JPH08146371A - Liquid crystal display device and its production - Google Patents
Liquid crystal display device and its productionInfo
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- JPH08146371A JPH08146371A JP28528594A JP28528594A JPH08146371A JP H08146371 A JPH08146371 A JP H08146371A JP 28528594 A JP28528594 A JP 28528594A JP 28528594 A JP28528594 A JP 28528594A JP H08146371 A JPH08146371 A JP H08146371A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、例えばカメラ一体型Ｖ
ＴＲや液晶プロジエクター装置等に用いられる液晶表示
装置およびその製造方法に関し、更に詳しくは、液晶表
示装置の貼り合わせ工程における微細アライメント方法
を改良した液晶表示装置およびその製造方法に関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a camera-integrated V
More particularly, the present invention relates to a liquid crystal display device used for a TR or a liquid crystal projector device and a manufacturing method thereof, and more particularly to a liquid crystal display device improved in a fine alignment method in a bonding step of the liquid crystal display device and a manufacturing method thereof.
【０００２】[0002]
【従来の技術】先ず、従来技術における液晶表示装置お
よびその製造方法を図３ないし図７を参照して説明す
る。2. Description of the Related Art First, a conventional liquid crystal display device and a method of manufacturing the same will be described with reference to FIGS.
【０００３】初めに、図３を参照して従来技術の液晶表
示装置の概要を説明する。同図において、符号１は従来
技術の液晶表示装置を指す。従来技術の液晶表示装置１
は映像を映出する表示エリア２、周辺部であり例えばＡ
ｌ金属膜が成膜されたガードリング部３、前記ガードリ
ング部３の任意の位置に形成されたアライメント用のア
ライメントマーク４及び５（詳細は後述する）、外部Ｉ
Ｃから必要な情報を受取する外部接続用パッド６、前記
外部接続用パッド６から表示エリア２への信号の伝達の
用途に供する配線パターン７等で大略構成される。First, an outline of a conventional liquid crystal display device will be described with reference to FIG. In the figure, reference numeral 1 indicates a conventional liquid crystal display device. Conventional liquid crystal display device 1
Is a display area 2 for displaying an image, a peripheral portion, for example, A
l Guard ring portion 3 having a metal film formed thereon, alignment marks 4 and 5 for alignment formed at arbitrary positions of the guard ring portion 3 (details will be described later), external I
The external connection pad 6 receives necessary information from C, the wiring pattern 7 used for transmitting signals from the external connection pad 6 to the display area 2, and the like.
【０００４】更に、従来技術の液晶表示装置１は図示を
省略したが一枚のガラス基板上にフォトリソグラフィ技
術により、各画素制御用のＴＦＴ(Thin Film Transisto
r)がマトリクス状に配設されたＴＦＴ基板と、前記ＴＦ
Ｔ基板に対向してＲ、Ｇ、Ｂのカラーフィルタ（カラー
液晶表示装置の場合）や対向電極が形成されたカラーフ
ィルタ基板から構成される。前記ＴＦＴ基板とカラーフ
ィルタ基板はアライメントマーク４及び５（これらを最
適の位置関係に合わせるための基準マークであり、４は
カラーフィルタ基板のアライメントマーク、５はＴＦＴ
基板のアライメントマークである）を基準として貼り合
わされ、この２枚のガラス基板の間隙（数μｍ）に液晶
組成物を挟持させるとともに、これらの両面に偏光板を
一体に積層することにより、液晶表示装置が完成する。Further, the liquid crystal display device 1 of the prior art is not shown in the figure, but a TFT (Thin Film Transistor) for controlling each pixel is formed on one glass substrate by a photolithography technique.
r) is arranged in a matrix form on the TFT substrate and the TF
The color filter substrate is formed with R, G, and B color filters (in the case of a color liquid crystal display device) and a counter electrode facing the T substrate. The TFT substrate and the color filter substrate are alignment marks 4 and 5 (reference marks for aligning them to an optimum positional relationship, 4 is an alignment mark on the color filter substrate, and 5 is a TFT).
The two substrates are bonded together with reference to each other (which is the alignment mark of the substrate), the liquid crystal composition is sandwiched in the gap (several μm) between the two glass substrates, and the polarizing plates are integrally laminated on both surfaces of the liquid crystal display. The device is completed.
【０００５】そして、前記従来技術の液晶表示装置１
は、外部接続用パッド６に接続された外部ＩＣ（図示省
略）から供給される電源、タイミングパルス、そして映
像信号等の必要情報を受取する。外部接続用パッド６で
受取された各種情報は配線パターン７を介して表示エリ
ア２のＴＦＴに入力される。ＴＦＴでは映像信号を前記
タイミングパルスとタイミングを計りつつ、液晶セル内
の液晶分子（図示省略）に供給する。この液晶セルに供
給された映像信号電圧で液晶分子を映像信号電圧方向に
捩じれて倒立させ、この液晶分子による旋光性を利用し
てＴＦＴアクティブマトリクス型液晶表示装置１の映像
表示がなされる。また、液晶表示装置１に近接してバッ
クライト（図示省略）が配設されており、ユーザはこの
バックライトの発する光を介して、前記液晶表示装置１
に映出される映像を視覚するようになされている。な
お、最近は視覚する側の例えばカラーフィルタ基板や、
偏光板に太陽等の外光を受容して映像のコントラストが
低下するのを防止する目的で低反射（ＡＲ:Anti Reflec
tion）処理が施されるのが一般的である。本発明はこの
低反射処理されたカラーフィルタ基板が適用された場合
のＴＦＴ基板の改良に関するものであり、また本発明は
カラー／モノクロ液晶表示装置の別を問わず有効なもの
であるが、特にカラー液晶表示装置を採り上げ説明を行
う。The above-mentioned conventional liquid crystal display device 1
Receives necessary information such as a power supply, a timing pulse, and a video signal supplied from an external IC (not shown) connected to the external connection pad 6. Various information received by the external connection pad 6 is input to the TFT in the display area 2 via the wiring pattern 7. The TFT supplies the video signal to the liquid crystal molecules (not shown) in the liquid crystal cell while measuring the timing with the timing pulse. The video signal voltage supplied to the liquid crystal cell twists the liquid crystal molecules in the direction of the video signal voltage to invert them, and the optical activity of the liquid crystal molecules is used to display an image on the TFT active matrix type liquid crystal display device 1. In addition, a backlight (not shown) is arranged in the vicinity of the liquid crystal display device 1, and the user can use the liquid crystal display device 1 through the light emitted by the backlight.
