JPH08145793A - 分光器の波長校正方法 - Google Patents
分光器の波長校正方法Info
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- JPH08145793A JPH08145793A JP29091194A JP29091194A JPH08145793A JP H08145793 A JPH08145793 A JP H08145793A JP 29091194 A JP29091194 A JP 29091194A JP 29091194 A JP29091194 A JP 29091194A JP H08145793 A JPH08145793 A JP H08145793A
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- Japan
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- wavelength
- diffraction grating
- spectroscope
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Abstract
(57)【要約】
【目的】分光器の組立て調整において、回折格子へのサ
インバーの取り付け角度とサインバーの長さの調整が不
十分であっても、高い波長正確さの得られる波長校正方
法を提供する。 【構成】使用波長領域中の三以上の基準波長で分光器の
波長目盛りと真の波長との波長誤差を検出する手段を備
え、波長をλ、回折格子２２の格子定数をｄ、コリメー
ティングミラー２１の中心と回折格子２２の中心を結ぶ
直線と、回折格子２２の中心とカメラミラー２３の中心
を結ぶ直線のなす角度の１／２の角度をαとしたときに
数９の波長誤差関数ε（λ）を求め、波長校正を行う。 【数９】ε(λ)＝Ａ＋Ｂλ＋Ｃ√(４ｄ2cos2α−λ2)
インバーの取り付け角度とサインバーの長さの調整が不
十分であっても、高い波長正確さの得られる波長校正方
法を提供する。 【構成】使用波長領域中の三以上の基準波長で分光器の
波長目盛りと真の波長との波長誤差を検出する手段を備
え、波長をλ、回折格子２２の格子定数をｄ、コリメー
ティングミラー２１の中心と回折格子２２の中心を結ぶ
直線と、回折格子２２の中心とカメラミラー２３の中心
を結ぶ直線のなす角度の１／２の角度をαとしたときに
数９の波長誤差関数ε（λ）を求め、波長校正を行う。 【数９】ε(λ)＝Ａ＋Ｂλ＋Ｃ√(４ｄ2cos2α−λ2)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は分光器の波長校正方法に
係り、特に、サインバーと送りねじの組み合わせにより
波長直線送りをするツェルニターナマウント方式の回折
格子分光器の波長校正方法に関する。
係り、特に、サインバーと送りねじの組み合わせにより
波長直線送りをするツェルニターナマウント方式の回折
格子分光器の波長校正方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】現在最も一般的に用いられている分光器
は、「分光の基礎と方法」（工藤 恵栄著，オーム社
（1985)）pp.405〜413に記載のように、平面または凹面
の回折格子を波長分散素子に用い、パルスモータなどの
回折格子駆動素子の回転角と出射スリットから取り出さ
れる光の波長とが比例するよう、サインバー送りにより
回折格子の回転が制御されている。
は、「分光の基礎と方法」（工藤 恵栄著，オーム社
（1985)）pp.405〜413に記載のように、平面または凹面
の回折格子を波長分散素子に用い、パルスモータなどの
回折格子駆動素子の回転角と出射スリットから取り出さ
れる光の波長とが比例するよう、サインバー送りにより
回折格子の回転が制御されている。
【０００３】この構成の分光器において、送りねじ，ナ
ット，レバー，回折格子が十分高い精度で製作され、相
互の位置関係も正しく調整されていれば、使用する波長
範囲にただ一つの基準波長を設け、送りねじ上のどの位
置にナットがある時に基準波長の光が出射スリットから
取出されるかを計測すれば、その位置を基準として送り
ねじをどれだけ回転すれば所望の波長が得られるかが一
義的に決定でき、波長校正が可能である。
ット，レバー，回折格子が十分高い精度で製作され、相
互の位置関係も正しく調整されていれば、使用する波長
