JPH08148662A - 白黒用リニアセンサ - Google Patents
白黒用リニアセンサInfo
- Publication number
- JPH08148662A JPH08148662A JP6291019A JP29101994A JPH08148662A JP H08148662 A JPH08148662 A JP H08148662A JP 6291019 A JP6291019 A JP 6291019A JP 29101994 A JP29101994 A JP 29101994A JP H08148662 A JPH08148662 A JP H08148662A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- light
- sensor region
- region
- length
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 製造上、カラー用のセンサ受光部との共通化
が可能であり、したがって開発に要する時間を短縮で
き、かつ開発コストの削減も図り得る白黒用リニアセン
サを提供する。 【構成】 細長状のセンサ領域10の長さ方向にセンサ
領域10を多数に区画する多数のチャネルストップ11
…を形成するとともに、センサ領域10の両側にセンサ
領域10の一部を覆った状態で遮光部12a、12bを
形成し、これらチャネルストップ11…と遮光部12
a、12bとで区画したセンサ領域をそれぞれ矩形の画
素部13とする受光部を有している。遮光部12a、1
2bのうちの一方の長さもしくは両方の合計した長さ
が、センサ領域10の側縁より、チャネルストップ1
1、11の中心線間の距離の1倍を越える分の長さセン
サ領域内に入り込んでいる。
が可能であり、したがって開発に要する時間を短縮で
き、かつ開発コストの削減も図り得る白黒用リニアセン
サを提供する。 【構成】 細長状のセンサ領域10の長さ方向にセンサ
領域10を多数に区画する多数のチャネルストップ11
…を形成するとともに、センサ領域10の両側にセンサ
領域10の一部を覆った状態で遮光部12a、12bを
形成し、これらチャネルストップ11…と遮光部12
a、12bとで区画したセンサ領域をそれぞれ矩形の画
素部13とする受光部を有している。遮光部12a、1
2bのうちの一方の長さもしくは両方の合計した長さ
が、センサ領域10の側縁より、チャネルストップ1
1、11の中心線間の距離の1倍を越える分の長さセン
サ領域内に入り込んでいる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、製造に際し、カラー用
リニアセンサへの製造変更を容易にした構造を有する白
黒用リニアセンサに関する。
リニアセンサへの製造変更を容易にした構造を有する白
黒用リニアセンサに関する。
【0002】
【従来の技術】CCD(Charge Coupled Device ;電荷
結合装置)リニアセンサは、一次元的な画像情報をアナ
ログ電気信号に変換し、自己操作機能により時系列的な
電気信号として出力する固体撮像デバイスである。この
ようなCCDリニアセンサは、通常、画像情報を読み取
ってこれをアナログ電気信号に変換するための受光部
と、この受光部からの電気信号(電荷)を受けてこれを
出力するための転送部とを備えて構成されている。受光
部は、通常多数の画素を一列に形成してなる画素列を有
したもので、各画画素毎に該画素を受光面とするフォト
ダイオードを形成し、これにより各画素(受光面)にて
光(画像情報)を受けた際光の強さに比例した量の電荷
を生成するものである。
結合装置)リニアセンサは、一次元的な画像情報をアナ
ログ電気信号に変換し、自己操作機能により時系列的な
電気信号として出力する固体撮像デバイスである。この
ようなCCDリニアセンサは、通常、画像情報を読み取
ってこれをアナログ電気信号に変換するための受光部
と、この受光部からの電気信号(電荷)を受けてこれを
出力するための転送部とを備えて構成されている。受光
部は、通常多数の画素を一列に形成してなる画素列を有
したもので、各画画素毎に該画素を受光面とするフォト
ダイオードを形成し、これにより各画素(受光面)にて
光(画像情報)を受けた際光の強さに比例した量の電荷
を生成するものである。
【0003】ところで、このような受光部を形成するに
は、例えば白黒用のセンサ受光部を形成する場合、図4
に示すように図示しないウエハ上に受光面となるセンサ
領域1を細長状に形成し、さらにこのセンサ領域1の長
さ方向に所定間隔で多数のチャネルストップ2…を形成
配置し、これによりセンサ領域1を多数に区画する。さ
らに、センサ領域1の両側に、該センサ領域1の一部を
覆うようにしてそれぞれアルミニウム電極等からなる遮
光部3を形成し、これによって前記チャネルストップ
2、2と遮光部3、3とで区画する矩形の画素部4を多
数形成する。
は、例えば白黒用のセンサ受光部を形成する場合、図4
に示すように図示しないウエハ上に受光面となるセンサ
領域1を細長状に形成し、さらにこのセンサ領域1の長
さ方向に所定間隔で多数のチャネルストップ2…を形成
配置し、これによりセンサ領域1を多数に区画する。さ
