JPH0776576B2 - 位置制御用バルブ - Google Patents
位置制御用バルブInfo
- Publication number
- JPH0776576B2 JPH0776576B2 JP63162206A JP16220688A JPH0776576B2 JP H0776576 B2 JPH0776576 B2 JP H0776576B2 JP 63162206 A JP63162206 A JP 63162206A JP 16220688 A JP16220688 A JP 16220688A JP H0776576 B2 JPH0776576 B2 JP H0776576B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- valve
- vibration isolation
- plunger
- import
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K17/00—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves
- F16K17/36—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves actuated in consequence of extraneous circumstances, e.g. shock, change of position
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F9/00—Springs, vibration-dampers, shock-absorbers, or similarly-constructed movement-dampers using a fluid or the equivalent as damping medium
- F16F9/02—Springs, vibration-dampers, shock-absorbers, or similarly-constructed movement-dampers using a fluid or the equivalent as damping medium using gas only or vacuum
- F16F9/04—Springs, vibration-dampers, shock-absorbers, or similarly-constructed movement-dampers using a fluid or the equivalent as damping medium using gas only or vacuum in a chamber with a flexible wall
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
- F16M5/00—Engine beds, i.e. means for supporting engines or machines on foundations
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
- Fluid-Damping Devices (AREA)
- Servomotors (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、基準位置から大きく外れた場合には急激に復
帰動作を行い、基準位置近くになった時に復帰動作が緩
やかになる新規な非線形型の位置制御用方法とその方法
を利用した位置制御用バルブに関する。
帰動作を行い、基準位置近くになった時に復帰動作が緩
やかになる新規な非線形型の位置制御用方法とその方法
を利用した位置制御用バルブに関する。
（従来の技術とその問題点） 一般に、除振装置は基準位置において安定状態になるも
のであるが、基準位置にてその給排気量が急激に大きく
なると不安定になったり、チャタリングを発生し易くな
るものである。そこで、除振装置の位置制御を行うサー
ボ機構の安定をはかるためにオリフィス等を使用して状
態パラメータを安定領域に調整するのが一般的であっ
た。しかしながらこの方法ではオリフィスに規制されて
除振装置の立ち上がりが遅くなったり、作動時間が遅く
なると言う問題点があった。
のであるが、基準位置にてその給排気量が急激に大きく
なると不安定になったり、チャタリングを発生し易くな
るものである。そこで、除振装置の位置制御を行うサー
ボ機構の安定をはかるためにオリフィス等を使用して状
態パラメータを安定領域に調整するのが一般的であっ
た。しかしながらこの方法ではオリフィスに規制されて
除振装置の立ち上がりが遅くなったり、作動時間が遅く
なると言う問題点があった。
（発明の目的） 本発明はかかる従来例の欠点を鑑みて為されたもので、
その目的とする処は基準位置から大きく外れた場合には
シリンダや空気ばねなどの位置制御用アクチュエータ内
の空気の流入・流出量を大きくして急激に復帰動作を行
い、基準位置近くになった時にアクチュエータ内の空気
の流入・流出量を絞り込んで復帰動作を緩やかにして基
準位置への早期復帰とチャタリングを防止した非線形型
の位置制御用バルブを提供するにある。
その目的とする処は基準位置から大きく外れた場合には
シリンダや空気ばねなどの位置制御用アクチュエータ内
の空気の流入・流出量を大きくして急激に復帰動作を行
い、基準位置近くになった時にアクチュエータ内の空気
の流入・流出量を絞り込んで復帰動作を緩やかにして基
準位置への早期復帰とチャタリングを防止した非線形型
の位置制御用バルブを提供するにある。
（問題点を解決するための手段） 本発明は係る問題点を解決するために第１項で； （ａ）除振台本体を支持するシリンダや空気ばねのよ
うな位置制御用アクチュエータに接続されるI/Oポート
と、大気解放用のイグゾーストと、圧縮空気源に接続さ
れるインポートとを有するバルブ本体、（ｂ）該バルブ
本体内にて、上記除振台本体の動きと連動して移動する
プランジャ部、（ｃ）インポートを開閉可能に閉塞する
弁体とを備え、 上記弁体がインポートを閉塞しかつこの弁体に上記プ
ランジャ部が当接しているときは、I/Oポートはイグゾ
ースト及びインポートのいずれもと接続されなく、これ
により除振台本体の基準位置が設定され、負荷減少によ
り除振台本体が基準位置から外れてI/Oポートと大気解
放用のイグゾーストとが接続され、位置制御用アクチュ
エータ内の空気圧が低下して除振台本体が基準位置に復
帰され、逆に、負荷増加時に除振台本体が基準位置から
反対側に外れてI/Oポートとインポートとが接続され、
圧縮空気源から位置制御用アクチュエータに給気されて
除振台本体が基準位置に復帰されるように構成された３
方向弁からなり、 除振台本体の基準位置からのずれが大きい場合はI/O
ポートの給排気量が大きく、基準位置からのずれが小さ
い場合はI/Oポートの給排気量が小さくなるよう、位置
ずれの大きさに対応してI/Oポートの給排気量が変動さ
れる流路構造を設ける。
うな位置制御用アクチュエータに接続されるI/Oポート
と、大気解放用のイグゾーストと、圧縮空気源に接続さ
れるインポートとを有するバルブ本体、（ｂ）該バルブ
本体内にて、上記除振台本体の動きと連動して移動する
プランジャ部、（ｃ）インポートを開閉可能に閉塞する
弁体とを備え、 上記弁体がインポートを閉塞しかつこの弁体に上記プ
ランジャ部が当接しているときは、I/Oポートはイグゾ
ースト及びインポートのいずれもと接続されなく、これ
により除振台本体の基準位置が設定され、負荷減少によ
