JPH0755424A - 光電式位置測定装置 - Google Patents
光電式位置測定装置Info
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- JPH0755424A JPH0755424A JP6077321A JP7732194A JPH0755424A JP H0755424 A JPH0755424 A JP H0755424A JP 6077321 A JP6077321 A JP 6077321A JP 7732194 A JP7732194 A JP 7732194A JP H0755424 A JPH0755424 A JP H0755424A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
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-
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、光電式位置測定装置を、反射鏡
とレンズの数を最小にし、調整コストを低下させ、容易
よ要求に適合し、かつ故障のないように構成することを
目的とする。 【構成】 集積された光学的干渉計において光５は連
結格子によって２つの部分光束（０. 、１. ）とに分割
され、その一方（１. ）は光導波体１ａに入射しかつ他
方の連結格子３に送られ、そして第２の部分光束（０.
）は平面鏡６を介して第２連結格子３に送られかつそ
こで第１の部分光束（１. ）と干渉し、そして第２の連
結格子３は相互に位相のずれた部分格子３ａ、３ｂ、３
ｃに分割され、その結果相互に位相のずれた信号が検出
器７ａ、７ｂ、７ｃによって発生されられることを特徴
とする光電式位置測定装置。
とレンズの数を最小にし、調整コストを低下させ、容易
よ要求に適合し、かつ故障のないように構成することを
目的とする。 【構成】 集積された光学的干渉計において光５は連
結格子によって２つの部分光束（０. 、１. ）とに分割
され、その一方（１. ）は光導波体１ａに入射しかつ他
方の連結格子３に送られ、そして第２の部分光束（０.
）は平面鏡６を介して第２連結格子３に送られかつそ
こで第１の部分光束（１. ）と干渉し、そして第２の連
結格子３は相互に位相のずれた部分格子３ａ、３ｂ、３
ｃに分割され、その結果相互に位相のずれた信号が検出
器７ａ、７ｂ、７ｃによって発生されられることを特徴
とする光電式位置測定装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光源（４；４２；４
３）と、少なくとも２つの回折された部分光束（０. 、
１. ；０. ２、１. ２；＋１. ３、−１. ３）の発生の
ための少なくとも1 つの格子（２；２２；６３）と、少
なくとも1 つの導波体（１ａ；１ａ２；１ａ３）とから
成る２つの対象物の相対位置の測定のための光電式位置
測定装置にして、その際導波体（１ａ；１ａ２；１ａ
３）は、少なくとも1 つの平面内に少なくとも２つの空
間的に分離された格子（２、３；２２、３２；２３、３
３）を有し、格子は連結格子として、連結格子（２；３
２；２３）の１つによって部分光束（１. ；０. ２；−
１. ３）の少なくとも1 つが導波体（１ａ；１ａ２；１
ａ３）に入射しかつ他の連結格子（３；２２；３３）に
送られるように形成されており、そして他の連結格子
（３；２２；３３）によって部分光束（０. ；１. ２；
＋１. ３）の他の１つが導波体（１ａ；１ａ２；１ａ
３）に入射しかつ第１の部分光束（１. ；０. ２；−
１. ３）と干渉しかつその際連結格子（３；３３）の少
なくとも1 つが複数の部分格子（３ａ、３ｂ、３ｃ；３
３ａ、３３ｂ、３３ｃ）から成り、その格子構造は連結
方向において相互にずらされており、その結果干渉する
