JPH08136442A - 急速昇降温型冷熱試験装置 - Google Patents

急速昇降温型冷熱試験装置

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JPH08136442A
JPH08136442A JP6272706A JP27270694A JPH08136442A JP H08136442 A JPH08136442 A JP H08136442A JP 6272706 A JP6272706 A JP 6272706A JP 27270694 A JP27270694 A JP 27270694A JP H08136442 A JPH08136442 A JP H08136442A
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test
mounting plate
test object
temperature
refrigerator
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JP6272706A
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Masaaki Kato
正昭 加藤
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KATOO KK
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KATOO KK
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 冷熱試験装置をコンパクト化すると共に操作
性をよくし、試験物をパソコン等の外部装置と接続して
動作させながら試験することも容易にする。 【構成】 装置筐体の上面1aに試験物載置板2とその
上面を覆う開閉可能な蓋体3とを設けて、蓋体3が閉じ
た状態で密閉された試験室5を形成するようにし、試験
物載置板2に吸込口2aと吹出口2bを設け、試験物載
置板2の下側に、試験室の容量に対して充分大きな熱交
換性能を有する冷却コイル8及び加熱ヒータ9と、試験
室5内の空気を矢示のように循環させるファン10と、
これらを覆って空気の循環路11を形成するカバー12
とを設ける。冷却コイル8に冷媒を循環させる冷凍機は
カバー12の外側に設ける。そして、ファン10の回転
と冷凍機及び加熱ヒータの動作を制御して試験室5内の
温度を急速に上昇または降下させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、各種電子部品や電子
機器,工業材料等の試験品に急激な温度変化を与えて、
その特性変化や異常の有無を試験するために使用する急
速昇降温型冷熱試験装置に関する。この急速昇降温型冷
熱試験装置には、熱衝撃試験装置及び冷熱サイクル装置
等を含むものである。
【0002】
【従来の技術】各種の電子部品や回路ユニット,各種電
子機器や工業材料等は、それが過酷な環境条件で使用さ
れても何ら不具合を生じないようにする努力がなされて
おり、その信頼性を高めるために各種の環境試験が行な
われている。特に、航空機やロケット,人工衛星等に搭
載する電子部品や電子機器は、極めて高い信頼性が要求
され、環境温度の急激な変化に耐えられる必要があるた
め、厳しい熱衝撃試験や冷熱サイクル試験が行なわれて
いる。
【0003】このような試験は、熱衝撃試験装置や冷熱
サイクル装置を用いて行なわれる。熱衝撃試験を行なう
ための従来の熱衝撃試験装置には、大別して2種類の方
式のものがあり、米国で主に使用されているのは試験槽
移動方式であり、日本で主に使用されているのは槽固定
・蓄熱冷熱風切換方式である。
【0004】前者は、装置筐体内の上部と下部にそれぞ
れに充分な熱容量を持つ高温槽と低温槽を設け、試験物
を収納した試験槽を昇降させてその高温槽と低温槽に交
互に入れ、試験槽内の試験物に冷熱ショックを与える方
式のものである。後者は、装置筐体内の中央部に試験槽
を、その上部と下部にそれぞれ高温蓄熱槽と低温蓄熱槽
を設け、それぞれの槽を別々に温度制御しておき、瞬時
のダンパ切り換えにより、試験槽に高温蓄熱槽からの熱
風と低温蓄熱槽からの冷風を瞬時に切り換えて送り込ん
で、試験槽内の試験物に冷熱ショックを与える方式のも
のである。
【0005】また、冷熱サイクル装置は、断熱された試
験室内の空気を加熱部及び冷却部からなる熱交換部を通
してファンによって強制的に循環させ、その加熱部及び