It is designed to visualize the images that are projected on. Recently, for example, the color filter substrate on the visual side,
Low reflection (AR: Anti Reflec) for the purpose of preventing the contrast of the image from being deteriorated by receiving external light such as the sun on the polarizing plate.
processing is generally performed. The present invention relates to an improvement of the TFT substrate when the color filter substrate subjected to the low reflection treatment is applied, and the present invention is effective regardless of the color / monochrome liquid crystal display device. A color liquid crystal display device will be taken up and explained.
【０００６】次に、図４を参照して従来技術のアライメ
ントマークを活用したアライメント方法の第１例を説明
する。同図（ａ）において、符号８はカラーフィルタ基
板を指し、符号９はＴＦＴ基板を指す。前記カラーフィ
ルタ基板８には同図（ｂ）に示す如き十字型のカラーフ
ィルタ基板のアライメントマーク４が形成されている。
同様に、ＴＦＴ基板９には同図（ｃ）に示す如き十字型
のＴＦＴ基板のアライメントマーク５がカラーフィルタ
基板のアライメントマーク４に比して少し大きく形成さ
れている。Next, referring to FIG. 4, a first example of the alignment method utilizing the alignment mark of the prior art will be described. In FIG. 9A, reference numeral 8 indicates a color filter substrate, and reference numeral 9 indicates a TFT substrate. An alignment mark 4 of a cross type color filter substrate is formed on the color filter substrate 8 as shown in FIG.
Similarly, on the TFT substrate 9, an alignment mark 5 of a cross type TFT substrate as shown in FIG. 7C is formed slightly larger than the alignment mark 4 of the color filter substrate.
【０００７】同図（ｂ）において、カラーフィルタ基板
のアライメントマーク４は、高透過率のガラス基板上に
例えばクロム等の高反射膜を成膜処理によって図のよう
な十字型に形成されている。従って、作業者が光を照射
してこのカラーフィルタ基板のアライメントマーク４を
確認しようとする場合には、周囲のガラス部は透明であ
るため透過し、前記カラーフィルタ基板のアライメント
マーク４は高反射膜であるため光を反射して“白色”に
浮上して視覚される。In FIG. 1B, the alignment mark 4 of the color filter substrate is formed in a cross shape as shown by a film-forming process of a highly reflective film such as chromium on a glass substrate having a high transmittance. . Therefore, when an operator irradiates light to check the alignment mark 4 on the color filter substrate, the surrounding glass portion is transparent and thus is transmitted, and the alignment mark 4 on the color filter substrate is highly reflective. Because it is a film, it reflects light and rises to "white" to be viewed.
【０００８】一方、同図（ｃ）に示したＴＦＴ基板のア
ライメントマーク５は、図３に示した高反射率のＡｌ金
属膜でなるガードリング部３に形成されている。つま
り、十字型のＴＦＴ基板のアライメントマーク５を残す
ように金属膜をエッチング処理にて除去し、基材である
ガラス部を露出させている。従って、作業者が光を照射
してこのＴＦＴ基板のアライメントマーク５を確認しよ
うとする場合には、ガラス部であるアライメントマーク
５は透過し、周辺のＡｌ金属膜は反射するために“黒
色”に浮上して視覚される。On the other hand, the alignment mark 5 of the TFT substrate shown in FIG. 3C is formed on the guard ring portion 3 made of an Al metal film having a high reflectance shown in FIG. That is, the metal film is removed by etching so as to leave the alignment mark 5 on the cross-shaped TFT substrate, and the glass portion which is the base material is exposed. Therefore, when the operator irradiates light to check the alignment mark 5 on the TFT substrate, the alignment mark 5 as the glass portion is transmitted and the Al metal film in the periphery is reflected, so that “black” is obtained. It will be visible to you.
【０００９】そして、前記カラーフィルタ基板のアライ
メントマーク４とＴＦＴ基板のアライメントマーク５は
貼り合わせ工程において重畳され、同図（ｄ）のように
合成されて視覚される。つまり、作業者は“黒色”に浮
上して視覚されるＴＦＴ基板のアライメントマーク５に
重畳された“白色”に浮上して視覚されるカラーフィル
タ基板のアライメントマーク４とのコントラストの差異
により発生する間隙Ａを各々均等になるように調整する
ことでアライメント作業が実行される。Then, the alignment mark 4 on the color filter substrate and the alignment mark 5 on the TFT substrate are superposed in the laminating step, and they are combined and visualized as shown in FIG. That is, the operator is caused by a difference in contrast with the alignment mark 4 of the color filter substrate, which floats in "black" and is superimposed on the alignment mark 5 of the TFT substrate, which is viewed as "white". The alignment work is performed by adjusting the gaps A to be uniform.
【００１０】更に、図５を参照して従来技術のアライメ
ントマークを活用した微細アライメント方法の第２例を
説明する。図５（ａ）において、カラーフィルタ基板８
やＴＦＴ基板９上に形成されたアライメントマークの形
状を前述の十字形状に代えて同図に示す如き長方形の形
状にするとともにＴＦＴ基板９のアライメントマークは
ガラス基板に高反射膜を成膜して形成するようにした。
つまり、同図（ｂ）においてカラーフィルタ基板のアラ
イメントマーク４′はガラス基板上に例えばクロム等の
高反射膜を長方形に成膜してアライメントマークとし
た。そして、作業者が光を照射してこのカラーフィルタ
基板のアライメントマーク４′を確認しようとする場
合、周囲のガラス部は透明であるため透過し、前記カラ
ーフィルタ基板のアライメントマーク４′は照射された
光を反射して“白色”に浮上して視覚される。Further, a second example of the fine alignment method utilizing the alignment mark of the prior art will be described with reference to FIG. In FIG. 5A, the color filter substrate 8
Alternatively, the alignment mark formed on the TFT substrate 9 is replaced with the above-mentioned cross shape to have a rectangular shape as shown in the figure, and the alignment mark of the TFT substrate 9 is formed by forming a high reflection film on a glass substrate. To form.
That is, in FIG. 2B, the alignment mark 4'of the color filter substrate is formed by forming a highly reflective film of chromium or the like in a rectangular shape on the glass substrate to form an alignment mark. When the operator irradiates light to check the alignment mark 4'of the color filter substrate, the surrounding glass portion is transparent and is transparent, and the alignment mark 4'of the color filter substrate is illuminated. The reflected light is reflected and emerges as "white".
