JPH08135610A - ロッドレスシリンダ - Google Patents
ロッドレスシリンダInfo
- Publication number
- JPH08135610A JPH08135610A JP6279057A JP27905794A JPH08135610A JP H08135610 A JPH08135610 A JP H08135610A JP 6279057 A JP6279057 A JP 6279057A JP 27905794 A JP27905794 A JP 27905794A JP H08135610 A JPH08135610 A JP H08135610A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slide table
- rodless cylinder
- guide member
- guide
- load
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
- F15B15/08—Characterised by the construction of the motor unit
- F15B15/082—Characterised by the construction of the motor unit the motor being of the slotted cylinder type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
- F15B15/08—Characterised by the construction of the motor unit
- F15B15/14—Characterised by the construction of the motor unit of the straight-cylinder type
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Actuator (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】一組のガイド間において相互に干渉することが
ないとともに、スライドテーブルに対してその軸線方向
と略平行する方向あるいは略直交する方向から負荷が付
与された場合であっても、シリンダチューブに対してス
ライドテーブルを円滑に変位させることが可能なロッド
レスシリンダを提供すること。 【構成】ロッドレスシリンダ１０では、スライドテーブ
ル１４に作用する負荷（Ｆ1 、Ｆ2 、Ｆ3 ）が主として
リニアガイド３２によって支持されるとともに、従とし
てガイド部材５０によって支持される。この場合、前記
ガイド部材５０は、スライドテーブル１４に負荷が作用
した際に軸線方向と略直交する方向に微小距離変位する
調心機能を営む。
ないとともに、スライドテーブルに対してその軸線方向
と略平行する方向あるいは略直交する方向から負荷が付
与された場合であっても、シリンダチューブに対してス
ライドテーブルを円滑に変位させることが可能なロッド
レスシリンダを提供すること。 【構成】ロッドレスシリンダ１０では、スライドテーブ
ル１４に作用する負荷（Ｆ1 、Ｆ2 、Ｆ3 ）が主として
リニアガイド３２によって支持されるとともに、従とし
てガイド部材５０によって支持される。この場合、前記
ガイド部材５０は、スライドテーブル１４に負荷が作用
した際に軸線方向と略直交する方向に微小距離変位する
調心機能を営む。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、スライドテーブルに作
用する負荷を支持する一組のガイド部材が設けられたロ
ッドレスシリンダに関する。
用する負荷を支持する一組のガイド部材が設けられたロ
ッドレスシリンダに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ロッドレスシリンダが工場内等で
ワークの搬送装置として種々採用されるに至っている。
このロッドレスシリンダはロッドのあるシリンダに比
べ、その変位長を短くすることができるため、占有面積
が小さく、取り扱いに簡便である。しかも、ロッドのあ
るシリンダに比べてシリンダ内への塵埃等の侵入を防ぐ
ことができ、その結果、高度な位置決め動作等を行うこ
とが可能となるからである。
ワークの搬送装置として種々採用されるに至っている。
このロッドレスシリンダはロッドのあるシリンダに比
べ、その変位長を短くすることができるため、占有面積
が小さく、取り扱いに簡便である。しかも、ロッドのあ
るシリンダに比べてシリンダ内への塵埃等の侵入を防ぐ
ことができ、その結果、高度な位置決め動作等を行うこ
とが可能となるからである。
【０００３】このロッドレスシリンダは、シリンダチュ
ーブとスライドテーブルとを含み、前記スライドテーブ
ルは、ポートを介して供給される圧縮空気の供給作用下
に直線状に往復動作する。この場合、前記スライドテー
ブルとシリンダチューブとの摺動部位には、該シリンダ
チューブに対してスライドテーブルを円滑に変位させる
ためにガイドが設けられる。
ーブとスライドテーブルとを含み、前記スライドテーブ
ルは、ポートを介して供給される圧縮空気の供給作用下
に直線状に往復動作する。この場合、前記スライドテー
ブルとシリンダチューブとの摺動部位には、該シリンダ
チューブに対してスライドテーブルを円滑に変位させる
ためにガイドが設けられる。
【０００４】前記ガイドに関しては、例えば、シリンダ
チューブの軸線から一側面側に偏位する一方の側壁のみ
に、軸線方向に沿ったガイドレールを設ける構成が提案
されている（実願平４−５２４８２号参照）。
チューブの軸線から一側面側に偏位する一方の側壁のみ
に、軸線方向に沿ったガイドレールを設ける構成が提案
されている（実願平４−５２４８２号参照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、実願平
４−５２４８２号に開示された技術的思想に基づいてシ
リンダチューブの片側にのみガイドレールを設けた場
合、例えば、スライドテーブルに搭載されたワーク等に
よってガイドレールの軸線から離間する位置に発生する
負荷、あるいはスライドテーブルの移動終端における衝
撃により発生する負荷等によって前記ガイドレールに対
して過大な負荷が付与され、この結果、前記ガイドレー
ルの耐久性を劣化させるとともに、スライドテーブルの
直線性を保持することが困難となる不都合がある。
４−５２４８２号に開示された技術的思想に基づいてシ
リンダチューブの片側にのみガイドレールを設けた場