らに、センサ領域1の両側に、該センサ領域1の一部を
覆うようにしてそれぞれアルミニウム電極等からなる遮
光部3を形成し、これによって前記チャネルストップ
2、2と遮光部3、3とで区画する矩形の画素部4を多
数形成する。
【0004】ここで、遮光部3、3の形成については、
通常、センサ領域1に対してその内側に大きく入り込ま
ず僅かにだけ入り込むよう形成するのが普通であり、こ
のような形成によってセンサ領域1を最小限の大きさと
している。なお、通常は遮光部3、3間の距離となる長
さAとチャネルストップ2、2の中心線間の距離となる
長さBとが、例えば共に14μmといったように略同一
とされ、これにより画素部4は正方形に近い矩形のもの
となっている。
通常、センサ領域1に対してその内側に大きく入り込ま
ず僅かにだけ入り込むよう形成するのが普通であり、こ
のような形成によってセンサ領域1を最小限の大きさと
している。なお、通常は遮光部3、3間の距離となる長
さAとチャネルストップ2、2の中心線間の距離となる
長さBとが、例えば共に14μmといったように略同一
とされ、これにより画素部4は正方形に近い矩形のもの
となっている。
【0005】一方、カラー用のセンサ受光部を形成する
場合には、図5に示すようにウエハ(図示略)上に受光
面となるセンサ領域5を細長状に形成し、さらにこのセ
ンサ領域5の長さ方向に所定間隔で多数のチャネルスト
ップ6…を形成配置し、これによりセンサ領域5を多数
に区画する。さらに、センサ領域5の両側に、該センサ
領域5の一部を覆うようにしてそれぞれアルミニウム電
極等からなる遮光部7を形成し、これによって前記チャ
ネルストップ6、6と遮光部7、7とで区画する矩形の
画素部8を多数形成する。ここで、画素部8…はレッド
(Red )用の画素部8a、グリーン(Green )用の画素
部8b、ブルー(Blue)用の画素部8cとからなり、こ
れら各画素部8a、8b、8cはセンサ領域5の長さ方
向に沿って同じ順番で繰り返し配設されている。そし
て、これら三種類の画素部8a、8b、8cが一組とな
り、一単位の画素9が構成されている。
場合には、図5に示すようにウエハ(図示略)上に受光
面となるセンサ領域5を細長状に形成し、さらにこのセ
ンサ領域5の長さ方向に所定間隔で多数のチャネルスト
ップ6…を形成配置し、これによりセンサ領域5を多数
に区画する。さらに、センサ領域5の両側に、該センサ
領域5の一部を覆うようにしてそれぞれアルミニウム電
極等からなる遮光部7を形成し、これによって前記チャ
ネルストップ6、6と遮光部7、7とで区画する矩形の
画素部8を多数形成する。ここで、画素部8…はレッド
(Red )用の画素部8a、グリーン(Green )用の画素
部8b、ブルー(Blue)用の画素部8cとからなり、こ
れら各画素部8a、8b、8cはセンサ領域5の長さ方
向に沿って同じ順番で繰り返し配設されている。そし
て、これら三種類の画素部8a、8b、8cが一組とな
り、一単位の画素9が構成されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前述したリ
ニアセンサにおいては、その受光部の製造に際して以下
に述べる不都合がある。図5に示したカラー用のセンサ
受光部の製造においては、三種類の画素部8a、8b、
8cで画素9を構成することから、通常、この画素を略
正方形にするべく遮光部7、7間の長さ(距離)Cと画
素9を区画しているチャネルストップ6、6の中心線間
の長さ(距離)Dとが、例えば共に42μmといったよ
うに略同一とされ、これにより画素9は正方形に近い矩
形のものとなっている。すなわち、白黒用のセンサ受光
部とカラー用のセンサ受光部との製造上の共通化を図る
ため、白黒用のセンサ受光部におけるチャネルストップ
2、2の中心線間の距離とカラー用のセンサ受光部にお
けるチャネルストップ6、6間の中心線の距離とは同一
(この例では共に14μm)とされているのである。
ニアセンサにおいては、その受光部の製造に際して以下
に述べる不都合がある。図5に示したカラー用のセンサ
受光部の製造においては、三種類の画素部8a、8b、
8cで画素9を構成することから、通常、この画素を略
正方形にするべく遮光部7、7間の長さ(距離)Cと画
素9を区画しているチャネルストップ6、6の中心線間
の長さ(距離)Dとが、例えば共に42μmといったよ
うに略同一とされ、これにより画素9は正方形に近い矩
形のものとなっている。すなわち、白黒用のセンサ受光
部とカラー用のセンサ受光部との製造上の共通化を図る
ため、白黒用のセンサ受光部におけるチャネルストップ
2、2の中心線間の距離とカラー用のセンサ受光部にお
けるチャネルストップ6、6間の中心線の距離とは同一
(この例では共に14μm)とされているのである。
【0007】しかしながら、これら白黒用とカラー用の
センサ受光部にあっては、チャネルストップ間の共通化
は図れるものの、カラー用では画素9を略正方形にする
ため遮光部7、7間の長さを、白黒用のものに比べ3倍
程度にしなくてはならず、したがって予めセンサ領域5
自体を白黒用のセンサ領域1に比べ拡げて形成しておか
なくてはならない。しかして、このように白黒用とカラ
ー用とでセンサ領域の幅を変えて形成するのでは、製造
上、これらの間ではセンサ領域形成における工程に共通