【００１１】同様に、同図（ｃ）に示したＴＦＴ基板の
アライメントマーク５′も、やはりガラス基板上に例え
ばクロムやＡｌ等の高反射膜を長方形に成膜してアライ
メントマーク５′とした。そして、作業者が光を照射し
てこのＴＦＴ基板のアライメントマーク５′を確認しよ
うとする場合、周囲のガラス部は透明であるため透過
し、前記ＴＦＴ基板のアライメントマーク５′は照射さ
れた光を反射して“白色”に浮上して視覚される。Similarly, the alignment mark 5'of the TFT substrate shown in FIG. 1C is also formed into a rectangular shape by forming a highly reflective film of, for example, chromium or Al on the glass substrate to form the alignment mark 5 '. . When the operator irradiates light to check the alignment mark 5'on the TFT substrate, the surrounding glass portion is transparent and is transparent, and the alignment mark 5'on the TFT substrate is transmitted through the irradiated light. Is reflected and rises to "white" and is visualized.
【００１２】そして、前記カラーフィルタ基板のアライ
メントマーク４′とＴＦＴ基板のアライメントマーク
５′は貼り合わせ工程において重畳され、同図（ｄ）に
示すように対向して視覚される。このカラーフィルタ基
板のアライメントマーク４′とＴＦＴ基板のアライメン
トマーク５′とをＸ、Ｙ方向に合致させるように調整す
ることでアライメント作業を行う。なお、アライメント
工程の精度を向上するためには、同図（ｄ）の如きアラ
イメントマークを垂直方向にも形成してアライメント作
業を行うようにすれば良い。Then, the alignment mark 4'on the color filter substrate and the alignment mark 5'on the TFT substrate are superposed in the laminating step, and are visually recognized as opposed to each other as shown in FIG. The alignment work is performed by adjusting the alignment mark 4'of the color filter substrate and the alignment mark 5'of the TFT substrate so as to match in the X and Y directions. In order to improve the accuracy of the alignment process, it is sufficient to form alignment marks as shown in FIG. 6D in the vertical direction and perform the alignment work.
【００１３】つまり、従来技術の第１例のアライメント
は“黒色”と“白色”とを重畳してそのコントラスト差
で発生する間隙を利用していたのに対して、従来技術の
第２例のアライメントは“白色”と“白色”を対比させ
てその形状を合致させることでアライメント作業を行う
ものである。That is, the alignment of the first example of the prior art uses the gap generated by superimposing "black" and "white" and the contrast difference, while the alignment of the second example of the prior art. The alignment is performed by comparing “white” and “white” and matching their shapes.
【００１４】しかし、最近の液晶表示装置におけるカラ
ーフィルタ基板では前述のように野外での使用や液晶プ
ロジェクターへの応用等を考慮して、光の反射を抑制す
る低反射処理が施されたものが導入されつつある。However, a color filter substrate in a recent liquid crystal display device has been subjected to a low reflection treatment for suppressing light reflection in consideration of the outdoor use and the application to a liquid crystal projector as described above. It is being introduced.
【００１５】以下、従来技術の液晶表示装置のカラーフ
ィルタ基板に低反射処理が施された場合について図６及
び図７を参照して説明する。初めに、図６（ａ）におい
て、符号１０は低反射カラーフィルタ基板を指し、符号
９は前述と同様のＴＦＴ基板を指す。前記低反射カラー
フィルタ基板１０には、同じく低反射アライメントマー
ク１１が形成され、ＴＦＴ基板９には従来と同様のＴＦ
Ｔ基板のアライメントマーク５が形成されている。Hereinafter, the case where the color filter substrate of the conventional liquid crystal display device is subjected to the low reflection treatment will be described with reference to FIGS. 6 and 7. First, in FIG. 6A, reference numeral 10 indicates a low reflection color filter substrate, and reference numeral 9 indicates a TFT substrate similar to the above. A low reflection alignment mark 11 is also formed on the low reflection color filter substrate 10, and a TF similar to a conventional one is formed on the TFT substrate 9.
An alignment mark 5 on the T substrate is formed.
【００１６】同図（ｂ）において、低反射カラーフィル
タ基板１０上の低反射アライメントマーク１１は、低反
射処理されたガラス基板と同様にアライメントマーク１
１も低反射となるため、従来のアライメントマークのよ
うに光を反射して“白色”とは成らず、“黒色”に近似
して視覚される。一方、同図（ｃ）に示したＴＦＴ基板
のアライメントマーク５は従来技術の第１例と同様のも
のであり、前述のような理由で“黒色”に視覚される。In FIG. 1B, the low-reflection alignment mark 11 on the low-reflection color filter substrate 10 is the alignment mark 1 similar to the low-reflection treated glass substrate.
Since 1 also has low reflection, light is not reflected to be "white" unlike the conventional alignment mark, and is visually approximated to "black". On the other hand, the alignment mark 5 on the TFT substrate shown in FIG. 7C is the same as that of the first example of the prior art, and is visually "black" for the reason described above.
【００１７】そして、低反射アライメントマーク１１と
ＴＦＴ基板のアライメントマーク５は貼り合わせ工程に
おいて重畳されて同図（ｄ）のように視覚されるが、前
記低反射アライメントマーク１１は“黒色”に近似して
視覚されるため“黒色”と“黒色”近似の合成となり充
分なコントラストを得ることができない。Then, the low-reflection alignment mark 11 and the alignment mark 5 on the TFT substrate are overlapped in the laminating process and are visually recognized as shown in FIG. 6D, but the low-reflection alignment mark 11 is approximate to "black". Since it is visually recognized, it becomes a composite of "black" and "black" approximation, and sufficient contrast cannot be obtained.
【００１８】次に、図７（ａ）において、符号１０は前
回同様に低反射カラーフィルタ基板を指し、符号９はＴ
ＦＴ基板を指す。低反射カラーフィルタ基板１０には長
方形状の低反射アライメントマーク１２が形成され、Ｔ
ＦＴ基板９には従来と同様の長方形状のＴＦＴ基板のア
ライメントマーク５′が形成されている。つまり、同図
（ｂ）における低反射アライメントマーク１２は低反射
処理されたガラス基板と同様に低反射となり“黒色”に
近似して視覚される。このため、低反射ガラスとのコン
トラストが充分に得られず、低反射アライメントマーク
１２の識別が困難となる。一方、同図（ｃ）に示したＴ
ＦＴ基板のアライメントマーク５′は従来技術の第２例
と同様の理由で“白色”に視覚される。Next, in FIG. 7A, reference numeral 10 indicates a low reflection color filter substrate as in the previous time, and reference numeral 9 indicates T.
