド
し、入力端子用リード63a上の発光素子52のNサイ
ドと装着用リード72を金線69でボンディングし、装
着用リード72上の発光素子52のNサイドと残る入力
端子用リード63bとを金線69でボンディングするこ
とによって、図14(b)に示すように2つの発光素子
52を直列に接続していた。このため、発光素子52を
実装する装着用リード72に金メッキ等のメッキ処理を
しなければならず、発光素子52を増やすごとにメッキ
処理すべき装着用リード72が多くなり、製造工程が面
倒になるとともにコストが高くなっていた。
【0011】本発明は叙上の従来例の欠点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、発熱量を抑
えるとともに、製造コストの低下を図り、信頼性の高い
ソリッドステートリレーを提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明のソリッドステー
トリレーは、発光状態と消光状態とに切替わる発光部
と、前記発光部から出射された光を受光する受光部と、
前記受光部で生じた光起電力によってスイッチング動作
を行なう第1の半導体スイッチング素子と第2の半導体
スイッチング素子を備え、前記受光部、前記第1の半導
体スイッチング素子及び前記第2の半導体スイッチング
素子をリードフレーム上にほぼ一列に実装して封止成形
したソリッドステートリレーにおいて、前記受光部の電
極と電気的に接続された前記第1の半導体スイッチング
素子の電極と前記第2の半導体スイッチング素子の電極
を直接ワイヤボンディングしたことを特徴としている。
【0013】さらに、前記受光部の電極と前記第1の半
導体スイッチング素子の電極を直接ワイヤボンディング
するのが好ましい。
【0014】また、前記発光部は、少なくとも1以上の
Pサイドアップ半導体発光素子と少なくとも1以上のN
サイドアップ半導体発光素子とから構成され、リード部
分に実装された前記Pサイドアップ半導体発光素子のP
サイドと他のリード部分に実装された前記Nサイドアッ
プ半導体素子のNサイドを直接ワイヤボンディングする
ことができる。
【0015】また、前記リードフレームには、少なくと
も前記第1の半導体スイッチング素子を実装するリード
部分及び前記第2の半導体スイッチング素子を実装する
リード部分を支持するための絶縁性のリード支持部を設
けることとしてもよい。
【0016】
【作用】本発明のソリッドステートリレーによれば、発
光部の電極と電気的に接続された第1の半導体スイッチ
ング素子の電極と第2の半導体スイッチング素子の電極
は、直接ワイヤボンディングされているので、発光部の
電極と各半導体スイッチング素子の電極間をそれぞれボ
ンディングする場合に比べ、接続するワイヤ長を短くす
ることができる。このため、ワイヤの配線抵抗が小さく
なってワイヤによる発熱を抑えることができる。また、
ボンディング箇所が少なくなるため、ボンディング箇所
の接続不良が少なくなり、ソリッドステートリレーの信
頼性を向上させることができる。
【0017】また、発光部の電極と第1の半導体スイッ
チング素子の電極との間を直接ワイヤボンディングする
ことにより、さらにワイヤ長を短くしてより配線抵抗や
発熱を少なくすることができる。
【0018】また、リード部分に実装されたPサイドア
ップ半導体発光素子のPサイドと他のリード部分に実装
されたNサイドアップ半導体発光素子のNサイドとを直
接ワイヤボンディングしているので、2以上の発光素子
を使った場合でも、発光素子の電極と他の発光素子を実
装したリード部分とをワイヤボンディングする必要がな
くなる。したがって、ボンディング箇所やメッキ処理す
べきリード部分が少なくなり、安い製造コストで発光量
を増やすことができる。
【0019】さらに、半導体スイッチング素子を実装す
る2つのリード部分を支持する絶縁性のリード支持部を
リードフレームに設けているので、半導体スイッチング
素子を実装したリード部分が曲らずにリードフレームと
水平に保持することができ、2つの半導体スイッチング
素子間を接続するワイヤや受光部と半導体スイッチング
素子を接続するワイヤが切断されることなく封止成形す
ることができる。もちろん、ソリッドステートリレーの
側面にリード支持部が露出されたとしても絶縁性である
ので、その部分に触れても感電することもない。また、
サージ電流等が流れ込んで半導体スイッチング素子が破
損されることもない。
【0020】
【実施例】図1に示すものは、本発明の一実施例である
ソリッドステートリレー1を示す平面構造図である。2
はLEDのような発光素子、3はフォトダイオードのよ
うな受光素子、5a,5bはそれぞれ受光素子3から出
力された電気信号に基づいて出力端子用リード7a,7
b間のON−OFF制御を行なうパワーMOSFETで
あって、発光素子2及び受光素子3はシリコンゲルのよ
うな透明な封止樹脂4によって覆われており、さらに、
2つのMOSFET5a,5bとともに一体として樹脂
により封止成形されており、一対の入力端子用リード6
a,6b及び一対の出力端子用リード7a,7bが外装
樹脂部14から引き出されている。発光素子2は、一方
の入力端子用リード6aにダイボンドされており、発光
素子2の上面電極と他方の入力端子用リード6bは金線
8でボンディングされている。受光素子3はダイパッド
9c上にダイボンドされ、受光素子3のカソード3aと
中継用リード10a、アノード3bと中継用リード10
bはそれぞれ金線8でボンディングされている。中継用
リード10aと第1のMOSFET5aのソース電極1
1a及び第2のMOSFET5bのソース電極11bは
1本のアルミ線12でボンディング(いわゆるステッチ
ボンディング)されている。もちろん、2本のアルミ線
12を用いて中継用リード10aとMOSFET5aの
ソース電極11a間、MOSFET5aのソース電極1
1aとMOSFET5bのソース電極11b間をそれぞ
れボンディングすることとしてもよい。また、受光素子
3のアノード3bも同様に中継用リード10bと第1の
MOSFET5aのゲート電極13a及び第2のMOS
FET5aのゲート電極13aも1本のアルミ線12で
ボンディングされている。
【0021】このSSR1にあっては、第1のMOSF
ET5aのソース電極11aと第2のMOSFET5b
のソース電極11bとの間が直接ワイヤボンディングさ
れており、従来例のように中継用リード10aと第2の
MOSFET5bのソース電極11bとの間をそれぞれ
ワイヤボンディングする場合に比べ、使用するアルミ線
12の長さを短くすることができ、例えばその長さをほ
ぼ約1/3程度にすることができる。したがって、アル
ミ線12の配線抵抗が小さくなり、アルミ線12による
発熱量を少なくすることができる。また、MOSFET
の残留電圧(オン制御された場合に生じる電圧降下)を
小さくするため、オン抵抗の小さなMOSFETを使用
したとしても、従来のSSR51ではアルミ線からの発
熱量が多く、オン抵抗の小さなMOSFETを使用する
効果が十分に得られなかった。したがって、本発明のよ
うに配線に必要なアルミ線12を短くすることは、オン
抵抗が小さなMOSFETを使用したSSRにとっては
極めて有効となる。
【0022】さらに、このSSR1においてはボンディ
ング箇所が少なくなり、製造工程の簡略化や接続不良の
減少による信頼性の向上を図ることができる。
【0023】図2に示すものは、本発明の別な実施例で
あるSSR21の平面構造図である。このSSR21に
あっては入力信号の伝達効率を上げるため、Nサイドア
ップ発光素子2aとPサイドアップ発光素子2bの2つ
の発光素子2が用いられている。例えば図3(a)に示
すように、入力端子用リード6a上にはNサイドアップ
発光素子2aのPサイドがダイボンドされ、他方の入力
端子用リード6b上にはPサイドアップ発光素子2bの
Nサイドがダイボンドされている。また、Nサイドアッ
プ発光素子2aのNサイドとPサイドアップ発光素子2
bのPサイドは金線8でボンディングされて、図3
(b)に示すようにNサイドアップ発光素子2aとPサ
イドアップ発光素子2bは直列に接続されている。この
ように、Nサイドアップ発光素子2aのNサイドとPサ
イドアップ発光素子2bのPサイドをワイヤボンディン
グすることによって、装着用リード72を設けることな
く2つの発光素子2a,2bを直列に接続することがで
きる。このため、メッキ処理を省くことができ、製造コ
ストを削減することができる。また、ボンディング箇所
が少なくなるので、接続不良による発光不良が少なくな
り、さらに信頼性の向上が図れる。
【0024】また、第2の実施例においては受光素子3
のカソード3aと第1のMOSFET5aのソース電極
11aとの間は金線8で直接ボンディングされ、受光素
子3のアノード3bと第1のMOSFET5aのゲート
電極13aの間も金線8で直接ボンディングされてい
る。このように、中継用リード10a,10bを設けず
に直接受光素子3と第1のMOSFET5aをワイヤボ
ンディングすれば、さらにアルミ線12の長さを短くし
て発熱量を少なくすることができる。また、中継用リー
ド10a,10bが不要になるので、製造コストの削減
を図ることができるとともに、SSR21の小型化を図
ることができる。
【0025】なお、3つ以上の発光素子2を用いる場合
にも、Nサイドアップ発光素子2aとPサイドアップ発
光素子2bとを組み合わせ、Nサイドアップ発光素子2
aのNサイドとPサイドアップ発光素子2bのPサイド
をワイヤボンディングして、発光素子2を直列に接続す
ることもできる。例えば、4つの発光素子2を用いる場