冷却部(主に加熱部)を予め設定したパターンで制御す
ることにより、試験室内の温度を周期的に上昇/下降さ
せる環境試験装置である。このような装置において制御
可能な試験室内の温度は、一般的なものでは−55℃〜
+180℃程度である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た熱衝撃試験装置は、いずれも試験槽の他に高温槽及び
低温槽が必要であり、試験槽昇降方式の場合はその昇降
装置も必要なため、装置が大型で大きな専用の設置スペ
ースを必要とし、値段も高価なものであった。しかも、
従来の熱衝撃試験装置は冷熱サイクル装置も含めて、い
ずれも試験槽あるいは試験室が装置筐体の略中央部に設
けられ、前面扉によって開閉されるようになっているた
め、他の5面はすべて断熱壁によって囲まれており、試
験物の出し入れ等の操作性が充分よいとは言えなかっ
た。さらに、電子部品や回路ユニットあるいは電子機器
等の試験物をパソコン等の外部装置と接続して、動作さ
せながらその特性等のデータをとるようなことは困難で
あった。
【0007】この発明は、このような従来の冷熱試験装
置における問題点を解決するためになされたものであ
り、急速な昇降温が可能で、かつコンパクトで設置スペ
ースをあまりとらず、操作性もよく、試験物をパソコン
等の外部装置と接続して動作させながら試験することも
容易な急速昇降温型冷熱試験装置を提供することを目的
とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】この発明は上記の目的を
達成するため、装置筐体の上面に試験物載置板と該試験
物載置板の上面を覆う開閉可能な蓋体とを設けて、該蓋
体が閉じた状態で上記試験物載置板との間に密閉された
試験室を形成するように構成すると共に、上記試験物載
置板の離れた位置に吸込口と吹出口を設け、該試験物載
置板の下側に、試験室の容量に対して充分大きな熱交換
性能を有する冷却コイル及び加熱ヒータと、試験室内の
空気を上記吸込口と吹出口及び冷却コイルと加熱ヒータ
を通して強制的に循環させるファンと、これらを覆って
空気の循環路を形成するカバーとを設け、装置筐体内の
上記カバーによって仕切られた循環路と反対側の空間
に、上記冷却コイルに冷媒を循環させる冷凍機を収納
し、上記ファンの回転と冷凍機及び加熱ヒータの動作を
制御して試験室内の温度を急速に上昇または降下させる
制御手段を備えた急速昇降温型冷熱試験装置を提供す
る。
【0009】さらに、上記試験物載置板上の吹出口の上
部に該吹出口から上方へ吹き出される空気流を試験物載
置板の上面に略平行な方向へ偏向させる偏向部材を設け
るとよい。また、上記急速昇降温型冷熱試験装置の蓋体
の全部又は一部を透明部材によって形成するとよい。
【0010】
【作用】このように構成した急速昇降温型冷熱試験装置
は、装置筐体の上面に試験物載置板が設けられており、
蓋体を上方へ開くとその上部の殆どが開放されるため試
験物の出し入れ等の操作性が極めてよく、高温槽や低温
槽等の余分なスペースも不要なため従来装置に比べて極
めてコンパクトに構成でき、大幅なコストダウンを図る
こともできる。キャスタをつければ容易に移動可能でど
こにでも設置でき、試験室にケーブルを通して試験物を
パソコン等の外部装置と接続して動作させながら熱衝撃
試験をすることも容易である。
【0011】そして、試験室の容量に対して充分大きな
熱交換性能を有する冷却コイル及び加熱ヒータを使用
し、試験室内の空気をファンによってその冷却コイルと
加熱ヒータを通して強制的に循環させることにより、試
験室の温度を短時間で急激に上昇あるいは下降させるこ
とができる。
【0012】また、試験物載置板上の吹出口の上部に、
吹出口から上方へ吹き出される空気流を試験物載置板の
上面に略平行な方向へ偏向させる偏向部材を設けると、
吹き出される熱風あるいは冷風が試験物に直接当たる方
向へ流れ、その加熱・冷却効率がよくなる。さらに、こ
の急速昇降温型冷熱試験装置の蓋体の全部又は一部を透
明にすると、試験中の試験物を外部から観察することが
でき、特に試験物を動作させながら試験する場合に、そ
の動作状態を見ることができて便利である。例えば、液
晶表示器を表示動作させながら試験する場合など、その
表示状態を観察することができる。
【0013】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて具
体的に説明する。図3はこの発明による急速昇降温型冷
熱試験装置の外観例を示す斜視図である。図1はその要
部の拡大縦断面図(図2のB−B線に沿う断面図)、図