り除振台本体が基準位置から外れてI/Oポートと大気解
放用のイグゾーストとが接続され、位置制御用アクチュ
エータ内の空気圧が低下して除振台本体が基準位置に復
帰され、逆に、負荷増加時に除振台本体が基準位置から
反対側に外れてI/Oポートとインポートとが接続され、
圧縮空気源から位置制御用アクチュエータに給気されて
除振台本体が基準位置に復帰されるように構成された３
方向弁からなり、 除振台本体の基準位置からのずれが大きい場合はI/O
ポートの給排気量が大きく、基準位置からのずれが小さ
い場合はI/Oポートの給排気量が小さくなるよう、位置
ずれの大きさに対応してI/Oポートの給排気量が変動さ
れる流路構造を設ける。
と言う技術的手段を採用しており、 第２項では； 除振台本体（１）を支持するシリンダや空気ばねなど
の位置制御用アクチュエータ（２）に連通するI/O室
（３）と、圧縮空気源（４）に連通するインポート室
（５）並びに位置制御用アクチュエータ（２）内の空気
を大気解放するイグゾースト室（６）とをバルブ本体
（７）に設け、 インポート室（５）に開口せるI/O室（３）の給気用
開口部（８）にI/O室（３）側に押圧付勢され、I/O室
（３）に向けて次第に細くなるテーパー状の開閉弁（9
a）を開閉自在に配設し、 テーパー状の開閉弁（9a）の細径側に突出したスライ
ド筒部（9a）をI/O室（３）からイグゾースト室（６）
にかけてその外周面が気密状になるように挿通し、 スライド筒部（9a）にイグゾースト室とI/O室（６）
とをつなぐ連通孔（14）を穿設し、 除振台本体（１）の動きに合わせてスライドし、その
挿入端がスライド筒部（9a）から離間する方向に常時付
勢されているプランジャ（10）をイグゾースト室（６）
に配設し、 プランジャ（10）の挿入端に突設せる円錐状弁（10
a）を連通孔（14）のイグゾースト室側開口（14a）に開
閉自在に配設する。
の位置制御用アクチュエータ（２）に連通するI/O室
（３）と、圧縮空気源（４）に連通するインポート室
（５）並びに位置制御用アクチュエータ（２）内の空気
を大気解放するイグゾースト室（６）とをバルブ本体
（７）に設け、 インポート室（５）に開口せるI/O室（３）の給気用
開口部（８）にI/O室（３）側に押圧付勢され、I/O室
（３）に向けて次第に細くなるテーパー状の開閉弁（9
a）を開閉自在に配設し、 テーパー状の開閉弁（9a）の細径側に突出したスライ
ド筒部（9a）をI/O室（３）からイグゾースト室（６）
にかけてその外周面が気密状になるように挿通し、 スライド筒部（9a）にイグゾースト室とI/O室（６）
とをつなぐ連通孔（14）を穿設し、 除振台本体（１）の動きに合わせてスライドし、その
挿入端がスライド筒部（9a）から離間する方向に常時付
勢されているプランジャ（10）をイグゾースト室（６）
に配設し、 プランジャ（10）の挿入端に突設せる円錐状弁（10
a）を連通孔（14）のイグゾースト室側開口（14a）に開
閉自在に配設する。
と言う技術的手段を採用しており、 第３項では； 除振台本体（１）を支持するシリンダや空気ばねなど
の位置制御用アクチュエータ（２）に連通するI/O室
（３）と圧縮空気源（４）に連通するインポート室
（５）並びに空気ばね（２）内の空気を大気解放するイ
グゾースト室（６）とをバルブ本体（７）に設け、 インポート室（５）に開口せるI/O室（３）の給気用
開口部（８）にI/O室（３）側に押圧付勢されている平
板状の開閉弁（9b）を設け、 除振台本体（１）の動きに合わせてI/O室（３）内か
らインポート室（５）側にその挿入端が突出・没入し、
突出時に平板状の開閉弁（9b）をその挿入端面にてイン
ポート室（５）内に押入するプランジャ（10）をバルブ
本体（７）にスライド自在に挿入し、 プランジャ（10）の挿入端の先端部分をI/O室（３）
の内径より若干細い径の大径部（12）として大径部（1
2）とI/O室（３）との間にわずかな間隙を形成し、 プランジャ（10）の大径部（12）に隣接する部分を大
径部（12）より細径の小径部（13）とし、 平板状の開閉弁（9b）に当接するプランジャ（10）の
挿入端面からイグゾースト室（６）に連通する連通孔
（14）をプランジャ（10）に穿設する。
の位置制御用アクチュエータ（２）に連通するI/O室
（３）と圧縮空気源（４）に連通するインポート室
（５）並びに空気ばね（２）内の空気を大気解放するイ
グゾースト室（６）とをバルブ本体（７）に設け、 インポート室（５）に開口せるI/O室（３）の給気用
開口部（８）にI/O室（３）側に押圧付勢されている平
板状の開閉弁（9b）を設け、 除振台本体（１）の動きに合わせてI/O室（３）内か
らインポート室（５）側にその挿入端が突出・没入し、
突出時に平板状の開閉弁（9b）をその挿入端面にてイン
ポート室（５）内に押入するプランジャ（10）をバルブ
本体（７）にスライド自在に挿入し、 プランジャ（10）の挿入端の先端部分をI/O室（３）
の内径より若干細い径の大径部（12）として大径部（1
2）とI/O室（３）との間にわずかな間隙を形成し、 プランジャ（10）の大径部（12）に隣接する部分を大
径部（12）より細径の小径部（13）とし、 平板状の開閉弁（9b）に当接するプランジャ（10）の
挿入端面からイグゾースト室（６）に連通する連通孔
（14）をプランジャ（10）に穿設する。
と言う技術的手段を採用しており、 第４項では； 除振台本体（１）を支持するシリンダや空気ばねなど
の位置制御用アクチュエータ（２）に連通するI/O室
（３）と圧縮空気源（４）に連通するインポート室
（５）並びに空気ばね（２）内の空気を大気解放するイ
グゾースト室（６）とをバルブ本体（７）に設け、 インポート室（５）に開口せるI/O室（３）の給気用
開口部（８）にI/O室（３）側に押圧付勢されている球
状の開閉弁（9c）を設け、 除振台本体（１）の動きに合わせてI/O室（３）内か
らインポート室（５）側にその挿入端が突出・没入し、
突出時に球状の開閉弁（9c）をその挿入端面にインポー
ト室（５）内に押入するプランジャ（10）をバルブ本体
（７）にスライド自在に挿入し、 プランジャ（10）の挿入端の先端部分をI/O室（３）
の内径より若干細い径の大径部（12）として大径部（1
2）とI/O室（３）との間にわずかな間隙を形成し、 プランジャ（10）の大径部（12）に隣接する部分を大
径部（12）より細径の小径部（13）とし、 球状の開閉弁（9c）に当接するプランジャ（10）の挿
入端面からイグゾースト室（６）に連通する連通孔（1
4）をプランジャ（10）に穿設する。
の位置制御用アクチュエータ（２）に連通するI/O室
（３）と圧縮空気源（４）に連通するインポート室
（５）並びに空気ばね（２）内の空気を大気解放するイ
グゾースト室（６）とをバルブ本体（７）に設け、 インポート室（５）に開口せるI/O室（３）の給気用
開口部（８）にI/O室（３）側に押圧付勢されている球
状の開閉弁（9c）を設け、 除振台本体（１）の動きに合わせてI/O室（３）内か
らインポート室（５）側にその挿入端が突出・没入し、
突出時に球状の開閉弁（9c）をその挿入端面にインポー
ト室（５）内に押入するプランジャ（10）をバルブ本体
（７）にスライド自在に挿入し、 プランジャ（10）の挿入端の先端部分をI/O室（３）
の内径より若干細い径の大径部（12）として大径部（1
2）とI/O室（３）との間にわずかな間隙を形成し、 プランジャ（10）の大径部（12）に隣接する部分を大
径部（12）より細径の小径部（13）とし、 球状の開閉弁（9c）に当接するプランジャ（10）の挿
入端面からイグゾースト室（６）に連通する連通孔（1
4）をプランジャ（10）に穿設する。
