JPH08168232A

JPH08168232A - リニアエンコーダ装置

Info

Publication number: JPH08168232A
Application number: JP33044894A
Authority: JP
Inventors: Masatoyo Sogabe; 正豊曽我部; Mitsuyuki Taniguchi; 満幸谷口; Takuya Maeda; 拓也前田
Original assignee: Fanuc Corp
Current assignee: Fanuc Corp
Priority date: 1994-12-08
Filing date: 1994-12-08
Publication date: 1996-06-25

Abstract

(57)【要約】【目的】リニア同期モータとの機械的接続を不要とす
るリニアエンコーダ装置を提供する。【構成】リニア同期モータの移動状態を検出するリニ
アエンコーダ装置であって、リニア同期モータ２の発生
する磁界を検出する検出部１１をリニア同期モータ側に
一体に備える構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、リニアエンコーダ装置
に関し、特に、リニア同期モータの位置検出を行なうリ
ニアエンコーダ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に電磁力によって直線的な運動ある
いは往復運動を与える駆動装置としてリニア同期モータ
が知られており、また直線的な運動あるいは往復運動を
行なう移動体の位置を求める検出装置としてリニアエン
コーダ装置が知られている。そして、従来のリニア同期
モータにおいては、このリニア同期モータによって移動
した位置や移動速度及び電流位相を決めるための磁極位
置についての情報を得るために、別個の独立したリニア
エンコーダを併設させている。図１０は従来のリニア同
期モータに設置したリニアエンコーダ装置の構成を説明
するための図である。図１０において、リニア同期モー
タ６は複数個のコイル６４が配置された固定部６３と、
永久磁石６２が設置された可動部６１とを備え、固定部
６３側のコイル６４の励磁を順に切り替えることによっ
て可動部６１の駆動を行っている。

【０００３】このリニア同期モータ６の移動位置、移動
速度、磁極位置を知るために、リニアエンコーダ５が併
設される。リニアエンコーダ５は、例えば検出部５４が
配置された固定部５３と、永久磁石５２が設置された可
動部５１とを備え、可動部５１の移動に伴う永久磁石５
２の磁界変化を検出部５４で検出している。そして、こ
のリニアエンコーダ５とリニア同期モータ６とは結合部
７によって機械的に連結し、リニア同期モータ６による
可動部６１の動きをリニアエンコーダ５の可動部５１に
伝えることによって、リニアエンコーダによるリニア同
期モータの移動状態の検出を行なっている。なお、前記
リニア同期モータおリニアエンコーダの構成は一例であ
って、その他種々の構成が知られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
リニアエンコーダ装置においては、リニア同期モータに
対して別個のリニアエンコーダを必要とし、それらを機
械的に接続しなければならないという問題点を有してい
る。このような構成のため、従来のリニアエンコーダ装
置では、装置が大型化し、構成部品の点数が増加すると
いう問題が生じたり、また、リニア同期モータにおける
磁界とリニアエンコーダによる検出出力との間の位相を
合わせるために、両者の位置合わせが必要となるという
問題も生じることになる。そこで、本発明は前記した従
来のリニアエンコーダ装置の問題点を解決して、リニア
同期モータとの機械的接続を不要とするリニアエンコー
ダ装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、リニア同期モ
ータの移動状態を検出するリニアエンコーダ装置であっ
て、リニア同期モータの発生する磁界を検出する検出部
をリニア同期モータ側に一体に備えることにより、前記
目的を達成するものである。本発明のリニアエンコーダ
装置は、リニア同期モータあるいはリニア同期モータに
より駆動される移動体の移動位置や移動速度等の移動情
報を検出するための装置であり、リニア同期モータが発
生する磁界を検出することによって該移動情報を得るも
のである。リニア同期モータが発生する磁界は、リニア
同期モータの移動方向に沿って磁界変化している。本発
明のリニアエンコーダ装置は、該磁界変化を検出するこ
とによってリニア同期モータの移動部分の移動情報を求
めるものである。

【０００６】本発明のリニアエンコーダ装置において、
検出部をリニア同期モータの移動方向に対してリニア同
期モータの可動部の磁界発生部の端部に設置することが
でき、これによって、リニア同期モータの固定部に配設
された磁界発生部の主磁束を検出することができる。ま
た、本発明のリニアエンコーダ装置において、検出部を
リニア同期モータの移動方向に対してリニア同期モータ
の可動部の磁界発生部の側部に設置することができ、こ
れによって、リニア同期モータの固定部に配設された磁
界発生部の横方向の漏れ磁束を検出することができる。