2は図1のA−A線に沿う断面図である。
【0014】この冷熱試験装置は、図3に示すようにコ
ピー機サイズの装置筐体1の上面1aに、図2に示す試
験物載置板2が設けられており、その試験物載置板2の
上面を覆う蓋体3が蝶番4によって開閉可能に蝶着され
て設けられ、この蓋体3が図示のように閉じた状態で、
試験物載置板2との間に密閉された試験室5を形成す
る。蓋体3の前面には開閉時に把持するためのハンドル
31を、両側面には閉じた状態で蓋体3を装置筐体1に
ロックするためのロック金具32を設けている。
【0015】図3に示す装置筐体1の前面1b及び両側
面1cの下部には多数の通気孔6が形成されており、そ
の内部に冷凍器(図示せず)が収納されている。また、
装置筐体1の上面1aには、この実施例では右手前側に
タッチパネル付き液晶表示器による操作・表示部7が設
けられている。この操作・表示部7のタッチパネル付き
液晶表示器は、画面に表示された機能メニューや数値を
指でタッチするだけで、種々の機能を選択したり、温度
等の数値を設定したりすることができる。すなわち、こ
の急速昇降温型冷熱試験装置は対話方式で簡単に操作で
きる。
【0016】図1及び図2によってこの冷熱試験装置の
要部の構成を説明する。試験物載置板2の離れた位置、
この実施例では図1に示すように長手方向の両端部付近
にそれぞれ吸込口2aと吹出口2bを設けている。吸込
口2aは多数の小孔を列設してなり、吹出口2bは比較
的大きくスリット状に開口している。
【0017】そして、この試験物載置板2の下側に、試
験室5の容量に対して充分大きな熱交換性能を有する冷
却コイル8及び図2に示す加熱ヒータ9と、試験室5内
の空気を吸込口2aと吹出口2b及び冷却コイル8と加
熱ヒータ9を通して強制的に循環させるファン(この実
施例ではシロッコファン)10と、これらを覆って空気
の循環路11を形成するカバー12とを設けている。、
【0018】ファン10は、カバー12に取り付けられ
たファンモータ13によって回転される。また、試験物
載置板2の吹出口2bの上部には、吹出口2bから上方
へ吹き出される空気流を試験物載置板2の上面に略平行
な方向へ偏向させる偏向部材15を設けており、その偏
向部材15の開口部には整流板15aを備えている。そ
して、この偏向部材15の内部に、試験室5への吹出流
の温度を検知するための温度センサとして白金測温抵抗
体14の測温部を配設している。
【0019】蓋体3の下縁部全周とカバー12の上縁部
全周には、クッションラバー16a,16bを貼着して
あり、蓋体3を閉じたときの気密性を高めている。この
蓋体3とカバー12は、その材質の図示を省略している
が、金属板の内部に断熱材をサンドイッチ状に挟んだ断
熱構造をなし、試験室5及び熱交換する空気の循環路1
1を外部から断熱するようにしている。
【0020】そして、装置筐体1内のカバー12によっ
て仕切られた空気の循環路11と反対側(この実施例で
は下側)の空間に、冷却コイル8に冷媒を循環させる冷
凍機を収納するとともに、ファン10の回転とその冷凍
機及び加熱ヒータ9の動作を制御して、図1に白抜き矢
印で示すように熱風あるいは冷風を循環させて試験室内
の温度を急速に上昇または降下させる制御手段であるコ
ントローラを備えている。
【0021】図4はそのコントローラの構成例を示すブ
ロック図である。このコントローラ20は、CPU,R
OM,RAM等によって構成されたマイクロコンピュー
タ(以下「マイコン」と略称する)21と、A/Dコン
バータ22,D/Aコンバータ23,及びソリッドステ
ート・リレー(以下「SSR」と略称する)24と、冷
凍機駆動回路25及びファンモータ駆動回路26からな
る。
【0022】A/Dコンバータ22は、定電流源回路1
8によって白金測温抵抗体14に一定電流Isを流し、
その抵抗値Rに応じて変化する電圧Vi(Vi=Is・
R)を入力し、その電圧Viをデジタル値に変換してマ
イコン21に読み込ませる。白金測温抵抗体14の抵抗
値Rはその測温部の温度に応じて変化するので、これに
よって吹き出し流の温度をマイコン21が検知すること
ができる。
【0023】マイコン21は、その検知温度と、操作・
表示部7によって設定されるか、指定された試験条件に
対して予めプログラムされた設定温度と比較して、その
差に応じた制御データをD/Aコンバータ23に出力す
ると共に、ファンモータ駆動回路26を制御してファン
モータを回転させ、冷凍機駆動回路を制御して冷凍機1
7を作動させ、冷却コイル8に冷媒を循環させる。
【0024】D/Aコンバータ23は、マイコン21か