範囲にただ一つの基準波長を設け、送りねじ上のどの位
置にナットがある時に基準波長の光が出射スリットから
取出されるかを計測すれば、その位置を基準として送り
ねじをどれだけ回転すれば所望の波長が得られるかが一
義的に決定でき、波長校正が可能である。
【０００４】従来、上記方式の分光器では一般に分光器
の波長目盛りと真の波長との誤差が十分に小さくなるま
で回折格子へのサインバーの取り付け角度とサインバー
の長さを調整していた。
の波長目盛りと真の波長との誤差が十分に小さくなるま
で回折格子へのサインバーの取り付け角度とサインバー
の長さを調整していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術による方
法では、必要な波長正確さが得られるまで、調整作業を
行う必要があり、高い波長正確さを必要とする場合には
作業時間が長くかかり、装置の製造コストが高くなる欠
点があった。
法では、必要な波長正確さが得られるまで、調整作業を
行う必要があり、高い波長正確さを必要とする場合には
作業時間が長くかかり、装置の製造コストが高くなる欠
点があった。
【０００６】本発明の目的は、分光器の波長目盛りと真
の波長との誤差が十分に小さくなるまで調整されていな
い分光器でも、高い波長正確さの得られる分光器の波長
校正方法を提供することにある。
の波長との誤差が十分に小さくなるまで調整されていな
い分光器でも、高い波長正確さの得られる分光器の波長
校正方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するために、使用波長領域中の三以上の基準波長で
分光器の波長目盛りと真の波長との波長誤差を検出する
手段を備え、波長をλ、回折格子の格子定数をｄ、コリ
メーティングミラーの中心と回折格子の中心を結ぶ直線
と、回折格子の中心とカメラミラーの中心を結ぶ直線の
なす角度の１／２の角度をαとしたときに数２で表され
る、波長誤差関数ε(λ)中のＡ，Ｂ，Ｃの各係数を決定
し、その波長誤差関数により波長校正を行う。
達成するために、使用波長領域中の三以上の基準波長で
分光器の波長目盛りと真の波長との波長誤差を検出する
手段を備え、波長をλ、回折格子の格子定数をｄ、コリ
メーティングミラーの中心と回折格子の中心を結ぶ直線
と、回折格子の中心とカメラミラーの中心を結ぶ直線の
なす角度の１／２の角度をαとしたときに数２で表され
る、波長誤差関数ε(λ)中のＡ，Ｂ，Ｃの各係数を決定
し、その波長誤差関数により波長校正を行う。
【０００８】
【数２】 ε(λ)＝Ａ＋Ｂλ＋Ｃ√(４ｄ2cos2α−λ2) …（数１）
【０００９】
【作用】上記の波長校正方法によれば、回折格子へのサ
インバーの取り付け角度とサインバーの長さの調整が不
十分であっても、任意の波長における波長誤差を予測で
きるため、その波長誤差分の補正を施すことで高い波長
正確さが得られる。
インバーの取り付け角度とサインバーの長さの調整が不
十分であっても、任意の波長における波長誤差を予測で
きるため、その波長誤差分の補正を施すことで高い波長
正確さが得られる。
【００１０】
【実施例】図１に本発明の一実施例として、本発明の波
長校正方法によって波長校正を行う、高周波誘導プラズ
マ発光分光分析装置の例を示す。
長校正方法によって波長校正を行う、高周波誘導プラズ
マ発光分光分析装置の例を示す。
【００１１】プラズマトーチ１にはガス制御部２により
Ａｒガスが流される。プラズマトーチ１上縁部周囲には
高周波誘導コイル３が巻かれており、高周波電源４から
高周波電力が印加されることにより、誘導結合形プラズ
マ５を生じる。また、プラズマトーチ１には試料導入部
６により試料溶液７が供給され、プラズマ５中に吹き込
まれる。プラズマ５中は高温になっており、この中で試
料溶液７は分解し、含まれている元素が各元素毎の特有
の波長を有する発光線を生じる。
Ａｒガスが流される。プラズマトーチ１上縁部周囲には
高周波誘導コイル３が巻かれており、高周波電源４から
高周波電力が印加されることにより、誘導結合形プラズ
マ５を生じる。また、プラズマトーチ１には試料導入部
６により試料溶液７が供給され、プラズマ５中に吹き込
まれる。プラズマ５中は高温になっており、この中で試
料溶液７は分解し、含まれている元素が各元素毎の特有
の波長を有する発光線を生じる。
【００１２】これらの発光は、分光器８により分光さ
れ、所定の元素に対応する特定波長の発光線の発光強度