部分光束（０. 、１. ；０. ２、１. ２；＋１. ３、−
１. ３）が検出器（７ａ、７ｂ、７ｃ；７２ａ、７２
ｂ、７２ｃ；７３ａ、７３ｂ、７３ｃ）によって位相の
ずれた電気信号に変換されることを特徴とする前記光電
式位置測定装置に関する。
３）と、少なくとも２つの回折された部分光束（０. 、
１. ；０. ２、１. ２；＋１. ３、−１. ３）の発生の
ための少なくとも1 つの格子（２；２２；６３）と、少
なくとも1 つの導波体（１ａ；１ａ２；１ａ３）とから
成る２つの対象物の相対位置の測定のための光電式位置
測定装置にして、その際導波体（１ａ；１ａ２；１ａ
３）は、少なくとも1 つの平面内に少なくとも２つの空
間的に分離された格子（２、３；２２、３２；２３、３
３）を有し、格子は連結格子として、連結格子（２；３
２；２３）の１つによって部分光束（１. ；０. ２；−
１. ３）の少なくとも1 つが導波体（１ａ；１ａ２；１
ａ３）に入射しかつ他の連結格子（３；２２；３３）に
送られるように形成されており、そして他の連結格子
（３；２２；３３）によって部分光束（０. ；１. ２；
＋１. ３）の他の１つが導波体（１ａ；１ａ２；１ａ
３）に入射しかつ第１の部分光束（１. ；０. ２；−
１. ３）と干渉しかつその際連結格子（３；３３）の少
なくとも1 つが複数の部分格子（３ａ、３ｂ、３ｃ；３
３ａ、３３ｂ、３３ｃ）から成り、その格子構造は連結
方向において相互にずらされており、その結果干渉する
部分光束（０. 、１. ；０. ２、１. ２；＋１. ３、−
１. ３）が検出器（７ａ、７ｂ、７ｃ；７２ａ、７２
ｂ、７２ｃ；７３ａ、７３ｂ、７３ｃ）によって位相の
ずれた電気信号に変換されることを特徴とする前記光電
式位置測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の位置測定装置は集積された光学
的構造の干渉計として公知である。例えばドイツ特許明
細書ｃ２３６３０８８７号が挙げられる。そこでは基層
上に測定光線のための導波体がレーザと結合している装
置が記載されている。導波体の端に測定光のための連結
格子（入射−又は射出連結格子）がある。連結格子によ
って測定導波体からいわゆる参照導波体が得られ、参照
導波体は参照導波体のためのミラーを形成する基層のミ
ラー化された縁で終わる。このようなミラー又はブラッ
グ反射体は集積された光学系では容易に製造することが
できない。レンズを必要とするシステムも製造及び調整
において問題がある。
的構造の干渉計として公知である。例えばドイツ特許明
細書ｃ２３６３０８８７号が挙げられる。そこでは基層
上に測定光線のための導波体がレーザと結合している装
置が記載されている。導波体の端に測定光のための連結
格子（入射−又は射出連結格子）がある。連結格子によ
って測定導波体からいわゆる参照導波体が得られ、参照
導波体は参照導波体のためのミラーを形成する基層のミ
ラー化された縁で終わる。このようなミラー又はブラッ
グ反射体は集積された光学系では容易に製造することが
できない。レンズを必要とするシステムも製造及び調整
において問題がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、位置測定装
置を、例えば反射鏡とレンズの数を最小数だけ必要と
し、特別に簡単に構成し、調整コストを僅かしか必要と
せず、容易に要求に適合さることができかつ故障なしに
作動するように構成することを課題とする。
置を、例えば反射鏡とレンズの数を最小数だけ必要と
し、特別に簡単に構成し、調整コストを僅かしか必要と
せず、容易に要求に適合さることができかつ故障なしに
作動するように構成することを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、本発明
