JPH08102647A - パルス電源装置 - Google Patents

パルス電源装置

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JPH08102647A
JPH08102647A JP6236535A JP23653594A JPH08102647A JP H08102647 A JPH08102647 A JP H08102647A JP 6236535 A JP6236535 A JP 6236535A JP 23653594 A JP23653594 A JP 23653594A JP H08102647 A JPH08102647 A JP H08102647A
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    • H05B41/14Circuit arrangements
    • H05B41/30Circuit arrangements in which the lamp is fed by pulses, e.g. flash lamp
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/091Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
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Abstract

(57)【要約】 【目的】レーザ出力波形の制御を容易に行えるとともに
高安定性および高速応答を実現するパルス電源装置を提
供する。 【構成】直流電源1の出力を高速で接断する高速スイッ
チング回路2からの出力される電流と閃光管4への印加
電圧とをそれぞれ電流検出回路5および電圧検出回路6
により検出し、それらを乗算回路7において乗算するこ
とによって積値を算出し、その積値に基づいて高速スイ
ッチング回路2のON/OFFを制御する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光励起によりパルス発
振を行うレーザ装置において、閃光によってレーザ媒体
を光励起させる閃光管に大電力を印加するパルス電源装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、閃光管から照射される閃光によ
ってレーザ媒体を励起させ、レーザ発振させるパルスレ
ーザ装置では、閃光管に瞬時に大電力を印加することが
必要である。しかしながら、閃光管に対して瞬時に所望
の電力を常時供給できるような電源装置を使用したので
は、パルスレーザ装置自体が非常に大規模なものになっ
てしまい、現実的ではない。そこで、通常、コンデンサ
バンクと呼ばれる大容量のコンデンサ群を用い、時間を
かけて徐々にコンデンサバンクに充電したエネルギを急
速に閃光管に放電することで、その閃光管から強い閃光
を発生させる方法が採られている。
【0003】一方、このようなパルスレーザ装置の用途
としては、金属材料の溶接加工等がある。このような用
途で良好な加工結果を得るためには、レーザ出力の安定
性および再現性が必要とされる。さらに、加工対象の材
質によっては、接合強度を得る目的や、クラック等が生
じないようにする目的のために、レーザ出力波形を適切
なものに制御することが必要とされる。例えば、加工当
初には、弱いレーザ出力を照射して被加工物を予熱した
のち所定のレーザ出力で加工する場合や、逆に、最初に
所定のレーザ出力で加工したのち、レーザ出力を漸減し
ながら徐冷する場合には、適切なレーザ出力波形に制御
することが重要となる。
【0004】前述のコンデンサバンクに充電したエネル
ギを急速に閃光管に放電する回路構成では、レーザ媒体
を励起させるための励起エネルギは、閃光管に対する印
加電圧、ひいては、コンデンサバンクの充電電圧によっ
て決まってしまう。したがって、レーザ出力を可変にす
るためには、コンデンサバンクの充電電圧を可変にする
ことが必要とされる。しかしながら、コンデンサバンク
の容量がかなり大きいため、短時間のうちに充電電圧を
変化させることは不可能である。
【0005】そこで、従来のパルス電源装置では、コン
デンサバンクと閃光管の間に閃光管に対する印加電圧を
変換する手段を挿入することによって、レーザ出力を制
御していた。
【0006】この従来のパルス電源装置について図11
を参照して説明する。
【0007】図11は、従来のパルス電源装置の構成を
示す図であり、直流電源1は、コンデンサバンク12を
充電する充電電源11および閃光管4に対して充電した
エネルギを放電するコンデンサバンク12とを備える。
高速スイッチング回路2は、外部から入力されるパルス
幅変調(Pulse Width Modulatio
n 以下 PWMとする)信号201に基づいて高速ス
イッチングを行うスイッチ素子21およびこのスイッチ
素子21がOFFのときに電流が流れるフライホイール
ダイオード22とを備える。このスイッチ素子21とし
ては、SCR(サイリスタ)、GTO(Gate Tu
rn−Off)およびIGBT(Insulated−
Gate Bipolar Transistor)等
のような素子自体ではほとんど電力消費されない半導体
スイッチ素子が用いられる。平滑回路3は、リアクトル
31およびキャパシタ32を備えており、高速スイッチ
ング回路2の出力を平滑化して閃光管4へ印加する。
【0008】この様な構成を有する従来のパルス電源装
置では、直流電源1の出力が、高速スイッチング回路2
において、外部から供給される所望のマーク・スペース
比のPWM信号201に応じてスイッチ素子21により
ON/OFF制御され、次いで、平滑回路3で平滑化さ
れて元の直流電源の電圧よりも低い直流電圧に変換され
た後、この直流電圧が負荷である閃光管4に供給されて
いた。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】従来のパルス電源装置
では、外部から供給されるPWM信号によりマーク・ス
ペース比を変えることによって閃光管への印加電力を可
変することができる。しかしながら、この印加電力は、
コンデンサバンクの充電電圧の変化に対して連動して変
化してしまうという問題点があった。つまり、図12に
示すように、放電時に時間とともにコンデンサバンクの
充電電圧が低下してしまう場合および直前の放電によっ
て低下したコンデンサバンクの充電電圧が充分に回復さ
れないうちに次の放電を開始する場合には、閃光管への
印加電力が変動することによってレーザ出力が変動して
いた。
【0010】さらに、回路中にリアクトルおよびキャパ
シタを含んでいるためにパルスの立ち上がり時にリンギ
ングやオーバーシュートを生じ易いという問題点もあっ
た。
【0011】さらに、マーク・スペース比とレーザ出力
との間には比例的な一定の関係はなく、したがって、所
望のレーザ出力波形を得るためにマーク・スペース比を
どのように制御するかは、熟練ないし試行錯誤によって
決める必要があり、非常に使い難いものであった。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明のパルス電源装置は、直流電源の出力を、
ON/OFF駆動する高速スイッチング回路およびその
高速スイッチング回路の出力を平滑化する平滑回路を介
して閃光管に供給するパルス電源装置であって、前記高
速スイッチング回路の出力電流を検出する電流検出回路
と、前記閃光管に印加される印加電圧を検出する電圧検
出回路と、前記電流検出回路によって検出される電流と
前記電圧検出回路によって検出される電圧との積を算出
する乗算回路と、前記乗算回路によって算出された積値
にしたがって前記高速スイッチング回路を制御する制御
回路とを備える。
【0013】このような構成を有する本発明のパルス電
源装置では、高速スイッチング回路の出力電流と閃光管
への印加電圧とをそれぞれ検出し、それらを乗算回路に
おいて乗算することによって算出される積値に基づいて
高速スイッチング回路のON/OFFを制御しているた
めに、レーザ出力の安定性を向上させるとともに、レー
ザ出力の高速の波形制御を容易に行うことができる。
【0014】例えば、乗算回路から出力される積値と所
望の波形制御信号の振幅とが等しくなるように、高速ス
イッチング回路のON/OFFを制御することによっ
て、レーザ出力波形を波形制御信号の波形にほぼ一致さ
せることができる。したがって、波形制御信号の波形を
得たいレーザ出力波形と同様のものとすることによっ
て、所望のレーザ出力波形を容易に得ることができる。
【0015】
【実施例】次に、本発明の第1の実施例について図面を
参照して詳細に説明する。
【0016】本実施例のパルス電源装置は、高速スイッ
チング回路の出力電流と閃光管への印加電圧との積、つ
まり、電力相当信号を算出し、その電力相当信号が所望