化が行えず、したがって例えば白黒用のセンサ受光部と
カラー用のセンサ受光部とを同時に、あるいは別に開発
しようとした場合、製造工程の共通化が十分でないこと
から、開発に要する時間(期間)やコストが別々にかか
ってしまうのである。
センサ受光部にあっては、チャネルストップ間の共通化
は図れるものの、カラー用では画素9を略正方形にする
ため遮光部7、7間の長さを、白黒用のものに比べ3倍
程度にしなくてはならず、したがって予めセンサ領域5
自体を白黒用のセンサ領域1に比べ拡げて形成しておか
なくてはならない。しかして、このように白黒用とカラ
ー用とでセンサ領域の幅を変えて形成するのでは、製造
上、これらの間ではセンサ領域形成における工程に共通
化が行えず、したがって例えば白黒用のセンサ受光部と
カラー用のセンサ受光部とを同時に、あるいは別に開発
しようとした場合、製造工程の共通化が十分でないこと
から、開発に要する時間(期間)やコストが別々にかか
ってしまうのである。
【0008】本発明は前記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、製造上、カラー用のセン
サ受光部との共通化が可能であり、したがって開発に要
する時間を短縮でき、かつ開発コストの削減も図り得る
白黒用リニアセンサを提供することにある。
で、その目的とするところは、製造上、カラー用のセン
サ受光部との共通化が可能であり、したがって開発に要
する時間を短縮でき、かつ開発コストの削減も図り得る
白黒用リニアセンサを提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明における請求項1
記載の白黒用リニアセンサでは、細長状のセンサ領域の
長さ方向に該センサ領域を多数に区画するよう所定間隔
で多数のチャネルストップを形成するとともに、前記セ
ンサ領域の両側にそれぞれ該センサ領域の一部を覆った
状態で遮光部を形成し、これらチャネルストップと遮光
部とで区画したセンサ領域をそれぞれ矩形の画素部とす
る受光部を有してなり、前記遮光部のうちの一方の長さ
もしくは両方の合計した長さが、センサ領域の側縁よ
り、前記チャネルストップの中心線間の距離の1倍を越
える分の長さセンサ領域内に入り込んで形成されたこと
を前記課題の解決手段とした。
記載の白黒用リニアセンサでは、細長状のセンサ領域の
長さ方向に該センサ領域を多数に区画するよう所定間隔
で多数のチャネルストップを形成するとともに、前記セ
ンサ領域の両側にそれぞれ該センサ領域の一部を覆った
状態で遮光部を形成し、これらチャネルストップと遮光
部とで区画したセンサ領域をそれぞれ矩形の画素部とす
る受光部を有してなり、前記遮光部のうちの一方の長さ
もしくは両方の合計した長さが、センサ領域の側縁よ
り、前記チャネルストップの中心線間の距離の1倍を越
える分の長さセンサ領域内に入り込んで形成されたこと
を前記課題の解決手段とした。
【0010】請求項2記載の白黒用リニアセンサでは、
細長状のセンサ領域の長さ方向に該センサ領域を多数に
区画するよう所定間隔で多数のチャネルストップを形成
するとともに、前記センサ領域の両側にそれぞれ該セン
サ領域の一部を覆った状態で遮光部を形成し、これらチ
ャネルストップと遮光部とで区画したセンサ領域をそれ
ぞれ画素部とする受光部を有してなり、前記チャネルス
トップが、前記センサ領域の一方の側から該センサ領域
の長さ方向と直交する方向に延びる直線部と、この直線
部の端部に続いてセンサ領域の他方の側に向かって所定
の角度で斜めに延び、かつ該直線部の長さ以上の長さの
斜線部とを備え、前記遮光部のうちの、前記チャネルス
トップの斜線部側に設けられる遮光部が、該チャネルス
トップの斜線部を覆った状態でセンサ領域内に入り込ん
で形成されたことを前記課題の解決手段とした。
細長状のセンサ領域の長さ方向に該センサ領域を多数に
区画するよう所定間隔で多数のチャネルストップを形成
するとともに、前記センサ領域の両側にそれぞれ該セン
サ領域の一部を覆った状態で遮光部を形成し、これらチ
ャネルストップと遮光部とで区画したセンサ領域をそれ
ぞれ画素部とする受光部を有してなり、前記チャネルス
トップが、前記センサ領域の一方の側から該センサ領域
の長さ方向と直交する方向に延びる直線部と、この直線
部の端部に続いてセンサ領域の他方の側に向かって所定
の角度で斜めに延び、かつ該直線部の長さ以上の長さの
斜線部とを備え、前記遮光部のうちの、前記チャネルス
トップの斜線部側に設けられる遮光部が、該チャネルス
トップの斜線部を覆った状態でセンサ領域内に入り込ん
で形成されたことを前記課題の解決手段とした。
【0011】
【作用】請求項1記載の白黒用リニアセンサによれば、
遮光部のうちの一方の長さもしくは両方の合計した長さ
が、チャネルストップの中心線間の距離の1倍を越える
分の長さセンサ領域内に入り込んで形成されているの
で、例えばこの受光部を形成する際、センサ領域内に入
り込んでいる遮光部を外側に戻すことによって該受光部
がカラー用の受光部となる。
遮光部のうちの一方の長さもしくは両方の合計した長さ
が、チャネルストップの中心線間の距離の1倍を越える
分の長さセンサ領域内に入り込んで形成されているの
で、例えばこの受光部を形成する際、センサ領域内に入