Refers to the FT substrate. A low reflection alignment mark 12 having a rectangular shape is formed on the low reflection color filter substrate 10, and T
On the FT substrate 9, a rectangular TFT substrate alignment mark 5 ′ similar to the conventional one is formed. That is, the low-reflection alignment mark 12 in FIG. 9B has low reflection like the glass substrate subjected to the low-reflection treatment, and is visually approximated to "black". Therefore, the contrast with the low reflection glass is not sufficiently obtained, and it becomes difficult to identify the low reflection alignment mark 12. On the other hand, T shown in FIG.
The alignment mark 5'of the FT substrate is visualized as "white" for the same reason as in the second example of the prior art.
【００１９】そして、低反射アライメントマーク１２と
ＴＦＴ基板のアライメントマーク５′は貼り合わせ工程
において重畳され、同図（ｄ）に示すように低反射アラ
イメントマーク１２とＴＦＴ基板のアライメントマーク
５′が対比して視覚されが、低反射アライメントマーク
１２は識別が困難となっていることから、ＴＦＴ基板の
アライメントマーク５′との正確なアライメントができ
ない。Then, the low-reflection alignment mark 12 and the alignment mark 5'of the TFT substrate are overlapped in the bonding step, and the low-reflection alignment mark 12 and the alignment mark 5'of the TFT substrate are compared as shown in FIG. However, since the low-reflection alignment mark 12 is difficult to identify, it cannot be accurately aligned with the alignment mark 5'of the TFT substrate.
【００２０】[0020]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述のような
従来技術の液晶表示装置およびその製造方法では、カラ
ーフィルタ基板に低反射処理が施されたガラス基板が導
入された場合、カラーフィルタ基板側のアライメントマ
ークと、ＴＦＴ基板のアライメントマークとのコントラ
ストが充分に確保されず正確なアライメントが困難とな
る。つまり、従来技術の第１例では、低反射処理された
カラーフィルタ基板のアライメントマークも低反射とな
り“黒色”に近似して視覚されため、ＴＦＴ基板のアラ
イメントマーク“黒色”と対比した場合充分なコントラ
ストが得られず、正確なアライメントができないという
問題点がある。また、従来技術の第２例では低反射処理
されたカラーフィルタ基板のアライメントマークも低反
射となり、基材であるガラス基板とアライメントマーク
とのコントラストが充分に得られず、アライメントマー
クそのものの識別が困難となるため、ＴＦＴ基板上のア
ライメントマークとの正確なアライメントができないと
いう問題点がある。However, in the conventional liquid crystal display device and the manufacturing method thereof as described above, when the glass substrate subjected to the low reflection treatment is introduced to the color filter substrate side, Since the contrast between the alignment mark of 1 and the alignment mark of the TFT substrate is not sufficiently secured, accurate alignment becomes difficult. In other words, in the first example of the prior art, the alignment mark of the color filter substrate subjected to the low reflection process also has low reflection and is visually approximated to "black". Therefore, it is sufficient when compared with the alignment mark "black" of the TFT substrate. There is a problem that the contrast cannot be obtained and accurate alignment cannot be performed. Further, in the second example of the prior art, the alignment mark of the color filter substrate subjected to the low reflection treatment also has low reflection, and the contrast between the glass substrate as the base material and the alignment mark cannot be sufficiently obtained, so that the alignment mark itself can be identified. Since it becomes difficult, accurate alignment with the alignment mark on the TFT substrate cannot be achieved.
【００２１】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、液晶表示装置の貼り合わせ工程において、低反射処
理されたカラーフィルタ基板側のアライメントマーク
と、ＴＦＴ基板側のアライメントマークとのコントラス
トが充分でないために、正確なアライメントができない
という問題点を改善した液晶表示装置およびその製造方
法を提供しようとするものである。The present invention has been made in consideration of the above points, and in the bonding process of the liquid crystal display device, the contrast between the alignment mark on the color filter substrate side and the alignment mark on the TFT substrate side which has been subjected to the low reflection treatment. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a liquid crystal display device and a method for manufacturing the same, in which the problem that accurate alignment cannot be achieved due to the lack of a sufficient amount of liquid crystal display device.
【００２２】[0022]
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
めに本発明の液晶表示装置では、第１のアライメントマ
ークが形成されたＴＦＴ基板と、第２のアライメントマ
ークが形成されるとともに低反射処理された対向基板と
を、各々のアライメントマークを基準として貼り合わせ
て構成される液晶表示装置であって、第１のアライメン
トマークは、第２のアライメントマークの外形線と相似
形で、拡大倍率を異にするとともに中心点を共有する２
本の外形線により囲まれる形状として形成した。In order to solve such a problem, in a liquid crystal display device of the present invention, a TFT substrate having a first alignment mark and a second alignment mark are formed and a low reflection treatment is performed. A liquid crystal display device configured by laminating the formed opposite substrate with each alignment mark as a reference, wherein the first alignment mark has a shape similar to the outline of the second alignment mark, and the enlargement magnification is Different and share the center point 2
It was formed as a shape surrounded by the outline of the book.
【００２３】また、前記液晶表示装置であって、第１の
アライメントマークは、第２のアライメントマークと同
一形状長方形として形成した。更に、この第１のアライ
メントマークの周辺部には高反射膜を形成することで前
記課題を解決した。In the liquid crystal display device, the first alignment mark is formed as a rectangle having the same shape as the second alignment mark. Further, the above-mentioned problem was solved by forming a high reflection film on the peripheral portion of the first alignment mark.
【００２４】更に、本発明の液晶表示装置の製造方法で
あって、第１のアライメントマークは、第２のアライメ
ントマークの外形線と相似形で、拡大倍率を異にすると
ともに中心点を共有する２本の外形線により囲まれる形
状として備えた。そして、この第１のアライメントマー
クで、第２のアライメントマークを包含した場合に発生
する間隙を基にしてアライメントを行うこととした。Further, in the method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention, the first alignment mark is similar to the outline of the second alignment mark, has different enlargement magnifications, and shares the center point. It was provided as a shape surrounded by two outlines. Then, the alignment is performed based on the gap generated when the second alignment mark is included in the first alignment mark.