の値となるように高速スイッチング回路のスイッチ素子
のON/OFFを制御することによって、レーザ出力の
制御を行うものである。
【0017】図1は、第1の実施例のパルス電源装置の
構成を示す回路図であり、図1に示す構成のうち、直流
電源、高速スイッチング回路および平滑回路は前述の従
来のパルス電源装置における各構成と同様のものである
ので、重複部分の説明は省略する。
【0018】電流検出回路5は、高速スイッチング回路
2と平滑回路3との間に直列に接続された微小抵抗値の
シャント抵抗51と、このシャント抵抗51の両端の電
位差に基づいて高速スイッチング回路の出力電流を検出
する差動増幅器52とを備え、高速スイッチング回路2
からの出力電流値を検出し、その電流信号101を乗算
回路7に出力する。電流検出回路6は、分圧器61によ
り閃光管4への印加電圧を検出し、その電圧信号102
を乗算回路7に出力する。乗算回路7は、電流検出回路
5によって検出される高速スイッチング回路2の出力電
流信号101と電圧検出回路6によって検出される閃光
管4への印加電圧信号102との積を算出し、その積値
を電力相当信号103として制御回路8に出力する。制
御回路8は、乗算回路7から出力される電力相当信号1
03に基づいて高速スイッチング回路2に対してスイッ
チ素子21のON/OFFを制御する制御信号104を
出力する。高速スイッチング回路2は、制御回路8から
出力される制御信号104にしたがってスイッチング動
作を行う。
【0019】図2は、本実施例における制御回路の構成
を示す回路図であり、コンパレータ81は乗算回路7か
ら出力される電力相当信号103が予め設定される上限
値PA以上となる場合にフリップフロップ83へ信号を
出力する。コンパレータ82は、乗算回路7から出力さ
れる電力相当信号103が予め設定される下限値PB以
下となる場合にフリップフロップ83へ信号を出力す
る。フリップフロップ83は、コンパレータ81から出
力される信号によってリセットされ、コンパレータ82
から出力される信号によってセットされ、このフリップ
フロップ83から出力される制御信号104は、高速ス
イッチング回路2のスイッチ素子21に対して出力され
る。そして、フリップフロップ83がセットされる場合
には、スイッチ素子21はONとなり、フリップフロッ
プ83がリセットされる場合には、スイッチ素子21は
OFFとなる。
【0020】このような構成を備える本実施例のパルス
電源装置の動作について図1から図3を参照して説明す
る。
【0021】図3は、本実施例の動作を説明する図であ
って、(a)はスイッチ素子のON/OFF制御信号を
示し、(b)は、スイッチ素子に流れる電流の波形図を
示し、(c)は、フライホイールダイオードに流れる電
流の波形図を示し、(d)は、リアクトルに流れる電流
の波形図を示し、(e)は、閃光管に印加される電流の
波形図を示し、(f)は、乗算回路から出力される電力
相当信号の波形図を示す。
【0022】スイッチ素子21がONの場合、充電電源
11によりすでに充電された状態にあるコンデンサバン
ク12から電流が放電され、その電流は、スイッチ素子
21およびリアクトル31を経て閃光管4に流れる。こ
の間、図3(b)および(d)に示すように、スイッチ
素子21およびリアクトル31に流れる電流は時間とと
もに増加し、したがって、リアクトル31にはエネルギ
が蓄積されることになる。
【0023】一方、スイッチ素子21がOFFの場合に
は、電流は、フライホイールダイオード22からリアク
トル31を経て閃光管4に流れる経路に切り替わる。そ
して、その電流は、図3(d)に示すように、リアクト
ル31に蓄積されたエネルギを消費する形で流れ続け
る。
【0024】つまり、リアクトル31に流れる電流は、
図3(b)に示すスイッチ素子21に流れる電流と図3
(c)に示すフライホイールダイオード22に流れる電
流とを加算した値であり、その波形図は図3(d)に示
すような波形図となる。また、閃光管4には、平滑回路
3の作用により図3(e)に示す波形のようにリアクト
ル31に流れる電流が平滑化された後の電流が流れる。
なお、閃光管4への印加電圧は印加電流の平方根に比例
した値となる。
【0025】他方、乗算回路7では、電流検出回路5に
より検出される高速スイッチング回路2から出力される
電流と電圧検出回路6により検出される閃光管4への印
加電圧との積が算出される。そして、この積値が図3