と言う技術的手段を採用しており、 第５項では； 第２乃至第４項においてプランジャ（10）作動用の作
動アーム（28）の一端をバルブ本体（Ａ）に揺動自在に
支持し、 除振台本体（１）に当接する作動部（29）を作動アー
ム（28）に自由端側に取付位置変更可能に設置する、と
言う技術的手段を採用している。
動アーム（28）の一端をバルブ本体（Ａ）に揺動自在に
支持し、 除振台本体（１）に当接する作動部（29）を作動アー
ム（28）に自由端側に取付位置変更可能に設置する、と
言う技術的手段を採用している。
（作 用） 除振台本体（１）上に機器など負荷を載置すると負荷
に合わせて除振台本体（１）が沈む。
に合わせて除振台本体（１）が沈む。
すると除振装置用バルブ（Ａ）のプランジャ（10）が
除振台本体（１）と共に押し下げられ、プランジャ（1
0）の挿入端が開閉弁（９）を押し下げ、インポート室
（５）とI/O室（３）とを連通する。
除振台本体（１）と共に押し下げられ、プランジャ（1
0）の挿入端が開閉弁（９）を押し下げ、インポート室
（５）とI/O室（３）とを連通する。
するとインポート室（５）からI/O室（３）を通って
アクチュエータ（２）に圧縮空気が供給され、除振台本
体（１）を押し上げる事になる。
アクチュエータ（２）に圧縮空気が供給され、除振台本
体（１）を押し上げる事になる。
ここで、除振台本体（１）の押し下げ量が大きい場合
には急激且つ大量の圧縮空気がアクチュエータ（２）に
流入し、除振台本体（１）を急激に押し上げる。
には急激且つ大量の圧縮空気がアクチュエータ（２）に
流入し、除振台本体（１）を急激に押し上げる。
基準位置（Ｏ）近くまで除振台本体（１）が押し上げ
られるとそれに連れてプランジャ（10）も上昇して開閉
弁（９）がI/O室（３）とインポート室（５）の開口を
次第に閉塞してインポート室（５）からI/O室（３）へ
の圧縮空気の流入を抑制する。その結果、基準位置
（Ｏ）に向けて除振台本体（１）を徐々に押し上げ、基
準位置（Ｏ）にソフトランディングさせる。
られるとそれに連れてプランジャ（10）も上昇して開閉
弁（９）がI/O室（３）とインポート室（５）の開口を
次第に閉塞してインポート室（５）からI/O室（３）へ
の圧縮空気の流入を抑制する。その結果、基準位置
（Ｏ）に向けて除振台本体（１）を徐々に押し上げ、基
準位置（Ｏ）にソフトランディングさせる。
逆に負荷が取り除かれたような場合、除振台本体
（１）が上昇するが上昇量が大きいとプランジャ（10）
が上昇してI/O室（３）のイグゾースト室（６）が連通
してアクチュエータ（２）内の空気が急激に抜けて除振
台本体（１）は急激に降下する。
（１）が上昇するが上昇量が大きいとプランジャ（10）
が上昇してI/O室（３）のイグゾースト室（６）が連通
してアクチュエータ（２）内の空気が急激に抜けて除振
台本体（１）は急激に降下する。
基準位置（Ｏ）の近くになるとプランジャ（10）が下
がり、I/O室（３）とイグゾースト室（６）の連通状態
が次第に閉塞されて空気の抜け方が規制され、前記同様
に基準位置（Ｏ）にソフトランディングする。
がり、I/O室（３）とイグゾースト室（６）の連通状態
が次第に閉塞されて空気の抜け方が規制され、前記同様
に基準位置（Ｏ）にソフトランディングする。
（実施例） 以下、本発明を図示実施例に従って説明する。除振台本
体（１）はシリンダや空気ばねなどの位置制御用アクチ
ュエータ（２）にて支持されており、そのアクチュエー
タ（２）が例えば空気ばねの場合にはゴム製のばね部
（15）と圧力容器（17）とで構成されている。以下、空
気ばねをアクチュエータ（２）として説明するが勿論こ
れに限られるものではない。第１実施例において位置制
御用バルブ（Ａ）のバルブ本体（７）には、空気ばね
（２）内の空気を大気解放するイグゾースト（18）と、
圧縮空気源（４）と接続するインポート（20）と、空気
ばね（２）の圧力容器（17）に接続するI/Oポート（1
9）とが設けられており、更にバルブ本体（７）内にイ
グゾースト（18）と連通するイグゾースト室（６）とI/
Oポート（19）に連通するI/O室（３）とインポート（2
0）に連通するインポート室（５）とが設けられてい
る。インポート室（５）に開口せるI/O室（３）の給気
用開口部（８）にはI/O室（３）側に押圧ばね（21）に
て押圧付勢され、I/O室（３）に向けて次第に細くなる
テーパー状の開閉弁（9a）が開閉自在に配設されてお
り、そのテーパー部分が給気用開口部（８）に挿入され
ている。このテーパー開閉弁（9a）の細径側にはスライ
ド筒部（9d）が突設されており、このスライド筒部（9
d）がI/O室（３）からイグゾースト室（６）にかけてそ
の外周面が気密状になるように挿通されている。スライ
ド筒部（9d）にはイグゾースト室（６）とI/O室（３）
とをつなぐ連通孔（14）が穿設されており、I/O室
（３）に開口するI/O室側開口（3a）の周囲は細径に形
成されており、I/Oポート（19）と連通するようになっ
ている。一方、除振台本体（１）の動きに合わせてスラ
イドし、その挿入端がスライド筒部（9d）から離間する
方向に圧縮ばね（26）にて常時付勢されているプランジ
ャ（10）の一端がイグゾースト室（６）に配設されてい
る。このプランジャ（10）の挿入端には円錘状弁（10
a）が突設されており、連通孔（14）のイグゾースト室
側開口（14a）を開閉するように配設されている。この
プランジャ（10）の突出端には当接棒（25）が螺着され
ていて除振台本体（１）に常時当接している。
体（１）はシリンダや空気ばねなどの位置制御用アクチ
ュエータ（２）にて支持されており、そのアクチュエー
タ（２）が例えば空気ばねの場合にはゴム製のばね部
（15）と圧力容器（17）とで構成されている。以下、空
気ばねをアクチュエータ（２）として説明するが勿論こ
れに限られるものではない。第１実施例において位置制
御用バルブ（Ａ）のバルブ本体（７）には、空気ばね
（２）内の空気を大気解放するイグゾースト（18）と、
圧縮空気源（４）と接続するインポート（20）と、空気
ばね（２）の圧力容器（17）に接続するI/Oポート（1
9）とが設けられており、更にバルブ本体（７）内にイ
グゾースト（18）と連通するイグゾースト室（６）とI/
Oポート（19）に連通するI/O室（３）とインポート（2
0）に連通するインポート室（５）とが設けられてい
る。インポート室（５）に開口せるI/O室（３）の給気
用開口部（８）にはI/O室（３）側に押圧ばね（21）に
て押圧付勢され、I/O室（３）に向けて次第に細くなる
テーパー状の開閉弁（9a）が開閉自在に配設されてお
り、そのテーパー部分が給気用開口部（８）に挿入され
ている。このテーパー開閉弁（9a）の細径側にはスライ
ド筒部（9d）が突設されており、このスライド筒部（9
d）がI/O室（３）からイグゾースト室（６）にかけてそ
の外周面が気密状になるように挿通されている。スライ
ド筒部（9d）にはイグゾースト室（６）とI/O室（３）
とをつなぐ連通孔（14）が穿設されており、I/O室
（３）に開口するI/O室側開口（3a）の周囲は細径に形
成されており、I/Oポート（19）と連通するようになっ
ている。一方、除振台本体（１）の動きに合わせてスラ
イドし、その挿入端がスライド筒部（9d）から離間する
方向に圧縮ばね（26）にて常時付勢されているプランジ
ャ（10）の一端がイグゾースト室（６）に配設されてい
る。このプランジャ（10）の挿入端には円錘状弁（10
a）が突設されており、連通孔（14）のイグゾースト室
側開口（14a）を開閉するように配設されている。この
プランジャ（10）の突出端には当接棒（25）が螺着され
ていて除振台本体（１）に常時当接している。