【０００７】また、本発明のリニアエンコーダ装置にお
いて、検出部をリニア同期モータの固定部の磁界発生部
に併設することができ、これによって、リニア同期モー
タの可動部の磁界を検出することができる。また、本発
明のリニアエンコーダ装置において、その磁路の両端が
リニア同期モータの固定部の磁界発生部の異なる位置の
磁極に対向した磁路構成手段と、磁路中に配置され磁路
中の磁界状態を検出する磁気検出手段とを検出部に備え
させることができ、これによって、リニア同期モータの
固定部に配設された磁界発生部の主磁束を検出すること
ができる。

【０００８】

【作用】リニア同期モータを駆動すると、移動部に対す
る固定部側の磁界状態が変化する。本発明のリニアエン
コーダ装置が備えた検出部は、前記リニア同期モータの
磁界変化を検出する。このリニア同期モータの磁界変化
はリニア同期モータにおける移動部の位置や速度等の移
動情報と対応しており、検出部の検出信号によってリニ
ア同期モータの移動情報を求めることができる。リニア
同期モータの移動方向に対してリニア同期モータの可動
部の磁界発生部の端部に設置した検出部は、リニア同期
モータの固定部に配設された磁界発生部の主磁束を検出
する。リニア同期モータが駆動されると可動部は固定部
に対して移動する。この移動によって、固定部側の磁界
発生部からの磁界は強度及び方向が変化する。可動部側
に設けられた検出部はこの磁界変化を、リニア同期モー
タの移動情報として検出することができる。また、可動
部の側部に設けた検出部は、リニア同期モータの固定部
に配設された磁界発生部の漏れ磁束を検出し、該漏れ磁
束の移動に伴う変化を検出することによって、リニア同
期モータの移動情報を検出することができる。

【０００９】また、検出部をリニア同期モータの固定部
の磁界発生部に平行して複数個の磁界検出手段を併設し
ている構成の場合には、リニア同期モータの可動部に近
接した位置にある磁界検出手段が該可動部の磁界を検出
し、可動部の移動情報を求めることができる。また、磁
路中に配置され磁路中の磁界状態を検出する磁気検出手
段を用いる場合には、その磁路の両端がリニア同期モー
タの固定部の磁界発生部の異なる位置の磁極に対向して
おり、移動部の移動に伴って磁路中を通過する磁束の強
度及び方向が変化する。この磁路中の磁束の変化を磁気
検出手段によって検出することにより、移動体の移動情
報を検出することができる。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図を参照しながら
詳細に説明する。（本発明の第１の実施例）はじめに、図１，図２を用い
て本発明のエンコーダ装置を実施する構成例について説
明する。図１は本発明のリニアエンコーダ装置の第１の
実施例の構成を説明する断面図であり、図２は本発明の
リニアエンコーダ装置の第１の実施例の構成を説明する
斜視図である。

【００１１】図１において、リニアエンコーダ装置１は
リニア同期モータ２と一体に形成されて構成されてい
る。第１の実施例におけるリニア同期モータ２は固定子
２３と該固定子２３に対して移動する可動子２１とを備
え、固定子２３は可動子２１の移動方向に延長して形成
されたベースを構成するヨーク２４と該ヨーク２４上に
移動方向に沿って配置された永久磁石２５とを有してい
る。該永久磁石２５は交互に異なる磁極が一定周期で配
置されている。また、可動子２１はコイル２２を有し
て、前記永久磁石２５と一定間隔のギャップ２６を形成
して移動可能に設けられている。また、この可動子２１
にはテーブル３等の移動体を設けることができる。