【００２５】また、前記液晶表示装置の製造方法であっ
て、第１のアライメントマークは、第２のアライメント
マークと同一形状の長方形として形成し、更に第１のア
ライメントマークの周辺部に高反射膜を形成した。そし
て、第１のアライメントマークと第２のアライメントマ
ークとを対比させながら、且つ第１のアライメントマー
クの高反射膜を背景として用いることによりアライメン
トを行うことで前記課題を解決した。In the method of manufacturing the liquid crystal display device, the first alignment mark is formed as a rectangle having the same shape as the second alignment mark, and a high reflection film is formed on the periphery of the first alignment mark. Was formed. Then, the above problem is solved by performing alignment by comparing the first alignment mark and the second alignment mark and using the high-reflection film of the first alignment mark as a background.
【００２６】[0026]
【作用】本発明の液晶表示装置では、ＴＦＴ基板の第１
のアライメントマークを、対向基板の第２のアライメン
トマークの外形線と相似形で、拡大倍率を異にするとと
もに中心点を共有する２本の外形線により囲まれる形状
として形成した。また、各々のアライメントマークを同
一形状の長方形として第１のアライメントマークの周辺
部に高反射膜を形成した。これにより、アライメントマ
ークのコントラストが充分に確保され正確なアライメン
ト作業を行うことができる。In the liquid crystal display device of the present invention, the first TFT substrate is used.
The alignment mark of 1 was formed in a shape similar to the outline of the second alignment mark on the counter substrate and surrounded by two outlines having different magnifications and sharing the center point. In addition, each alignment mark was formed into a rectangular shape having the same shape, and a high reflection film was formed in the peripheral portion of the first alignment mark. As a result, the contrast of the alignment mark is sufficiently secured, and accurate alignment work can be performed.
【００２７】特に、本発明の液晶表示装置の製造方法で
は、ＴＦＴ基板と対向基板を重ねた場合において、第１
のアライメントマークで第２のアライメントマークを包
含したときに発生する間隙を基にしてアライメントを行
うこととした。また、各々のアライメントマークを同一
形状の長方形として形成し、第１のアライメントマーク
の周辺部に高反射膜とを形成し、この高反射膜を背景と
して利用することとした。このため、アライメントマー
クのコントラストが向上して正確なアライメントを行う
ことができる。Particularly, in the method of manufacturing a liquid crystal display device of the present invention, when the TFT substrate and the counter substrate are stacked, the first
It was decided to perform the alignment based on the gap generated when the second alignment mark was included in the above alignment mark. Further, each alignment mark is formed as a rectangle of the same shape, a high reflection film is formed in the peripheral portion of the first alignment mark, and this high reflection film is used as a background. Therefore, the contrast of the alignment mark is improved, and accurate alignment can be performed.
【００２８】[0028]
【実施例】以下、図１及び図２を参照して本発明の液晶
表示装置およびその製造方法の実施例を説明する。な
お、従来技術の液晶表示装置およびその製造方法を示す
図と同一の部分には同一の参照符号を付し、それらの構
成や動作の説明を省略する。Embodiments of the liquid crystal display device and the manufacturing method thereof according to the present invention will be described below with reference to FIGS. The same parts as those of the conventional liquid crystal display device and the method of manufacturing the same are designated by the same reference numerals, and the description of their configurations and operations will be omitted.
【００２９】実施例１ 初めに、図１を参照して本発明の液晶表示装置およびそ
の製造方法の第１の実施例を説明する。図１（ａ）にお
いて、符号１０は低反射カラーフィルタ基板を指し、符
号１００は本発明のＴＦＴ基板を指す。前記低反射カラ
ーフィルタ基板１０には同図（ｂ）に示す如き十字型の
アライメントマーク１１が形成されている。また、本発
明のＴＦＴ基板１００には同図（ｃ）に示すような所定
間隙を均等に保持した十字形状の本発明のアライメント
マーク１０１が形成されている。First Embodiment First, a first embodiment of the liquid crystal display device and the manufacturing method thereof according to the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 1A, reference numeral 10 indicates a low reflection color filter substrate, and reference numeral 100 indicates a TFT substrate of the present invention. A cross-shaped alignment mark 11 as shown in FIG. 1B is formed on the low reflection color filter substrate 10. Further, the TFT substrate 100 of the present invention is provided with a cross-shaped alignment mark 101 of the present invention which holds a predetermined gap evenly as shown in FIG.
【００３０】つまり、同図（ｂ）の低反射アライメント
マーク１１は低反射処理されているため、“黒色”に近
似して視覚されるものである。一方、同図（ｃ）に示し
たＴＦＴ基板１００上の本発明のアライメントマーク１
０１は、ガードリング部の例えばＡｌ金属膜上で所定間
隙を均等に保持した十字形状にエッチング処理で形成さ
れたものであり、周囲は高反射率の金属膜が残存してい
る。この金属膜は反射するが本発明のアライメントマー
ク１０１は反射しないために“黒色”に浮上して視覚さ
れる。That is, since the low-reflection alignment mark 11 in FIG. 9B has been subjected to the low-reflection processing, it can be seen as if it is "black". On the other hand, the alignment mark 1 of the present invention on the TFT substrate 100 shown in FIG.
Reference numeral 01 is formed by etching in a cross shape in which a predetermined gap is evenly held on, for example, an Al metal film in the guard ring portion, and a metal film having a high reflectance remains in the periphery. This metal film is reflected, but the alignment mark 101 of the present invention is not reflected, so that it is visible as "black".
【００３１】そして、“黒色”に近似して視覚される低
反射アライメントマーク１１と本発明のアライメントマ
ーク１０１は貼り合わせ工程において重畳され、同図
（ｄ）のように合成されて視覚される。つまり、作業者
は“黒色”に視覚される所定間隙を保持した十字形状の
本発明のアライメントマーク１０１と、“黒色”に近似
して視覚される低反射アライメントマーク１１との間に
発生する間隙Ｂを、均等になるように調整することによ
りアライメント作業が実行される。Then, the low-reflection alignment mark 11 visually approximated to "black" and the alignment mark 101 of the present invention are superposed in the laminating step, and are combined and visualized as shown in FIG. In other words, the operator creates a gap between the cross-shaped alignment mark 101 of the present invention that holds a predetermined gap that is visible in "black" and the low-reflection alignment mark 11 that is visually approximated to "black". The alignment work is performed by adjusting B so as to be even.