しかして、除振台本体（１）上の負荷を除いた場合、第
２図に示すように除振台本体（１）が上方に移動する
が、これに追従して圧縮ばね（26）の作用でプランジャ
（10）が引き抜かれる方向に移動し、プランジャ（10）
の円錘状弁（10a）がスライド筒部（9d）に穿設したイ
グゾースト側開口（14a）から離脱してI/O室（３）とイ
グゾースト室（６）とが連通し、空気ばね（２）の圧力
容器（17）内の空気はI/O室（３）から連通孔（14）を
通ってイグゾースト室（６）に抜け、大気解放されて空
気ばね（２）内の圧力が低下する。この時除振台本体
（１）の上昇量が大きい場合にはイグゾースト側開口
（14a）が完全に開口され、その結果空気ばね（２）内
の圧力低下が急激に起こり、除振台本体（１）の降下が
急激に行なわれる事になる。これを第12図の実線（イ）
で示す。除振台本体（１）が基準位置（Ｏ）近くに達す
ると、円錘状弁（10a）がイグゾースト側開口（14a）を
次第に閉塞して行き、空気の流出を抑制する。その結
果、基準位置（Ｏ）に向かって除振台本体（１）は徐々
に降下し、最終的に基準位置（Ｏ）にソフトランディン
グする。この状態が第３図であり、その間の除振台本体
（１）のソフトランディングしている時のI/Oポート（1
9）の給気状態を第12図の（ロ）の領域（傾斜角度が緩
やかになっている部分）で示す。
２図に示すように除振台本体（１）が上方に移動する
が、これに追従して圧縮ばね（26）の作用でプランジャ
（10）が引き抜かれる方向に移動し、プランジャ（10）
の円錘状弁（10a）がスライド筒部（9d）に穿設したイ
グゾースト側開口（14a）から離脱してI/O室（３）とイ
グゾースト室（６）とが連通し、空気ばね（２）の圧力
容器（17）内の空気はI/O室（３）から連通孔（14）を
通ってイグゾースト室（６）に抜け、大気解放されて空
気ばね（２）内の圧力が低下する。この時除振台本体
（１）の上昇量が大きい場合にはイグゾースト側開口
（14a）が完全に開口され、その結果空気ばね（２）内
の圧力低下が急激に起こり、除振台本体（１）の降下が
急激に行なわれる事になる。これを第12図の実線（イ）
で示す。除振台本体（１）が基準位置（Ｏ）近くに達す
ると、円錘状弁（10a）がイグゾースト側開口（14a）を
次第に閉塞して行き、空気の流出を抑制する。その結
果、基準位置（Ｏ）に向かって除振台本体（１）は徐々
に降下し、最終的に基準位置（Ｏ）にソフトランディン
グする。この状態が第３図であり、その間の除振台本体
（１）のソフトランディングしている時のI/Oポート（1
9）の給気状態を第12図の（ロ）の領域（傾斜角度が緩
やかになっている部分）で示す。
逆に、第４図のように除振台本体（１）に荷重が掛かっ
て押し下げられると、プランジャ（10）もこれに追従し
て押し下げられ、押圧ばね（21）に抗してテーパー開閉
弁（9a）も押し下げられる。すると、インポート室
（５）とI/O室（３）とが連通し、インポート室（５）
から圧縮空気源（４）の圧縮空気がI/O室（３）を通っ
て空気ばね（２）の圧力容器（17）に供給される事にな
り、除振台本体（１）を押し上げる方向に作用する。こ
こで、除振台本体（１）押し下げ量が大きい場合にはテ
ーパー状の開閉弁（9a）がインポート室（５）内に大き
く突き出されて給気用開口部（８）が大きく開き、急激
に圧縮空気がI/O室（３）に流入して除振台本体（１）
を急激に押し上げる。この時のI/Oポート（19）の排気
の状態を第12図（ハ）に示す。基準位置（Ｏ）近くまで
除振台本体（１）が押し上げられると、それに連れてプ
ランジャ（10）並びにテーパー開閉弁（9a）も圧縮ばね
（26）並びに押圧ばね（21）の作用でそれぞれ上昇する
が、基準位置（Ｏ）に近付くにつれて給気用開口部
（８）はテーパー状の開閉弁（9a）にて次第に閉塞さ
れ、インポート室（５）からI/O室（３）への圧縮空気
の流入が抑制され、基準位置（Ｏ）に向けて除振台本体
（１）を徐々に押し上げて基準位置（Ｏ）にソフトラン
ディングさせる。この時のI/Oポート（19）の排気状態
が第12図の（ニ）の領域である。（尚、前述の（ロ）の
領域並びに（ニ）の領域は実線のみに表示してあるが他
の２本も同様である。） 次に本発明の第２実施例に付いて説明する。第１実施例
と同一の部分は同一記号を付し説明を省略する。この場
合にはテーパー状の開閉弁（9a）の代わりにインポート
室（５）に開口せるI/O室（３）の給気用開口部（８）
に押圧ばね（21）にてI/O室（３）側に押圧付勢されて
いる板状の開閉弁（9b）が設けられている。又、除振台
本体（１）の動きに合わせてI/O室（３）内からインポ
ート室（５）側にその挿入端が突出・没入し、突出時に
平板状の開閉弁（9b）をその挿入端面にてインポート室
（５）内に押入するようにプランジャ（10）がバルブ本
体（７）にスライド自在に挿入されている。プランジャ
（10）の挿入端の先端部分はI/O室（３）の内径より若
干細い径の大径部（12）としてあって大径部（12）とI/
O室（３）との間にわずかな間隙が形成される。又、プ
ランジャ（10）の大径部（12）に隣接する部分を大径部
（12）より細径の小径部（13）としてあり、平板状の開
閉弁（9b）に当接するプランジャ（10）の挿入端面から
イグゾースト室（６）に連通する連通孔（14）がプラン
ジャ（10）に穿設されている。このプランジャ（10）は
イグゾースト室（６）とI/O室（３）とを貫通するよう
にバルブ本体（７）に挿通されているが、イグゾースト
室（６）とI/O室（３）とは隔壁で仕切られている。一
方、インポート室（５）とI/O室（３）とは平板状の開
閉弁（9b）にて仕切られており、押圧ばね（21）にて開
閉弁（9b）がI/O室（３）側に向けて常時押圧付勢され
ている。プランジャ（10）はI/O室（３）内に位置する
部分の外周面が段状に形成されており、この部分を前述
のように大径部（12）と小径部（13）とする。これら大
径部（12）及び小径部（13）はI/Oポート（19）に連通
するI/O室（３）のI/O開口部（22）の前面を移動するも
のである。又、大径部（12）の底部の角はテーパ（23）
が設けられている。I/O室（３）からイグゾースト室
（６）に開口する連通孔（14）がプランジャ（10）の底
面である挿入端面からプランジャ（10）の中央側面にか
けて穿設されている。このプランジャ（10）の突出端に
は座ナット（24）が螺着してあり、座ナット（24）に当
接棒（25）が螺着されていて除振台本体（１）に当接し
ている。プランジャ（10）は座ナット（24）に当接して
いる圧縮ばね（26）にて引き抜き方向に押圧付勢されて
おり、当接棒（25）が常時除振台本体（１）に当接する
ようになっている。
て押し下げられると、プランジャ（10）もこれに追従し
て押し下げられ、押圧ばね（21）に抗してテーパー開閉
弁（9a）も押し下げられる。すると、インポート室
（５）とI/O室（３）とが連通し、インポート室（５）
から圧縮空気源（４）の圧縮空気がI/O室（３）を通っ
て空気ばね（２）の圧力容器（17）に供給される事にな
り、除振台本体（１）を押し上げる方向に作用する。こ
こで、除振台本体（１）押し下げ量が大きい場合にはテ
ーパー状の開閉弁（9a）がインポート室（５）内に大き
く突き出されて給気用開口部（８）が大きく開き、急激
に圧縮空気がI/O室（３）に流入して除振台本体（１）
を急激に押し上げる。この時のI/Oポート（19）の排気
の状態を第12図（ハ）に示す。基準位置（Ｏ）近くまで
除振台本体（１）が押し上げられると、それに連れてプ
ランジャ（10）並びにテーパー開閉弁（9a）も圧縮ばね
（26）並びに押圧ばね（21）の作用でそれぞれ上昇する