【００１２】一方、本発明のエンコーダ装置１は可動子
２１側に設けた検出部１１を備えている。検出部１１の
可動子２１における取付け位置は、可動子２１の移動方
向に端部とし、取付け部１２によってリニア同期モータ
２の永久磁石２５に対向するよう設置され、永久磁石２
５が形成する磁界を検出する。検出部１１としては、例
えばホール素子や磁気抵抗素子等の磁気検出手段を用い
ることができる。リニア同期モータ２が駆動すると、可
動子２１は固定子２３に対して移動する。この可動子２
１の移動に伴って、検出部１１付近の磁界の強度及び方
向が変化する。検出部１１はこの磁界の変化を検出し
て、リニア同期モータ２の移動情報を出力する。検出部
１１は可動子２１に隣接して設置されているため、可動
子２１が有するのコイル２２の磁界の影響を受ける可能
性があるが、検出部１１の磁気検出手段の設置位置をコ
イル２２からの磁界の影響を無視するに充分な距離とし
たり、磁気検出手段の設置方向をコイル２２からの磁界
の影響が少なくなる方向とすることによって、永久磁石
２５の磁界変化を有効に検出することができる。

【００１３】（本発明の第２の実施例）次に、図３の本
発明のリニアエンコーダ装置の第２の実施例の構成を説
明する斜視図を用いて説明する。図３の示す第２の実施
例は、検出部１２の設置位置のみ相違し、その他の構成
については前記第１の実施例とほぼ同じである。そこ
で、以下では検出部１２についてのみ説明する。検出部
１２は、リニア同期モータ２の可動子２１の側部に設置
され、リニア同期モータ２の固定子２３側に配置された
永久磁石２５の横方向に形成されている漏れ磁束を検出
することによって、リニア同期モータの移動情報を求め
るものである。

【００１４】（本発明の第３〜第５の実施例）次に、本
発明の第３〜第５の実施例について、図４の（ａ）〜
（ｃ）を用いて説明する。第３〜第５の実施例は、本発
明のリニアエンコーダ装置を構成するリニア同期モータ
２として、固定子側にコイル２７をその移動方向に沿っ
て複数個配置し、可動子側に永久磁石２６を設置するも
のであり、リニアエンコーダ装置の検出部１３〜１５は
リニア同期モータの固定子側に複数個配設するものであ
る。

【００１５】図４の（ａ）において、検出部１３は、リ
ニア同期モータの固定部側にコイル２７に沿って併設す
ることにより構成される。可動子２１側の永久磁石２６
と固定子側のコイル２７及び検出部１３は対向して配置
され、可動子２１の移動に伴ってコイル２７及び検出部
１３らに対する磁界状態が変化する。検出１３はこの磁
界変化を検出することよって、移動子２１の移動情報を
求めることができる。

【００１６】図４の（ｂ）に示す本発明の第４の実施例
は、図４の（ａ）に示す構成のリニアエンコーダ装置に
おいて、コイル２７による検出部１４への影響を防止す
るためにコイル２７と検出部１４との間に磁気シールド
４１を設け、永久磁石２６の磁界をより効率的に検出す
る構成である。

【００１７】また、図４の（ｃ）に示す本発明の第５の
実施例は、図４の（ａ）に示す構成のリニアエンコーダ
装置において、コイル２７による検出部１４への影響を
防止するために検出部１５の設置位置を永久磁石２６に
接近した位置となるよう構成し、永久磁石２６の磁界を
より効率的に検出する構成である。

【００１８】（本発明の第６の実施例）図５は、本発明
のリニアエンコーダ装置の第６の実施例を説明するため
の断面図である。図５に示す第６の実施例は、検出部１
６の構成のみ相違し、その他の構成については前記第１
の実施例とほぼ同じである。そこで、以下では検出部１
６についてのみ説明する。第６の実施例の検出部１６
は、磁気検出手段４２と磁路４３とから構成される。磁
路４３は高い透過磁率を有した磁性材料によって概略コ
の字状の形状に形成した構成要素であり、その一方の端
部である第１磁路端部４４及び他方の端部である第２磁
路端部４５は共に固定子２３側の永久磁石２５にギャッ
プ２６を介して対向している。また、第１磁路端部４４
が対向する永久磁石２５の磁極と第２磁路端部４５の対
向する磁極とは、その極性が異なるように設定されてい
る。

【００１９】さらに、この磁路４３の途中には磁気検出
手段４２が設置され、磁路内を通過する磁束の強度や方
向を検出する。例えば、磁気検出手段４２としてホール
素子を用いる場合には、磁束の強度と共にその磁束方向
を検出することができる。図５では、磁気検出手段４２
を磁路４３の中央部分としているが、磁路４３内であれ
ば任意の位置とすることができる。