合、例えば、スライドテーブルに搭載されたワーク等に
よってガイドレールの軸線から離間する位置に発生する
負荷、あるいはスライドテーブルの移動終端における衝
撃により発生する負荷等によって前記ガイドレールに対
して過大な負荷が付与され、この結果、前記ガイドレー
ルの耐久性を劣化させるとともに、スライドテーブルの
直線性を保持することが困難となる不都合がある。
【０００６】そこで、前記不都合を解決するために、ス
ライドテーブルとシリンダチューブとの間に、例えば、
略同一構成からなる一対のリニアガイドを所定間隔離間
させてシリンダチューブの両方の側壁に夫々設けること
が考えられる。しかしながら、この場合、リニアガイド
の製造誤差、あるいはスライドテーブルに対する負荷等
に起因して前記夫々のリニアガイド同士が相互に干渉し
て、例えば、ガタ等が発生し、結局、シリンダチューブ
に対してスライドテーブルを円滑に変位させることがで
きないという他の不都合がある。
ライドテーブルとシリンダチューブとの間に、例えば、
略同一構成からなる一対のリニアガイドを所定間隔離間
させてシリンダチューブの両方の側壁に夫々設けること
が考えられる。しかしながら、この場合、リニアガイド
の製造誤差、あるいはスライドテーブルに対する負荷等
に起因して前記夫々のリニアガイド同士が相互に干渉し
て、例えば、ガタ等が発生し、結局、シリンダチューブ
に対してスライドテーブルを円滑に変位させることがで
きないという他の不都合がある。
【０００７】本発明は、前記種々の不都合を克服するた
めになされたものであり、一組のガイド間において相互
に干渉することがないとともに、スライドテーブルに対
してその軸線方向と略平行する方向あるいは略直交する
方向から負荷が付与された場合であっても、シリンダチ
ューブに対してスライドテーブルを円滑に変位させるこ
とが可能なロッドレスシリンダを提供することを目的と
する。
めになされたものであり、一組のガイド間において相互
に干渉することがないとともに、スライドテーブルに対
してその軸線方向と略平行する方向あるいは略直交する
方向から負荷が付与された場合であっても、シリンダチ
ューブに対してスライドテーブルを円滑に変位させるこ
とが可能なロッドレスシリンダを提供することを目的と
する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、流体圧出入ポートから供給された圧力
流体によってシリンダチューブ内に配設されたピストン
が往復動作し、前記ピストンの往復動作に基づいてスラ
イドテーブルが変位するロッドレスシリンダにおいて、
前記スライドテーブルとシリンダチューブとの間に、該
スライドテーブルに作用する負荷を分担して支持する第
１と第２のガイドを設け、前記第１または第２のガイド
のいずれか一方のガイドに調心機能を設けることを特徴
とする。
めに、本発明は、流体圧出入ポートから供給された圧力
流体によってシリンダチューブ内に配設されたピストン
が往復動作し、前記ピストンの往復動作に基づいてスラ
イドテーブルが変位するロッドレスシリンダにおいて、
前記スライドテーブルとシリンダチューブとの間に、該
スライドテーブルに作用する負荷を分担して支持する第
１と第２のガイドを設け、前記第１または第２のガイド
のいずれか一方のガイドに調心機能を設けることを特徴
とする。
【０００９】
【作用】上記の本発明に係るロッドレスシリンダでは、
スライドテーブルに作用する負荷が第１ガイドと第２ガ
イドとによって分担して支持される。この場合、前記第
１または第２ガイドのいずれか一方のガイドに、負荷が
作用した際に軸線方向と略直交する方向に微小距離変位
する調心機能を設けることにより、第１と第２のガイド
間における軸受機能が相互に干渉することを防止するこ
とができる。
スライドテーブルに作用する負荷が第１ガイドと第２ガ
イドとによって分担して支持される。この場合、前記第
１または第２ガイドのいずれか一方のガイドに、負荷が
作用した際に軸線方向と略直交する方向に微小距離変位
する調心機能を設けることにより、第１と第２のガイド
間における軸受機能が相互に干渉することを防止するこ
とができる。
【００１０】
【実施例】次に、本発明に係るロッドレスシリンダにつ
いて好適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以
下詳細に説明する。
いて好適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以
下詳細に説明する。
【００１１】図１において、参照符号１０は、本発明の
実施例に係るロッドレスシリンダを示す。このロッドレ
スシリンダ１０は、シリンダチューブ１２とスライドテ
ーブル１４とを含む。シリンダチューブ１２の内部には
短手方向の一側面側に偏位し且つ長手方向に沿って延在
するボア１６を有し（図２参照）、このボア１６は端面
部に画成されたスリット１８を介して外部と連通状態に
ある。シリンダチューブ１２の一側壁部には、長手方向
に延在するセンサ取付用長溝２０が画成され、また、集
中配線等に利用される通路２２が同様に長手方向に延在
するように画成されている。さらに、シリンダチューブ
１２の対向する両側壁部の下部には、外部側に向かって
突起する一組の突起部２３ａ、２３ｂが長手方向に沿っ
て形成され、前記突起部２３ａ、２３ｂは、ロッドレス
シリンダ１０全体を図示しない基台等に対して安定した
状態で支持する機能を営むものである。
実施例に係るロッドレスシリンダを示す。このロッドレ
スシリンダ１０は、シリンダチューブ１２とスライドテ
ーブル１４とを含む。シリンダチューブ１２の内部には
短手方向の一側面側に偏位し且つ長手方向に沿って延在
するボア１６を有し（図２参照）、このボア１６は端面
部に画成されたスリット１８を介して外部と連通状態に
ある。シリンダチューブ１２の一側壁部には、長手方向
に延在するセンサ取付用長溝２０が画成され、また、集
中配線等に利用される通路２２が同様に長手方向に延在
するように画成されている。さらに、シリンダチューブ
１２の対向する両側壁部の下部には、外部側に向かって
突起する一組の突起部２３ａ、２３ｂが長手方向に沿っ
て形成され、前記突起部２３ａ、２３ｂは、ロッドレス
シリンダ１０全体を図示しない基台等に対して安定した
状態で支持する機能を営むものである。
【００１２】前記シリンダチューブ１２の上面は、図２
に示されるように、前記ボア１６に連通するスリット１
８並びに該スリット１８の両端部に位置し長手方向に沿
って延在する断面略Ｔ字状の一対の溝部２４、２６を有
する第１上面部２８と、前記第１上面部２８から段差部
３０を介して下降し、スライドテーブル１４との間にリ