り込んでいる遮光部を外側に戻すことによって該受光部
がカラー用の受光部となる。
【0012】請求項2記載の白黒用リニアセンサによれ
ば、チャネルストップが直線部と斜線部とを備え、遮光
部のうちの一方がチャネルストップの斜線部を覆った状
態でセンサ領域内に入り込んで形成されているので、例
えばこの受光部を形成する際、斜線部側に配設する遮光
部を、斜線部を覆わないようにして形成し、かつ直線部
側に配設する遮光部を、直線部を覆うようにして形成す
ることにより、該受光部が斜めセンサ構造を有するカラ
ー用の受光部となる。
ば、チャネルストップが直線部と斜線部とを備え、遮光
部のうちの一方がチャネルストップの斜線部を覆った状
態でセンサ領域内に入り込んで形成されているので、例
えばこの受光部を形成する際、斜線部側に配設する遮光
部を、斜線部を覆わないようにして形成し、かつ直線部
側に配設する遮光部を、直線部を覆うようにして形成す
ることにより、該受光部が斜めセンサ構造を有するカラ
ー用の受光部となる。
【0013】
【実施例】以下、本発明の白黒用リニアセンサを詳しく
説明する。なお、本発明の白黒用リニアセンサは、従来
と同様に受光部と転送部とを有してなるものであり、従
来のものと異なるところは受光部の構成のみである。図
1は本発明の一実施例を示す図であり、この図において
符号10はウエハ(図示略)上に形成されたセンサ領域
である。このセンサ領域10は、図4に示したセンサ領
域1に比べその幅が広く形成されたもので、図5に示し
たカラー用のセンサ受光部におけるセンサ領域5と略同
一の幅に形成されたものである。なお、このセンサ領域
の幅は、正確には、図4に示したセンサ受光部における
センサ領域1にに比べ、チャネルストップ2、2の中心
線間の長さ(距離)B(=A)の2倍分の長さ拡げられ
たものとなっている。
説明する。なお、本発明の白黒用リニアセンサは、従来
と同様に受光部と転送部とを有してなるものであり、従
来のものと異なるところは受光部の構成のみである。図
1は本発明の一実施例を示す図であり、この図において
符号10はウエハ(図示略)上に形成されたセンサ領域
である。このセンサ領域10は、図4に示したセンサ領
域1に比べその幅が広く形成されたもので、図5に示し
たカラー用のセンサ受光部におけるセンサ領域5と略同
一の幅に形成されたものである。なお、このセンサ領域
の幅は、正確には、図4に示したセンサ受光部における
センサ領域1にに比べ、チャネルストップ2、2の中心
線間の長さ(距離)B(=A)の2倍分の長さ拡げられ
たものとなっている。
【0014】また、このセンサ領域10には、その長さ
方向に所定間隔で多数のチャネルストップ11…が形成
配置され、これによりセンサ領域10は多数に区画され
たものとなっている。さらに、センサ領域10の両側に
は、該センサ領域10の一部および前記チャネルストッ
プ11…の端部を覆うようにしてそれぞれアルミニウム
電極等からなる遮光部12a、12bが形成されてお
り、これによってセンサ領域10には前記チャネルスト
ップ11、11と遮光部12a、12bとで区画された
矩形の画素部13が多数形成されている。
方向に所定間隔で多数のチャネルストップ11…が形成
配置され、これによりセンサ領域10は多数に区画され
たものとなっている。さらに、センサ領域10の両側に
は、該センサ領域10の一部および前記チャネルストッ
プ11…の端部を覆うようにしてそれぞれアルミニウム
電極等からなる遮光部12a、12bが形成されてお
り、これによってセンサ領域10には前記チャネルスト
ップ11、11と遮光部12a、12bとで区画された
矩形の画素部13が多数形成されている。
【0015】ここで、チャネルストップ11…は、図4
に示したものと同様の幅および間隔で形成されたもので
あり、すなわちこれらチャネルストップ11、11の中
心線間の長さは図4に示したものと同様にB(=A)と
なっている。また、遮光部12aは、図4に示した従来
の白黒用リニアセンサの受光部と同様、センサ領域10
内に入り込んでこれを覆う部分の入り込み長さEが僅か
となるよう形成されたものである。一方遮光部12b
は、そのセンサ領域10内に入り込んだ分の長さFが、
チャネルストップ11、11の中心線間の距離の2倍を
越える分の長さ、正確には、チャネルストップ11、1
1の中心線間の距離の2倍分の長さ(2B)と、前記遮
光部12aの入り込み長さEとの和に相当する長さとな
っている。
に示したものと同様の幅および間隔で形成されたもので
あり、すなわちこれらチャネルストップ11、11の中
心線間の長さは図4に示したものと同様にB(=A)と
なっている。また、遮光部12aは、図4に示した従来
の白黒用リニアセンサの受光部と同様、センサ領域10
内に入り込んでこれを覆う部分の入り込み長さEが僅か
となるよう形成されたものである。一方遮光部12b
は、そのセンサ領域10内に入り込んだ分の長さFが、
チャネルストップ11、11の中心線間の距離の2倍を
越える分の長さ、正確には、チャネルストップ11、1
1の中心線間の距離の2倍分の長さ(2B)と、前記遮
光部12aの入り込み長さEとの和に相当する長さとな
っている。
【0016】そして、このような構成によりチャネルス
