JPH0799765A - リニアモータ - Google Patents

リニアモータ

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Publication number
JPH0799765A
JPH0799765A JP5240829A JP24082993A JPH0799765A JP H0799765 A JPH0799765 A JP H0799765A JP 5240829 A JP5240829 A JP 5240829A JP 24082993 A JP24082993 A JP 24082993A JP H0799765 A JPH0799765 A JP H0799765A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
permanent magnet
slider
guide block
detector
linear motor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5240829A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshiyuki Takushima
義之 宅島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP5240829A priority Critical patent/JPH0799765A/ja
Publication of JPH0799765A publication Critical patent/JPH0799765A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
  • Linear Motors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 サイド予圧をかける静圧空気軸方式のリニア
モータにおいて、サイド予圧用永久磁石に検出スケール
の機能を持たせることにより、小型軽量化を図る。 【構成】 電機子4に対向してスライダ2に固定した界
磁永久磁石5と、スライダ2のサイドヨーク8に固定し
たサイド予圧用永久磁石9と、磁極を検出する検出器1
1とを備え、サイド予圧用永久磁石9の着磁を界磁永久
磁石5のN極・S極の着磁ピッチPと同一に配置し、検
出器11でサイド予圧用永久磁石9の磁極を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はサイド予圧をかける静圧
空気軸受方式のリニアモータに関する。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種のリニアモータは特開平5
−111235号公報に示すようなものがある。
【0003】以下、その構成について図4を参照しなが
ら説明する。図4は従来のサイド予圧をかける静圧空気
軸受方式のリニアモータの断面図である。図4に示すよ
うに、ガイドブロック1にスライド自在にスライダ2を
搭載し、ガイドブロック1のスライダ支持面1a,1
b,1cと対向するスライダ2の静圧空気軸受面2a,
2b,2cに、エア吹出部3a,3b,3cを設けて静
圧空気軸受とする。巻線を施した電機子4はガイドブロ
ック1に固定し、この電機子4に対向して界磁永久磁石
5を界磁ヨーク6を介してスライダ2に固定して、電機
子4に通電することによりスライダ2を駆動する。
【0004】スライダ2の静圧空気軸受面2a,2bの
軸受剛性は、界磁永久磁石5と電機子4の吸引力により
確保し、サイド静圧空気軸受面2cの軸受剛性は、スラ
イダ2とガイドブロック1との温度上昇差および熱膨張
係数差によるサイド静圧空気軸受面ギャップおよび軸受
剛性の変動がないように、磁性体の側壁7に対向してサ
イドヨーク8にサイド予圧用永久磁石9を設け、このサ
イド予圧用永久磁石9と側壁7との吸引力により側面ス
ライダ支持面1cとサイド静圧空気軸受面2cに予圧を
かけ、エアギャップG1の剛性を得るようになってい
る。
【0005】実際にリニアモータを駆動・制御するため
には、界磁永久磁石5の磁極と電機子4の各相巻線との
関係により発生する誘起電圧に対応して電機子4に電流
を流すため両者の位置関係を検出する検出器が必要であ
る。
【0006】そこでスライダ2にスケール13を、そし
てガイドブロック1にプリント基板10を介して検出器
11を取付けて位置を検出していた。一般には界磁永久
磁石5の着磁ピッチと同一ピッチのスケール13とする
が、界磁永久磁石5と電機子4との位置関係が検出でき
ればよいのでこの限りではない。また、スケール13に
スライダ2の可動方向にN極・S極を交互に着磁した永
久磁石を、検出器11にはホール素子やホールICを使
用する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】可動部質量が小さい程
リニアモータの性能は向上するので、サイド予圧用永久
磁石9を固定しているサイドヨーク8の質量を増加する