らの制御データをデューティ制御信号に変換してSSR
24のONデューティ(矩形波交流の周期に対する加熱
ヒータ9に通電する時間の割合)を制御して、加熱ヒー
タ9の発熱量を調節し、検出温度Tiを急速に設定温度
Tsと一致させるように循環風を調温制御する。
【0025】冷凍機17による冷却コイル8の細かい温
度制御はできないため、冷凍機17は電源スイッチがO
Nの間は常時作動させておくか、試験室5内をある温度
以上高温にする場合にのみ作動を停止させるようにし、
温度制御の大部分は加熱ヒータ9への通電制御によって
行なうようにしている。
【0026】この冷凍機17及び加熱ヒータ9は、その
熱交換性能が試験室5の容量に対して充分大きいため、
例えば降温時には+100℃から−40℃まで15℃/
分で試験室5内の温度を降下させ、昇温時には−40℃
から+100℃まで50℃/分で試験室5内の温度を上
昇させることができる。この温度の昇降速度を任意に変
更するスロープ制御も可能である。
【0027】図5は、この冷熱試験装置の使用状態の一
例を示す斜視図であり、蓋体3を開いて試験物をセット
した状態を、パソコン50と共に示している。この使用
例は、上の中央部に載置台41を置いて、その上に試験
物としてLSIや抵抗,コンデンサ等の多数の電子部品
を搭載したプリント基板ユニット40を載置している。
このように、蓋体3を開いた状態では、試験物載置板2
の上方が殆んど開放されるで、試験物のセットや取り出
し作業が従来装置に比べてとてもやり易い。
【0028】この使用例ではさらに、プリント基板ユニ
ット40にフラットケーブル42を接続して、パソコン
50と接続している。パソコン50はデスク51上に載
置され、フロッピディスク装置を備えた本体52と、キ
ーボード53及びディスプレイ装置54からなる。この
ようにして、試験物をセットした後蓋体3を閉じて試験
室5を密閉し、パソコン50によって予め作成した試験
用データに従ってプリント基板ユニット40を動作させ
ながら、試験室5内の温度を設定したパターンで急上昇
及び急降下させて、熱衝撃試験を行なうことができる。
【0029】蓋体3を閉じたとき、フラットケーブル4
2はクッションラバー16a,16bに挟まれるので、
それを変形させるだけで蓋体3とカバー12との間に隙
間ができることはない。しかし、より使い易くするため
に、固定部に試験室5と外部とを結ぶ引出線あるいは接
続端子を設けておくようにしてもよい。
【0030】この急速昇降温型冷熱試験装置は、このよ
うにコピー機サイズにできるので、開発担当者のデスク
の脇に設置してデスクサイドチャンバとして使用でき、
パソコン等の外部装置とつないで各種電子部品や機器を
短時間で冷熱試験をし、その結果を測定あるいは即座に
解析して記憶することもできる。その際、試験物とパソ
コン等との接続を最短距離でできるので、電気的な外乱
が最小で済む。
【0031】また、蓋体3の高さや形状,材質等を、試
験する物の大きさや形状あるいは試験目的等に応じて種
々変更することが可能であり、透明な窓を設けるか蓋体
形成部材の全部あるいは一部を透明材にすることによ
り、試験中の試験物の状態を観察することができる。特
に、試験物を動作させながら試験する場合にその動作状
態を見ることができ、例えば、液晶表示器を表示動作さ
せながら試験する場合など、その表示状態を観察しなが
ら試験することができる。
【0032】
【発明の効果】以上説明してきたように、この発明によ
る急速昇降温型冷熱試験装置は、急速な昇降温が可能で
あり、しかもコンパクトで設置スペースをあまりとら
ず、コピー機サイズにできるのでデスクの脇に設置して
手軽に熱衝撃試験を行なうことができる。そして、蓋体
を開けると試験物載置板の上部が殆んど開放されるので
操作性が極めてよく、試験物をパソコン等の外部装置と
接続して動作させながら試験することも容易である。
【図面の簡単な説明】
【図1】図3に示す急速昇降温型冷熱試験装置の要部の
拡大縦断面図(図2のB−B線に沿う断面図)である。
【図2】図1のA−A線に沿う断面図である。
【図3】この発明による急速昇降温型冷熱試験装置の外
観例を示す斜視図である。
【図4】同じくそのコントローラの構成例を示すブロッ
ク図である。
【図5】同じくその使用状態の一例を示す斜視図であ
る。
【符号の説明】
1:装置筐体 2:試験物載置板 3:蓋体 5:試験室 7:操作・表示部 8:冷却コイル 9:加熱ヒータ 10:ファン 11:空気の循環路 12:カバー 13:ファンモータ 14:白金測温抵抗体 15:偏向部材 16a,16b:クッションラバー 17:冷凍機 18:定電流源回路 20:コントローラ(制御手段) 40:プリント基板ユニット(試験物) 41:載置台 42:フラットケーブル 50:パソコン
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/66 H 7735−4M

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 装置筐体の上面に試験物載置板と該試験
    物載置板の上面を覆う開閉可能な蓋体とを設けて、該蓋
    体が閉じた状態で前記試験物載置板との間に密閉された
    試験室を形成するように構成すると共に、 前記試験物載置板の離れた位置に吸込口と吹出口を設
    け、該試験物載置板の下側に、前記試験室の容量に対し
    て充分大きな熱交換性能を有する冷却コイル及び加熱ヒ
    ータと、前記試験室内の空気を前記吸込口と吹出口及び
    前記冷却コイルと加熱ヒータを通して強制的に循環させ
    るファンと、これらを覆って空気の循環路を形成するカ
    バーとを設け、 前記装置筐体内の前記カバーによって仕切られた前記循
    環路と反対側の空間に、前記冷却コイルに冷媒を循環さ
    せる冷凍機を収納し、 前記ファンの回転と前記冷凍機及び加熱ヒータの動作を
    制御して前記試験室内の温度を急速に上昇または降下さ
    せる制御手段を備えたことを特徴とする急速昇降温型冷
    熱試験装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の急速昇降温型冷熱試験装
    置において、前記試験物載置板上の前記吹出口の上部に
    該吹出口から上方へ吹き出される空気流を前記試験物載
    置板の上面に略平行な方向へ偏向させる偏向部材を設け
    たことを特徴とする急速昇降温型冷熱試験装置。
  3. 【請求項3】 前記蓋体の全部又は一部が透明部材から
    なることを特徴とする請求項1又は2記載の急速昇降温
    型冷熱試験装置。
JP6272706A 1994-11-07 1994-11-07 急速昇降温型冷熱試験装置 Pending JPH08136442A (ja)

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005121625A (ja) * 2003-09-24 2005-05-12 Sharp Corp バーンイン装置
JP2009139165A (ja) * 2007-12-05 2009-06-25 Nagano Prefecture 熱試験装置
JP2011145187A (ja) * 2010-01-15 2011-07-28 Espec Corp ダクトユニット及びこれを有する環境試験装置
JP2013228411A (ja) * 2013-08-14 2013-11-07 Fujitsu Ltd 雰囲気分析装置
CN110426306A (zh) * 2019-08-31 2019-11-08 山东省计量科学研究院 室内加热器玻璃面板耐受热冲击试验装置
CN114860000A (zh) * 2022-07-06 2022-08-05 中国飞机强度研究所 一种飞机气动热环境模拟试验用升降温控制装置及方法

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005121625A (ja) * 2003-09-24 2005-05-12 Sharp Corp バーンイン装置
JP2009139165A (ja) * 2007-12-05 2009-06-25 Nagano Prefecture 熱試験装置
JP2011145187A (ja) * 2010-01-15 2011-07-28 Espec Corp ダクトユニット及びこれを有する環境試験装置
JP2013228411A (ja) * 2013-08-14 2013-11-07 Fujitsu Ltd 雰囲気分析装置
CN110426306A (zh) * 2019-08-31 2019-11-08 山东省计量科学研究院 室内加热器玻璃面板耐受热冲击试验装置
CN110426306B (zh) * 2019-08-31 2024-03-26 山东省计量科学研究院 室内加热器玻璃面板耐受热冲击试验装置
CN114860000A (zh) * 2022-07-06 2022-08-05 中国飞机强度研究所 一种飞机气动热环境模拟试验用升降温控制装置及方法

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