の課題は光源（４；４２；４３）と、少なくとも２つの
回折された部分光束（０. 、１. ；０. ２、１. ２；＋
１. ３、−１. ３）の発生のための少なくとも1 つの格
子（２；２２；６３）と、少なくとも1 つの導波体（１
ａ；１ａ２；１ａ３）とから成る２つの対象物の相対位
置の測定のための光電式位置測定装置にして、その際導
波体（１ａ；１ａ２；１ａ３）は、少なくとも1 つの平
面内に少なくとも２つの空間的に分離された格子（２、
３；２２、３２；２３、３３）を有し、格子は連結格子
として、連結格子（２；３２；２３）の１つによって部
分光束（１. ；０. ２；−１. ３）の少なくとも1 つが
導波体（１ａ；１ａ２；１ａ３）に入射しかつ他の連結
格子（３；２２；３３）に送られるように形成されてお
り、そして他の連結格子（３；２２；３３）によって部
分光束（０. ；１. ２；＋１. ３）の他の１つが導波体
（１ａ；１ａ２；１ａ３）に入射しかつ第１の部分光束
（１. ；０. ２；−１. ３）と干渉しかつその際連結格
子（３；３３）の少なくとも1 つが複数の部分格子（３
ａ、３ｂ、３ｃ；３３ａ、３３ｂ、３３ｃ）から成り、
その格子構造は連結方向において相互にずらされてお
り、その結果干渉する部分光束（０. 、１. ；０. ２、
１. ２；＋１. ３、−１. ３）が検出器（７ａ、７ｂ、
７ｃ；７２ａ、７２ｂ、７２ｃ；７３ａ、７３ｂ、７３
ｃ）によって位相のずれた電気信号に変換されることを
特徴とする前記光電式位置測定装置によって解決され
る。
の課題は光源（４；４２；４３）と、少なくとも２つの
回折された部分光束（０. 、１. ；０. ２、１. ２；＋
１. ３、−１. ３）の発生のための少なくとも1 つの格
子（２；２２；６３）と、少なくとも1 つの導波体（１
ａ；１ａ２；１ａ３）とから成る２つの対象物の相対位
置の測定のための光電式位置測定装置にして、その際導
波体（１ａ；１ａ２；１ａ３）は、少なくとも1 つの平
面内に少なくとも２つの空間的に分離された格子（２、
３；２２、３２；２３、３３）を有し、格子は連結格子
として、連結格子（２；３２；２３）の１つによって部
分光束（１. ；０. ２；−１. ３）の少なくとも1 つが
導波体（１ａ；１ａ２；１ａ３）に入射しかつ他の連結
格子（３；２２；３３）に送られるように形成されてお
り、そして他の連結格子（３；２２；３３）によって部
分光束（０. ；１. ２；＋１. ３）の他の１つが導波体
（１ａ；１ａ２；１ａ３）に入射しかつ第１の部分光束
（１. ；０. ２；−１. ３）と干渉しかつその際連結格
子（３；３３）の少なくとも1 つが複数の部分格子（３
ａ、３ｂ、３ｃ；３３ａ、３３ｂ、３３ｃ）から成り、
その格子構造は連結方向において相互にずらされてお
り、その結果干渉する部分光束（０. 、１. ；０. ２、
１. ２；＋１. ３、−１. ３）が検出器（７ａ、７ｂ、
７ｃ；７２ａ、７２ｂ、７２ｃ；７３ａ、７３ｂ、７３
ｃ）によって位相のずれた電気信号に変換されることを
特徴とする前記光電式位置測定装置によって解決され
る。
【０００５】次に本発明の実施例を図面に基づいて更に
詳しく説明する。
詳しく説明する。
【０００６】
【実施例】集積された光学系における図示では通常のよ
うに、実施例は図式的に表されかつ破断して示され、そ
れによって本質的な単一ユニットは明らかにされる。
うに、実施例は図式的に表されかつ破断して示され、そ
れによって本質的な単一ユニットは明らかにされる。
【０００７】図１には基層１が示され、その表面上には
平面導波体１ａが延びている。そこには２つの連結格子
２及び３が設けられている。レーザダイオード４から基
層１に入射する光束５は導波体として作用する入射連結
格子２上に現れる。角度φで入射する光束５は、部分光
束０. が、ここでは平面鏡６として形成されている測定
ミラー上に現れる。１. の部分を備えた部分光束は回折