が、基準位置（Ｏ）に近付くにつれて給気用開口部
（８）はテーパー状の開閉弁（9a）にて次第に閉塞さ
れ、インポート室（５）からI/O室（３）への圧縮空気
の流入が抑制され、基準位置（Ｏ）に向けて除振台本体
（１）を徐々に押し上げて基準位置（Ｏ）にソフトラン
ディングさせる。この時のI/Oポート（19）の排気状態
が第12図の（ニ）の領域である。（尚、前述の（ロ）の
領域並びに（ニ）の領域は実線のみに表示してあるが他
の２本も同様である。） 次に本発明の第２実施例に付いて説明する。第１実施例
と同一の部分は同一記号を付し説明を省略する。この場
合にはテーパー状の開閉弁（9a）の代わりにインポート
室（５）に開口せるI/O室（３）の給気用開口部（８）
に押圧ばね（21）にてI/O室（３）側に押圧付勢されて
いる板状の開閉弁（9b）が設けられている。又、除振台
本体（１）の動きに合わせてI/O室（３）内からインポ
ート室（５）側にその挿入端が突出・没入し、突出時に
平板状の開閉弁（9b）をその挿入端面にてインポート室
（５）内に押入するようにプランジャ（10）がバルブ本
体（７）にスライド自在に挿入されている。プランジャ
（10）の挿入端の先端部分はI/O室（３）の内径より若
干細い径の大径部（12）としてあって大径部（12）とI/
O室（３）との間にわずかな間隙が形成される。又、プ
ランジャ（10）の大径部（12）に隣接する部分を大径部
（12）より細径の小径部（13）としてあり、平板状の開
閉弁（9b）に当接するプランジャ（10）の挿入端面から
イグゾースト室（６）に連通する連通孔（14）がプラン
ジャ（10）に穿設されている。このプランジャ（10）は
イグゾースト室（６）とI/O室（３）とを貫通するよう
にバルブ本体（７）に挿通されているが、イグゾースト
室（６）とI/O室（３）とは隔壁で仕切られている。一
方、インポート室（５）とI/O室（３）とは平板状の開
閉弁（9b）にて仕切られており、押圧ばね（21）にて開
閉弁（9b）がI/O室（３）側に向けて常時押圧付勢され
ている。プランジャ（10）はI/O室（３）内に位置する
部分の外周面が段状に形成されており、この部分を前述
のように大径部（12）と小径部（13）とする。これら大
径部（12）及び小径部（13）はI/Oポート（19）に連通
するI/O室（３）のI/O開口部（22）の前面を移動するも
のである。又、大径部（12）の底部の角はテーパ（23）
が設けられている。I/O室（３）からイグゾースト室
（６）に開口する連通孔（14）がプランジャ（10）の底
面である挿入端面からプランジャ（10）の中央側面にか
けて穿設されている。このプランジャ（10）の突出端に
は座ナット（24）が螺着してあり、座ナット（24）に当
接棒（25）が螺着されていて除振台本体（１）に当接し
ている。プランジャ（10）は座ナット（24）に当接して
いる圧縮ばね（26）にて引き抜き方向に押圧付勢されて
おり、当接棒（25）が常時除振台本体（１）に当接する
ようになっている。
しかして、除振台本体（１）上の負荷を軽減した場合乃
至除いた場合には、第５図に示すように除振台本体
（１）が上方に移動するが、これに追従して圧縮ばね
（26）作用でプランジャ（10）が引き抜かれる方向に移
動し、プランジャ（10）の底面が開口弁（９）から離間
してプランジャ（10）の底面開口部（27）が解放され
る。これと同時に大径部（12）がI/O開口部（22）から
上方に外れてI/O開口部（22）を解放する。すると空気
ばね（２）の圧力容器（17）内の空気はI/O室（３）か
ら連通孔（14）を通ってイグゾースト室（６）に抜け、
大気解放されて空気ばね（２）内の圧力が低下する。こ
の時除振台本体（１）の上昇量が大きい場合には大径部
（12）がI/O開口部（22）から完全に外れて開口度が大
きくなり、その結果空気ばね（２）内の圧力低下が急激
に起こり、除振台本体（１）の降下が急激に行なわれる
事になる。除振台本体（１）が基準位置（Ｏ）近くに達
すると、大径部（12）がI/O開口部（22）の前方に位置
（Ｏ）してI/O開口部（22）の開口度を絞り、I/O開口部
（22）からの空気の流出を抑制する。その結果、基準位
置（Ｏ）に向かって除振台本体（１）は徐々に降下し、
最終的に基準位置（Ｏ）にソフトランディングする。逆
に、除振台本体（１）に荷重が掛かって押し下げられる
と、第６図のようにプランジャ（10）もこれに追従して
押し下げられ、押圧ばね（21）に抗して開閉弁（９）を
押し下げる。すると、インポート室（５）とI/O室
（３）とが連通し、インポート室（５）から圧縮空気源
（４）の圧縮空気がI/O室（３）を通って空気ばね
（２）の圧力容器（17）に供給される事になり、除振台
本体（１）を押し上げる方向に作用する。ここで、除振
台本体（１）の押し下げ量が大きい場合にはプランジャ
（10）の挿入端の小径部（13）までインポート室（５）
内に突き出され、径に付いて大きな差のある小径部（1
3）の外径とI/O室（３）の内径との間から急激に圧縮空
気がI/O室（３）に流入し、除振台本体（１）を急激に
押し上げる。基準位置（Ｏ）近くまで除振台本体（１）
が押し上げられると、それに連れてプランジャ（10）も
圧縮ばね（26）の作用で上昇するが、第７図のようにこ
の位置では大径部（12）がI/O室（３）のインポート室
（５）との給気開口部（８）をほとんど閉塞し、インポ
ート室（５）からI/O室（３）への圧縮空気の流入を抑
制する。その結果、基準位置（Ｏ）に向けて除振台本体
（１）を徐々に押し上げ、基準位置（Ｏ）にソフトラン
ディングさせる。
至除いた場合には、第５図に示すように除振台本体
（１）が上方に移動するが、これに追従して圧縮ばね
（26）作用でプランジャ（10）が引き抜かれる方向に移
動し、プランジャ（10）の底面が開口弁（９）から離間
してプランジャ（10）の底面開口部（27）が解放され
る。これと同時に大径部（12）がI/O開口部（22）から
上方に外れてI/O開口部（22）を解放する。すると空気
ばね（２）の圧力容器（17）内の空気はI/O室（３）か
ら連通孔（14）を通ってイグゾースト室（６）に抜け、
大気解放されて空気ばね（２）内の圧力が低下する。こ
の時除振台本体（１）の上昇量が大きい場合には大径部
（12）がI/O開口部（22）から完全に外れて開口度が大
きくなり、その結果空気ばね（２）内の圧力低下が急激
に起こり、除振台本体（１）の降下が急激に行なわれる
事になる。除振台本体（１）が基準位置（Ｏ）近くに達
すると、大径部（12）がI/O開口部（22）の前方に位置
（Ｏ）してI/O開口部（22）の開口度を絞り、I/O開口部
（22）からの空気の流出を抑制する。その結果、基準位
置（Ｏ）に向かって除振台本体（１）は徐々に降下し、
最終的に基準位置（Ｏ）にソフトランディングする。逆
に、除振台本体（１）に荷重が掛かって押し下げられる
と、第６図のようにプランジャ（10）もこれに追従して
押し下げられ、押圧ばね（21）に抗して開閉弁（９）を
押し下げる。すると、インポート室（５）とI/O室
（３）とが連通し、インポート室（５）から圧縮空気源
（４）の圧縮空気がI/O室（３）を通って空気ばね
（２）の圧力容器（17）に供給される事になり、除振台
本体（１）を押し上げる方向に作用する。ここで、除振
台本体（１）の押し下げ量が大きい場合にはプランジャ
（10）の挿入端の小径部（13）までインポート室（５）
内に突き出され、径に付いて大きな差のある小径部（1
3）の外径とI/O室（３）の内径との間から急激に圧縮空
気がI/O室（３）に流入し、除振台本体（１）を急激に
押し上げる。基準位置（Ｏ）近くまで除振台本体（１）
が押し上げられると、それに連れてプランジャ（10）も