が光電子増倍管９により電気信号として取り出される。
この電気信号はアナログ−デジタル変換器１０でデジタ
ル量に変換されて、データ処理装置１１に取り込まれ
る。データ処理装置１１は、予めこの測定対象元素につ
いて試料濃度と発光強度の間の関係式を記憶しており、
取り込まれた発光強度から関係式を用いて試料溶液７中
での元素の濃度を算出し、濃度表示部１２に表示する。
れ、所定の元素に対応する特定波長の発光線の発光強度
が光電子増倍管９により電気信号として取り出される。
この電気信号はアナログ−デジタル変換器１０でデジタ
ル量に変換されて、データ処理装置１１に取り込まれ
る。データ処理装置１１は、予めこの測定対象元素につ
いて試料濃度と発光強度の間の関係式を記憶しており、
取り込まれた発光強度から関係式を用いて試料溶液７中
での元素の濃度を算出し、濃度表示部１２に表示する。
【００１３】分光器８において所定の元素に対応する特
定波長の発光線のみを取り出す際、各元素からの発光線
の半値幅は一般に０.００５ｎｍ 以下と狭く、また一つ
の元素が複数の発光線を生じるため、試料が複数の元素
を含む場合には、非常に多くの発光線が互いに近接して
現れる。そこで分光器８には高い波長分解が要求される
と共に、これらの発光線の中から所定の元素の発光線を
誤りなく取り出すために、高い波長正確さが必要とされ
る。
定波長の発光線のみを取り出す際、各元素からの発光線
の半値幅は一般に０.００５ｎｍ 以下と狭く、また一つ
の元素が複数の発光線を生じるため、試料が複数の元素
を含む場合には、非常に多くの発光線が互いに近接して
現れる。そこで分光器８には高い波長分解が要求される
と共に、これらの発光線の中から所定の元素の発光線を
誤りなく取り出すために、高い波長正確さが必要とされ
る。
【００１４】本実施例の分光器８は図２のように構成さ
れている。入射スリット２０，コリメーティングミラー
２１，平面回折格子２２，カメラミラー２３，出射スリ
ット２４はツェルニターナマウントに配置されている。
入射スリット２０から入った被測定光はコリメーティン
グミラー２１で平行光束にされた後、平面回折格子２２
に入射する。回折格子２２からの回折光はカメラミラー
２３により出射スリット２４位置に結像する。
れている。入射スリット２０，コリメーティングミラー
２１，平面回折格子２２，カメラミラー２３，出射スリ
ット２４はツェルニターナマウントに配置されている。
入射スリット２０から入った被測定光はコリメーティン
グミラー２１で平行光束にされた後、平面回折格子２２
に入射する。回折格子２２からの回折光はカメラミラー
２３により出射スリット２４位置に結像する。
【００１５】回折格子２２をパルスモータ２５によって
回転させることにより、出射スリット２４を通過する光
の波長を変化させることができる。パルスモータ２５の
回転は、送りねじ２６に伝えられ、送りねじ２６が回転
すると、その上に取り付けられたナット２７が送りねじ
２６上で移動する。サインバー２８の一端は回折格子２
２の回転中心に固定されており、他端はナット２７の側
面に沿ってしゅう動するように、ばね２９でナット２７
に押しつけられている。回折格子２２は、サインバー２
８を介して、ナット２７の移動に伴って回転する。ナッ
ト２７には遮光板３０が取り付けられ、ナット２７が移
動して出射スリット２４から取り出される光の波長が、
水銀の主要な発光線である、２５３.６５２ｎｍ となる
ときに、遮光板３０によって信号変化が得られるように
予めホトインタラプタ３１の位置が調整されて配置して
ある。これにより、ナット２７の基準位置を簡単に検知
することができる。これらの機構は、出射スリット２４
から取り出される光の波長が、パルスモータ２５の回転
角に比例して変化するように設計されたものである。本
実施例ではパルスモータ２５を１パルスだけ回転させる
とΔλだけ波長が変化するよう設計されている。
回転させることにより、出射スリット２４を通過する光
の波長を変化させることができる。パルスモータ２５の
回転は、送りねじ２６に伝えられ、送りねじ２６が回転
すると、その上に取り付けられたナット２７が送りねじ
２６上で移動する。サインバー２８の一端は回折格子２
２の回転中心に固定されており、他端はナット２７の側
面に沿ってしゅう動するように、ばね２９でナット２７
に押しつけられている。回折格子２２は、サインバー２
８を介して、ナット２７の移動に伴って回転する。ナッ
ト２７には遮光板３０が取り付けられ、ナット２７が移