(f)の実線で示す電力相当信号103として制御回路
8に出力される。
【0026】制御回路8では、図3(f)の点線で示す
上限値PAおよび下限値PBが設定されており、乗算回
路7からの電力相当信号103が、上限値PA以上とな
った場合にスイッチ素子21をOFFとする制御信号1
04を、また、下限値PB以下となった場合にスイッチ
素子21をONとする制御信号104を出力する。
【0027】制御回路8から出力される制御信号104
により図3(a)に示す波形が作られてフィードバック
ループが形成される。そこで、高速スイッチング回路2
をON/OFF制御することで図3(f)に示す波形の
ようになる。
【0028】このように、本実施例では、外部から入力
される外部信号105に応じて、閃光管4への電力供給
の開始と停止を行うことにより、上限値PAおよび下限
値PBとして設定された値のほぼ平均値に相当する所望
の電力が閃光管4に供給されることになり、所望のピー
ク出力電力をもったレーザ出力パルスが安定的に得られ
る。
【0029】また、パルス発振中に上限値PAおよび下
限値PBを所望の値となるように可変制御することによ
り、上限値PAおよび下限値PBの変化に対応した電力
が閃光管4に供給されることになる。したがって、上限
値PAおよび下限値PBを可変制御するだけで、所望の
変化波形を有するレーザ出力パルスを得ることができ
る。
【0030】さらに、このパルス電源装置では、スイッ
チ素子21のスイッチング動作の速さでレーザ出力の制
御が行われ、かつ、高速スイッチング回路2の出力電流
と閃光管4への印加電圧との積を一定とするよう制御さ
れている。したがって、印加電圧の立ち上がり/立ち下
がりの遅れがあれば、その遅れを補償するごとく高速ス
イッチング回路2の出力電流が可変制御されるので、よ
り高速な応答を実現できる。
【0031】図4は、本発明におけるコンデンサバンク
12の充電電圧の変化と閃光管4への印加電力の変化を
示す図であるが、前述の従来のパルス電源装置と異な
り、充電電圧の変化に左右されず、一定の電力が閃光管
4に供給されていることがわかる。
【0032】なお、実際のパルス電源回路では、閃光管
4に高電圧パルスを印加して閃光管4の放電の初期点弧
を行うトリガ電源や、閃光管4の微弱放電を持続するた
めにシマー電流供給回路も備えられているが、説明の簡
単化のためにそれらの説明は省略することとする。
【0033】次に、本発明のパルス電源装置の第2の実
施例について図1および図5を参照して説明する。
【0034】第2の実施例は、図1で示した前述の第1
の実施例とは制御回路8の構成および動作が異なる。そ
して、本実施例では、外部から入力される波形制御信号
とほぼ同波形のレーザ出力波形を得ることができる。
【0035】図5は、第2の実施例の制御回路の構成を
示す回路図であり、所望のレーザ出力波形を得るため
に、そのレーザ出力波形と同波形の波形制御信号106
をレベルシフト回路84および85により、若干その振
幅レベルを増減する。つまり、レベルシフト回路84
は、波形制御信号106の振幅レベルを若干増加させ、
そのレベルを上限値としてコンパレータ81に出力す
る。また、レベルシフト回路85は、波形制御信号10
6の振幅レベルを若干減少させ、そのレベルを下限値と
してコンパレータ82に出力する。コンパレータ81は
乗算回路7から出力される電力相当信号103とレベル
シフト回路84から出力される上限値とを比較し、電力
相当信号103が上限値以上となった場合に、フリップ
フロップ83に信号を出力する。コンパレータ82は乗
算回路7から出力される電力相当信号103とレベルシ
フト回路85から出力される下限値とを比較し、電力相
当信号103が下限値以下となった場合に、フリップフ
ロップ83に信号を出力する。フリップフロップ83
は、コンパレータ81から出力される信号によってリセ
ットされ、コンパレータ82から出力される信号によっ
てセットされ、このフリップフロップの出力制御信号1
04は高速スイッチング回路2のスイッチ素子21に対
して出力される。そして、フリップフロップ83がセッ
トされる場合には、スイッチ素子21はONとなり、フ
リップフロップ83がリセットされる場合には、スイッ
チ素子21はOFFとなる。
【0036】このように高速スイッチング回路2のスイ
ッチ素子21がON/OFF制御されるので、レーザ出
力の波形は、制御回路8に入力される波形制御信号10
6の波形とほぼ一致することになる。例えば、図6