トップ11、11と遮光部12a、12bとで区画され
た画素部13は、図4に示したセンサ受光部における画
素部4と同一の寸法・形状に形成されたものとなる。こ
のような白黒用リニアセンサを製造するにあたり、セン
サ受光部を形成するには、ウエハ(図示略)上にイオン
打ち込み法等の公知の手法にてセンサ領域10を形成
し、さらに堆積法、リソグラフィー技術、エッチング技
術等の公知のプロセスによりチャネルストップ11…を
形成し、さらに同様のプロセスによって遮光部12a、
12bを形成する。
トップ11、11と遮光部12a、12bとで区画され
た画素部13は、図4に示したセンサ受光部における画
素部4と同一の寸法・形状に形成されたものとなる。こ
のような白黒用リニアセンサを製造するにあたり、セン
サ受光部を形成するには、ウエハ(図示略)上にイオン
打ち込み法等の公知の手法にてセンサ領域10を形成
し、さらに堆積法、リソグラフィー技術、エッチング技
術等の公知のプロセスによりチャネルストップ11…を
形成し、さらに同様のプロセスによって遮光部12a、
12bを形成する。
【0017】このようなセンサ受光部を有する白黒用リ
ニアセンサにあっては、従来と同一の受光面(画素部1
3面)を有することから、当然従来と同一の機能を有す
るものとなる。また、そのセンサ受光部の製造をカラー
用に変更したい場合には、遮光部12a、12bを形成
する工程においてそのレジストからなるマスクを形成す
る際、特に遮光部12bが図5に示したカラー用のセン
サ受光部の場合と同一に、すなわちチャネルストップ1
1、11の中心線間の距離の2倍に相当する分外側に出
し、遮光部12aにおけるセンサ領域10側への入り込
み部分と同一の長さとなるようにマスクを形成し、堆積
法等によって遮光部12bを形成すれば、チャネルスト
ップ11、11間に形成される画素部がそれぞれレッ
ド、グリーン、ブルーに対応する画素部となり、これら
三種類の画素部が一組で一単位の画素となるカラー用の
センサ受光部となる。したがって、この白黒用リニアセ
ンサは、その製造工程をカラー用のリニアセンサと共通
化することができ、これにより従来に比べ開発時間や開
発コストの低減化を図ることができる。
ニアセンサにあっては、従来と同一の受光面(画素部1
3面)を有することから、当然従来と同一の機能を有す
るものとなる。また、そのセンサ受光部の製造をカラー
用に変更したい場合には、遮光部12a、12bを形成
する工程においてそのレジストからなるマスクを形成す
る際、特に遮光部12bが図5に示したカラー用のセン
サ受光部の場合と同一に、すなわちチャネルストップ1
1、11の中心線間の距離の2倍に相当する分外側に出
し、遮光部12aにおけるセンサ領域10側への入り込
み部分と同一の長さとなるようにマスクを形成し、堆積
法等によって遮光部12bを形成すれば、チャネルスト
ップ11、11間に形成される画素部がそれぞれレッ
ド、グリーン、ブルーに対応する画素部となり、これら
三種類の画素部が一組で一単位の画素となるカラー用の
センサ受光部となる。したがって、この白黒用リニアセ
ンサは、その製造工程をカラー用のリニアセンサと共通
化することができ、これにより従来に比べ開発時間や開
発コストの低減化を図ることができる。
【0018】なお、前記実施例においては、遮光部12
bを、そのセンサ領域10内に入り込んだ分の長さがチ
ャネルストップ11、11の中心線間の距離の2倍を越
える分の長さとなるように形成したが、1倍を越えるよ
うにして形成したもよく、また、遮光部12a、12b
のセンサ領域10内に入り込んだ分の合計した長さが1
倍を越えるようにしてもよい。
bを、そのセンサ領域10内に入り込んだ分の長さがチ
ャネルストップ11、11の中心線間の距離の2倍を越
える分の長さとなるように形成したが、1倍を越えるよ
うにして形成したもよく、また、遮光部12a、12b
のセンサ領域10内に入り込んだ分の合計した長さが1
倍を越えるようにしてもよい。
【0019】図2は本発明の他の実施例を示す図であ
り、図2において符号20はウエハ(図示略)上に形成
されたセンサ領域である。このセンサ領域20は、図1
に示したセンサ領域10に比べさらにその幅が広く、具
体的には該センサ領域10に比べ、図4中に示したチャ
ンネルストップ2、2の中心線間の長さ(距離)B分程
度拡げられたものとなっている。
り、図2において符号20はウエハ(図示略)上に形成
されたセンサ領域である。このセンサ領域20は、図1
に示したセンサ領域10に比べさらにその幅が広く、具
体的には該センサ領域10に比べ、図4中に示したチャ
ンネルストップ2、2の中心線間の長さ(距離)B分程
度拡げられたものとなっている。
【0020】このセンサ領域20には、その長さ方向に
所定間隔で多数のチャネルストップ21…が形成配置さ
れ、これによりセンサ領域20は多数に区画されたもの
となっている。これらチャネルストップ21…は、それ
ぞれセンサ領域20の一方の側から該センサ領域20の
長さ方向と直交する方向に延びる直線部21aと、この
直線部21aの端部に続いて所定の角度をもって斜めに
延びる斜線部21bと、この斜線部21bの端部に続い
てセンサ領域20の他方の側に延びる連結部21cとか
らなるものであり、斜線部21bは直線部に対して1.