ニアガイド３２が設けられる第２上面部３４とから構成
される。シリンダチューブ１２の両端部は、ポート３８
ａ、３８ｂ（一方は図示せず）が画成された直方体状の
エンドキャップ４０ａ、４０ｂおよびエンドブロック４
１ａ、４１ｂ（図１参照）によって気密に閉塞されてい
る。なお、前記スリット１８を画成する側壁には、ボア
１６側へと拡開するように段部４２ａ、４２ｂが設けら
れている。
に示されるように、前記ボア１６に連通するスリット１
８並びに該スリット１８の両端部に位置し長手方向に沿
って延在する断面略Ｔ字状の一対の溝部２４、２６を有
する第１上面部２８と、前記第１上面部２８から段差部
３０を介して下降し、スライドテーブル１４との間にリ
ニアガイド３２が設けられる第２上面部３４とから構成
される。シリンダチューブ１２の両端部は、ポート３８
ａ、３８ｂ（一方は図示せず）が画成された直方体状の
エンドキャップ４０ａ、４０ｂおよびエンドブロック４
１ａ、４１ｂ（図１参照）によって気密に閉塞されてい
る。なお、前記スリット１８を画成する側壁には、ボア
１６側へと拡開するように段部４２ａ、４２ｂが設けら
れている。
【００１３】次に、スライドテーブル１４について説明
する。このスライドテーブル１４は、シリンダチューブ
１２の短手方向の幅とほぼ同一幅に形成された略直方体
状の板体４４と、前記板体４４の長手方向両端部に固着
された一対のカバープレート４６ａ、４６ｂとを含む。
する。このスライドテーブル１４は、シリンダチューブ
１２の短手方向の幅とほぼ同一幅に形成された略直方体
状の板体４４と、前記板体４４の長手方向両端部に固着
された一対のカバープレート４６ａ、４６ｂとを含む。
【００１４】前記スライドテーブル１４の下面部には、
シリンダチューブ１２の第１上面部２８に画成された一
対の溝部２４、２６のうち、側壁側の一方の溝部２４に
対向して断面略矩形状の凹部４８がスライドテーブル１
４の長手方向に沿って画成される。前記凹部４８には、
例えば、ゴム、合成樹脂、エラストマー等の可撓性材料
によって形成され、調心機能を有するガイド部材５０が
装着される。ここで、調心機能とは、スライドテーブル
１４に負荷が作用した際、軸線方向と略直交する方向に
微小距離変位することにより、リニアガイド３２と相互
に干渉することなく調和した軸受機能を発揮することを
いう。
シリンダチューブ１２の第１上面部２８に画成された一
対の溝部２４、２６のうち、側壁側の一方の溝部２４に
対向して断面略矩形状の凹部４８がスライドテーブル１
４の長手方向に沿って画成される。前記凹部４８には、
例えば、ゴム、合成樹脂、エラストマー等の可撓性材料
によって形成され、調心機能を有するガイド部材５０が
装着される。ここで、調心機能とは、スライドテーブル
１４に負荷が作用した際、軸線方向と略直交する方向に
微小距離変位することにより、リニアガイド３２と相互
に干渉することなく調和した軸受機能を発揮することを
いう。
【００１５】このガイド部材５０は、長手方向に沿って
形成され、外部からの塵埃の侵入を阻止する機能を営む
舌片５１を有する摺動部５２と、両端部から中央部に向
かって緩やかに湾曲する側壁面５３を有する支持部５４
とが一体的に形成される（図３および図４参照）。前記
摺動部５２と支持部５４との間には、対向する一組のス
リット５５ａ、５５ｂが画成される。前記支持部５４の
上面部５６は中央に向かって若干窪むように形成される
とともに、シリンダチューブ１２の第１上面部２８に接
触するガイド部材５０の底面部５７は、中央部分が平面
状に形成され、前記中央部分から両端側に向かって所定
角度傾斜するように形成される。
形成され、外部からの塵埃の侵入を阻止する機能を営む
舌片５１を有する摺動部５２と、両端部から中央部に向
かって緩やかに湾曲する側壁面５３を有する支持部５４
とが一体的に形成される（図３および図４参照）。前記
摺動部５２と支持部５４との間には、対向する一組のス
リット５５ａ、５５ｂが画成される。前記支持部５４の
上面部５６は中央に向かって若干窪むように形成される
とともに、シリンダチューブ１２の第１上面部２８に接
触するガイド部材５０の底面部５７は、中央部分が平面
状に形成され、前記中央部分から両端側に向かって所定
角度傾斜するように形成される。
【００１６】従って、スライドテーブル１４に略水平方
向の負荷Ｆ1 または負荷Ｆ2 が作用した際、前記スライ
ドテーブル１４は、前記スリット５５ａ、５５ｂおよび
側壁面５３を介して支持部５４が軸線方向と略直交する
方向（矢印方向）に微小距離変位して前記負荷Ｆ1 また
は負荷Ｆ2 を支持する。一方、スライドテーブル１４に
略鉛直下方向の負荷Ｆ3 が作用した際、前記スライドテ
ーブル１４は、支持部５４の曲線状の上面部５６および
底面部５７を介して前記負荷Ｆ3 を好適に支持すること
ができる。
向の負荷Ｆ1 または負荷Ｆ2 が作用した際、前記スライ
ドテーブル１４は、前記スリット５５ａ、５５ｂおよび
側壁面５３を介して支持部５４が軸線方向と略直交する
方向（矢印方向）に微小距離変位して前記負荷Ｆ1 また
は負荷Ｆ2 を支持する。一方、スライドテーブル１４に
略鉛直下方向の負荷Ｆ3 が作用した際、前記スライドテ
ーブル１４は、支持部５４の曲線状の上面部５６および
底面部５７を介して前記負荷Ｆ3 を好適に支持すること
ができる。
【００１７】なお、前記ガイド部材５０は、スライドテ
ーブル１４の凹部４８に保持されて該スライドテーブル
１４と一体的に変位するとともに、シリンダチューブ１
２の溝部２４に沿って摺動することにより該スライドテ
ーブル１４を溝部２４に沿って直線状に案内することが
できる。
ーブル１４の凹部４８に保持されて該スライドテーブル
１４と一体的に変位するとともに、シリンダチューブ１
２の溝部２４に沿って摺動することにより該スライドテ
ーブル１４を溝部２４に沿って直線状に案内することが
できる。
【００１８】ここで、前記ガイド部材５０の第１〜第３
変形例を図５〜図７に示す。なお、以下において、第１
変形例のガイド部材５８と略同一の構成要素には同一の
参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
変形例を図５〜図７に示す。なお、以下において、第１
変形例のガイド部材５８と略同一の構成要素には同一の
参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００１９】図５Ａおよび図５Ｂに示す第１変形例に係
るガイド部材５８には、相互に対向し且つ弾性を有する
一対のリップ６０ａ、６０ｂが長手方向に沿って一体的
に形成される。前記一対のリップ６０ａ、６０ｂの上部
６２ａ、６２ｂは若干肉厚に形成され、スライドテーブ
ル１４に対して水平方向から付与される負荷Ｆ1 または
負荷Ｆ2 によって該上部６２ａ、６２ｂが相互に内側
（矢印方向）に撓曲することにより、ガイド部材５８の
水平方向に対する自由度が確保されている。一方、前記
一対のリップ６０ａ、６０ｂの裾部６４ａ、６４ｂは外
方に拡開してシリンダチューブ１２の第１上面部２８に
摺接するように形成され、外部から塵埃が侵入すること
を防止する機能を営む。
るガイド部材５８には、相互に対向し且つ弾性を有する
一対のリップ６０ａ、６０ｂが長手方向に沿って一体的
に形成される。前記一対のリップ６０ａ、６０ｂの上部
６２ａ、６２ｂは若干肉厚に形成され、スライドテーブ
ル１４に対して水平方向から付与される負荷Ｆ1 または
負荷Ｆ2 によって該上部６２ａ、６２ｂが相互に内側
（矢印方向）に撓曲することにより、ガイド部材５８の
水平方向に対する自由度が確保されている。一方、前記
一対のリップ６０ａ、６０ｂの裾部６４ａ、６４ｂは外
方に拡開してシリンダチューブ１２の第１上面部２８に
摺接するように形成され、外部から塵埃が侵入すること
を防止する機能を営む。
【００２０】また、前記ガイド部材５８の下部には断面
略矩形状の突部６６が長手方向に沿って形成され、前記
突部６６は第１上面部２８に画成された溝部２４に沿っ
て摺動する。
略矩形状の突部６６が長手方向に沿って形成され、前記
突部６６は第１上面部２８に画成された溝部２４に沿っ
て摺動する。
【００２１】さらに、第１上面部２８と接触するガイド
部材５８の底面部６８ａ、６８ｂの形状がその長手方向
にわたって曲線状に形成される。すなわち、図５Ｂに示
されるように、ガイド部材５８の底面部６８ａ（６８
ｂ）は、スライドテーブル１４に負荷がかからない通常
の状態で第１上面部２８に接触する平面状に形成された
中央部７０と、前記中央部７０に隣接し第１上面部２８
に対して所定角度θ（例えば、θ＝１°〜１０°の範
囲）だけ傾斜して形成される傾斜部７２ａ、７２ｂとか
ら構成される。スライドテーブル１４が移動終端に到達
した際、シリンダチューブ１２の第１上面部２８に傾斜
部７２ａ、７２ｂが接触してその接触面積が増大するこ
とにより、前記傾斜部７２ａ、７２ｂは、移動終端にお
いてスライドテーブル１４に対して軸線方向に沿って発
生する負荷を支持する機能を営む。
部材５８の底面部６８ａ、６８ｂの形状がその長手方向
にわたって曲線状に形成される。すなわち、図５Ｂに示
されるように、ガイド部材５８の底面部６８ａ（６８
ｂ）は、スライドテーブル１４に負荷がかからない通常
の状態で第１上面部２８に接触する平面状に形成された
中央部７０と、前記中央部７０に隣接し第１上面部２８
に対して所定角度θ（例えば、θ＝１°〜１０°の範
囲）だけ傾斜して形成される傾斜部７２ａ、７２ｂとか
ら構成される。スライドテーブル１４が移動終端に到達
した際、シリンダチューブ１２の第１上面部２８に傾斜
部７２ａ、７２ｂが接触してその接触面積が増大するこ
とにより、前記傾斜部７２ａ、７２ｂは、移動終端にお
いてスライドテーブル１４に対して軸線方向に沿って発
生する負荷を支持する機能を営む。
【００２２】図６に示す第２変形例に係るガイド部材７
４は、その長手方向に沿って延在する一対の溝部７６
ａ、７６ｂが画成され、前記一対の溝部７６ａ、７６ｂ
は上面側から下面側に貫通して画成される。この場合、
ガイド部材７４は、前記溝部７６ａ、７６ｂを中心にし
て左右対称形状に分岐されたガイド片７８ａ、７８ｂを
有し、一方のガイド片７８ａ（７８ｂ）が矢印方向に変
位して対向する他方のガイド片７８ｂ（７８ａ）側に撓
むことにより、ガイド部材７４の水平方向に対する自由
度が確保されている。
４は、その長手方向に沿って延在する一対の溝部７６
ａ、７６ｂが画成され、前記一対の溝部７６ａ、７６ｂ
は上面側から下面側に貫通して画成される。この場合、
ガイド部材７４は、前記溝部７６ａ、７６ｂを中心にし
て左右対称形状に分岐されたガイド片７８ａ、７８ｂを
有し、一方のガイド片７８ａ（７８ｂ）が矢印方向に変
位して対向する他方のガイド片７８ｂ（７８ａ）側に撓
むことにより、ガイド部材７４の水平方向に対する自由
度が確保されている。
【００２３】図７に示すガイド部材８０は、その下面部
に上面部まで貫通しない断面略Ｕ字状の溝部８２が長手
方向に沿って画成されている。前記溝部８２を介してガ
イド部材８０の水平方向に対する自由度を確保している
点では同様である。なお、図６および図７に示されたガ
イド部材７４、８０の底面部は、図５Ｂに示されたガイ
ド部材５８と同様に、中央部７０および傾斜部７２ａ、
７２ｂからなり、曲線状に形成されている。
に上面部まで貫通しない断面略Ｕ字状の溝部８２が長手
方向に沿って画成されている。前記溝部８２を介してガ
イド部材８０の水平方向に対する自由度を確保している
点では同様である。なお、図６および図７に示されたガ
イド部材７４、８０の底面部は、図５Ｂに示されたガイ
ド部材５８と同様に、中央部７０および傾斜部７２ａ、
７２ｂからなり、曲線状に形成されている。
【００２４】シリンダチューブ１２の第２上面部３４と
スライドテーブル１４との間にはリニアガイド３２が設
けられ（図２参照）、前記リニアガイド３２はスライド
テーブル１４の下面部側にねじ７９ａ、７９ｂを介して
固定された断面略コの字状のガイドブロック８１と、シ
リンダチューブ１２の第２上面部３４にねじ８３を介し
て固定されたガイドレール８４とから構成される。な
お、前記ガイドブロック８１とガイドレール８４との摺
接部位には、図示しない複数のボールベアリングが環状
通路に沿って転動自在に配設されている。
スライドテーブル１４との間にはリニアガイド３２が設
けられ（図２参照）、前記リニアガイド３２はスライド
テーブル１４の下面部側にねじ７９ａ、７９ｂを介して
固定された断面略コの字状のガイドブロック８１と、シ
リンダチューブ１２の第２上面部３４にねじ８３を介し
て固定されたガイドレール８４とから構成される。な
お、前記ガイドブロック８１とガイドレール８４との摺
接部位には、図示しない複数のボールベアリングが環状
通路に沿って転動自在に配設されている。
【００２５】スライドテーブル１４の中央部を貫通して
長手方向に延在する溝８６が画成され、この溝８６の中
央部分は円形状に拡開して空間８８を構成する。前記溝
８６は、板体４４の上面側に向かって湾曲して形成され
る（図２参照）。
長手方向に延在する溝８６が画成され、この溝８６の中
央部分は円形状に拡開して空間８８を構成する。前記溝
８６は、板体４４の上面側に向かって湾曲して形成され
る（図２参照）。
【００２６】図８にピストン９０を示す。このピストン
９０は、第１受圧面９２とその反対側の第２受圧面９４
とを有し、その内部にクッションシール９６ａ、９６ｂ
が設けられている（図９参照）。円筒状のピストン９０
の上部にはベルトセパレータ９８ａ、９８ｂがピストン
ヨーク１００に固着されており、このピストンヨーク１
００の上方にカプラー１０２を介してローラ１０４が固
着されている。図８に示すように、スライドテーブル１
４の内部には、バックアッププレート１０５ａ、１０５
ｂおよびスクレーパ１０６ａ、１０６ｂが設けられてお
り、カプラー１０２は、平面円形状の空間８８に嵌合す
るように構成されている。なお、図９中、参照符号１０
８は後述する第１シール部材１１２がピストン９０内に
侵入するための通路を示し、また、参照符号１１０はク
ッションリングを示す。
９０は、第１受圧面９２とその反対側の第２受圧面９４
とを有し、その内部にクッションシール９６ａ、９６ｂ
が設けられている（図９参照）。円筒状のピストン９０
の上部にはベルトセパレータ９８ａ、９８ｂがピストン
ヨーク１００に固着されており、このピストンヨーク１
００の上方にカプラー１０２を介してローラ１０４が固
着されている。図８に示すように、スライドテーブル１
４の内部には、バックアッププレート１０５ａ、１０５
ｂおよびスクレーパ１０６ａ、１０６ｂが設けられてお
り、カプラー１０２は、平面円形状の空間８８に嵌合す
るように構成されている。なお、図９中、参照符号１０
８は後述する第１シール部材１１２がピストン９０内に
侵入するための通路を示し、また、参照符号１１０はク
ッションリングを示す。
【００２７】段部４２ａ、４２ｂに嵌合するシール部材
を図１０に示す。第１シール部材１１２は舌片１１４
ａ、１１４ｂを有し、この舌片１１４ａ、１１４ｂの上
方にさらに膨出部１１６ａ、１１６ｂを備えている。こ
の膨出部１１６ａ、１１６ｂから上方へと向かって若干
拡開するように係合片１１８ａ、１１８ｂが延在してい
る。前記膨出部１１６ａ、１１６ｂは、内圧がピストン
９０にかかったときに前記段部４２ａ、４２ｂに係合す
るためのものであり、さらに係合片１１８ａ、１１８ｂ
は、スリット１８を画成するための内面１２０ａ、１２
０ｂに係合する。この第１シール部材１１２は、全体と
して可撓性の合成樹脂体で一体的に構成されている。一
方、第２シール部材１２２は、スリット１８を閉塞する
ためのものであり、シリンダチューブ１２の上端面に画
成されたスリット上方から長手方向へと延在する溝１２
４に係合する。なお、第１シール部材１１２は、ピスト
ン９０の通路内に侵入し、その両端部は第２シール部材
１２２とともにエンドキャップ４０ａ、４０ｂに固着さ
れている。
を図１０に示す。第１シール部材１１２は舌片１１４
ａ、１１４ｂを有し、この舌片１１４ａ、１１４ｂの上
方にさらに膨出部１１６ａ、１１６ｂを備えている。こ
の膨出部１１６ａ、１１６ｂから上方へと向かって若干
拡開するように係合片１１８ａ、１１８ｂが延在してい
る。前記膨出部１１６ａ、１１６ｂは、内圧がピストン
９０にかかったときに前記段部４２ａ、４２ｂに係合す
るためのものであり、さらに係合片１１８ａ、１１８ｂ
は、スリット１８を画成するための内面１２０ａ、１２
０ｂに係合する。この第１シール部材１１２は、全体と
して可撓性の合成樹脂体で一体的に構成されている。一
方、第２シール部材１２２は、スリット１８を閉塞する
ためのものであり、シリンダチューブ１２の上端面に画
成されたスリット上方から長手方向へと延在する溝１２
４に係合する。なお、第１シール部材１１２は、ピスト
ン９０の通路内に侵入し、その両端部は第２シール部材
１２２とともにエンドキャップ４０ａ、４０ｂに固着さ
れている。
【００２８】本発明の実施例に係るロッドレスシリンダ
１０は基本的には以上のように構成されるものであり、
次にその動作について説明する。
１０は基本的には以上のように構成されるものであり、
次にその動作について説明する。
【００２９】先ず、図１に示されるようにロッドレスシ
リンダ１０が組み付けられた後、ポート３８ａから圧縮
空気が導入されると、その圧縮空気はクッションリング
１１０の内部に画成された通路を経て第２受圧面９４を
押圧する。それによってピストン９０は、図９において
右側（矢印Ｘ方向）へと変位する。このとき、ピストン
９０はカプラー１０２がスライドテーブル１４の空間８
８に嵌合しているために、該スライドテーブル１４を一
体的に変位させ、同様に右側（矢印Ｘ方向）へと移送す
る。その際、ベルトセパレータ９８ａ、９８ｂは、第１
シール部材１１２と第２シール部材１２２とをそのスラ
イドテーブル１４、ピストン９０の間で離間させる作用
を営む。従って、スライドテーブル１４に載置されたワ
ークを、図９において右側へと移送することができる。
リンダ１０が組み付けられた後、ポート３８ａから圧縮
空気が導入されると、その圧縮空気はクッションリング
１１０の内部に画成された通路を経て第２受圧面９４を
押圧する。それによってピストン９０は、図９において
右側（矢印Ｘ方向）へと変位する。このとき、ピストン
９０はカプラー１０２がスライドテーブル１４の空間８
８に嵌合しているために、該スライドテーブル１４を一
体的に変位させ、同様に右側（矢印Ｘ方向）へと移送す
る。その際、ベルトセパレータ９８ａ、９８ｂは、第１
シール部材１１２と第２シール部材１２２とをそのスラ
イドテーブル１４、ピストン９０の間で離間させる作用
を営む。従って、スライドテーブル１４に載置されたワ
ークを、図９において右側へと移送することができる。
【００３０】前記ピストン９０が矢印Ｘ方向に変位する
際、スライドテーブル１４はガイド部材５０およびリニ
アガイド３２によって支持された状態にある。すなわ
ち、一方のガイド部材５０は、その摺動部５２が溝部２
４に沿って摺動し且つ支持部５４がシリンダチューブ１
２の第１上面部２８に沿って摺動し、他方のリニアガイ
ド３２は、図示しないボールベアリングの転動作用下に
ガイドブロック８１がガイドレール８４に沿って摺動す
ることにより、シリンダチューブ１２の長手方向に沿っ
てスライドテーブル１４が円滑に変位する。次に、エン
ドキャップ４０ｂに画成された図示しないポートに圧縮
空気を導入した場合には、前記と逆の作用が営まれる。
なお、ローラ１０４は、その移送途上において、第２シ
ール部材１２２に摺接してその移送を容易に行うための
ものである。
際、スライドテーブル１４はガイド部材５０およびリニ
アガイド３２によって支持された状態にある。すなわ
ち、一方のガイド部材５０は、その摺動部５２が溝部２
４に沿って摺動し且つ支持部５４がシリンダチューブ１
２の第１上面部２８に沿って摺動し、他方のリニアガイ
ド３２は、図示しないボールベアリングの転動作用下に
ガイドブロック８１がガイドレール８４に沿って摺動す
ることにより、シリンダチューブ１２の長手方向に沿っ
てスライドテーブル１４が円滑に変位する。次に、エン
ドキャップ４０ｂに画成された図示しないポートに圧縮
空気を導入した場合には、前記と逆の作用が営まれる。
なお、ローラ１０４は、その移送途上において、第２シ
ール部材１２２に摺接してその移送を容易に行うための
ものである。
【００３１】ここで、スライドテーブル１４に対して作
用する負荷を支持する機能について説明する。先ず、ス
ライドテーブル１４に対して略水平方向から負荷Ｆ1 ま
たは負荷Ｆ2 が付与された場合について考察する（図２
参照）。
用する負荷を支持する機能について説明する。先ず、ス
ライドテーブル１４に対して略水平方向から負荷Ｆ1 ま
たは負荷Ｆ2 が付与された場合について考察する（図２
参照）。
【００３２】前記スライドテーブル１４に作用する負荷
Ｆ1 または負荷Ｆ2 は、主としてリニアガイド３２によ
って支持されるとともに、従としてガイド部材５０によ
って支持される。
Ｆ1 または負荷Ｆ2 は、主としてリニアガイド３２によ
って支持されるとともに、従としてガイド部材５０によ
って支持される。
【００３３】この場合、ガイド部材５０は、スライドテ
ーブル１４に対して略水平方向から付与される負荷Ｆ1
または負荷Ｆ2 によって支持部５４が押圧され、スリッ
ト５５ａ、５５ｂを介して内側（矢印方向）に撓曲する
ことにより、該スライドテーブル１４の軸線方向に対し
て略直交する方向に微小距離変位して調心機能を発揮す
る。従って、従たる関係において支持するガイド部材５
０と主たる関係において支持するリニアガイド３２とは
相互に干渉することなく、スライドテーブル１４に作用
する負荷Ｆ1 または負荷Ｆ2 を好適に支持し、スライド
テーブル１４を円滑に移動させることができる。なお、
スライドテーブル１４に対して略鉛直下方向から負荷Ｆ
3 が付与された場合には、支持部５４の緩やかに湾曲す
る上面部５６および底面部５７によって好適に支持され
る。
ーブル１４に対して略水平方向から付与される負荷Ｆ1
または負荷Ｆ2 によって支持部５４が押圧され、スリッ
ト５５ａ、５５ｂを介して内側（矢印方向）に撓曲する
ことにより、該スライドテーブル１４の軸線方向に対し
て略直交する方向に微小距離変位して調心機能を発揮す
る。従って、従たる関係において支持するガイド部材５
０と主たる関係において支持するリニアガイド３２とは
相互に干渉することなく、スライドテーブル１４に作用
する負荷Ｆ1 または負荷Ｆ2 を好適に支持し、スライド
テーブル１４を円滑に移動させることができる。なお、
スライドテーブル１４に対して略鉛直下方向から負荷Ｆ
3 が付与された場合には、支持部５４の緩やかに湾曲す
る上面部５６および底面部５７によって好適に支持され
る。
【００３４】また、スライドテーブル１４が移動終端に
おいて静止する際、該スライドテーブル１４の進行方向
に向かって負荷が作用するが、この負荷は、ガイド部材
５０の底面部５７に形成された傾斜面によって支持され
る。このため、移動終端におけるスライドテーブル１４
の傾き角度を所定の範囲内に抑制することが可能とな
る。
おいて静止する際、該スライドテーブル１４の進行方向
に向かって負荷が作用するが、この負荷は、ガイド部材
５０の底面部５７に形成された傾斜面によって支持され
る。このため、移動終端におけるスライドテーブル１４
の傾き角度を所定の範囲内に抑制することが可能とな
る。
【００３５】このように、リニアガイド３２に対して従
たる関係を有するガイド部材５０は、調心機能を有して
相互に軸受機能が干渉することがないとともに、スライ
ドテーブル１４の略水平方向に作用する負荷およびスラ
イドテーブル１４が移動終端において静止する際に進行
方向に向かって作用する負荷をも支持可能である。
たる関係を有するガイド部材５０は、調心機能を有して
相互に軸受機能が干渉することがないとともに、スライ
ドテーブル１４の略水平方向に作用する負荷およびスラ
イドテーブル１４が移動終端において静止する際に進行
方向に向かって作用する負荷をも支持可能である。
【００３６】
【発明の効果】本発明に係るロッドレスシリンダによれ
ば、以下の効果が得られる。
ば、以下の効果が得られる。
【００３７】すなわち、スライドテーブルに負荷が作用
する場合、前記負荷を分担して支持する第１ガイドと第
２ガイドとを設けることにより、第１と第２ガイドが相
互に干渉することなく好適に負荷が支持される。この結
果、シリンダチューブに対し、スライドテーブルを円滑
に変位させることが可能となる。
する場合、前記負荷を分担して支持する第１ガイドと第
２ガイドとを設けることにより、第１と第２ガイドが相
互に干渉することなく好適に負荷が支持される。この結
果、シリンダチューブに対し、スライドテーブルを円滑
に変位させることが可能となる。
【図１】本発明の実施例に係るロッドレスシリンダの斜
視図である。
視図である。
【図２】図１に示すロッドレスシリンダを構成するシリ
ンダチューブとスライドテーブルの縦断面図である。
ンダチューブとスライドテーブルの縦断面図である。
【図３】図２に示すガイド部材の拡大図である。
【図４】図３に示すガイド部材の斜視図である。
【図５】図５Ａは、ガイド部材の第１変形例を示す斜視
図、図５Ｂは、図５Ａのガイド部材の長手方向に沿った
縦断面図である。
図、図５Ｂは、図５Ａのガイド部材の長手方向に沿った
縦断面図である。
【図６】ガイド部材の第２変形例を示す斜視図である。
【図７】ガイド部材の第３変形例を示す斜視図である。
【図８】図１に示すロッドレスシリンダを構成するピス
トンの斜視図である。
トンの斜視図である。
【図９】図１に示すロッドレスシリンダの側部縦断面図
である。
である。
【図１０】図１に示すロッドレスシリンダの第１シール
部材とスリットとの係合状態を示す一部省略縦断面図で
ある。
部材とスリットとの係合状態を示す一部省略縦断面図で
ある。
１０…ロッドレスシリンダ １２…シリンダチ
ューブ １４…スライドテーブル １６…ボア １８…スリット ２４、２６…溝部 ２８、３４…上面部 ３０…段差部 ３２…リニアガイド ４４…板体 ４８…凹部 ５０、５８、７
４、８０…ガイド部材 ５１…舌片 ５２…摺動部 ５３…側壁面 ５４…支持部 ５５ａ、５５ｂ…スリット ８１…ガイドブロ
ック ８４…ガイドレール
ューブ １４…スライドテーブル １６…ボア １８…スリット ２４、２６…溝部 ２８、３４…上面部 ３０…段差部 ３２…リニアガイド ４４…板体 ４８…凹部 ５０、５８、７
４、８０…ガイド部材 ５１…舌片 ５２…摺動部 ５３…側壁面 ５４…支持部 ５５ａ、５５ｂ…スリット ８１…ガイドブロ
ック ８４…ガイドレール
Claims (6)
- 【請求項１】流体圧出入ポートから供給された圧力流体
によってシリンダチューブ内に配設されたピストンが往
復動作し、前記ピストンの往復動作に基づいてスライド
テーブルが変位するロッドレスシリンダにおいて、 前記スライドテーブルとシリンダチューブとの間に、該
スライドテーブルに作用する負荷を分担して支持する第
１と第２のガイドを設け、前記第１または第２のガイド
のいずれか一方のガイドに調心機能を設けることを特徴
とするロッドレスシリンダ。 - 【請求項２】請求項１記載のロッドレスシリンダにおい
て、第１ガイドはリニアガイドからなり、第２ガイドは
ガイド部材からなることを特徴とするロッドレスシリン
ダ。 - 【請求項３】請求項２記載のロッドレスシリンダにおい
て、ガイド部材は可撓性を有し、スライドテーブルに対
して略水平方向から付与された負荷によって軸線方向に
略直交する方向に変位して調心機能を営むことを特徴と
するロッドレスシリンダ。 - 【請求項４】請求項２記載のロッドレスシリンダにおい
て、リニアガイドは、スライドテーブルに作用する負荷
を主として支持し、一方、ガイド部材は、スライドテー
ブルに作用する負荷を従として支持することを特徴とす
るロッドレスシリンダ。 - 【請求項５】請求項３記載のロッドレスシリンダにおい
て、シリンダチューブの上面部に接触するガイド部材の
底面部は、平面状に形成された中央部と前記中央部の両
端側に夫々設けられ、所定角度傾斜して形成される傾斜
部とからなることを特徴とするロッドレスシリンダ。 - 【請求項６】請求項３記載のロッドレスシリンダにおい
て、ガイド部材は、外部からの塵埃の侵入を阻止する機
能を営む舌片を有することを特徴とするロッドレスシリ
ンダ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27905794A JP3434369B2 (ja) | 1994-11-14 | 1994-11-14 | ロッドレスシリンダ |
| US08/554,404 US5619899A (en) | 1994-11-14 | 1995-11-06 | Rodless cylinder |
| DE69521390T DE69521390T2 (de) | 1994-11-14 | 1995-11-07 | Kolbenstangenloser Arbeitszylinder |
| EP95117489A EP0711928B1 (en) | 1994-11-14 | 1995-11-07 | Rodless cylinder |
| KR1019950041176A KR0180960B1 (ko) | 1994-11-14 | 1995-11-14 | 로드레스 실린더 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27905794A JP3434369B2 (ja) | 1994-11-14 | 1994-11-14 | ロッドレスシリンダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08135610A true JPH08135610A (ja) | 1996-05-31 |
| JP3434369B2 JP3434369B2 (ja) | 2003-08-04 |
Family
ID=17605807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27905794A Expired - Fee Related JP3434369B2 (ja) | 1994-11-14 | 1994-11-14 | ロッドレスシリンダ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5619899A (ja) |
| EP (1) | EP0711928B1 (ja) |
| JP (1) | JP3434369B2 (ja) |
| KR (1) | KR0180960B1 (ja) |
| DE (1) | DE69521390T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009139324A1 (ja) * | 2008-05-12 | 2009-11-19 | 豊和工業株式会社 | ロッドレスシリンダ |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5868499A (en) * | 1996-09-06 | 1999-02-09 | Deutsche Star Gmbh | Linear guiding unit |
| JP3818752B2 (ja) * | 1997-09-24 | 2006-09-06 | Ｓｍｃ株式会社 | ロッドレスシリンダ |
| US5988042A (en) * | 1997-10-24 | 1999-11-23 | Phd, Inc. | Rodless cylinder with internal bearings |
| US6257123B1 (en) | 1997-10-24 | 2001-07-10 | Phd, Inc. | Rodless slides |
| US6662934B1 (en) | 1999-10-18 | 2003-12-16 | Smc Kabushiki Kaisha | Transfer apparatus |
| US6857780B2 (en) * | 2002-11-15 | 2005-02-22 | Phd, Inc. | Rodless slide assembly |
| JP4538803B2 (ja) * | 2005-04-19 | 2010-09-08 | Ｓｍｃ株式会社 | シリンダ装置の変位差吸収機構 |
| US8863645B2 (en) * | 2007-03-28 | 2014-10-21 | Norgren Gmbh | Piston support portion for a piston assembly of a rodless cylinder |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE500569C2 (sv) * | 1989-09-06 | 1994-07-18 | Bo Granbom | Tätningsband vid tryckfluidumcylindrar |
| JP2621522B2 (ja) * | 1989-12-04 | 1997-06-18 | 三菱電機株式会社 | 磁気記録再生装置 |
| JPH03190907A (ja) * | 1989-12-19 | 1991-08-20 | Toagosei Chem Ind Co Ltd | 改良されたレドックス触媒 |
| DE69100636T2 (de) * | 1990-02-09 | 1994-05-26 | Bo Kungsoer Granbom | Bremsvorrichtung in einer gradlinigen Bewegungsvorrichtung. |
| JPH0452482A (ja) * | 1990-06-20 | 1992-02-20 | Mitsubishi Electric Corp | 冷蔵庫 |
| JPH0452482U (ja) | 1990-09-10 | 1992-05-01 | ||
| US5275088A (en) * | 1991-10-11 | 1994-01-04 | Smc Kabushiki Kaisha | Rodless cylinder |
| JP2575245B2 (ja) * | 1991-11-01 | 1997-01-22 | エスエムシー株式会社 | ロッドレスシリンダ |
| DE4242971A1 (de) * | 1992-12-18 | 1994-06-23 | Bosch Gmbh Robert | Kolbenstangenloser Arbeitszylinder |
-
1994
- 1994-11-14 JP JP27905794A patent/JP3434369B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-11-06 US US08/554,404 patent/US5619899A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-11-07 EP EP95117489A patent/EP0711928B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-11-07 DE DE69521390T patent/DE69521390T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-11-14 KR KR1019950041176A patent/KR0180960B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009139324A1 (ja) * | 2008-05-12 | 2009-11-19 | 豊和工業株式会社 | ロッドレスシリンダ |
| JP2009275726A (ja) * | 2008-05-12 | 2009-11-26 | Howa Mach Ltd | ロッドレスシリンダ |
| US8746129B2 (en) | 2008-05-12 | 2014-06-10 | Howa Machinery, Ltd. | Rodless cylinder |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69521390T2 (de) | 2002-07-04 |
| KR0180960B1 (ko) | 1999-04-15 |
| KR960018308A (ko) | 1996-06-17 |
| EP0711928B1 (en) | 2001-06-20 |
| US5619899A (en) | 1997-04-15 |
| EP0711928A3 (en) | 1997-07-30 |
| DE69521390D1 (de) | 2001-07-26 |
| JP3434369B2 (ja) | 2003-08-04 |
| EP0711928A2 (en) | 1996-05-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4992151B2 (ja) | リニアアクチュエータ | |
| US5311810A (en) | Rodless cylinder | |
| JP3434369B2 (ja) | ロッドレスシリンダ | |
| KR100391791B1 (ko) | 이송장치 | |
| KR20010062391A (ko) | 게이트밸브 | |
| JPH08152006A (ja) | リニアアクチュエータ | |
| EP2642146B1 (en) | Side seal for linear guide device, and linear guide device | |
| JP2003166532A (ja) | 案内装置のシール装置及び案内装置 | |
| JP2003194057A (ja) | 転動体間にセパレータを備えた直動案内ユニット | |
| JP6329364B2 (ja) | 転動体間にセパレータを配設した直動案内ユニット | |
| JPH05209617A (ja) | 直動転がり案内ユニット | |
| US7490991B2 (en) | Guide mechanism for cylinder apparatus | |
| JP2506963Y2 (ja) | ロッドレスシリンダ | |
| JPH0712726Y2 (ja) | ロッドレスシリンダ | |
| JP2675720B2 (ja) | ロッドレスシリンダ | |
| KR20010067292A (ko) | 로드리스실린더 | |
| JP2517109Y2 (ja) | ロッドレスシリンダ | |
| TW202317876A (zh) | 直線運動導引單元 | |
| JP2933200B2 (ja) | ロッドレスシリンダ | |
| CN117307602A (zh) | 一种直线导轨副 | |
| JP4255021B2 (ja) | シリンダ装置 | |
| KR20170109226A (ko) | 윤활 부재가 구비된 리니어 가이드 | |
| JPH0671904U (ja) | 流体圧アクチュエータ | |
| JP2019100500A (ja) | 直動案内装置及び機械装置 | |
| JP2002089556A (ja) | リニアガイド用シール装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080530 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090530 Year of fee payment: 6 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |