JPH0762339A - 蛍光体膜およびその作製方法 - Google Patents

蛍光体膜およびその作製方法

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JPH0762339A
JPH0762339A JP5213641A JP21364193A JPH0762339A JP H0762339 A JPH0762339 A JP H0762339A JP 5213641 A JP5213641 A JP 5213641A JP 21364193 A JP21364193 A JP 21364193A JP H0762339 A JPH0762339 A JP H0762339A
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phosphor
composition
paste composition
substrate
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Kaoru Torigoe
薫 鳥越
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Fuji Xerox Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 蛍光体膜は、基板上に、少なくとも1種類の
有機金属化合物を含むペースト組成物を印刷あるいは塗
布し、これを焼成、熱分解させることにより形成され
る。 【効果】 大幅なプロセス、コストの削減をはかれるだ
けでなく、高純度の有機金属化合物やペースト組成を安
定化、均質化するための添加剤などを用いることにより
組成制御が容易に行え、さらに欠陥などのない蛍光体膜
を容易に作製できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、蛍光体膜およびその作
製方法に関する。
【0002】
【従来の技術】蛍光体は、蛍光灯、ブラウン管のスクリ
ーン、シンチレーション計数管、蛍光表示管(VF
D)、プラズマディスプレイパネル(PDP)、エレク
トロルミネッセンスディスプレイ(ELD)など多くの
用途に用いられている。
【0003】このような用途に用いられている蛍光体
は、ほとんどの場合、高温での固相反応(焼成)により
合成されている。その従来の合成工程では、よく精製さ
れた母体、付活剤、融剤などの原料を混合した後、るつ
ぼに入れ、炉中で焼成し、反応終了後、適当な方法で粉
砕し、さらに粗大粒子や微粒子を除くための分級を行
う。その後、洗浄、表面処理、ふるい分けを行ない蛍光
体粉末としている。さらに、この蛍光体粉末をスラリー
法、印刷法などにより蛍光体膜とすることにより各種用
途に用いている(蛍光体ハンドブック オーム社 参
照)。
【0004】しかし、ELDの場合には、欠陥が無く、
結晶性の高い、緻密な蛍光体膜(発光層)が要求される
ため、前述の方法に代えて、電子蒸着法やスパッタリン
グ法等によって蛍光体膜が形成されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従来から用いられてい
る固相反応による蛍光体の作製は、高温を必要とする反
応プロセスを含む多段階のプロセスを必要とし、しかも
蛍光体に必要な高純度の材料、また微量成分(付活剤)
の添加量を制御することが難しく、さらに粉砕などを経
ると発光率の低下をもたらし、目的とする粒径以外の粒
子を除くため収率が低下してしまうなどの問題点があっ
た。また、前述したようなディスプレイなどの用途のた
めには薄膜化するための別途工程が必要であり、しかも
均一に蛍光体膜を作製しなければならないため、コス
ト、品質上多くの問題点を抱えていた。
【0006】本発明の目的は、前述したような従来技術
の問題点を解消しうるような蛍光体膜およびその作製方
法を提供することである。
【0007】本発明の一つの特徴によれば、基板上に、
少なくとも1種類の有機金属化合物を含むペースト組成
物を印刷あるいは塗布し、これを焼成、熱分解させるこ
とにより形成された蛍光体膜が提供される。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の別の特徴によれ
ば、基板を用意し、少なくとも1種類の有機金属化合物
を含むペースト組成物を調製し、前記基板上に前記ペー
スト組成物を印刷あるいは塗布し、該基板上に印刷ある
いは塗布されたペースト組成物を焼成し、熱分解させて
蛍光体膜を形成する各工程を含む蛍光体膜の作製方法が
提供される。
【0009】
【作用】本発明により作製した蛍光体膜は、純度の高い
材料系を厳密に制御された割合で混合することができる
ため組成制御された高純度の蛍光体膜を容易に作製でき
る。また、膜厚や組成ばらつきが少なく、しかも発光効
率の高い蛍光体膜を少ない工程で効率良く作製できるだ
けでなく、製造工程および作製コストの大幅な削減が期
待できる。
【0010】
【実施例】次に、添付図面に基づいて、本発明の実施例
について本発明をより詳細に説明する。
【0011】本発明は、少なくとも1種類の有機金属化
合物を含むペースト組成物を基板に印刷あるいは塗布
し、これを焼成、熱分解させることにより蛍光体膜を作
製するものであり、用いる有機金属化合物は、減圧蒸
留、昇華、再結晶など通常の有機化合物の精製方法と同
様の方法により高純度化することが容易であり、また、
これらを有機溶媒に溶解させ液体化することにより付活
剤などの微量成分を制御よく均一に添加することが可能
である。
【0012】また、本発明によれば、粉砕などの微粒子
化工程を含まず、しかも増粘剤、成膜調製剤などの添加
剤を加えることにより多くの用途に適したペーストとす
ることができる。ペースト化、印刷(あるいは塗布)、
焼成の三工程のみで蛍光体膜が作製できる。しかも、ペ
ースト化のための添加剤や焼成条件を最適化することに
より膜厚や組成ばらつきの少ない緻密な蛍光体膜を作製
できる。そのため、従来は電子線蒸着法やスパッタリン
グ法などにより作製されてきたELD用などの蛍光体膜
も本発明の方法により作製できるようになる。
【0013】先ず、本発明の具体的な実施例について説
明する前に、本発明において用いる各種物質、材料等の
例について説明しておく。
【0014】本発明で用いる有機金属化合物としては、
従来から知られている公知の化合物を任意に選ぶことが
できる。例えば、金属アルコシド、オクチル酸塩、ナフ
テン酸塩、金属アセチルアセトナートなどから構成され
るものであればよい。
【0015】蛍光体膜を構成するものとしては、Ca、
W、Ba、Si、Zn、Cd、P、Sr、Mg、As、
Ge、Y、V、Ga、Pb、Mn、Ti、Sn、Eu、
Er、Sm、Tm、Tb、Dy、Al、Nd、Ce、B
i、Fe、S、Ag、Cu、F、Cl、Br、I、H
f、Tl、B、Na、Be、K、In、Pt、Ru、I
r、Pd、Rh、Co、Niなどを含むものである。
【0016】ペーストを構成する添加剤として、増粘剤
としてはニトロセルロース、カルボキシメチルセルロー
スなどのセルロース系、ポリエチレン、ポリスチレン、
ポリプロピレン、ポリメチルメタクリレート、ポリエチ
ルメタクリレート、ポリカーボネートなどの汎用ポリマ
ー、レジン、アスファルトなどの天然高分子化合物が挙
げられる。添加量としては5〜50wt%程度が好まし
い。
【0017】成膜調製剤としては、ステアリン酸、アラ
キジン酸、リノール酸、リノレン酸などの脂肪酸、フタ
ル酸ジブチル、フタル酸ジオクチルなどのフラル酸エス
テルなどが挙げられる。添加量としては、5〜50wt
%程度が好ましい。
【0018】金属有機化合物などを溶解、あるいは希釈
する有機溶媒としては、オクタン、デカン、トリデカン
などの脂肪族炭化水素、トルエン、キシレンなどの芳香
族炭化水素、塩化メチレン、クロロベンゼンなどのハロ
ゲン化炭化水素、エタノール、ブタノール、ターピネオ
ール、エチレングリコールなどのアルコール類、アセト
ン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノンなどのケト
ン類、ジエチルエーテル、テトラヒドロフランなどのエ
ーテル類、酢酸エチル、酢酸ベンジルなどのエステル類
などが利用できる。溶液の濃度としては、固形分比が5
〜50wt%の範囲が好ましい。
【0019】基板としては、ソーダガラス、ホウケイ酸
ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、PLZT、P
ZT、BaTiO3 、MgO、Si、GaAs、ITO
基板などの無機基板やポリイミド、ポリフェニレンサル
ファイド、ポリアミドなどの耐熱性樹脂基板などが利用
できる。
【0020】ペーストの塗布方法としては、例えば、バ
ーコート塗布、スピンコート塗布、スプレー塗布、ディ
ップ塗布、ロール塗布などの方法が挙げられ、ペースト
の印刷方法としては、スクリーン印刷などの方法が挙げ
られる。
【0021】これら塗布膜または印刷膜の焼成、熱分解
方法としてはマッフル炉、ベルト炉、赤外炉などの電気
炉中で、用いるペースト材料(有機金属化合物、添加
剤、溶媒)の熱分解温度以上であれば良いが、熱分解を
完全に行ない、焼成後の膜の酸化状態などを安定化させ
るためには350〜1500°Cの焼成温度で、30分
〜10時間程度焼成することが好ましい。焼成温度が低
い場合は、熱分解が不充分となり結晶化が進まず発光効
率が低下する場合があり、高過ぎる場合は、基板との反
応が進行し、発光効率が低下する場合がある。焼成時間
としては、10時間以上行ってもかまわないが、特に、
10時間以上行う必要はない。また、焼成雰囲気として
は、水素、水蒸気中などの還元性雰囲気、硫化水素など
の反応性雰囲気、減圧下などが挙げられる。
【0022】焼成後の膜厚は、粘度、塗布印刷方法など
により異なるが、あまり厚過ぎると亀裂など欠陥が発生
するため、一度の塗布、焼成では、0.01〜1μm程度
の膜厚が好ましい。これ以上の膜厚が必要な場合には、
塗布、焼成を繰り返すことによりいくらでも厚膜化する
ことができる。
【0023】焼成後、蛍光体膜の結晶性向上や膜中の欠
陥の低減をはかるために熱処理を行うこともできる。熱
処理温度としては400°C〜1500°C程度で、熱
処理時間としては30分〜10時間程度が好ましい。
【0024】次に、本発明の具体的な実施例について説
明する。
【0025】実施例1 蛍光ランプ ナフテン酸Ba、2−エチルヘキサン酸Mg、2−エチ
ルヘキサン酸Al、トリス(ピバロイルトリフルオロア
セトナト)Euを原子比で、BaMgAl16O24:
Eu0.01となるように配合した。この組成物をAとす
る。組成物Aをもとにして下記組成で蛍光体ペースト組
成物を作製した。 蛍光体ペースト組成物 組成物A 1重量部 ポリブチルメタクリレート 1重量部 (10wt% ターピネオール溶液) フタル酸ジオクチル 1重量部 リノール酸 1重量部
【0026】上記蛍光体ペースト組成物を蛍光ランプ用
バルブに塗布し、室温で約10分間乾燥した後、500
°Cの炉中で窒素気流下約30分間焼成した。このよう
にして得たバルブに既知の方法により電極を封入し排気
し充填ガスを満たし、エージングを施し、λmax が45
0nm発光色青色の蛍光ランプを得た。
【0027】実施例2 蛍光ランプ 2−エチルヘキサン酸Y、ナフテン酸V、2−エチルヘ
キサン酸Biを原子比でYVO4:Bi0.02となるよ
うに配合した。この組成物をAとする。組成物Aをもと
にして下記組成で蛍光体ペースト組成物を作製した。 蛍光体ペースト組成物 組成物A 1重量部 ポリメチルメタクリレート 1重量部 (10wt% THF溶液) フタル酸ジオクチル 1重量部 リノレン酸 0.5重量部
【0028】大気中で焼成した他は実施例1と同様の方
法により蛍光ランプを得た。λmaxが565nm、発光
色は白色であった。
【0029】実施例3 PDP(プラズマディスプレイ
パネル) 2−エチルヘキサン酸Y、トリス(ピバロイルトリフル
オロアセトナト)Euを原子比でY2O3:Eu0.01
となるように配合した。この組成物をAとする。Aをも
とにして下記組成で蛍光体ペースト組成物を作製した。 蛍光体ペースト組成物 組成物A 1重量部 ポリエチルメタクリレート 1重量部 (10wt% THF溶液) フタル酸ジオクチル 1重量部 リノール酸 1重量部
【0030】図1に部分拡大断面図にて示すように、厚
さ2mmの耐熱性のガラス基板11に、ITOを蒸着、フ
ォトリソグラフィーによりストライプ状の電極(陽極)
12を設けた。この電極12上に低融点ガラスからなる
絶縁層13をスクリーン印刷法により作製し、保護層1
4としてMgO膜を蒸着により作製した。さらに、その
上層に蛍光体ペーストを塗布し、室温で10分間乾燥
後、500°C、1時間焼成し、蛍光体膜15を作製
し、これを、表面板10とした。
【0031】同様のガラス基板21にNiを蒸着、フォ
トリソグラフィーにより上記ITOの電極12と互いに
相対し、かつ交差するように電極(陰極)22を作製し
た。この上層に上記と同様の方法により絶縁層23、保
護層24を順次積層し、裏面板20とした。
【0032】表面板10と裏面板20とを封着、排気
後、Neガス(Arを数%混入したもの)を封入、その