合には、図4(a)に示すように、一方の入力端子用リ
ード6aにNサイドアップ発光素子2aのPサイドをダ
イボンドし、装着用リード15にはPサイドアップ発光
素子2bのNサイドとNサイドアップ発光素子2aのP
サイドをそれぞれダイボンドする。また、残る入力端子
用リード6bにはPサイドアップ発光素子2bのNサイ
ドをダイボンドする。そして、入力端子用リード6a上
のNサイドアップ発光素子2aのNサイドと装着用リー
ド15上のPサイドアップ発光素子2bのPサイドを金
線8でボンディングし、装着用リード15上のNサイド
アップ発光素子2aのNサイドと入力端子用リード6b
上のPサイドアップ発光素子2bのPサイドとを金線8
でボンディングすれば、図4(b)に示すように4つの
発光素子2a,2b,2a,2bを直列に接続すること
ができる。
【0026】図5(a)(b)に示すものはそれぞれ本
発明のさらに別な実施例であるSSR31の平面構造図
及び側面構造図であって、第1のMOSFET5aを実
装したダイパッド9aと第2のMOSFET5bを実装
したダイパッド9b及び受光素子3を実装したダイパッ
ド9cはリード支持部材16によってそれぞれ支持され
ている。このSSR31は、図6に示すようなリードフ
レーム17を用いることによって簡単に製造することが
できる。リードフレーム17には、入力端子用リード6
a,6b、出力端子用リード7a,7bや受光素子3を
実装するためのダイパッド9cやMOSFET5a,5
bを実装するためのダイパッド9a,9bなどが所定の
パターンに加工されている。また、3つのダイパッド9
c,9a,9bとリードフレーム外枠17aとの間に
は、ダイパッド9c,9a,9bの下面をリードフレー
ム外枠17aに支持させるようにして、例えばポリイミ
ドフィルムのような絶縁性あるリード支持部材16が設
けられている。このリードフレーム17上の所定位置
に、発光素子2a,2bや受光素子3、2つのMOSF
ET5a,5bを実装する。次に、発光素子2a,2b
と受光素子3を封止樹脂4によって覆った後に、図7に
示すように発光素子2、受光素子3及び2つのMOSF
ET5a,5bを一体として封止成形し、最後に外装樹
脂部14をリードフレーム17から切り離して、図5に
示すSSR31を作製することができる。
【0027】このように、3つのダイパッド9a,9
b,9cはリード支持部材16によってリードフレーム
外枠17aに支持されているので、受光素子3やMOS
FET5a,5bをそれぞれダイパッド9c,9a,9
b上に実装した場合にも、ダイパッド9c,9a,9b
が傾かず、発光素子2やMOSFET5a,5bをリー
ドフレーム17と水平に保持することができる。したが
って、金線8やアルミ線12によって容易にワイヤボン
ディングすることができ、金線8やアルミ線12の断線
を防いでSSR31の歩留りを向上させることができ
る。また、リードフレーム17から外装樹脂部14を切
り離した場合に、リード支持部材16の切り口が外装樹
脂部14の側面に露出されるが、リード支持部材16は
絶縁性であるのでたとえ切り口に触れたとしても感電す
ることがなく、切り口から流れ込むサージ電流によって
MOSFET5a,5bなどが破損されることもない。
【0028】図8に示すものは本発明のさらに別な実施
例であるSSR41の側面構造図であって、リード支持
部材16はダイパッド9a,9b,9c下面のほぼ全面
に設けられており、リード支持部材16の下面が露出さ
れるようにして封止成形されている。このリード支持部
材16を、窒化アルミニウム(AlN)やシリコンカー
バイト(SiC)などの熱伝導性のよい材料から作製す
ればリード支持部材16は放熱板として働き、MOSF
ET5a,5bからの発熱を効率よく逃がすことがで
き、さらに信頼性のよいSSR41を提供することがで
きる。
【0029】
【発明の効果】本発明のソリッドステートリレーにあっ
ては、2つの半導体スイッチング素子の電極間を接続す
るワイヤを短くできるので、ワイヤによる配線抵抗や発
熱を少なくすることができる。
【0030】また、受光部と第1の半導体スイッチング
素子の電極を直接ワイヤボンディングすることにより、
受光部と半導体スイッチング素子を接続するワイヤも短
くなるので、さらにワイヤによる配線抵抗や発熱を少な
くすることができ、より広範囲な条件での使用が可能に
なる。さらに、ボンディング箇所が少なくなるので、ソ
リッドステートリレーの信頼性をより向上させることが
できる。
【0031】また、リード部分に実装されたPサイドア
ップ半導体発光素子のPサイドと他のリード部分に実装
されたNサイドアップ半導体発光素子のNサイドを直接
ワイヤボンディングすることによってボンディング箇所
やメッキ処理すべきリード部分が減少し、製造工程の簡