動して出射スリット２４から取り出される光の波長が、
水銀の主要な発光線である、２５３.６５２ｎｍ となる
ときに、遮光板３０によって信号変化が得られるように
予めホトインタラプタ３１の位置が調整されて配置して
ある。これにより、ナット２７の基準位置を簡単に検知
することができる。これらの機構は、出射スリット２４
から取り出される光の波長が、パルスモータ２５の回転
角に比例して変化するように設計されたものである。本
実施例ではパルスモータ２５を１パルスだけ回転させる
とΔλだけ波長が変化するよう設計されている。
【００１６】分光器８は基準波長光源として低圧水銀ラ
ンプ３２を内蔵しており、切替え機構３３により低圧水
銀ランプ３２からの発光を、被測定光に替えて入射スリ
ット２０から入れてやることができる。切替え機構３３
は、データ処理装置１１の指令により動作する。データ
処理装置１１は、試料溶液７の測定を始める前に、波長
校正を行う。本実施例においてデータ処理装置１１の行
う波長校正の手順を図３に示す。以下に、その手順を説
明する。
ンプ３２を内蔵しており、切替え機構３３により低圧水
銀ランプ３２からの発光を、被測定光に替えて入射スリ
ット２０から入れてやることができる。切替え機構３３
は、データ処理装置１１の指令により動作する。データ
処理装置１１は、試料溶液７の測定を始める前に、波長
校正を行う。本実施例においてデータ処理装置１１の行
う波長校正の手順を図３に示す。以下に、その手順を説
明する。
【００１７】まず、切替え機構３３を動作させて低圧水
銀ランプの発光が分光器８に入射するようにする。次に
パルスモータ２５を動かし、遮光板２９によってホトイ
ンラプタ３１の信号が変化する位置で停止させる。この
時に出射スリットから取り出される光の波長は概略２５
３.６５２ｎｍ である。
銀ランプの発光が分光器８に入射するようにする。次に
パルスモータ２５を動かし、遮光板２９によってホトイ
ンラプタ３１の信号が変化する位置で停止させる。この
時に出射スリットから取り出される光の波長は概略２５
３.６５２ｎｍ である。
【００１８】次に光電子増倍管９から得られる発光強度
信号を見ながら、パルスモータ２５を時計方向または半
時計方向に回転させて、信号が最大となるところで停止
させる。この位置が、パルスモータ２５が１ステップで
進む単位波長の精度の範囲において、低圧水銀ランプの
２５３.６５２ｎｍ の正確な位置である。このときに波
長駆動パルスカウンタの内容を０にリセットする。
信号を見ながら、パルスモータ２５を時計方向または半
時計方向に回転させて、信号が最大となるところで停止
させる。この位置が、パルスモータ２５が１ステップで
進む単位波長の精度の範囲において、低圧水銀ランプの
２５３.６５２ｎｍ の正確な位置である。このときに波
長駆動パルスカウンタの内容を０にリセットする。
【００１９】前述のカウンタは、パルスモータ２５を波
長が増える方向に回転させたときには回転させたパルス
数分がその内容に自動的に加算され、逆にパルスモータ
２５を波長が減る方向に回転させたときには回転させた
パルス数分だけその内容から自動的に減算されるよう構
成されている。すなわち、ある時点におけるカウンタの
内容は、その時点で出射スリット２４から取り出されて
いる光の波長と１対１に対応している。前述のように本
実施例では１パルスでΔλだけ波長が進むので、カウン
タの内容をＭとするとき、数３により得られるλ′が分
光器８の波長指示値となる。
長が増える方向に回転させたときには回転させたパルス
数分がその内容に自動的に加算され、逆にパルスモータ
２５を波長が減る方向に回転させたときには回転させた
パルス数分だけその内容から自動的に減算されるよう構
成されている。すなわち、ある時点におけるカウンタの
内容は、その時点で出射スリット２４から取り出されて
いる光の波長と１対１に対応している。前述のように本
実施例では１パルスでΔλだけ波長が進むので、カウン
タの内容をＭとするとき、数３により得られるλ′が分
光器８の波長指示値となる。
【００２０】
【数３】 λ′＝Ｍ×Δλ＋２５３.６５２ …（数３） 本実施例では使用波長範囲を１７５〜７８０ｎｍの範囲
とし、この範囲において低圧水銀ランプの発光線のう
ち、２５３.６５２ｎｍ，４０４.６５６ｎｍ，５４６.
０７４ｎｍの３本を基準波長として設定してある。次に
これらの基準波長における波長指示値と実波長値の間の
波長誤差を計測する。λ１＝253.652 ，λ２＝４０４.