され、平面状の導波体１ａに入射し、そこで案内された
モードの形で存在し、そして干渉連結格子３に導かれ
る。
平面導波体１ａが延びている。そこには２つの連結格子
２及び３が設けられている。レーザダイオード４から基
層１に入射する光束５は導波体として作用する入射連結
格子２上に現れる。角度φで入射する光束５は、部分光
束０. が、ここでは平面鏡６として形成されている測定
ミラー上に現れる。１. の部分を備えた部分光束は回折
され、平面状の導波体１ａに入射し、そこで案内された
モードの形で存在し、そして干渉連結格子３に導かれ
る。
【０００８】干渉連結格子３には検出器７ａ、７ｂ、７
ｃが後接続されている。測定ミラー６を介して案内され
る０. の部分を備えた部分光束は干渉連結格子３上に現
われ、そこから検出器７ａ〜７ｃ上に偏向される。この
部分光束０. は干渉計の測定アームを形成する。
ｃが後接続されている。測定ミラー６を介して案内され
る０. の部分を備えた部分光束は干渉連結格子３上に現
われ、そこから検出器７ａ〜７ｃ上に偏向される。この
部分光束０. は干渉計の測定アームを形成する。
【０００９】干渉連結格子３の下に０. の部分光束と
１. 次の参照アームが干渉し、その結果検出器７ａ、７
ｂ、７ｃにおけるこの３部分から成る干渉連結格子３
ａ、３ｂ、３ｃによって３つの相互に位相のずれた信号
が発生する。基層の平面図で分るように、干渉連結格子
３の３つの部分範囲３ａ、３ｂ、３ｃは測定方向におい
て相互に位相をずらされ、その結果例えば３つの１２０
°だけ相互に位相のずれた信号が検出器７ａ、７ｂ、７
ｃによって検出される。
１. 次の参照アームが干渉し、その結果検出器７ａ、７
ｂ、７ｃにおけるこの３部分から成る干渉連結格子３
ａ、３ｂ、３ｃによって３つの相互に位相のずれた信号
が発生する。基層の平面図で分るように、干渉連結格子
３の３つの部分範囲３ａ、３ｂ、３ｃは測定方向におい
て相互に位相をずらされ、その結果例えば３つの１２０
°だけ相互に位相のずれた信号が検出器７ａ、７ｂ、７
ｃによって検出される。
【００１０】検出された信号は基層１からの平面鏡６の
距離の変化の際に干渉する部分光束の変調によって発生
する。平面鏡６が基層１に対して平行に配設されている
場合、連結格子２及び干渉連結格子３の格子定数は等し
い大きさに選択されることができる。
距離の変化の際に干渉する部分光束の変調によって発生
する。平面鏡６が基層１に対して平行に配設されている
場合、連結格子２及び干渉連結格子３の格子定数は等し
い大きさに選択されることができる。
【００１１】角度φの下に連結された参照光束１は完全
には（全部は）参照連結格子３に送られないために、そ
の連結長さは連結方向における光束５の直径よりも大き
くされるべきである。
には（全部は）参照連結格子３に送られないために、そ
の連結長さは連結方向における光束５の直径よりも大き
くされるべきである。
【００１２】干渉連結格子３での測定光線０. の相会点
が基層１からの平面鏡６の距離変化により移動するの
で、干渉計の作動範囲は相応して制限される。連結格子
２２の相応した配列及び光束５２の鋭角の入射角度φで
は部分光束への分割及び同一の連結格子２２における部
分光束の干渉が行われる。実現のために部分格子に分割
されることができる部分光束の偏向のための連結格子３
２が必要である。図２にはこの実施例のための光路が図
式的に示され、光路はその他の点では図１の構成に対応
し、このことは同一の参照符号に図面の番号を付して示
される。
が基層１からの平面鏡６の距離変化により移動するの
で、干渉計の作動範囲は相応して制限される。連結格子
２２の相応した配列及び光束５２の鋭角の入射角度φで
は部分光束への分割及び同一の連結格子２２における部
分光束の干渉が行われる。実現のために部分格子に分割
されることができる部分光束の偏向のための連結格子３
２が必要である。図２にはこの実施例のための光路が図
式的に示され、光路はその他の点では図１の構成に対応
し、このことは同一の参照符号に図面の番号を付して示
される。
【００１３】図３には図１に類似して干渉式位置測定装
置で示され，、その際平面鏡の代わりに基層１３と格子
測定尺６３との間の相対移動の測定のための格子測定尺
６３が設けられている。
置で示され，、その際平面鏡の代わりに基層１３と格子
測定尺６３との間の相対移動の測定のための格子測定尺
６３が設けられている。
【００１４】レーザダイオード４３によって発光した光
束５３は基層１３上に取りつけられた導波体１ａ３を透
過しかつ格子測定尺６３上に現れる。この格子測定尺６
３の格子には回折によって２つの部分光束＋１. ３およ
び−１. ３が発生し、かつ基層１３上で反射される。基
層１３上又は導波体１ａ３には２つの連結格子２３及び
３３があり、その際連結格子３３−図１に類似−は３つ
の部分格子３３ａ、３３ｂ、３３ｃから成る。
束５３は基層１３上に取りつけられた導波体１ａ３を透
過しかつ格子測定尺６３上に現れる。この格子測定尺６
３の格子には回折によって２つの部分光束＋１. ３およ
び−１. ３が発生し、かつ基層１３上で反射される。基
層１３上又は導波体１ａ３には２つの連結格子２３及び
３３があり、その際連結格子３３−図１に類似−は３つ
の部分格子３３ａ、３３ｂ、３３ｃから成る。
【００１５】連結格子２３によって部分光束−１. ３が
偏向され、導波体１ａ３に入射されかつ連結格子３３に
導かれる。部分光束＋１. ３は連結格子３３又はその部
分格子３３ａ、３３ｂ、３３ｃに偏向されかつ同様に導
波体１ａ３に入射される。ここでは部分光束＋１. ３と
−１. ３とが干渉し、その際部分光束＋１. ３の３つの
部分範囲は相対的位相ずれを生じ、その結果検出器７３
ａ、７３ｂ、７３ｃによって３つの位相のずれた電気信
号が発生させられることができる。
偏向され、導波体１ａ３に入射されかつ連結格子３３に
導かれる。部分光束＋１. ３は連結格子３３又はその部
分格子３３ａ、３３ｂ、３３ｃに偏向されかつ同様に導
波体１ａ３に入射される。ここでは部分光束＋１. ３と
−１. ３とが干渉し、その際部分光束＋１. ３の３つの
部分範囲は相対的位相ずれを生じ、その結果検出器７３
ａ、７３ｂ、７３ｃによって３つの位相のずれた電気信
号が発生させられることができる。
【００１６】検出器は連結格子と並んでも連結格子上に
も配設されることができる。同様に基層の端面上への整
列を可能である。相応した連結格子の分割は３つの部分
格子に制限されない。位相のずれた信号の相応する数が
発生されるべき場合、２つの部分格子のみ又は４つ又は
それ以上の部分格子が形成されることができ、その際連
結格子のどれが位相のずれた部分格子に分けられるかは
当業者に委ねられる。
も配設されることができる。同様に基層の端面上への整
列を可能である。相応した連結格子の分割は３つの部分
格子に制限されない。位相のずれた信号の相応する数が
発生されるべき場合、２つの部分格子のみ又は４つ又は
それ以上の部分格子が形成されることができ、その際連
結格子のどれが位相のずれた部分格子に分けられるかは
当業者に委ねられる。
【００１７】同様に透過式配列も本発明により実現され
ることができる。
ることができる。
【００１８】
【発明の効果】本発明による位置測定装置の利点は、基
層のパッシブ要素が干渉計式位置測定装置に組み込まれ
た光学的構造で最小のスペースにまとめられかつ各種の
反射鏡及び又はレンズがチップ上に拡げられることがで
きることにある。測定されるべき対象物に測定反射鏡又
は測定尺格子のみが強制的に基層の外方に配設されてい
る。
層のパッシブ要素が干渉計式位置測定装置に組み込まれ
た光学的構造で最小のスペースにまとめられかつ各種の
反射鏡及び又はレンズがチップ上に拡げられることがで