5倍程度の長さを有したものとなっている。
所定間隔で多数のチャネルストップ21…が形成配置さ
れ、これによりセンサ領域20は多数に区画されたもの
となっている。これらチャネルストップ21…は、それ
ぞれセンサ領域20の一方の側から該センサ領域20の
長さ方向と直交する方向に延びる直線部21aと、この
直線部21aの端部に続いて所定の角度をもって斜めに
延びる斜線部21bと、この斜線部21bの端部に続い
てセンサ領域20の他方の側に延びる連結部21cとか
らなるものであり、斜線部21bは直線部に対して1.
5倍程度の長さを有したものとなっている。
【0021】また、センサ領域20の、前記チャネルス
トップ21の直線部21aが形成された側には、センサ
領域20の一部と該直線部21aの一方の端部とを覆っ
た状態で遮光部22aが形成され、斜線部21bが形成
された側、すなわち連結部21cが形成された側には、
センサ領域20の一部と直線部21aの他方の端部から
連結部21cまでを覆った状態で遮光部22bが形成さ
れている。そして、このような構成のもとにセンサ領域
20には、遮光部22a、22bとチャネルストップ2
1、21の直線部21a、21aとで区画されてなる矩
形の画素部24が多数形成されている。
トップ21の直線部21aが形成された側には、センサ
領域20の一部と該直線部21aの一方の端部とを覆っ
た状態で遮光部22aが形成され、斜線部21bが形成
された側、すなわち連結部21cが形成された側には、
センサ領域20の一部と直線部21aの他方の端部から
連結部21cまでを覆った状態で遮光部22bが形成さ
れている。そして、このような構成のもとにセンサ領域
20には、遮光部22a、22bとチャネルストップ2
1、21の直線部21a、21aとで区画されてなる矩
形の画素部24が多数形成されている。
【0022】ここで、前記チャネルストップ21におけ
る斜線部21bの長さを直線部21aの長さの1.5倍
程度としたのは、後述するようにこの白黒用リニアセン
サのセンサ受光部の製造を斜めセンサ構造のカラー用の
受光部の製造に適用したい場合に、該斜線部21b、2
1b間を画素部とするためである。すなわち、カラー用
とする場合には、前述したように斜線部21b、21b
の中心線間の長さに対し、遮光部22a、22b間の距
離を略3倍の長さとするため、本来は斜線部21bの長
さを直線部21aの長さに対し3倍程度としなくてはな
らないが、図2に示したように、白黒用の場合直線部2
1aの一部は遮光部22a、22bに覆われることか
ら、3倍にしてしまうと必要以上に長くなりすぎてしま
うからである。なお、直線部21aの遮光部22a、2
2bに覆われる部分を多くとる場合、直線部21aは必
然的に長くなることから、本発明では、斜線部の直線部
に対する割合を同じ以上としている。
る斜線部21bの長さを直線部21aの長さの1.5倍
程度としたのは、後述するようにこの白黒用リニアセン
サのセンサ受光部の製造を斜めセンサ構造のカラー用の
受光部の製造に適用したい場合に、該斜線部21b、2
1b間を画素部とするためである。すなわち、カラー用
とする場合には、前述したように斜線部21b、21b
の中心線間の長さに対し、遮光部22a、22b間の距
離を略3倍の長さとするため、本来は斜線部21bの長
さを直線部21aの長さに対し3倍程度としなくてはな
らないが、図2に示したように、白黒用の場合直線部2
1aの一部は遮光部22a、22bに覆われることか
ら、3倍にしてしまうと必要以上に長くなりすぎてしま
うからである。なお、直線部21aの遮光部22a、2
2bに覆われる部分を多くとる場合、直線部21aは必
然的に長くなることから、本発明では、斜線部の直線部
に対する割合を同じ以上としている。
【0023】このようなセンサ受光部を有する白黒用リ
ニアセンサにあっても、従来と同一の受光面(画素部2
4面)を有することから、従来と同一の機能を有するも
のとなる。また、そのセンサ受光部の製造をカラー用に
変更したい場合には、遮光部22a、22bを形成する
工程においてそのレジストからなるマスクを形成する
際、図3に示すように遮光部22aがチャネルストップ
21の直線部21aをほぼ覆うようにセンサ領域20内
に大きく入り込ませ、かつ遮光部22bが連結部21c
の一部のみを覆うようにセンサ領域20内に僅かにしか
入り込まないようにマスクを形成し、堆積法等によって
遮光部を22a、22bを形成すれば、チャネルストッ
プ21、21間に形成される画素部がそれぞれレッド、
グリーン、ブルーに対応する斜めの画素部24a、24
b、24c…となり、これら三種類の画素部24a、2
4b、24cが一組で一単位の画素となるカラー用のセ
ンサ受光部となる。したがって、この白黒用リニアセン
サも、その製造工程をカラー用のリニアセンサと共通化
することができ、これにより従来に比べ開発時間や開発
コストの低減化を図ることができる。
ニアセンサにあっても、従来と同一の受光面(画素部2
4面)を有することから、従来と同一の機能を有するも
のとなる。また、そのセンサ受光部の製造をカラー用に
変更したい場合には、遮光部22a、22bを形成する
工程においてそのレジストからなるマスクを形成する
際、図3に示すように遮光部22aがチャネルストップ
21の直線部21aをほぼ覆うようにセンサ領域20内
に大きく入り込ませ、かつ遮光部22bが連結部21c
の一部のみを覆うようにセンサ領域20内に僅かにしか
入り込まないようにマスクを形成し、堆積法等によって