(a)に示すような階段状の波形制御信号106が制御
回路8に入力された場合のレーザ出力波形は、図6
(b)に示すような波形となり、幾分の応答遅れはある
ものの、その波形は、ほぼ同一であることがわかる。ま
た、図6(c)に示すようなスロープを有する波形制御
信号106を制御部8に入力した場合であっても、図6
(d)に示すような良好なレーザ出力波形を得ることが
できる。このように、得たいレーザ出力波形と同波形の
制御波形信号106を制御回路8に入力することによ
り、所望のレーザ出力波形を得ることができる。
【0037】次に、本発明のパルス電源装置の第3の実
施例について図1、図7および図8を参照して説明す
る。
【0038】第3の実施例のパルス電源装置も、図1で
示した前述の第1の実施例とは制御回路8の構成および
動作が異なる。そして、本実施例でも前述の第2の実施
例と同様に、外部から入力される波形制御信号106と
ほぼ同波形のレーザ出力波形を得ることができる。
【0039】図7は、第3の実施例における制御回路の
構成を示す回路図であり、図8はコンパレータから出力
される制御信号の出力タイミングを示す波形図である。
そして、本実施例における制御回路8は、コンパレータ
86の判定出力をそのコンパレータ86の正入力端に対
して、抵抗R1およびR2の抵抗値の比で決まる正帰還
を行うことで、そのコンパレータ86を帰還量に応じた
ヒステリシスを有する比較手段として動作させるもので
ある。そして、そのヒステリシスの量によって、波形制
御信号106の上限値および下限値に相当するレベルを
設定し、その上限値および下限値と乗算回路7からの電
力相当信号103とを比較することで前述の第2の実施
例と同様の効果を得ている。
【0040】つまり、図7に示す制御回路8では、乗算
回路7から出力される電力相当信号103をコンパレー
タ86の負入力とし、外部から入力される波形制御信号
106と前述の抵抗R1およびR2の抵抗値の比によっ
て決まる正帰還との加算値をコンパレータ86の正入力
としている。そして、図8(a)および(b)に示すよ
うなタイミングでコンパレータ86から高速スイッチン
グ回路2に対してスイッチ素子21のON/OFF制御
を行う制御信号104を出力する。
【0041】次に、本発明のパルス電源装置の第4の実
施例について図9を参照して説明する。
【0042】第4の実施例は、前述の第1の実施例と比
べて高速スイッチング回路からの出力電流を検出する電
流検出回路の構成が異なる。
【0043】図1に示めすような高速スイッチング回路
2と平滑回路3との間に直列に接続されるシャント抵抗
51の両端の電位差を検出することによって、高速スイ
ッチング回路2からの出力電流を検出する構成では、電
力損失が大きくかつ雑音の影響を受け易いという問題点
がある。また、CT(電流変換器)と呼ばれるトロイダ
ル状コイルの中を貫流する電流を検出する方法では、使
用されている磁性コア材に磁気的ヒステリシスがあるた
め正確な電流検知が難しいという問題点がある。
【0044】そこで、図9に示す本実施例における電流
検出回路5は、平滑回路3のリアクトル31に空芯コイ
ル33を使用し、その空芯コイル33の内部に小芯コイ
ル53を配置し、その小芯コイル53に誘導される電流
信号を検出するというものである。小芯コイル53に誘
導された電流は微小負荷抵抗R3で電圧信号に変換さ
れ、その電圧信号は差動増幅器52で増幅された後、乗
算回路7へ電流検出信号101として出力される。
【0045】このような構成を有する電流検出回路5を
採用すると、ほとんど電力損失もなく、かつ、磁気的飽
和およびヒステリシスの影響を受けずに、正確に電流を
検出できる。
【0046】次に、本発明のパルス電源装置の第5の実
施例について図9および図10を参照して説明する。
【0047】第5の実施例も、前述の第1の実施例と比
べて高速スイッチング回路2からの出力電流を検出する
電流検出回路5の構成が異なるものである。
【0048】図10は、本実施例の電流検出回路の構成
を示す図であり、平滑回路3のリアクトル31に空芯コ
イル33を使用し、その空芯コイル33の内部に小芯コ
イル53を配置している。そして、小芯コイル53に誘
導される電圧信号を高入力抵抗R4、キャパシタCおよ
び差動増幅器54で構成される積分回路55により積分
することによって。リアクトル31に流れている電流を
検出するものである。
【0049】つまり、小芯コイル53には負荷電流がほ