きることにある。測定されるべき対象物に測定反射鏡又
は測定尺格子のみが強制的に基層の外方に配設されてい
る。
【００１９】他の利点は他の請求項から得られる。
【図１】連結格子と測定反射鏡とを備えた干渉計を示す
図である。
図である。
【図２】図１の変形を示す図である。
【図３】
１ａ 導波体 １ａ２ 導波体 １ａ３ 導波体 ２ 格子 ３ 格子 ３ａ 部分格子 ３ｂ 部分格子 ３ｃ 部分格子 ４ 光源 ７ａ 検出器 ７ｂ 検出器 ７ｃ 検出器 ２２ 格子 ２３ 格子 ３２ 格子 ３３ 格子 ３３ａ 部分格子 ３３ｂ 部分格子 ３３ｃ 部分格子 ４２ 光源 ４３ 光源 ６３ 格子 ７２ａ 検出器 ７２ｂ 検出器 ７２ｃ 検出器 ７３ａ 検出器 ７３ｂ 検出器 ７３ｃ 検出器 ０. 部分光束 １. 部分光束 ０. ２ 部分光束 １. ２ 部分光束 ＋１. ３ 部分光束 −１. ３ 部分光束
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 エルウイン・シユパナー ドイツ連邦共和国、83278 トラウンシユ タイン、フオルストマイアーシユトラー セ、12
Claims (8)
- 【請求項１】 光源（４；４２；４３）と、少なくとも
２つの回折された部分光束（０. 、１. ；０. ２、１.
２；＋１. ３、−１. ３）の発生のための少なくとも1
つの格子（２；２２；６３）と、少なくとも1 つの導波
体（１ａ；１ａ２；１ａ３）とから成る２つの対象物の
相対位置の測定のための光電式位置測定装置にして、そ
の際導波体（１ａ；１ａ２；１ａ３）は、少なくとも1
つの平面内に少なくとも２つの空間的に分離された格子
（２、３；２２、３２；２３、３３）を有し、格子は連
結格子として、連結格子（２；３２；２３）の１つによ
って部分光束（１. ；０. ２；−１. ３）の少なくとも
1 つが導波体（１ａ；１ａ２；１ａ３）に入射しかつ他
の連結格子（３；２２；３３）に送られるように形成さ
れており、そして他の連結格子（３；２２；３３）によ
って部分光束（０. ；１. ２；＋１. ３）の他の１つが
導波体（１ａ；１ａ２；１ａ３）に入射しかつ第１の部
分光束（１. ；０. ２；−１. ３）と干渉しかつその際
連結格子（３；３３）の少なくとも1 つが複数の部分格
子（３ａ、３ｂ、３ｃ；３３ａ、３３ｂ、３３ｃ）から
成り、その格子構造は連結方向において相互にずらされ
ており、その結果干渉する部分光束（０. 、１. ；０.
２、１. ２；＋１. ３、−１. ３）が検出器（７ａ、７
ｂ、７ｃ；７２ａ、７２ｂ、７２ｃ；７３ａ、７３ｂ、
７３ｃ）によって位相のずれた電気信号に変換されるこ
とを特徴とする前記光電式位置測定装置。 - 【請求項２】 格子（２、３；２２、３２）の格子定数
が同一である、請求項1 記載の光電式位置測定装置。 - 【請求項３】 格子（２３、３３）の格子定数が相違す
る、請求項1 記載の光電式位置測定装置。 - 【請求項４】 干渉する部分光束の変調のために、その
基層（１、１２）からの距離が可変である平面鏡（６；
６２）が設けられている、請求項1 記載の光電式位置測
定装置。 - 【請求項５】 干渉する部分光束の変調のために、基層
（１３）に対して平行な平面内を運動可能な格子（６
３）が設けられている、請求項1 記載の光電式位置測定
装置。 - 【請求項６】 格子（６３）が反射格子である、請求項
1 記載の光電式位置測定装置。 - 【請求項７】 光源としてレーザダイオード（４、４
２、４３）が使用される、請求項1 記載の光電式位置測
定装置。 - 【請求項８】 検出器（７、７２、７３）が並んで又は
連結格子（３；２２；３３）上又は基層の端面に配設さ
れる請求項1 記載の光電式位置測定装置。
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