圧縮ばね（26）の作用で上昇するが、第７図のようにこ
の位置では大径部（12）がI/O室（３）のインポート室
（５）との給気開口部（８）をほとんど閉塞し、インポ
ート室（５）からI/O室（３）への圧縮空気の流入を抑
制する。その結果、基準位置（Ｏ）に向けて除振台本体
（１）を徐々に押し上げ、基準位置（Ｏ）にソフトラン
ディングさせる。
本発明の第３実施例は第２実施例とほぼ同様であるが、
第２実施例の平板状の開閉弁（9b）に対して第３実施例
は球状の開閉弁（9c）を用いた点、並びにテーパー状に
形成された給気用開口部（8a）にたけのこ状の押圧ばね
（21a）にてI/O室（３）側に押圧付勢されている点が相
違するもので、この場合には大径部（12）と小径部（1
3）の存在で給気開口部（８）の球状の開閉弁（9c）に
よる閉塞時の空気供給量の変化がより基準位置（Ｏ）に
向かって滑らかになり、その結果平板状の開閉弁（9b）
よりもより滑らかなソフトランデングを行う事になる。
第２実施例の平板状の開閉弁（9b）に対して第３実施例
は球状の開閉弁（9c）を用いた点、並びにテーパー状に
形成された給気用開口部（8a）にたけのこ状の押圧ばね
（21a）にてI/O室（３）側に押圧付勢されている点が相
違するもので、この場合には大径部（12）と小径部（1
3）の存在で給気開口部（８）の球状の開閉弁（9c）に
よる閉塞時の空気供給量の変化がより基準位置（Ｏ）に
向かって滑らかになり、その結果平板状の開閉弁（9b）
よりもより滑らかなソフトランデングを行う事になる。
尚、球状の開閉弁（9c）のテーパー状の給気用開口部
（8a）への当接又は離脱直前の隙間の変化が平板状の開
閉弁（9b）に比べてより緩慢になり、第11図のように基
準位置（Ｏ）前後の角度の小さいソフトランデング領域
（ロ）（ニ）の距離が長くなり、より安定なソフトラン
ディングが可能になるものである。図において実線は球
状の開閉弁（9c）であり、破線は平板状の開閉弁（9b）
である。
（8a）への当接又は離脱直前の隙間の変化が平板状の開
閉弁（9b）に比べてより緩慢になり、第11図のように基
準位置（Ｏ）前後の角度の小さいソフトランデング領域
（ロ）（ニ）の距離が長くなり、より安定なソフトラン
ディングが可能になるものである。図において実線は球
状の開閉弁（9c）であり、破線は平板状の開閉弁（9b）
である。
尚、第10,11図において縦軸はI/Oポート（19）における
給・排気量を示し、横軸はストロークを示し、（Ｏ）は
基準位置である。
給・排気量を示し、横軸はストロークを示し、（Ｏ）は
基準位置である。
このように本発明の第１〜３実施例のバルブ（Ａ）は、
基準位置（Ｏ）からある一定量外れると急激な復帰動作
が取られ、基準位置（Ｏ）近くになると極めてゆっくり
とした復帰動作を取る非線形動作を行うものであり、こ
れにより除振台本体（１）のチャタリングなしによる基
準位置（Ｏ）への早期復帰が実現出来るものである。
基準位置（Ｏ）からある一定量外れると急激な復帰動作
が取られ、基準位置（Ｏ）近くになると極めてゆっくり
とした復帰動作を取る非線形動作を行うものであり、こ
れにより除振台本体（１）のチャタリングなしによる基
準位置（Ｏ）への早期復帰が実現出来るものである。
尚、位置制御用バルブ（Ａ）を除振台本体（１）のレベ
ル復帰に用いた場合を中心に説明したが、勿論これに限
られず水平位置での基準位置（Ｏ）への復帰用に用いる
事も出来るものである。
ル復帰に用いた場合を中心に説明したが、勿論これに限
られず水平位置での基準位置（Ｏ）への復帰用に用いる
事も出来るものである。
又、第12図のように第１〜３実施例のバルブ（Ａ）にお
いてプランジャ（10）作動用の作動アーム（28）の一端
をバルブ本体（Ａ）に揺動自在に支持し、除振台本体
（１）に当接する作動部（29）を作動アーム（28）に自
由端側に取付位置変更可能に設置してもよく、この場合
は作動部（29）から支点（30）までの距離と、プランジ
ャ（10）から支点（30）間での距離との比率でソフトラ
ンディングの特性を調節する事が出来るものである。即
ち、作動点（29）までの距離が長くなればなる程第10図
の一点鎖線又は２点鎖線のように収束時間の長さが２
倍、３倍と変化し、作動点（29）までの長さを適宜選択
する事により、適用機器に最適なソフトランデング状態
を与える事が可能になるものである。
いてプランジャ（10）作動用の作動アーム（28）の一端
をバルブ本体（Ａ）に揺動自在に支持し、除振台本体
（１）に当接する作動部（29）を作動アーム（28）に自
由端側に取付位置変更可能に設置してもよく、この場合
は作動部（29）から支点（30）までの距離と、プランジ
ャ（10）から支点（30）間での距離との比率でソフトラ
ンディングの特性を調節する事が出来るものである。即
ち、作動点（29）までの距離が長くなればなる程第10図
の一点鎖線又は２点鎖線のように収束時間の長さが２
倍、３倍と変化し、作動点（29）までの長さを適宜選択
する事により、適用機器に最適なソフトランデング状態
を与える事が可能になるものである。
（効果） 本発明は叙上のような制御方法並びにこの制御方法を実
現出来る構造を採用しているので、負荷減少により除振
台本体が基準位置から外れるとI/Oポートと大気解放用
のイグゾーストとが接続し、位置制御用アクチュエータ
内の空気圧が低下して除振台本体が基準位置に復帰し、
逆に負荷増加時に除振台本体が基準位置から反対側に外
れるとI/Oポートとインポートとが接続し、圧縮空気源
から位置制御用アクチュエータに給気して除振台本体が
基準位置に復帰するのであるが、位置ずれの大きさに対
応してI/Oポートの給排気量を変動するために基準位置
から大きく外れると給排気量が増大して急激に基準位置
に向かって復帰し、基準位置に近付いた処で給排気量が
絞られて基準位置への復帰動作が緩やかになり、最後に
基準位置にソフトランディングするものであって基準位
置への急速復帰とチャタリング防止が実現出来るもので
ある。
現出来る構造を採用しているので、負荷減少により除振
台本体が基準位置から外れるとI/Oポートと大気解放用
のイグゾーストとが接続し、位置制御用アクチュエータ
内の空気圧が低下して除振台本体が基準位置に復帰し、
逆に負荷増加時に除振台本体が基準位置から反対側に外
れるとI/Oポートとインポートとが接続し、圧縮空気源
から位置制御用アクチュエータに給気して除振台本体が
基準位置に復帰するのであるが、位置ずれの大きさに対
応してI/Oポートの給排気量を変動するために基準位置
から大きく外れると給排気量が増大して急激に基準位置
に向かって復帰し、基準位置に近付いた処で給排気量が
絞られて基準位置への復帰動作が緩やかになり、最後に
基準位置にソフトランディングするものであって基準位
置への急速復帰とチャタリング防止が実現出来るもので
ある。
第１図…本発明の使用状態を説明する正面図 第２〜４図…本発明の第１実施例のバルブの作動状態を
示す断面図 第５〜７図…本発明の第２実施例のバルブの作動状態を
示す断面図 第８図…本発明の第３実施例のバルブの作動状態を示す
断面図 第９図…本発明の作動点を変えた場合の制御時における
ソフトランディングの収束状態を示す比較グラフ 第10図…第９図の給・排気量とストロークとの関係を示
すグラフ 第11図…本発明の開閉弁の相違による制御状態を比較し