【００３２】実施例２ 次に、図２を参照して本発明の液晶表示装置およびその
製造方法の第２の実施例を説明する。図２（ａ）におい
て、符号１０は低反射カラーフィルタ基板を指し、符号
１１０は本発明のＴＦＴ基板を指す。前記低反射カラー
フィルタ基板１０には同図（ｂ）に示す如き低反射処理
された長方形の低反射アライメントマーク１２が形成さ
れている。この低反射アライメントマーク１２は低反射
処理されているため、“黒色”に近似して視覚されるも
のである。一方、本発明のＴＦＴ基板１１０には同図
（ｃ）に示すように、高反射率の例えばＡｌ金属膜を長
方形のアライメントマーク１１１を残すようにエッチン
グ処理にて除去し、基材であるガラス部を露出させたも
のである。周囲には高反射膜である金属膜が残存してい
るために、本発明のアライメントマーク１１１の周辺部
Ｃは金属膜が反射し“白色”に視覚され、本発明のアラ
イメントマーク１１１は反射しないために“黒色”に浮
上して視覚される。Second Embodiment Next, a second embodiment of the liquid crystal display device and the manufacturing method thereof according to the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 2A, reference numeral 10 indicates a low reflection color filter substrate, and reference numeral 110 indicates a TFT substrate of the present invention. On the low reflection color filter substrate 10, a rectangular low reflection alignment mark 12 subjected to low reflection treatment is formed as shown in FIG. Since the low-reflection alignment mark 12 has been subjected to the low-reflection processing, it is visually approximated to "black". On the other hand, as shown in FIG. 2C, the TFT substrate 110 of the present invention is formed by removing an Al metal film having a high reflectance by an etching process so as to leave a rectangular alignment mark 111, and a glass as a base material. The part is exposed. Since the metal film, which is a highly reflective film, remains on the periphery, the metal film is reflected at the peripheral portion C of the alignment mark 111 of the present invention to be seen as "white", and the alignment mark 111 of the present invention is not reflected. Because of that, it is visualized as "black".
【００３３】そして、低反射アライメントマーク１２と
本発明のアライメントマーク１１１は貼り合わせ工程に
おいて重畳され、同図（ｄ）に示すようにのように合成
されて視覚される。つまり、同図（ａ）に示すように本
発明のアライメントマーク１１１は“黒色”に、周辺部
Ｃは“白色”に視覚される。この“白色”と視覚される
周辺部Ｃを背景として利用することで低反射アライメン
トマーク１２が確実に識別できるようになる。こうして
本発明のアライメントマーク１１１と低反射アライメン
トマーク１２とをＸ、Ｙ方向に合致させるように調整す
ることでアライメント作業が行われる。Then, the low-reflection alignment mark 12 and the alignment mark 111 of the present invention are superposed in the laminating step, and are combined and visualized as shown in FIG. That is, as shown in FIG. 4A, the alignment mark 111 of the present invention is visually recognized as "black" and the peripheral portion C is visually recognized as "white". By using the peripheral portion C visually recognized as "white" as the background, the low reflection alignment mark 12 can be reliably identified. In this way, the alignment work is performed by adjusting the alignment mark 111 of the present invention and the low-reflection alignment mark 12 so as to match in the X and Y directions.
【００３４】本発明は前記実施例に限定されず、種々の
実施形態を採ることができる。例えばアライメントマー
クは十字型と長方形の場合について説明したが、円形状
やその他の形状でも良いし、アライメントマークの形状
には特に限定されない。また手動によるアライメント調
整について説明したが、カメラ装置等を活用した自動貼
り合わせ工程にも応用可能である。更に、液晶表示装置
以外の例えばプラズマディスプレイ装置、蛍光表示管装
置、マイクロ画素蛍光板等のアライメントにも応用可能
なことは言うまでもない。The present invention is not limited to the above embodiment, and various embodiments can be adopted. For example, the case where the alignment mark has a cross shape and a rectangular shape has been described, but the shape may be circular or any other shape, and the shape of the alignment mark is not particularly limited. Further, although the manual alignment adjustment has been described, it can be applied to an automatic laminating process using a camera device or the like. Further, it goes without saying that it can be applied to alignment of plasma display devices, fluorescent display tubes, micropixel fluorescent plates, etc. other than liquid crystal display devices.
【００３５】[0035]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の液晶表示
装置およびその製造方法によれば、カラーフィルタ基板
に低反射処理が施されたガラス基板が導入された場合の
貼り合わせ工程において、カラーフィルタ基板側のアラ
イメントマークと、ＴＦＴ基板側のアライメントマーク
とのコントラストが充分に確保されるために正確なアラ
イメントを行うことができる。そのため、アライメント
精度向上による画素開口率の向上や画素開口部の安定を
図ることが可能となり、液晶表示装置の性能や品質の向
上に寄与することができる。また、本発明の液晶表示装
置の製造方法によれば、製造設備の構造の都合上、基板
背面から光を照射する透過光が利用できない場合におい
ても、反射光を利用して微細アライメントが行えるとい
うメリットがある。As described above, according to the liquid crystal display device and the method of manufacturing the same of the present invention, when a glass substrate having a low reflection treatment is introduced as a color filter substrate, a color filter substrate Accurate alignment can be performed because a sufficient contrast is secured between the alignment mark on the filter substrate side and the alignment mark on the TFT substrate side. Therefore, it is possible to improve the pixel aperture ratio and stabilize the pixel aperture by improving the alignment accuracy, which can contribute to the improvement of the performance and quality of the liquid crystal display device. Further, according to the method of manufacturing a liquid crystal display device of the present invention, fine alignment can be performed using reflected light even when transmitted light that irradiates light from the back surface of the substrate cannot be used due to the structure of manufacturing equipment. There are merits.
【図１】 本発明の液晶表示装置およびその製造方法の
第１の実施例を説明する図であり、（ａ）は液晶表示装
置のアライメントマーク部の拡大断面図であり、（ｂ）
は低反射カラーフィルタ基板のアライメントマークを示
す上面図であり、（ｃ）はＴＦＴ基板のアライメントマ
ークを示す上面図であり、（ｄ）は両アライメントマー
クを合成した上面図である。1A and 1B are diagrams illustrating a first embodiment of a liquid crystal display device and a manufacturing method thereof according to the present invention, FIG. 1A is an enlarged cross-sectional view of an alignment mark portion of the liquid crystal display device, and FIG.
FIG. 4A is a top view showing an alignment mark on a low reflection color filter substrate, FIG. 7C is a top view showing an alignment mark on a TFT substrate, and FIG.
【図２】 本発明の液晶表示装置およびその製造方法の
第２の実施例を説明する図であり、（ａ）は液晶表示装
置のアライメントマーク部の拡大断面図であり、（ｂ）
は低反射カラーフィルタ基板のアライメントマークを示
す上面図であり、（ｃ）はＴＦＴ基板のアライメントマ
ークを示す上面図であり、（ｄ）は両アライメントマー
クを合成した上面図である。2A and 2B are diagrams illustrating a second embodiment of the liquid crystal display device and the manufacturing method thereof according to the present invention, FIG. 2A is an enlarged cross-sectional view of an alignment mark portion of the liquid crystal display device, and FIG.