６５６ ，λ３＝５４６.０７４ とし、２５３.６５２ｎ
ｍ の位置を基準としてどれだけパルスモータ２５を回
転させれば、波長指示値としてこれらの波長を得ること
ができるかは、数３を変形して得られる数４によりＭ′
ｉ（ｉ＝１，２，..，Ｎ）として求められる。
とし、この範囲において低圧水銀ランプの発光線のう
ち、２５３.６５２ｎｍ，４０４.６５６ｎｍ，５４６.
０７４ｎｍの３本を基準波長として設定してある。次に
これらの基準波長における波長指示値と実波長値の間の
波長誤差を計測する。λ１＝253.652 ，λ２＝４０４.
６５６ ，λ３＝５４６.０７４ とし、２５３.６５２ｎ
ｍ の位置を基準としてどれだけパルスモータ２５を回
転させれば、波長指示値としてこれらの波長を得ること
ができるかは、数３を変形して得られる数４によりＭ′
ｉ（ｉ＝１，２，..，Ｎ）として求められる。
【００２１】
【数４】 Ｍ′ｉ＝(λｉ−２５３.６５２)／Δλ …（数４） まずパルスモータ２５を現在の停止位置からＭ′１だけ
回転させる。光電子増倍管９から得られる発光強度信号
を見ながら、パルスモータ２５を回転させ、信号が最大
となるところを見つける。この位置で出射スリット２４
から得られる実波長値がλ１である。λ１と、この時に
カウンタの内容から数３に従って得られる波長指示値λ
１′との差λ１′−λ１が、λ１における波長誤差とな
る。この値をε１とする。
回転させる。光電子増倍管９から得られる発光強度信号
を見ながら、パルスモータ２５を回転させ、信号が最大
となるところを見つける。この位置で出射スリット２４
から得られる実波長値がλ１である。λ１と、この時に
カウンタの内容から数３に従って得られる波長指示値λ
１′との差λ１′−λ１が、λ１における波長誤差とな
る。この値をε１とする。
【００２２】以下、同様の処理をλ２，λ３に対して繰
返す。これにより、各基準波長における波長誤差が、ε
１，ε２，ε３に得られる。次に数２において、ｄ，α
は既知の定数であるから、次の三元一次連立方程式を解
くことにより、Ａ，Ｂ，Ｃの各係数を求めることがで
き、使用波長範囲の任意の波長における波長誤差を推定
する波長誤差関数が得られる。
返す。これにより、各基準波長における波長誤差が、ε
１，ε２，ε３に得られる。次に数２において、ｄ，α
は既知の定数であるから、次の三元一次連立方程式を解
くことにより、Ａ，Ｂ，Ｃの各係数を求めることがで
き、使用波長範囲の任意の波長における波長誤差を推定
する波長誤差関数が得られる。
【００２３】
【数５】 ε１＝Ａ＋Ｂλ１＋Ｃ√(４ｄ2cos2α−λ１２） ε２＝Ａ＋Ｂλ２＋Ｃ√（４ｄ2cos2α−λ２2) …（数
５） ε３＝Ａ＋Ｂλ３＋Ｃ√(４ｄ2cos2α−λ３2) このようにして得られた波長誤差関数を用いることによ
り、使用波長範囲の任意の波長における波長誤差を推定
することができる。これにより次の手順に従って、分光
器の実波長を任意の波長λに設定することができる。
５） ε３＝Ａ＋Ｂλ３＋Ｃ√(４ｄ2cos2α−λ３2) このようにして得られた波長誤差関数を用いることによ
り、使用波長範囲の任意の波長における波長誤差を推定
することができる。これにより次の手順に従って、分光
器の実波長を任意の波長λに設定することができる。
【００２４】（１）実波長がλとなるときの分光器８の
波長指示値λ′の推定値は、波長誤差関数により次式の
ように与えられる。
波長指示値λ′の推定値は、波長誤差関数により次式の
ように与えられる。
【００２５】
【数６】 λ′−λ＝ε(λ) …（数６） 数６を変形して、
【００２６】
【数７】 λ′＝λ＋ε(λ) …（数７） が得られる。
【００２７】（２）波長指示値と、２５３.６５２ｎｍ
を基準としたときの波長駆動パルスカウンタの内容の対
応は、数１で与えられるので、数７で示される波長指示
値λ′へ波長を送るためには、波長駆動パルスカウンタ
の内容が次式から求まるＭ′となるまで、パルスモータ
２５を回転させればよい。
を基準としたときの波長駆動パルスカウンタの内容の対
応は、数１で与えられるので、数７で示される波長指示
値λ′へ波長を送るためには、波長駆動パルスカウンタ
の内容が次式から求まるＭ′となるまで、パルスモータ
２５を回転させればよい。
【００２８】
【数８】 Ｍ′＝(λ′−２５３.６５２)／Δλ …（数８） このようにして、誤差関数ε（λ）を用いることによ
り、分光器の実波長を任意の波長λに設定することがで
きる。
り、分光器の実波長を任意の波長λに設定することがで
きる。
【００２９】上記の波長校正方法によれば、波長誤差関
数によって波長の校正ができるので、本実施例の高周波
誘導結合プラズマ発光分光分析装置では、サインバー２
８の長さや、サインバー２８の回折格子２２への取り付
け角度が十分な精度で調整されていなくても、高い波長
正確さを得ることができる。
数によって波長の校正ができるので、本実施例の高周波
誘導結合プラズマ発光分光分析装置では、サインバー２
８の長さや、サインバー２８の回折格子２２への取り付