略化、製造コストの削減を図ることができる。
【0032】さらに、2つの半導体スイッチング素子を
実装するリード部分を支持する絶縁性のリード支持部を
リードフレームに設けているので、半導体スイッチング
素子を実装したリード部分が曲らずにリードフレームと
水平に維持でき、半導体スイッチング素子間のワイヤや
受光素子と半導体スイッチング素子間のワイヤの断線を
防ぐことができる。したがって、ソリッドステートリレ
ーの歩留りを向上させることもできる。また、リード支
持部は絶縁性であるので、露出したリード支持部によっ
ても感電することもなく、リード支持部からサージ電流
が流れ込まず、半導体スイッチング素子の破損等も防ぐ
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例であるソリッドステートリレ
ーを示す平面構造図である。
【図2】本発明の別な実施例であるソリッドステートリ
レーを示す平面構造図である。
【図3】(a)は同上の発光素子実装部の拡大説明図、
(b)はその発光素子実装部の等価回路図である。
【図4】(a)は本発明のさらに別な実施例であるソリ
ッドステートリレーの発光素子実装部の拡大説明図、
(b)はその発光素子実装部の等価回路図である。
【図5】(a)は本発明のさらに別な実施例であるソリ
ッドステートリレーの平面構造図、(b)はその側断面
構造図である。
【図6】(a)(b)は、同上のソリッドステートリレ
ーの製造方法の一部を示す説明図である。
【図7】(a)(b)は、同上のソリッドステートリレ
ーの製造方法を示す続図である。
【図8】本発明のさらに別な実施例であるソリッドステ
ートリレーの側断面構造図である。
【図9】従来例であるソリッドステートリレーの動作を
示す説明図である。
【図10】同上のソリッドステートリレーを示す平面構
造図である。
【図11】同上のソリッドステートリレーの製造方法を
示す説明図である。
【図12】(a)(b)はそれぞれ、同上のソリッドス
テートの製造方法における問題点を示す説明図である。
【図13】別な従来例であるソリッドステートリレーを
示す一部破断した平面構造図である。
【図14】(a)は、同上のソリッドステートリレーの
発光素子実装部の拡大説明図、(b)は同上の発光素子
実装部の等価回路図である。
【符号の説明】
5a、5b MOSFET 3 受光素子 3a 受光素子のカソード 6a、6b 入力端子用リード 9a、9b、9c ダイパッド 11a、11b ソース電極 12 金線 16 リード支持部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 多田 有為 京都府京都市右京区花園土堂町10番地 オ ムロン株式会社内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 発光状態と消光状態とに切替わる発光部
    と、前記発光部から出射された光を受光する受光部と、
    前記受光部で生じた光起電力によってスイッチング動作
    を行なう第1の半導体スイッチング素子と第2の半導体
    スイッチング素子を備え、前記受光部、前記第1の半導
    体スイッチング素子及び前記第2の半導体スイッチング
    素子をリードフレーム上にほぼ一列に実装して封止成形
    したソリッドステートリレーにおいて、 前記受光部の電極と電気的に接続された前記第1の半導
    体スイッチング素子の電極と前記第2の半導体スイッチ
    ング素子の電極を直接ワイヤボンディングしたことを特
    徴とするソリッドステートリレー。
  2. 【請求項2】 前記受光部の電極と前記第1の半導体ス
    イッチング素子の電極を直接ワイヤボンディングしたこ
    とを特徴とする請求項1に記載のソリッドステートリレ
    ー。
  3. 【請求項3】 前記発光部は、少なくとも1以上のPサ
    イドアップ半導体発光素子と少なくとも1以上のNサイ
    ドアップ半導体発光素子とから構成され、リード部分に
    実装された前記Pサイドアップ半導体発光素子のPサイ
    ドと他のリード部分に実装された前記Nサイドアップ半
    導体素子のNサイドを直接ワイヤボンディングしたこと
    を特徴とする請求項1又は2に記載のソリッドステート
    リレー。
  4. 【請求項4】 前記リードフレームに、少なくとも前記
    第1の半導体スイッチング素子を実装するリード部分及
    び前記第2の半導体スイッチング素子を実装するリード
    部分を支持するための絶縁性のリード支持部を設けたこ
    とを特徴とする請求項1、2又は3に記載のソリッドス
    テートリレー。
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