JP4486521B2 - レベリング調整装置 - Google Patents
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Description
図3に示されるように本発明のレベリング調整装置1を含むレベリングシステムは、例えば、流体圧力源2、減圧弁3、圧力計4、レベリング調整装置1およびアクチュエータ5を順次備えて構成されている。
図4に示されるレベリングバルブ本体10は、図1に示されるレベリングバルブ本体10を90度右旋回させた状態で描かれており、図4の縦方向が図1の水平方向に対応している。図4に示されるようにレベリングバルブ本体10は、その主軸方向に沿って内装配置された主軸作動バー12、排気弁機構部、および主弁機構部を有している。
図4に示されるようにアーム90がニュートラル位置にある時には、主弁部31は主弁バネ33に上方に押されて閉じている。そのため、内部空間エリアPを介して一次側流体F1から二次側流体F2への流体の流れはない。
本発明のレベリング調整装置1を使用するシステムでは、上述したように3点またはそれ以上の点でレベリング対象物7を支え、各点で位置制御をそれぞれ行なっている。
上述してきたレベリングバルブ本体と、これに連結されるアームとの関係は、図7に示されるに変形された構造体に置換してもよい。
2…流体圧力源
5…アクチュエータ
9…レベリングバルブ
10…レベリングバルブ本体
12…主軸作動バー
14…排気弁部材
14a…排気弁シート部
16…排気バネ
21…一次側配管口
25…二次側配管口
29…排気口
30…弁棒
31…主弁部
33…主弁バネ
35…排気弁部
40…主弁部材
41…主弁シート部
45…固定リング
51…垂下バー
52…第1の係合体
61…固定部材
62…第2の係合体
70…延設バー
80…支点部位(支点)
90…アーム
91…作用点部位(作用点)
95…力点部位(力点)
Claims (9)
- レベリング対象物の傾き情報を伝達するためにレベリング対象物に取り付けられた第1の係合体と、この第1の係合体と係合しつつ第1の係合体からの傾き情報を受け取りつつレベリング調整のための圧力制御を行なうレベリングバルブとを有するレベリング調整装置であって、
前記レベリングバルブは、レベリング調整のための圧力制御を行なうとともに実質的な作用点となる主軸作動バーを備えるレベリングバルブ本体と、このレベリングバルブ本体に取り付けられるとともに実質的に主軸作動バーの軸方向への移動作用を行なわせるように支点部位および力点部位を有するアームと、アームの力点部位に連結されるとともに前記第1の係合体と摺動可能に接する第2の係合体とを有し、
前記レベリングバルブ本体は、その主軸方向が実質的に水平となるように配置されており、
前記第1の係合体と前記第2の係合体による略鉛直方向の摺動可能領域によって実質的なレベリング対象物の略鉛直方向の可動範囲が設定されてなることを特徴とするレベリング調整装置。 - 前記レベリングバルブ本体は、その主軸方向に沿って内装された、前記主軸作動バー、排気弁機構部、および主弁機構部を有し、
前記主弁機構部は、レベリングバルブ本体に形成された一次側配管口に連通される一次側流体と、レベリングバルブ本体に形成された二次側配管口に連通される二次側流体との流通のオンーオフ作用をなし、
前記排気弁機構部は、レベリングバルブ本体に形成された二次側配管口に連通される二次側流体と、レベリングバルブ本体に形成された排気口に連通される外部雰囲気との流通のオン−オフ作用をなしてなる請求項1に記載のレベリング調整装置。 - 前記レベリングバルブ本体には、一次側配管口と二次側配管口を連通させるに際しておよび二次側配管口と排気口を連通するに際して介在される内部空間エリアを有し、
一次側配管口と内部空間エリアを連通させる途中の主軸方向には、主弁部および排気弁部を有する弁棒と、主弁シート部を備える主弁部材とが介在されており、
前記弁棒は、主弁バネによってシールを可能とする主軸方向に付勢されており、
前記内部空間エリアには、前記主軸作動バーの一端に固定された排気弁シート部を有する排気弁部材が存在しており、当該排気弁部材と主弁部材との間には排気弁部材を弁棒から離すように付勢する排気バネが介在されており、
前記排気弁部材および主軸作動バーは、その内部に中間内部空間と外部雰囲気を連通させることができる連通孔を有し、
前記主軸作動バーは主軸方向に摺動可能になっており、当該主軸作動バーの他端部は、実質的に前記作用点部位で前記アームと当接してなるように配置される請求項2に記載のレベリング調整装置。 - 前記排気弁機構部は、弁棒に形成された排気弁部と、排気弁部材に形成された排気弁シート部の離接動作によって、弁の開閉が行われるようになっており、
前記主弁機構部は、弁棒に形成された主弁部と、主弁部材に形成された主弁シート部の離接動作によって、弁の開閉が行われるよう構成されてなる請求項3に記載のレベリング調整装置。 - 前記アームは、支点部位と力点部位との間に、実質的に主軸作動バーの軸方向への移動作用がなされる作用点部位を備えてなるように構成される請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のレベリング調整装置。
- 前記アームは、支点部位と実質的に主軸作動バーの軸方向への移動作用がなされる作用点部位との間に、力点部位を備えてなるように構成される請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のレベリング調整装置。
- 請求項1ないし請求項6のいずれかに記載のレベリング調整装置を、露光対象となる基板を設置する基台の水平調整のために備えてなることを特徴とする除振台。
- 請求項1ないし請求項6のいずれかに記載のレベリング調整装置を、露光対象となる基板を設置する基台の水平調整のために備えてなることを特徴とする液晶露光装置。
- 請求項1ないし請求項6のいずれかに記載のレベリング調整装置を、露光対象となる基板を設置する基台の水平調整のために備えてなることを特徴とする半導体製造装置。
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