遮光部を22a、22bを形成すれば、チャネルストッ
プ21、21間に形成される画素部がそれぞれレッド、
グリーン、ブルーに対応する斜めの画素部24a、24
b、24c…となり、これら三種類の画素部24a、2
4b、24cが一組で一単位の画素となるカラー用のセ
ンサ受光部となる。したがって、この白黒用リニアセン
サも、その製造工程をカラー用のリニアセンサと共通化
することができ、これにより従来に比べ開発時間や開発
コストの低減化を図ることができる。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように本発明における請求
項1記載の白黒用リニアセンサは、遮光部のうちの一方
の長さもしくは両方の合計した長さを、チャネルストッ
プの中心線間の距離の1倍を越える分の長さセンサ領域
内に入り込んで形成したものであるから、例えばこの受
光部を形成する際、センサ領域内に前記1倍を越える分
の長さ入り込んでいる方の遮光部を、単に外側に出すこ
とにより、該受光部をカラー用の受光部とすることがで
きる。したがって、単に遮光部形成の際のマスクを変え
るのみで、その製造工程をカラー用のリニアセンサの製
造工程と共通化させることができることから、従来に比
べ開発時間や開発コストの低減化を図ることができる。
項1記載の白黒用リニアセンサは、遮光部のうちの一方
の長さもしくは両方の合計した長さを、チャネルストッ
プの中心線間の距離の1倍を越える分の長さセンサ領域
内に入り込んで形成したものであるから、例えばこの受
光部を形成する際、センサ領域内に前記1倍を越える分
の長さ入り込んでいる方の遮光部を、単に外側に出すこ
とにより、該受光部をカラー用の受光部とすることがで
きる。したがって、単に遮光部形成の際のマスクを変え
るのみで、その製造工程をカラー用のリニアセンサの製
造工程と共通化させることができることから、従来に比
べ開発時間や開発コストの低減化を図ることができる。
【0025】請求項2記載の白黒用リニアセンサは、チ
ャネルストップが直線部と斜線部とを備え、遮光部のう
ちの一方をチャネルストップの斜線部を覆った状態でセ
ンサ領域内に入り込んで形成したものであるから、例え
ばこの受光部を形成する際、斜線部側に配設する遮光部
を、斜線部を覆わないようにして形成し、かつ直線部側
に配設する遮光部を、直線部を覆うようにして形成する
ことにより、該受光部を斜めセンサ構造を有するカラー
用の受光部とすることができる。したがって、この白黒
用リニアセンサにあっても、その製造工程をカラー用の
リニアセンサの製造工程と共通化させることができ、こ
れにより従来に比べ開発時間や開発コストの低減化を図
ることができる。
ャネルストップが直線部と斜線部とを備え、遮光部のう
ちの一方をチャネルストップの斜線部を覆った状態でセ
ンサ領域内に入り込んで形成したものであるから、例え
ばこの受光部を形成する際、斜線部側に配設する遮光部
を、斜線部を覆わないようにして形成し、かつ直線部側
に配設する遮光部を、直線部を覆うようにして形成する
ことにより、該受光部を斜めセンサ構造を有するカラー
用の受光部とすることができる。したがって、この白黒
用リニアセンサにあっても、その製造工程をカラー用の
リニアセンサの製造工程と共通化させることができ、こ
れにより従来に比べ開発時間や開発コストの低減化を図
ることができる。
【図1】本発明における白黒用リニアセンサの一実施例
の、センサ受光部の要部を示す平断面図である。
の、センサ受光部の要部を示す平断面図である。
【図2】本発明における白黒用リニアセンサの他の実施
例の、センサ受光部の要部を示す平断面図である。であ
る。
例の、センサ受光部の要部を示す平断面図である。であ
る。
【図3】図2に示した白黒用リニアセンサのセンサ受光
部を、カラー用のセンサ受光部の製造に適用する例を説
明するための要部平断面図である。
部を、カラー用のセンサ受光部の製造に適用する例を説
明するための要部平断面図である。
【図4】従来の白黒用リニアセンサの一例の、センサ受
光部の要部を示す平断面図である。
光部の要部を示す平断面図である。
【図5】従来のカラー用リニアセンサの一例の、センサ
受光部の要部を示す平断面図である。
受光部の要部を示す平断面図である。
10、20 センサ領域 11、2
1 チャネルストップ 12a、12b、22a、22b 遮光部 13、2
4 画素部 21a 直線部 21b
斜線部
1 チャネルストップ 12a、12b、22a、22b 遮光部 13、2
4 画素部 21a 直線部 21b
斜線部
Claims (2)
- 【請求項1】 細長状のセンサ領域の長さ方向に該セン
サ領域を多数に区画するよう所定間隔で多数のチャネル
ストップを形成するとともに、前記センサ領域の両側に
それぞれ該センサ領域の一部を覆った状態で遮光部を形
成し、これらチャネルストップと遮光部とで区画したセ
ンサ領域をそれぞれ矩形の画素部とする受光部を有した
白黒用リニアセンサにおいて、 前記遮光部のうちの一方の長さもしくは両方の合計した
長さが、センサ領域の側縁より、前記チャネルストップ
の中心線間の距離の1倍を越える分の長さセンサ領域内
に入り込んで形成されたことを特徴とする白黒用リニア
センサ。 - 【請求項2】 細長状のセンサ領域の長さ方向に該セン
サ領域を多数に区画するよう所定間隔で多数のチャネル
ストップを形成するとともに、前記センサ領域の両側に
それぞれ該センサ領域の一部を覆った状態で遮光部を形
成し、これらチャネルストップと遮光部とで区画したセ
ンサ領域をそれぞれ画素部とする受光部を有した白黒用
リニアセンサにおいて、 前記チャネルストップが、前記センサ領域の一方の側か
ら該センサ領域の長さ方向と直交する方向に延びる直線
部と、この直線部の端部に続いてセンサ領域の他方の側
に向かって所定の角度で斜めに延び、かつ該直線部の長
さ以上の長さの斜線部とを備え、 前記遮光部のうちの、前記チャネルストップの斜線部側
に設けられる遮光部が、該チャネルストップの斜線部を
覆った状態でセンサ領域内に入り込んで形成されたこと
を特徴とする白黒用リニアセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29101994A JP3362529B2 (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | 白黒用リニアセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29101994A JP3362529B2 (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | 白黒用リニアセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08148662A true JPH08148662A (ja) | 1996-06-07 |
JP3362529B2 JP3362529B2 (ja) | 2003-01-07 |
Family
ID=17763408
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29101994A Expired - Fee Related JP3362529B2 (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | 白黒用リニアセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3362529B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11557618B2 (en) | 2019-04-24 | 2023-01-17 | Seiko Epson Corporation | Solid-state image sensor and image reading device |
-
1994
- 1994-11-25 JP JP29101994A patent/JP3362529B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11557618B2 (en) | 2019-04-24 | 2023-01-17 | Seiko Epson Corporation | Solid-state image sensor and image reading device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3362529B2 (ja) | 2003-01-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE10153378B4 (de) | Photosensoranordnung | |
EP1435662B1 (en) | Solid state image pickup device with wide dynamic range | |
JPH09135328A (ja) | 感光デバイス | |
JPH03135184A (ja) | カラー固体撮像素子 | |
JP3362529B2 (ja) | 白黒用リニアセンサ | |
JPH0399574A (ja) | カラーイメージセンサ | |
US4504855A (en) | Color imaging device | |
JP3326940B2 (ja) | 固体撮像素子およびその製造方法 | |
JP2005353799A (ja) | リニアセンサー | |
JP2515000Y2 (ja) | カラーイメージセンサ | |
JP2003101007A (ja) | 固体ラインセンサー | |
JPH0322479A (ja) | 固体撮像装置 | |
JP2003069006A (ja) | 固体撮像装置 | |
JPH08191141A (ja) | 固体撮像素子 | |
JPS6398147A (ja) | 一次元固体撮像素子 | |
JPH0374037B2 (ja) | ||
DE10165010B4 (de) | Photosensoranordnung | |
JP2001119009A (ja) | 固体撮像装置 | |
JPH06140617A (ja) | 固体撮像装置 | |
JPH0661468A (ja) | Ccdイメージセンサとその製造方法 | |
JP2002203953A (ja) | 固体撮像素子およびその製造方法 | |
JPS63191468A (ja) | 異方性結像光学系を用いた画像読取装置 | |
JPH02254854A (ja) | インラインイメージセンサ | |
JPH0557959U (ja) | カラーイメージセンサ | |
JPH05190818A (ja) | 固体撮像装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |