JPH081118A - 超音波洗浄装置 - Google Patents

超音波洗浄装置

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JPH081118A
JPH081118A JP15923794A JP15923794A JPH081118A JP H081118 A JPH081118 A JP H081118A JP 15923794 A JP15923794 A JP 15923794A JP 15923794 A JP15923794 A JP 15923794A JP H081118 A JPH081118 A JP H081118A
Authority
JP
Japan
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vacuum
cleaning
cleaning liquid
degassing
vacuum pump
Prior art date
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Pending
Application number
JP15923794A
Other languages
English (en)
Inventor
Hitoshi Shiraishi
仁士 白石
Takakimi Mitsukami
恭仁 光上
Takafumi Ii
孝文 井伊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Miura Co Ltd
Original Assignee
Miura Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH081118A publication Critical patent/JPH081118A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 被洗浄物に最適な超音波強度を与えるため
に、洗浄槽内に貯留する洗浄液を所定の脱気度に調整す
る。 【構成】超音波洗浄装置の洗浄槽1内に貯留する洗浄液
を真空脱気する脱気手段2を設け、この脱気手段2と前
記洗浄槽との間を洗浄液供給ライン3とポンプ4を備え
た洗浄液還流ライン5で接続し、前記脱気手段2に、真
空ポンプ6に連通する真空吸引ライン7と真空圧力セン
サ8を接続し、この真空圧力センサ8と前記真空ポンプ
6との間を回線9で接続し、この回線9の途中に、前記
真空圧力センサ8の検出値に基づいて、前記真空ポンプ
6のON、OFFを制御する制御器10を挿入した構
成。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、超音波洗浄装置に関
するもので、さらに詳細には、被洗浄物の種類によって
洗浄液中の溶存気体を所定の脱気度に調整し、洗浄効果
を向上させるものである。
【0002】
【従来の技術】周知のように、超音波洗浄装置において
は洗浄液中に含まれている溶存気体により、超音波の強
度が弱められ洗浄効果が低下することは知られている。
そこで、洗浄液を脱気処理して供給するようにしている
が、図4に示すように、例えば水道水の場合、脱気度に
応じて超音波の強さを表わす音圧レベルが変化し洗浄強
度も変化するので、被洗浄物の種類によっては洗浄品質
にばらつきが生じて問題となることがテストの結果判明
した。そこで、被洗浄物を超音波洗浄するときの超音波
強度の最適値になるように、前記洗浄液の脱気度を調整
することが必要となる。しかしながら、従来の脱気装置
では脱気度を所定の範囲に調整して運転するというもの
はなく、真空ポンプの能力に応じて最低圧力で運転して
いた。この場合真空ポンプは、常に連続運転を行うこと
になり、到達真空圧は脱気液の流量や他の条件で変動し
脱気度も変動していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、超音波洗
浄において被洗浄物に最適な超音波強度を与えるため
に、洗浄液の脱気度を所定範囲内に容易に調整すること
のできる、超音波洗浄装置を提供することを目的とする
ものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】即ち、この発明は、上記
課題を解決するためになされたものであって、超音波洗
浄装置の洗浄槽内に貯留する洗浄液を真空脱気する脱気
手段を設け、この脱気手段と前記洗浄槽との間を洗浄液
供給ラインとポンプを備えた洗浄液還流ラインで接続
し、前記脱気手段に、真空ポンプに連通する真空吸引ラ
インと真空圧力センサを接続し、この真空圧力センサと
前記真空ポンプとの間を回線で接続し、この回線の途中
に、前記真空圧力センサの検出値に基づいて、前記真空
ポンプのON、OFFを制御する制御器を挿入したこと
を特徴としている。
【0005】
【作用】この発明によれば、洗浄液を予め設定した所定
範囲内の脱気度になるように、脱気手段内の真空圧力を
設定し、脱気手段内の真空圧力検出値に基づいて真空ポ
ンプを運転し、真空圧力が設定値に到達した時点で真空
ポンプを停止する。真空圧力は、真空ポンプを停止した
時点から脱気気体により上昇し、所定の真空圧力に至る
と再び真空ポンプを運転し、以後このサイクルをくり返
す。このくり返しにより、洗浄液は所定の脱気度を維持
する。
【0006】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。図1は、この発明を実施した超音波洗浄
装置(超音波発生器等は図示省略)の構成を示す説明図
である。図中1は、前記超音波洗浄装置の洗浄槽であっ
て所定の洗浄液を貯留している。2は脱気手段として適
用した脱気塔であって、前記洗浄槽1の下面と脱気塔2
の上部を洗浄液供給ライン3で接続し先端部にスプレー
ノズル3aを挿着し、脱気塔2の下面と洗浄槽1との間
をポンプ4を備えた洗浄液還流ライン5で接続し、前記
洗浄槽1内の洗浄液を脱気塔2内を循環させて所定の脱
気度を有する洗浄液としている。
【0007】前記脱気塔2内を真空脱気する手段とし
て、例えば水封式の真空ポンプ6を設け、この真空ポン
プ6と前記脱気塔2の上部との間を真空吸引ライン7で
接続し、この真空吸引ライン7の接続部下方に、脱気塔
2内の真空圧力を検出する真空圧力センサ8を挿設し、
この真空圧力センサ8と前記真空ポンプ6との間を回線
9で接続し、この回線9の途中に前記真空圧力センサ8
の検出信号により真空ポンプ6の運転をON、OFFさ
せる制御器10を挿入している。図中11は封水路、1
2は排気路である。尚、真空圧力センサ8は、無段階に
圧力範囲を設定できる半導体式圧力センサが好適でき
る。
【0008】上記構成の超音波洗浄装置の洗浄液の脱気
度調整方法を説明する。前記超音波洗浄装置で洗浄する
被洗浄物(例えばアルミ箔等)が非常に損傷し易いもの
である場合には、超音波強度を調整して被洗浄物の損傷
を防止する必要がある。図2は、例えば洗浄液に水道水
を用い、この水道水の溶存気体濃度(DO値)を8ppm
とした場合の脱気塔2内の真空圧力とDO値および脱気
効率の関係を示す線図であって、前記被洗浄物の最適超
音波強度を予め設定し、この超音波強度となる脱気塔2
内の真空圧力を例えば200torr〜250torrと設定す
れば、図示のように、脱気効率は約70%、DO値は約
2ppm 強となる。尚、この値は脱気塔2に供給する洗浄
層1からの循環水(脱気度が異っている)の場合も一定
となる。
【0009】そこで、前記真空圧力センサ8の検出信号
により真空ポンプ6の運転をON、OFFさせる制御器
10に、前記真空圧力200torr〜250torr
でON、OFFするように真空ポンプ6の作動域をセッ
ト(図3参照)すれば、所定の脱気度を有する洗浄水を
洗浄槽1内に貯留し、被洗浄物を最適超音波強度で洗浄
することができる。
【0010】前記実施例においては、脱気手段として、
脱気塔方式による場合について説明したが、この発明は
この実施例に限定されるものではなく、膜式脱気方式に
よっても同様の作用効果を奏することができる。したが
って、実施に応じ、脱気手段として膜式脱気方式による
ことも好適である。
【0011】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、超音波洗浄装置の洗浄槽内に貯留する洗浄液を真空
脱気するための脱気手段を設け、この脱気手段と前記洗
浄槽との間を洗浄液供給ラインとポンプを備えた洗浄液
還流ラインで接続し、脱気手段内の真空圧力を検出し、
この検出値に基づいて真空ポンプをON、OFF制御す
るようにしたので、被洗浄物に最適な超音波強度を与え
ることのできる所定の脱気度を有する洗浄液を洗浄槽内
に貯留することができる。したがって、被洗浄物を損傷
することなく洗浄効果を向上することができる。又、脱
気手段の真空圧力制御を真空ポンプをON、OFFさせ
て制御するので、従来の真空ポンプを連続運転したもの
に比し省エネルギー効果は大きい。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明を実施した超音波洗浄装置の構成を示
す説明図である。
【図2】図1の脱気塔内の真空圧力とDO値および脱気
効率の関係を示す線図である。
【図3】図1の真空圧力センサの検出信号により真空ポ
ンプをON、OFF制御する作動域を示す説明図であ
る。
【図4】洗浄液(水道水)の脱気による音圧レベルの変
化を示す線図である。
【符号の説明】
1 洗浄槽 2 脱気手段(脱気塔) 3 洗浄液供給ライン 4 ポンプ 5 洗浄液還流ライン 6 真空ポンプ 7 真空吸引ライン 8 真空圧力センサ 9 回線 10 制御器

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 超音波洗浄装置の洗浄槽1内に貯留する
    洗浄液を真空脱気する脱気手段2を設け、この脱気手段
    2と前記洗浄槽1との間を洗浄液供給ライン3とポンプ
    4を備えた洗浄液還流ライン5で接続し、前記脱気手段
    2に、真空ポンプ6に連通する真空吸引ライン7と真空
    圧力センサ8を接続し、この真空圧力センサ8と前記真
    空ポンプ6との間を回線9で接続し、この回線9の途中
    に、前記真空圧力センサ8の検出値に基づいて、前記真
    空ポンプ6のON、OFFを制御する制御器10を挿入
    したことを特徴とする超音波洗浄装置。
JP15923794A 1994-06-17 1994-06-17 超音波洗浄装置 Pending JPH081118A (ja)

Priority Applications (1)

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JP15923794A JPH081118A (ja) 1994-06-17 1994-06-17 超音波洗浄装置

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JP15923794A JPH081118A (ja) 1994-06-17 1994-06-17 超音波洗浄装置

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JPH081118A true JPH081118A (ja) 1996-01-09

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ID=15689346

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JP15923794A Pending JPH081118A (ja) 1994-06-17 1994-06-17 超音波洗浄装置

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE202011102744U1 (de) 2011-06-10 2012-09-13 Consolar Solare Energiesysteme Gmbh Druckbelastbarer Segmentspeicher
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