とんど流れないために空芯コイル33に流れる電流の微
分値に相当する信号(電圧信号)がこの小芯コイル53
に誘導される。そして、パルス動作の開始時からセット
/リセット信号107によりスイッチSを開放して電圧
信号の積分を始めることによって、元のリアクトル電流
を忠実に再生し、検出することができる。
【0050】この第5の実施例における電流検出回路に
よっても、前述の第4の実施例の電流検出回路と同様
に、ほとんど電力損失がなく、かつ、磁性コア材による
磁気的飽和およびヒステリシスの影響を受けることがな
く、さらに、外部からのノイズの影響を受けにくいため
に、正確に電流を検出することができる。
【0051】なお、第4および第5の実施例における電
流検出回路において、リアクトル電流検出用の小芯コイ
ル53は、リアクトル、つまり空芯コイル33の内部に
配置すると説明したが、小芯コイル53は空芯コイル3
3の外部に隣接するように配置してもよく、また、空芯
コイル33によって作られる磁界を有効に受けられる範
囲内で有れば特にその配置位置は限定されない。
【0052】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のパルス電
源装置では、高速スイッチング回路からの出力電流と閃
光管への印加電圧との積、つまり、電力相当信号を求
め、この電力相当信号の変化が所望の値と所定範囲内で
等しくなるように、高速スイッチング回路のスイッチ素
子をON/OFF制御することで、レーザ出力の安定性
を向上させることができる。
【0053】さらに、求められた電力相当信号を所望の
波形制御信号と許容差以内で等しくなるようにスイッチ
素子をON/OFF制御することにより、レーザ出力の
安定性の向上だけでなく、波形制御信号の波形に忠実に
対応したレーザ出力波形を得ることができる。したがっ
て、所望の波形のレーザ出力を得たい場合には、波形制
御信号の波形をその得たいレーザ出力波形に対応したも
のに設定するだけで、簡単に、所望のレーザ出力の波形
を制御することができる。
【0054】さらに、コンデンサバンクの充電電圧が変
化した場合であっても、閃光管に供給する印加電力が一
定となるように制御されるので、レーザ出力は所定値に
保持できるという効果もある。
【0055】さらに、高速スイッチング回路のスイッチ
ング動作の速さによってレーザ出力の制御が行われると
ともに、閃光管への印加電圧の立ち上がり/立ち下がり
に生じる遅れを補償するように直流電源からの出力電流
が制御されるために、従来のパルス電源装置と比較して
より高速な応答が可能となるという効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例の構成を示す概略図。
【図2】第1の実施例における制御回路の構成を示す回
路図。
【図3】第1の実施例の動作を説明する波形図。
【図4】第1の実施例におけるコンデンサバンクの充電
電圧と閃光管への印加電力との関係を示す図。
【図5】本発明の第2の実施例における制御回路の構成
を示す回路図。
【図6】第2の実施例において制御回路に入力される波
形制御信号と閃光管への印加電力との関係を示す図。
【図7】本発明の第3の実施例における制御回路の構成
を示す回路図。
【図8】第3の実施例における制御回路の動作を説明す
る波形図。
【図9】本発明の第4の実施例の構成を示す概略図。
【図10】本発明の第5の実施例における電流検出回路
の構成を示す回路図。
【図11】従来のパルス電源装置の構成を示す概略図。
【図12】従来のパルス電源装置におけるコンデンサバ
ンクの充電電圧と閃光管への印加電力との関係を示す
図。
【符号の説明】
1 直流電源 11 充電電源 12 コンデンサバンク 2 高速スイッチング回路 21 スイッチ素子 22 フライホイールダイオード 3 平滑回路 31 リアクトル 32 キャパシタ 33 空芯コイル 4 閃光管 5 電流検出回路 51 シャント抵抗 52 差動増幅器 53 小芯コイル 54 差動増幅器 55 積分回路 6 電圧検出回路 61 分圧器 7 乗算回路 8 制御回路 81、82 コンパレータ 83 フリップフロップ 84、85 レベルシフト回路 86 コンパレータ

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 直流電源の出力を、ON/OFF駆動す
    る高速スイッチング回路およびその高速スイッチング回
    路の出力を平滑化する平滑回路を介して閃光管に供給す