たグラフ 第12図…本発明のバルブにアームを設けた場合の正面図 （Ａ）……位置制御用バルブ、（Ｏ）……基準位置 （１）……除振台本体、（２）……空気ばね （３）……I/O室、（４）……圧縮空気源 （５）……インポート室、（６）……イグゾースト室 （７）……バルブ本体、（８）……給気用開口部 （8a）……テーパー状の給気用開口部 （９）……開閉弁、（9a）……テーパ状の開閉弁 （9b）……板状の開閉弁、（9c）……球状の開閉弁 （9d）……スライド筒部、（10）……プランジャ （10a）……円錘状弁 （12）……大径部、（13）……小径部 （14）……連通孔、（14a）……イグゾースト側開口 （15）……ばね部、（17）……圧力容器 （18）……イグゾースト、（19）……I/Oポート （20）……インポート、（21）……押圧ばね （22）……I/O開口部、（23）……テーパ （24）……座ナット、（25）……当接棒 （26）……圧縮ばね、（27）……底面開口部 （28）……作動アーム、（29）……作動部 （30）……支点
示す断面図 第５〜７図…本発明の第２実施例のバルブの作動状態を
示す断面図 第８図…本発明の第３実施例のバルブの作動状態を示す
断面図 第９図…本発明の作動点を変えた場合の制御時における
ソフトランディングの収束状態を示す比較グラフ 第10図…第９図の給・排気量とストロークとの関係を示
すグラフ 第11図…本発明の開閉弁の相違による制御状態を比較し
たグラフ 第12図…本発明のバルブにアームを設けた場合の正面図 （Ａ）……位置制御用バルブ、（Ｏ）……基準位置 （１）……除振台本体、（２）……空気ばね （３）……I/O室、（４）……圧縮空気源 （５）……インポート室、（６）……イグゾースト室 （７）……バルブ本体、（８）……給気用開口部 （8a）……テーパー状の給気用開口部 （９）……開閉弁、（9a）……テーパ状の開閉弁 （9b）……板状の開閉弁、（9c）……球状の開閉弁 （9d）……スライド筒部、（10）……プランジャ （10a）……円錘状弁 （12）……大径部、（13）……小径部 （14）……連通孔、（14a）……イグゾースト側開口 （15）……ばね部、（17）……圧力容器 （18）……イグゾースト、（19）……I/Oポート （20）……インポート、（21）……押圧ばね （22）……I/O開口部、（23）……テーパ （24）……座ナット、（25）……当接棒 （26）……圧縮ばね、（27）……底面開口部 （28）……作動アーム、（29）……作動部 （30）……支点
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−10133（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−86401（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−170802（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭58−49002（ＪＰ，Ｕ)
Claims (5)
- 【請求項１】（ａ）除振台本体を支持するシリンダや空
気ばねのような位置制御用アクチュエータに接続される
I/Oポートと、大気解放用のイグゾーストと、圧縮空気
源に接続されるインポートとを有するバルブ本体、 （ｂ）該バルブ本体内にて、上記除振台本体の動きと連
動して移動するプランジャ部、 （ｃ）インポートを開閉可能に閉塞する弁体 とを備え、 上記弁体がインポートを閉塞しかつこの弁体に上記プラ
ンジャ部が当接しているときは、I/Oポートはイグゾー
スト及びインポートのいずれもと接続されなく、これに
より除振台本体の基準位置が設定され、 負荷減少により除振台本体が基準位置から外れてI/Oポ
ートと大気解放用のイグゾーストとが接続され、位置制
御用アクチュエータ内の空気圧が低下して除振台本体が
基準位置に復帰され、 逆に、負荷増加時に除振台本体が基準位置から反対側に
外れてI/Oポートとインポートとが接続され、圧縮空気
源から位置制御用アクチュエータに給気されて除振台本
体が基準位置に復帰され るように構成された３方向弁からなり、 除振台本体の基準位置からのずれが大きい場合はI/Oポ
ートの給排気量が大きく、基準位置からのずれが小さい
場合はI/Oポートの給排気量が小さくなるよう、位置ず
れの大きさに対応してI/Oポートの給排気量が変動され
る流路構造を有する事を特徴とする位置制御用バルブ。 - 【請求項２】除振台本体を支持するシリンダや空気ばね
などの位置制御用アクチュエータに連通するI/O室と、
圧縮空気源に連通するインポート室並びに位置制御用ア
クチュエータ内の空気を大気解放するイグゾースト室と
をバルブ本体に設け、インポート室に開口せるI/O室の
給気用開口部にI/O室側に押圧付勢され、I/O室に向けて
次第に細くなるテーパー状の開閉弁を開閉自在に配設す
ると共にテーパー状の開閉弁の細径側に突出したスライ
ド筒部をI/O室からイグゾースト室にかけてその外周面
が気密状になるように挿通し、スライド筒部にイグゾー
スト室とI/O室とをつなぐ連通孔を穿設し、除振台本体
の動きに合わせてスライドし、その挿入端がスライド筒
部から離間する方向に常時付勢されているプランジャを
イグゾースト室に配設し、プランジャの挿入端に突設せ
る円錐状弁を連通孔のイグゾースト室側開口に開閉自在
に配設して成る事を特徴とする位置制御用バルブ。 - 【請求項３】除振台本体を支持するシリンダや空気ばね
などの位置制御用アクチュエータに連通するI/O室と、
圧縮空気源に連通するインポート室並びに空気ばね内の
空気を大気解放するイグゾースト室とをバルブ本体に設
け、インポート室に開口せるI/O室の給気用開口部にI/O
室側に押圧付勢されている平板状の開閉弁を設け、除振
台本体の動きに合わせてI/O室内からインポート室側に
その挿入端が突出没入し、突出時に平板状の開閉弁をそ
の挿入端面にてインポート室内に押入するプランジャを
バルブ本体にスライド自在に挿入し、プランジャの挿入
端の先端部分をI/O室の内径より若干細い大径部とし、
大径部とI/O室との間にわずかな間隙を形成すると共に
プランジャの大径部に隣接する部分を大径部より細径の
小径部とし、平板状の開閉弁に当接するプランジャの挿
入端面からイグゾースト室に連通する連通孔をプランジ
ャに穿設して成る事を特徴とする位置制御用バルブ。 - 【請求項４】除振台本体を支持するシリンダや空気ばね
などの位置制御用アクチュエータに連通するI/O室と、
圧縮空気源に連通するインポート室並びに空気ばね内の
空気を大気解放するイグゾースト室とをバルブ本体に設
け、インポート室に開口せるI/O室の給気用開口部にI/O
室側に押圧付勢されている球状の開閉弁を設け、除振台
本体の動きに合わせてI/O室内からインポート室側にそ
の挿入端が突出没入し、突出時に球状の開閉弁をその挿
入端面にてインポート室内に押入するプランジャをバル
ブ本体にスライド自在に挿入し、プランジャの挿入端の
先端部分をI/O室の内径より若干細い大径部とし、大径
部とI/O室との間にわずかな間隙を形成すると共にプラ
ンジャの大径部に隣接する部分を大径部より細径の小径
部とし、球状の開閉弁に当接するプランジャの挿入端面
からイグゾースト室に連通する連通孔をプランジャに穿
設して成る事を特徴とする位置制御用バルブ。 - 【請求項５】プランジャ作動用の作動アームの一端をバ
ルブ本体に摺動自在に支持し、除振台本体に当接する作
動部を作動アームの自由端側に取次位置変更可能に設置
して成る事を特徴とする特許請求の範囲第２乃至４項に
記載の位置制御用バルブ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63162206A JPH0776576B2 (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | 位置制御用バルブ |
| KR1019890008292A KR930006500B1 (ko) | 1988-06-28 | 1989-06-16 | 밸브에 의한 위치 제어방법과 그 방법을 사용한 위치 제어용 밸브 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63162206A JPH0776576B2 (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | 位置制御用バルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0212000A JPH0212000A (ja) | 1990-01-17 |
| JPH0776576B2 true JPH0776576B2 (ja) | 1995-08-16 |
Family
ID=15749989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63162206A Expired - Lifetime JPH0776576B2 (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | 位置制御用バルブ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0776576B2 (ja) |
| KR (1) | KR930006500B1 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03104545U (ja) * | 1990-02-15 | 1991-10-30 | ||
| KR100482066B1 (ko) * | 2002-05-21 | 2005-04-13 | 현대자동차주식회사 | 자동차의 배기 브레이크 장치 |
| JP2006220442A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Fujikura Rubber Ltd | レベリングバルブ装置 |
| JP4486521B2 (ja) * | 2005-02-08 | 2010-06-23 | 藤倉ゴム工業株式会社 | レベリング調整装置 |
| JP2006292147A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Kurashiki Kako Co Ltd | 気体ばね式除振装置 |
| JP5325062B2 (ja) * | 2009-09-29 | 2013-10-23 | 倉敷化工株式会社 | 制御弁の駆動機構 |
| JP5296142B2 (ja) * | 2011-05-09 | 2013-09-25 | ピー・エス・シー株式会社 | 車両用自動高さ調整弁 |
| JP2015132337A (ja) * | 2014-01-14 | 2015-07-23 | オリンパス株式会社 | 除振台及び基盤検査装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5849002U (ja) * | 1981-09-30 | 1983-04-02 | 株式会社日立製作所 | パイロツト弁 |
| JPS60168933A (ja) * | 1984-02-09 | 1985-09-02 | Bridgestone Corp | 防振架台 |
| JPS6110133A (ja) * | 1984-06-23 | 1986-01-17 | Yakumo Kogyo Kk | 自動制振装置 |
| JPH0440003Y2 (ja) * | 1986-04-22 | 1992-09-18 | ||
| JPS6386401U (ja) * | 1986-11-26 | 1988-06-06 | ||
| JPH01250640A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-05 | Showa Electric Wire & Cable Co Ltd | 除振台 |
-
1988
- 1988-06-28 JP JP63162206A patent/JPH0776576B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-06-16 KR KR1019890008292A patent/KR930006500B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0212000A (ja) | 1990-01-17 |
| KR930006500B1 (ko) | 1993-07-16 |
| KR910001295A (ko) | 1991-01-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5085124A (en) | Directional control valve for pneumatic cylinder | |
| JPS5847338Y2 (ja) | 電磁式流体圧力制御弁 | |
| US4646532A (en) | Expansion valve | |
| KR0130578B1 (ko) | 유압 파이롯트 밸브 장치 | |
| JPS6192378A (ja) | 弁 | |
| JPH0585777B2 (ja) | ||
| JPH0776576B2 (ja) | 位置制御用バルブ | |
| JPS62187932U (ja) | ||
| JPS594584B2 (ja) | 電磁式に作動される方向制御弁 | |
| US20100193038A1 (en) | Pneumatic actuator with a position control and position adjustment | |
| US4345736A (en) | Solenoid operated valve and dashpot assembly | |
| JP3476593B2 (ja) | パイロット型電磁弁 | |
| JPH05211017A (ja) | スイッチの接点を開閉するための圧力媒体駆動装置 | |
| US5261314A (en) | Directional control valve for pneumatic cylinder | |
| JPH0710088Y2 (ja) | 空圧シリンダ | |
| JP2020041606A (ja) | 流量制御弁 | |
| JP2528037Y2 (ja) | 切換機構付圧力調整弁 | |
| JP3429436B2 (ja) | 開閉弁の状態表示装置 | |
| JP2526909Y2 (ja) | 圧力調整弁 | |
| JPH0325080U (ja) | ||
| JPS62110Y2 (ja) | ||
| EP0345382A1 (en) | Mechanically and pneumatically operable valve | |
| JPH0428290Y2 (ja) | ||
| JP2001041335A (ja) | 油圧制御弁 | |
| JPS599292Y2 (ja) | 圧力制御弁の騒音防止装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070816 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080816 Year of fee payment: 13 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |