JPH08114457A - 圧電ジャイロ及びその製造方法 - Google Patents
圧電ジャイロ及びその製造方法Info
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- JPH08114457A JPH08114457A JP6250262A JP25026294A JPH08114457A JP H08114457 A JPH08114457 A JP H08114457A JP 6250262 A JP6250262 A JP 6250262A JP 25026294 A JP25026294 A JP 25026294A JP H08114457 A JPH08114457 A JP H08114457A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 複雑な製造工程を行うことなく製造工程の簡
略化を実現することができる。 【構成】 ＬｉＴａＯ3 及びＬｉＮｂＯ3 の少なくとも
どちらか一方の圧電材料からなる音叉形共振子から構成
される圧電ジャイロであって、面内振動を駆動する駆動
用電極と面垂直振動を検出する検出用電極とを対向する
振動部に分離して形成してなる。
略化を実現することができる。 【構成】 ＬｉＴａＯ3 及びＬｉＮｂＯ3 の少なくとも
どちらか一方の圧電材料からなる音叉形共振子から構成
される圧電ジャイロであって、面内振動を駆動する駆動
用電極と面垂直振動を検出する検出用電極とを対向する
振動部に分離して形成してなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電ジャイロ及びその
製造方法に係り、詳しくは、位置検出用の圧電体を用い
た振動ジャイロに適用することができ、特に、複雑な製
造工程を行うことなく製造工程の簡略化を実現すること
ができる圧電ジャイロ及びその製造方法に関する。
製造方法に係り、詳しくは、位置検出用の圧電体を用い
た振動ジャイロに適用することができ、特に、複雑な製
造工程を行うことなく製造工程の簡略化を実現すること
ができる圧電ジャイロ及びその製造方法に関する。
【０００２】近年、圧電ジャイロ素子には、三角形の金
属柱の各辺に圧電セラミック板を張り合わせ、ワイヤー
により宙吊りの状態で保持したものがある。しかしなが
ら、この圧電ジャイロでは、金属柱の各辺に圧電セラミ
ック板を張り合わせたり、金属柱をバランス良く宙吊り
状態にするようにワイヤーをセラミック板に丁度良く貼
り付けたりしなければならない等、製造工程が複雑化し
ているという問題があった。
属柱の各辺に圧電セラミック板を張り合わせ、ワイヤー
により宙吊りの状態で保持したものがある。しかしなが
ら、この圧電ジャイロでは、金属柱の各辺に圧電セラミ
ック板を張り合わせたり、金属柱をバランス良く宙吊り
状態にするようにワイヤーをセラミック板に丁度良く貼
り付けたりしなければならない等、製造工程が複雑化し
ているという問題があった。
【０００３】そこで、複雑な製造工程を行うことなく製
造工程の簡略化を実現することができる圧電ジャイロ及
びその製造方法が要求されている。
造工程の簡略化を実現することができる圧電ジャイロ及
びその製造方法が要求されている。
【０００４】
【従来の技術】従来の圧電ジャイロ素子で実用化されて
いるものは、三角形の金属柱の各辺に圧電セラミック板
をエポキシ系等の接着剤により張り合わせ、更に振動を
圧電セラミック板に伝えるためにワイヤーにより圧電セ
ラミック板を張り合わせた金属柱を宙吊りの状態で保持
している。ワイヤーは、半田等でセラミック板に貼り付
けている。
いるものは、三角形の金属柱の各辺に圧電セラミック板
をエポキシ系等の接着剤により張り合わせ、更に振動を
圧電セラミック板に伝えるためにワイヤーにより圧電セ
ラミック板を張り合わせた金属柱を宙吊りの状態で保持
している。ワイヤーは、半田等でセラミック板に貼り付
けている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の圧電ジャイロでは、金属柱の各辺に圧電セラミ
ック板を張り合わせたり、金属柱をバランス良く宙吊り
状態にするようにワイヤーをセラミック板に丁度良く貼
り付けたりしなければならない等、製造工程が複雑化し
ているという問題があった。
た従来の圧電ジャイロでは、金属柱の各辺に圧電セラミ
ック板を張り合わせたり、金属柱をバランス良く宙吊り
状態にするようにワイヤーをセラミック板に丁度良く貼
り付けたりしなければならない等、製造工程が複雑化し
ているという問題があった。
【０００６】そこで、この製造工程が複雑化するという
問題を解決するために、エッチング加工等の加工性が容
易であるという利点を有することから、時計用振動子等
に多用されている水晶音叉を用いれば良いと考えられ
る。この水晶音叉を用いれば、エッチング加工等の加工
性を容易にして製造工程を簡略化することができるが。
しかしながら、この水晶音叉を圧電ジャイロに適用する
と、加工及び支持方式等が困難である等の理由から、圧
電ジャイロとしての実用化は行われていない。
問題を解決するために、エッチング加工等の加工性が容
易であるという利点を有することから、時計用振動子等
に多用されている水晶音叉を用いれば良いと考えられ
る。この水晶音叉を用いれば、エッチング加工等の加工
性を容易にして製造工程を簡略化することができるが。
しかしながら、この水晶音叉を圧電ジャイロに適用する
と、加工及び支持方式等が困難である等の理由から、圧
電ジャイロとしての実用化は行われていない。
【０００７】そこで、本発明は、複雑な製造工程を行う
ことなく製造工程の簡略化を実現することができる圧電
ジャイロ及びその製造方法を提供することを目的として
いる。
ことなく製造工程の簡略化を実現することができる圧電
ジャイロ及びその製造方法を提供することを目的として
いる。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
ＬｉＴａＯ3 及びＬｉＮｂＯ3 の少なくともどちらか一
方の圧電材料からなる音叉形共振子から構成される圧電
ジャイロであって、面内振動を駆動する駆動用電極と面
垂直振動を検出する検出用電極とを対向する振動部に分
離して形成してなることを特徴とするものである。
ＬｉＴａＯ3 及びＬｉＮｂＯ3 の少なくともどちらか一
方の圧電材料からなる音叉形共振子から構成される圧電
ジャイロであって、面内振動を駆動する駆動用電極と面
垂直振動を検出する検出用電極とを対向する振動部に分
離して形成してなることを特徴とするものである。
【０００９】請求項２記載の発明は、上記請求項１記載
の発明において、短形圧電板上に音叉振動棒状部分のピ
ッチ、かつ音叉溝部の幅、かつ音叉溝部の深さで音叉部
用溝を形成してなることを特徴とするものである。請求
項３記載の発明は、上記請求項１，２記載の発明におい
て、前記検出用電極が形成された前記振動部側部に側面
電極を形成してなることを特徴とするものである。
の発明において、短形圧電板上に音叉振動棒状部分のピ
ッチ、かつ音叉溝部の幅、かつ音叉溝部の深さで音叉部
用溝を形成してなることを特徴とするものである。請求
項３記載の発明は、上記請求項１，２記載の発明におい
て、前記検出用電極が形成された前記振動部側部に側面
電極を形成してなることを特徴とするものである。
【００１０】請求項４記載の発明は、ＬｉＴａＯ3 及び
ＬｉＮｂＯ3 の少なくともどちらか一方の圧電材料から
なる音叉形共振子から構成される圧電ジャイロの製造方
法であって、圧電板の上部に音叉部用溝を形成する工程
と、次いで、該圧電板上に面内振動を駆動する駆動用電
極と面垂直振動を検出する検出用電極とを形成する工程
と、次いで、音叉素子部分の分離を行う工程とを含むこ
とを特徴とするものである。
ＬｉＮｂＯ3 の少なくともどちらか一方の圧電材料から
なる音叉形共振子から構成される圧電ジャイロの製造方
法であって、圧電板の上部に音叉部用溝を形成する工程
と、次いで、該圧電板上に面内振動を駆動する駆動用電
極と面垂直振動を検出する検出用電極とを形成する工程
と、次いで、音叉素子部分の分離を行う工程とを含むこ
とを特徴とするものである。
【００１１】請求項５記載の発明は、上記請求項４記載
の発明において、前記音叉部用溝は、音叉振動棒状部分
のピッチ、かつ音叉溝部の幅、かつ音叉溝部の深さで形
成することを特徴とするものである。請求項６記載の発
明は、上記請求項４，５記載の発明において、前記音叉
部用溝は、溝幅の形成可能なワイヤーを等間隔に並べて
該ワイヤーにより同時に形成するか、又は溝幅の形成可
能なブレードにより形成することを特徴とするものであ
る。
の発明において、前記音叉部用溝は、音叉振動棒状部分
のピッチ、かつ音叉溝部の幅、かつ音叉溝部の深さで形
成することを特徴とするものである。請求項６記載の発
明は、上記請求項４，５記載の発明において、前記音叉
部用溝は、溝幅の形成可能なワイヤーを等間隔に並べて
該ワイヤーにより同時に形成するか、又は溝幅の形成可
能なブレードにより形成することを特徴とするものであ
る。
【００１２】請求項７記載の発明は、上記請求項４乃至
６記載の発明において、前記音叉素子部分の分離は、ワ
イヤー又はブレードによって切断分離することを特徴と
するものである。請求項８記載の発明は、上記請求項４
乃至７記載の発明において、前記音叉部用溝を形成した
後、ダイシングにより音叉の先端部を切断することを特
徴とするものである。
６記載の発明において、前記音叉素子部分の分離は、ワ
イヤー又はブレードによって切断分離することを特徴と
するものである。請求項８記載の発明は、上記請求項４
乃至７記載の発明において、前記音叉部用溝を形成した
後、ダイシングにより音叉の先端部を切断することを特
徴とするものである。
【００１３】請求項９記載の発明は、上記請求項４乃至
８記載の発明において、前記駆動用電極と前記検出用電
極は、各々の電極が隣接するように前記圧電板上に形成
することを特徴とするものである。
８記載の発明において、前記駆動用電極と前記検出用電
極は、各々の電極が隣接するように前記圧電板上に形成
することを特徴とするものである。
【００１４】
【作用】本発明では、後述する実施例の図１〜３に示す
如く、面内振動を駆動する駆動用電極５ａと面垂直振動
を検出する検出用電極５ｂとを対向するように各々振動
部となる駆動部３及び検出部４に分離して構成する。こ
のため、従来のような複雑な張り合わせ、位置合わせ及
び貼り付け等の複雑な製造工程を行うことなく、バッチ
処理で音叉形圧電ジャイロを容易に製造することができ
るうえ、製造を簡略化して製造コストを低減することが
できる。
如く、面内振動を駆動する駆動用電極５ａと面垂直振動
を検出する検出用電極５ｂとを対向するように各々振動
部となる駆動部３及び検出部４に分離して構成する。こ
のため、従来のような複雑な張り合わせ、位置合わせ及
び貼り付け等の複雑な製造工程を行うことなく、バッチ
処理で音叉形圧電ジャイロを容易に製造することができ
るうえ、製造を簡略化して製造コストを低減することが
できる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図１〜３は本発明に係る一実施例の圧電ジャイロ
の構造を示す図である。図２は図１に示すＡ１−Ａ２方
向の圧電ジャイロの構造を示す断面図であり、図３は図
１に示す圧電ジャイロを裏面からみた構造を示す図であ
る。
する。図１〜３は本発明に係る一実施例の圧電ジャイロ
の構造を示す図である。図２は図１に示すＡ１−Ａ２方
向の圧電ジャイロの構造を示す断面図であり、図３は図
１に示す圧電ジャイロを裏面からみた構造を示す図であ
る。
【００１６】本実施例では、圧電ジャイロの圧電短冊板
１にはＬｉＴａＯ3 ・１３０°回転Ｙ板を用いる。この
圧電短冊板１を構成するＬｉＴａＯ3 結晶軸勾配は、温
度特性が比較的良く、電気機械結合係数に優れた方位で
ある。ここでのＬｉＴａＯ3の単結晶は、材料特性が均
一で、しかも加工時の基板厚さが均一な大型ウェハを実
現することができる。特に、セラミック材料に比べて温
度特性、及び感度特性が良好であり、低コストの点で優
れている。
１にはＬｉＴａＯ3 ・１３０°回転Ｙ板を用いる。この
圧電短冊板１を構成するＬｉＴａＯ3 結晶軸勾配は、温
度特性が比較的良く、電気機械結合係数に優れた方位で
ある。ここでのＬｉＴａＯ3の単結晶は、材料特性が均
一で、しかも加工時の基板厚さが均一な大型ウェハを実
現することができる。特に、セラミック材料に比べて温
度特性、及び感度特性が良好であり、低コストの点で優
れている。
【００１７】次に、太さ０．２５ｍｍのＣｕメッキワイ
ヤーを等間隔に並べ、同時にワイヤーソーによる加工を
行うことにより、圧電短冊板１上に音叉部用溝２を形成
する。この時、音叉部用溝２は、音叉振動棒状部分のピ
ッチ、かつ音叉溝部の幅、音叉溝部の深さで形成され
る。また、音叉部用溝２は、音叉の溝２底部分が半円形
となる。更に、圧電短冊板１上に、音叉部用溝２により
分離された対向する振動部となる駆動部３及び検出部４
が構成される。
ヤーを等間隔に並べ、同時にワイヤーソーによる加工を
行うことにより、圧電短冊板１上に音叉部用溝２を形成
する。この時、音叉部用溝２は、音叉振動棒状部分のピ
ッチ、かつ音叉溝部の幅、音叉溝部の深さで形成され
る。また、音叉部用溝２は、音叉の溝２底部分が半円形
となる。更に、圧電短冊板１上に、音叉部用溝２により
分離された対向する振動部となる駆動部３及び検出部４
が構成される。
【００１８】次に、圧電短冊板１の設置による音叉部用
溝２の深さばらつき及び垂直性を制御するために、ダイ
シングソーによる加工を行うことにより、圧電短冊板１
及び音叉部用溝２の音叉先端部を切断する。次に、ＤＣ
マグネトロンスパッタ装置を使用し、音叉部用溝２が形
成された音叉加工済の圧電短冊板１をターゲットと直角
に立てて、膜生成の回り込みを利用して膜生成を行い、
Ａｕ（５００ｎｍ）／ＮｉＣｒ（１００ｎｍ）等の電極
用金属膜を形成した後、フォトエッチングにより電極用
金属膜をエッチングして、駆動部３に内面振動を駆動す
る駆動用電極５ａを検出するとともに、検出部４に面垂
直振動を検出する検出用電極５ｂ及び側面電極５ｃが形
成される。
溝２の深さばらつき及び垂直性を制御するために、ダイ
シングソーによる加工を行うことにより、圧電短冊板１
及び音叉部用溝２の音叉先端部を切断する。次に、ＤＣ
マグネトロンスパッタ装置を使用し、音叉部用溝２が形
成された音叉加工済の圧電短冊板１をターゲットと直角
に立てて、膜生成の回り込みを利用して膜生成を行い、
Ａｕ（５００ｎｍ）／ＮｉＣｒ（１００ｎｍ）等の電極
用金属膜を形成した後、フォトエッチングにより電極用
金属膜をエッチングして、駆動部３に内面振動を駆動す
る駆動用電極５ａを検出するとともに、検出部４に面垂
直振動を検出する検出用電極５ｂ及び側面電極５ｃが形
成される。
【００１９】なお、５ｄは、外部回路と電気的接続する
ための外部接続パッドである。圧電短冊板１の表面及び
裏面に形成される駆動用電極５ａ、検出用電極５ｂ、側
面電極５ｃ及び外部接続パッド５ｄは、圧電短冊板１を
表面及び裏面を露出させるように水平方向に対して略垂
直方向に配置するため、１回のフォトエッチングにより
形成することができる。
ための外部接続パッドである。圧電短冊板１の表面及び
裏面に形成される駆動用電極５ａ、検出用電極５ｂ、側
面電極５ｃ及び外部接続パッド５ｄは、圧電短冊板１を
表面及び裏面を露出させるように水平方向に対して略垂
直方向に配置するため、１回のフォトエッチングにより
形成することができる。
【００２０】次に、ダイシングソーによる加工を行うこ
とにより、駆動部３と検出部４からなる音叉素子の分離
を行う。この時、ダイシングソーの使用ブレードの厚み
は、音叉部分の検出部４側部の側面電極５ｃの欠損が生
じないように１００μｍ程度のものを使用する。この
時、得られた最終的な音叉形状は、音叉厚さが１．０７
ｍｍ、音叉幅が１ｍｍ、音叉部用溝２幅が０．３ｍｍ、
音叉部用溝２深さが７ｍｍ、圧電短冊板１の共通部幅が
２．５ｍｍ、圧電短冊板１の共通部長さが７ｍｍであ
り、駆動周波数は、約１６ｋＨｚと圧電ジャイロの素子
特性としては十分なものであった。
とにより、駆動部３と検出部４からなる音叉素子の分離
を行う。この時、ダイシングソーの使用ブレードの厚み
は、音叉部分の検出部４側部の側面電極５ｃの欠損が生
じないように１００μｍ程度のものを使用する。この
時、得られた最終的な音叉形状は、音叉厚さが１．０７
ｍｍ、音叉幅が１ｍｍ、音叉部用溝２幅が０．３ｍｍ、
音叉部用溝２深さが７ｍｍ、圧電短冊板１の共通部幅が
２．５ｍｍ、圧電短冊板１の共通部長さが７ｍｍであ
り、駆動周波数は、約１６ｋＨｚと圧電ジャイロの素子
特性としては十分なものであった。
【００２１】このように、本実施例では、面内振動を駆
動する駆動用電極５ａと、面垂直振動を検出する検出用
電極５ｂとを対向するように各々振動部となる駆動部３
及び検出部４に分離して構成している。このため、従来
のような複雑な張り合わせ、位置合わせ及び貼り付け等
の複雑な製造工程を行うことなく、バッチ処理で音叉形
圧電ジャイロを製造することができるうえ、製造を簡略
化して製造コストを低減することができる。また、この
得られた圧電ジャイロは、手振れ防止機能付きカメラ等
の家電製品やナビゲーションシステム等の自動車部品と
して好適に使用することができる。
動する駆動用電極５ａと、面垂直振動を検出する検出用
電極５ｂとを対向するように各々振動部となる駆動部３
及び検出部４に分離して構成している。このため、従来
のような複雑な張り合わせ、位置合わせ及び貼り付け等
の複雑な製造工程を行うことなく、バッチ処理で音叉形
圧電ジャイロを製造することができるうえ、製造を簡略
化して製造コストを低減することができる。また、この
得られた圧電ジャイロは、手振れ防止機能付きカメラ等
の家電製品やナビゲーションシステム等の自動車部品と
して好適に使用することができる。
【００２２】本実施例は、音叉の面内振動と面垂直振動
の共振周波数をある一定の間隔で離調するために、音叉
の厚みと音叉の振動部分の幅を最少バラツキとすること
ができるため、入出力のパワー漏れを抑えることができ
る。本実施例は、圧電短冊板１に音叉振動棒状部分のピ
ッチ、かつ音叉溝部の幅、かつ音叉溝部の深さで音叉部
用溝２を形成して構成したため、圧電ジャイロの周波数
を略一定に保持することができる。
の共振周波数をある一定の間隔で離調するために、音叉
の厚みと音叉の振動部分の幅を最少バラツキとすること
ができるため、入出力のパワー漏れを抑えることができ
る。本実施例は、圧電短冊板１に音叉振動棒状部分のピ
ッチ、かつ音叉溝部の幅、かつ音叉溝部の深さで音叉部
用溝２を形成して構成したため、圧電ジャイロの周波数
を略一定に保持することができる。
【００２３】本実施例は、音叉部用溝２をワイヤーソー
による加工を行うことにより、音叉部用溝２の底部を半
円形状にすることができるため、矩形形状で形成される
場合よりも、音叉部用溝２付け根への振動による歪み
（応力）の集中を低減することができる。このため、音
叉部用溝２付け根にクラックを発生し難くすることがで
きる。
による加工を行うことにより、音叉部用溝２の底部を半
円形状にすることができるため、矩形形状で形成される
場合よりも、音叉部用溝２付け根への振動による歪み
（応力）の集中を低減することができる。このため、音
叉部用溝２付け根にクラックを発生し難くすることがで
きる。
【００２４】本実施例は、音叉部用溝２を形成した後、
ダイシングソーによる加工を行うことにより、音叉の先
端部を切断するように構成したため、圧電短冊板１の位
置による音叉部用溝２の深さばらつき及び垂直性を適宜
制御することができる。このため、音叉部用溝２の深さ
ばらつきをなくして音叉部用溝２の深さを所望の値にす
ることができるとともに、音叉部用溝２の垂直性を所望
にすることができる。また、ダイシングソーによる加工
を行ったため、ワイヤーソーによる加工を行う場合より
も高精度の位置精度で、しかも良好な細い加工を行うこ
とができる。
ダイシングソーによる加工を行うことにより、音叉の先
端部を切断するように構成したため、圧電短冊板１の位
置による音叉部用溝２の深さばらつき及び垂直性を適宜
制御することができる。このため、音叉部用溝２の深さ
ばらつきをなくして音叉部用溝２の深さを所望の値にす
ることができるとともに、音叉部用溝２の垂直性を所望
にすることができる。また、ダイシングソーによる加工
を行ったため、ワイヤーソーによる加工を行う場合より
も高精度の位置精度で、しかも良好な細い加工を行うこ
とができる。
【００２５】本実施例は、駆動部３と検出部４を分離す
る音叉部用溝２を形成する時、駆動部３と駆動部３、及
び検出部４と検出部４が隣接してなるように圧電短冊板
１が構成されていれば、駆動部３と検出部４間に対応す
る領域のみに音叉部用溝２を形成すればよいため、駆動
部３と検出部４が交互に配列されている場合よりも、音
叉部用溝２の加工時間を短縮することができる。
る音叉部用溝２を形成する時、駆動部３と駆動部３、及
び検出部４と検出部４が隣接してなるように圧電短冊板
１が構成されていれば、駆動部３と検出部４間に対応す
る領域のみに音叉部用溝２を形成すればよいため、駆動
部３と検出部４が交互に配列されている場合よりも、音
叉部用溝２の加工時間を短縮することができる。
【００２６】なお、この場合、音叉素子の切断分離は、
駆動部３と駆動部３、及び検出部４と検出部４の境界を
切断分離すればよい。なお、上記実施例では、圧電短冊
板１を構成する圧電材料にＬｉＴａＯ3 を用いて構成し
たが、本発明はこれのみに限定されるものではなく、要
はＬｉＴａＯ 3 及びＬｉＮｂＯ3 の少なくともどちらか
一方の圧電材料を用いて構成すればよいので、例えばＬ
ｉＮｂＯ3 を用いて構成してもよい。ここでのＬｉＴａ
Ｏ3 及びＬｉＮｂＯ3 の単結晶は、材料特性が均一で、
しかも加工時の基板厚さが均一な大型ウェハを実現する
ことができる。特に、セラミック材料に比べて温度特
性、及び感度特性が良好であり、低コストの点で優れて
いる。
駆動部３と駆動部３、及び検出部４と検出部４の境界を
切断分離すればよい。なお、上記実施例では、圧電短冊
板１を構成する圧電材料にＬｉＴａＯ3 を用いて構成し
たが、本発明はこれのみに限定されるものではなく、要
はＬｉＴａＯ 3 及びＬｉＮｂＯ3 の少なくともどちらか
一方の圧電材料を用いて構成すればよいので、例えばＬ
ｉＮｂＯ3 を用いて構成してもよい。ここでのＬｉＴａ
Ｏ3 及びＬｉＮｂＯ3 の単結晶は、材料特性が均一で、
しかも加工時の基板厚さが均一な大型ウェハを実現する
ことができる。特に、セラミック材料に比べて温度特
性、及び感度特性が良好であり、低コストの点で優れて
いる。
【００２７】上記実施例は、音叉部用溝２をワイヤーソ
ーによる加工を行うことにより形成したが、本発明はこ
れのみに限定されるものではなく、例えばブレードによ
る加工で形成してもよい。上記実施例は、駆動部３と検
出部４からなる音叉素子の素子分離をブレードによって
行う場合を説明したが、本発明はこれのみに限定される
ものではなく、例えばワイヤーによって音叉素子の素子
分離を行うように構成してもよい。
ーによる加工を行うことにより形成したが、本発明はこ
れのみに限定されるものではなく、例えばブレードによ
る加工で形成してもよい。上記実施例は、駆動部３と検
出部４からなる音叉素子の素子分離をブレードによって
行う場合を説明したが、本発明はこれのみに限定される
ものではなく、例えばワイヤーによって音叉素子の素子
分離を行うように構成してもよい。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、音叉形圧電ジャイロの
製造工程を簡略化することができるという効果がある。
製造工程を簡略化することができるという効果がある。
【図１】本発明に係る一実施例の圧電ジャイロの構造を
示す図である。
示す図である。
【図２】図１に示すＡ１−Ａ２方向の圧電ジャイロの構
造を示す断面図である。
造を示す断面図である。
【図３】図１に示す圧電ジャイロを裏面から見た図であ
る。
る。
１ 圧電短冊板 ２ 音叉部用溝 ３ 駆動部 ４ 検出部 ５ａ 駆動用電極 ５ｂ 検出用電極 ５ｃ 側面電極 ５ｄ 外部接続パッド
Claims (9)
- 【請求項１】ＬｉＴａＯ3 及びＬｉＮｂＯ3 の少なくと
もどちらか一方の圧電材料からなる音叉形共振子から構
成される圧電ジャイロであって、面内振動を駆動する駆
動用電極と面垂直振動を検出する検出用電極とを対向す
る振動部に分離して形成してなることを特徴とする圧電
ジャイロ。 - 【請求項２】短形圧電板上に音叉振動棒状部分のピッ
チ、かつ音叉溝部の幅、かつ音叉溝部の深さで音叉部用
溝を形成してなることを特徴とする請求項１記載の圧電
ジャイロ。 - 【請求項３】前記検出用電極が形成された前記振動部側
部に側面電極を形成してなることを特徴とする請求項
１，２記載の圧電ジャイロ。 - 【請求項４】ＬｉＴａＯ3 及びＬｉＮｂＯ3 の少なくと
もどちらか一方の圧電材料からなる音叉形共振子から構
成される圧電ジャイロの製造方法であって、圧電板の上
部に音叉部用溝を形成する工程と、次いで、該圧電板上
に面内振動を駆動する駆動用電極と面垂直振動を検出す
る検出用電極とを形成する工程と、次いで、音叉素子部
分の分離を行う工程とを含むことを特徴とする圧電ジャ
イロの製造方法。 - 【請求項５】前記音叉部用溝は、音叉振動棒状部分のピ
ッチ、かつ音叉溝部の幅、かつ音叉溝部の深さで形成す
ることを特徴とする請求項４記載の圧電ジャイロの製造
方法。 - 【請求項６】前記音叉部用溝は、溝幅の形成可能なワイ
ヤーを等間隔に並べて該ワイヤーにより同時に形成する
か、又は溝幅の形成可能なブレードにより形成すること
を特徴とする請求項４，５記載の圧電ジャイロの製造方
法。 - 【請求項７】前記音叉素子部分の分離は、ワイヤー又は
ブレードによって切断分離することを特徴とする請求項
４乃至６記載の圧電ジャイロの製造方法。 - 【請求項８】前記音叉部用溝を形成した後、ダイシング
により音叉の先端部を切断することを特徴とする請求項
４乃至７記載の圧電ジャイロの製造方法。 - 【請求項９】前記駆動用電極と前記検出用電極は、各々
の電極が隣接するように前記圧電板上に形成することを
特徴とする請求項４乃至８記載の圧電ジャイロの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6250262A JPH08114457A (ja) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | 圧電ジャイロ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6250262A JPH08114457A (ja) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | 圧電ジャイロ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08114457A true JPH08114457A (ja) | 1996-05-07 |
Family
ID=17205279
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6250262A Pending JPH08114457A (ja) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | 圧電ジャイロ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08114457A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000088580A (ja) * | 1998-09-14 | 2000-03-31 | Alps Electric Co Ltd | シリコンジャイロ |
| US6366005B2 (en) | 1998-06-26 | 2002-04-02 | Fujitsu Limited | Tuning fork type vibration gyro |
| JP2006322740A (ja) * | 2005-05-17 | 2006-11-30 | Nec Tokin Corp | 圧電振動ジャイロ用音叉形振動子 |
| US8225663B2 (en) | 2008-09-02 | 2012-07-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Tuning fork-type vibrator, tuning fork-type vibrator manufacturing method, and angular velocity sensor |
-
1994
- 1994-10-17 JP JP6250262A patent/JPH08114457A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6366005B2 (en) | 1998-06-26 | 2002-04-02 | Fujitsu Limited | Tuning fork type vibration gyro |
| JP2000088580A (ja) * | 1998-09-14 | 2000-03-31 | Alps Electric Co Ltd | シリコンジャイロ |
| JP2006322740A (ja) * | 2005-05-17 | 2006-11-30 | Nec Tokin Corp | 圧電振動ジャイロ用音叉形振動子 |
| US8225663B2 (en) | 2008-09-02 | 2012-07-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Tuning fork-type vibrator, tuning fork-type vibrator manufacturing method, and angular velocity sensor |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030304 |