FIG. 4A is a top view showing an alignment mark on a low reflection color filter substrate, FIG. 7C is a top view showing an alignment mark on a TFT substrate, and FIG.
【図３】 従来技術の液晶表示装置を示す上面図であ
る。FIG. 3 is a top view showing a conventional liquid crystal display device.
【図４】 従来技術の液晶表示装置およびその製造方法
の第１例の説明図であり、（ａ）は液晶表示装置のアラ
イメントマーク部の拡大断面図であり、（ｂ）はカラー
フィルタ基板のアライメントマークを示す上面図であ
り、（ｃ）はＴＦＴ基板のアライメントマークを示す上
面図であり、（ｄ）は両アライメントマークを合成した
上面図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a first example of a conventional liquid crystal display device and a manufacturing method thereof, (a) is an enlarged cross-sectional view of an alignment mark portion of the liquid crystal display device, and (b) is a color filter substrate. It is a top view which shows an alignment mark, (c) is a top view which shows the alignment mark of a TFT substrate, (d) is a top view which combined both alignment marks.
【図５】 従来技術の液晶表示装置およびその製造方法
の第２例の説明図であり、（ａ）は液晶表示装置のアラ
イメントマーク部の拡大断面図であり、（ｂ）はカラー
フィルタ基板のアライメントマークを示す上面図であ
り、（ｃ）はＴＦＴ基板のアライメントマークを示す上
面図であり、（ｄ）は両アライメントマークを合成した
上面図である。5A and 5B are explanatory views of a second example of a conventional liquid crystal display device and a manufacturing method thereof, FIG. 5A is an enlarged cross-sectional view of an alignment mark portion of the liquid crystal display device, and FIG. 5B is a color filter substrate. It is a top view which shows an alignment mark, (c) is a top view which shows the alignment mark of a TFT substrate, (d) is a top view which combined both alignment marks.
【図６】 従来技術の液晶表示装置のカラーフィルタ基
板に低反射処理が施された場合の説明図であり、（ａ）
は液晶表示装置のアライメントマーク部の拡大断面図で
あり、（ｂ）は低反射カラーフィルタ基板のアライメン
トマークを示す上面図であり、（ｃ）はＴＦＴ基板のア
ライメントマークを示す上面図であり、（ｄ）は両アラ
イメントマークを合成した上面図である。FIG. 6 is an explanatory diagram in the case where the color filter substrate of the liquid crystal display device of the related art is subjected to the low reflection treatment,
FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of an alignment mark portion of a liquid crystal display device, (b) is a top view showing an alignment mark of a low reflection color filter substrate, (c) is a top view showing an alignment mark of a TFT substrate, (D) is a top view in which both alignment marks are combined.
【図７】 従来技術の液晶表示装置のカラーフィルタ基
板に低反射処理が施された場合の説明図であり、（ａ）
は液晶表示装置のアライメントマーク部の拡大断面図で
あり、（ｂ）は低反射カラーフィルタ基板のアライメン
トマークを示す上面図であり、（ｃ）はＴＦＴ基板のア
ライメントマークを示す上面図であり、（ｄ）は両アラ
イメントマークを合成した上面図である。FIG. 7 is an explanatory diagram in the case where the color filter substrate of the conventional liquid crystal display device is subjected to the low reflection treatment,
FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of an alignment mark portion of a liquid crystal display device, (b) is a top view showing an alignment mark of a low reflection color filter substrate, (c) is a top view showing an alignment mark of a TFT substrate, (D) is a top view in which both alignment marks are combined.
１ 従来技術の液晶表示装置 ２ 表示エリア ３ ガードリング部 4、4 ′ カラーフィルタ基板のアライメントマーク 5、5 ′ ＴＦＴ基板のアライメントマーク ６ 外部接続用パッド ７ 配線パターン ８ カラーフィルタ基板 9、100 、110 ＴＦＴ基板 １０ 低反射カラーフィルタ基板 11、12 低反射アライメントマーク 101 、111 本発明のアライメントマーク A 、B 間隙 Ｃ 周辺部 1 Conventional liquid crystal display device 2 Display area 3 Guard ring part 4, 4'Alignment mark on color filter substrate 5, 5'Alignment mark on TFT substrate 6 Pad for external connection 7 Wiring pattern 8 Color filter substrate 9, 100, 110 TFT substrate 10 Low-reflection color filter substrate 11, 12 Low-reflection alignment marks 101, 111 Alignment marks A and B of the present invention Gap C Peripheral area
Claims (4)
ＴＦＴ基板と、第２のアライメントマークが形成される
とともに低反射処理された対向基板とを、該第１および
前記第２のアライメントマークを基準として貼り合わせ
る工程を含んで成る液晶表示装置であって、該第１のア
ライメントマークは、前記第２のアライメントマークの
外形線と相似形で、拡大倍率を異にするとともに中心点
を共有する２本の外形線により囲まれる形状として形成
したことを特徴とする液晶表示装置。1. A TFT substrate on which a first alignment mark is formed and a counter substrate on which a second alignment mark is formed and which has been subjected to a low reflection treatment, with reference to the first and second alignment marks. In the liquid crystal display device, the first alignment mark has a shape similar to the outline of the second alignment mark, has different magnifications, and shares the center point. A liquid crystal display device, characterized in that it is formed in a shape surrounded by the outline of a book.
ＴＦＴ基板と、第２のアライメントマークが形成される
とともに低反射処理された対向基板とを、該第１および
前記第２のアライメントマークを基準として貼り合わせ
る工程を含んで成る液晶表示装置であって、該第１のア
ライメントマークは、前記第２のアライメントマークと
同一形状として形成し、更に該第１のアライメントマー
クの周辺部に高反射膜を形成したことを特徴とする液晶
表示装置。2. A TFT substrate on which a first alignment mark is formed, and a counter substrate on which a second alignment mark is formed and which has been subjected to a low reflection treatment, with reference to the first and second alignment marks. A liquid crystal display device including the step of laminating the first alignment mark with the same shape as the second alignment mark, and further forming a high reflection film on the periphery of the first alignment mark. A liquid crystal display device comprising:
ＴＦＴ基板と、第２のアライメントマークが形成される
とともに低反射処理された対向基板とを、該第１および
前記第２のアライメントマークを基準として貼り合わせ
る工程を含んで成る液晶表示装置であって、該第１のア
ライメントマークは、前記第２のアライメントマークの
外形線と相似形で、拡大倍率を異にするとともに中心点
を共有する２本の外形線により囲まれる形状として具備
し、該第１のアライメントマークで、前記第２のアライ
メントマークを包含して発生する間隙を基にしてアライ
メントを行うことを特徴とする液晶表示装置の製造方
法。3. A TFT substrate on which a first alignment mark is formed and a counter substrate on which a second alignment mark is formed and which has been subjected to a low reflection treatment, with reference to the first and second alignment marks. In the liquid crystal display device, the first alignment mark has a shape similar to the outline of the second alignment mark, has different magnifications, and shares the center point. A manufacturing method of a liquid crystal display device, characterized in that the liquid crystal display device has a shape surrounded by a contour line of a book, and performs alignment based on a gap generated by the first alignment mark including the second alignment mark. Method.
ＴＦＴ基板と、第２のアライメントマークが形成される
とともに低反射処理された対向基板とを、該第１および
前記第２のアライメントマークを基準として貼り合わせ
る工程を含んで成る液晶表示装置であって、該第１のア
ライメントマークは、前記第２のアライメントマークと
同一形状として形成し、更に該第１のアライメントマー
クの周辺部に高反射膜を具備し、該第１のアライメント
マークと前記第２のアライメントマークとを対比させ、
且つ該第１のアライメントマークの高反射膜を背景とし
て利用することによりアライメントを行うことを特徴と
する液晶表示装置の製造方法。4. A TFT substrate on which a first alignment mark is formed, and a counter substrate on which a second alignment mark is formed and which has been subjected to low reflection processing, with reference to the first and second alignment marks. A liquid crystal display device including the step of laminating the first alignment mark with the same shape as the second alignment mark, and further forming a high reflection film on the periphery of the first alignment mark. And comparing the first alignment mark with the second alignment mark,
In addition, the method for manufacturing a liquid crystal display device is characterized in that alignment is performed by using the highly reflective film of the first alignment mark as a background.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28528594A JPH08146371A (en) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | Liquid crystal display device and its production |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28528594A JPH08146371A (en) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | Liquid crystal display device and its production |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08146371A true JPH08146371A (en) | 1996-06-07 |
Family
ID=17689542
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28528594A Pending JPH08146371A (en) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | Liquid crystal display device and its production |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08146371A (en) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1195196A (en) * | 1997-09-17 | 1999-04-09 | Fujitsu Ltd | Liquid crystal panel display device |
| US6787930B1 (en) * | 1999-07-29 | 2004-09-07 | Nec Lcd Technologies, Ltd. | Alignment marks and manufacturing method for the same |
| JP2006309218A (en) * | 2005-04-29 | 2006-11-09 | Samsung Sdi Co Ltd | Plasma display module |
| JP2008040036A (en) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Hitachi Displays Ltd | Display |
| JP2009187039A (en) * | 2009-05-27 | 2009-08-20 | Sharp Corp | Substrate for liquid crystal display device, and liquid crystal display device equipped with the same |
| US7629613B2 (en) | 2004-09-09 | 2009-12-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Display device and method of manufacturing the same |
| JP2013113766A (en) * | 2011-11-30 | 2013-06-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Alignment method and pattern formation method |
| CN103869518A (en) * | 2012-12-13 | 2014-06-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | Manufacturing method for liquid crystal display and product thereof |
| WO2015029998A1 (en) * | 2013-08-29 | 2015-03-05 | 住友化学株式会社 | Film bonding device, optical-display-device production system, and optical-display-device production method |
| CN105093636A (en) * | 2015-09-21 | 2015-11-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | Touch display substrate, manufacturing method thereof and touch display panel |
| US9327488B2 (en) | 2011-11-30 | 2016-05-03 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Alignment method, transfer method and transfer apparatus |
| CN105572938A (en) * | 2016-01-29 | 2016-05-11 | 京东方科技集团股份有限公司 | Display base plate, display device and location identification recognition method |
| US10580371B2 (en) | 2015-10-09 | 2020-03-03 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Data driving module for driving display panel, data driving method and display device |
-
1994
- 1994-11-18 JP JP28528594A patent/JPH08146371A/en active Pending
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1195196A (en) * | 1997-09-17 | 1999-04-09 | Fujitsu Ltd | Liquid crystal panel display device |
| US6787930B1 (en) * | 1999-07-29 | 2004-09-07 | Nec Lcd Technologies, Ltd. | Alignment marks and manufacturing method for the same |
| US7008829B2 (en) | 1999-07-29 | 2006-03-07 | Nec Lcd Technologies, Ltd. | Alignment marks and manufacturing method for the same |
| US7629613B2 (en) | 2004-09-09 | 2009-12-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Display device and method of manufacturing the same |
| US8049222B2 (en) | 2004-09-09 | 2011-11-01 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Display device and method of manufacturing the same |
| JP2006309218A (en) * | 2005-04-29 | 2006-11-09 | Samsung Sdi Co Ltd | Plasma display module |
| JP2008040036A (en) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Hitachi Displays Ltd | Display |
| JP2009187039A (en) * | 2009-05-27 | 2009-08-20 | Sharp Corp | Substrate for liquid crystal display device, and liquid crystal display device equipped with the same |
| JP2013113766A (en) * | 2011-11-30 | 2013-06-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Alignment method and pattern formation method |
| US9327488B2 (en) | 2011-11-30 | 2016-05-03 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Alignment method, transfer method and transfer apparatus |
| CN103869518A (en) * | 2012-12-13 | 2014-06-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | Manufacturing method for liquid crystal display and product thereof |
| WO2015029998A1 (en) * | 2013-08-29 | 2015-03-05 | 住友化学株式会社 | Film bonding device, optical-display-device production system, and optical-display-device production method |
| CN105093636A (en) * | 2015-09-21 | 2015-11-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | Touch display substrate, manufacturing method thereof and touch display panel |
| US10580371B2 (en) | 2015-10-09 | 2020-03-03 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Data driving module for driving display panel, data driving method and display device |
| CN105572938A (en) * | 2016-01-29 | 2016-05-11 | 京东方科技集团股份有限公司 | Display base plate, display device and location identification recognition method |
| WO2017128693A1 (en) * | 2016-01-29 | 2017-08-03 | 京东方科技集团股份有限公司 | Display substrate, display device and positioning mark identification method |
| US10168148B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-01-01 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Display substrate, display device and method for recognizing position mark |
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