後封止を行ないPDPを作製した。電極12と電極22
との間に100V/50kHzの交流電圧を印加したと
ころ赤色の発光を確認した。
【0033】実施例4 PDP ナフテン酸Ba、2−エチルヘキサン酸Al、2−エチ
ルヘキサン酸Mnを原子比でBaAl12O19:Mn
0.01となるように配合した。この組成物をAとする。
ナフテン酸Ba、2−エチルヘキサン酸Mg、2−エチ
ルヘキサン酸Mg、2−エチルヘキサン酸Al、トリス
(ピバロイルトリフルオロアセトナ)Euを原子比でB
aMgAl14O23:Eu0.01となるように配合し
た。この組成物をBとする。
【0034】A、Bそれぞれの組成物を用いた他は実施
例3と同様の方法により、それぞれの蛍光体ペースト組
成物を作製した。また、実施例3と同様の方法によりP
DPを作製した。
【0035】組成物AおよびBから作製したPDPは、
それぞれ緑色、青色の発光を示した。なお、実施例3、
4では、三種類の蛍光体膜をそれぞれ別々のPDPとし
て作製したが、各々の蛍光体膜を一枚のPDPの蛍光体
膜として例えば、ストライプ状、あるいはドット状に配
置し、交差する電極列でプラズマ発光させることにより
カラープラズマディスプレイとして動作させることがで
きる。
【0036】実施例5 VFD(蛍光表示管) 下記組成で蛍光体ペースト組成物を作製した。 蛍光体ペースト組成物 2−エチルヘキサン酸亜鉛 1重量部 ポリブチルメタクリレート 1重量部 (10wt% ターピネオール溶液) フタル酸ジブチル 1重量部 リノール酸 0.5重量部
【0037】図2に拡大概略断面図にて示すように、上
記蛍光体ペースト組成物をセラミック基板31により指
示されたアルミニウムの陽極プレート32にディップ塗
布し、室温で30分間乾燥後、500°Cの炉中で1時
間焼成し、蛍光体膜33を作製した。次に、タングステ
ン線状ヒーターを酸化物で被覆してなる陰極34を陽極
プレート32上の蛍光体膜33に対向させて配置し、こ
の一対の電極32、34を硬質ガラス容器35中に設置
した後、容器35内の排気を行ない、真空度が10−3
Pa程度で封止を行ない、蛍光表示管を得た。この蛍光
表示管は、陽極プレート電圧80V、陰極電圧1V、電
流50mAとすることによりピーク波長505nm 2
ft−Lの緑色発光を得た。
【0038】実施例6 薄膜EL素子 2−エチルヘキサン酸Y、トリスアセチルアセトナトT
bを原子比でY2O3:Tb0.01になるように配合し
た。この組成物をAとする。Aをもとにして下記組成で
蛍光体ペースト組成物を作製した。 蛍光体ペースト組成物 組成物A 1重量部 ポリブチルメタクリレート 0.8重量部 (10wt% ターピネオール溶液) フタル酸ジオクチル 1重量部 リノール酸 1重量部
【0039】ガラス基板上に透明導電膜としてITOが
ストライプ状に配置されている基板にスパッタリング法
によりTa2O5薄膜を0.1μm着膜し、絶縁層を形成
した。次に、上記組成物をスピンコートし、600°C
の炉中で大気中、1時間焼成し、蛍光体膜を作製した。
さらに、この上層に上記と同様の絶縁膜を形成し、最後
に透明導電膜と交差するようにマスクを用いてアルミニ
ウム膜を0.5μm抵抗加熱法で着膜し、二重絶縁層構造
をもつ薄膜EL素子を作製した。この薄膜EL素子に1
KHzの交流を印加したところ200Vで緑色のEL発
光を確認した。
【0040】実施例7 薄膜EL素子 実施例6の蛍光体ペースト組成物のなかでトリスアセチ
ルアセトナトTbのかわりにトリスアセチルアセトナト
Tmを用いる他は実施例と同様にして、蛍光体組成物を
作製し、さらにこの蛍光体ペースト組成物を用いた他は
実施例6と同様の方法により薄膜EL素子を作製した。
この薄膜EL素子に1KHzの交流を印加したところ2
00Vで青色のEL発光を確認した。
【0041】実施例8 薄膜EL素子 実施例6の蛍光体ペースト組成物のなかでトリスアセチ
ルアセトナトTbのかわりにトリス(ピバロイルトリフ
ルオロアセトナト)Euを用いる他は実施例6と同様に
して、蛍光体組成物を作製し、さらにこの蛍光体ペース
ト組成物を用いた他は実施例6と同様の方法により薄膜
EL素子を作製した。この薄膜EL素子に1KHzの交
流を印加したところ200Vで赤色のEL発光を確認し
た。
【0042】実施例6、7、8ではそれぞれのペースト
組成物を用いて緑、青、赤に発光する薄膜EL素子を作
製したが、これらの蛍光体ペースト組成物を同一の透明
導電膜にストライプ状、あるいはドット状に形成し、そ
れぞれを独立に駆動することによりカラー薄膜EL素子
を作製できる。
【0043】
【発明の効果】本発明は、従来蛍光体粉末を高温プロセ
スを含む多段階のプロセスで作製し、さらに膜状にする
ための印刷プロセスを必要とした蛍光体膜の作製プロセ
スに対して、少なくとも1種類の有機金属化合物を含む
ペースト組成物を基板に印刷あるいは塗布し、これを焼
成、熱分解させることにより蛍光体膜を作製することに
より、大幅なプロセス、コストの削減をはかれるだけで
なく、高純度の有機金属化合物やペースト組成を安定
化、均質化するための添加剤などを用いることにより組
成制御が容易に行え、さらに欠陥などのない蛍光体膜を
容易に作製できる。
【0044】本発明により蛍光体膜を必要とするあらゆ
るデバイスにとって大幅なコストダウンと発光特性をは
じめとするデバイス特性の向上がはかれ、蛍光体膜の利
用にとって大きな効果を発揮するものと考えられる。
【0045】次に、本発明による蛍光体膜を各種機器に
適用した場合における種々な利点について、機器別に述
べる。
【0046】先ず、蛍光灯に利用した場合には、次のよ
うな利点がある。 (1)蛍光体粉末をあらかじめ作製する必要がなく、ペ
ーストから印刷、乾燥、焼成のプロセスにより蛍光体膜
ができ、工程数が少なくてすむ。 (2)原料を高純度化することができ、また微量元素を
均一に混合できるため発光効率の向上をはかれる。この
ため、より薄い膜厚で、同一発光輝度が得られるため材
料の利用効率が高い。 (3)緻密で欠陥の少ない蛍光体膜ができるため紫外線
やプラズマ、電子線、イオンなどの衝撃に対する強度が
高いため輝度の低下が少なく長寿命化がはかれる。
【0047】次に、VFDに利用した場合には、次のよ
うな利点がある。 (1)蛍光灯に利用した場合と同様の利点がある。 (2)厚膜ペースト(蛍光体粉末をペースト化したも
の)に比べて均一性が高く、より高精細なパターンの蛍
光体膜が作製可能である。
【0048】PDPに利用した場合には、次のような利
点がある。 (1)蛍光灯、VFDに利用した場合と同様の利点があ
る。 (2)ペースト材料の選択により電極、絶縁層、保護
層、蛍光体層の全層作製が可能である。
【0049】ELDに利用した場合には、次のような利
点がある。 (1)蛍光灯、PDP、VFDに利用した場合と同様の
利点がある。 (2)結晶性の高い蛍光体膜ができるため発光開始電圧
の低減ができ、高価な駆動用ICが必要でなくなる。 (3)欠陥が少ないため絶縁耐圧が向上する。 (4)ペースト材料の選択により電極、絶縁層、蛍光体
層の全層作製が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による蛍光体膜を使用したプラズマディ
スプレイの部分拡大断面図である。
【図2】本発明による蛍光体膜を使用した蛍光表示管の
部分概略断面図である。
【符号の説明】
10 表面板 11 ガラス基板 12 電極(陽極) 13 絶縁層 14 保護層 15 蛍光体膜 20 裏面板 21 ガラス基板 22 電極(陰極) 23 絶縁層 24 保護層 31 セラミック基板 32 陽極プレート 33 蛍光体膜 34 陰極 35 硬質ガラス容器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01J 9/227 F 7250−5E 11/02 B 17/04 31/15 E 61/42 C

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に、少なくとも1種類の有機金属
    化合物を含むペースト組成物を印刷あるいは塗布し、こ
    れを焼成、熱分解させることにより形成されたことを特
    徴とする蛍光体膜。
  2. 【請求項2】 基板を用意し、少なくとも1種類の有機
    金属化合物を含むペースト組成物を調製し、前記基板上
    に前記ペースト組成物を印刷あるいは塗布し、該基板上
    に印刷あるいは塗布されたペースト組成物を焼成し、熱
    分解させて蛍光体膜を形成することを特徴とする蛍光体
    膜の作製方法。
JP5213641A 1993-08-30 1993-08-30 蛍光体膜およびその作製方法 Pending JPH0762339A (ja)

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