JP3323513B2 - 非汚染性本体を有する圧力センサモジュール - Google Patents

非汚染性本体を有する圧力センサモジュール

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Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 I. 発明の技術分野 本発明は一般に圧力トランスジューサに関するもので
ある。より詳細には本発明は、化学腐食性の流体流動回
路にインライン接続しうる圧力トランスジューサモジュ
ールに関するものであり、ここで使用する圧力センサは
非汚染性トランスジューサ本体内の流体流動回路から隔
離されている。
II. 関連技術の説明 半導体の製造に際し、これらを製造すべく使用される
材料の汚染に対する感受性は半導体製造業者が直面する
重大な問題である。各種の加工システムが、これら感受
性材料の処理の間に発生する異粒子および蒸気の量を減
少させるように設計されている。半導体ウェファーは損
傷性微粒子および薬品から隔離することが重要である。
損傷性汚染物の全ゆる発生源を排除する試みでは、半
導体ウェファーを処理すべく使用する装置は必ずこの目
標を考慮して設計されている。第１に、処理装置の各種
の部品は一般に、発生する微粒子の量を減少させると共
に処理薬品を汚染作用から隔離するように設計される。
一般に、処理装置は、この装置を監視し且つ制御する際
に使用されるクローズドループフィードバックに接続さ
れた監視および検知装置を備える。さらに、これら監視
および検知装置は導入されうる全ゆる汚染を排除すべく
設計せねばならない。
半導体ウェファーの処理の間、高度に腐食性の有害薬
品が一般に使用される。これらの薬品を使用する場合、
処理環境内またはその近傍において極めて苛酷な条件に
遭遇しうる。この種の腐食性大気環境は監視および検知
装置に対し極めて重大である。さらにこの監視および検
知装置は、腐食性大気環境に露呈される結果としてウェ
ファー損傷性微粒子、イオンもしくは蒸気を伝達しう
る。この種の監視装置に従来使用されている金属は腐食
性環境に対し長時間にわたり確実には耐えることができ
ない。したがって、監視および検知装置には代替材料を
組み込まねばならない。
腐食性の高い環境は、有害薬品が処理装置に供給され
る際に発生しうる。液体輸送システムは、これら薬品を
供給タンクからポンピングおよび調整ステーションを介
し処理装置自体へ搬送する。パイプ、チューブ、弁およ
び付属品、並びに関連装置を包含する液体薬品輸送シス
テムは、しばしば毒性薬品の劣化作用に対し耐性である
プラスチックで形成されている。勿論、機械的なものは
全て潜在的な漏れを生じ、この種の漏れは半導体ウェフ
ァーもしくは他の製品の処理および該処理装置に従事す
ると共に維持せねばならない作業員の両者に対し極めて
有害な条件をもたらしうる。したがって、薬品輸送シス
テムは漏れを回避するように設計せねばならない。さら
に監視および検知装置は微粒子、望ましくないイオンま
たは蒸気が処理工程に導入されることを回避するように
設計せねばならないセンサを組み込みうる。
保護膜により流体流路から分離されるインラインの機
械的流体圧力対応計器が当業者で知られている。この計
器は、センサ流体が満たされたキャビティを有するハウ
ジング内に内蔵される。キャビティは流体流路の近くに
形成されて保護膜により分離される。キャビティ内に含
有されるセンサ流体は典型的にはシリコーン油である。
流体流路内の圧力変化はキャビティ内の油圧力に影響を
及ぼす。この油圧力は機械的圧力対応計器により検出さ
れる。
キャビティ内の流体は典型的には大きい熱膨脹率を有
して、保護膜における大きい撓み変化をもたらす。前記
保護膜における大きい撓み変化は、キャビティ内の流体
が流体流路中へ漏れて流動回路を汚染する傾向を増大さ
せる。さらに、圧力計の精度はセンサ流体の大きい熱膨
脹率によりマイナス作用を受ける。したがって、汚染性
流体を流体流動回路中へ漏出させないインライン型の圧
力計が必要である。さらに、精度が流体流動回路内の熱
変化により影響を受けない圧力計が必要である。
コリンス等は、米国特許第5,316,035号（以後、'035
特許として参照する）において、腐食性大気環境におけ
るキャパシタンス近接監視装置の使用について説明して
いる。前記'035特許の一つの実施例では、キャパシタン
ス近接装置は、たとえば配管用の弁もしくはカップリン
グなどの機能的装置に組み込まれると説明されている。
キャパシタンス近接装置は装置の機能的部分として作用
すると共に、所定領域内に検知フィールドを形成する。
次いで、これを使用して所定領域内の電気特性の変化を
所定領域を通過した各種の流体として決定する。液体標
的媒体が存在する際の検知領域の変化に関連する電流
と、液体標的媒体が存在しない際の配管系における空気
もしくはガスとを対比することにより、標的媒体の存在
もしくは不存在の指示を生成する。複雑な弁は、しばし
ば、処理流体の流路中へ漏出して汚染する流体を含む。
前記'035特許は、処理装置の薬品輸送システム内にお
ける種々の圧力を決定しうる装置を開示してはおらず、
考慮もしていない。薬品輸送システムにおける圧力の監
視が幾つかの理由から有用である。第１に、システム内
の圧力変化はシステム内の漏れを示唆しうる。第２に、
輸送システム内の圧力は、所定の安全性限界を越えない
ように調整される。第３に、流体流動回路内の圧力は、
処理装置に接続された各種の処理具を作動させるべく制
御することができる。
したがって、腐食性材料を有する流体流動回路の内部
にインラインで設置しうる非汚染性圧力トランスジュー
サが必要とされ、この圧力トランスジューサは流体流動
回路のゲージ圧もしくは絶対圧のいずれかを測定する。
さらに微粒子、望ましくないイオンまたは蒸気が流動流
路中へ導入されるのを防止する圧力トランスジューサが
必要である。本発明は、関連する従来技術のこれらおよ
び他の欠点を解消するものである。
発明の要点 本発明の目的は腐食性流体の流動回路にインラインで
連結しうる圧力トランスジューサモジュールを提供する
ことであり、ここで流動回路内のゲージ圧もしくは絶対
圧を測定することができる。圧力トランスジューサモジ
ュールは非汚染性の本体内にの圧力センサを備える。好
適な実施例において、圧力トランスジューサモジュール
の各部品はハウジング、キャップ、電気コネクタ、圧力
取付部、絶縁膜、圧力センサ、電子回路、スペーサリン
グおよび据付リングを包含する。
ハウジングのキャップは、このキャップの内表面およ
びハウジングの外表面に形成された各ネジを係合させる
ことによりハウジングに着脱自在に取り付けられる。電
気なコネクタはカバーに装着されて、ハウジング内の電
気的リード線をカバーが取り付けられた際に外部コンダ
クタと係合させることができる。
ハウジングは貫通孔部を備えて、トランスジューサを
流体流動回路内にインライン接続した際に流体が流過す
る通路もしくは導管を形成する。孔部の各開口端部には
整列して封止自在に圧力用部品が接続される。圧力用部
品は化学的には不活性な材料で作成されると共に、当業
者に容易に入手できかつ公知のものである。さらにハウ
ジングは、孔部と連通するその外表面から延在するキャ
ビティを有する。キャビティと孔部との交点においてハ
ウジング内に好ましくはリップが形成される。このリッ
プは、ハウジングの内側寸法よりも小さい内側寸法を有
する。絶縁膜、圧力センサ、電子回路、スペーサリング
および据付リングは全てハウジングのキャビティ内に内
蔵される。
絶縁膜は、キャビティ内においてハウジングのリップ
に対し封止される。このようにして、ハウジングのキャ
ビティは流体流路から隔離される。絶縁膜は好ましくは
耐腐食性の化学的不活性材料で作成され、テフロンが好
適である。圧力センサは絶縁膜に接着、押圧、熱溶着ま
たは他の方法で取り付けられる。圧力センサはキャパシ
タンス型または圧電式とすることができる。ハウジング
内に配置されたハイブリッドまたは完全に一体化された
電子回路は圧力センサおよび上記コネクタに動作可能に
連結される。
電子回路は、圧力センサにより検知された情報から流
動回路内の圧力の尺度である信号を発生する。この電子
回路は、流動回路内の温度変化に基づき圧力測定を調整
する感温部品と組み合わせて使用することもできる。上
記したように、電子センサは電気的リード線により電気
的コネクタに連結され、外部電力供給源とコネクタによ
って係合する電気的リード線を介し電力を電子回路に伝
達することができる。さらに、たとえば計算され圧力に
比例した標準的には４〜20ミリアンペア信号のようなア
ナログ出力を他の電気的リード線を介して伝達すること
もできる。
絶縁膜および圧力センサは、スペーサリングと据付リ
ングとの組み合わせによりキャビティ内に内蔵される。
据付リングはその表面に形成されたネジを備え、このネ
ジはキャビティを形成する弁本体の内表面に形成された
ネジと係合する。
限定はしないが、ハウジング、絶縁膜、スペーサリン
グおよび据付リングは、トランスジューサが熱膨脹を受
けた際に漏れを回避すべく同じポリマーで作成される。
好適な実施例においては、テトラフルオロエチレンフル
オロカーボンポリマーが使用される。これらポリマーは
磨耗微粒子の量を減少させると共に化学的に不活性であ
って非汚染性の圧力トランスジューサモジュールを提供
する。
目的 したがって、本発明の主たる目的は、流体流動回路に
インライン接続するのに適した非汚染性圧力トランスジ
ューサを提供することにある。
本発明の他の目的は、圧力センサ部品が非汚染性バリ
ヤにより流体流動回路から隔離される圧力トランスジュ
ーサモジュールを提供することにある。
さらに本発明の他の目的は、圧力センサと直接接触す
る絶縁膜を備えた圧力トランスジューサモジュールを提
供することにあり、前記絶縁膜はセンサおよび関連電子
回路を潜在的には腐食性の処理薬品から隔離するように
作用すると共に、汚染性物質が輸送される処理流体に導
入されるのを排除する。
さらに本発明の他の目的は、流動回路のゲージ圧もし
くは絶対圧を無理なく測定する圧力トランスジューサを
提供することにある。
本発明のこれらおよび他の目的、並びにこれらおよび
他の特徴および利点は、添付図面を参照して説明する以
下の好適な実施例の詳細な説明を鑑みれば、当業者には
一層明らかとなるであろう。図面において同じ参照符号
は対応部品を意味する。
図面の説明 第１図は、圧力トランスジューサの斜視図であり 第２図は、第１図に示す種類の圧力トランスジューサ
の側面図であり、 第３図は、キャップを取り外した第１図に示す種類の
圧力トランスジューサモジュールの部分断面側面図であ
り、 第４図は、第３図に示す圧力トランスジューサモジュ
ールの拡大部分断面図であり、 第５図は、第１図乃至第３図のアセンブリで使用され
た可撓性膜の斜視図であり、 第６図は、絶縁部材に当接するアルミナセラミック製
容量型圧力計の側面図であり、 第７図は、本発明の他の実施例による代案としての好
ましい圧力トランスジューサモジュールの拡大部分断面
側面図であり、 第８図は、他の代案としての好ましい圧力トランスジ
ューサモジュールの拡大部分断面側面図であり、 第９図は、さらに他の好ましい圧力トランスジューサ
モジュールの拡大部分断面側面図であり、 第10図は、さらに他の代案としての好ましい圧力トラ
ンスジューサモジュールの拡大部分断面側面図であり、 第11図は、本発明により作成されたさらに他の圧力ト
ランスジューサモジュールの拡大部分断面側面図であ
り、 第12図は、さらに他の代案としての好ましい圧力トラ
ンスジューサモジュールの拡大部分断面側面図であり、 第13図は、さらに他の代案としての好ましい圧力トラ
ンスジューサモジュールの拡大部分断面側面図であり、 第14図は、さらに他の代案としての好ましい圧力トラ
ンスジューサモジュールの拡大部分断面側面図であり、 第15図は、さらに他の代案としての好ましい圧力トラ
ンスジューサモジュールの拡大部分断面側面図である。
好適な実施例の詳細な説明 最初に第１図および第２図を参照する。圧力トランス
ジューサモジュールは、一般に、参照番号10により特定
される。圧力トランスジューサはベース12を備えて示さ
れ、このベース12は圧力トランスジューサモジュール10
を処理装置（図示せず）に装着する際に使用される。モ
ジュールは一般にハウジングもしくは本体14と圧力部品
部16および18とカバーもしくはキャップ20とを備える。
公知の構造を有する電気コネクタ22をカバー20に着脱自
在に取り付けることができる。圧力部品部16および18は
トランスジューサ本体14に対する入口および出口として
作用すると共に公知の構造を有する。
当業者は圧力トランスジューサハウジングが各種の形
状を有しうることを認識するであろうが、一般に図示し
た円筒形状が好適である。円筒状の圧力トランスジュー
サ本体は容易に作成され、流体はトランスジューサ内の
円筒状孔部もしくはキャビティを一層容易に流過する。
ハウジング14およびカバー20は、好ましくは、化学的に
不活性な非汚染性ポリマー（たとえばポリテトラフルオ
ロエチレン）で作成される。
カバーは内表面に形成されたネジを有して、ハウジン
グの外表面に形成された第３図に参照符号24で示すネジ
と係合する。したがって、カバーをハウジングにネジ付
けすることができ、さらに適用するｏ−リングシール
（図示せず）をその間に位置せしめて、カバーはハウジ
ングに対し気密封止することができる。第２図に示した
口部26はハウジング壁部に貫通形成され、これによりハ
ウジングの内部への排出口とする。口部26は、ハウジン
グ内に内蔵された圧力センサによりゲージ圧を測定する
ことができる。この種の口部を用いなければ、流体流動
回路内の絶対圧が測定される。圧力トランスジューサの
各部品の格別な特徴につき以下説明する。
第３図および第４図を参照して、圧力トランスジュー
サの内部構造を示す。孔部28はハウジングを貫通延在し
て導管を形成し、これにより圧力トランスジューサモジ
ュール10が圧力部品部16および18を介し流体流動回路と
インライン接続された際に、孔部28は流体流動回路内の
通路として作用する。孔部の開口部の一端部は入口を形
成すると共に、孔部の他端部は流体流動回路に対する出
口を形成する。流体流動回路内の圧力トランスジューサ
モジュールの方向は、圧力トランスジューサの効果に影
響を与えることなく逆転させることもできる。
キャビティ30は、ハウジング20の外表面から孔部28ま
で全体的に延在する。キャビティ30および孔部28が交差
するハウジング内の領域の近傍には環状リップ32を形成
する。リップ32はさらに孔部からキャビティへの開口部
を画成する。さらに、以下に説明するように、リップは
各種の形状を有することができる。
薄い可撓性ポリマーの円盤膜34をキャビティのリップ
32上に位置せしめる。好適な実施例において、ハウジン
グ14と可撓性膜34との両者はテトラフルオロエチレンフ
ルオロカーボンポリマーから作成される。この種のテト
ラフルオロエチレンフルオロカーボンポリマーの一種は
イ．アイ．デュポン・ネモアスによりテフロン（商標）
のもとに販売されている。好適な実施例において、円盤
膜は、好ましくは内部にピンホール通路を残しうるスプ
レー、或いは他の方法よりもむしろ成形される。圧力ト
ランスジューサモジュールを完全に組み立てれば、可撓
性膜とハウジングリップ32との間の環状表面接触部は気
密シールがその間に形成されるように構成される。
次に第５図を参照すると、薄い可撓性のテフロン膜34
が一層詳細に示されている。限定はしないが、膜は好ま
しくは0.001〜0.040インチの範囲の厚さを有するよう構
成される。上表面36は溝部もしくはチャンネルのパター
ンを形成するように研磨される。次いで、膜の上表面36
を圧力センサ40のベース38に押圧すれば、センサベース
38と膜との間に形成されるであろう全ゆるエアポケット
が軽減されて、膜と圧力センサ40との間の一層緊密な接
触を可能にする。スペーサ50のフランジ52およびｏ−リ
ング54は、センサ40とｏ−リング54とスペーサ50との間
に僅かな空隙部を与えるような寸法とする。スペーサ50
の内表面はさらにそこに形成された溝部もしくはチャン
ネルのパターンを有して、放出された空気がキャビティ
の中央領域中へ逸散する通路を形成する。
さらに第３図および第４図に示すように、圧力センサ
40は可撓性膜34の頂部に設置される。圧力センサは当業
者に知られたキャパシタンス型または圧電式とすること
ができる。圧力センサのベース38は膜と直接接触し、さ
らに接着剤、熱溶着または他の公知の手段により膜に圧
力接触させ或いは接着することができる。
第６図に一般的に示した一つの実施例において、アル
ミナセラミック圧力センサは薄い一般に柔軟性のセラミ
ックシート42で構成され、このシートはより厚い非柔軟
性のセラミックシート46の間に挟持された隔離スペーサ
リング44を備える。第１の薄いセラミックシートもしく
はダイヤフラムは厚さ約0.005〜0.050インチであり、典
型的には0.020インチの厚さである。より厚いセラミッ
クシートは0.100〜0.200インチの範囲の厚さを有する。
スペーサは適するポリマーで作成することができる。セ
ラミック円盤42および46の対向面はたとえば金、ニッケ
ルもしくはクロムのような金属により金属処理されて、
キャパシタのプレートを形成する。同様な容量型圧力ト
ランスジューサがベル等により米国特許第4,177,496号
（以下、'496特許として参照する）に記載されている。
前記'496特許に説明されているものと同様な他の容量型
圧力トランスジューサも入手でき、当業界において公知
である。
再び第４図を参照して、電子回路モジュール48をセラ
ミック圧力センサ40の上部に位置せしめ、セラミック圧
力センサの導電性表面に電気的に連結する。さらに電子
回路モジュール48を適するリード線（図示せず）により
コネクタ22の離間接点に接続する（第１図）。好適な実
施例において電気コネクタ22は化学的に不活性な材料か
ら作成され、好ましくはニューマチコ（Pneumatico）社
から入手しうるタイプのパーツNo.po3rsd−00004−24と
することができる。
電子回路モジュール48は流動回路内の圧力に比例した
制御信号を発生し、これには部材42に対し作用する流体
圧力によって前記部材42の変形に基づいてキャパシタン
スの変化に関連した圧力センサ40から受信されるアナロ
グ情報を用いる。電子回路はさらに、サーミスタなどの
部品を含ませることにより、流動回路内の温度が変化す
る際に圧力を調整することもできる。
第３図および第４図において、カップ形状のスペーサ
部材50を圧力センサ40の上部に配置して、圧力センサ40
の上表面に力を加えることによりセンサを膜34に対し扁
平に保持する。さらにスペーサ50は円形状のフランジ52
（第４図参照）を備え、これは膜34およびキャビティの
リップ32に対し力を伝達する。ｏ−リング54をセンサの
フランジ52と膜との間に位置せしめることができ、その
エラストマー特性により力をスペーサ部材50から膜に対
し移動させて膜を環状部およびキャビティリップ32に対
し把持することができる。ネジ付きリング据付56をハウ
ジングもしくは本体14のキャビティの内ネジに対し係合
関係を有して回転させることにより、スペーサ部材50を
係合させると共にこれを圧力センサ40および膜34に対し
押圧させる。
デッドスペースを減少させるには、可撓性膜が孔部28
の空腔部から離間した距離「ｄ」（第４図）を最小に保
つべきである。デッドスペースの減少は、残骸の蓄積お
よび汚染の機会を減少させる。さらにデッドスペースの
減少は、気泡がデッドスペースに捕獲され、次いで突然
に流動回路中へ放出される機会を減少しもしくは排除す
る。デッドスペースからのこれら気泡の放出は半導体加
工に対しマイナス作用を有する。空腔部の内径「Ｄ」は
２＊（ｄ）を越えてはならない。理想的には、寸法ｄは
測定値において寸法Ｄよりずっと小さい。
第７図は、スペーサ部材50が参照符号58のような丸み
のある縁部を有する代案としての実施例を示す。丸みの
ある縁部はスペース50の力を可撓性膜34およびキャビテ
ィのリップ32に対し集中させるよう作用する。この配置
は、さらに、ｏ−リング54の必要性をも排除する。しか
しながら、ｏ−リング54を膜とリップ32との間に設置す
ることもできる（第13図参照）。スペーサ50のフランジ
52およびｏ−リング54は、センサ40とｏ−リング54とス
ペーサ50との間に僅かな空隙部を形成するような寸法と
する。さらにスペーサ50の内表面はそこに形成された溝
部もしくはチャンネルのパターンを有して、放出された
空気が逸散するための通路を形成することもできる。さ
らにスペーサ50'は、中心セクションを貫通延在する孔
部を有することによりハウジングのキャビティ中へ通路
を延ばすことができる。
第８図は、キャビティのリップ32'がステップ付きで
ある他の好適な実施例を示す。ｏ−リング54は、スペー
サ部材50により圧縮されると、ステップの形状に一致し
て可撓性膜34を押圧し或いは力を加えて、これを屈曲さ
せると共にステップ付きリップ32の形状まで成形して流
体の浸入に対しシールを形成する。さらに他の実施例に
おいて、ｏ−リング54は膜とリップ32'との間に設置す
ることもできる（第15図参照）。
第９図は、スペーサ部材フランジ52の端部に丸みを付
けた他の好適な実施例を示し、フランジはｏ−リング54
に対し押圧され、次いでｏ−リングを可撓性膜34に対し
押圧する。
第10図は、ｏ−リングシール54'がリップ32'内に形成
された環状溝部もしくは凹部60内に内蔵されるさらに他
の好適な実施例を示す。可撓性膜32はｏ−リング54'に
対し押圧されてリップ32'の縁部を封止することによ
り、流動回路の流体がハウジングのキャビティ中へ漏れ
るのを防止する。この遮蔽構造は、流体流動圧力が大気
圧以下である環境において好適である。この種の環境に
おいて、遮蔽構造はｏ−リングが流体流動回路中へ引き
込まれる可能性を排除する。
第11図は、環状リッジ62がリップ32の表面に沿って形
成されたさらに他の実施例を示す。膜をリップに対し圧
縮すれば、膜はリッジの形状に一致する。このようにし
て、効果的なシールが膜シートとハウジングリップとの
間に形成される。
第12図は、ｏ−リング54を膜32の下の下側ステップに
位置せしめてなるリップが多重ステップを有するさらに
他の実施例を示す。ｏ−リング68を収容する外側溝部66
とｏ−リング72を収容する内側溝部70を有する付加的な
環状封止リング64は、ハウジング14と圧力センサ40との
間に付加的なシールを形成する。この付加された環状封
止リング64は、頂部ステップ74と第１スペーサリング76
との間に位置せしめて示される。スペーサ部材50は第１
スペーサリング76と圧力センサ40との両者に直接接触す
る。このようにして、ハウジングの内部は、膜32と圧力
センサ40との間に形成されたシールとは無関係に流体回
路から封止される。排液チャンネル78がハウジング14を
貫通して外部表面まで延在する。排液チャンネル78は頂
部ステップ74とシール54が接触する下側ステップとの間
に設置される。流動回路からの流体がｏ−リング54を介
して漏出すれば、排液チャンネル78はこの流体をセンサ
40の汚染または悪影響なしにハウジングから排液するこ
とを可能にする。
ｏ−リング54を流体流動回路側に位置せしめる場合
（第10図および第12図乃至第15図参照）、ｏ−リングは
化学的に不活性な材料で作成せねばなせらない。たとえ
ばデュポン・ネモアス・インコーポレーテッドから入手
しうるカルセッツ（KALREZ）のようなペルフルオロエラ
ストマーがこの目的に適している。たとえばグリーン、
ツイード・アンド・カンパニー・インコーポレーテッド
から入手しうるエラストマーPTFEであるケミラッツ（CH
EMRAZ）のような他の材料も同等に適している。
本発明の構造的特徴につき説明したが、使用の態様に
つき以下説明する。
使用者は圧力トランスジューサモジュール10を圧力部
品部16および18を介し流体流動回路に連結する。流体が
流動回路を流過する際、圧力はその関数として圧力セン
サ40の薄いセラミックプレート38を歪め、したがってセ
ラミック圧力センサのキャパシタンスを変化させる。キ
ャパシタンスにおける変化は流動回路内の圧力に関連す
る。このキャパシタンスの変化は電気回路48により検出
され、次いで圧力に比例したアナログ信号を発生する。
ゲージ圧もしくは絶対圧も同等に測定することができ
る。
当業者は、トランスジューサ出力を較正して最小出力
値を最小圧力に関連させると共に最大出力値を最大圧力
に関連させうることを認識するであろう。たとえば、０
〜100psig（ポンド／平方インチゲージ）を測定するこ
とを意図したトランスジューサは、0psigにおいて4mA
（ミリアンペア）および100psigにおいて20mAを読み取
るように較正することができる。
圧力センサのセラミックダイヤフラム38と緊密に接触
する不活性のテフロン膜を設けることにより、作業流体
はセンサの表面と接触せずに汚染をもたらさない。説明
した封止構造は、作業流体がハウジング14のキャビティ
に流入して電子回路に悪影響を及ぼさないように確保す
る。
以上、本発明を特許条項に従い且つ従来技術と比較
し、新規な特徴を与えると共に必要とされる特殊部品を
作成および使用するのに必要な情報を当業者に示すため
に極めて詳細に説明した。しかしながら、本発明は、装
置の詳細および操作手順の両者に関し種々異なる装置お
よび各種の改変も可能であり、本発明の範囲を逸脱する
ことなく各種の改変をなしうることが当業者には了解さ
れよう。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−233676（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−271365（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−97639（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−160341（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−12637（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−197534（ＪＰ，Ｕ) 米国特許4790821（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01L 9/12,19/00

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】流体流動回路とインライン接続するのに適
    した化学的に不活性な圧力トランスジューサモジュール
    において、 （ａ） 化学的に不活性なハウジングであって、前記ハ
    ウジングの少なくとも一部を貫通する孔部を有し、前記
    孔部の入口端部が流体流動回路にインライン接続され、
    前記ハウジング内部に形成されて前記ハウジングの外表
    面から前記ハウジングの前記孔部に向かって延在するキ
    ャビティをさらに有するハウジングと、 （ｂ） 前記キャビティと前記孔部とを分離し、第１お
    よび第２の対向する主表面を有し、前記第１主表面が前
    記回路内を流動する流体に露呈され、前記第２主表面が
    前記流動回路内で圧力を検知するために非流体伝導手段
    に近接する化学的に不活性な可撓性隔離部材と、 （ｃ） 前記流動回路内で圧力を検知するためのもので
    あって、前記回路内を流動する流体から隔離されている
    前記非流体伝導手段と、 （ｄ） 前記隔離部材および前記非流体伝導手段を前記
    ハウジングの前記キャビティ内の固定位置に拘束する手
    段と、 （ｅ） 前記ハウジングの前記キャビティ内に内蔵され
    て前記流動回路内で圧力を検知する前記非流体伝導手段
    に連結され、前記孔部内の圧力に比例した電気信号を発
    生させる電子回路と、 を備え、 前記可撓性隔離部材の前記第２主表面が複数のチャンネ
    ルを備え、前記チャンネルが前記膜の縁部に沿った第１
    の位置から前記縁部に沿って離間した第２の位置まで延
    在していることを特徴とする化学的に不活性な圧力トラ
    ンスジューサモジュール。
  2. 【請求項２】流体流動回路とインライン接続するのに適
    した化学的に不活性な圧力トランスジューサモジュール
    において、 （ａ） ハウジングであって、前記ハウジングを貫通す
    る孔部を有して導管を形成し、前記導管の入口端部およ
    び出口端部が流体流動回路にインライン接続され、前記
    ハウジング内に形成されて前記ハウジングの外表面から
    前記ハウジングの孔部内へ延在するキャビティをさらに
    有するハウジングと、 （ｂ） 前記ハウジングの孔部近傍において前記キャビ
    ティ内に内蔵された化学的に不活性な可撓性膜であっ
    て、前記膜の上表面に形成された複数のチャンネルを備
    え、前記チャンネルが前記膜の縁部に沿った第１の位置
    から前記膜の前記縁部に沿って離間した第２の位置まで
    延在する膜と、 （ｃ） 前記可撓性膜と接触する部分を有して前記キャ
    ビティ内に内蔵される圧力センサと、 （ｄ） 前記膜および前記圧力センサを前記ハウジング
    の前記キャビティ内の固定位置に拘束し、前記圧力セン
    サを前記流体流動回路で流動する流体から隔離する拘束
    手段と、 （ｅ） 前記ハウジングの前記キャビティ内に内蔵され
    ると共に前記圧力センサに作動可能に連結されて、前記
    孔部内の圧力に比例した制御信号を発生させる電子回路
    と、 を備えることを特徴とする化学的に不活性な圧力トラン
    スジューサモジュール。
  3. 【請求項３】化学的に腐食性を有する超高純度の流体流
    動回路内でインライン接続するのに適した化学的に不活
    性な圧力トランスジューサモジュールにおいて、 （ａ） ハウジングであって、前記ハウジングの少なく
    とも一部を貫通する孔部を有し、前記孔部の入口端部が
    流体流動回路にインライン接続され、さらに前記ハウジ
    ング内に形成されて前記ハウジングの外表面から前記ハ
    ウジングの前記孔部内に向かって延在するキャビティを
    さらに有するハウジングと、 （ｂ） 前記孔部に近接して前記キャビティ内に位置す
    る前記流体流動回路内の圧力を検知する圧力センサと、 （ｃ） 前記キャビティと前記孔部とを分離する化学的
    に不活性な隔離部材であって、第１および第２の対向す
    る主表面を有し、前記第１主表面が前記孔部内を流動す
    る流体に露呈され、前記第２主表面が前記圧力センサに
    近接して前記圧力センサの前記孔部に対する流体の連通
    を隔離する隔離部材と、 （ｄ） 前記ハウジングに対し前記隔離部材を封止自在
    に係合させる第１の封止部材と、 （ｅ） 前記ハウジングに対し前記圧力センサを封止自
    在に係合させる第２の封止部材と、 を備え、 前記隔離部材の前記第２主表面が複数のチャンネルを備
    え、前記チャンネルが前記膜の縁部に沿った第１の位置
    から前記縁部に沿って離間した第２の位置まで延在して
    いることを特徴とする化学的に不活性な圧力トランスジ
    ューサモジュール。
  4. 【請求項４】流体流動回路とインライン接続するのに適
    した化学的に不活性な圧力トランスジューサモジュール
    において、 （ａ） ハウジングであって、前記ハウジングを貫通す
    る孔部を有して流体流動導管を形成し、前記導管の入口
    端部および出口端部が流体流動回路にインライン接続さ
    れ、前記ハウジング内に形成されて前記ハウジングの外
    表面から前記ハウジングの孔部内に延在するキャビティ
    をさらに有するハウジングと、 （ｂ） 前記キャビティ内に内蔵されて流体流動回路内
    の圧力を検知する手段と、 （ｃ） 前記ハウジングの孔部近傍において前記ハウジ
    ング内に封止自在に係合し、第１および第２の対向する
    主表面を有し、前記第１主表面が前記導管内を流動する
    流体に露呈され、第２主表面が前記検知手段に近接する
    ように露呈されることにより、前記回路内を流動する流
    体から前記検知手段を作動可能に隔離する化学的に不活
    性な可撓性膜と、 （ｄ） 前記膜および前記検知手段を前記ハウジングの
    前記キャビティ内の固定位置に拘束する手段と、 （ｅ） 前記可撓性膜を前記ハウジングに封止自在に係
    合させる第１の封止部材と、 （ｆ） 前記検知手段を前記ハウジングに封止自在に係
    合させる第２の封止部材と、 （ｇ） 前記第１封止部材と第２封止部材との間にあっ
    て前記ハウジングの前記キャビティから前記ハウジング
    の前記外表面まで延在する排液チャンネルと、 を備えることを特徴とする化学的に不活性な圧力トラン
    スジューサモジュール。
  5. 【請求項５】化学的に腐食性を有する超高純度の流体流
    動回路内でインライン接続するのに適した化学的に不活
    性な圧力トランスジューサモジュールにおいて、 （ａ） 化学的に不活性なハウジングであって、前記ハ
    ウジングの少なくとも一部を貫通する孔部を有し、前記
    孔部の入口端部が前記流体流動回路にインライン接続さ
    れ、前記ハウジング内部に形成されて前記ハウジングの
    外表面から前記ハウジングの前記孔部に向かって延在す
    るキャビティをさらに有するハウジングと、 （ｂ） 前記孔部に近接して前記キャビティ内に位置す
    る前記流体流動回路内の圧力を検知する非流体伝導圧力
    センサと、 （ｃ） 前記キャビティと前記孔部を分離する化学的に
    不活性な隔離部材であって、第１および第２の対向する
    主表面を有し、前記第１主表面が前記孔部内を流動する
    流体に露呈され、前記第２主表面は前記圧力センサに近
    接し、前記圧力センサの前記孔部に対する流体の連通を
    隔離する隔離部材と、 （ｄ） 前記圧力センサに連結され孔部内の前記圧力に
    比例した電気信号を発生させる手段と、 を備え、 前記隔離部材の前記第２主表面が複数のチャンネルを備
    え、前記チャンネルが前記膜の縁部に沿った第１の位置
    から前記縁部に沿って離間した第２の位置まで延在して
    いることを特徴とする化学的に不活性な圧力トランスジ
    ューサモジュール。
  6. 【請求項６】化学的に腐食性を有する超高純度の流体流
    動回路内でインライン接続するのに適した化学的に不活
    性な圧力トランスジューサモジュールにおいて、 （ａ） 化学的に不活性なハウジングであって、前記ハ
    ウジングの少なくとも一部を貫通する孔部を有し、前記
    孔部の入口端部が流体流動回路にインライン接続され、
    内部に形成されて前記ハウジングの外表面から前記ハウ
    ジングの前記孔部に向かって延在するキャビティをさら
    に有するハウジングと、 （ｂ） 前記孔部に近接して前記キャビティ内に位置す
    る前記流体流動回路内の圧力を検知する非流体伝導圧力
    センサと、 （ｃ） 前記キャビティと前記孔部とを分離する化学的
    に不活性な隔離部材であって、第１および第２の対向す
    る主表面を有し、前記第１主表面が前記孔部内を流動す
    る流体に露呈され、前記第２主表面は、前記圧力センサ
    に近接し、前記圧力センサの前記孔部に対する流体の連
    通を隔離する隔離部材と、 （ｄ） 前記隔離部材を前記ハウジングに封止自在に係
    合させる第１の封止部材と、 （ｅ） 前記圧力センサを前記ハウジングに封止自在に
    係合させる第２の封止部材と、からなり、 前記第１の封止部材と第２の封止部材との間にあって前
    記ハウジングのキャビティからハウジングの外表面まで
    延在する排液チャンネルを備えることを特徴とする化学
    的に不活性な圧力トランスジューサモジュール。
  7. 【請求項７】流体流動回路とインライン接続するのに適
    した化学的に不活性な圧力トランスジューサモジュール
    において、 （ａ） ハウジングであって、前記ハウジングの少なく
    とも一部を貫通する孔部を有し、前記孔部の入口端部が
    流体流動回路にインライン接続され、内部に形成された
    キャビティをさらに有するハウジングと、 （ｂ） 前記孔部と前記ハウジングの前記キャビティと
    を分離する隔離部材と、 （ｃ） 前記ハウジングの前記キャビティに少なくとも
    部分的に内蔵され、前記隔離部材と接触する非流体伝導
    圧力センサと、 （ｄ） 前記孔部内の計測された圧力に比例する信号を
    発生させる手段と、 を備え、 （ｅ） 前記隔離部材を前記ハウジングに封止自在に係
    合させる第１の封止部材と、 （ｆ） 前記非流体伝導圧力センサを前記ハウジングに
    封止自在に係合させる第２の封止部材と、からなり、 前記隔離部材の前記第２主表面が複数のチャンネルを備
    え、前記チャンネルが前記膜の縁部に沿った第１の位置
    から前記縁部に沿って離間した第２の位置まで延在して
    いることを特徴とする化学的に不活性な圧力トランスジ
    ューサモジュール。
JP51424897A 1995-10-03 1996-08-23 非汚染性本体を有する圧力センサモジュール Expired - Lifetime JP3323513B2 (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005119194A1 (ja) 2004-06-03 2005-12-15 Nagano Keiki Co., Ltd. 圧力センサモジュール、および圧力検出装置

Families Citing this family (70)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5693887A (en) * 1995-10-03 1997-12-02 Nt International, Inc. Pressure sensor module having non-contaminating body and isolation member
US5869766A (en) 1995-10-03 1999-02-09 Nt International, Inc. Non-contaminating pressure transducer module
USRE38557E1 (en) 1995-10-03 2004-07-20 Nt International, Inc. Non-contaminating pressure transducer module
US6053049A (en) * 1997-05-30 2000-04-25 Motorola Inc. Electrical device having atmospheric isolation
DE19724293A1 (de) * 1997-06-09 1998-12-10 Mannesmann Vdo Ag Drucksensor
US6046667A (en) * 1997-12-23 2000-04-04 Honeywell Inc. Pressure transducer with porous material for media isolation
FR2776768B1 (fr) * 1998-03-27 2000-05-05 Ades Technologies Dispositif de mesure et de controle de pression et temperature dans des installations hydrauliques
US6131468A (en) * 1998-07-01 2000-10-17 Westinghouse Air Brake Company Pressure transducer adapter
JP3494594B2 (ja) * 1999-08-05 2004-02-09 忠弘 大見 圧力検出器の取付け構造
US6550338B1 (en) 2000-07-07 2003-04-22 Ardishir Rashidi Pressure sensing device
US6782754B1 (en) 2000-07-07 2004-08-31 Rosemount, Inc. Pressure transmitter for clean environments
JP2002156302A (ja) 2000-11-17 2002-05-31 Surpass Kogyo Kk 圧力センサー
DE10064811A1 (de) * 2000-12-22 2002-06-27 Endress & Hauser Gmbh & Co Kg Druckmessvorrichtung
DE10106129A1 (de) * 2001-02-08 2003-01-09 Endress & Hauser Gmbh & Co Kg Druckmeßgerät
FR2826116B1 (fr) * 2001-06-14 2003-12-26 Regulateur Georgin Dispositif de mesure comportant un capteur de pression
US6883377B2 (en) * 2001-06-14 2005-04-26 Regulateurs Georgin Measurement device including a pressure sensor
US20030000310A1 (en) * 2001-06-27 2003-01-02 Ardishir Rashidi Pressure regulating device
US6820490B2 (en) * 2001-10-16 2004-11-23 Neomedix Corporation Systems and methods for measuring pressure
US6606917B2 (en) * 2001-11-26 2003-08-19 Emerson Electric Co. High purity coriolis mass flow controller
US20030098069A1 (en) * 2001-11-26 2003-05-29 Sund Wesley E. High purity fluid delivery system
US6855031B2 (en) * 2002-02-08 2005-02-15 Applied Materials, Inc. Slurry flow rate monitoring in chemical-mechanical polisher using pressure transducer
US6843133B2 (en) * 2002-06-18 2005-01-18 Rosemount, Inc. Capacitive pressure transmitter
DE10255279A1 (de) * 2002-11-26 2004-06-03 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Messumformer mit Lecküberwachung
US7036382B2 (en) * 2003-04-10 2006-05-02 Ashcroft, Inc. Liquidless seal connection
DE10318679A1 (de) * 2003-04-24 2004-12-30 Vega Grieshaber Kg Befestigungsanordnung für einen Sensor an einem Behältnis
JP2005010078A (ja) * 2003-06-20 2005-01-13 Surpass Kogyo Kk インライン型圧力センサ
US7131451B2 (en) 2003-09-04 2006-11-07 Rivatek Incorporated Apparatus for controlling and metering fluid flow
JP2005127770A (ja) * 2003-10-22 2005-05-19 Shiga Yamashita:Kk 圧力センサ
JP4234024B2 (ja) * 2004-01-23 2009-03-04 サーパス工業株式会社 インライン型圧力センサー
US7347099B2 (en) * 2004-07-16 2008-03-25 Rosemount Inc. Pressure transducer with external heater
NO20043893L (no) * 2004-09-17 2006-03-20 Norsk Hydro As Arrangement eller anordning ved en probe eller sensor for maling av tilstanden i et ror e.l
US7141447B2 (en) 2004-10-07 2006-11-28 Mks Instruments, Inc. Method of forming a seal between a housing and a diaphragm of a capacitance sensor
JP2006322783A (ja) * 2005-05-18 2006-11-30 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 圧力センサおよび基板処理装置
US7866337B2 (en) * 2005-07-08 2011-01-11 Entegris, Inc. Chemically inert flow controller with non-contaminating body
US7679033B2 (en) * 2005-09-29 2010-03-16 Rosemount Inc. Process field device temperature control
DE102006033638A1 (de) * 2006-07-20 2008-01-24 Robert Bosch Gmbh Druckmesseinrichtung
US7530278B2 (en) * 2006-11-02 2009-05-12 Rivatek, Inc. Fluid flow blender and methods
US7726876B2 (en) * 2007-03-14 2010-06-01 Entegris, Inc. System and method for non-intrusive thermal monitor
JP4699418B2 (ja) * 2007-04-19 2011-06-08 株式会社デンソー 圧力センサ
US20090017337A1 (en) * 2007-07-10 2009-01-15 Dirk Wexel Freeze tolerant pressure sensor
US7779698B2 (en) * 2007-11-08 2010-08-24 Rosemount Inc. Pressure sensor
US7698951B2 (en) * 2008-05-27 2010-04-20 Honeywell International Inc. Pressure-sensor apparatus
US7992441B2 (en) * 2008-07-31 2011-08-09 Sensata Technologies, Inc. Pressure sensor for measuring pressure in a medium
DE102008042489B4 (de) * 2008-09-30 2018-07-26 Robert Bosch Gmbh Werkstückverbund sowie Verwendung des Werkstückverbundes
US8312774B2 (en) * 2009-02-19 2012-11-20 Honeywell International Inc. Flow-through pressure sensor apparatus
JP5669633B2 (ja) * 2011-03-11 2015-02-12 三菱重工業株式会社 センサ取付構造
JP5594541B2 (ja) 2012-02-09 2014-09-24 Ｓｍｃ株式会社 圧力検出器
EP3203047B1 (en) 2012-02-28 2018-10-17 Norma U.S. Holding LLC Automotive selective catalytic reduction (scr) system sensor holder and assembly
JP6154623B2 (ja) * 2013-02-28 2017-06-28 長野計器株式会社 圧力計
DE112014002730T5 (de) 2013-06-07 2016-03-03 Entegris, Inc. Sensor mit Schutzschicht
US9891161B2 (en) * 2014-03-14 2018-02-13 Rosemount Inc. Corrosion rate measurement
KR101461605B1 (ko) * 2014-09-19 2014-11-19 엘에스테크(주) 압력계 체결조립체
WO2016052253A1 (ja) * 2014-10-01 2016-04-07 積水化学工業株式会社 液体吐出装置
US10682666B2 (en) 2015-06-11 2020-06-16 Nordson Corporation Cartridge type fluid dispensing apparatus and methods
US10393553B2 (en) 2016-02-25 2019-08-27 Idex Health & Science Llc Modular sensor system
USD823143S1 (en) 2016-03-21 2018-07-17 Idex Health & Science Llc Combined cap and base of a sensor
USD823144S1 (en) 2016-03-21 2018-07-17 Idex Health & Science Llc Combined cap and base of a sensor
EP3471941B1 (en) 2016-06-30 2021-04-28 Imflux Inc. Upstream nozzle sensor for injection molding apparatus and methods of use
US10675653B2 (en) 2017-02-07 2020-06-09 Nordson Corporation Motorized cartridge type fluid dispensing apparatus and system
WO2018204442A1 (en) 2017-05-02 2018-11-08 iMFLUX Inc. Method for controlling a rate or force of a clamp in a molding system using one or more strain gauges
US10598559B2 (en) * 2017-06-29 2020-03-24 Rosemount Inc. Pressure sensor assembly
US11251047B2 (en) 2017-11-13 2022-02-15 Applied Materials, Inc. Clog detection in a multi-port fluid delivery system
KR101996347B1 (ko) * 2017-12-11 2019-10-01 주식회사 다호트로닉 토크렌치를 이용하여 세라믹 소재 센서의 고정 가압을 조절하는 압력 트랜스미터
JP6637108B2 (ja) * 2018-05-16 2020-01-29 日機装株式会社 圧力検出器
JP7372062B2 (ja) * 2019-07-02 2023-10-31 アズビル株式会社 圧力センサ
US11460384B2 (en) 2019-11-25 2022-10-04 International Business Machines Corporation Pressure test apparatus including a top plate assembly and an air block
US11371902B2 (en) * 2019-12-27 2022-06-28 Rosemount Inc. Process venting feature for use in sensor applications with a process fluid barrier
DE102021130134A1 (de) 2021-11-18 2023-05-25 Gemü Gebr. Müller Apparatebau Gmbh & Co. Kommanditgesellschaft Vorrichtung zur Fluidbegrenzung und Vorrichtung zum Messen einer Eigenschaft eines Prozessfluids
CN114129842B (zh) * 2022-01-29 2022-06-07 深圳摩尔雾化健康医疗科技有限公司 管路组件、气压检测模块、雾化***、呼吸机和控制方法
CN218129518U (zh) * 2022-01-29 2022-12-27 深圳摩尔雾化健康医疗科技有限公司 管路组件、气压检测模块、雾化***和呼吸机

Family Cites Families (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2734526A (en) 1956-02-14 aagaard
US2190713A (en) * 1937-02-17 1940-02-20 Zeiss Ikon Ag Piezoelectric pressure indicator
US3645139A (en) * 1970-06-04 1972-02-29 John R Z Self-retaining diaphragm seal for recording instrument
US3930823A (en) 1972-03-14 1976-01-06 Kulite Semiconductor Products, Inc. High temperature transducers and housing including fabrication methods
US4010769A (en) 1972-11-27 1977-03-08 Plast-O-Matic Valves, Inc. Leak detection arrangement for valve having sealing means
US4177496A (en) * 1976-03-12 1979-12-04 Kavlico Corporation Capacitive pressure transducer
US4127840A (en) 1977-02-22 1978-11-28 Conrac Corporation Solid state force transducer
US4252510A (en) 1978-08-28 1981-02-24 Bruce A. Bromley Diaphragm pump
US4192192A (en) * 1978-11-02 1980-03-11 General Signal Corporation Diaphragm seal assembly
US4322980A (en) 1979-11-08 1982-04-06 Hitachi, Ltd. Semiconductor pressure sensor having plural pressure sensitive diaphragms and method
US4343456A (en) 1980-05-16 1982-08-10 Galtek Corporation Plastic control valve
US4461181A (en) * 1983-01-06 1984-07-24 Becton Dickinson And Company Control for sample volume metering apparatus
US4507973A (en) 1983-08-31 1985-04-02 Borg-Warner Corporation Housing for capacitive pressure sensor
US4653330A (en) 1985-07-15 1987-03-31 Rosemount Inc. Pressure transmitter housing
US4683755A (en) 1985-11-15 1987-08-04 Imo Delaval Inc. Biaxial strain gage systems
EP0380661A4 (en) 1987-10-07 1991-08-14 Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho Semiconducteur thin-film pressure sensor and method of producing the same
US4825876A (en) * 1988-02-23 1989-05-02 Abbott Laboratories Encapsulated blood pressure transducer
US5174926A (en) 1988-04-07 1992-12-29 Sahagen Armen N Compositions for piezoresistive and superconductive application
US4994781A (en) 1988-04-07 1991-02-19 Sahagen Armen N Pressure sensing transducer employing piezoresistive elements on sapphire
US5063784A (en) * 1988-06-06 1991-11-12 Ridenour Ralph Gaylord Refrigerant transducer assembly and method
US5137026A (en) 1990-01-04 1992-08-11 Glaxo Australia Pty., Ltd. Personal spirometer
US5088329A (en) 1990-05-07 1992-02-18 Sahagen Armen N Piezoresistive pressure transducer
US5183078A (en) * 1991-06-24 1993-02-02 Sorrell Harold E Combination shut-off and test-injection valve
US5184514A (en) 1991-07-12 1993-02-09 Rosemount Inc. Corrosion resistant isolator
JP3077285B2 (ja) 1991-07-26 2000-08-14 大同特殊鋼株式会社 真空式金属熱処理炉
US5287851A (en) 1991-09-11 1994-02-22 Beran Anthony V Endotracheal tube connector with integral pneumotach transducer
JPH06129927A (ja) 1992-10-14 1994-05-13 Saapasu Kogyo Kk 圧力センサ
US5284425A (en) 1992-11-18 1994-02-08 The Lee Company Fluid metering pump
US5347862A (en) 1992-11-23 1994-09-20 Dov Ingman Fluid flow meter
US5357792A (en) * 1993-01-08 1994-10-25 Getenby Alan D Adaptor for testing fuel pressure in an operating engine
US5316035A (en) * 1993-02-19 1994-05-31 Fluoroware, Inc. Capacitive proximity monitoring device for corrosive atmosphere environment
JP2552093B2 (ja) 1993-06-29 1996-11-06 サーパス工業株式会社 圧力センサ
US5488946A (en) * 1994-03-01 1996-02-06 Calhoun; Clifford A. Emergency breathing device for opening cartridges
US5410916A (en) * 1994-06-24 1995-05-02 Honeywell Inc. Flowthrough pressure sensor
US5563347A (en) * 1994-09-12 1996-10-08 Ivac Corp Pressure sensing vessel adapted to be preloaded against a sensor
US5604315A (en) 1995-01-12 1997-02-18 Setra Systems, Inc. Apparatus using a feedback network to measure fluid pressures
JPH08313379A (ja) 1995-05-15 1996-11-29 Nippon Pillar Packing Co Ltd 圧力センサ
US5654512A (en) * 1995-06-09 1997-08-05 Pacer Industries, Inc. Flexible membrane variable orifice fluid flow meter
US5693887A (en) * 1995-10-03 1997-12-02 Nt International, Inc. Pressure sensor module having non-contaminating body and isolation member
US5656780A (en) * 1996-03-28 1997-08-12 Kavlico Corporation Capacitive pressure transducer with an integrally formed front housing and flexible diaphragm
US5657001A (en) * 1996-04-16 1997-08-12 Oklahoma Safety Equipment Company Fluid flow detector
US5822173A (en) 1996-05-29 1998-10-13 Texas Instruments Incorporated Condition responsive electrical apparatus having improved low cost housing
US5668322A (en) 1996-06-13 1997-09-16 Rosemount Inc. Apparatus for coupling a transmitter to process fluid having a sensor extension selectively positionable at a plurality of angles
US5878000A (en) 1997-10-01 1999-03-02 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Isolated sensing device having an isolation housing

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005119194A1 (ja) 2004-06-03 2005-12-15 Nagano Keiki Co., Ltd. 圧力センサモジュール、および圧力検出装置
US7367233B2 (en) 2004-06-03 2008-05-06 Nagano Keiki Co., Ltd. Pressure sensor module and pressure detecting device

Also Published As

Publication number Publication date
EP0853758B1 (en) 2001-11-21
USRE38300E1 (en) 2003-11-11
DE69617253T4 (de) 2004-07-15
DE69617253D1 (de) 2002-01-03
DE69617253T2 (de) 2002-07-18
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WO1997013132A1 (en) 1997-04-10
US5693887A (en) 1997-12-02
EP0853758A1 (en) 1998-07-22
CA2232982A1 (en) 1997-04-10
IL123866A0 (en) 1998-10-30
EP0853758A4 (en) 1998-12-30
US5852244A (en) 1998-12-22

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