ことなくスケール13を取付けるには、図4のような従
来構造としていた。
【0008】サイド予圧用永久磁石9の吸引力はできる
だけ大きくしたいため、この漏洩磁束はかなり大きく、
この漏洩磁束の影響を受けないようにスケール13と検
出器11は、サイド予圧用永久磁石9より出来るだけ遠
い位置に配置することとなる。
【0009】このためスケール13、検出器11および
検出器カバー12がリニアモータの側面外側に突出する
構造となり、リニアモータの小型化、軽量化が難しくな
る。
【0010】本発明は上記問題を解決するもので、可動
部質量を増加させることなく、リニアモータの小型化・
軽量化を図ることを目的としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明に係る静圧空気軸
受方式のリニアモータは上記目的を達成するため、ガイ
ドブロックと、このガイドブロック上にスライド自在に
搭載されたスライダと、ガイドブロックに固定された巻
線を施した電機子と、この電機子に対向してスライダに
固定した界磁永久磁石と、ガイドブロックのスライダ支
持面と対向するスライダ面にエア吹出部を設けてサイド
鎮圧空気軸受とし、このサイド静圧空気軸受の両側と反
対の側面に設けられた側壁と対向して、スライダのサイ
ドヨークに固定したサイド予圧用永久磁石と、磁極を検
出する検出器とを備えており、前記サイド予圧用永久磁
石に、界磁永久磁石のN極,S極の着磁ピッチと同一の
着磁を施し、前記検出器により、前記サイド予圧用永久
磁石の磁極を検出するものであり、前記サイド予圧用永
久磁石を検出器のスケールとしても使用するものであ
る。
【0012】
【作用】本発明は上記構成において、サイド予圧用永久
磁石をスケールとし、その漏洩磁束を検出器(ホール素
子またはホールIC)で検出することにより、このホー
ル素子およびホールICを実装するプリント基板をサイ
ドヨークより内側に配置することが可能となり、かつ、
従来の別置のスケールが不要となり、リニアモータの小
型化・軽量化が実現できる。
【0013】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図1,図2および
図3を参照しながら説明する。なお、従来例で説明した
ものと同一構成部材には同一番号を用いその説明を省略
する。
【0014】従来例と異なる点はサイド予圧用永久磁石
9を検出器用のスケールとしても使用するもので、図3
に示すようにサイド予圧用永久磁石9を界磁永久磁石5
のN極・S極の着磁ピッチPが同一になるように着磁す
る。
【0015】このサイド予圧用永久磁石9の漏洩磁束を
検出するように、検出器11をサイド予圧用永久磁石9
に近接して配置する。サイド予圧用永久磁石9のN・S
極が検出器11に近接すると、磁極に対応して検出器1
1の出力の電圧がプラス,マイナスに変化することによ
り、磁極を検出する。
【0016】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明
は、サイド予圧用永久磁石の着磁を界磁永久磁石の着磁
ピッチと同一とし、検出スケールの機能をもたせること
により、従来のマグネットスケールや遮蔽板が不要とな
り、かつ検出器およびプリント基板、そして検出器カバ
ーをサイドヨークより内側に配置可能となり、リニアモ
ータの小型化・軽量化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例のリニアモータの斜視図
【図2】同、リニアモータの断面図
【図3】同、永久磁石の着磁状態を示す斜視図
【図4】従来のリニアモータの断面図
【符号の説明】
1 ガイドブロック 1a,1b,1c ガイドブロックのスライダ支持面 2 スライダ 2a,2b,2c スライダの静圧空気軸受面 3a,3b,3c エア吹出部 4 電機子 5 界磁永久磁石 7 側壁 8 サイドヨーク 9 サイド予圧用永久磁石 11 検出器

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ガイドブロックと、このガイドブロック上
    にスライド自在に搭載されたスライダと、ガイドブロッ
    クに固定された巻線を施した電機子と、この電機子に対
    向してスライダに固定した界磁永久磁石と、ガイドブロ
    ックのスライダ支持面と対向するスライダ面にエア吹出
    部を設けてサイド静圧空気軸受とし、ガイドブロックの
    サイド静圧空気軸受面側と反対の側面に側壁を設け、こ
    の側壁と対向してスライダのサイドヨークに固定したサ
    イド予圧用永久磁石と、磁極を検出する検出器とを備
    え、前記サイド予圧用永久磁石に界磁永久磁石のN極,
    S極の着磁ピッチと同一の着磁を施し、前記検出器でこ
    のサイド予圧用永久磁石の磁極を検出する静圧空気軸受
    方式のリニアモータ。
JP5240829A 1993-09-28 1993-09-28 リニアモータ Pending JPH0799765A (ja)

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