    るパルス電源装置であって、 前記高速スイッチング回路の出力電流を検出する電流検
    出回路と、 前記閃光管に印加される印加電圧を検出する電圧検出回
    路と、 前記電流検出回路によって検出される電流と前記電圧検
    出回路によって検出される電圧との積を算出する乗算回
    路と、 前記乗算回路によって算出された積値にしたがって前記
    高速スイッチング回路を制御する制御回路とを備えるこ
    とを特徴とするパルス電源装置。
  2. 【請求項2】 前記制御回路は、 前記乗算回路によって算出される積値が所望の値と等し
    くなるように前記高速スイッチング回路の接断を制御す
    ることを特徴とする前記請求項1に記載のパルス電源装
    置。
  3. 【請求項3】 前記制御回路は、 前記乗算回路によって算出される積値が前記所望の値よ
    りも所定値以上大きくなった場合に、前記高速スイッチ
    ング回路へスイッチOFF信号を出力し、また、その積
    値が前記所望の値よりも所定値以上小さくなった場合
    に、前記高速スイッチング回路へスイッチON信号を出
    力することを特徴とする前記請求項2に記載のパルス電
    源装置。
  4. 【請求項4】 前記制御回路は、 前記乗算回路によって算出される積値が所望の振幅を有
    する波形制御信号の振幅と等しくなるように前記高速ス
    イッチング回路の接断を制御することを特徴とする前記
    請求項1に記載のパルス電源装置。
  5. 【請求項5】 前記制御回路は、 前記積値が前記波形制御信号の振幅よりも所定値以上大
    きくなった場合に、前記高速スイッチング回路へスイッ
    チOFF信号を出力し、また、その積値が前記波形制御
    信号の振幅よりも所定値以上小さくなった場合に、前記
    高速スイッチング回路へスイッチON信号を出力するこ
    とを特徴とする前記請求項5に記載のパルス電源装置。
  6. 【請求項6】 前記平滑回路は、 前記高速スイッチング回路と直列に接続されるリアクト
    ルと、 そのリアクトルの前記閃光管側の一端と接続され、前記
    高速スイッチング回路と並列に接続されるキャパシタと
    を備えており、 前記電流検出回路は、前記リアクトルに流れる電流を検
    出することを特徴とする前記請求項1に記載のパルス電
    源回路。
  7. 【請求項7】 前記リアクトルとして空芯コイルを用い
    た場合に、 前記電流検出回路は、 前記空芯コイルによる磁界が有効である領域に配置され
    る小空芯コイルと、 この小空芯コイルからの出力信号に基づいて前記リアク
    トルに流れる電流を算出する手段とを備えることを特徴
    とする前記請求項9に記載のパルス電源装置。
  8. 【請求項8】 前記電流検出回路は、 前記空芯コイルによって前記小空芯コイルに誘導される
    電圧信号の積分値を算出する手段を備えることを特徴と
    する前記請求項10に記載のパルス電源装置。
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0876742B1 (de) * 1996-01-26 2002-04-24 Tridonic Bauelemente GmbH Verfahren und elektronische steuerschaltung zum regeln des betriebsverhaltens von gasentladungslampen
DE19632282A1 (de) * 1996-08-09 1998-02-19 Holzer Walter Prof Dr H C Ing Verfahren und Einrichtung zur Helligkeitssteuerung von Leuchtstofflampen
US5969482A (en) * 1998-11-30 1999-10-19 Philips Electronics North America Corporation Circuit arrangement for operating a discharge lamp including real power sensing using a single quadrant multiplier
US6724153B2 (en) * 2002-02-19 2004-04-20 Thales Broadcast & Multimedia, Inc. Apparatus for protection of an inductive output tube (IOT) from stored energy in a linear high voltage power supply (HVPS) and its associated filter circuit during a high voltage arc
JP2005209759A (ja) * 2004-01-21 2005-08-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体レーザ加熱装置およびレーザ加工機
US7310214B2 (en) * 2004-05-27 2007-12-18 Harris Corporation Inductive output tube (IOT) control circuit
US8613741B1 (en) 2006-10-11 2013-12-24 Candela Corporation Voltage bucking circuit for driving flashlamp-pumped lasers for treating skin
FR2926948B1 (fr) * 2008-01-24 2012-11-02 Univ Paris Sud Generateur de flashs lumineux, spectrometre d'absorption utilisant un tel generateur et procede de generation de flashs lumineux
CN104319610B (zh) * 2014-08-27 2017-04-05 华北电力大学(保定) 一种激光器驱动电路
KR101615449B1 (ko) * 2014-09-30 2016-04-25 주식회사 포스코아이씨티 고전압 펄스 스위칭 시스템 및 이를 포함하는 전기 집진장치
CN105680298B (zh) * 2016-04-01 2018-08-10 华北电力大学(保定) 一种软开关激光器驱动电路
CN105742949B (zh) * 2016-04-01 2018-07-17 华北电力大学(保定) 一种大功率激光器的驱动电路
US20190072643A1 (en) * 2017-09-01 2019-03-07 Gardenia Industrial Limited Directional radar transmitting and receiving devices

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07231678A (ja) * 1994-02-14 1995-08-29 Meidensha Corp パルス電源

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4156166A (en) * 1976-08-18 1979-05-22 Royal Industries, Inc. Method and apparatus for saving energy
US4276497A (en) * 1978-04-28 1981-06-30 J. K. Lasers Limited Laser flashtube power supply
DE4015398A1 (de) * 1990-05-14 1991-11-21 Hella Kg Hueck & Co Verfahren und einrichtung zum starten einer hochdruckgasentladungslampe in kraftfahrzeugen
GB9214796D0 (en) * 1992-07-11 1992-08-26 Lumonics Ltd A laser system
JP3079299B2 (ja) * 1993-11-30 2000-08-21 ミヤチテクノス株式会社 パルスレーザ装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07231678A (ja) * 1994-02-14 1995-08-29 Meidensha Corp パルス電源

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