け角度が十分な精度で調整されていなくても、高い波長
正確さを得ることができる。
【００３０】
【発明の効果】本発明では、使用波長領域中の三以上の
基準波長で検知した波長誤差から決定される波長誤差関
数により、任意の波長における波長誤差を予測でき、そ
の波長誤差分の補正を施すことで、回折格子へのサイン
バーの取り付け角度とサインバーの長さの調整が不十分
な分光器においても高い波長正確さが得られる。
基準波長で検知した波長誤差から決定される波長誤差関
数により、任意の波長における波長誤差を予測でき、そ
の波長誤差分の補正を施すことで、回折格子へのサイン
バーの取り付け角度とサインバーの長さの調整が不十分
な分光器においても高い波長正確さが得られる。
【図１】本発明の波長校正方法により波長校正を行う高
周波誘導結合プラズマ発光分光分析装置の一実施例ブロ
ック図。
周波誘導結合プラズマ発光分光分析装置の一実施例ブロ
ック図。
【図２】図１の実施例に係る高周波誘導結合プラズマ発
光分光分析装置の分光器部分の説明図。
光分光分析装置の分光器部分の説明図。
９…光電子増倍管、２０…入射スリット、２１…コリメ
ーティングミラー、２２…平面回折格子、２３…カメラ
ミラー、２４…出射スリット、２５…パルスモータ、２
６…送りねじ、２７…ナット、２８…サインバー、２９
…ばね、３０…遮光板、３１…ホトインタラプタ、３２
…低圧水銀ランプ、３３…切替え機構。
ーティングミラー、２２…平面回折格子、２３…カメラ
ミラー、２４…出射スリット、２５…パルスモータ、２
６…送りねじ、２７…ナット、２８…サインバー、２９
…ばね、３０…遮光板、３１…ホトインタラプタ、３２
…低圧水銀ランプ、３３…切替え機構。
Claims (1)
- 【請求項１】入射スリットとコリメーティングミラーと
平面回折格子とカメラミラーと出射スリットとを備え、
それらの素子がツェルニターナマウントで配置され、送
りねじとサインバーの組み合わせにより回折格子を回転
させる分光器において、使用波長領域中の三以上の基準
波長で分光器の波長目盛りと真の波長との波長誤差を検
出する手段を備え、波長をλ、前記回折格子の格子定数
をｄ、前記コリメーティングミラーの中心と前記回折格
子の中心を結ぶ直線と、前記回折格子の中心と前記カメ
ラミラーの中心を結ぶ直線のなす角度の１／２の角度を
αとしたときに数１で表される波長誤差関数ε(λ)中の
Ａ，Ｂ，Ｃの各係数を決定し、その波長誤差関数により
波長校正を行うことを特徴とする分光器の波長校正方
法。 【数１】 ε(λ)＝Ａ＋Ｂλ＋Ｃ√(４ｄ2cos2α−λ2) …（数１）
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29091194A JPH08145793A (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | 分光器の波長校正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29091194A JPH08145793A (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | 分光器の波長校正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08145793A true JPH08145793A (ja) | 1996-06-07 |
Family
ID=17762109
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29091194A Pending JPH08145793A (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | 分光器の波長校正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08145793A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107490433A (zh) * | 2017-04-13 | 2017-12-19 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种基于光栅光谱仪的光谱定标方法及光栅光谱仪 |
-
1994
- 1994-11-25 JP JP29091194A patent/JPH08145793A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107490433A (zh) * | 2017-04-13 | 2017-12-19 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种基于光栅光谱仪的光谱定标方法及光栅光谱仪 |
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