【００２０】次に、図７を用いて本発明の第６の実施例
の作用について説明する。なお、図７は固定子側の永久
磁石と可動子側のコイル及び検出部１６との関係のみを
概略的に示し、永久磁石による磁束を実線の矢印により
示し、コイルによる磁束を破線の矢印によって示してい
る。はじめに、可動子と固定子は、図７の（ａ）に示す
ような位置関係にある場合には、第１磁路端部４４は永
久磁石のＮ極と対向し第２磁路端部４５は永久磁石のＳ
極と対向し、永久磁石のＮ極と対向するコイルはＳ極で
ありＳ極と対向するコイルはＮ極である。このとき、磁
気検出手段４２には図中の右方向に永久磁石による磁束
とコイルによる磁束が通過する。したがって、磁気検出
手段４２は図中の右方向の大きな磁界を検出することに
なる。

【００２１】次に、可動子が図の右方向に移動する場合
には、図７の（ｂ）に示すようにコイルの極性が反転し
て、永久磁石のＮ極と対向するコイルの極性もＮ極とな
り、Ｓ極と対向するコイルの極性もＳ極となる。このと
き、磁気検出手段４２においては、永久磁石による磁束
は図中の右方向となり、一方コイルによる磁束は反対に
図中の左方向となる。したがって、磁気検出手段４２は
永久磁石による磁束とコイルによる磁束の差に対応する
小さな磁界強度を検出することになる。さらに、可動子
が図の右方向に移動する場合には、図７の（ｃ）に示す
ように第１磁路端部４４及び第２磁路端部４５は、永久
磁石のＮ極とＳ極との境界部分と対向する位置となる。
このとき、磁気検出手段４２においては、永久磁石によ
る磁束はほぼなくなり、一方コイルによる磁束は図中の
左方向となる。したがって、磁気検出手段４２はコイル
による磁束のみを検出することになる。

【００２２】可動子が図７の（ｄ）に示す位置関係とな
った場合には、第１磁路端部４４は永久磁石のＳ極と対
向し第２磁路端部４５は永久磁石のＮ極と対向し、永久
磁石のＮ極と対向するコイルはＳ極でありＳ極と対向す
るコイルはＮ極である。このとき、磁気検出手段４２に
は図中の左方向に永久磁石による磁束とコイルによる磁
束が通過する。したがって、磁気検出手段４２は図中の
左方向の大きな磁界を検出することになる。前記図７の
（ｄ）の位置から可動子がわずかに移動すると図７の
（ｅ）に示すように、第１磁路端部４４は永久磁石のＳ
極と対向し第２磁路端部４５は永久磁石のＮ極と対向し
たままでコイルの極性が反転して、永久磁石のＮ極と対
向するコイルはＮ極でありＳ極と対向するコイルはＳ極
なる。このとき、磁気検出手段４２においては、永久磁
石による磁束は図中の左方向となり、一方コイルによる
磁束は反対に図中の右方向となる。したがって、磁気検
出手段４２は永久磁石による磁束とコイルによる磁束の
差に対応する小さな磁界強度を検出することになる。

【００２３】さらに可動子が図の右方向に移動すると、
図７の（ｆ）に示すように第１磁路端部４４及び第２磁
路端部４５は、永久磁石のＮ極とＳ極との境界部分と対
向する位置となる。このとき、磁気検出手段４２におい
ては、永久磁石による磁束はほぼなくなり、一方コイル
による磁束は図中の右方向となる。したがって、磁気検
出手段４２はコイルによる磁束のみを検出することにな
る。その後可動子が図の右方向に移動すると、前記図７
の（ａ）に示す位置関係となり、前記した図７の（ａ）
から図７の（ｆ）を繰り返すことになる。したがって、
検出部の検出する磁界の強度及び方向はリニア同期モー
タの移動に伴ってが変化することになり、この検出部の
検出出力によってリニア同期モータの移動情報を求める
ことができる。

【００２４】（本発明の第７の実施例）図６は、本発明
のリニアエンコーダ装置の第７の実施例を説明するため
の断面図である。図６に示す第７の実施例は、検出部１
７の構成のみ相違し、その他の構成については前記第１
及び第６の実施例とほぼ同じである。そこで、以下では
検出部１７についてのみ説明する。

【００２５】第７の実施例の検出部１７は前記第６の実
施例の検出部１６とほぼ同じ構成であり、磁気検出手段
４２と磁路４３とから構成される。磁路４３は高い透過
磁率を有した磁性材料によって概略コの字状の形状に形
成した構成要素であり、その一方の端部である第１磁路
端部４６及び他方の端部である第２磁路端部４７は共に
固定子２３側の永久磁石２５にギャップ２６を介して対
向している。また、第１磁路端部４６が対向する永久磁
石２５の磁極と第２磁路端部４７の対向する磁極とは、
その極性が異なるように設定し、コイルの磁界の影響を
受けない程度の距離に設置されている。また、この磁路
４３の途中には前記第６の実施例と同様に磁気検出手段
４２が設置され、磁路内を通過する磁束の強度や方向を
検出する。例えば、磁気検出手段４２としてホール素子
を用いる場合には、磁束の強度と共にその磁束方向を検
出することができる。図６では、磁気検出手段４２を磁
路４３の中央部分としているが、磁路４３内であれば任
意の位置とすることができる。

【００２６】次に、図８を用いて本発明の第７の実施例
の作用について説明する。なお、図７は固定子側の永久
磁石と可動子側のコイル及び検出部１７との関係のみを
概略的に示し、永久磁石による磁束を実線の矢印により
示し、コイルによる磁束を破線の矢印によって示してい
る。はじめに、可動子と固定子は、図８の（ａ）に示す
ような位置関係にある場合には、第１磁路端部４６は永
久磁石のＳ極と対向し第２磁路端部４７は永久磁石のＮ
極と対向し、永久磁石のＮ極と対向するコイルはＳ極で
ありＳ極と対向するコイルはＮ極である。このとき、磁
気検出手段４２には図中の左方向に永久磁石による磁束
が通過する。したがって、磁気検出手段４２は図中の左
方向の磁界を検出することになる。

【００２７】次に、可動子が図の右方向に移動する場合
には、図８の（ｂ）に示すようにコイルの極性が反転し
て、永久磁石のＮ極と対向するコイルの極性もＮ極とな
り、Ｓ極と対向するコイルの極性もＳ極となる。このと
き、磁気検出手段４２においては、永久磁石による磁束
は図中の左方向となる。したがって、磁気検出手段４２
は図中の左方向の磁界を検出することになる。さらに、
可動子が図の右方向に移動する場合には、図８の（ｃ）
に示すように第１磁路端部４６及び第２磁路端部４７
は、永久磁石のＮ極とＳ極との境界部分と対向する位置
となる。このとき、磁気検出手段４２においては、永久
磁石による磁束はほぼなくなり、磁気検出手段４２の出
力は減少する。

【００２８】可動子が図８の（ｄ）に示す位置関係とな
った場合には、第１磁路端部４６は永久磁石のＮ極と対
向し第２磁路端部４７は永久磁石のＳ極と対向し、永久
磁石のＮ極と対向するコイルはＳ極でありＳ極と対向す
るコイルはＮ極である。このとき、磁気検出手段４２に
は図中の右方向に永久磁石による磁束が通過する。した
がって、磁気検出手段４２は図中の右方向の磁界を検出
することになる。前記図８の（ｄ）の位置から可動子が
わずかに移動すると図８の（ｅ）に示すように、第１磁
路端部４６は永久磁石のＮ極と対向し第２磁路端部４７
は永久磁石のＳ極と対向したままでコイルの極性が反転
して、永久磁石のＮ極と対向するコイルはＮ極でありＳ
極と対向するコイルはＳ極となる。このとき、磁気検出
手段４２においては、永久磁石による磁束は図中の右方
向となり、磁気検出手段４２は永久磁石による磁界を検
出することになる。

【００２９】さらに可動子が図の右方向に移動すると、
図８の（ｆ）に示すように第１磁路端部４６及び第２磁
路端部４７は、永久磁石のＮ極とＳ極との境界部分と対
向する位置となる。このとき、磁気検出手段４２におい
ては、永久磁石による磁束はほぼなくなり、磁気検出手
段４２の出力は減少する。その後可動子が図の右方向に
移動すると、前記図８の（ａ）に示す位置関係となり、
前記した図８の（ａ）から図８の（ｆ）を繰り返すこと
になる。したがって、検出部の検出する磁界の強度及び
方向はリニア同期モータの移動に伴ってが変化すること
になり、この検出部の検出出力によってリニア同期モー
タの移動情報を求めることができる。

【００３０】（本発明の第８の実施例）図９は、本発明
のリニアエンコーダ装置の第８の実施例を説明するため
の断面図である。図９に示す第８の実施例は、多極型Ｌ
ＤＭによるリニア同期モータに本発明のリニアエンコー
ダ装置を適用したものである。リニア同期モータは、永
久磁石を２つのサイドヨーク２８に複数個分割配列し、
該サイドヨーク２８とセンタコア２９との間でコイル２
２Ａとコイル２２Ｂを移動子させる構成である。

【００３１】そして、本発明のリニアエンコーダ装置の
検出部１８は、両サイドヨーク２８の永久磁石間におい
て磁路を形成する磁路４９及び、該磁路４９中に設けら
れる磁気検出手段４８とを含んでいる。磁路４３は高い
透過磁率を有した磁性材料によって形成した構成要素で
あり、その一方の端部である第１磁路端部及び他方の端
部である第２磁路端部は両サイドヨーク２８の永久磁石
にギャップ２６を介して対向し、第１磁路端部が対向す
る永久磁石の磁極と第２磁路端部の対向する磁極とは、
その極性が異なるように設定している。また、この磁路
４９の途中には磁気検出手段４８が設置され、磁路４９
内を通過する磁束の強度や方向を検出する。例えば、磁
気検出手段４８としてホール素子を用いる場合には、磁
束の強度と共にその磁束方向を検出することができる。
なお、磁気検出手段４８を磁路４３内の任意の位置とす
ることができる。

【００３２】図９の（ａ）から図の右方向に移動する
と、磁路の各端部が対向する永久磁石による磁界強度及
び極性が変化する。磁気検出手段４８はこの磁界の変化
を検出することになり、この検出部の検出出力によって
リニア同期モータの移動情報を求めることができる。こ
の実施例の場合には、コイルによる磁界の変化の影響を
減少させることができる。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
リニア同期モータとの機械的接続を不要とするリニアエ
ンコーダ装置を提供するを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のリニアエンコーダ装置の第１の実施例
の構成を説明する断面図である。

【図２】本発明のリニアエンコーダ装置の第１の実施例
の構成を説明する斜視図である。

【図３】本発明のリニアエンコーダ装置の第２の実施例
の構成を説明する斜視図である。

【図４】本発明のリニアエンコーダ装置の第３〜第５の
実施例の構成を説明する斜視図である。

【図５】本発明のリニアエンコーダ装置の第６の実施例
を説明するための断面図である。

【図６】本発明のリニアエンコーダ装置の第７の実施例
を説明するための断面図である。

【図７】本発明のリニアエンコーダ装置の第６の実施例
の作用を説明するための概略図である。

【図８】本発明のリニアエンコーダ装置の第７の実施例
の作用を説明するための概略図である。

【図９】本発明のリニアエンコーダ装置の第８の実施例
を説明するための断面図である。

【図１０】従来のリニア同期モータに設置したリニアエ
ンコーダ装置の構成を説明するための図である。

【符号の説明】

１リニアエンコーダ装置２リニア同期モータ３テーブル１１，１２，１３，１５，１６，１７，１８検出部２１可動子２２コイル２３固定子２４ヨーク２５永久磁石２６ギャップ４２，４８磁気検出手段４３，４９磁路４４，４５，４６，４７磁路端

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】リニア同期モータの移動状態を検出する
リニアエンコーダ装置であって、前記リニア同期モータ
の永久磁石が発生する磁界を検出する検出部をリニア同
期モータ側に一体に備えたことを特徴とするリニアエン
コーダ装置。
【請求項２】前記検出部は、リニア同期モータの移動
方向に対してリニア同期モータの可動部の磁界発生部の
端部に設置することを特徴とする請求項１記載のリニア
エンコーダ装置。
【請求項３】前記検出部は、リニア同期モータの移動
方向に対してリニア同期モータの可動部の磁界発生部の
側部に設置することを特徴とする請求項１記載のリニア
エンコーダ装置。
【請求項４】前記検出部はリニア同期モータの固定部
の磁界発生部に併設することを特徴とする請求項１記載
のリニアエンコーダ装置。
【請求項５】前記検出部は、その磁路の両端がリニア
同期モータの固定部の磁界発生部の異なる位置の磁極に
対向した磁路構成手段と、磁路中に配置され磁路中の磁
界状態を検出する磁気検出手段を備えたことを特徴とす
る、請求項１記載のリニアエンコーダ装置。